特許7449747イオン源ガス配管構造およびイオン源ガス配管システム

発明の名称　イオン源ガス配管構造およびイオン源ガス配管システム

出願人　住友重機械工業株式会社　（識別番号 2107）

　　　　特許公開件数ランキング 105 位（280件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 119 位（225件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7449747

公報発行日　2024年3月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7449747

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