特許 7447274 搬送装置およびスライダの位置検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-01

(45)【発行日】2024-03-11

(54)【発明の名称】搬送装置およびスライダの位置検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 5/245 20060101AFI20240304BHJP

   G01D 5/12 20060101ALI20240304BHJP

【ＦＩ】

G01D5/245 110L

G01D5/12 Q

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022539851

(86)(22)【出願日】2020-07-29

(86)【国際出願番号】 JP2020028982

(87)【国際公開番号】W WO2022024240

(87)【国際公開日】2022-02-03

【審査請求日】2023-01-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100172362

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 達哉

(72)【発明者】

【氏名】青木 俊介

(72)【発明者】

【氏名】林 好典

(72)【発明者】

【氏名】古宇田 秀明

【審査官】眞岩 久恵

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１８／０５５７５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２００９／１２２６９３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－１７０７９０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｄ ５／００－５／２５２

Ｇ０１Ｄ ５／３９－５／６２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スライダと、
前記スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部と、
前記所定の方向に沿って延びるように前記スライダに設けられ、前記スライダの位置を検出するための磁気スケールと、
前記搬送部に設けられ、前記磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、
前記磁気スケールは、前記所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、
前記複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されており、
前記複数のトラックは、所定の磁気情報が曲線的かつ周期的に連続して繰り返し記録されるとともに、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、前記磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、
前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記他のトラックの前記磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、搬送装置。

【請求項2】

前記複数のトラックは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、
前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記磁気センサは、前記所定の方向に沿って複数配置されており、
前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置から着磁終了位置までの距離は、隣接する前記磁気センサの距離よりも大きい、請求項１または２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記複数のトラックのうち１つのトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記複数のトラックのうちの他の複数のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記磁気スケールは、複数の前記スライダを区別するための識別情報を有する識別トラックと、前記スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、
着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている前記一部のトラックは、前記識別トラックに含まれている、請求項１～４のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記磁気スケールは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている第１トラックと、前記第１トラックの周期情報が記録されている第２トラックと、を含み、
前記第２トラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記第１トラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１～５のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項7】

前記磁気センサの検出結果に基づいて、前記スライダの位置を取得する制御部をさらに備え、
前記磁気センサは、前記所定の方向に沿って複数配置されており、
前記制御部は、一方の前記磁気センサにより前記磁気スケールの磁気を検出して前記スライダの位置を取得している場合に、前記磁気スケールの複数のトラックのうち全てのトラックの磁気情報が磁気的に安定した前記磁気的安定領域の磁気を、前記一方の磁気センサに隣接する他方の前記磁気センサにより検出した場合に、前記他方の磁気センサの検出結果に基づいて前記スライダの位置を取得する制御を始めるように構成されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項8】

前記制御部は、前記磁気センサによる磁気の検出の有無に基づいて、前記磁気スケールのトラックの磁気情報が磁気的に安定した前記磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている、請求項７に記載の搬送装置。

【請求項9】

前記制御部は、前記複数のトラックのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、前記複数のトラックのうち前記他のトラックは前記磁気的安定領域であると判定するように構成されている、請求項８に記載の搬送装置。

【請求項10】

前記制御部は、前記複数のトラックのうち前記他のトラックが前記磁気的安定領域である場合に、前記他のトラックの磁気情報に基づいて、前記複数のトラックのうち前記一部のトラックが前記磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている、請求項８または９に記載の搬送装置。

【請求項11】

所定の方向に沿って移動するスライダに、前記所定の方向に沿って延びるように設けられ、前記スライダの位置を検出するための磁気スケールと、
前記スライダを前記所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、前記磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、
前記磁気スケールは、前記所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、
前記複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されており、
前記複数のトラックは、所定の磁気情報が曲線的かつ周期的に連続して繰り返し記録されるとともに、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、前記磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、
前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記他のトラックの前記磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、スライダの位置検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、搬送装置およびスライダの位置検出装置に関し、特に、スライダを備える搬送装置および搬送されるスライダの位置検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、搬送されるスライダの位置検出装置が知られている。このような位置検出は、たとえば、特開２０１９－１６０９９１号公報に開示されている。

【0003】

上記特開２０１９－１６０９９１号公報には、所定の方向に沿って移動するスライダに、所定の方向に沿って延びるように設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備える位置検出装置（スライダの位置検出装置）が開示されている。この特開２０１９－１６０９９１号公報の位置検出装置では、磁気スケールは、平行に配列された複数（６つ）のトラックを含み、複数のトラックの各々は着磁装置により所定の方向に沿って磁気情報が着磁されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１６０９９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、特開２０１９－１６０９９１号公報には記載されていないが、磁気スケールのトラックの両端部付近では、磁気情報が安定しない（磁気的に乱れがあり、安定していない）ため、磁気スケールの両端部付近の磁気情報の情報精度が高くないことが知られている。このため、特開２０１９－１６０９９１号公報に開示されているような従来の位置検出装置では、磁気スケールの両端部付近の情報精度が高くない磁気情報を用いることに起因して、スライダの位置を精度よく検出することができない場合がある。そこで、スライダの位置を精度よく検出することが可能な搬送装置およびスライダの位置検出装置が望まれている。

【0006】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、スライダの位置を精度よく検出することが可能な搬送装置およびスライダの位置検出装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による搬送装置は、スライダと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部と、所定の方向に沿って延びるようにスライダに設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、磁気スケールは、所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されており、複数のトラックは、所定の磁気情報が曲線的かつ周期的に連続して繰り返し記録されるとともに、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。

【0008】

この発明の第１の局面による搬送装置では、上記のように、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置を、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケールの端部付近であると判断することができるので、磁気スケールの端部付近において情報精度が高くない（磁気的に乱れがあり安定していない）磁気情報を検出して、スライダの位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラックを除く他のトラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラックの磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダの位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダの位置を精度よく検出することができる。

【0009】

上記第１の局面による搬送装置では、複数のトラックは、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。これにより、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックを含む複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、他のトラックは磁気的安定領域であるため、複数のトラックの全てを検出したことに基づいて、他のトラックからは情報精度が高い磁気情報を検出することができる。これにより、他のトラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。

【0010】

この場合、好ましくは、複数のトラックは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、着磁開始または着磁終了から１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらした位置では、磁気情報が磁気的に安定するため、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックを含む複数のトラックの全ての磁気を検出した場合に、他のトラックを確実に磁気的安定領域にすることができる。

【0011】

上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気センサは、所定の方向に沿って複数配置されており、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置から着磁終了位置までの距離は、隣接する磁気センサの距離よりも大きい。このように構成すれば、隣接する磁気センサのうちいずれかの磁気センサにより複数のトラックの全ての磁気を検出することができるので、スライダが複数の磁気センサを乗り継いで移動する場合に、スライダを全ての位置において精度よく検出することができる。

【0012】

上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、複数のトラックのうち１つのトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、複数のトラックのうちの他の複数のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、着磁開始位置および着磁終了位置をトラックの端部とは反対側にずらして配置するトラックを最小限にすることができるので、磁気スケールの端部から近い位置で磁気情報が安定する他の複数のトラックの数を多くすることができる。

【0013】

上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、複数のスライダを区別するための識別情報を有する識別トラックと、スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックは、識別トラックに含まれている。このように構成すれば、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合に、スライダの位置を特定する位置トラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、位置トラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。

【0014】

上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている第１トラックと、第１トラックの周期情報が記録されている第２トラックと、を含み、第２トラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、第１トラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、精度よくスライダの位置を検出するために第２トラックよりも情報精度が必要な第１トラックを、磁気スケールの端部から近い位置で磁気情報が磁気的に安定するようにすることができる。

【0015】

上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気センサの検出結果に基づいて、スライダの位置を取得する制御部をさらに備え、磁気センサは、所定の方向に沿って複数配置されており、制御部は、一方の磁気センサにより磁気スケールの磁気を検出してスライダの位置を取得している場合に、磁気スケールの複数のトラックのうち全てのトラックの磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域の磁気を、一方の磁気センサに隣接する他方の磁気センサにより検出した場合に、他方の磁気センサの検出結果に基づいてスライダの位置を取得する制御を始めるように構成されている。このように構成すれば、他方の磁気センサにより検出されるトラックの磁気情報が磁気的に安定した状態で、一方の磁気センサから他方の磁気センサに乗り継ぐことができる。

【0016】

この場合、好ましくは、制御部は、磁気センサによる磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケールのトラックの磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている。このように構成すれば、磁気情報が安定しない場合でも磁気の検出の有無は判定することができるので、磁気スケールのトラックが磁気的安定領域であるか否かを精度よく判定することができる。

【0017】

上記磁気の検出の有無に基づいて磁気スケールのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域であるか否かを判定する構成において、好ましくは、制御部は、複数のトラックのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラックのうち他のトラックは磁気的安定領域であると判定するように構成されている。このように構成すれば、複数のトラックのうち一部のトラックよりも長い他のトラックが磁気的安定領域であることを精度よく判定することができる。

【0018】

上記磁気の検出の有無に基づいて磁気スケールのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域であるか否かを判定する構成において、好ましくは、制御部は、複数のトラックのうち他のトラックが磁気的安定領域である場合に、他のトラックの磁気情報に基づいて、複数のトラックのうち一部のトラックが磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている。このように構成すれば、先に磁気的安定領域となった他のトラックの磁気情報に基づいて、他のトラックよりも短い一部のトラックが磁気的安定領域になったことを精度よく判定することができる。

【0019】

上記目的を達成するために、この発明の第２の局面によるスライダの位置検出装置は、所定の方向に沿って移動するスライダに、所定の方向に沿って延びるように設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、磁気スケールは、所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されており、複数のトラックは、所定の磁気情報が曲線的かつ周期的に連続して繰り返し記録されるとともに、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。

【0020】

この発明の第２の局面によるスライダの位置検出装置では、上記のように、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置を、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケールの端部付近であると判断することができるので、磁気スケールの端部付近において情報精度が高くない（安定していない）磁気情報を検出して、スライダの位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラックを除く他のトラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラックの磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダの位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダの位置を精度よく検出することが可能なスライダの位置検出装置を提供することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、上記のように、スライダの位置を精度よく検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態による搬送装置を示した平面図である。

【図2】本発明の一実施形態による搬送装置の搬送部およびスライダを示した断面図である。

【図3】本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールを示した図である。

【図4】本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールの端部付近を示した図である。

【図5】本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールと複数の磁気センサとの関係を示した図である。

【図6】本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールの磁気パターンの一例を示した図である。

【図7】本発明の一実施形態による搬送装置の制御部による位置検出開始処理を説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0024】

図１～図７を参照して、本発明の一実施形態による搬送装置１００の構成について説明する。

【0025】

（搬送装置の構成）
本実施形態による搬送装置１００は、搬送部１、２に沿ってスライダ３０に載置された搬送対象物を搬送するように構成されている。また、搬送装置１００により搬送される搬送対象物は、複数の搬送位置において作業が行われる。搬送対象物は、ロボットや作業者により作業が行われる。

【0026】

搬送装置１００は、図１に示すように、搬送部１と、搬送部２と、乗継搬送部３と、乗継搬送部４と、スライダ３０と、を備えている。また、搬送装置１００は、制御部４０を備えている。

【0027】

搬送部１は、複数の搬送モジュール１０を含んでいる。搬送部２は、複数の搬送モジュール１０を含んでいる。複数の搬送モジュール１０は、互いに直列的に接続されて、スライダ３０の搬送路が形成されている。スライダ３０は、搬送部１および２をＸ方向に搬送され、乗継搬送部３および４により、搬送部１（２）から搬送部２（１）にＹ方向に搬送される。つまり、スライダ３０は、搬送部１、乗継搬送部３、搬送部２、乗継搬送部４の順に搬送されて循環して用いられる。

【0028】

搬送モジュール１０は、図２に示すように、リニアモータ固定子１１と、磁気センサ１２と、ガイドレール１３と、カバー１４とを含んでいる。

【0029】

乗継搬送部３および４は、図１に示すように、スライダ３０をＸ方向に搬送する搬送機構２０と、搬送機構２０をＹ方向に移動させる移動機構とを含んでいる。搬送機構２０は、リニアモータ固定子１１と、磁気センサ１２とを有している。移動機構は、ガイドレールと、ボールねじ機構とを有している。

【0030】

スライダ３０は、図２に示すように、スライダ本体３１と、リニアモータ可動子３２と、ガイドブロック３３と、磁気スケール３４とを含んでいる。スライダ３０は、複数設けられている。また、複数のスライダ３０は、搬送部１、２、乗継搬送部３および４上を、各々独立して移動するように構成されている。

【0031】

搬送部１および２は、スライダ３０を所定の方向（Ｘ方向）に沿って移動させるように構成されている。また、搬送部１および２は、略平行に設けられている。搬送部１は、スライダ３０をＸ２方向に搬送し、搬送部２は、スライダ３０をＸ１方向に搬送する。搬送部１および２は、架台上に固定的に設けられている。つまり、搬送部１および２のリニアモータ固定子１１およびガイドレール１３は、固定的に設けられている。

【0032】

乗継搬送部３は、搬送部１および２のＸ２方向側に隣接した位置に配置されている。また、乗継搬送部４は、搬送部１および２のＸ１方向側に隣接した位置に配置されている。

【0033】

リニアモータ固定子１１は、電磁石を含み、電磁石に駆動電力（電流）が供給されることにより、スライダ３０を移動させる。リニアモータ固定子１１は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って配置されている。また、図２に示すように、リニアモータ固定子１１の電磁石は、芯がＹ方向に沿って延びるように配置されている。

【0034】

磁気センサ１２は、搬送部１および２に設けられている。また、磁気センサ１２は、磁気スケール３４の磁気を検出するように構成されている。具体的には、磁気センサ１２は、スライダ３０に設けられた磁気スケール３４とＹ方向に対向するように設けられている。磁気センサ１２は、磁気スケール３４の磁気を検知して、スライダ３０の位置を検知するように構成されている。磁気センサ１２により検知したスライダ３０の位置は、スライダ３０の移動のフィードバック制御に用いられる。

【0035】

また、磁気センサ１２は、図５に示すように、搬送方向（Ｘ方向）に沿って間隔を置いて複数配置されている。また、磁気センサ１２は、検出した磁気に対応する信号を制御部４０に送信するように構成されている。

【0036】

ガイドレール１３は、スライダ３０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って延びるように配置されている。ガイドレール１３は、Ｙ方向に沿って平行に一対設けられている。ガイドレール１３は、Ｘ方向に隣接する搬送モジュール１０間において、スライダ３０が乗継可能に位置合わせされて配置されている。ガイドレール１３には、スライダ３０のガイドブロック３３がＸ方向に移動可能に係合している。

【0037】

カバー１４は、リニアモータ固定子１１、磁気センサ１２およびガイドレール１３の上方を覆うように設けられている。つまり、カバー１４は、スライダ３０がない場合でも、リニアモータ固定子１１、磁気センサ１２およびガイドレール１３の上方が露出しないように設けられている。

【0038】

スライダ本体３１は、搬送対象物が載置されるように構成されている。また、スライダ本体３１は、搬送方向（Ｘ方向）から見て、搬送部１および２のカバー１４を囲むように設けられている。スライダ本体３１には、リニアモータ可動子３２と、ガイドブロック３３と、磁気スケール３４とが取り付けられている。

【0039】

リニアモータ可動子３２は、リニアモータ固定子１１をＹ方向において挟み込むように設けられている。リニアモータ可動子３２は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って配列された複数の永久磁石を含んでいる。

【0040】

ガイドブロック３３は、ガイドレール１３に沿って移動可能に設けられている。ガイドブロック３３は、移動方向に沿って移動して循環する複数のボールを有している。

【0041】

磁気スケール３４は、所定の方向（Ｘ方向）に沿って延びるようにスライダ３０に設けられている。また、磁気スケール３４は、スライダ３０の位置（搬送位置）を検出するために設けられている。また、磁気スケール３４は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って所定のパターンに着磁されている。また、図５に示すように、位置検出装置２００は、磁気スケール３４と、磁気スケール３４の磁気を検出する磁気センサ１２を含んでいる。なお、位置検出装置２００は、請求の範囲の「スライダの位置検出装置」の一例である。

【0042】

磁気スケール３４は、スケール材を所定のパターンにより磁化することにより形成されている。スケール材は、磁石材料（たとえば、金属マグネット、プラスチックマグネットまたはゴムマグネットなど）により形成されている。スケール材は、全体的に同一の素材および品質により形成されており、着磁により磁場の有無、周期の幅、磁場の強さが管理されている。また、スケール材への着磁は、剛体である背板に組付けられた状態で行われる。

【0043】

ここで、本実施形態では、図３に示すように、磁気スケール３４は、所定の方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｚ方向）に沿って平行に配列された複数のトラック３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、３４ｅおよび３４ｆを含んでいる。また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして（トラックの中央側にずらして）配置されている。つまり、着磁開始位置Ｐ２は、着磁開始位置Ｐ１よりもＸ２方向側にずらして配置されている。また、着磁終了位置Ｐ３は、着磁終了位置Ｐ４よりもＸ１方向側にずらして配置されている。

【0044】

具体的には、図４に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１と、磁気的安定領域３４１の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域３４２と、を各々含んでいる。つまり、着磁されている端部付近（磁気的不安定領域３４２）は、磁気的に乱れが生じている。このため、複数のトラック間で位相差が一定ではなくなる。

【0045】

また、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、各々周期的に磁気が変化するように構成されている。また、磁気スケール３４は、複数のスライダ３０を区別するための識別情報を有する識別トラック（トラック３４ａ～３４ｃ）と、スライダ３０の位置を特定するための位置トラック（３４ｄ～３４ｆ）と、を含んでいる。つまり、トラック３４ａ～３４ｃの磁気情報を検出することにより、複数のスライダ３０のうちいずれのスライダ３０なのかを特定することが可能である。また、トラック３４ｄ～３４ｆの磁気情報を取得することにより、磁気センサ１２に対して、特定されたスライダ３０がどこに位置しているのかを特定することが可能である。

【0046】

識別トラックは、図６に示すように、マスターであるトラック３４ｂを基礎に、ノニアス（副尺）のトラック３４ｃおよびセグメントのトラック３４ａを異なる周期（ピッチ）で一定の位相差を示す磁気周期を持つように構成されている。

【0047】

磁気スケール３４は、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されているトラック３４ｂおよび３４ｃと、トラック３４ｂおよび３４ｃの周期情報が記録されているトラック３４ａと、を含んでいる。つまり、マスターのトラック３４ｂおよびノニアスのトラック３４ｃは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている。また、セグメントのトラック３４ａは、トラック３４ｂおよび３４ｃがどの周期にあるかを特定する情報が記録されている。

【0048】

また、本実施形態では、図３および図４に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気的不安定領域３４２よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。具体的には、磁気的不安定領域３４２は、端部からＤ１の距離だけ存在する。また、磁気的不安定領域３４２の内側は、磁気的安定領域３４１となる。トラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、トラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもＤ２（＞Ｄ１）の距離だけ内側に配置されている。

【0049】

また、磁気スケール３４は、たとえば、予め最大１／４周期分検出が遅れることを想定した上で、スライダ３０の識別および位置を確定する位置（トラック３４ｄ～３４ｆ（位置トラック）による座標）が設定されている。これにより、スケール毎の確定タイミングのばらつきを抑制することが可能である。

【0050】

また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている。つまり、着磁開始位置Ｐ１およびＰ２（着磁終了位置Ｐ３およびＰ４）の間の距離Ｄ２は、トラック３４ｂ～３４ｆのうち最も長い周期の１周期分よりも大きい。

【0051】

ここで、磁気スケール３４の素材の状態にかかわらず、連続した着磁において、端部１波長（１周期）分の周期の部分は、他の周期（内側の周期）の部分と異なる環境下に置かれる。つまり、内側の周期では隣接する周期の磁気的な影響を受けた上で所定の磁気特性を示す。しかし、端部の１周期分では、外側に磁気の周期がないため、内側の周期とはバランスが異なる。このため、着磁設定上同じ着磁を行った場合でも微妙に異なる磁場分布となる。そこで、６つのトラック３４ａ～３４ｆがそろい、位置検出のトリガーとなる位置を、着磁開始位置Ｐ１（着磁終了位置Ｐ４）である端部から１波長（１周期）分以上内側にすることにより、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気特性を安定させることが可能である。

【0052】

また、図５に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２から着磁終了位置Ｐ３までの距離は、隣接する磁気センサ１２の距離よりも大きい。これにより、隣接する磁気センサ１２の内いずれかの磁気センサ１２が制御状態にある中でトラック３４ａ～３４ｆのすべての磁気を検出し、制御部４０が制御を開始することができる。その結果、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を乗り継いで移動する場合に、スライダ３０のすべての位置において精度よく位置を検出することが可能である。また、スライダ３０が無制御状態に陥ることもなくなる。つまり、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を跨いで移動する際に、前の磁気センサ１２の検出結果に基づいてフィードバック制御している状態にあるうちに、次の磁気センサ１２がトラック３４ａの磁気的安定領域３４１に到達することにより、複数の磁気センサ１２間での制御の引継ぎを、フィードバック制御している状態で、かつ、磁気的安定領域３４１内で行うことが可能である。

【0053】

また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち１つのトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうちの他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。つまり、１つのトラック３４ａのみ短くなっている。

【0054】

制御部４０は、搬送装置１００の各部を制御するように構成されている。制御部４０は、リニアモータ固定子１１に供給する電力を制御して、スライダ３０の移動を制御する。また、制御部４０は、乗継搬送部３および４の移動機構２１の駆動を制御して、搬送機構２０の移動を制御する。制御部４０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、メモリなどを含んでいる。

【0055】

ここで、制御部４０は、磁気センサ１２の検出結果に基づいて、スライダ３０の位置を取得するように構成されている。また、制御部４０は、一方の磁気センサ１２により磁気スケールの磁気を検出してスライダ３０の位置を取得している場合に、磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１の磁気を、一方の磁気センサ１２に隣接する他方の磁気センサ１２により検出した場合に、他方の磁気センサ１２の検出結果に基づいてスライダ３０の位置を取得する制御を始めるように構成されている。

【0056】

具体的には、制御部４０は、磁気センサ１２による磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成されている。

【0057】

また、制御部４０は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であると判定するように構成されている。

【0058】

また、制御部４０は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１である場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成されている。

【0059】

（位置検出開始処理）
図７を参照して、搬送装置１００の制御部４０による磁気センサ１２の乗り継ぎ時の位置検出開始処理について説明する。なお、この処理は、スライダ３０が移動して、磁気スケール３４が隣接する２つの磁気センサ１２に跨って配置された場合に、スライダ３０の識別および位置を取得するための磁気を検出する磁気センサ１２を乗り継ぐ（切り替える）際の処理である。

【0060】

図７のステップＳ１において、制御部４０は、乗継先の磁気センサ１２により５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気を検出したか否かを判断する。５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気が検出されるまで、ステップＳ１の判断が繰り返される。

【0061】

５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気が検出されると、ステップＳ２において、制御部４０は、全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気を検出したか否かを判断する。つまり、検出しているトラック３４ｂ～３４ｆに加えて、識別トラックのセグメントのトラック３４ａの磁気をさらに検出したか否かが判断される。全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気が検出されるまで、ステップＳ２の判断が繰り返される。

【0062】

全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気が検出されると、ステップＳ３において、位置トラック（トラック３４ｄ～３４ｆ）に基づいて、磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動したか否かが判断される。
つまり、位置トラック（トラック３４ｄ～３４ｆ）の磁気情報に基づいて、短いトラック３４ａも磁気的安定領域になったか否かが判断される。磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動されるまで、ステップＳ３の判断が繰り返される。

【0063】

磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動されると、ステップＳ４において、識別トラック（トラック３４ａ～３４ｃ）の磁気を検出して、スライダ３０のＩＤを確定する。そして、ステップＳ５において、乗り継ぎ後の磁気センサ１２に基づくスライダ３０の位置検出が開始される。この場合、乗り継ぎ前の磁気センサ１２に基づくスライダ３０の位置検出が終了される。つまり、スライダ３０の位置検出に用いる磁気センサ１２が切り替えられる。その後、位置検出開始処理が終了される。

【0064】

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0065】

本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケール３４の端部付近であると判断することができるので、磁気スケール３４の端部付近において情報精度が高くない（安定していない）磁気情報を検出して、スライダ３０の位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラック３４ａを除く他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラック３４ｂ～３４ｆの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダ３０の位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダ３０の位置を精度よく検出することができる。

【0066】

また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１と、磁気的安定領域３４１の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域３４２と、を各々含み、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気的不安定領域３４２よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａを含む複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合には、他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であるため、複数のトラック３４ａ～３４ｆの全てを検出したことに基づいて、他のトラック３４ｂ～３４ｆからは情報精度が高い磁気情報を検出することができる。これにより、他のトラック３４ｂ～３４ｆの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。

【0067】

また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、着磁開始または着磁終了から１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらした位置では、磁気情報が安定するため、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａを含む複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆを確実に磁気的安定領域３４１にすることができる。

【0068】

また、本実施形態では、上記のように、磁気センサ１２は、所定の方向に沿って複数配置されており、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２から着磁終了位置Ｐ３までの距離を、隣接する磁気センサ１２の距離よりも大きくする。これにより、隣接する磁気センサ１２のうちいずれかの磁気センサ１２により複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出することができるので、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を乗り継いで移動する場合に、スライダ３０を全ての位置において精度よく検出することができる。

【0069】

また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち１つのトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうちの他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、着磁開始位置および着磁終了位置をトラックの端部とは反対側にずらして配置するトラックを最小限にすることができるので、磁気スケール３４の端部から近い位置で磁気情報が安定する他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの数を多くすることができる。

【0070】

また、本実施形態では、上記のように、磁気スケール３４は、複数のスライダ３０を区別するための識別情報を有する識別トラックと、スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａは、識別トラックに含まれている。これにより、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合に、スライダ３０の位置を特定する位置トラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、位置トラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。

【0071】

また、本実施形態では、上記のように、磁気スケール３４は、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されているトラック３４ｂおよび３４ｃと、トラック３４ｂおよび３４ｃの周期情報が記録されているトラック３４ａと、を含み、トラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、トラック３４ｂおよび３４ｃの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、精度よくスライダ３０の位置を検出するためにトラック３４ａよりも情報精度が必要なトラック３４ｂおよび３４ｃを、磁気スケール３４の端部から近い位置で磁気情報が安定するようにすることができる。

【0072】

また、本実施形態では、上記のように、磁気センサ１２の検出結果に基づいて、スライダ３０の位置を取得する制御部４０を設け、制御部４０を、一方の磁気センサ１２により磁気スケールの磁気を検出してスライダ３０の位置を取得している場合に、磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１の磁気を、一方の磁気センサ１２に隣接する他方の磁気センサ１２により検出した場合に、他方の磁気センサ１２の検出結果に基づいてスライダ３０の位置を取得する制御を始めるように構成する。これにより、他方の磁気センサ１２により検出されるトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が磁気的に安定した状態で、一方の磁気センサ１２から他方の磁気センサ１２に乗り継ぐことができる。

【0073】

また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、磁気センサ１２による磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成する。これにより、磁気情報が安定しない場合でも磁気の検出の有無は判定することができるので、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆが磁気的安定領域３４１であるか否かを精度よく判定することができる。

【0074】

また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であると判定するように構成する。これにより、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａよりも長い他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１であることを精度よく判定することができる。

【0075】

また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１である場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成する。これにより、先に磁気的安定領域３４１となった他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、他のトラック３４ｂ～３４ｆよりも短い一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１になったことを精度よく判定することができる。

【0076】

（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0077】

たとえば、上記実施形態では、磁気スケールが６つのトラックを含む構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、６つ以外の複数のトラックを含んでいてもよい。

【0078】

また、上記実施形態では、磁気スケールの複数のトラックのうち１つのトラックが他のトラックよりも着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールの複数のトラックのうち２以上のトラックが他のトラックよりも着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されていてもよい。

【0079】

また、上記実施形態では、磁気スケールの複数のトラックのうち３つのトラックがスライダを区別するための識別トラックであり、残りの３つのトラックがスライダの位置を特定するための位置トラックである構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、識別トラックを３つ以外の複数設けてもよいし、位置トラックを３つ以外の複数設けてもよい。

【0080】

また、上記実施形態では、搬送部はスライダをリニアモータにより移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、搬送部がスライダをボールねじ機構や、回転ベルト機構などにより移動させる構成でもよい。

【0081】

また、上記実施形態では、磁気スケールは、上下方向に立てて配置されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、水平方向に寝かして配置されていてもよい。

【0082】

また、上記実施形態では、搬送部が直線状に延びるように構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、搬送部が湾曲していてもよい。

【0083】

また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部による制御処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部による制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

【符号の説明】

【0084】

１、２ 搬送部
１２ 磁気センサ
３０ スライダ
３４ 磁気スケール
３４ａ トラック（識別トラック、第２トラック）
３４ｂ、３４ｃ トラック（識別トラック、第１トラック）
３４ｄ、３４ｅ、３４ｆ トラック（位置トラック）
４０ 制御部
１００ 搬送装置
２００ 位置検出装置（スライダの位置検出装置）
３４１ 磁気的安定領域
３４２ 磁気的不安定領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】