(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-03-04
(45)【発行日】2024-03-12
(54)【発明の名称】振動ミラー素子および光走査装置
(51)【国際特許分類】
G02B 26/10 20060101AFI20240305BHJP
G02B 26/08 20060101ALI20240305BHJP
B81B 3/00 20060101ALI20240305BHJP
【ＦＩ】
G02B26/10 104Z
G02B26/08 E
B81B3/00
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2020076545
(22)【出願日】2020-04-23
(65)【公開番号】P2021173832
(43)【公開日】2021-11-01
【審査請求日】2023-03-29
(73)【特許権者】
【識別番号】723005698
【氏名又は名称】船井電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100104433
【弁理士】
【氏名又は名称】宮園 博一
(72)【発明者】
【氏名】種橋 健治
(72)【発明者】
【氏名】田中 史記
(72)【発明者】
【氏名】藤田 健一
【審査官】岩村 貴
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－０６４８４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１９３８９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１０１３８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２３５２４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／１０９９０８（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特表２０１９－５３００１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１０７０６９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０９７２０３（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国特許出願公開第１０９６８３３０８（ＣＮ，Ａ）
【文献】米国特許第０６３１８８７１（ＵＳ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｂ ２６／１０
Ｇ０２Ｂ ２６／０８
Ｂ８１Ｂ ３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光を反射するミラー部と、第１端部および第２端部を有する一対の梁部と、前記一対の梁部の各々の前記第１端部を支持する支持部と、前記ミラー部を揺動可能に支持するトーション部と、を含む金属製の基板と、
前記支持部に設けられ、前記ミラー部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、
前記一対の梁部に当接することにより、前記一対の梁部に伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、
前記トーション部は、前記ミラー部の表面に沿う方向において前記一対の梁部が延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、前記一対の梁部の各々に接続され、
前記振動抑制部は、前記第１方向において、前記ミラー部の端部のうち、前記支持部側の第１ミラー端部とは反対側の第２ミラー端部と、前記トーション部との間の位置において、前記一対の梁部と当接することにより、前記一対の梁部に伝達する振動を抑制するように構成されており、
前記基板は平面視においてＵ字状形状を有する、振動ミラー素子。
【請求項2】
前記支持部を保持するとともに、前記一対の梁部の各々を保持する保持部材をさらに備え、前記保持部材は、前記振動抑制部が前記一対の梁部と当接する位置、または、前記振動抑制部が前記一対の梁部と当接する位置よりも前記第２端部側の位置において、前記一対の梁部の各々を保持するように構成されている、請求項１に記載の振動ミラー素子。
【請求項3】
前記振動抑制部は、前記一対の梁部のうちの一方に当接することにより振動を抑制する第１振動抑制部と、前記第１振動抑制部とは個別に設けられ、前記一対の梁部のうちの他方に当接することにより振動を抑制する第２振動抑制部とを含み、前記第１振動抑制部および前記第２振動抑制部の各々は、前記基板および前記保持部材とは別体で設けられており、
前記保持部材は、前記第１振動抑制部および前記第２振動抑制部が載置される載置面を有し、
前記載置面は、前記第１方向に延びるように形成されている、請求項２に記載の振動ミラー素子。
【請求項4】
前記ミラー部は、前記第１方向における前記トーション部から前記第２ミラー端部までの第１距離が、前記第１方向における前記トーション部から前記第２端部までの第２距離以上となるように構成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項5】
前記振動抑制部は、前記第１方向における前記トーション部から前記振動抑制部の前記第２端部側の端部までの第３距離が、前記第１距離未満となるように構成されている、請求項４に記載の振動ミラー素子。
【請求項6】
前記ミラー部は、前記基板とは別体で設けられ、前記基板は、前記トーション部と接続し、前記ミラー部が配置されるミラー部配置部をさらに含み、
前記トーション部は、前記ミラー部と重なるように前記第２方向に延びるように設けられており、前記第２方向における前記ミラー部と重なる位置において、前記ミラー部配置部と接続されている、請求項１～５のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項7】
前記ミラー部と前記ミラー部配置部とは、少なくとも２箇所において、弾性を有する接着剤によって接合されている、請求項６に記載の振動ミラー素子。
【請求項8】
前記接着剤は、少なくとも、前記ミラー部の重心から略等距離の２箇所において、前記ミラー部と前記ミラー部配置部とを接合する、請求項７に記載の振動ミラー素子。
【請求項9】
前記ミラー部配置部は、前記ミラー部の重心を含み、前記第１方向と、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向とに延びる基準面において、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている、請求項６～８のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項10】
前記駆動源または前記一対の梁部には、おもり部材が設けられている、請求項１～９のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項11】
前記基板のうちの前記ミラー部の近傍、および、前記駆動源の表面のうちの少なくともいずれかには、前記ミラー部によって反射される光の反射を防止する処理が施されている、請求項１～１０のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項12】
光を照射する光源と、前記光源から照射された光を反射するミラー部と、
第１端部および第２端部を有する一対の梁部と、前記一対の梁部の各々の前記第１端部を支持する支持部と、前記ミラー部を揺動可能に支持するトーション部と、を含む金属製の基板と、
前記支持部に設けられ、前記ミラー部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、
前記一対の梁部に当接することにより、前記一対の梁部に伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、
前記トーション部は、前記ミラー部の表面に沿う方向において前記一対の梁部が延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、前記一対の梁部の各々に接続され、
前記振動抑制部は、前記第１方向において、前記ミラー部の端部のうち、前記支持部側の第１ミラー端部とは反対側の第２ミラー端部と、前記トーション部との間の位置において、前記一対の梁部と当接することにより、前記一対の梁部に伝達する振動を抑制するように構成されており、
前記基板は平面視においてＵ字状形状を有する、光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、振動ミラー素子および光走査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、振動ミラー素子および光走査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【0003】
上記特許文献１には、基板と、圧電膜と、捻れ梁部と、ミラー部と、を備える光走査装置が開示されている。
【0004】
上記特許文献１に開示されている光走査装置は、圧電膜によって基板に励起される板波を利用し、捻れ梁部に支持されたミラー部を揺動させるように構成されている。また、基板は、開口が設けられた枠状形状を有しており、ミラー部は、捻れ梁部を介して開口の内部に設けられている。また、上記特許文献１に開示されている基板は、一端が支持部材によって片持ち状に支持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００６－２９３１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ここで、上記特許文献１には明記されていないが、振動ミラー素子は、振動ミラー素子を備えるスキャナユニットなどの小型化に伴い、ミラー部の大きさは大きくしたうえで、素子全体の大きさを小さくすることが求められる。また、使用環境および使用環境の変動に適合するため、ミラー部を所定の揺動角度範囲で安定して揺動させることが求められる。しかしながら、上記特許文献１に記載されている光走査装置（振動ミラー素子）のように、枠状形状を有する基板の内部に配置されたミラー部を大きくしようとした場合、基板がミラー部に当接することを抑制するために、基板自体も大きくなるという不都合がある。また、上記特許文献１に記載されている光走査装置（振動ミラー素子）は、基板が片持ち状に支持されているため、ミラー部を揺動軸の軸線周りに揺動させるための振動（板波）のみならず、ミラーの表面と直交する方向の振動が捻れ梁部（トーション部）を介してミラー部に伝達する場合がある。この場合、ミラー部を所定の揺動角度範囲内で安定して揺動させることが困難になるという不都合がある。そこで、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子全体の大きさを大型化することを抑制しつつ、ミラー部を安定して揺動させることが可能な振動ミラー素子が求められている。
【0007】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子全体の大きさが大型化することを抑制しつつ、ミラー部を安定して揺動させることが可能な振動ミラー素および光走査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
この発明の第１の局面による振動ミラー素子は、光を反射するミラー部と、第１端部および第２端部を有する一対の梁部と、一対の梁部の各々の第１端部を支持する支持部と、ミラー部を揺動可能に支持するトーション部と、を含む金属製の基板と、支持部に設けられ、ミラー部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、一対の梁部に当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、トーション部は、ミラー部の表面に沿う方向において一対の梁部が延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、一対の梁部の各々に接続され、振動抑制部は、第１方向において、ミラー部の端部のうち、支持部側の第１ミラー端部とは反対側の第２ミラー端部と、トーション部との間の位置において、一対の梁部と当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制するように構成されており、基板は平面視においてＵ字状形状を有する。
【0009】
この発明の第１の局面による振動ミラー素子では、上記のように、一対の梁部と一対の梁部の第１端部を支持する支持部とミラー部を揺動可能に支持するトーション部とを含む金属製の基板を備える。これにより、一対の梁部の第１端部が支持部に支持されているため、枠状の基板に設けられた開口の内部にミラー部を配置する構成と異なり、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、第２端部側において基板にミラー部が当接することを抑制することができる。したがって、ミラー部を大きくしつつ、振動ミラー素子全体が大型化することを抑制することができる。また、第２ミラー端部とトーション部との間の位置において一対の梁部と当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制する振動抑制部を備えるため、ミラー部を揺動軸の軸線周りに揺動させるための振動のみならず、ミラー部の表面と直交する方向の振動がトーション部を介してミラー部に伝達することを抑制することができる。したがって、ミラー部をミラー部の表面と直交する方向に揺動させる振動に起因して、ミラー部の揺動角度が所定の揺動角度範囲からずれることを抑制することができる。これらの結果、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子全体の大きさが大型化することを抑制しつつ、ミラー部を安定して揺動させることができる。
【0010】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、支持部を保持するとともに、一対の梁部の各々を保持する保持部材をさらに備え、保持部材は、振動抑制部が一対の梁部と当接する位置、または、振動抑制部が一対の梁部と当接する位置よりも第２端部側の位置において、一対の梁部の各々を保持するように構成されている。このように構成すれば、基板が支持部および一対の梁部の第２端部側において保持部材に保持されるので、基板が支持部材に片持ち状態で保持される構成とは異なり、基板自体が振動することを抑制することができる。その結果、基板自体が振動することに起因してミラー部の揺動の中心位置が移動することを抑制することが可能となるので、ミラー部をより安定して揺動させることができる。
【0011】
この場合、好ましくは、振動抑制部は、一対の梁部のうちの一方に当接することにより振動を抑制する第１振動抑制部と、第１振動抑制部とは個別に設けられ、一対の梁部のうちの他方に当接することにより振動を抑制する第２振動抑制部とを含み、第１振動抑制部および第２振動抑制部の各々は、基板および保持部材とは別体で設けられており、保持部材は、第１振動抑制部および第２振動抑制部が載置される載置面を有し、載置面は、第１方向に延びるように形成されている。このように構成すれば、第１振動抑制部および第２振動抑制部の位置を個別に調整することができる。その結果、一対の梁部の一方の梁部と他方の梁部とにおいて、不要な振動を抑制することが可能な位置に第１振動抑制部および第２振動抑制部を個別に配置することが可能となるので、ミラー部をより一層安定して揺動させることができる。
【0012】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、ミラー部は、第１方向におけるトーション部から第２ミラー端部までの第１距離が、第１方向におけるトーション部から第２端部までの第２距離以上となるように構成されている。このように構成すれば、一対の梁部の第２端部が、第２ミラー端部よりもトーション部から離れた位置に配置されることを抑制することができる。その結果、第１方向において、第２端部が第２ミラー端部よりも飛び出すことを抑制することが可能になるので、ミラー部を大きくしながら、第１方向における振動ミラー素子の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0013】
この場合、好ましくは、振動抑制部は、第１方向におけるトーション部から振動抑制部の第２端部側の端部までの第３距離が、第１距離未満となるように構成されている。このように構成すれば、第１方向において、振動抑制部の第２端部側の端部が、ミラー部の第２端部よりもトーション部から離れた位置に配置されることを抑制することができる。その結果、第１方向における振動ミラー素子の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0014】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、ミラー部は、基板とは別体で設けられ、基板は、トーション部と接続し、ミラー部が配置されるミラー部配置部をさらに含み、トーション部は、ミラー部と重なるように第２方向に延びるように設けられており、第２方向におけるミラー部と重なる位置において、ミラー部配置部と接続されている。このように構成すれば、トーション部が第２方向においてミラー部と重なる位置においてミラー部配置部と接続されているため、ミラー部の揺動角度を大きくするために、第２方向におけるトーション部の長さを大きくする場合でも、第２方向における基板の大きさが大きくなることを抑制することができる。その結果、第２方向における振動ミラー素子の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0015】
この場合、好ましくは、ミラー部とミラー部配置部とは、少なくとも２箇所において、弾性を有する接着剤によって接合されている。このように構成すれば、たとえば、ミラー部とミラー部配置部とが異なる素材で構成され、互いの線膨張率が異なる場合でも、ミラー部およびミラー部配置部の線膨張率の違いによってミラー部に歪みが生じることを抑制することができる。その結果、ミラー部が歪むことにより、ミラー部によって走査される光の走査範囲が所定の走査範囲と異なる範囲になることを抑制することができる。
【0016】
上記ミラー部とミラー部配置部とが少なくとも２箇所において弾性を有する接着剤によって接合させる構成において、好ましくは、接着剤は、少なくとも、ミラー部の重心から略等距離の２箇所において、ミラー部とミラー部配置部とを接合する。このように構成すれば、ミラー部の重心から略等距離の位置において、ミラー部とミラー部配置部とが接合されるため、接合後の重量バランスが崩れることを抑制することができる。その結果、ミラー部を揺動させる際に、ミラー部とミラー部配置部との重量バランスが崩れることにより、不要な振動が生じることを抑制することが可能となるので、ミラー部を安定して揺動させることができる。
【0017】
上記トーション部が第２方向におけるミラー部と重なる位置において、ミラー部配置部と接続されている構成において、好ましくは、ミラー部配置部は、ミラー部の重心を含み、第１方向と、第１方向および第２方向に直交する第３方向とに延びる基準面において、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。このように構成すれば、ミラー部配置部が肉抜きされておらず、平板形状を有する構成と比較して、ミラー部配置部を軽量化することができる。また、ミラー部の重心を含む基準面において対称な質量となるように肉抜きが施されるので、肉抜き後のミラー部配置部の重量バランスが崩れることを抑制することができる。その結果、ミラー部を安定して揺動させつつ、ミラー部を所定の揺動角度で揺動させるために必要な電力を低減することができる。
【0018】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動源または一対の梁部には、おもり部材が設けられている。このように構成すれば、おもり部材を駆動源に設けた場合には、不要な振動を抑制することが可能となるため、駆動源から印加される振動が減衰することを抑制することができる。また、おもり部材を一対の梁部に設けた場合には、駆動源から印加される振動を増大させることが可能となるので、ミラー部の揺動角度を容易に大きくすることができる。
【0019】
上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、基板のうちのミラー部の近傍、および、駆動源の表面のうちの少なくともいずれかには、ミラー部によって反射される光の反射を防止する処理が施されている。このように構成すれば、ミラー部に照射された光が、ミラー部近傍の基板、および、駆動源の表面のうち、少なくともいずれかによって反射されることが抑制される。したがって、ミラー部以外によって反射された光が走査光のノイズとなることを抑制することができる。
【0020】
この発明の第２の局面による光走査装置は、光を照射する光源と、光源から照射された光を反射するミラー部と、第１端部および第２端部を有する一対の梁部と、一対の梁部の各々の第１端部を支持する支持部と、ミラー部を揺動可能に支持するトーション部と、を含む金属製の基板と、支持部に設けられ、ミラー部を揺動させる板波を発生させる駆動源と、一対の梁部に当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、トーション部は、ミラー部の表面に沿う方向において一対の梁部が延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、一対の梁部の各々に接続され、振動抑制部は、第１方向において、ミラー部の端部のうち、支持部側の第１ミラー端部とは反対側の第２ミラー端部と、トーション部との間の位置において、一対の梁部と当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制するように構成されており、基板は平面視においてＵ字状形状を有する。
【0021】
この発明の第２の局面による振動ミラー素子では、上記のように、一対の梁部と一対の梁部の第１端部を支持する支持部とミラー部を揺動可能に支持するトーション部とを含む金属製の基板と、第２ミラー端部と、トーション部との間の位置において、一対の梁部と当接することにより、一対の梁部に伝達する振動を抑制するように構成されている振動抑制部とを備える。これにより、上記第１の局面における振動ミラー素子と同様に、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子全体の大きさを大型化することを抑制しつつ、ミラー部を安定して揺動させることができる。
【発明の効果】
【0022】
本発明によれば、上記のように、ミラー部の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子全体の大きさを大型化することを抑制しつつ、ミラー部を安定して揺動させることが可能な振動ミラー素子および光走査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】一実施形態による光走査装置の全体構成を示すブロック図である。
【図2】一実施形態による振動ミラー素子の斜視図である。
【図3】一実施形態による振動ミラー素子の平面図である。
【図4】一実施形態による振動ミラー素子を、揺動軸が延びる方向から見た模式図である。
【図5】一実施形態による振動抑制部が一対の梁部に当接する位置を説明するための模式図である。
【図6】一実施形態によるミラー部とミラー部配置部とを接合する位置を説明するための斜視図である。
【図7】一実施形態によるミラー配置部の構造を説明するための斜視図である。
【図8】一実施形態による基板に施された反射防止処理を説明するための斜視図である。
【図9】第１変形例によるミラー部配置部の構成を説明するための斜視図である。
【図10】第２変形例による振動ミラー素子の構成を説明するための斜視図である。
【図11】第３変形例による振動ミラー素子の構成を説明するための斜視図である。
【図12】第４変形例によるミラー部配置部の構成を説明するための斜視図である。
【図13】第５変形例によるミラー部およびミラー部配置部の構成を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0025】
【0026】
（光走査装置の構成）
本実施形態による光走査装置１００は、図１に示すように、光源１と、振動ミラー素子２と、制御部３と、を備えている。光走査装置１００は、投影面６０に対して、光を照射するように構成されている。
本実施形態による光走査装置１００は、図１に示すように、光源１と、振動ミラー素子２と、制御部３と、を備えている。光走査装置１００は、投影面６０に対して、光を照射するように構成されている。
【0027】
光源１は、光を出力するように構成されている。具体的には、光源１は、レンズなどを介して、振動ミラー素子２が備えるミラー部２０に照射するように構成されている。光源１は、たとえば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）または、ＬＤ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）などを含む。
【0028】
振動ミラー素子２は、駆動源２２が発生させた板波によってミラー部２０を揺動させながら、光源１から照射された光を、投影面６０に投影させるように、ミラー部２０により反射させるように構成されている。振動ミラー素子２の詳細な構成については、後述する。
【0029】
制御部３は、光源１によるレーザ光の照射を制御するように構成されている。具体的には、制御部３は、光源１から照射される青色のレーザ光、赤色のレーザ光および緑色のレーザ光の各々のタイミングの制御を行うように構成されている。
【0030】
また、制御部３は、光走査装置１００の各部を制御するように構成されている。制御部３は、投影面６０に対して投影する映像信号を、外部から取得するように構成されている。制御部３は、取得した映像信号に基づいて、光源１によるレーザ光の照射を制御するように構成されている。制御部３は、たとえば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのプロセッサを含んでいる。
【0031】
（振動ミラー素子の構成）
図２に示すように、振動ミラー素子２は、ミラー部２０と、基板２１と、駆動源２２と、振動抑制部と、保持部材２４と、を備える。なお、本明細書では、ミラー部２０の表面と直交する方向をＺ方向とし、上方向をＺ１方向、下方向をＺ２方向とする。また、Ｚ方向と直交する面内において互いに直交する２方向をそれぞれＸ方向およびＹ方向とする。Ｘ方向のうち、一方側をＸ１方向とし、他方側をＸ２方向とする。また、Ｙ方向のうち、一方側をＹ１方向とし、他方側をＹ２方向とする。
図２に示すように、振動ミラー素子２は、ミラー部２０と、基板２１と、駆動源２２と、振動抑制部と、保持部材２４と、を備える。なお、本明細書では、ミラー部２０の表面と直交する方向をＺ方向とし、上方向をＺ１方向、下方向をＺ２方向とする。また、Ｚ方向と直交する面内において互いに直交する２方向をそれぞれＸ方向およびＹ方向とする。Ｘ方向のうち、一方側をＸ１方向とし、他方側をＸ２方向とする。また、Ｙ方向のうち、一方側をＹ１方向とし、他方側をＹ２方向とする。
【0032】
ミラー部２０は、光源１から照射された光を反射するように構成されている。ミラー部２０は、矩形形状を有している。また、ミラー部２０は、たとえば、アルミ材により構成されている。本実施形態では、ミラー部２０は、基板２１とは別体で設けられている。具体的には、ミラー部２０は、ミラー部配置部２５に設けられている。なお、図２に示す例では、便宜上、ミラー部２０にハッチングを付して図示している。
【0033】
基板２１は、一対の梁部２１ａと、支持部２１ｂと、トーション部２１ｃとを含む。また、基板２１は、ミラー部２０が配置されるミラー部配置部２５を含む。基板２１は、たとえば、平板形状のステンレス鋼材により構成されている。
【0034】
一対の梁部２１ａは、第１端部１２１ａおよび第２端部１２１ｂを有している。また、第１端部１２１ａの各々は、支持部２１ｂに支持されている。本実施形態では、一対の梁部２１ａは、おもり部材２７を介して支持部２１ｂに支持されている。すなわち、第１端部１２１ａは、おもり部材２７と接続している部分である。また、第２端部１２１ｂは、一対の梁部２１ａのうち、第１方向（Ｙ方向）において、おもり部材２７に接続していない端部である。また、図２に示す例では、一対の梁部２１ａの第２端部１２１ｂ側には、保持部材２４に保持される保持部２１ｄが設けられている。なお、保持部２１ｄは、一対の梁部２１ａの一部である。
【0035】
図２に示す例では、一対の梁部２１ａの第２端部１２１ｂ側のＸ方向の幅を大きくすることにより、保持部２１ｄを形成している。また、保持部２１ｄは、たとえば、ビス止めされることにより、保持部材２４に保持される。そのため、保持部２１ｄには、Ｚ方向に貫通する貫通孔３０が設けられている。
【0036】
支持部２１ｂは、一対の梁部２１ａの各々の第１端部１２１ａを支持するように構成されている。また、支持部２１ｂには、駆動源２２が設けられている。具体的には、支持部２１ｂは、駆動源２２を支持する駆動源支持部２１ｅを有しており、駆動源２２は、駆動源支持部２１ｅに配置されている。駆動源支持部２１ｅは、駆動源２２と同様に、半円形状を有している。また、支持部２１ｂは、第１方向（Ｙ方向）において、一対の梁部２１ａを支持していない側の端部に、保持部２１ｆを有する。支持部２１ｂは、たとえば、ビス止めされことにより、保持部材２４に保持される。そのため、保持部２１ｆには、Ｚ方向に貫通する貫通孔３１が設けられている。
【0037】
トーション部２１ｃは、ミラー部２０を揺動可能に支持する。トーション部２１ｃは、ミラー部２０の表面に沿う方向において一対の梁部２１ａが延びる第１方向（Ｙ方向）と直交する第２方向（Ｘ方向）に延びる。また、トーション部２１ｃは、柱状形状を有している。また、トーション部２１ｃは、一対設けられている。一対のトーション部２１ｃの一方は、一対の梁部２１ａの一方と接続されており、他方のトーション部２１ｃは、他方の梁部２１ａに接続されている。また、一対のトーション部２１ｃの各々は、ミラー部配置部２５に接続されている。
【0038】
ミラー部配置部２５は、ミラー部２０が配置されるように構成されている。また、ミラー部配置部２５は、トーション部２１ｃを介して一対の梁部２１ａに接続されている。ミラー部配置部２５の詳細な構成については、後述する。
【0039】
駆動源２２は、ミラー部２０を揺動させる板波を発生させるように構成されている。駆動源２２は、たとえば、圧電素子を含む。圧電素子は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含む。図２に示す例では、駆動源２２として、半円形状を有するＰＺＴが基板２１に設けられている。
【0040】
振動抑制部は、一対の梁部２１ａに当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制するように構成されている。振動抑制部は、一対の梁部２１ａのうちの一方に当接することにより振動を抑制する第１振動抑制部２３ａと、第１振動抑制部２３ａとは個別に設けられ、一対の梁部２１ａのうちの他方に当接することにより振動を抑制する第２振動抑制部２３ｂとを含む。第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂの各々は、基板２１および保持部材２４とは別体で設けられている。第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂの各々は、梁部２１ａに当接する当接面１２３ａ（図４参照）を有する。第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂが一対の梁部２１ａに当接する位置などの詳細については、後述する。
【0041】
保持部材２４は、支持部２１ｂを保持するように構成されている。図２に示すように、保持部材２４は、支持部２１ｂのうち、第１方向（Ｙ方向）において、一対の梁部２１ａを支持していない側の端部に設けられた保持部２１ｆを保持する。また、保持部材２４は、一対の梁部２１ａの各々を保持するように構成されている。図２に示すように、保持部材２４は、一対の梁部２１ａのうち、保持部２１ｄを保持するように構成されている。
【0042】
また、図２に示すように、保持部材２４は、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置、または、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置よりも第２端部１２１ｂ側の位置において、一対の梁部２１ａの各々を保持するように構成されている。図２に示す例では、保持部材２４は、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置よりも第２端部１２１ｂ側の位置において、一対の梁部２１ａの各々を保持する。
【0043】
また、保持部材２４は、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂが載置される載置面２４ａを有している。載置面２４ａは、第１方向（Ｙ方向）に延びるように形成されている。なお、載置面２４ａは、保持部材２４のＺ１方向側の表面のうち、一対の梁部２１ａの下方（Ｚ２方向側）において、一対の梁部２１ａが延びる方向（Ｙ方向）に延びる部分である。
【0044】
図３に示すように、基板２１は、一対の梁部２１ａが、支持部２１ｂに支持されている。したがって、本実施形態では、基板２１は、平面視において、Ｕ字状形状を有する。また、図３には図示されていないが、保持部材２４も、基板２１と同様に、Ｕ字状形状を有する。
【0045】
また、駆動源２２または一対の梁部２１ａには、おもり部材２７が設けられている。図３に示すように、本実施形態では、一対の梁部２１ａのうち、第１端部１２１ａ側において、基板２１と一体的におもり部材２７が設けられている。具体的には、おもり部材２７は、第１端部１２１ａ側のＸ方向における大きさを大きくすることにより、基板２１に一体的に設けられている。
【0046】
また、本実施形態では、図３に示すように、ミラー部２０は、第１方向（Ｙ方向）におけるトーション部２１ｃから第２ミラー端部２０ｂまでの第１距離Ｄ１が、第１方向におけるトーション部２１ｃから第２端部１２１ｂまでの第２距離Ｄ２以上となるように構成されている。なお、本実施形態では、Ｙ方向におけるトーション部２１ｃの中心から第２ミラー端部２０ｂまでの間の長さを、第１距離Ｄ１としている。また、Ｙ方向におけるトーション部２１ｃの中心から第２端部１２１ｂまでの間の長さを、第２距離Ｄ２としている。
【0047】
また、トーション部２１ｃは、第２方向（Ｘ方向）において、ミラー部２０と重ならない位置において、ミラー部配置部２５に接続される。具体的には、トーション部２１ｃは、Ｘ方向における梁部２１ａからミラー部２０Ｘ方向の端部２０ｃまでの距離Ｄ３と、Ｘ方向におけるトーション部２１ｃの長さＤ４とが、等しくなる位置で、ミラー部配置部２５に接続されている。
【0048】
（ミラー部の揺動）
ミラー部２０は、図４に示すように、揺動軸Ａｘを中心として、所定の揺動角度Ｒとなるように、揺動される。本実施形態では、ミラー部２０は、駆動源２２が発生させる板波によって、揺動軸Ａｘの軸線周りに揺動される。具体的には、駆動源２２は、基板２１の面に平行な方向（ＸＹ平面に平行な方向）に伸縮することにより、基板２１をＺ方向に撓ませることによって板波を発生させる。駆動源２２によって発生された板波は、一対の梁部２１ａを介して、トーション部２１ｃに伝達される。トーション部２１ｃは、一対の梁部２１ａを介して伝達された板波によって捻れることにより、ミラー部配置部２５を揺動させる。ミラー部配置部２５は、トーション部２１ｃによって揺動されることにより、ミラー部２０を揺動させる。トーション部２１ｃは、駆動源２２が発生させる板波の腹部分、または、節部分の位置となるように配置される。なお、板波には、シンメトリーの板波と、アシンメトリーの板波とが含まれる。板波がシンメトリーの場合、振幅の極大点が腹部分であり、振幅の極小点が節部分である。また、板波がアシンメトリーの場合、変位が最大となる部分が腹部分であり、変位が最小となる部分が節部分である。
ミラー部２０は、図４に示すように、揺動軸Ａｘを中心として、所定の揺動角度Ｒとなるように、揺動される。本実施形態では、ミラー部２０は、駆動源２２が発生させる板波によって、揺動軸Ａｘの軸線周りに揺動される。具体的には、駆動源２２は、基板２１の面に平行な方向（ＸＹ平面に平行な方向）に伸縮することにより、基板２１をＺ方向に撓ませることによって板波を発生させる。駆動源２２によって発生された板波は、一対の梁部２１ａを介して、トーション部２１ｃに伝達される。トーション部２１ｃは、一対の梁部２１ａを介して伝達された板波によって捻れることにより、ミラー部配置部２５を揺動させる。ミラー部配置部２５は、トーション部２１ｃによって揺動されることにより、ミラー部２０を揺動させる。トーション部２１ｃは、駆動源２２が発生させる板波の腹部分、または、節部分の位置となるように配置される。なお、板波には、シンメトリーの板波と、アシンメトリーの板波とが含まれる。板波がシンメトリーの場合、振幅の極大点が腹部分であり、振幅の極小点が節部分である。また、板波がアシンメトリーの場合、変位が最大となる部分が腹部分であり、変位が最小となる部分が節部分である。
【0049】
また、図４に示すように、ミラー部２０とミラー部配置部２５とは、少なくとも２箇所において、弾性を有する接着剤２６によって接合されている。ミラー部２０とミラー部配置部２５とは、弾性を有する接着剤２６によって接合されているため、図４に示すように、Ｚ方向においてわずかに隙間が空いた状態で接合される。これにより、トーション部２１ｃが捻れた際に、トーション部２１ｃがミラー部２０に当接することを抑制することが可能となり、ミラー部２０を所定の揺動角度Ｒで安定して揺動させることができる。なお、図４は、断面を図示したものではなく、ミラー部２０、トーション部２１ｃ、ミラー部配置部２５、および、接着剤２６を識別しやすくするために、ハッチングを付している。
【0050】
（振動抑制部の当接位置）
次に、図５を参照して、振動抑制部が一対の梁部２１ａに当接する位置について説明する。振動抑制部は、第１方向（Ｙ方向）において、ミラー部２０の端部のうち、支持部２１ｂ側の第１ミラー端部２０ａとは反対側の第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置において、一対の梁部２１ａと当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制するように構成されている。具体的には、振動抑制部は、基板２１をＺ方向に揺動させる振動が一対の梁部２１ａに伝達することを抑制するように構成されている。
次に、図５を参照して、振動抑制部が一対の梁部２１ａに当接する位置について説明する。振動抑制部は、第１方向（Ｙ方向）において、ミラー部２０の端部のうち、支持部２１ｂ側の第１ミラー端部２０ａとは反対側の第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置において、一対の梁部２１ａと当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制するように構成されている。具体的には、振動抑制部は、基板２１をＺ方向に揺動させる振動が一対の梁部２１ａに伝達することを抑制するように構成されている。
【0051】
図５に示すように、第１振動抑制部２３ａは、Ｚ２方向側から一対の梁部２１ａのうち、Ｘ２方向側の梁部に当接する。この際、第１振動抑制部２３ａが梁部に当接する当接面１２３ａのうち、Ｙ１方向側の端部の当接部分１２３ｂが、第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置となるように、第１方向（Ｙ方向）における第１振動抑制部２３ａの位置が調整される。当接部分１２３ｂの位置は、ミラー部２０の大きさ、トーション部２１ｃの太さ、長さなどによって決定される。また、図５には図示していないが、第２振動抑制部２３ｂは、一対の梁部２１ａのうち、Ｘ１方向側の梁部に当接する。第２振動抑制部２３ｂについても、第１振動抑制部２３ａと同様に、位置が調整される。言い換えると、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂは、一対の梁部２１ａのうち、振動部分の長さ（当接部分１２３ｂから第１端部１２１ａまでの長さ）が調節されることにより、不要な振動モードの発生または強度を抑制するように構成されている。
【0052】
第１振動抑制部２３ａは、第１方向（Ｙ方向）におけるトーション部２１ｃから第１振動抑制部２３ａの第２端部１２１ｂ側の端部までの第３距離Ｄ５が、第１距離Ｄ１未満となるように構成されている。なお、本実施形態では、Ｙ方向におけるトーション部２１ｃの中心から第１振動抑制部２３ａの第２端部１２１ｂ側の端部までの間の長さを、第３距離Ｄ５としている。また、図５には図示していないが、第２振動抑制部２３ｂの第１方向（Ｙ方向）におけるトーション部２１ｃから第１振動抑制部２３ａの第２端部１２１ｂ側の端部までの距離も、第１距離Ｄ１未満となるように構成されている。
【0053】
（ミラー部とミラー部配置部との接合位置）
次に、図６を参照して、接着剤２６によるミラー部２０とミラー部配置部２５との接合位置について説明する。
次に、図６を参照して、接着剤２６によるミラー部２０とミラー部配置部２５との接合位置について説明する。
【0054】
接着剤２６は、少なくとも、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心から略等距離の２箇所において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合する。図６に示す例では、接着剤２６は、ミラー部２０の重心Ｇから略等距離の８箇所において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合している。具体的には、接着剤２６は、第１接合位置Ｐ１～第８接合位置Ｐ８の８箇所において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合している。
【0055】
図６に示す例では、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が互い等しい接合位置の接着剤２６に対して、接着剤２６の配置位置とミラー部２０の重心Ｇとを結ぶ破線上に共通の標識を付している。すなわち、第１標識４０ａが付された第１接合位置Ｐ１と、第８接合位置Ｐ８とが、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。また、第２標識４０ｂが付された第２接合位置Ｐ２と、第７接合位置Ｐ７とが、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。また、第３標識４０ｃが付された第３接合位置Ｐ３と、第６接合位置Ｐ６とが、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。また、第４標識４０ｄが付された第４接合位置Ｐ４と、第５接合位置Ｐ５とが、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。
【0056】
（ミラー部配置部の構成）
図７に示すように、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心を含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。図７に示す例では、基準面Ｒｐは、ＹＺ平面である。図７に示す例では、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の重心Ｇを含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。すなわち、ミラー部配置部２５は、基準面ＲｐよりもＸ１方向側の質量と、基準面ＲｐよりもＸ２方向側の質量とが、互いに等しくなるように、肉抜きが施されて梁状に形成されている。
図７に示すように、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心を含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。図７に示す例では、基準面Ｒｐは、ＹＺ平面である。図７に示す例では、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の重心Ｇを含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。すなわち、ミラー部配置部２５は、基準面ＲｐよりもＸ１方向側の質量と、基準面ＲｐよりもＸ２方向側の質量とが、互いに等しくなるように、肉抜きが施されて梁状に形成されている。
【0057】
具体的には、ミラー部配置部２５は、一対の第１梁部２５ａと、一対の第２梁部２５ｂと、第３梁部２５ｃとを含む。一対の第１梁部２５ａは、第１方向（Ｙ方向）に延びるように配置されている。また、一対の第２梁部２５ｂは、第２方向（Ｘ）方向に延びるように配置されている。また、第３梁部２５ｃは、一対の第２梁部２５ｂのうち、Ｙ１方向側に設けられた第２梁部２５ｂに設けられ、第１方向（Ｙ方向）に延びるように配置されている。トーション部２１ｃは、第２方向（Ｘ方向）において、ミラー部２０と重ならない位置において、一対の第１梁部２５ａに接続される。
【0058】
（反射防止処理）
図８に示すように、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面のうちの少なくともいずれかには、ミラー部２０によって反射される光の反射を防止する処理が施されている。図８に示す例では、ミラー部２０の近傍および駆動源２２の表面の両方に、反射防止処理が施されている。具体的には、本実施形態では、基板２１のうちの、一対の梁部２１ａ、トーション部２１ｃ、第３梁部２５ｃのうち、ミラー部２０と重なっていない部分、および、駆動源２２の表面に対して、反射防止処理が施されている。
図８に示すように、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面のうちの少なくともいずれかには、ミラー部２０によって反射される光の反射を防止する処理が施されている。図８に示す例では、ミラー部２０の近傍および駆動源２２の表面の両方に、反射防止処理が施されている。具体的には、本実施形態では、基板２１のうちの、一対の梁部２１ａ、トーション部２１ｃ、第３梁部２５ｃのうち、ミラー部２０と重なっていない部分、および、駆動源２２の表面に対して、反射防止処理が施されている。
【0059】
反射防止処理は、たとえば、ミラー部２０の近傍および駆動源２２の表面に対して、黒色の塗料を塗布する処理を含む。また、たとえば、ミラー部２０の近傍および駆動源２２の表面に対して、黒色の酸化被膜を形成することにより、反射防止処理を施してもよい。反射防止処理として黒色の酸化被膜を形成した場合、基板２１の機械的強度を向上させることができる。
【0060】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【0061】
本実施形態では、上記のように、振動ミラー素子２は、光を反射するミラー部２０と、第１端部１２１ａおよび第２端部１２１ｂを有する一対の梁部２１ａと、一対の梁部２１ａの各々の第１端部１２１ａを支持する支持部２１ｂと、ミラー部２０を揺動可能に支持するトーション部２１ｃと、を含む金属製の基板２１と、支持部２１ｂに設けられ、ミラー部２０を揺動させる板波を発生させる駆動源２２と、一対の梁部２１ａに当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、トーション部２１ｃは、ミラー部２０の表面に沿う方向において一対の梁部２１ａが延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、一対の梁部２１ａの各々に接続され、振動抑制部は、第１方向において、ミラー部２０の端部のうち、支持部２１ｂ側の第１ミラー端部２０ａとは反対側の第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置において、一対の梁部２１ａと当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制するように構成されている。
【0062】
これにより、一対の梁部２１ａの第１端部１２１ａが支持部２１ｂに支持されているため、枠状の基板に設けられた開口の内部にミラー部２０を配置する構成と異なり、ミラー部２０の大きさを大きくした場合でも、第２端部１２１ｂ側において基板２１にミラー部２０が当接することを抑制することができる。したがって、ミラー部２０を大きくしつつ、振動ミラー素子２全体が大型化することを抑制することができる。また、第２ミラー端部２０ｂとトーション部２１ｃとの間の位置において一対の梁部２１ａと当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制する振動抑制部を備えるため、ミラー部２０を揺動軸Ａｘの軸線周りに揺動させるための振動のみならず、ミラー部２０の表面と直交する方向（Ｚ方向）の振動がトーション部２１ｃを介してミラー部２０に伝達することを抑制することができる。したがって、ミラー部２０をＺ方向に揺動させる振動に起因して、ミラー部２０の揺動角度Ｒが所定の揺動角度範囲からずれることを抑制することができる。これらの結果、ミラー部２０の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子２全体の大きさが大型化することを抑制しつつ、ミラー部２０を安定して揺動させることができる。
【0063】
また、本実施形態では、上記のように、支持部２１ｂを保持するとともに、一対の梁部２１ａの各々を保持する保持部材２４をさらに備え、保持部材２４は、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置、または、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置よりも第２端部１２１ｂ側の位置において、一対の梁部２１ａの各々を保持するように構成されている。これにより、基板２１が支持部２１ｂおよび一対の梁部２１ａの第２端部１２１ｂ側において保持部材２４に保持されるので、基板２１が支持部２１ｂ材に片持ち状態で保持される構成とは異なり、基板２１自体が振動することを抑制することができる。その結果、基板２１自体が振動することに起因してミラー部２０の揺動の中心位置が移動することを抑制することが可能となるので、ミラー部２０をより安定して揺動させることができる。
【0064】
また、本実施形態では、上記のように、振動抑制部は、一対の梁部２１ａのうちの一方に当接することにより振動を抑制する第１振動抑制部２３ａと、第１振動抑制部２３ａとは個別に設けられ、一対の梁部２１ａのうちの他方に当接することにより振動を抑制する第２振動抑制部２３ｂとを含み、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂの各々は、基板２１および保持部材２４とは別体で設けられており、保持部材２４は、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂが載置される載置面２４ａを有し、載置面２４ａは、第１方向に延びるように形成されている。これにより、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂの位置を個別に調整することができる。その結果、一対の梁部２１ａの一方の梁部２１ａと他方の梁部２１ａとにおいて、不要な振動を抑制することが可能な位置に第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂを個別に配置することが可能となるので、ミラー部２０をより一層安定して揺動させることができる。
【0065】
また、本実施形態では、上記のように、ミラー部２０は、第１方向におけるトーション部２１ｃから第２ミラー端部２０ｂまでの第１距離Ｄ１が、第１方向におけるトーション部２１ｃから第２端部１２１ｂまでの第２距離Ｄ２以上となるように構成されている。これにより、一対の梁部２１ａの第２端部１２１ｂが、第２ミラー端部２０ｂよりもトーション部２１ｃから離れた位置に配置されることを抑制することができる。その結果、第１方向（Ｙ方向）において、第２端部１２１ｂが第２ミラー端部２０ｂよりも飛び出すことを抑制することが可能になるので、ミラー部２０を大きくしながら、第１方向における振動ミラー素子２の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0066】
また、本実施形態では、上記のように、振動抑制部は、第１方向におけるトーション部２１ｃから振動抑制部の第２端部１２１ｂ側の端部までの第３距離Ｄ５が、第１距離Ｄ１未満となるように構成されている。これにより、第１方向において、振動抑制部の第２端部１２１ｂ側の端部が、ミラー部２０の第２端部１２１ｂよりもトーション部２１ｃから離れた位置に配置されることを抑制することができる。その結果、第１方向における振動ミラー素子２の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0067】
また、本実施形態では、上記のように、ミラー部２０とミラー部配置部２５とは、少なくとも２箇所において、弾性を有する接着剤２６によって接合されている。これにより、たとえば、ミラー部２０とミラー部配置部２５とが異なる素材で構成され、互いの線膨張率が異なる場合でも、ミラー部２０およびミラー部配置部２５の線膨張率の違いによってミラー部２０に歪みが生じることを抑制することができる。その結果、ミラー部２０が歪むことにより、ミラー部２０によって走査される光の走査範囲が所定の走査範囲と異なる範囲になることを抑制することができる。
【0068】
また、本実施形態では、上記のように、接着剤２６は、少なくとも、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心から略等距離の２箇所において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合する。これにより、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心から略等距離の位置において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とが接合されるため、接合後の重量バランスが崩れることを抑制することができる。その結果、ミラー部２０を揺動させる際に、ミラー部２０とミラー部配置部２５との重量バランスが崩れることにより、不要な振動が生じることを抑制することが可能となるので、ミラー部２０を安定して揺動させることができる。
【0069】
また、本実施形態では、上記のように、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心を含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施されて梁状に形成されている。これにより、ミラー部配置部２５が肉抜きされておらず、平板形状を有する構成と比較して、ミラー部配置部２５を軽量化することができる。また、ミラー部２０の重心Ｇまたはミラー部２０の面の中心を含む基準面Ｒｐにおいて対称な質量となるように肉抜きが施されるので、肉抜き後のミラー部配置部２５の重量バランスが崩れることを抑制することができる。その結果、ミラー部２０を安定して揺動させつつ、ミラー部２０を所定の揺動角度Ｒで揺動させるために必要な電力を低減することができる。
【0070】
また、本実施形態では、上記のように、駆動源２２または一対の梁部２１ａには、おもり部材２７が設けられている。これにより、おもり部材２７を駆動源２２に設けた場合には、不要な振動を抑制することが可能となるため、駆動源２２から印加される振動が減衰することを抑制することができる。また、おもり部材２７を一対の梁部２１ａに設けた場合には、駆動源２２から印加される振動を増大させることが可能となるので、ミラー部２０の揺動角度Ｒを容易に大きくすることができる。
【0071】
また、本実施形態では、上記のように、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面のうちの少なくともいずれかには、ミラー部２０によって反射される光の反射を防止する処理が施されている。これにより、ミラー部２０に照射された光が、ミラー部２０近傍の基板２１、および、駆動源２２の表面のうち、少なくともいずれかによって反射されることが抑制される。したがって、ミラー部２０以外によって反射された光が走査光のノイズとなることを抑制することができる。
【0072】
また、本実施形態では、上記のように、光走査装置１００は、光を照射する光源１と、光源１から照射された光を反射するミラー部２０と、第１端部１２１ａおよび第２端部１２１ｂを有する一対の梁部２１ａと、一対の梁部２１ａの各々の第１端部１２１ａを支持する支持部２１ｂと、ミラー部２０を揺動可能に支持するトーション部２１ｃと、を含む金属製の基板２１と、支持部２１ｂに設けられ、ミラー部２０を揺動させる板波を発生させる駆動源２２と、一対の梁部２１ａに当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制する振動抑制部と、を備え、トーション部２１ｃは、ミラー部２０の表面に沿う方向において一対の梁部２１ａが延びる第１方向と直交する第２方向に延びるとともに、一対の梁部２１ａの各々に接続され、振動抑制部は、第１方向において、ミラー部２０の端部のうち、支持部２１ｂ側の第１ミラー端部２０ａとは反対側の第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置において、一対の梁部２１ａと当接することにより、一対の梁部２１ａに伝達する振動を抑制するように構成されている。これにより、上記振動ミラー素子２と同様に、ミラー部２０の大きさを大きくした場合でも、振動ミラー素子２全体の大きさを大型化することを抑制しつつ、ミラー部２０を安定して揺動させることが可能な光走査装置１００を提供することができる。
【0073】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【0074】
たとえば、上記実施形態では、トーション部２１ｃが、第２方向（Ｘ方向）において、ミラー部２０と重ならない位置でミラー部配置部２５と接続される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図９に示す第１変形例による振動ミラー素子１０２のように、トーション部２１ｃは、ミラー部２０と重なるように第２方向（Ｘ方向）に延びるように設けられており、第２方向におけるミラー部２０と重なる位置において、ミラー部配置部１２５と接続されている。
【0075】
第１変形例では、ミラー部配置部１２５は、一対の第１梁部１２５ａと、一対の第２梁部１２５ｂと、一対の第３梁部１２５ｃと、一対の第４梁部１２５ｄと、第５梁部１２５ｅとを含む。一対の第１梁部１２５ａ、一対の第３梁部１２５ｃ、および、一対の第４梁部１２５ｄの各々は、第１方向（Ｙ方向）に延びるように配置されている。また、一対の第２梁部１２５ｂは、第２方向（Ｘ）方向に延びるように配置されている。一対の第１梁部１２５ａは、Ｙ１方向側の端部が一対の第２梁部１２５ｂのうち、Ｙ２方向側に設けられた第２梁部１２５ｂと接続している。また、一対の第３梁部１２５ｃは、一対の第２梁部１２５ｂの各々と接続している。また、一対の第３梁部１２５ｃは、Ｙ２方向側の端部が、Ｙ１方向側に設けられた第２梁部１２５ｂと接続している。
【0076】
第３梁部１２５ｃは、第１梁部１２５ａおよび第４梁部１２５ｄよりも、ミラー部２０の内側に配置されている。具体的には、Ｘ１方向側に設けられている第３梁部１２５ｃは、Ｘ１方向側に設けられている第１梁部１２５ａおよび第４梁部１２５ｄよりも、Ｘ２方向側で、かつ、ミラー部２０の第２方向（Ｘ方向）の中心を通り、第１方向（Ｙ方向）に延びる中心線ＣｘよりもＸ１方向側の位置に設けられている。また、Ｘ２方向側に設けられている第３梁部１２５ｃは、Ｘ２方向側に設けられている第１梁部１２５ａおよび第４梁部１２５ｄよりも、Ｘ１方向側で、かつ中心線Ｃｘの位置よりもＸ２方向側の位置に設けられている。
【0077】
また、第４梁部１２５ｄは、一対の第２梁部１２５ｂのうち、Ｙ１方向側に設けられた第２梁部１２５ｂに設けられ、第１方向（Ｙ方向）に延びるように配置されている。トーション部２１ｃは、一対の第３梁部１２５ｃに接続される。
【0078】
第１変形例では、上記のように、ミラー部２０は、基板２１とは別体で設けられ、基板２１は、トーション部２１ｃと接続し、ミラー部２０が配置されるミラー部配置部１２５をさらに含み、トーション部２１ｃは、ミラー部２０と重なるように第２方向（Ｘ方向）に延びるように設けられており、第２方向におけるミラー部２０と重なる位置において、ミラー部配置部１２５と接続されている。これにより、トーション部２１ｃが第２方向においてミラー部２０と重なる位置においてミラー部配置部１２５と接続されているため、ミラー部２０の揺動角度Ｒを大きくするために、第２方向におけるトーション部２１ｃの長さを大きくする場合でも、第２方向における基板２１の大きさが大きくなることを抑制することができる。その結果、第２方向における振動ミラー素子２の大きさが大型化することを抑制することができる。
【0079】
また、上記実施形態では、第１振動抑制部２３ａと第２振動抑制部２３ｂとが別体である構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第１振動抑制部２３ａと第２振動抑制部２３ｂとは、一体形成されていてもよい。
【0080】
また、上記本実施形態では、基板２１と保持部材２４とが別体である構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１０に示す第２変形例による振動ミラー素子２０２のように、基板と保持部材とが一体的に形成されていてもよい。具体的には、保持部２１ｆを曲げ加工することにより、保持部２１ｇを形成してもよい。なお、図１０に示す例では、保持部２１ｇは、枠状形状を有している。また、保持部２１ｄを曲げ加工することにより、保持部２１ｈを形成してもよい。なお、保持部２１ｈは、第１振動抑制部２３ａおよび第２振動抑制部２３ｂを載置する載置面２４ａを有する。
【0081】
また、上記本実施形態では、おもり部材２７を、一対の梁部２１ａの第１端部１２１ａ側に設ける構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１１に示す第３変形例による振動ミラー素子３０２のように、おもり部材１２７は、駆動源３２２の近傍に設けられてもよい。図１１に示す例では、駆動源３２２は、三角形形状を有している。また、第３変形例では、支持部２１ｂは、上記実施形態と同様の形状を有している。第３変形例では、駆動源３２２を支持する駆動源支持部２１ｅのうち、駆動源３２２が配置されていない部分をおもり部材１２７として用いている。
【0082】
また、上記本実施形態では、ミラー部配置部２５が、一対の第１梁部２５ａと、一対の第２梁部２５ｂと、第３梁部２５ｃとを有する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１２に示す第５変形例による振動ミラー素子４０２のように、ミラー部配置部４２５は、一対の第１梁部４２５ａのみを有していてもよい。
【0083】
また、上記本実施形態では、ミラー部２０が矩形形状を有する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１３に示す第５変形例による振動ミラー素子５０２のように、ミラー部５２０は、矩形形状以外の形状を有していてもよい。ミラー部５２０が矩形形状以外の形状を有する場合でも、ミラー部５２０と、ミラー部配置部５２５とは、ミラー部５２０の重心Ｇからの距離が互い等しい位置において接合すればよい。
【0084】
図１３に示す例では、第９接合位置Ｐ９～第１５接合位置Ｐ１５において、ミラー部５２０とミラー部配置部５２５とが接合されている。第５変形例においても、ミラー部２０の重心Ｇからの距離が等しい位置にある接着剤２６とミラー部２０の重心Ｇとを結ぶ破線上に、共通の標識を付している。第５標識４０ｅが付された第９接合位置Ｐ９と、第１２接合位置Ｐ１２とは、ミラー部５２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。また、第６標識４０ｆが付された第１１接合位置Ｐ１１と、第１４接合位置Ｐ１４とは、ミラー部５２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。また、第７標識４０ｇが付された第１３接合位置Ｐ１３と、第１５接合位置Ｐ１５とは、ミラー部５２０の重心Ｇからの距離が互いに等しい接合位置である。
【0085】
なお、図１３に示す第５変形例では、第９接合位置Ｐ９および第１０接合位置Ｐ１０が、基準面Ｒｐからの距離が互いに等しいため、第８標識４０ｈが付されている。また、第１１接合位置Ｐ１１および第１４接合位置Ｐ１４についても、基準面Ｒｐからの距離が互いに等しいため、第８標識４０ｈが付されている。
【0086】
また、上記実施形態では、振動抑制部が当接面１２３ａを有し、梁部２１ａと面接触する構成例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、振動抑制部は、梁部２１ａと点接触するように構成されていてもよい。振動抑制部が梁部２１ａと点接触する構成の場合でも、振動抑制部が梁部２１ａと接触する位置を、第２ミラー端部２０ｂと、トーション部２１ｃとの間の位置となるようにすればよい。
【0087】
また、上記実施形態では、振動抑制部が基板２１および保持部材２４とは別体で構成される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、振動抑制部は、基板２１または保持部材２４と一体的に形成されていてもよい。振動抑制部が基板２１と一体的に形成される場合、一対の梁部２１ａの第２端部１２１ｂ側の第２方向（Ｘ方向）における大きさを変えることにより、振動を抑制することができる。そのため、たとえば、上記実施形態における保持部２１ｄを、振動抑制部としてもよい。また、振動抑制部が保持部材２４と一体的に形成される場合、基板２１を固定する部分のうち、Ｙ１方向側の端部を、振動抑制部とすればよい。
【0088】
また、上記実施形態では、保持部材２４が、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置よりも第２端部１２１ｂ側の位置において、一対の梁部２１ａの各々を保持する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、保持部材２４は、振動抑制部が一対の梁部２１ａと当接する位置において、一対の梁部２１ａの各々を保持する用意構成されていてもよい。
【0089】
また、上記実施形態では、振動抑制部が、第１振動抑制部２３ａと第２振動抑制部２３ｂとを含む構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、１つの振動抑制部が、一対の梁部２１ａの両方に当接することにより、一対の梁部２１ａの振動を抑制するように構成されていてもよい。
【0090】
また、上記実施形態では、第１距離Ｄ１と第２距離Ｄ２とが等しい構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第２距離Ｄ２が第１距離Ｄ１よりも小さくなるように、基板２１を構成してもよい。
【0091】
また、上記実施形態では、第３距離Ｄ５が第１距離Ｄ１よりも小さくなる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第３距離Ｄ５が第１距離Ｄ１と等しくなるように、振動抑制部が構成されていてもよい。
【0092】
また、上記実施形態では、接着剤２６が、８箇所の接合位置において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。２箇所以上の接合箇所でミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合すれば、接着剤２６による接合箇所は何箇所であってもよい。
【0093】
また、上記実施形態では、接着剤２６が、ミラー部２０の重心Ｇから略等距離の接合位置において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、接着剤２６は、ミラー部２０の面の中心から略等距離の接合位置において、ミラー部２０とミラー部配置部２５とを接合してもよい。
【0094】
また、上記実施形態では、ミラー部配置部２５が、ミラー部２０の重心Ｇを含む基準面Ｒｐにおいて、対称な質量となるように肉抜きが施された構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ミラー部配置部２５は、ミラー部２０の面の中心を含む基準面において、対称な質量となるように肉抜きが施されていてもよい。
【0095】
また、上記実施形態では、おもり部材２７が基板２１と一体的に形成されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、おもり部材２７は、基板２１とは別体で構成されており、基板２１に配置される構成でもよい。
【0096】
また、上記実施形態では、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面に反射防止処理が施されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面に反射防止処理が施されていなくてもよい。しかしながら、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面に反射防止処理が施されていない場合、ミラー部２０以外で反射した光が、ノイズとなるため、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面のうち、少なくともいずれかには、反射防止処理を施していることが好ましい。なお、ミラー部２０以外で光が反射することをより抑制するためには、基板２１のうちのミラー部２０の近傍、および、駆動源２２の表面に反射防止処理を施すことがより好ましい。
【0097】
また、上記実施形態では、基板２１がＵ字状形状を有する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。一対の梁部２１ａの第１端部１２１ａが支持部２１ｂに支持されていれば、基板２１はＵ字状形状以外の形状を有していてもよい。
【符号の説明】
【0098】
１ 光源
２、１０２、２０２、３０２、４０２、５０２ 振動ミラー素子
２０ ミラー部
２０ａ 第１ミラー端部
２０ｂ 第２ミラー端部
２１ 基板
２１ａ 一対の梁部
２１ｂ 支持部
２１ｃ トーション部
２２ 駆動源
２３ａ 第１振動抑制部（振動抑制部）
２３ｂ 第２振動抑制部（振動抑制部）
２４ 保持部材
２４ａ 載置面
２５、１２５、４２５、５２５ ミラー部配置部
２６ 接着剤
２７、１２７ おもり部材
１００ 光走査装置
１２１ａ 第１端部（梁部の第１端部）
１２１ｂ 第２端部（梁部の第２端部）
Ｄ１ 第１距離
Ｄ２ 第２距離
Ｄ５ 第３距離
Ｇ ミラー部の重心
Ｒｐ 基準面
２、１０２、２０２、３０２、４０２、５０２ 振動ミラー素子
２０ ミラー部
２０ａ 第１ミラー端部
２０ｂ 第２ミラー端部
２１ 基板
２１ａ 一対の梁部
２１ｂ 支持部
２１ｃ トーション部
２２ 駆動源
２３ａ 第１振動抑制部（振動抑制部）
２３ｂ 第２振動抑制部（振動抑制部）
２４ 保持部材
２４ａ 載置面
２５、１２５、４２５、５２５ ミラー部配置部
２６ 接着剤
２７、１２７ おもり部材
１００ 光走査装置
１２１ａ 第１端部（梁部の第１端部）
１２１ｂ 第２端部（梁部の第２端部）
Ｄ１ 第１距離
Ｄ２ 第２距離
Ｄ５ 第３距離
Ｇ ミラー部の重心
Ｒｐ 基準面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】