特許 7450844 スプレー測定機器のためのシステム及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-08

(45)【発行日】2024-03-18

(54)【発明の名称】スプレー測定機器のためのシステム及び方法

(51)【国際特許分類】

   B05B 15/00 20180101AFI20240311BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20240311BHJP

   B05D 1/02 20060101ALI20240311BHJP

   H01L 21/306 20060101ALI20240311BHJP

【ＦＩ】

B05B15/00

B05D3/00 B

B05D3/00 D

B05D1/02 A

H01L21/306 J

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2021521950

(86)(22)【出願日】2019-07-08

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-10-28

(86)【国際出願番号】 US2019040864

(87)【国際公開番号】W WO2020010357

(87)【国際公開日】2020-01-09

【審査請求日】2022-06-30

(31)【優先権主張番号】62/694,661

(32)【優先日】2018-07-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】521336233

【氏名又は名称】シェルバック セミコンダクター テクノロジー リミテッド ライアビリティ カンパニー

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(72)【発明者】

【氏名】オーライリー ダレン

(72)【発明者】

【氏名】フォーゲイ クリスティアン

(72)【発明者】

【氏名】レヴィンソン ジョシュア

(72)【発明者】

【氏名】ガルバチク ジェフ

(72)【発明者】

【氏名】トルファノフ アレキサンダー

(72)【発明者】

【氏名】クレイガー ロバート

(72)【発明者】

【氏名】ブレイディ デヴィッド

【審査官】河内 浩志

(56)【参考文献】

【文献】特表２００４－５３５０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００２－５１９８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３１６８６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５１－１２７９０９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平１０－２８８１３２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｂ１２／１６ －１２／３６

１４／００ －１６／８０

Ｂ０５Ｄ １／００ － ７／２６

Ｈ０１Ｌ２１／３０６－２１／３０８

Ｇ０１Ｆ１７／００ －２２／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スプレー測定システム（１００）であって、
バッチ式化学的処理チャンバ内に設けられたロータ（１０）を含み、前記ロータ（１０）は、水平軸線Ｚ回りに回転することができ、前記ロータ（１０）は、時計回り又は反時計回りの方向Ａ及び逆の時計回り又は反時計回りの方向Ｂに回転することができ、
前記ロータ（１０）と作動的関連状態にあるスプレー測定機器（１０１）を含み、前記スプレー測定機器（１０１）は、
複数のスロット（１１３）を有するジグ装置（１０２）を有し、前記複数のスロット（１１３）の各々は、ブロッカープレート（１１６）を受け入れることができ、
前記複数のスロット（１１３）のうちの１つ又は２つ以上と対応した１つ又は２つ以上のチャネル（１２２，１２３）を有し、前記１つ又は２つ以上のチャネル（１２２，１２３）の各々は、前記１つ又は２つ以上のチャネル（１２２，１２３）内に集められた液体の量を測定するためのそれぞれ対応の圧力変換器（１３０）と作動的関連状態にあり、
前記スプレー測定機器（１０１）は、垂直休止位置と所定の試験角度との間で前記ロータ（１０）によって回転することができ、
前記ロータ（１０）と作動的関連状態にあるコントローラ（１３１）を含み、前記コントローラ（１３１）は、前記ロータ（１０）を前記水平軸線Ｚ回りに回転させることができ、前記コントローラ（１３１）は、前記ロータ（１０）を前記垂直休止位置と所定の試験位置との間で前記時計回り又は反時計回りの方向Ａ及び前記逆の時計回り又は反時計回りの方向Ｂに回転させることができ、
前記スプレー測定機器（１０１）は、所定の試験角度まで回転させられてスプレーノズルアレイ（１２）によって前記チャネル（１２２，１２３）のうちの前記１つ又は２つ以上中にスプレーされた液体の量を受け入れることができ、データ収集インターフェースが前記１つ又は２つ以上のチャネル（１２２，１２３）の各々内に集められた液体の前記量を記録することができる、スプレー測定システム（１００）。

【請求項2】

前記スプレーノズルアレイ（１２）は、前記スプレー測定機器（１０１）の上方に角度付けられた固定位置に位置したままであり、前記スプレーノズルアレイ（１２）は、前記スプレー測定機器（１０１）のところで前記量の液体をスプレーすることができる、請求項１記載のスプレー測定システム（１００）。

【請求項3】

前記複数のブロッカープレート（１１６）の各々は、液体が前記複数のスロット（１１３）のうちの対応のスロット（１１３）に入るのを阻止し、前記ブロッカープレート（１１６）の手動取り外しにより、液体が前記複数のスロット（１１３）のうちの対応のスロットに入ることができる、請求項１記載のスプレー測定システム（１００）。

【請求項4】

前記スプレー測定機器（１０１）は、ケーシングの互いに反対側の側部に沿ってそれぞれ形成された第１及び第２の側部バー部分を用いて前記ロータ（１０）内に固定されている、請求項１記載のスプレー測定システム（１００）。

【請求項5】

前記コントローラ（１３１）は、前記データ収集インターフェースによって収集された情報を記録したり分析したりすることができる、請求項１記載のスプレー測定システム（１００）。

【請求項6】

前記複数のチャネル（１２２，１２３）の各々の中に集められた液体の量を測定することによって前記スプレーノズルアレイ（１２）のうちの誤動作を起こしているスプレーノズル（１２）が特定される、請求項１記載のスプレー測定システム（１００）。

【請求項7】

スプレー測定機器（１０１）であって、
頂部分（１０７）、底部分（１１０）、ならびに互いに反対側の第１及び第２の側部分（１０８，１０９）を備えたケーシング（１０３）を有し、前記頂部分（１０７）は、前記ケーシング（１０３）内に設けられたタンク（１２１）によって形成された上側チャンバ（１２８）と連通状態にある頂開口部（１２７）を形成し、前記タンク（１２１）は、複数のチャネル（１２２，１２３）を備え、
前記上側チャンバ（１２８）内に設けられたジグ装置（１０２）を有し、前記ジグ装置（１０２）は、
スロット組立体（１０４）を有し、前記スロット組立体は、
複数のスロットブロック（１１９）相互間に介在して設けられていて、スロット（１１３）をそれぞれ形成する複数のスロットプレート（１１７）を含み、
前記スロット組立体（１０４）内に設けられた複数のブロッカープレート（１１６）を含み、前記複数のブロッカープレート（１１６）の各々は、前記スロット組立体（１０４）の前記スロット（１１３）の各々内にそれぞれ設けられるよう構成され、それぞれのスロット（１１３）は、前記複数のチャネル（１２２，１２３）のそれぞれと関連していて、該それぞれのスロット（１１３）のところに設けられた１つ又は２つ以上のスプレーノズル（１２）によってスプレーされた液体が前記複数のチャネル（１２２，１２３）のうちのそれぞれのところで集められるようになっており、
前記複数のチャネル（１２２，１２３）と作動的連通状態にあって少なくとも１つのブロッカープレート（１１６）が取り外されたそれぞれのスロット（１１３）のところで前記１つ又は２つ以上のスプレーノズル（１２）のスプレー出力を測定する複数の圧力変換器（１３０）を有し、各チャネル（１２２，１２３）は、前記複数の圧力変換器（１３０）の各々とそれぞれ関連し、
前記複数の圧力変換器と作動的連通状態にあって前記複数のチャネル（１２２，１２３）内に集められた前記液体の量を測定するデータ収集インターフェースを有する、スプレー測定機器（１０１）。

【請求項8】

前記複数の圧力変換器（１３０）のうちの１つによって算定された圧力値は、前記複数のチャネル（１２２，１２３）のうちの１つの中の液体の体積を計算するために用いられる、請求項７記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項9】

前記データ収集インターフェースは、コントローラ（１３１）と作動的連絡状態にあり、前記コントローラ（１３１）は、前記データ収集インターフェースによって集められた情報を記録したり分析したりすることができる、請求項７記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項10】

前記コントローラ（１３１）は、前記スプレー測定機器（１０１）の前記ケーシング（１０３）内に配置されている、請求項９記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項11】

前記コントローラ（１３１）は、前記スプレー測定機器（１０１）の外部に位置している、請求項９記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項12】

電力がバッテリ（１４７）によって前記スプレー測定機器（１０１）に供給される、請求項７記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項13】

電力がワイヤード接続方式によって前記スプレー測定機器（１０１）に供給される、請求項７記載のスプレー測定機器（１０１）。

【請求項14】

スプレー測定システム（１００）を用いてスプレー出力を測定する方法であって、
複数のチャネル（１２２，１２３）を備えたスプレー測定機器（１０１）と作動的関連状態にあるロータ（１０）を回転させるステップを含み、前記ロータ（１０）及び前記スプレー測定機器（１０１）を水平軸線Ｚに沿って時計回り又は反時計回りの方向Ａに回転させ、前記ロータ（１０）及び前記スプレー測定機器（１０１）を垂直位置から所定の試験角度まで回転させ、
前記スプレー測定機器（１０１）のところに設けられた固定スプレーノズルアレイ（１２）からある量の液体をスプレーするステップを含み、前記固定スプレーノズルアレイ（１２）からのある体積の液体を前記スプレー測定機器（１０１）の前記複数のチャネル（１２２，１２３）のうちの１つ又は２つ以上の中に収集し、
前記スプレー測定機器（１０１）と作動的関連状態にある前記ロータ（１０）を前記水平軸線Ｚに沿って逆の反時計回り又は時計回りの方向Ｂに回転させて前記ある量の液体を収集した前記スプレー測定機器（１０１）を垂直位置に戻すようにするステップを含み、前記複数のチャネル（１２２，１２３）のうちの１つ又は２つ以上の中の液体の前記体積を測定するステップを含む、方法。

【請求項15】

複数のブロッカープレート（１１６）のうちの１枚又は２枚以上を追加し又は取り外すことによって前記スプレーノズル（１２）のうちの１つ又は２つ以上を試験するために１つ又は２つ以上のチャネル（１２２，１２３）を構成するステップをさらに含み、前記複数のブロッカープレート（１１６）の各々は、前記スプレー測定機器（１０１）のスロット組立体（１０４）のスロット（１１３）の各々内にそれぞれ設けられるよう構成され、それぞれのスロット（１１３）が前記複数のチャネル（１２２，１２３）のそれぞれと関連し、該それぞれのスロット（１１３）のところの１つ又は２つ以上のスプレーノズル（１２）によってスプレーされた前記ある量の液体が前記複数のチャネル（１２２，１２３）のうちの１つのところに集められるようになっている、請求項１４記載の方法。

【請求項16】

前記スプレー出力を測定する方法は、繰り返し実施され、前記スプレー出力を測定する方法の各繰り返しは、異なる試験角度で行われる、請求項１４記載の方法。

【請求項17】

前記スプレーノズル（１２）アレイのうちの誤動作を起こしているスプレーノズルが１つ又は２つ以上の試験角度にわたって前記複数のチャネル（１２２，１２３）の各々によって集められた前記液体の体積を測定することによって特定される、請求項１６記載の方法。

【請求項18】

前記スプレー測定機器（１０１）のそれぞれのチャネル内の前記液体の体積は、それぞれの圧力変換器を用いて前記それぞれのチャネル内の圧力の大きさを測定することによって測定され、前記チャネル内の前記圧力の大きさは、前記チャネル内に集められた前記液体の体積に対応している、請求項１４記載の方法。

【請求項19】

前記圧力変換器（１３０）と作動的連絡状態にあるデータ収集インターフェースが前記複数のチャネル（１２２，１２３）の各々内の前記圧力の大きさに関連したデータを記録したり分析したりすることができる、請求項１８記載の方法。

【請求項20】

前記ロータ（１０）と作動的連絡状態にあるコントローラ（１３１）が前記ロータ（１０）を回転させ、それにより前記スプレー測定機器（１０１）を回転させることができる、請求項１４記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示内容（本発明）は、一般に、スプレー測定機器、特にスプレー分布パターンを理解するためにバッチ式化学的プロセスチャンバ内に設けられた１つ又は２つ以上のスプレーノズルの液体捕捉レベルを検出することができるスプレー測定機器のためのシステム及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の湿式化学的処理のためのバッチ式化学的プロセスチャンバは、化学物質をプロセスチャンバ内にアレイをなして積み重ねられた多数のウェーハに一様な仕方でスプレーするために複数のスプレーノズルを必要とする。１つ又は２つ以上のスプレーノズル又は調整不良のスプレーノズルの誤動作により、スプレー分布に非一様性が生じる場合があり、それにより首尾一貫し又は仕様通りのバッチ式処理の完了が阻止される。加うるに、スプレーノズル組立体の問題がいったん突き止められると、バッチ式プロセスチャンバを分解してどのノズルが誤動作を起こしているかを突き止めて是正措置を行うことは、困難でありかつ時間のかかる場合がある。したがって、バッチ式化学的プロセスチャンバ内のスプレー分布を容易かつ正確にモニタするとともに測定するシステムが必要である。

【発明の概要】

【0003】

とりわけこれらの知見を念頭に置いて、本発明の種々の観点を案出して開発した。

【0004】

一観点では、スプレー出力を測定するとともに複数の個々のスプレーノズルのスプレー分布状態を判定又は算定することができるジグ装置を有するスプレー測定機器が開示される。別の観点では、スプレー測定機器は、スプレー分布パターンを理解するためにそれぞれのスプレーノズルと関連した多数の液体捕捉チャネルの液体レベル又は液位を測定することができる。さらに別の観点では、スプレー測定機器は、バッチ式システムと連絡状態にあるコントローラを有し、コントローラにより、スプレー測定機器は、水平軸線回りに、他の分析モデルの検査及び利用のためのバッチ式化学プロセスチャンバ内の特定の向きまで回転することができる。別の観点では、スプレー測定システムは、全ての半導体ウェーハに対する首尾一貫したプロセス完了を保証するために１回分の半導体ウェーハ搭載分全体を横切るスプレーの一様性の確認を可能にする。幾つかの実施形態では、スプレー測定機器は、特定のウェーハ存在場所に対応していてスプレー測定機器の作動中に１つ又は２つ以上の誤動作を起こしているスプレーノズルの特定を可能にするそれぞれのスロット内に設けられている複数のブロッカープレートを備えたジグ装置を有する。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1】ロータ及びバッチ式プロセスチャンバ内に設けられていてかつアレイ又はスプレーノズルに位置合わせされたスプレー測定機器の斜視図である。

【図2】ケーシングが想像線で示されたスプレー測定機器の斜視図であり、スプレー分布状態を測定する際に用いられるジグ装置を示す図である。

【図3】内部コンポーネントを示すために近位端プレートが取り外されたスプレー測定機器の端面図である。

【図4】スプレー測定機器の底面図であり、ジグ装置のブロッカープレートを示す図である。

【図5】内部コンポーネントを示すために近位端プレートが取り外されたスプレー測定機器の底面図である。

【図6】内部コンポーネントを示すために近位端プレートが取り外されたスプレー測定機器の側面図である。

【図7】スプレー測定機器の分解組立図である。

【図8】スプレー測定機器の拡大分解組立図であり、ジグ装置を示す図である。

【図9】スプレー測定機器の拡大分解組立図であり、圧力変換器のアレイを示す図である。

【図10】スプレー測定機器の拡大分解組立図であり、コントローラ、圧力変換器、及びバッテリを示す図である。

【図11】スプレー測定機器のためのケーシングの下側の拡大斜視図である。

【図12】スプレー測定機器のためのケーシングの平面図であり、ケーシングのタンクを示す図である。

【図13】スプレー測定システムによって測定された複数のスプレーノズルの一配置状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

図面全体にわたり、対応の参照符号は、対応の要素を示している。図に用いられている見出しは、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を限定するものではない。図面は、本発明の一実施形態の例示である。

【0007】

図面を参照すると、スプレー測定システムの実施形態が図示されており、図１～１３では全体が符号１００で示されている。

【0008】

図１及び図２に示されているように、幾つかの実施形態では、スプレー測定システム１００は、ロータ１０、ロータ１０内に設けられたスプレー測定機器１０１、及びスプレー測定システム１００の作動を制御するとともにモニタすることができるコントローラ１３１を含む。幾つかの実施形態では、スプレー測定機器１０１は、ケーシング１０３を有し、このケーシングは、以下に詳細に説明するようにバッチ式化学的処理チャンバ（図示せず）内の多数のスプレーノズル１２のスプレー出力を測定するとともにこれらのスプレー分布状態を算定することができるジグ装置１０２を受け入れるよう構成されている。加うるに、ケーシング１０３は、スプレー測定機器１００をロータ１０内に設けることができるよう構成され、ロータ１０は、スプレー出力を測定する際の作動中にバッチ式化学的プロセスチャンバ（図示せず）内に設けられている。スプレー測定機器１００は、水平軸線Ｚに沿って特定の回転角度までロータ１０によって回されることが可能であり、その目的は、スプレー分布状態を判定するために特定の回転角度のところでのスプレーノズルアレイ１２からのスプレー出力を集めることにある。

【0009】

図１～図５を参照すると、幾つかの実施形態では、ケーシング１０３は、外面１０５及び内面１０６を有し、これら外面と内面は合わさって、ケーシング１０３の頂部分１０７、第１の側部分１０８、第２の側部分１０９及び底部分１１０を定めている。具体的には図１～図３に示されているように、ケーシング１０３の頂部分１０７は、上側チャンバ１２８（図６及び図１１）と連通状態にある頂開口部１２７を備え、ジグ装置１０２は、この上側チャンバ内の部分的に設けられており、このジグ装置には頂開口部１２７から接近する。具体的には図４に示されているように、ケーシング１０３は、ケーシング１０３の互いに反対側に設けられた第１の側部バー部分１４３及び反対側の側部バー部分１４４を備え、これらバー部分は、スプレー測定機器１００を第１及び第２の側バー部分１４３，１４４に沿ってバッチ式化学的プロセスチャンバ内のロータ１０に嵌め込んでこの中に固定することができるようにする構造的表面を提供する。

【0010】

図７を参照すると、ケーシング１０３は、ケーシング１０３内に形成された下側チャンバ１２９の互いに反対側の端部と連通した近位開口部１１１及び遠位開口部１１２をさらに備えている。図示のように、近位端プレート１１４は、近位開口部１１１に係合してこれを封止するよう構成され、遠位端プレート１１５は、遠位開口部１１２に係合してこれを封止するよう構成されている。幾つかの実施形態では、固定部材１４２、例えば、ねじが近位端プレート１１４及び遠位端プレート１１５をケーシング１０３に係合するために用いられている。幾つかの実施形態では、ハンドル１４１がスプレー測定機器１０１の取り扱いのために近位端プレート１１４に固定されている。

【0011】

さらに図７及び図１２に示されているように、ケーシング１０３の上側チャンバ１２８は、ケーシング１０３内に設けられたタンク１２１と連通し、この上側チャンバは、ケーシング１０３又は別個のコンポーネントの構造と一体であるのが良い。タンク１２１は、ケーシング１０３の長手方向軸線に沿って延びるアレイ状に配列された複数の内側チャネル１２２及び１対の端チャネル１２３を備えている。タンク１２１の内側チャネル１２２及び端チャネル１２３は各々、１つ又は２つ以上のスプレーノズル１２に対応した液体捕捉場所をそれぞれ提供し、その結果、特定のスプレーノズル１２からの液体スプレーを以下に詳細に説明するように測定のためにそれぞれの内側チャネル１２２又は端チャネル１２３内に捕捉することができるようになっている。

【0012】

図４～図８に示されているように、ジグ装置１０２は、特定のウェーハ配置場所を隔離するための手段となり、その結果、特定のスプレーノズル１２の作動により、これらスプレーノズル１２から集められた液体の測定が可能となって、どのスプレーノズル１２が誤動作状態になっているかどうか又は調整を必要とするかどうかを含むスプレー分布パターンの判定を行うことができるようになっている。幾つかの実施形態では、ジグ装置１０２は、各ブロッカープレート１１６がバッチ式化学的プロセスチャンバ内のスプレーノズルアレイ１２の複数の考えられる区分のうちのスプレーノズルアレイ１２の区分に対応しているアレイをなして互いに位置合わせされた複数のブロッカープレート１１６を有する。

【0013】

幾つかの実施形態では、ジグ装置１０２は、複数のスロット１１３を含むスロット組立体１０４をさらに有し、個々のブロッカープレート１１６がそれぞれ対応のスロット１１３内に位置決めされている。図６及び図７に示されているように、スロット組立体１０４は、複数のスロットプレート１１７を含み、スロットプレート１１７は、これらスロットプレート１１７の両端部に設けられたそれぞれのスロットブロック１１９相互間に介在して設けられ、スロットブロック１１９は、スロット組立体１０４が製造中に組み立てられているときに近位プレート１２４と遠位プレート１２５との間でアレイ状に形成された複数のスロット１１３の各々を一緒になって形成する。図示のように、スロットプレート１１７の各々は、組み立て中にロッド１２６を受け入れるよう構成された整列又は位置合わせ状態のプレート開口部１５５を有し、スロットブロック１１８の各々の組は、組み立て中にロッド１２６もまた受け入れるよう構成された整列又は位置合わせ状態のブロック開口部１５６を有する。スロット組立体１０４が組み立てられると、各ロッド１２６が位置合わせ状態の組をなすブロック開口部１５６の各々及び位置合わせ状態のプレート開口部１５５の各々をそれぞれ通って挿入されてスロット組立体１０４の対応関係にある各スロット１１３を組み立てる。加うるに、スロット組立体１０４の下側は、ジグ装置１０２をケーシング１０３の上側チャンバ１２８内に固定するよう第１の支持部材１１９及び第２の支持部材１２０に係合する。

【0014】

ジグ装置１０２が組み立てられると、各ブロッカープレート１１６がスロット組立体１０４に沿って各スロット１１３内にそれぞれ設けられ、このブロッカープレート１１６を所望に応じてスロット１１３から引き出し又はこの中に挿入することができる。さらに図示のように、ブロッカープレート１１６の各々は、ブロッカープレート１１６の縁に沿って対応関係にある突出部１４８を備え、このブロッカープレートは、ユーザが突出部１４８を掴んで個々のブロッカープレート１１６を対応のスロット１１３に対して引き出すか又は挿入するかのいずれかを行うことができるよう構成されている。したがって、スプレーノズル出力を測定したり個々のスプレーノズル１２又は一群のスプレーノズル１２に関するスプレー分布状態を判定したりする際に、任意の数のブロッカープレート１１６をジグ装置１０２のスロット組立体１０４から引き出すことができ、これについては、以下において詳細に説明する。

【0015】

図２、図１２、及び図１３を参照すると、ジグ装置１０２は、スプレーノズル１２のうちの１つ又は２つ以上によって１つ又は２つ以上のブロッカープレート１１６がジグ装置１０２から取り外された特定の場所にスプレーされた液体を捕捉するためにタンク１２１によって定められた複数の内側チャネル１２２及び端チャネル１２３と流体連通状態にある。このように、単一のスプレーノズル１２又は互いに寄せ集められたスプレーノズル１２のバッチに関するスプレー測定出力及びスプレー分布パターンは、それぞれのチャネル１２２内に集められた液体の量を測定することによって算定又は判定できる。幾つかの実施形態では、端チャネル１２３は、スプレーノズル１２のひとまとまりとしての全体のスプレー測定出力及びスプレー分布パターンを測定するために使用でき、端チャネル１２３相互間に形成された内側チャネル１２２は、個々の又は選択された群をなすスプレーノズル１２のスプレー測定出力及びスプレー分布パターンをかかるスプレーノズル１２に対応した特定のブロッカープレート１１６がスプレーノズル１２の試験中にジグ装置１０２から取り外されたときに測定するために使用できる。図１２に示されているように、上側チャンバ１２８は、ケーシング１０３内への挿入時にジグ装置１０２に当接するよう構成された肩１５４を形成している。

【0016】

幾つかの実施形態では、スプレー測定機器１０１は、１つ又は２つ以上のチャネル１２２，１２３と流体連通状態にあって、スプレーノズル１２が起動された後に特定のチャネル１２２，１２３内に入っている液体の量を測定するための複数の圧力変換器１３０をさらに有する。幾つかの実施形態では、各圧力変換器１３０は、大気と連通状態にある第１のポート１５７及びチャネルのうちの一方１２２又は１２３と流体連通状態にある対応関係にあるホース１４５を通って対応関係にあるチャネル１２２又は１２３と流体連通状態にある第２のポート１５８を有する。幾つかの実施形態では、各ホース１４５は、図１２に示されているように各チャネル１２２，１２３の底部のところに形成された開口部１５３を通ってチャネル１２２，１２３との流体連通状態をそれぞれ確立するためのホースコネクタ１４６に連結されている。作用にあたり、各圧力変換器１３０は、特定のチャネル１２２，１２３から集められた液体の量を表す圧力データを収集する。

【0017】

図１２に示されている一実施形態では、タンク１２１は、２つの端チャネル１２３Ａ，１２３Ｂならびに内側チャネル１２２Ａ～１２２Ｇを備えるのが良く、ただし、チャネル１２２，１２３の数は、液体収集量の測定の目的のために１つ又は２つ以上のスプレーノズル１２に対応するのが良い複数のチャネル１２２，１２３のうちの任意のものであって良い。一実施形態では、ジグ装置１０２は、ブロッカープレート１１６Ａ～１１６Ｘを有するのが良く、各ブロッカープレート１１６Ａ～１１６Ｘは、処理中、特定のウェーハ存在場所に対応するが、任意の数のブロッカープレート１１６を用いて、扱われるべきウェーハ存在場所の数に適合するよう使用されるのが良い。

【0018】

スプレー測定システム１００を用いてスプレー出力を測定するとともにスプレー分布パターンを判定する一方法では、スプレー測定機器１０１を水平軸線Ｚ回りに垂直線から遠ざかった特定の試験角度まで回転させる。静止状態のままであるスプレーノズル１２は、液体をスプレーし、液体は、複数のチャネル１２２，１２３の任意のものの中に集められる。ついで、スプレー測定システム１００を水平軸線Ｚ回りに回転させて垂直線から０°まで戻し、この場合、圧力変換器１３０は、チャネル１２２，１２３の各々内の圧力の大きさを測定し、チャネル１２２，１２３の各々内の圧力の大きさは、チャネル１２２，１２３の各々の中に集められた液体の体積に対応している。試験プロセスが続いているときに、次に、別の試験角度を選択してこの方法を繰り返す。

【0019】

スプレー測定システム１００を用いてスプレー出力を測定するとともにスプレー分布パターンを判定する別の方法では、ユーザが１つ又は２つ以上のブロッカープレート１１６、例えばブロッカープレート１１６Ｊ～１１６Ｍをジグ装置１０２から取り外してブロッカープレート１１６Ｊ～１１６Ｍの配置場所と関連した特定のスプレーノズル１２が正しく機能していてかつ一様なスプレー分布パターンを提供しているかどうかを判定するのが良い。液体収集データがチャネル１２２Ｄからいったん集められると、ブロッカープレート１１６Ｊ～１１６Ｍの存在場所と関連したスプレーノズル１２の全てが正しく機能していること又は１つ又は２つ以上のスプレーノズル１２が交換又は調整を必要としていることの確認が可能である。

【0020】

図１、図２、図３、図５～図７、図９、及び図１０に示されているように、スプレー測定システム１００は、圧力変換器１３０の各々と作動的連絡状態にあるコントローラ１３１をさらに含む。加うるに、コントローラ１３１は、データを収集し又はユーザがコントローラ１３１と対話してスプレー測定システム１００を作動することができるようにする手段となるデータ接続インターフェース（図示せず）を備える。例えば、データ接続インターフェースは、２つの端チャネル１２３Ａ，１２３Ｂならびに内側チャネル１２２Ａ～１２２Ｇ内に集められた液体の量に関連付けられたそれぞれの圧力を記録することができるのが良い。幾つかの実施形態では、コントローラ１３１は、特定のチャネル１２２，１２３から集められた液体の量に関するデータならびにバッチ式化学プロセスチャンバ内の互いに異なる試験角度で互いに異なるスプレー測定手段上に集められたデータを収集して記憶する。幾つかの実施形態では、コントローラ１３１は、スプレー測定システム１００の作動を制御するために外部装置（図示せず）とワイヤレス又はワイヤード連絡状態にあるのが良い。幾つかの実施形態では、コントローラ１３１は、バッチ式化学的プロセスチャンバ全体に結合されても良く、すると、このコントローラは、それにより、ロータ１０によるスプレー測定機器１００の回転を制御する。

【0021】

幾つかの実施形態では、バッテリ１４７がスプレー測定システム１００のコンポーネント、例えばコントローラ１３１や圧力変換器１３０の全てに電力を提供することができる。幾つかの実施形態では、バッテリ１４７は、再充電可能であるのが良い。他の実施形態では、電力は、電力ケーブル（図示せず）により提供されるのが良い。

【0022】

幾つかの実施形態では、図９に示されるように、圧力変換器１３０Ａ～１３０Ｄの第１のアレイが第２の側プレート１３６に固定されるのが良く、圧力変換器１３０Ｅ～１３０Ｈの第１のアレイが第１の側プレート１３５に固定されるのが良い。加うるに、圧力変換器１３０Ｉもまた、図１２に示された実施形態又はケーシング１０３のための全部で９個の端チャネル１２２及び内側チャネル１２３に適合するよう使用されるのが良い。さらに図示のように、第１の側プレート１３５は、ケーシング１０３の内面１０６に取り付けられた第１のレール部材１３３に係合する第１のブラケット１３９を有し、第２の側プレート１３６は、これまたケーシング１０３の内面１０６に取り付けられた第２のレール部材１３４に係合する第２のブラケット１４０を有する。

【0023】

図１１を参照すると、ケーシング１０３の底部分１１０は、各々がこれと対応関係にあるプラグ１５１を受け入れるよう構成された複数の開口部１５３を備えている。幾つかの実施形態では、ケーシング１０３の底部分１１０は、ケーシング１０３をバッチ式化学的プロセスチャンバのロータ１０内に固定する際にマウントとして役立つよう構成された凹み１５２をさらに有する。

【0024】

上記のことから理解されるべきこととして、特定の実施形態を図示して説明したが、当業者には明らかなように本発明の精神及び範囲から逸脱することなくこれら実施形態に対する種々の改良を行うことができる。かかる変更及び改造は、本明細書に添付された特許請求の範囲に記載されている本発明の範囲及び教示に含まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】