特許7447546IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

磁気軸受装置および真空ポンプ

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述した特許文献２に記載の発明では、ロータ変位に関してラジアル方向の振れ回りに起因して発生する力を相殺するように制御している。しかしながら、本発明者は、ラジアル方向の振れ回りに起因して電磁石で発生する力に対応するだけでは振動低減効果が不十分であり、ロータの傾き変位に起因する振動発生が振動低減を阻害していることを見出した。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１の態様による磁気軸受装置は、モータにより回転駆動されるロータを磁気浮上支持し、４軸のラジアル軸と１軸のアキシャル軸とから成る５軸制御型の磁気軸受と、前記ロータの浮上目標位置からの変位を検出して変位信号を出力する信号生成部と、前記モータのモータ回転信号および前記変位信号に基づいて、前記アキシャル軸の電磁石で発生する周期的な振動モーメントを算出する演算部と、前記振動モーメントを低減す・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、磁気軸受装置および真空ポンプの振動低減の向上を図ることができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、磁気軸受装置を備える真空ポンプの概略構成を示す図である。
【図2】 図２は、磁気軸受の電磁石配置を模式的に示した図である。
【図3】 図３は、ターボ分子ポンプのモータ制御系および磁気軸受制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図4】 図４は、アキシャル磁気軸受に関する磁気浮上制御部のブロック図である。
【図5】 図５は、ラジアル磁気軸受に関する磁気浮上制御部のブロック図である。
【図6】 図６は、振動低減制御部の機能ブロック図である。
【図7】 図７は、一軸分のラジアル磁気軸受に関する電磁石と変位センサを示す図である。
【図8】 図８は、回転成分抽出部におけるＸ１軸の機能ブロック図を示す。
【図9】 図９は、基準位相θで回転する座標上におけるΔｄr1(Ω)/２を説明する図である。
【図10】 図１０は、円錐モード成分および円筒モード成分の成分分解のイメージ図である。
【図11】 図１１は、ロータ軸３が円錐モード成分の傾き角振幅τで傾いた場合のモーメントＭを説明する図である。
【図12】 図１２は、変形例２における回転成分抽出部の機能ブロック図を示す図である。
【図13】 図１３は、基準位相θで回転する座標上におけるΔｄr1x(Ω)を説明する図である。
【図14】 図１４は、ステータ重心Ｇsとラジアル電磁石の軸方向位置を説明する図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１…真空ポンプ、１Ａ…ポンプ本体、１Ｂ…コントローラ、２…ポンプロータ、３…ロータ軸、４x1，４y1，４x2，４y2…ラジアル磁気軸受、４ｚ…アキシャル磁気軸受、５x1，５y1，５x2，５y2，５ｚ…変位センサ、３０…モータ制御部、３１０ａ，３１０ｂ…磁気浮上制御部、３２０…振動低減制御部、３２１ａ，３２１ｂ…回転成分抽出部、３２２ａ，３２２ｂ，３２３…直流電流抽出部、３２４…円錐モード抽出部、３２５…モーメント演算部、３２６…相殺力演算部、３２７…出力信号演算部、３２８…電流変動成分演算部

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