特許 7450015 個別に制御可能なファンを備える真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-06

(45)【発行日】2024-03-14

(54)【発明の名称】個別に制御可能なファンを備える真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04C 29/04 20060101AFI20240307BHJP

【ＦＩ】

F04C29/04 E

【請求項の数】 7

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2022211122

(22)【出願日】2022-12-28

(65)【公開番号】P2023184405

(43)【公開日】2023-12-28

【審査請求日】2023-02-09

(31)【優先権主張番号】22179625

(32)【優先日】2022-06-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】520415627

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100191835

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真介

(74)【代理人】

【識別番号】100221981

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 大成

(72)【発明者】

【氏名】ガーブリエール・ベルクマン

(72)【発明者】

【氏名】ヤニク・ゲルマン

(72)【発明者】

【氏名】トーマス・クロム

(72)【発明者】

【氏名】ゲルノート・ベルンハルト

【審査官】山崎 孔徳

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－１５１１２５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｃ ２９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも１つのポンプ段（５６）と、ポンプ段（５６）に駆動接続された第１の電動モータ（５０）とを備えた、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプにおいて、
真空ポンプは、真空ポンプを冷却するための、第２の電動モータ（６８）によって駆動される少なくとも１つのファン（６６）を更に備え、
少なくとも１つのポンプ段（５６）は、ポンプハウジング（５４）内に収容されていて、第１の電動モータ（５０）は、ポンプハウジング（５４）の軸方向の延長部に延在するモータハウジング（５２）内に収容されていて、ポンプハウジング（５４）とモータハウジング（５２）との両方が、それぞれ第１の端部と、第１の端部とは軸方向で反対側に位置する第２の端部とを有し、ポンプハウジング（５４）の第１の端部は、少なくとも間接に、モータハウジング（５２）の第１の端部に接続されていて、前記少なくとも１つのファン（６６）のうちの１つのファン（６６）は、ポンプハウジング（５４）の第２の端部に取り付けられてる、及び／又は前記少なくとも１つのファン（６６）のうちの１つのファン（６６）は、モータハウジング（５２）の第２の端部に取り付けられている、真空ポンプ。

【請求項2】

少なくとも１つのポンプ段（５６）は、ポンプシャフト（５８）を有し、第１の電動モータ（５０）は、第１の電動モータ（５０）と一体に構成された第１のモータシャフト（６０）を有する、請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

第２の電動モータ（６８）は、第１のモータシャフト（６０）とポンプシャフト（５８）とのいずれにも接続されていない第２のモータシャフト（７０）を有する、請求項１又は２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記少なくとも１つのファン（６６）の各ファン（６６）は、第２の電動モータ（６８）と共に、各々の第２の端部に取り付けられた各々のファンフード（７２）内に収容されている、請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

単一の周波数変換器（６４）を更に備え、周波数変換器（６４）は、前記少なくとも１つのファン（６６）の第２の電動モータ（６８）を、第１の電動モータ（５０）から独立して制御し、特に、周波数変換器（６４）は、さらに、ファン（６６）の第２の電動モータ（６８）を、別のファン（６６）の第２の電動モータ（６８）から独立して制御するようにもなっている、請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

周波数変換器（６４）は、単一の電流入力と、互いに独立して制御可能な複数の電流出力（７４、７６、７８）とを有し、第１の電動モータ（５０）は、複数の電流出力（７４、７６、７８）のうちの１つに接続されていて、各第２の電動モータ（６８）は、複数の電力出力（７４、７６、７８）のうちの別の１つに接続されている、請求項５に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

制御ユニット（９０）を更に備え、制御ユニット（９０）は、周波数変換器（６４）を、特に周波数変換器（６４）の電流出力（７４、７６、７８）を制御し、制御ユニット（９０）は、制御ユニット（９０）が前記少なくとも１つのファン（６６）の各々の第２の電動モータ（６８）が接続された、周波数変換器（６４）の電流出力（７６、７８）を、第１の電動モータ（５０）の消費電力、周波数変換器（６４）の、特に周波数変換器（６４）のパワーエレクトロニクスの温度、電動モータ（５０）の温度及び／又は少なくとも１つのポンプ段（５６）の温度に依存して制御するように、調整されている、請求項５又は６に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、少なくとも１つのポンプ段と、ポンプ段に駆動接続された第１の電動モータとを備える、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

このようなロータリーベーン真空ポンプでは、ポンプ段のポンプシャフトが、通常、着脱自在に電動モータのモータシャフトに接続されていて、これにより、電動モータによって駆動できるようになる。一方、モータシャフトの自由端部には、ファンが組み付けられていて、ファンによって、電動モータをポンプの運転中に冷却できる。これに対応して、ポンプシャフトの自由端部には、同様にファンが組み付けられてよく、その結果、ファンによって、ポンプの運転中、ポンプ段の冷却もできる。

【0003】

しかし、ファンを、記載の形でモータシャフト又はポンプシャフトに組み付けられるようにするには、これらのシャフトをモータハウジング又はポンプハウジングから外へガイドしなければならず、そのために、各々のシャフトは、比較的摩耗しやすく保守が集中的なシャフト導通部によって、各々のハウジングに対して動的にシールしなければならない。その上、別の欠点として、この既知のファン構想では、ポンプが実際に運転しているときにしか、各々のファンが、電動モータ又はポンプ段を冷却できない。これに加えて、さらに、ファンがそれぞれ付属のシャフト上に組み付けられているという事実に基づいて、各々のファンは、ポンプの運転から独立して制御できない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

したがって、本発明の基礎を成す課題は、前述の形態の真空ポンプの保守に係る手間を減らせ、その際、付加的に、ポンプ運転から独立した真空ポンプの冷却に寄与すべき、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプのためのファンの構想を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプによって、特に、真空ポンプが、ポンプ段を駆動する第１の電動モータに対して付加的に、真空ポンプを冷却するためのファンを駆動する少なくとも１つの第２の電動モータを備えることによって解決される。要するに、第２の電動モータは、第１のモータシャフトにもポンプシャフトにも接続されていない第２のモータシャフトを有する。換言すると、第２の電動モータは、ポンプ段を駆動する第１の電動モータから電気的に及び機械的に分離されている。

【0006】

したがって、少なくとも１つのファンと、特にこのファンを駆動する第２の電動モータとは、第１の電動モータとは独立して制御でき、これにより、例えば真空ポンプをその遮断後に引き続き冷却することが可能となる。同様に、真空ポンプは、真空ポンプの運転中、第１の電動モータの回転数に依存せずに冷却できる。そこで、例えば、真空ポンプの運転中、真空ポンプの温度が過剰に上昇すると、第２の電動モータは、第１の電動モータよりも高い回転数で作動でき、これにより、真空ポンプを、対応するファンが従来の形で固定にモータシャフト及び／又はポンプシャフトに組み付けられているときよりも強く冷却することが可能となる。

【0007】

さらに、少なくとも１つのファンが第１の電動モータのモータシャフトによって駆動されないという事実に基づいて、各々のハウジングに対してモータシャフト又はポンプシャフトをシールして、各々のファンをその上に取り付けられるようにするための、保守の集中的なシャフト導通部が必要でない。したがって、そのようなシャフト導通部を省くことによって、ポンプの保守に掛かる手間を所望の形で低減できる。

【0008】

さらに、シャフト導通部のための動的なシールが必要にならないという事実に基づいて、ポンプの気密性が高まり、これにより、達成されるべき最終圧力をより確実でより迅速に到達できる。

【0009】

さらに、少なくとも１つのファンが、ポンプ段を駆動する第１の電動モータの回転数に依存せずに制御されるという事実に基づいて、ファンが固定にポンプシャフトに及び／又は第１の電動モータのモータシャフトに組み付けられた従来の真空ポンプと比較して、真空ポンプの効率を向上できる。

【0010】

以下、本発明の好ましい実施形態について述べる。別の実施形態は、従属請求項、図面の説明及び図面自体からも明らかである。

【0011】

したがって、一実施形態によれば、ポンプシャフトがモータシャフトと一体に構成されている、ことが想定され得る。このことは、従来の真空ポンプとは異なり、本発明によれば、シャフト導通部が不要となることによって実現される。すなわち、シャフト導通部を組み付けできるようにするために、従来の真空ポンプでは、組付け技術的な理由から、ポンプシャフトをモータシャフトに着脱自在に接続する必要がある。したがって、本発明によればこのようなシャフト導通部が省かれているので、ポンプシャフトと第１の電動モータのモータシャフトとは、互いに一体に形成可能である。ただし、必要に応じて、本発明に係る真空ポンプでも、ポンプシャフトと第１の電動モータのモータシャフトとは、互いに着脱自在に接続されてもよい。

【0012】

別の一実施形態によれば、少なくとも１つのポンプ段が、ポンプハウジング内に収容されていて、ポンプ段を駆動する第１の電動モータが、モータハウジング内に収容されていて、モータハウジングは、ポンプハウジングの軸方向の延長部に延在する、ことが想定され得る。この場合、ポンプハウジングとモータハウジングとの両方は、それぞれ、第１の端部と、第１の端部に軸方向で反対側に位置する第２の端部とを有し、この場合、ポンプハウジングの第１の端部は、少なくとも間接にモータハウジングの第１の端部に接続されている。要するに、ポンプハウジングとモータハウジングとは、本質的に軸方向の延長部に互いに対して同軸に配置されているので、ファンをポンプハウジングの第２の端部に設けて、そこに固定できる。これに対して付加的に又は代替的に、（別の）ファンがモータハウジングの第２の端部に設けられていて、そこに固定されている、ことが想定され得る。したがって、ファンは、モータハウジングにおけるポンプハウジングの組付けが行われた後で、最終組付けの枠内で、真空ポンプの各々のハウジングに固定できる。

【0013】

したがって、ファンは、最終組付けの枠内でようやくユニットとして真空ポンプに、そして特にポンプハウジングに又はモータハウジングに取り付けられる、事前製作された構成要素として利用できる。そのために、少なくとも１つのファンの各ファンは、その第２の電動モータを含めて、真空ポンプの最終組付けの枠内でポンプハウジング又はモータハウジングの各々の第２の端部に取り付けられる、それぞれある種のハウジングとして用いられるファンフードに収容されてよい。

【0014】

少なくとも１つのファンの第２の電動モータは、例えば周波数変換器などの、特にそのために設けられた制御モジュールによって制御できる。別の実施形態によれば、第１の電動モータを制御する周波数変換器によって、特に第１の電動モータから独立して、少なくとも１つのファンの第２の電動モータも通電される、ことが想定され得る。

【0015】

この場合、好ましい形では、特に、周波数変換器が、他方のファンの第２の電動モータから独立して、一方のファンの第２の電動モータも制御する、ことが想定され得る。したがって、両方のファンは、第１の電動モータから独立して通電できるだけでなく、互いに独立した通電もできる。したがって、周波数変換器は、単一の電流入力と、閉じた制御回路の枠内で互いに独立して制御可能な複数の電流出力とを有し得、この場合、第１の電動モータは、複数の電流出力のうちの１つに接続されていて、一方、各々のファンの各第２の電動モータは、複数の電流出力のうちの別の１つに接続されている。

【0016】

特に閉じた制御回路の枠内で、個々のファンを必要に応じて互いに独立して制御できるように、制御ユニットが更に設けられてよく、制御ユニットは、周波数変換器を、そして特に周波数変換器の電流出力を制御し、その際、制御ユニットは、これが、少なくとも１つのファンの各々の第２の電動モータが接続された、周波数変換器の電流出力を、第１の電動モータの電力消費、周波数変換器の、特に周波数変換器のパワーエレクトロニクスの温度、電動モータの温度及び／又は少なくとも１つのポンプ段の温度に依存して制御するように、調整されてよい。

【0017】

そのために、第１の電動モータの消費電力を監視し、制御ユニットにフィードバックできるので、第１の電動モータの消費電力が所定の上限の閾値を上回ると直ちに、制御ユニットは、各々のファン又はファンの第２の電動モータを最大回転数で作動できる。一方、第１の電動モータの消費電力が下限の閾値を下回ると、制御ユニットは、各々のファン又はファンの第２の電動モータを最小回転数で作動できる。これらの２つの閾値の間で、制御ユニットは、例えば第１の電動モータの消費電力とその都度のモータ回転数との間の線形の関係に基づいて、第１の電動モータの消費電力の大きさに依存して、各々の第２の電動モータ、又は少なくとも１つのファンの各々の第２の電動モータが接続された、周波数変換器の各々の電流出力を制御できる。

【0018】

適切な形で、周波数変換器の、特に周波数変換器のパワーエレクトロニクスの温度、第１の電動モータの温度及び／又は少なくとも１つのポンプ段の温度は、各々の温度センサによって監視でき、その際、そのように監視される温度は、制御ユニットにフィードバックできるので、制御ユニットは、各々の第２の電動モータ、又は少なくとも１つのファンの各々の第２の電動モータが接続された、周波数変換器の各々の電流出力を、監視されるその都度の温度に依存して制御できる。そのために、その都度の温度は、制御ユニットにフィードバックできるので、監視されるその都度の温度が所定の上限の温度閾値を上回ると直ちに、制御ユニットは、各々のファン又はファンの第２の電動モータを最大回転数で作動できる。一方、監視されるその都度の温度が下限の温度閾値を下回ると、制御ユニットは、各々のファン又はファンの第２の電動モータを最小回転数で作動できる。これら２つの温度閾値の間で、制御ユニットは、各々の第２の電動モータ、又は少なくとも１つのファンの各々の第２の電動モータが接続された、周波数変換器の各々の電流出力を、例えば監視されるその都度の温度と各々のモータ回転数との間の線形の関係に基づいて、監視されるその都度の温度の値に依存して制御できる。監視されるその都度の温度のうちの１つの温度が上限の温度閾値を上回ると直ちに、各々のファン又はファンの第２の電動モータが、最大回転数で作動させられる。

【0019】

ここに開示するような本発明による配置構造によって、特に、真空ポンプの任意の運転時に、冷却能力は、ポンプ回転数に依存せずに設定可能である。要するに、必要とされるとき、必要に応じて冷却を行うことができ、その際、例えばポンプが低速で回転しているときでも高い冷却能力を発揮できる。しかも、的確に冷却を制限できることも有利である。したがって、例えばポンプの始動時の比較的僅かな冷却によって、より迅速に運転温度に到達できる。冷却を意図的に低下させることによって、運転音の低下や、運転休止時の低下した回転数でポンプを運転するときの運転温度の維持も達成できる。本開示に記載されたこのような手段及び他の手段、つまり真空ポンプを運転する方法は、それぞれ独立した発明の対象を成す。これにより、これらの対象について、それぞれ別個の権利保護が要求される。

【0020】

以下、本発明を、添付の図面を参照して純然たる例として説明する。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】横断面でロータリーベーン真空ポンプの概略的な原理図を示す。

【図2】ロータリーベーン真空ポンプの具体的な形態を横断面図で示し、そこから更なる細部が分かる。

【図3】ポンプハウジング又はモータハウジングの軸方向端部を見た、図２のロータリーベーン真空ポンプの斜視図を示す。

【図4】本発明に係るロータリーベーン真空ポンプの概略図を示す。

【図5】従来のロータリーベーン真空ポンプの概略図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１及び図２の真空ポンプは、ロータリーベーン真空ポンプの形態で構成されていて、ステータ１１を有し、ステータ１１内に作業室１３が形成されている。作業室１３には、偏心的に組み付けられたロータ１５が配置されていて、ロータ１５は、回転方向Ｄで、図平面に対して垂直に延在する回転軸線を中心に回転可能に第１の電動モータ５０によって駆動可能であり、図３が参照される。ロータ１５には、複数のベーン１７が、径方向に運動可能に配置されている。ベーン１７は、ばね１９によってプリロードが掛けられていて、ばね１９は、ベーン１７を径方向外向きへ押し退ける。代替的に、ベーン１７は、ばねによってプリロードが掛けられていないが、その代わりに専ら遠心力に基づいて外方へ動くようにしてもよい。ロータ１５の回転時、ベーン１７は、作業室１３を画定する、ステータ１１の内壁２０に沿って滑動する。その際、ベーン１７は、それ自体公知の態様で、作業室１３を複数のチャンバに分割する。

【0023】

図１及び図２の真空ポンプでは、ステータ１１とロータ１５とが、流体、例えば空気を、入口２１に接続されたレシピエント（図示されていない）から出口２３へポンピングするポンプ段５６を形成する。この場合、基礎となるポンプ機構は、それ自体公知であり、ロータリーベーン真空ポンプで用いられ以下に説明するポンプ機構に相応する。

【0024】

回転方向Ｄで見て前方のベーン１７が、ロータの回転時に入口２１を通過すると、このベーン１７の後方に、増大していく吸込チャンバが形成される。その際、ロータ１５の回転時の吸込室の増大によって、吸込作用が実現され、後続のベーン１７が同様に入口２１を通過し、吸込チャンバを入口２１から分離するまで、吸込作用によって、流体が、レシピエントから吸込室に吸い込まれる。その後で、ロータ１５が引き続き回転すると吸込チャンバの容積が再び減少するので、その中に封入された流体は圧縮される。したがって、入口２１から分離した後で、前方のベーン１７が出口２３を通過すると、吸込室は、出口２３へ向けて開口する圧縮チャンバとなる。圧縮された気体は、出口２３を介して排出され、その際、出口２３に設けられた出口弁２５が、圧縮された流体の圧力に基づいて開く。

【0025】

真空ポンプのシール及び潤滑を行うために、ステータ１１とロータ１５とを有するポンプ段５６は、通常、所定のレベルまで、ステータ１１を包囲する貯留部（図示されていない）に収容された作動媒体内にある。作動媒体は、特に油であり、油によって、ポンプの全ての可動部分が潤滑され、出口弁２５より下の空間及び入口２１と出口２３との間の間隙がシールされる。さらに、作動媒体は、ベーン１７と内壁２０との間の間隙をシールする。さらに、作動媒体は、熱輸送によって真空ポンプ内の最適な温度バランスに寄与する。気体がポンプの出口２３から出た後、後置の油霧分離器２９が、圧送された気体を油から分離し、排気部における作動油の排出を防止する。

【0026】

図１及び図２のポンプでは、入口２１に、ＨＶ安全弁２７、例えば逆止弁が配置されていて、ＨＶ安全弁２７は、それ自体公知の態様で、ポンプの所望の又は不意の停止状態で、入口２１を、入口２１に接続されたレシピエント（図示されていない）に対してシールするように構成されている。したがって、ポンプの停止時、作動媒体がレシピエントに至り得ない。ポンプの起動後、ＨＶ安全弁２７は、いくぶんか遅れて、例えばポンプ内の圧力がレシピエント内の圧力にほぼ達したら開き、これにより、レシピエント内の負圧に基づいて作動媒体がポンプからレシピエントに引き込まれることが回避される。

【0027】

図１及び図２において認識可能なロータリーベーン真空ポンプ又はロータリーベーン真空ポンプのポンプ段５６のロータ１５は、既に述べたように、第１の電動モータ５０によって駆動される。第１の電動モータ５０は、モータハウジング５２内に位置し、これについては図３が参照される。この場合、モータハウジング５２は、ステータ１１を形成するポンプハウジング５４の軸方向の延長部に配置されていて、ポンプハウジング５４に結合されている。この場合、ポンプハウジングは、図１及び図２を参照して前述したポンプ段５６を包含する。

【0028】

したがって、ポンプ段５６及び特にポンプ段５６のロータ１５は、第１の電動モータ５０によって駆動され、そのために、第１の電動モータ５０のモータシャフト６０（これについては図５参照）が、ロータ１５が取り付けられたポンプシャフト５８（これについては図２及び５参照）に一体的に組み付けられている。

【0029】

相互に結合された２つのハウジング５２、５４（モータハウジング５２、ポンプハウジング５４）は、図３に示された実施形態では、軸受ハウジング６２の凹状の空所に支持されていて、軸受ハウジング６２は、真空ポンプ用のドライブエレクトロニクスと特に周波数変換器６４（図５参照）とを収容する。周波数変換器６４は、とりわけ第１の電動モータ５０を制御するのに用いられる。

【0030】

以下、ここで、本発明に係るロータリーベーン真空ポンプの通気構想を、図４を参照して説明する。

【0031】

図４から看取されるように、図示のロータリーベーン真空ポンプは、２つのファン６６を有し、ファン６６は、それぞれ第２の電動モータ６８によって駆動され、そのために、各々のファン６６は、各々の第２の電動モータ６８のモータシャフト７０に組み付けられている。この場合、各々のファン６６は、ファン６６を駆動する第２の電動モータ６８も含めて、ファンフード７２内に組み付けられている。ファンフード７２は、グリッド８６によって閉じられた、新鮮な空気を吸い込むための開口８８を有し、これについては図３も参照されたい。特に図４から看取されるように、各々の第２の電動モータのモータシャフト７０は、ポンプ段５６を駆動する第１の電動モータ５０の第１のモータシャフト６０にも、ポンプ段５６のポンプシャフト５８にも接続されていない。

【0032】

図４から、そして特に図３からも看取されるように、この場合、両方のファン６６又は各々のファンフード７２は、モータハウジング５２及びポンプハウジング５４の、軸方向に互いに反対側に位置する両端部に取り付けられている。したがって、各々の第２のモータシャフト７０とポンプ段２６の駆動部との間には有効な駆動接続は存在しない。むしろ、両方の第２の電動モータ６８は、ポンプ段５６を駆動する第１の電動モータ５０から独立して制御される。

【0033】

そのために、周波数変換器６４は、互いに独立して制御可能な複数の電流出力７４、７６、７８を有し、この場合、第１の電動モータ５０は、第１の電流出力７４に接続されていて、両方の第２の電動モータ６８は、周波数変換器６４の第２の又は第３の電流出力７６、７８に接続されている。したがって、周波数変換器６４は、両方のファン６６の両方の第２の電動モータ６８を互いに独立して通電できる。代替的に、周波数変換器６４が、ファン制御のために１つの出力しか有さず、その結果、両方のファンが同一の形で制御されるようにしてもよい。周波数変換器６４は、第１の電動モータ５０も、両方の第２の電動モータ６８から独立して通電できる。したがって、例えば第１の電動モータ５０の消費電力が上限の閾値を上回ると、両方のファン６６の両方の第２の電動モータ６８を、周波数変換器６４の第２の又は第３の電流出力７６、７８を介して、これらの電動モータ６８が最大回転数で回転するように通電できる。一方、第１の電動モータ５０の消費電力が下限の閾値を下回ると、各々のファン６６又はファンの第２の電動モータ６８を最小回転数で運転できる。これらの２つの閾値の間で、各々の第２の電動モータ６８又は各々の電流出力７６、７８は、例えば第１の電動モータ５０の消費電力と各々のモータ回転数との間の線形の関係に基づいて、第１の電動モータ５０の消費電力の大きさに依存して制御できる。そのために、第１の電動モータ５０の電力消費は、出力監視ユニット８０によって監視でき、この場合、そのように監視される消費電力は、両方の電流出力７６、７８を制御するために、周波数変換器６４を制御する制御ユニット９０にフィードバックできる。制御ユニット９０は、周波数変換器６４自体の構成部材であってもよい。したがって、制御ユニット９０は、第１の電動モータ５０の電力消費に依存して、両方の電流出力７６、７８を制御できる。

【0034】

これに対して付加的に又は択一的に、適切の形で、周波数変換器６４、特に周波数変換器６４のパワーエレクトロニクス、第１の電動モータ５０及びポンプ段５６の温度は、温度センサ８２、８４、８５によって監視でき、その際、そのように監視される温度は、周波数変換器６４に又は周波数変換６４を制御する制御ユニット９０にフィードバックでき、これにより、両方の電流出力７６、７８を、周波数変換器６４、特に周波数変換器６４のパワーエレクトロニクス、第１の電動モータ５０及び／又はポンプ段５６の監視される温度に依存して制御できる。

【0035】

したがって、本発明に係るロータリーベーン真空ポンプが、真空ポンプを冷却するための、第２の電動モータ６８によって駆動される少なくとも１つのファン６６を有するという事実に基づいて、真空ポンプは、必要に応じて、特にポンプ段５６の回転数に依存せずに冷却できる。したがって、ファン６６がポンプハウジング５４又はモータハウジング５２から外へガイドされたモータシャフト６０又はポンプシャフト５８上に配置された、図５に示された従来のロータリーベーン真空ポンプとは異なり、本発明に係るロータリーベーン真空ポンプでは、ファン６６は、モータシャフト６０又はポンプシャフト５８から分離されていて、しかも独自の電動モータ６８によって駆動されるという事実に基づいて、ファン６６は、ポンプ段５６を駆動する第１の電動モータ５０の実際の消費電流から全く依存せずに制御でき、これにより、例えばポンプ段５６のスイッチオフ後にファン６６を引き続き回転でき、これにより、ポンプを後冷却できることが実現される。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
１．
少なくとも１つのポンプ段（５６）と、ポンプ段（５６）に駆動接続された第１の電動モータ（５０）とを備えた、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプにおいて、
真空ポンプは、真空ポンプを冷却するための、第２の電動モータ（６８）によって駆動される少なくとも１つのファン（６６）を更に備える、真空ポンプ。
２．
少なくとも１つのポンプ段（５６）は、ポンプシャフト（５８）を有し、第１の電動モータ（５０）は、第１の電動モータ（５０）と一体に構成された第１のモータシャフト（６０）を有する、上記１の真空ポンプ。
３．
第２の電動モータ（６８）は、第１のモータシャフト（６０）とポンプシャフト（５８）とのいずれにも接続されていない第２のモータシャフト（７０）を有する、上記１又は２の真空ポンプ。
４．
少なくとも１つのポンプ段（５６）は、ポンプハウジング（５４）内に収容されていて、第１の電動モータ（５０）は、ポンプハウジング（５４）の軸方向の延長部に延在するモータハウジング（５２）内に収容されていて、ポンプハウジング（５４）とモータハウジング（５２）との両方が、それぞれ第１の端部と、第１の端部とは軸方向で反対側に位置する第２の端部とを有し、ポンプハウジング（５４）の第１の端部は、少なくとも間接に、モータハウジング（５２）の第１の端部に接続されていて、前記少なくとも１つのファン（６６）のうちの１つのファン（６６）は、ポンプハウジング（５４）の第２の端部に取り付けられてる、及び／又は前記少なくとも１つのファン（６６）のうちの１つのファン（６６）は、モータハウジング（５２）の第２の端部に取り付けられている、上記１から３のいずれか一つの真空ポンプ。
５．
前記少なくとも１つのファン（６６）の各ファン（６６）は、第２の電動モータ（６８）と共に、各々の第２の端部に取り付けられた各々のファンフード（７２）内に収容されている、上記１から４のいずれか一つの真空ポンプ。
６．
単一の周波数変換器（６４）を更に備え、周波数変換器（６４）は、前記少なくとも１つのファン（６６）の第２の電動モータ（６８）を、第１の電動モータ（５０）から独立して制御し、特に、周波数変換器（６４）は、さらに、ファン（６６）の第２の電動モータ（６８）を、別のファン（６６）の第２の電動モータ（６８）から独立して制御するようにもなっている、上記１から５のいずれか一つの真空ポンプ。
７．
周波数変換器（６４）は、単一の電流入力と、互いに独立して制御可能な複数の電流出力（７４、７６、７８）とを有し、第１の電動モータ（５０）は、複数の電流出力（７４、７６、７８）のうちの１つに接続されていて、各第２の電動モータ（６８）は、複数の電力出力（７４、７６、７８）のうちの別の１つに接続されている、上記６の真空ポンプ。
８．
制御ユニット（９０）を更に備え、制御ユニット（９０）は、周波数変換器（６４）を、特に周波数変換器（６４）の電流出力（７４、７６、７８）を制御し、制御ユニット（９０）は、制御ユニット（９０）が前記少なくとも１つのファン（６６）の各々の第２の電動モータ（６８）が接続された、周波数変換器（６４）の電流出力（７６、７８）を、第１の電動モータ（５０）の消費電力、周波数変換器（６４）の、特に周波数変換器（６４）のパワーエレクトロニクスの温度、電動モータ（５０）の温度及び／又は少なくとも１つのポンプ段（５６）の温度に依存して制御するように、調整されている、上記６及び／又は７の真空ポンプ。

【符号の説明】

【0036】

１１ ステータ
１３ 作業室
１５ ロータ
１７ ベーン
２０ 内壁
２１ 入口
２３ 出口
２５ 出口弁
２７ 入口弁
２９ 油分離器
５０ 第１の電動モータ
５２ モータハウジング
５４ ポンプハウジング
５６ ポンプ段
５８ ポンプシャフト
６０ モータシャフト
６２ 軸受ハウジング
６４ 周波数変換器
６６ ファン
６８ 第２の電動モータ
７０ 第２のモータシャフト
７２ ファンフード
７４ 第１の制御出力
７６ 第２の制御出力
７８ 第３の制御出力
８０ 出力監視ユニット
８２ 温度センサ
８４ 温度センサ
８５ 温度センサ
８６ グリッド
８８ 開口
９０ 制御ユニットユニット
Ｄ 回転方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】