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遅延光学系に利用可能な遅延ミラー、及びこれを有する遅延ミラーシステム

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述の４つのミラーによる遅延光学系は、遅らせたい波長の光の光路と、これと波長の異なる光の光路とを分けなければならず、複雑になる。又、これらの遅延光学系では、複数のミラーの正確な配置に加え、ディレイステージの精緻な移動制御が必要とされるため、設置及び微調整が難しい。 又、上述のペンタゴンプリズム構造体による遅延光学系においても、結局ペンタゴンプリズム構造体で光路長を延ばすことで遅延させるため、４つのミラーによるものと同様に、分割が必要になるし、ペンタゴンプリズム構造体等の設置及び微調整が困難である。 加えて、フェムト秒パルスの場合、ガラスの内部を通過すると、その屈折率分散の影響により、パルス幅が変化することに注意が必要である。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、遅延ミラーにおいて、基材と、前記基材の表面に形成された光学多層膜と、を備えており、前記光学多層膜に係る４０ｎｍ以上の波長幅を有する第１の波長帯の全域における群速度遅延ＧＤの全ての値が、前記光学多層膜に係る１００ｎｍ以上の波長幅を有する第２の波長帯の全域における群速度遅延ＧＤの全ての値と相違しており、前記第１の波長帯及び前記第２の波長帯のうちの一・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の主な効果は、遅らせたい光の光路及びこれと異なる波長の光の光路を分けずに同軸で遅延可能である遅延光学系を実現する遅延ミラーが提供されることである。
又、本発明の別の主な効果は、シンプルであり、設置及び微調整が容易である遅延光学系を実現する遅延ミラーが提供されることである。
更に、本発明の別の主な効果は、上述の遅延ミラーを有しており、遅延時間を簡単に調整可能な遅延光学系を実現する遅延ミラーシステムが提供されることである。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明に係る遅延ミラーの模式図である。
【図2】 本発明に係る遅延ミラーシステムの模式図である。
【図3】 本発明の実施例１－１に係る各層の物理膜厚が示されるグラフである。
【図4】 本発明の実施例１－２に係る各層の物理膜厚が示されるグラフである。
【図5】 実施例１－１，１－２に係る、３００ｎｍ～９００ｎｍの波長域（横軸：波長［ｎｍ］）における分光反射率分布（縦軸：反射率［％］）が示されるグラフである。
【図6】 実施例１－１，１－２に係る、同様の波長域における群速度遅延ＧＤ（縦軸，［ｆｓ］）が示されるグラフである。
【図7】 実施例１－１，１－２に係る、同様の波長域における群速度遅延分散ＧＤＤ（縦軸，［ｆｓ２］）が示されるグラフである。
【図8】 実施例２－１に係る図４同様図である。
【図9】 実施例２－２に係る図４同様図である。
【図10】 実施例２－１，２－２に係る図５同様図である。
【図11】 実施例２－１，２－２に係る図６同様図である。
【図12】 実施例２－１，２－２に係る図７同様図である。
【図13】 実施例３に係る図４同様図である。
【図14】 実施例３に係る図５同様図である。
【図15】 実施例３に係る図６同様図である。
【図16】 実施例３に係る図７同様図である。
【図17】 実施例４に係る図４同様図である。
【図18】 実施例４に係る図５同様図である。
【図19】 実施例４に係る図６同様図である。
【図20】 実施例４に係る図７同様図である。
【図21】 実施例５に係る図４同様図である。
【図22】 実施例５に係る図５同様図である。
【図23】 実施例５に係る図６同様図である。
【図24】 実施例５に係る図７同様図である。
【図25】 実施例６に係る図４同様図である。
【図26】 実施例６に係る図５同様図である。
【図27】 実施例６に係る図６同様図である。
【図28】 実施例６に係る図７同様図である。
【図29】 実施例７の遅延ミラー（分散補償機能付き）を一対有するレーザーシステムの模式図である。
【図30】 実施例７に係る図４同様図である。
【図31】 実施例７に係る図５同様図である。
【図32】 実施例７に係る図６同様図である。
【図33】 実施例７に係る図７同様図である。
【図34】 実施例８に係る図４同様図である。
【図35】 実施例８に係る図５同様図である。
【図36】 実施例８に係る図６同様図である。
【図37】 実施例８に係る図７同様図である。
【図38】 実施例９に係る図４同様図である。
【図39】 実施例９に係る図５同様図である。
【図40】 実施例９に係る図６同様図である。
【図41】 実施例９に係る図７同様図である。
【図42】 実施例１０に係る図４同様図である。
【図43】 実施例１０に係る図５同様図である。
【図44】 実施例１０に係る図６同様図である。
【図45】 実施例１０に係る図７同様図である。
【図46】 実施例１１に係る図４同様図である。
【図47】 実施例１１に係る図５同様図である。
【図48】 実施例１１に係る図６同様図である。
【図49】 実施例１１に係る図７同様図である。
【図50】 実施例１２に係る図４同様図である。
【図51】 実施例１２に係る図５同様図である。
【図52】 実施例１２に係る図６同様図である。
【図53】 実施例１２に係る図７同様図である。
【図54】 実施例１３に係る図４同様図である。
【図55】 実施例１３に係る図５同様図である。
【図56】 実施例１３に係る図６同様図である。
【図57】 実施例１３に係る図７同様図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１・・遅延ミラー、２・・基材、４・・光学多層膜、１１・・遅延ミラーシステム、１２・・移動機構（遅延ミラー移動機構）、ＢＢＯ・・非線形光学結晶、Ｒ・・表面。

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