特許 7452220 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240312BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/18

B41J2/14 305

B41J2/14 611

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2020074940

(22)【出願日】2020-04-20

(65)【公開番号】P2021171936

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-04-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003177

【氏名又は名称】弁理士法人旺知国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】福澤 祐馬

(72)【発明者】

【氏名】平井 栄樹

(72)【発明者】

【氏名】長沼 陽一

(72)【発明者】

【氏名】玉井 捷太郎

(72)【発明者】

【氏名】谷内 章紀

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－２０８４４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１１４６７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１２１２１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１１６９０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体に圧力を付与する第１圧力室と、
液体に圧力を付与する第２圧力室と、
第１方向に延びており、液体を吐出するノズルが設けられるノズル流路と、
前記第１方向に交差する第２方向に延びており、前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第１連通流路と、
前記第２方向に延びており、前記第２圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第２連通流路と、
前記第１方向に延びる部分を有しており、前記第１連通流路とは異なる経路で前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第１分岐流路と、を有する、
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記第１分岐流路は、
前記第１方向に延びており、前記第１圧力室に連通する第１流路と、
前記第２方向に延びており、前記第１流路と前記ノズル流路とを連通させる第２流路と、を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記第１圧力室および前記ノズル流路のそれぞれは、前記第１方向に延びており、
前記第１連通流路は、前記第１方向における一方側の前記第１圧力室の端部と、前記第１方向における他方側の前記ノズル流路の端部とを連通させる、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記第１分岐流路は、前記第１連通流路よりも前記ノズルに近い位置で前記ノズル流路に連通する、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記第１方向に延びる部分を有しており、前記第２連通流路とは異なる経路で前記第２圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第２分岐流路をさらに有する、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記ノズル流路とは異なる経路で前記第１分岐流路と前記第２分岐流路とを連通させる第３連通流路をさらに有する、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記第１分岐流路と前記第２分岐流路との間を隔てる第１隔壁と、
前記第１連通流路と前記第１分岐流路との間を隔てる第２隔壁と、をさらに有し、
前記第１方向における前記第１隔壁の厚さは、前記第１方向における前記第２隔壁の厚さよりも薄い、
ことを特徴とする請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記第１分岐流路および前記第２分岐流路は、前記第２方向に延びる共用の部分を有する、
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記第１圧力室および前記第２圧力室が設けられる圧力室基板と、
前記ノズル流路、前記第１連通流路、前記第２連通流路および前記第１分岐流路が設けられる連通板と、
前記ノズルが設けられるノズル基板と、をさらに有する、
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記第１分岐流路の壁面は、前記圧力室基板で構成される第１壁面と、前記第２方向で前記第１壁面とは反対側に位置し、前記連通板で構成される第２壁面と、を有する、
ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記ノズル流路の壁面は、前記連通板で構成される第３壁面と、前記第２方向で前記第３壁面とは反対側に位置し、前記ノズル基板で構成される第４壁面と、を有する、
ことを特徴とする請求項９または１０に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、
前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、をさらに有する、
ことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室に液体を供給する供給流路と、
前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室から液体が排出される排出流路と、をさらに有する、
ことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記第１分岐流路は、前記第２方向に延びており、前記ノズル流路に連通する第２流路を有しており、
前記第２方向でみたときの前記第２流路の面積は、前記第２方向でみたときの前記第１連通流路の面積に等しい、
ことを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

駆動電圧が印加されることにより前記第１圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、
駆動電圧が印加されることにより前記第２圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第２エネルギー生成素子と、
前記第１エネルギー生成素子および前記第２エネルギー生成素子の両方に駆動電圧を印加するための駆動回路と、をさらに有する、
ことを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項16】

前記駆動回路は、前記第２方向でみたとき、前記第１方向における前記第１エネルギー生成素子と前記第２エネルギー生成素子との間に位置する、
ことを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項17】

請求項１から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する、
ことを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

インクジェット方式のプリンターに代表される液体吐出装置は、一般に、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドを有する。液体吐出ヘッドは、例えば、特許文献１に開示されるように、液体に圧力を付与する圧力室と、圧力室に連通し、液体を吐出するノズルが設けられる流路と、を有し、これらが互いに連通する。特許文献１では、当該圧力室および当該流路が所定方向に沿って複数配列される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１８４３７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

圧力室からノズルに至る流路の形状によっては、圧力室からの圧力がノズルに伝達し難い場合がある。例えば、圧力室からノズルに至る流路が長くなったり屈曲した部分を有する形状をなしたりする場合、圧力室からの圧力がノズルに伝達し難くなる。この場合、圧力室からの圧力をノズルに伝達しやすくするには、圧力室からノズルに至る流路の断面積を大きくすることにより、当該流路の流路抵抗を低くすることが考えられる。

【0005】

しかし、特許文献１に記載のように圧力室からノズルに至る流路の数が１個である場合、当該流路の断面積を大きくすると、隣り合う流路間を隔てる隔壁が撓みやすくなる。このため、従来では、圧力室からの圧力をノズルに効率的に伝達させようとすると、当該隔壁の撓みに起因する構造クロストークが生じるという課題がある。

【0006】

なお、「構造クロストーク」とは、互いに隣り合う２つの流路の間で、一方の流路における振動が他方の流路に伝搬することにより、当該他方の流路に設けられるノズルからのインクの吐出特性を低下させる現象をいう。

【課題を解決するための手段】

【0007】

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、液体に圧力を付与する第１圧力室と、液体に圧力を付与する第２圧力室と、第１方向に延びており、液体を吐出するノズルが設けられるノズル流路と、前記第１方向に交差する第２方向に延びており、前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第１連通流路と、前記第２方向に延びており、前記第２圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第２連通流路と、前記第１方向に延びる部分を有しており、前記第１連通流路とは異なる経路で前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させる第１分岐流路と、を有する。

【0008】

本発明の好適な態様に係る液体吐出装置は、前述の態様の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドにおける液体の吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態に係る液体吐出装置の構成例を示す模式図である。

【図2】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける流路の模式図である。

【図3】図２中のＡ－Ａ線断面図である。

【図4】図３に示す液体吐出ヘッドの一部を示す拡大断面図である。

【図5】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部を示す拡大断面図である。

【図6】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部を示す拡大断面図である。

【図7】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部を示す拡大断面図である。

【図8】参考例に係る液体吐出ヘッドにおける流路の模式図である。

【図9】図８中のＡ１－Ａ１線断面図である。

【図10】図８中のＡ２－Ａ２線断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法または縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示している部分もある。また、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。

【0011】

なお、以下の説明は、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜に用いて行う。Ｘ軸は、「第１軸」の一例である。Ｚ軸は、「第２軸」の一例である。Ｙ軸は、「第３軸」の一例である。また、Ｘ軸に沿う一方向をＸ１方向といい、Ｘ１方向と反対の方向をＸ２方向という。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向をＹ１方向およびＹ２方向という。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向をＺ１方向およびＺ２方向という。Ｘ軸に沿った方向は、「第１方向」の一例である。Ｚ軸に沿った方向は、「第２方向」の一例である。Ｙ軸に沿った方向は、「第３方向」の一例である。Ｘ１方向は、「第１方向の一方側」の一例である。Ｘ２方向は、「第１方向の他方側」の一例である。ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直な軸であり、Ｚ２方向が鉛直方向での下方向に相当する。ただし、Ｚ軸は、鉛直な軸でなくともよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０°以上１００°以下の範囲内の角度で交差すればよい。

【0012】

Ａ：第１実施形態
Ａ１：液体吐出装置の全体構成
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００の構成例を示す模式図である。液体吐出装置１００は、インク等の液体を液滴として媒体１１に対して吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１１は、例えば、印刷用紙である。なお、媒体１１は、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象であってもよい。

【0013】

液体吐出装置１００には、液体容器１２が装着される。液体容器１２は、インクを貯留する。液体容器１２の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで構成される袋状のインクパック、および、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器１２に貯留されるインクの種類は任意である。

【0014】

液体吐出装置１００は、図１に示すように、制御ユニット２１と搬送機構２２と移動機構２３と液体吐出ヘッド２４とを有する。制御ユニット２１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素の動作を制御する。ここで、制御ユニット２１は、「制御部」の一例であり、液体吐出ヘッド２４におけるインクの吐出動作を制御する。

【0015】

搬送機構２２は、制御ユニット２１による制御のもとで、媒体１１をＹ軸に沿って搬送する。移動機構２３は、制御ユニット２１による制御のもとで、液体吐出ヘッド２４をＸ軸に沿って往復させる。移動機構２３は、液体吐出ヘッド２４を収容する略箱型の搬送体２３１と、搬送体２３１が固定される無端の搬送ベルト２３２と、を有する。なお、搬送体２３１に搭載される液体吐出ヘッド２４の数は、１個に限定されず、複数個でもよい。また、搬送体２３１には、液体吐出ヘッド２４のほかに、前述の液体容器１２が搭載されてもよい。

【0016】

液体吐出ヘッド２４は、制御ユニット２１による制御のもと、液体容器１２から供給されるインクを複数のノズルのそれぞれから媒体１１に吐出する。この吐出が搬送機構２２による媒体１１の搬送と移動機構２３による液体吐出ヘッド２４の往復移動とに並行して行われることにより、媒体１１の表面に画像が形成される。

【0017】

Ａ２：液体吐出ヘッドの流路
図２は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド２４における流路の模式図である。液体吐出ヘッド２４には、図２に示すように、複数のノズルＮと複数の個別流路Ｐと第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とが設けられるとともに、循環機構２６が接続される。

【0018】

具体的に説明すると、液体吐出ヘッド２４は、媒体１１に対向する表面を有し、当該表面には、図２に示すように、複数のノズルＮが設けられる。複数のノズルＮは、Ｙ軸に沿って配列される。複数のノズルＮのそれぞれは、Ｚ２方向にインクを吐出する。

【0019】

ここで、複数のノズルＮの集合は、ノズル列Ｌを構成する。また、複数のノズルＮは、ピッチθで等間隔に配列される。ピッチθは、Ｙ軸に沿う方向における複数のノズルＮの中心間の距離である。

【0020】

複数のノズルＮのそれぞれには、個別流路Ｐが連通する。複数の個別流路Ｐのそれぞれは、Ｘ軸に沿って延びており、相異なるノズルＮに連通する。複数の個別流路Ｐの集合は、個別流路列２５を構成する。また、複数の個別流路Ｐは、Ｙ軸に沿って配列される。

【0021】

図２に示すように、各個別流路Ｐは、圧力室Ｃａと圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆとを有する。ここで、圧力室Ｃａは、第１圧力室の一例である。圧力室Ｃｂは、第２圧力室の一例である。各個別流路Ｐにおける圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂのそれぞれは、Ｘ軸に沿って延びており、当該個別流路Ｐに連通するノズルＮから吐出されるインクが貯留される空間である。図２に示す例では、複数の圧力室Ｃａは、Ｙ軸に沿って配列される。同様に、複数の圧力室Ｃｂは、Ｙ軸に沿って配列される。なお、各個別流路Ｐにおいて、Ｙ軸に沿う方向における圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂの位置は、図２に示す例では互いに同じであるが、互いに異なってもよい。また、以下では、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂを特に区別しない場合に単に「圧力室Ｃ」ともいう。

【0022】

各個別流路Ｐにおける圧力室Ｃａと圧力室Ｃｂとの間には、ノズル流路Ｎｆが配置される。各個別流路Ｐにおいて、ノズル流路Ｎｆは、Ｘ軸に沿って延びており、圧力室Ｃａと圧力室Ｃｂとを連通させる流路の少なくとも一部を構成する。また、複数のノズル流路Ｎｆは、互いに間隔をあけてＹ軸に沿って配列される。各ノズル流路Ｎｆには、ノズルＮが設けられる。各ノズル流路Ｎｆでは、前述の圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂ内の圧力が変化することで、ノズルＮからインクが吐出される。

【0023】

複数の個別流路Ｐには、第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２が連通する。第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２のそれぞれは、複数のノズルＮが分布する全範囲に亘ってＹ軸に沿って延びる空間である。Ｚ軸に沿う方向にみて（Ｚ軸に沿う方向からみて）、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２との間には、前述の個別流路列２５および複数のノズルＮが位置する。言い換えると、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２のＸ軸に沿う方向における間に、個別流路列２５や複数のノズルＮが位置する。なお、以下では、Ｚ軸に沿う方向にみることを「平面視」ともいう。

【0024】

ここで、第１共通液室Ｒ１は、各個別流路ＰのＸ２方向での端部Ｅ１に接続される。第１共通液室Ｒ１には、各個別流路Ｐに供給するためのインクが貯留される。一方、第２共通液室Ｒ２は、各個別流路ＰのＸ１方向での端部Ｅ２に接続される。第２共通液室Ｒ２には、吐出に供されずに各個別流路Ｐから排出されるインクが貯留される。

【0025】

第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２には、循環機構２６が接続される。循環機構２６は、第１共通液室Ｒ１にインクを供給するとともに、第２共通液室Ｒ２から排出されるインクを第１共通液室Ｒ１への再供給のために回収する機構である。循環機構２６は、第１供給ポンプ２６１と第２供給ポンプ２６２と貯留容器２６３と回収流路２６４と供給流路２６５とを有する。

【0026】

第１供給ポンプ２６１は、液体容器１２に貯留されるインクを貯留容器２６３に供給するポンプである。貯留容器２６３は、液体容器１２から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。回収流路２６４は、第２共通液室Ｒ２と貯留容器２６３とを連通させており、第２共通液室Ｒ２からのインクを貯留容器２６３に回収するための流路である。貯留容器２６３には、液体容器１２に貯留されるインクが第１供給ポンプ２６１から供給されるほか、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ２に排出されるインクが回収流路２６４を介して供給される。第２供給ポンプ２６２は、貯留容器２６３に貯留されるインクを送出するポンプである。供給流路２６５は、第１共通液室Ｒ１と貯留容器２６３とを連通させており、貯留容器２６３からのインクを第１共通液室Ｒ１に供給するための流路である。

【0027】

Ａ３：液体吐出ヘッドの具体的な構造
図３は、図２中のＡ－Ａ線断面図である。図３では、個別流路Ｐに沿ってＸ軸およびＺ軸に平行な平面で切断される液体吐出ヘッド２４の断面が示される。液体吐出ヘッド２４は、図３に示すように、流路構造体３０と複数の圧電素子４１と筐体部４２と保護基板４３と配線基板４４とを有する。

【0028】

流路構造体３０には、前述の第１共通液室Ｒ１、第２共通液室Ｒ２、複数の個別流路Ｐおよび複数のノズルＮが設けられる。具体的には、流路構造体３０は、ノズル基板３１、連通板３３、圧力室基板３４および振動板３５がこの順にＺ１方向に向かって積層される構造体である。ノズル基板３１、連通板３３、圧力室基板３４および振動板３５の各部材は、Ｙ軸に沿って延びており、例えば、半導体加工技術を用いてシリコンの単結晶基板を加工することにより製造される。また、これらの部材は、接着剤等により互いに接合される。なお、流路構造体３０を構成する複数の部材のうちの隣り合う２つの部材間には、接着層等の他の層または基板が適宜に介在してもよい。

【0029】

ノズル基板３１には、複数のノズルＮが設けられる。複数のノズルＮのそれぞれは、ノズル基板３１を貫通しており、インクを通過させる貫通孔である。

【0030】

連通板３３には、第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２のそれぞれの一部と複数の個別流路Ｐにおける圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂを除く部分とが設けられる。ここで、各個別流路Ｐは、前述の圧力室Ｃａ、圧力室Ｃｂおよびノズル流路Ｎｆのほか、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２、供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２を有する。これらのうち、ノズル流路Ｎｆ、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２、第１分岐流路Ｂ１、第２分岐流路Ｂ２、供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２が連通板３３に設けられる。

【0031】

第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２のそれぞれの一部は、連通板３３を貫通する空間である。連通板３３のＺ２方向を向く面には、当該空間による開口を閉塞する吸振体３６１および吸振体３６２が設置される。

【0032】

吸振体３６１および吸振体３６２のそれぞれは、弾性材料で構成される層状部材である。吸振体３６１は、第１共通液室Ｒ１の壁面の一部を構成しており、第１共通液室Ｒ１における圧力変動を吸収する。同様に、吸振体３６２は、第２共通液室Ｒ２の壁面の一部を構成しており、第２共通液室Ｒ２における圧力変動を吸収する。

【0033】

ノズル流路Ｎｆは、連通板３３のＺ２方向を向く面に設けられる溝内の空間である。ここで、ノズル基板３１は、ノズル流路Ｎｆの壁面の一部を構成する。

【0034】

第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２のそれぞれは、Ｚ軸に沿って延びており、連通板３３を貫通する空間である。第１連通流路Ｎａ１は、圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させており、圧力室Ｃａからのインクをノズル流路Ｎｆに導く。一方、第２連通流路Ｎａ２は、圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆとを連通させており、ノズル流路Ｎｆからのインクを圧力室Ｃｂに導く。

【0035】

第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２のそれぞれは、連通板３３のＺ１方向を向く面に設けられる溝とＺ軸に沿って連通板３３を貫通する孔とで形成される空間である。第１分岐流路Ｂ１は、第１連通流路Ｎａ１とは異なる経路で圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させる。本実施形態の第１分岐流路Ｂ１は、Ｘ軸に沿う方向に延びる第１流路Ｂ１ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第２流路Ｂ１ｂと、を有する。一方、第２分岐流路Ｂ２は、第２連通流路Ｎａ２とは異なる経路で圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆとを連通させる。本実施形態の第２分岐流路Ｂ２は、Ｘ軸に沿う方向に延びる第３流路Ｂ２ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第４流路Ｂ２ｂと、を有する。なお、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２については、後に詳述する。

【0036】

供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２のそれぞれは、Ｚ軸に沿って延びており、連通板３３を貫通する空間である。供給流路Ｒａ１は、第１共通液室Ｒ１と圧力室Ｃａとを連通させており、第１共通液室Ｒ１からのインクを圧力室Ｃａに供給する。ここで、供給流路Ｒａ１の一端は、連通板３３のＺ１方向を向く面に開口する。これに対し、供給流路Ｒａ１の他端は、個別流路Ｐの上流側の端部Ｅ１であり、連通板３３における第１共通液室Ｒ１の壁面に開口する。一方、排出流路Ｒａ２は、第２共通液室Ｒ２と圧力室Ｃｂとを連通させており、圧力室Ｃｂからのインクを第２共通液室Ｒ２に排出する。ここで、排出流路Ｒａ２の一端は、連通板３３のＺ１方向を向く面に開口する。これに対し、排出流路Ｒａ２の他端は、個別流路Ｐの下流側の端部Ｅ２であり、連通板３３における第２共通液室Ｒ２の壁面に開口する。

【0037】

圧力室基板３４には、複数の個別流路Ｐの圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂが設けられる。圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂのそれぞれは、圧力室基板３４を貫通しており、連通板３３と振動板３５との間における間隙である。

【0038】

振動板３５は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板３５は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）で構成される第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で構成される第２層と、を含む積層体である。ここで、第１層と第２層との間には、金属酸化物等の他の層が介在してもよい。なお、振動板３５の一部または全部は、圧力室基板３４と同一材料で一体に構成されてもよい。例えば、所定厚の板状部材における圧力室Ｃに対応する領域について厚さ方向の一部を選択的に除去することで、振動板３５および圧力室基板３４を一体に形成することができる。また、振動板３５は、単一材料の層で構成されてもよい。

【0039】

振動板３５のＺ１方向を向く面には、相異なる圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子４１が設置される。ここで、各圧力室Ｃａに対応する圧電素子４１は、第１エネルギー生成素子の一例である。各圧力室Ｃｂに対応する圧電素子４１は、第２エネルギー生成素子の一例である。各圧力室Ｃに対応する圧電素子４１は、平面視で圧力室Ｃに重なる。各圧電素子４１は、例えば、互いに対向する第１電極および第２電極と、両電極間に配置される圧電体層との積層により構成される。各圧電素子４１は、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させることで圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから吐出させる。圧電素子４１は、駆動電圧が供給されることにより、自身の変形に伴い、振動板３５を振動させる。この振動に伴って、圧力室Ｃが膨張および伸縮することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力が変動する。

【0040】

筐体部４２は、インクを貯留するためのケースである。筐体部４２には、第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２のそれぞれについて連通板３３に設けられる一部以外の残部を構成する空間が設けられる。また、筐体部４２には、供給口４２１および排出口４２２が設けられる。供給口４２１は、第１共通液室Ｒ１に連通する管路であり、循環機構２６の供給流路２６５に接続される。このため、第２供給ポンプ２６２から供給流路２６５に送出されるインクは、供給口４２１を経由して第１共通液室Ｒ１に供給される。他方、排出口４２２は、第２共通液室Ｒ２に連通する管路であり、循環機構２６の回収流路２６４に連結される。このため、第２共通液室Ｒ２内のインクは排出口４２２を経由して回収流路２６４に排出される。

【0041】

保護基板４３は、振動板３５のＺ１方向を向く面に設置される板状部材であり、複数の圧電素子４１を保護するとともに振動板３５の機械的な強度を補強する。ここで、保護基板４３と振動板３５との間には、複数の圧電素子４１が収容される。

【0042】

配線基板４４は、振動板３５のＺ１方向を向く面に実装されており、制御ユニット２１と液体吐出ヘッド２４とを電気的に接続するための実装部品である。例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板４４が好適に利用される。配線基板４４には、各圧電素子４１に駆動電圧を供給するための駆動回路４５が実装される。

【0043】

以上の構成の液体吐出ヘッド２４では、前述の循環機構２６の動作により、インクが第１共通液室Ｒ１、供給流路Ｒａ１、圧力室Ｃａ、第１連通流路Ｎａ１、ノズル流路Ｎｆ、第２連通流路Ｎａ２、圧力室Ｃｂ、排出流路Ｒａ２および第２共通液室Ｒ２にこの順に流通する。ここで、圧力室Ｃａから圧力室Ｃｂに向かうインクのうち、一部が第１連通流路Ｎａ１、ノズル流路Ｎｆ、第２連通流路Ｎａ２をこの順に経由し、残部が第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２のうちの少なくとも一方を適宜に経由する。図３に示す例では、圧力室Ｃａから圧力室Ｃｂに向かうインクのうちの一部は、ノズル流路Ｎｆを経由せずに、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２を経由してもよい。

【0044】

また、駆動回路４５からの駆動電圧により、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂの両方に対応する圧電素子４１が同時に駆動することで、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂの圧力を変動させ、その圧力変動に伴ってノズルＮからインクが吐出される。なお、循環機構２６の動作期間または動作タイミングは、任意であり、ノズルＮからインクを吐出する期間またはタイミングと重複するか否かも任意である。

【0045】

このように、液体吐出ヘッド２４に用いるインクを循環させることにより、ノズルＮの近傍におけるインクの増粘または成分の沈殿を低減することができる。このため、液体吐出ヘッド２４におけるインクの吐出量または吐出速度等の吐出特性の悪化を防止することができる。この結果、長期にわたり、液体吐出ヘッド２４におけるインクの吐出特性の安定化を図ることができる。

【0046】

Ａ４：第１分岐流路および第２分岐流路の詳細
図４は、図３に示す液体吐出ヘッド２４の一部を示す拡大断面図である。図４では、圧力室Ｃａおよび圧力室ＣｂのそれぞれからノズルＮへのインクの流通経路が太い破線で示される。

【0047】

前述のように、ノズル流路Ｎｆは、連通板３３のＺ２方向を向く面に設けられる溝内の空間である。ここで、ノズル流路Ｎｆの壁面は、連通板３３のＺ２方向を向く面による壁面Ｆ３と、ノズル基板３１のＺ１方向を向く面による壁面Ｆ４と、を有する。壁面Ｆ３は、第３壁面の一例である。壁面Ｆ４は、第４壁面の一例である。

【0048】

ノズル流路Ｎｆは、Ｘ軸に沿って延びており、ノズル流路Ｎｆの途中には、ノズルＮが設けられる。図４に示す例では、Ｘ軸に沿う方向におけるノズル流路Ｎｆの中央にノズルＮが設けられる。また、ノズル流路ＮｆのＸ２方向での端には、第１連通流路Ｎａ１を介して圧力室Ｃａが連通する。このため、圧力室Ｃａからの圧力が第１連通流路Ｎａ１およびノズル流路Ｎｆを介してノズルＮに伝達される。一方、ノズル流路ＮｆのＸ１方向での端には、第２連通流路Ｎａ２を介して圧力室Ｃａが連通する。このため、圧力室Ｃｂからの圧力が第２連通流路Ｎａ２およびノズル流路Ｎｆを介してノズルＮに伝達される。

【0049】

ここで、ノズルＮが圧力室Ｃａの直下に位置せずにノズル流路Ｎｆの途中に設けられるため、圧力室Ｃａから第１連通流路Ｎａ１を介してノズルＮに至る流路の流路抵抗が高くなりやすい。

【0050】

具体的には、前述のように、第１連通流路Ｎａ１がＺ軸に沿う方向に延びるのに対し、ノズル流路ＮｆがＸ軸に沿う方向に延びる。このため、第１連通流路Ｎａ１およびノズル流路Ｎｆが互いに直交する。したがって、圧力室Ｃａから第１連通流路Ｎａ１を介してノズルＮに至る流路では、その長さに応じてインクの壁面での摩擦による圧力損失が増大する。更に、場合によっては、第１連通流路Ｎａ１とノズル流路Ｎｆとの接続部においてインクの渦による圧力損失が生じる可能性もある。これの結果、当該流路の流路抵抗が高くなりやすい。

【0051】

第１連通流路Ｎａ１およびノズル流路Ｎｆのそれぞれの断面積を大きくすれば、圧力室Ｃａから第１連通流路Ｎａ１を介してノズルＮに至る流路の流路抵抗を低くすることができる。しかし、そうすると、Ｙ軸に沿う方向に隣り合う２つの第１連通流路Ｎａ１間を隔てる隔壁が撓みやすくなり、当該隔壁の撓みに起因する構造クロストークが生じてしまう。

【0052】

そこで、液体吐出ヘッド２４は、圧力室Ｃａからノズル流路Ｎｆに至る流路として、第１連通流路Ｎａ１のほかに、第１分岐流路Ｂ１を有する。同様の観点から、液体吐出ヘッド２４は、圧力室Ｃｂからノズル流路Ｎｆに至る流路として、第２連通流路Ｎａ２のほかに、第２分岐流路Ｂ２を有する。

【0053】

第１分岐流路Ｂ１は、隔壁３３１により第１連通流路Ｎａ１との間を隔てられており、第１連通流路Ｎａ１とは異なる流路である。前述のように、第１分岐流路Ｂ１は、Ｘ軸に沿う方向に延びる第１流路Ｂ１ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第２流路Ｂ１ｂと、を有する。同様に、第２分岐流路Ｂ２は、隔壁３３２により第２連通流路Ｎａ２との間を隔てられており、第２連通流路Ｎａ２とは異なる流路である。前述のように、第２分岐流路Ｂ２は、Ｘ軸に沿う方向に延びる第３流路Ｂ２ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第４流路Ｂ２ｂと、を有する。

【0054】

ここで、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とはＸ軸に沿う方向で対称に構成される以外は、互いに同様に構成される。したがって、第１流路Ｂ１ａと第３流路Ｂ２ａとはＸ軸に沿う方向で対称に構成される。また、第２流路Ｂ１ｂと第４流路Ｂ２ｂとはＸ軸に沿う方向で対称に構成される。

【0055】

以下、第１分岐流路Ｂ１について代表的に説明し、第２分岐流路Ｂ２については、その説明を適宜に省略する。なお、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とはＸ軸に沿う方向で非対称に構成されてもよい。ただし、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とはＸ軸に沿う方向で対称に構成されることにより、液体吐出ヘッド２４の設計が容易となるという利点がある。

【0056】

第１流路Ｂ１ａは、連通板３３のＺ１方向を向く面に設けられる溝で形成される空間である。ここで、第１流路Ｂ１ａの壁面は、圧力室基板３４のＺ２方向を向く面による壁面Ｆ１と、連通板３３のＺ１方向を向く面による壁面Ｆ２と、を有する。壁面Ｆ１は、第１壁面の一例である。壁面Ｆ２は、第２壁面の一例である。以上の第１流路Ｂ１ａのＸ２方向での端は、圧力室Ｃａに連通する。一方、第１流路Ｂ１ａのＸ１方向での端は、第２流路Ｂ１ｂに連通する。

【0057】

第２流路Ｂ１ｂは、Ｚ軸に沿って連通板３３を貫通する孔で形成される空間である。第２流路Ｂ１ｂのＺ１方向での端は、第１流路Ｂ１ａに連通する。一方、第２流路Ｂ１ｂのＺ２方向での端は、ノズル流路Ｎｆに連通する。ここで、第２流路Ｂ１ｂは、Ｚ軸に沿う方向でみてノズルＮに重なる位置にある。このため、第２流路Ｂ１ｂからの圧力を直接的にノズルＮに伝達することができる。

【0058】

本実施形態では、第２流路Ｂ１ｂは、第２分岐流路Ｂ２の第４流路Ｂ２ｂと共用される。すなわち、第２流路Ｂ１ｂおよび第４流路Ｂ２ｂは、Ｚ軸に沿う方向に延びる１つの流路を構成する。このため、Ｚ軸に沿う方向でみてノズルＮに重なる位置に第２流路Ｂ１ｂおよび第４流路Ｂ２ｂの両方を配置することができる。

【0059】

また、本実施形態では、圧力室Ｃａから第１分岐流路Ｂ１を介してノズルＮに至る流路の長さが、圧力室Ｃａから第１連通流路Ｎａ１を介してノズルＮに至る流路の長さに略等しい。

【0060】

以上の第１分岐流路Ｂ１では、圧力室Ｃａからの圧力を第１連通流路Ｎａ１および第１分岐流路Ｂ１の両方を介してできるだけ効率的に伝達させるべく、圧力室Ｃａから第１分岐流路Ｂ１を介してノズルＮに至る流路の流路抵抗が、圧力室Ｃａから第１連通流路Ｎａ１を介してノズルＮに至る流路の流路抵抗と同程度であることが好ましい。

【0061】

このような観点から、第１流路Ｂ１ａの断面積は、ノズル流路Ｎｆの断面積に等しいことが好ましい。したがって、Ｙ軸に沿う方向における第１流路Ｂ１ａの幅とＹ軸に沿う方向におけるノズル流路Ｎｆの幅とが互いに等しい場合、Ｚ軸に沿う方向における第１流路Ｂ１ａの幅Ｗｂ１とＺ軸に沿う方向におけるノズル流路Ｎｆの幅Ｗｆとが互いに等しいことが好ましい。

【0062】

また、前述のように、本実施形態では、第２流路Ｂ１ｂが第２分岐流路Ｂ２の第４流路Ｂ２ｂと共用されるため、第２流路Ｂ１ｂの流路抵抗と第１連通流路Ｎａ１の流路抵抗とが互いに等しくなるように、第２流路Ｂ１ｂの断面積は、第１連通流路Ｎａ１の断面積よりも大きいことが好ましい。したがって、Ｙ軸に沿う方向における第２流路Ｂ１ｂの幅とＹ軸に沿う方向における第１連通流路Ｎａ１の幅とが互いに等しい場合、Ｘ軸に沿う方向における第２流路Ｂ１ｂの幅Ｗｂ２がＸ軸に沿う方向における第１連通流路Ｎａ１の幅Ｗａ１よりも大きいことが好ましい。なお、第２流路Ｂ１ｂの流路抵抗と第１連通流路Ｎａ１の流路抵抗とが互いに等しくなるように、Ｙ軸に沿う方向における第２流路Ｂ１ｂの幅とＹ軸に沿う方向における第１連通流路Ｎａ１の幅とが互いに異なってもよい。

【0063】

以上の液体吐出ヘッド２４は、前述のように、第１圧力室の一例である圧力室Ｃａと、第２圧力室の一例である圧力室Ｃｂと、ノズル流路Ｎｆと、第１連通流路Ｎａ１と、第２連通流路Ｎａ２と、第１分岐流路Ｂ１と、を有する。

【0064】

圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂのそれぞれは、液体の一例であるインクに圧力を付与する。ノズル流路Ｎｆは、第１軸の一例であるＸ軸に沿う方向に延びており、ノズル流路Ｎｆには、インクを吐出するノズルＮが設けられる。第１連通流路Ｎａ１は、第１軸に交差する第２軸の一例であるＺ軸に沿う方向に延びており、圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させる。第２連通流路Ｎａ２は、Ｚ軸に沿う方向に延びており、圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆとを連通させる。第１分岐流路Ｂ１は、Ｘ軸に沿う方向に延びる部分を有しており、第１連通流路Ｎａ１とは異なる経路で圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させる。

【0065】

以上の液体吐出ヘッド２４では、第１連通流路Ｎａ１および第１分岐流路Ｂ１のそれぞれが圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させるので、第１分岐流路Ｂ１を設けない構成に比べて、圧力室Ｃａからノズル流路Ｎｆに至る流路の流路抵抗を低減することができる。この結果、第１分岐流路Ｂ１を設けない構成に比べて、圧力室Ｃａからの圧力をノズルＮに効率的に伝達することができる。

【0066】

ここで、第１分岐流路Ｂ１が第１連通流路Ｎａ１とは異なる経路であるため、圧力室Ｃａからノズル流路Ｎｆに至る流路の流路抵抗を低減しても、第１分岐流路Ｂ１を設けない構成に比べて、各流路の断面積を小さくすることができる。このため、これらの流路がＹ軸方向に複数配列されても、流路間を隔てる隔壁の撓みを低減することができる。この結果、当該流路間における当該隔壁の撓みによる構造クロストークを低減することができる。

【0067】

また、第１分岐流路Ｂ１がＸ軸に沿う方向に延びる部分を有するので、当該部分を有しない構成に比べて、前述の隔壁の厚さを厚くすることができる。また、当該部分を有する構成では、Ｘ軸に沿う方向に延びるノズル流路Ｎｆの途中にノズルＮが設けられても、当該部分を有しない構成に比べて、第１分岐流路Ｂ１とノズル流路Ｎｆとの連通位置をノズルＮに近づけやすい。このため、当該連通位置をノズルＮに近づけることにより、第１分岐流路Ｂ１を介して圧力室Ｃａからの圧力をノズルＮに効率的に伝達することもできる。

【0068】

本実施形態では、第１分岐流路Ｂ１は、前述のように、第１流路Ｂ１ａと第２流路Ｂ１ｂとを有する。第１流路Ｂ１ａは、Ｘ軸に沿う方向に延びており、圧力室Ｃａに連通する。一方、第２流路Ｂ１ｂは、Ｚ軸に沿う方向に延びており、第１流路Ｂ１ａとノズル流路Ｎｆとを連通させる。このような第１流路Ｂ１ａおよび第２流路Ｂ１ｂを有する第１分岐流路Ｂ１では、圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆとを連通させるとともに、第１流路Ｂ１ａの長さに応じてＸ軸に沿う方向における隔壁３３１の厚さを厚くすることができる。

【0069】

また、前述のように、圧力室Ｃａおよびノズル流路Ｎｆのそれぞれは、Ｘ軸に沿う方向に延びる。ここで、第１連通流路Ｎａ１は、Ｘ軸に沿う一方の方向であるＸ１方向における圧力室Ｃａの端部と、Ｘ軸に沿う他方の方向であるＸ２方向におけるノズル流路Ｎｆの端部とを連通させる。このため、第１連通流路Ｎａ１がＸ軸に沿う方向における圧力室Ｃａまたはノズル流路Ｎｆの途中に連通する構成に比べて、第１連通流路Ｎａ１を介して圧力室Ｃａからの圧力をノズルＮに効率的に伝達することができる。

【0070】

また、前述のように、第１分岐流路Ｂ１は、第１連通流路Ｎａ１よりもノズルＮに近い位置でノズル流路Ｎｆに連通する。このため、第１分岐流路Ｂ１が第１連通流路Ｎａ１よりもノズルＮに遠い位置でノズル流路Ｎｆに連通する構成に比べて、第１分岐流路Ｂ１を介して圧力室Ｃａからの圧力をノズルＮに効率的に伝達することができる。

【0071】

液体吐出ヘッド２４では、前述のように、圧力室Ｃｂに関する流路も圧力室Ｃａに関する流路と同様に構成される。すなわち、液体吐出ヘッド２４は、第２分岐流路Ｂ２をさらに有する。第２分岐流路Ｂ２は、Ｘ軸に沿う方向に延びる部分を有しており、第２連通流路Ｎａ２とは異なる経路で圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆとを連通させる。

【0072】

このため、第２分岐流路Ｂ２を設けない構成に比べて、前述の圧力室Ｃａからノズル流路Ｎｆに至る流路と同様、圧力室Ｃｂからノズル流路Ｎｆに至る流路の流路抵抗を低減したり、流路間を隔てる隔壁の撓みを低減したりすることができる。また、前述の圧力室ＣａからノズルＮａへの圧力伝達と同様、第２分岐流路Ｂ２を介して圧力室Ｃｂからの圧力をノズルＮｂに効率的に伝達することができる。

【0073】

ここで、前述のように、第２分岐流路Ｂ２は、第１分岐流路Ｂ１の第１流路Ｂ１ａおよび第２流路Ｂ１ｂと同様、第３流路Ｂ２ａおよび第４流路Ｂ２ｂを有する。本実施形態では、第２流路Ｂ１ｂおよび第４流路Ｂ２ｂが共通である。すなわち、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２は、Ｚ軸に沿う方向に延びる共用の部分として、第２流路Ｂ１ｂおよび第４流路Ｂ２ｂを有する。このため、第１分岐流路Ｂ１とノズル流路Ｎｆとの連通位置と、第２分岐流路Ｂ２とノズル流路Ｎｆとの連通位置とを一致させることができる。この結果、これらの連通位置の両方をノズルＮに近づけることができる。

【0074】

液体吐出ヘッド２４は、前述のように、圧力室基板３４と連通板３３とノズル基板３１とをさらに有する。圧力室基板３４には、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂが設けられる。連通板３３には、ノズル流路Ｎｆ、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２および第１分岐流路Ｂ１が設けられる。ノズル基板３１には、ノズルＮが設けられる。このような複数の基板を用いて構成される液体吐出ヘッド２４では、当該複数の基板を加工および接合することにより、寸法精度に優れる各流路および各圧力室Ｃを歩留まりよく形成することができる。

【0075】

ここで、第１分岐流路Ｂ１の壁面は、第１壁面の一例である壁面Ｆ１と、第２壁面の一例である壁面Ｆ２と、を有する。壁面Ｆ１が、圧力室基板３４で構成される。壁面Ｆ２は、Ｚ軸に沿う方向で壁面Ｆ１とは反対側に位置し、連通板３３で構成される。このように、連通板３３および圧力室基板３４を用いて第１分岐流路Ｂ１の壁面を構成することにより、壁面Ｆ１または壁面Ｆ２に形成される溝等を用いて、第１分岐流路Ｂ１にＸ軸に沿う方向に延びる部分を容易に形成することができる。

【0076】

また、ノズル流路Ｎｆは、第３壁面の一例である壁面Ｆ３と、第４壁面の一例である壁面Ｆ４と、を有する。壁面Ｆ３は、連通板３３で構成される。壁面Ｆ４は、Ｚ軸に沿う方向で壁面Ｆ３とは反対側に位置し、ノズル基板３１で構成される。このように、ノズル基板３１および連通板３３を用いてノズル流路Ｎｆの壁面を構成することにより、壁面Ｆ３または壁面Ｆ４に形成される溝等を用いて、Ｘ軸に沿う方向に延びるノズル流路Ｎｆを容易に形成することができる。

【0077】

液体吐出ヘッド２４は、前述のように、供給流路Ｒａ１と排出流路Ｒａ２とをさらに有する。供給流路Ｒａ１は、圧力室Ｃａに連通し、圧力室Ｃａにインクを供給する。排出流路Ｒａ２は、圧力室Ｃｂに連通し、圧力室Ｃｂからインクが排出される。このような供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２により、供給流路Ｒａ１と排出流路Ｒａ２との間の流路におけるインクの滞留を低減することができる。このため、ノズルＮの近傍におけるインクの増粘または成分の沈殿を低減することができる。この結果、液体吐出ヘッド２４におけるインクの吐出量または吐出速度等の吐出特性の悪化を防止することができる。

【0078】

ここで、供給流路Ｒａ１から圧力室Ｃａへのインクの供給と圧力室Ｃｂから排出流路Ｒａ２へのインクの排出とは、循環機構２６の作動により行われる。なお、循環機構２６と液体吐出ヘッド２４との接続形態を前述の接続形態に対して供給側と排出側とで逆にしてもよい。この場合、供給流路Ｒａ１は、圧力室Ｃａからインクが排出される排出流路として機能し、排出流路Ｒａ２は、圧力室Ｃｂにインクを供給する供給流路として機能する。

【0079】

前述のように、第１分岐流路Ｂ１は、Ｚ軸に沿う方向に延びる部分として、第２流路Ｂ１ｂを有する。ここで、Ｚ軸に沿う方向でみたときの第２流路Ｂ１ｂの面積は、Ｚ軸に沿う方向でみたときの第１連通流路Ｎａ１の面積に等しいことが好ましい。これらの面積を互いに等しくすることにより、第１連通流路Ｎａ１の流路抵抗と第１分岐流路Ｂ１の流路抵抗とを互いに等しくすることができる。この結果、これらの流路抵抗が互いに異なる構成に比べて、第１連通流路Ｎａ１および第１分岐流路Ｂ１のそれぞれにおけるインクの流通を円滑に行うことができる。なお、本明細書において、「等しい」とは、厳密に等しい場合のほか、製造誤差等の程度の相違を有する場合も含む概念である。

【0080】

液体吐出ヘッド２４は、前述のように、複数の圧電素子４１と、駆動回路４５とをさらに有する。ここで、複数の圧電素子４１のうち、駆動電圧が印加されることにより圧力室Ｃａのインクに圧力を付与するためのエネルギーを生成する圧電素子４１は、第１エネルギー生成素子の一例であり、駆動電圧が印加されることにより圧力室Ｃｂのインクに圧力を付与するためのエネルギーを生成する圧電素子４１は、第２エネルギー生成素子の一例である。駆動回路４５は、これらの圧電素子４１の両方に駆動電圧を印加する。このため、圧力室Ｃａのための圧電素子４１と圧力室Ｃｂのための圧電素子４１とで別々の駆動回路を用いる構成に比べて、液体吐出ヘッド２４の構成を簡単化することができる。

【0081】

ここで、駆動回路４５は、Ｘ軸に沿う方向において、圧力室Ｃａのための圧電素子４１と圧力室Ｃｂのための圧電素子４１との間に位置する。このため、駆動回路４５が他の位置にある構成に比べて、駆動回路４５からこれらの圧電素子４１の両方への駆動電圧の供給経路を短くすることができる。また、このような構成では、駆動回路４５の設置スペースを確保するために、Ｘ軸に沿う方向にノズル流路Ｎｆの長さが長くなってしまう。したがって、このような構成を採用する場合、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂのそれぞれからノズル流路Ｎｆに至る流路の流路抵抗を小さくすることは、特に有用である。

【0082】

以上の液体吐出装置１００は、前述のように、液体吐出ヘッド２４と、制御部の一例である制御ユニット２１と、を有する。制御ユニット２１は、液体吐出ヘッド２４からのインクの吐出動作を制御する。以上の液体吐出装置１００では、前述のように液体吐出ヘッド２４が優れた吐出特性を有するので、画質を向上させることができる。

【0083】

Ｂ：第２実施形態
以下、本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

【0084】

図５は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド２４Ａの一部を示す拡大断面図である。液体吐出ヘッド２４Ａは、流路構造体３０に代えて、流路構造体３０Ａを有する以外は、前述の第１実施形態の液体吐出ヘッド２４と同様である。流路構造体３０Ａは、連通板３３に代えて連通板３３Ａを有する以外は、流路構造体３０と同様である。連通板３３Ａは、隔壁３３３が設けられる以外は、連通板３３と同様である。なお、以下では、第１分岐流路Ｂ１に関する事項を代表的に説明し、第２分岐流路Ｂ２に関する事項については、第１分岐流路Ｂ１と同様であるため、その説明を適宜に省略する。

【0085】

隔壁３３３は、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２との間を隔てる部材である。図５に示す例では、隔壁３３３は、圧力室基板３４からＮ２方向に延びる。隔壁３３３とノズル基板３１との間には、Ｚ軸に沿う方向におけるノズル流路Ｎｆの幅Ｗｆと同程度の隙間が形成される。

【0086】

以上のように、本実施形態の液体吐出ヘッド２４Ａは、第１隔壁の一例である隔壁３３３と、第２隔壁の一例である隔壁３３１と、を有する。隔壁３３３は、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２との間を隔てる。隔壁３３１は、第１連通流路Ｎａ１と第１分岐流路Ｂ１との間を隔てる。

【0087】

ここで、Ｘ軸に沿う方向における隔壁３３３の厚さｔ１は、Ｘ軸に沿う方向における隔壁３３１の厚さｔ２よりも薄い。このため、隔壁３３３の厚さｔ１が隔壁３３１の厚さｔ２よりも厚い構成に比べて、第１分岐流路Ｂ１とノズル流路Ｎｆとの連通位置と、第２分岐流路Ｂ２とノズル流路Ｎｆとの連通位置との間の距離を短くすることができる。この結果、これらの連通位置のそれぞれをノズルＮに近づけることができる。また、隔壁３３３を設ける構成では、隔壁３３３を設けない構成に比べて、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２との間でのインクの流通が低減されるので、これらの流路間の乱流等における圧力損失を低減することができる。

【0088】

また、Ｘ軸に沿う方向における隔壁３３３の厚さｔは、圧力室ＣａからノズルＮに至る流路の長さをできるだけ短くする観点から、Ｘ軸に沿う方向における第１連通流路Ｎａ１の幅Ｗａ１よりも小さいことが好ましい。なお、図５に示す例では、厚さｔが一定であるが、厚さｔが一定でなくともよい。

【0089】

また、前述の第１実施形態と同様、第１分岐流路Ｂ１は、Ｚ軸に沿う方向に延びる部分として、第２流路Ｂ１ｂを有する。ここで、Ｚ軸に沿う方向でみたときの第２流路Ｂ１ｂの面積は、Ｚ軸に沿う方向でみたときの第１連通流路Ｎａ１の面積に等しいことが好ましい。これらの面積を互いに等しくすることにより、第１連通流路Ｎａ１の流路抵抗と第１分岐流路Ｂ１の流路抵抗とを等しくすることができる。この結果、これらの流路抵抗が互いに異なる構成に比べて、第１連通流路Ｎａ１および第１分岐流路Ｂ１のそれぞれにおけるインクの流通を円滑に行うことができる。

【0090】

以上の第２実施形態によっても、所望の吐出特性を得つつ、圧力室ＣａからノズルＮへの圧力を効率的に伝達することができる。

【0091】

また、第２実施形態では、第１分岐流路Ｂ１を通るインクも必ずノズルＮの直上を通過することになる。よって、第１実施形態に比べて、ノズルＮの直上を通過するインク量は増大する。よってノズルＮからのインクの蒸発等に起因するノズルＮ近傍における増粘をより低減することが可能となる。

【0092】

Ｃ：第３実施形態
以下、本発明の第３実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

【0093】

図６は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２４Ｂの一部を示す拡大断面図である。液体吐出ヘッド２４Ｂは、流路構造体３０に代えて、流路構造体３０Ｂを有する以外は、前述の第１実施形態の液体吐出ヘッド２４と同様である。流路構造体３０Ｂは、連通板３３に代えて連通板３３Ｂを有する以外は、流路構造体３０と同様である。連通板３３Ｂは、隔壁３３３に代えて隔壁３３３Ｂを有する以外は、前述の第２実施形態の連通板３３Ａと同様である。なお、以下では、第１分岐流路Ｂ１に関する事項を代表的に説明し、第２分岐流路Ｂ２に関する事項については、第１分岐流路Ｂ１と同様であるため、その説明を適宜に省略する。

【0094】

隔壁３３３Ｂは、第３連通流路Ｂ３を有する以外は、前述の第２実施形態の隔壁３３３と同様である。第３連通流路Ｂ３は、隔壁３３３Ｂを貫通する流路であり、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とを連通させる。図６に示す例では、第３連通流路Ｂ３は、隔壁３３３ＢのＺ１方向を向く面に設けられる溝により形成される。なお、第３連通流路Ｂ３は、隔壁３３３Ｂを貫通する貫通孔により形成されてもよい。

【0095】

以上のように、液体吐出ヘッド２４Ｂは、ノズル流路Ｎｆとは異なる経路で第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とを連通させる第３連通流路Ｂ３をさらに有する。このため、第３連通流路Ｂ３を介して第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２のうちの一方から他方へ気泡を流通させることができる。この結果、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２における気泡の滞留を低減することができる。なお、第３連通流路Ｂ３を通じた気泡の流通は、主に、前述の循環機構２６の作動に伴って行われる。

【0096】

ここで、Ｚ軸に沿う方向における第３連通流路Ｂ３の幅は、第１流路Ｂ１ａから第２流路Ｂ１ｂへの圧力の伝達を効率的に行う観点から、第１流路Ｂ１ａの幅Ｗｂ１よりも小さいことが好ましい。

【0097】

以上の第３実施形態によっても、所望の吐出特性を得つつ、圧力室ＣａからノズルＮへの圧力を効率的に伝達することができる。

【0098】

Ｄ：第４実施形態
以下、本発明の第４実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

【0099】

図７は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッド２４Ｃの一部を示す拡大断面図である。液体吐出ヘッド２４Ｃは、流路構造体３０に代えて、流路構造体３０Ｃを有する以外は、前述の第１実施形態の液体吐出ヘッド２４と同様である。流路構造体３０Ｃは、連通板３３に代えて連通板３３Ｃを有する以外は、流路構造体３０と同様である。連通板３３Ｃは、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２の構成が異なる以外は、連通板３３と同様である。なお、以下では、第１分岐流路Ｂ１に関する事項を代表的に説明し、第２分岐流路Ｂ２に関する事項については、第１分岐流路Ｂ１と同様であるため、その説明を適宜に省略する。

【0100】

本実施形態の第１分岐流路Ｂ１は、圧力室ＣａからＺ２方向に延びる部分を有しており、隔壁３３５により第１連通流路Ｎａ１との間を隔てられる。本実施形態の第１分岐流路Ｂ１は、Ｚ軸に沿う方向に延びる第１流路Ｂ１ｃと、Ｘ軸に沿う方向に延びる第２流路Ｂ１ｄと、を有する。

【0101】

同様に、本実施形態の第２分岐流路Ｂ２は、圧力室ＣｂからＺ２方向に延びる部分を有しており、隔壁３３６により第２連通流路Ｎａ２との間を隔てられる。本実施形態の第２分岐流路Ｂ２は、Ｚ軸に沿う方向に延びる第３流路Ｂ２ｃと、Ｘ軸に沿う方向に延びる第４流路Ｂ２ｄと、を有する。

【0102】

ここで、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とはＸ軸に沿う方向で対称に構成される以外は、互いに同様に構成される。したがって、第１流路Ｂ１ｃと第３流路Ｂ２ｃとはＸ軸に沿う方向で対称に構成される。また、第２流路Ｂ１ｄと第４流路Ｂ２ｄとはＸ軸に沿う方向で対称に構成される。

【0103】

以下、第１分岐流路Ｂ１について代表的に説明し、第２分岐流路Ｂ２については、その説明を適宜に省略する。なお、第１分岐流路Ｂ１と第２分岐流路Ｂ２とはＸ軸に沿う方向で非対称に構成されてもよい。

【0104】

第１流路Ｂ１ｃは、Ｚ軸に沿って連通板３３Ｃを貫通する孔で形成される空間である。以上の第１流路Ｂ１ｃのＺ１方向での端は、圧力室Ｃａに連通する。一方、第１流路Ｂ１ｃのＺ２方向での端は、第２流路Ｂ１ｄに連通する。

【0105】

第２流路Ｂ１ｄは、連通板３３のＺ２方向を向く面に設けられる溝で形成される空間である。第２流路Ｂ１ｄのＸ２方向での端は、第１流路Ｂ１ｃに連通する。一方、第２流路Ｂ１ｄのＸ１方向での端は、ノズル流路Ｎｆに連通する。ここで、第２流路Ｂ１ｄは、ノズル流路Ｎｆを延長した形態であり、ノズル流路Ｎｆの一部を構成するともいえる。

【0106】

以上の第４実施形態によっても、所望の吐出特性を得つつ、圧力室ＣａからノズルＮへの圧力を効率的に伝達することができる。また、本実施形態では、第１分岐流路Ｂ１および第２分岐流路Ｂ２におけるＸ軸に沿って延びる部分の長さを短くすることができる。このため、これらの流路の流路抵抗を低くしやすいという利点がある。

【0107】

Ｅ：参考例
以下、参考例について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

【0108】

Ｅ１：液体吐出ヘッドの流路
図８は、参考例に係る液体吐出ヘッド２４Ｄにおける流路の模式図である。液体吐出ヘッド２４Ｄは、複数の個別流路Ｐに代えて複数の個別流路Ｐａおよび複数の個別流路Ｐｂを有する以外は、前述の第１実施形態の液体吐出ヘッド２４と同様である。すなわち、液体吐出ヘッド２４Ｄは、図８に示すように、複数のノズルＮと複数の個別流路Ｐａと複数の個別流路Ｐｂと第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とが設けられるとともに、循環機構２６が接続される。

【0109】

具体的に説明すると、液体吐出ヘッド２４Ｄは、媒体１１に対向する表面を有し、当該表面には、図８に示すように、複数のノズルＮａと複数のノズルＮｂとが設けられる。これらのノズルのそれぞれは、前述の第１実施形態におけるノズルＮと同様に構成されており、Ｚ２方向にインクを吐出する。なお、以下では、ノズルＮａおよびノズルＮｂを特に区別しない場合に単に「ノズルＮ」ともいう。

【0110】

複数のノズルＮａは、Ｙ軸に沿って配列されており、これらの集合は、第１ノズル列Ｌａを構成する。同様に、複数のノズルＮｂは、Ｙ軸に沿って配列されており、これらの集合は、第２ノズル列Ｌｂを構成する。

【0111】

第１ノズル列Ｌａと第２ノズル列Ｌｂとは、Ｘ軸に沿う方向に所定の間隔をあけて並ぶ。ここで、ノズルＮａの配列ピッチとノズルＮｂの配列ピッチが互いに等しいが、互いに最も近いノズルＮａおよびノズルＮｂがＹ軸に沿う方向に前述のピッチθで互いにずれるように配置される。

【0112】

複数のノズルＮａのそれぞれには、個別流路Ｐａが連通する。複数の個別流路Ｐａのそれぞれは、Ｘ軸に沿って延びており、相異なるノズルＮａに連通する。同様に、複数のノズルＮｂのそれぞれには、個別流路Ｐｂが連通する。複数の個別流路Ｐｂのそれぞれは、Ｘ軸に沿って延びており、相異なるノズルＮｂに連通する。個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂとは、Ｙ軸に沿って交互に配列されており、複数の個別流路Ｐａおよび複数の個別流路Ｐｂの集合は、個別流路列２５Ｄを構成する。

【0113】

個別流路Ｐａは、圧力室Ｃｂを省略した以外は、前述の第１実施形態の個別流路Ｐと同様である。具体的には、個別流路Ｐａは、第１部分Ｐａ１と第２部分Ｐａ２とを含む。各個別流路Ｐａにおける第１部分Ｐａ１は、当該個別流路Ｐａにおける上流側の端部Ｅ１とノズルＮａとの間の流路である。第１部分Ｐａ１は、圧力室Ｃａを含む。他方、各個別流路Ｐａにおける第２部分Ｐａ２は、当該個別流路Ｐａにおける下流側の端部Ｅ２とノズルＮａとの間の流路である。

【0114】

個別流路Ｐｂは、圧力室Ｃａを省略した以外は、前述の第１実施形態の個別流路Ｐと同様である。具体的には、個別流路Ｐｂは、第３部分Ｐｂ１と第４部分Ｐｂ２とを含む。各個別流路Ｐｂにおける第３部分Ｐｂ１は、当該個別流路Ｐｂにおける上流側の端部Ｅ１とノズルＮｂとの間の流路である。他方、各個別流路Ｐｂにおける第４部分Ｐｂ２は、当該個別流路Ｐｂにおける下流側の端部Ｅ２とノズルＮｂとの間の流路である。第４部分Ｐｂ２は、圧力室Ｃｂを含む。

【0115】

以上の各個別流路Ｐａおよび各個別流路Ｐｂのそれぞれの上流側の端部Ｅ１には、第１共通液室Ｒ１が接続される。一方、各個別流路Ｐａおよび各個別流路Ｐｂのそれぞれの下流側の端部Ｅ２には、第２共通液室Ｒ２が接続される。

【0116】

Ｅ２：液体吐出ヘッドの具体的な構造
図９は、図８中のＡ１－Ａ１線断面図である。図９では、個別流路Ｐａに沿ってＸ軸およびＺ軸に平行な平面で切断される液体吐出ヘッド２４Ｄの断面が示される。図１０は、図８中のＡ２－Ａ２線断面図である。図１０では、個別流路Ｐｂに沿ってＸ軸およびＺ軸に平行な平面で切断される液体吐出ヘッド２４Ｄの断面が示される。

【0117】

図９および図１０に示すように、液体吐出ヘッド２４Ｄは、一部の圧力室Ｃａを横連通流路Ｃｑ１に代えるとともに一部の圧力室Ｃｂを横連通流路Ｃｑ２に代えた以外は、前述の第１実施形態の液体吐出ヘッド２４と同様である。

【0118】

液体吐出ヘッド２４Ｄは、図９および図１０に示すように、流路構造体３０Ｄと複数の圧電素子４１と筐体部４２と保護基板４３と配線基板４４とを有する。

【0119】

流路構造体３０Ｄには、前述の第１共通液室Ｒ１、第２共通液室Ｒ２、複数の個別流路Ｐａ、複数の個別流路Ｐｂおよび複数のノズルＮが設けられる。具体的には、流路構造体３０Ｄは、ノズル基板３１、連通板３３および圧力室基板３４に代えてノズル基板３１Ｄ、連通板３３Ｄおよび圧力室基板３４Ｄを有する以外は、前述の第１実施形態の流路構造体３０と同様である。

【0120】

ノズル基板３１Ｄには、複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂが設けられる。ここで、ノズル基板３１Ｄは、ノズルＮａおよびノズルＮｂの配置に関する相違以外は、前述のノズル基板３１と同様に構成される。

【0121】

連通板３３Ｄには、第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２のそれぞれの一部と複数の個別流路Ｐａにおける圧力室Ｃａを除く部分と複数の個別流路Ｐｂにおける圧力室Ｃｂを除く部分とが設けられる。

【0122】

各個別流路Ｐａは、図９に示すように、前述の圧力室Ｃａのほか、ノズル流路Ｎｆａ、横連通流路Ｃｑ１、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２、分岐流路Ｂａ、供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２を有する。これらのうち、ノズル流路Ｎｆａ、横連通流路Ｃｑ１、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２、分岐流路Ｂａ、供給流路Ｒａ１および排出流路Ｒａ２が連通板３３Ｄに設けられる。

【0123】

ノズル流路Ｎｆａは、連通板３３ＤのＺ２方向を向く面に設けられる溝内の空間である。ここで、ノズル基板３１Ｄは、ノズル流路Ｎｆａの壁面の一部を構成する。ノズル流路Ｎｆａには、ノズルＮａが設けられる。

【0124】

第１連通流路Ｎａ１は、圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆａとを連通させており、圧力室Ｃａからのインクをノズル流路Ｎｆａに導く。一方、第２連通流路Ｎａ２は、横連通流路Ｃｑ１とノズル流路Ｎｆａとを連通させており、ノズル流路Ｎｆａからのインクを横連通流路Ｃｑ１に導く。

【0125】

分岐流路Ｂａは、第１連通流路Ｎａ１とは異なる経路で圧力室Ｃａとノズル流路Ｎｆａとを連通させており、圧力室Ｃａからのインクをノズル流路Ｎｆに導く。分岐流路Ｂａは、前述の第１実施形態の第１分岐流路Ｂ１と同様、Ｘ軸に沿う方向に延びる第１流路Ｂ１ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第２流路Ｂ１ｂと、を有する。

【0126】

横連通流路Ｃｑ１は、Ｘ軸に沿って延びる空間である。横連通流路Ｃｑ１は、第２連通流路Ｎａ２と排出流路Ｒａ２とを連通させており、第２連通流路Ｎａ２からのインクを排出流路Ｒａ２に導く。

【0127】

供給流路Ｒａ１は、第１共通液室Ｒ１と圧力室Ｃａとを連通させており、第１共通液室Ｒ１からのインクを圧力室Ｃａに供給する。一方、排出流路Ｒａ２は、第２共通液室Ｒ２と横連通流路Ｃｑ１とを連通させており、横連通流路Ｃｑ１からのインクを第２共通液室Ｒ２に排出する。

【0128】

一方、各個別流路Ｐｂは、前述の個別流路ＰａとＸ軸に沿う方向で対称に構成される。具体的には、各個別流路Ｐｂは、図１０に示すように、前述の圧力室Ｃｂのほか、ノズル流路Ｎｆｂ、横連通流路Ｃｑ２、第３連通流路Ｎｂ１、第４連通流路Ｎｂ２、分岐流路Ｂｂ、供給流路Ｒｂ１および排出流路Ｒｂ２を有する。これらのうち、ノズル流路Ｎｆｂ、横連通流路Ｃｑ２、第３連通流路Ｎｂ１、第４連通流路Ｎｂ２、分岐流路Ｂｂ、供給流路Ｒｂ１および排出流路Ｒｂ２が連通板３３Ｃに設けられる。

【0129】

ノズル流路Ｎｆｂは、連通板３３ＤのＺ２方向を向く面に設けられる溝内の空間である。ここで、ノズル基板３１Ｄは、ノズル流路Ｎｆｂの壁面の一部を構成する。ノズル流路Ｎｆｂには、ノズルＮｂが設けられる。

【0130】

第３連通流路Ｎｂ１は、横連通流路Ｃｑ２とノズル流路Ｎｆｂとを連通させており、横連通流路Ｃｑ２からのインクをノズル流路Ｎｆｂに導く。一方、第４連通流路Ｎｂ２は、圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆｂとを連通させており、ノズル流路Ｎｆｂからのインクを圧力室Ｃｂに導く。

【0131】

分岐流路Ｂｂは、第４連通流路Ｎｂ２とは異なる経路で圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆｂとを連通させており、圧力室Ｃｂからのインクをノズル流路Ｎｆｂに導く。分岐流路Ｂｂは、前述の第１実施形態の第２分岐流路Ｂ２と同様、Ｘ軸に沿う方向に延びる第３流路Ｂ２ａと、Ｚ軸に沿う方向に延びる第４流路Ｂ２ｂと、を有する。

【0132】

横連通流路Ｃｑ２は、供給流路Ｒｂ１と第３連通流路Ｎｂ１とを連通させており、供給流路Ｒｂ１からのインクを第３連通流路Ｎｂ１に導く。

【0133】

供給流路Ｒｂ１は、第１共通液室Ｒ１と横連通流路Ｃｑ２とを連通させており、第１共通液室Ｒ１からのインクを横連通流路Ｃｑ２に供給する。一方、排出流路Ｒｂ２は、第２共通液室Ｒ２と圧力室Ｃｂとを連通させており、圧力室Ｃｂからのインクを第２共通液室Ｒ２に排出する。

【0134】

圧力室基板３４Ｄは、圧力室Ｃａおよび圧力室Ｃｂの配置が異なる以外は、前述の第１実施形態の圧力室基板３４と同様である。具体的には、圧力室基板３４Ｄには、図９および図１０に示すように、複数の個別流路Ｐａにおける圧力室Ｃａと複数の個別流路Ｐｂにおける圧力室Ｃｂとが設けられる。なお、複数の圧電素子４１は、圧力室基板３４Ｄに設けられる複数の圧力室Ｃａおよび複数の圧力室Ｃｂの配置に対応して配置される。

【0135】

以上の参考例によっても、前述の第１実施形態と同様の効果が得られる。また、本参考例の液体吐出ヘッド２４Ｄでは、各個別流路Ｐａの圧力室Ｃａおよび横連通流路Ｃｑ１には、当該個別流路Ｐａに隣り合う個別流路Ｐｂの流路が重ならない。同様に、各個別流路Ｐｂの圧力室Ｃｂおよび横連通流路Ｃｑ２には、当該個別流路Ｐｂに隣り合う個別流路Ｐａの流路がＹ軸に沿う方向でみて重ならない。このため、前述の各実施形態に比べて、ピッチθを小さくしたとしても、互いに隣り合う個別流路Ｐａおよび個別流路Ｐｂ間におけるクロストークが発生しにくい。この結果、ピッチθの狭小化に伴って、Ｚ軸に沿う方向におけるノズル解像度を高くすることにより、高画質化を図ることができる。

【0136】

Ｆ：変形例
以上に例示される各形態は、多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択される態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

【0137】

（変形例１）
前述の各形態では、ノズル流路、第１連通流路および第２連通流路のそれぞれが一定幅で直線的に延びる形状をなす構成が例示されるが、この構成に限定されず、例えば、これらの各流路は、その途中に屈曲または湾曲する部分を有してもよいし、幅の異なる複数の部分を有してもよい。同様に、第１分岐流路における第１流路または第２流路も、その途中に屈曲または湾曲する部分を有してもよいし、幅の異なる複数の部分を有してもよい。また、第２分岐流路における第３流路または第４流路も、その途中に屈曲または湾曲する部分を有してもよいし、幅の異なる複数の部分を有してもよい。

【0138】

（変形例２）
前述の各形態では、液体吐出ヘッドに用いるインクを循環機構により循環させる構成が例示されるが、この構成に限定されず、このような循環のための機構を有しない構成でもよい。

【0139】

（変形例３）
圧力室Ｃ内のインクの圧力を変化させるエネルギー生成素子は、前述の各形態で例示した圧電素子４１に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させることでインクの圧力を変動させる発熱素子をエネルギー生成素子として利用してもよい。

【0140】

（変形例４）
前述の各形態では、液体吐出ヘッド２４を搭載した搬送体２３１を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１１の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明は適用される。

【0141】

前述の形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用されてもよく、本発明の用途は特に限定されない。もっとも、液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

【符号の説明】

【0142】

１１…媒体、１２…液体容器、２１…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…移動機構、２４…液体吐出ヘッド、２４Ａ…液体吐出ヘッド、２４Ｂ…液体吐出ヘッド、２４Ｃ…液体吐出ヘッド、２４Ｄ…液体吐出ヘッド、２５…個別流路列、２５Ｄ…個別流路列、２６…循環機構、３０…流路構造体、３０Ａ…流路構造体、３０Ｂ…流路構造体、３０Ｃ…流路構造体、３０Ｄ…流路構造体、３１…ノズル基板、３１Ｄ…ノズル基板、３３…連通板、３３Ａ…連通板、３３Ｂ…連通板、３３Ｃ…連通板、３３Ｄ…連通板、３４…圧力室基板、３４Ｄ…圧力室基板、３５…振動板、４１…圧電素子、４２…筐体部、４３…保護基板、４４…配線基板、４５…駆動回路、１００…液体吐出装置、２３１…搬送体、２３２…搬送ベルト、２６１…第１供給ポンプ、２６２…第２供給ポンプ、２６３…貯留容器、２６４…回収流路、２６５…供給流路、３３１…隔壁、３３２…隔壁、３３３…隔壁、３３３Ｂ…隔壁、３３５…隔壁、３３６…隔壁、３６１…吸振体、３６２…吸振体、４２１…供給口、４２２…排出口、Ｂ１…第１分岐流路、Ｂ１ａ…第１流路、Ｂ１ｂ…第２流路、Ｂ１ｃ…第１流路、Ｂ１ｄ…第２流路、Ｂ２…第２分岐流路、Ｂ２ａ…第３流路、Ｂ２ｂ…第４流路、Ｂ２ｃ…第３流路、Ｂ２ｄ…第４流路、Ｂ３…第３連通流路、Ｂａ…分岐流路、Ｂｂ…分岐流路、Ｃ…圧力室、Ｃａ…圧力室（第１圧力室）、Ｃｂ…圧力室（第２圧力室）、Ｃｑ１…横連通流路、Ｃｑ２…横連通流路、Ｅ１…端部、Ｅ２…端部、Ｆ１…壁面（第１壁面）、Ｆ２…壁面（第２壁面）、Ｆ３…壁面（第３壁面）、Ｆ４…壁面（第４壁面）、Ｌ…ノズル列、Ｌａ…第１ノズル列、Ｌｂ…第２ノズル列、Ｎ…ノズル、Ｎａ…ノズル、Ｎａ１…第１連通流路、Ｎａ２…第２連通流路、Ｎｂ…ノズル、Ｎｂ１…第３連通流路、Ｎｂ２…第４連通流路、Ｎｆ…ノズル流路、Ｎｆａ…ノズル流路、Ｎｆｂ…ノズル流路、Ｐ…個別流路、Ｐａ…個別流路、Ｐａ１…第１部分、Ｐａ２…第２部分、Ｐｂ…個別流路、Ｐｂ１…第３部分、Ｐｂ２…第４部分、Ｒ１…第１共通液室、Ｒ２…第２共通液室、Ｒａ１…供給流路、Ｒａ２…排出流路、Ｒｂ１…供給流路、Ｒｂ２…排出流路、ｔ…厚さ、ｔ１…厚さ、ｔ２…厚さ、θ…ピッチ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】