特許 7452382 多軸慣性力センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】多軸慣性力センサ

(51)【国際特許分類】

   G01C 19/5783 20120101AFI20240312BHJP

   G01P 15/18 20130101ALI20240312BHJP

   G01P 15/08 20060101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

G01C19/5783

G01P15/18

G01P15/08 102Z

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020185625

(22)【出願日】2020-11-06

(65)【公開番号】P2022075075

(43)【公開日】2022-05-18

【審査請求日】2023-05-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(74)【代理人】

【識別番号】110001472

【氏名又は名称】弁理士法人かいせい特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】明石 照久

(72)【発明者】

【氏名】原田 翔太

(72)【発明者】

【氏名】畑 良幸

【審査官】國田 正久

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－３３７１９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－４４６４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００３－５０２６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第７２５３０７９（ＵＳ，Ｂ２）

【文献】特開２００８－５１６２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２８６４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第５６１０４３１（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開２０１４－４８１０７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｃ １９／５７８３

Ｇ０１Ｐ １５／１８

Ｇ０１Ｐ １５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

設置面（１０６、１６５、１７８）を有する実装材（１０１、１５９、１７２）と、
前記実装材の前記設置面に配置されると共に、前記設置面に対して傾斜した傾斜面（１０７、１１２、１３３、１３８）を有する複数のブロック（１０２、１０３、１２９、１３０）と、
前記複数のブロックの前記傾斜面にそれぞれ配置されると共に、主軸に対応する慣性力を検出する複数のセンサ（１０４、１０５、１３１、１３２）と、
を含み、
前記複数のブロックは、前記複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部（１２７）を有し、前記位置決め部に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態、及び、前記傾斜面がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられることで台座（１２８）を構成し、
前記複数のセンサは、前記台座の前記傾斜面にそれぞれ配置されることで前記主軸がそれぞれ異なる方向に向けられると共に、前記主軸に対応する前記慣性力のベクトル成分をそれぞれ検出し、
前記複数のブロックは、前記傾斜面に接続された直角三角形の形状の一対の端面（１０８、１０９、１１３、１１４、１３４、１３５、１３９、１４０）と、前記傾斜面と前記端面とに接続された一対の側面（１１０、１１１、１１５、１１６、１３６、１３７、１４１、１４２）と、をそれぞれ有する三角柱状の第１ブロック（１０２）、第２ブロック（１０３）、第３ブロック（１２９）、第４ブロック（１３０）であり、
前記傾斜面は、前記直角三角形の斜辺に対応する面であり、
前記第１ブロックの一方の側面（１１０）、前記第２ブロックの一方の側面（１１５）、前記第３ブロックの一方の側面（１３６）、前記第４ブロックの一方の側面（１４１）が前記設置面に配置され、
前記台座は、
前記第１ブロックの他方の側面（１１１）と第２ブロックの他方の側面（１１６）とが向き合うと共に接触することで互いに隙間無く配置され、
前記第２ブロックの一方の端面（１１３）及び前記第１ブロックの他方の端面（１０９）と、前記第３ブロックの傾斜面（１３３）と、が向き合うように前記第１ブロック、前記第２ブロック、前記第３ブロックが接触することで互いに隙間無く配置され、
前記第１ブロックの一方の端面（１０８）及び前記第２ブロックの他方の端面（１１４）と、前記第４ブロックの傾斜面（１３８）と、が向き合うように第１ブロック、前記第２ブロック、前記第４ブロックが接触することで互いに隙間無く配置されることで、組み立てられている、多軸慣性力センサ。

【請求項2】

設置面（１０６、１６５、１７８）を有する実装材（１０１、１５９、１７２）と、
前記実装材の前記設置面に配置されると共に、前記設置面に対して傾斜した傾斜面（１０７、１１２、１３３、１３８）を有する複数のブロック（１０２、１０３、１２９、１３０）と、
前記複数のブロックの前記傾斜面にそれぞれ配置されると共に、主軸に対応する慣性力を検出する複数のセンサ（１０４、１０５、１３１、１３２）と、
を含み、
前記複数のブロックは、前記複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部（１２７）を有し、前記位置決め部に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態、及び、前記傾斜面がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられることで台座（１２８）を構成し、
前記複数のセンサは、前記台座の前記傾斜面にそれぞれ配置されることで前記主軸がそれぞれ異なる方向に向けられると共に、前記主軸に対応する前記慣性力のベクトル成分をそれぞれ検出し、
前記台座は、
前記複数のブロックは、前記傾斜面に接続された直角三角形の形状の一対の端面（１０８、１０９、１１３、１１４、１３４、１３５、１３９、１４０）と、前記傾斜面と前記端面とに接続された一対の側面（１１０、１１１、１１５、１１６、１３６、１３７、１４１、１４２）と、をそれぞれ有する三角柱状の第１ブロック（１０２）、第２ブロック（１０３）、第３ブロック（１２９）、第４ブロック（１３０）であり、
前記傾斜面は、前記直角三角形の斜辺に対応する面であり、
前記第１ブロックの一方の側面（１１０）、前記第２ブロックの一方の側面（１１５）、前記第３ブロックの一方の側面（１３６）、前記第４ブロックの一方の側面（１４１）が前記設置面に配置され、
前記台座は、
前記第３ブロックの傾斜面（１３３）と前記第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、前記第３ブロックの傾斜面と前記第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端と、前記第４ブロックの傾斜面と前記第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端と、が接触することで前記第３ブロックと前記第４ブロックとが互いに隙間無く配置され、
前記第４ブロックの一方の端面（１３９）及び前記第３ブロックの他方の端面（１３５）と、前記第１ブロックの他方の側面（１１１）と、が向き合うと共に互いに隙間無く配置され、
前記第２ブロックの他方の側面（１１６）と、前記第３ブロックの一方の端面（１３４）及び前記第４ブロックの他方の端面（１４０）と、が向き合うと共に互いに隙間無く配置されることで、組み立てられている、多軸慣性力センサ。

【請求項3】

設置面（１０６、１６５、１７８）を有する実装材（１０１、１５９、１７２）と、
前記実装材の前記設置面に配置されると共に、前記設置面に対して傾斜した傾斜面（１０７、１１２、１３３、１３８）を有する複数のブロック（１０２、１０３、１２９、１３０）と、
前記複数のブロックの前記傾斜面にそれぞれ配置されると共に、主軸に対応する慣性力を検出する複数のセンサ（１０４、１０５、１３１、１３２）と、
を含み、
前記複数のブロックは、前記複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部（１２７）を有し、前記位置決め部に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態、及び、前記傾斜面がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられることで台座（１２８）を構成し、
前記複数のセンサは、前記台座の前記傾斜面にそれぞれ配置されることで前記主軸がそれぞれ異なる方向に向けられると共に、前記主軸に対応する前記慣性力のベクトル成分をそれぞれ検出し、
前記複数のブロックは、前記傾斜面に接続された直角三角形の形状の一対の端面（１０８、１０９、１１３、１１４、１３４、１３５、１３９、１４０）と、前記傾斜面と前記端面とに接続された一対の側面（１１０、１１１、１１５、１１６、１３６、１３７、１４１、１４２）と、をそれぞれ有する三角柱状の第１ブロック（１０２）、第２ブロック（１０３）、第３ブロック（１２９）、第４ブロック（１３０）であり、
前記傾斜面は、前記直角三角形の斜辺に対応する面であり、
前記第１ブロックの一方の側面（１１０）、前記第２ブロックの一方の側面（１１５）、前記第３ブロックの一方の側面（１３６）、前記第４ブロックの一方の側面（１４１）が前記設置面に配置され、
前記第１ブロックの傾斜面（１０７）と前記第２ブロックの傾斜面（１１２）とが向き合うと共に、前記第１ブロックと前記第２ブロックとがスペースを持って配置され、
前記第３ブロックの傾斜面（１３３）と前記第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、前記第３ブロックと前記第４ブロックとがスペースを持って配置され、
前記台座は、
前記第３ブロックの傾斜面と前記第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの前記第３ブロックの一方の端面（１３４）側の一方の端部（１４３）が、前記第２ブロックの他方の端面（１１４）に突き当てられ、
前記第３ブロックの傾斜面と前記第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの前記第３ブロックの他方の端面（１３５）側の他方の端部（１４４）が、前記第１ブロックの一方の端面（１０８）に突き当てられ、
前記第４ブロックの傾斜面と前記第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの前記第４ブロックの一方の端面（１３９）側の一方の端部（１４５）が、前記第１ブロックの他方の端面（１０９）に突き当てられ、
前記第４ブロックの傾斜面と前記第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの前記第４ブロックの他方の端面（１４０）側の他方の端部（１４６）が、前記第２ブロックの一方の端面（１１３）に突き当てられることで、組み立てられている、多軸慣性力センサ。

【請求項4】

設置面（１０６、１６５、１７８）を有する実装材（１０１、１５９、１７２）と、
前記実装材の前記設置面に配置されると共に、前記設置面に対して傾斜した傾斜面（１０７、１１２、１３３、１３８）を有する複数のブロック（１０２、１０３、１２９、１３０）と、
前記複数のブロックの前記傾斜面にそれぞれ配置されると共に、主軸に対応する慣性力を検出する複数のセンサ（１０４、１０５、１３１、１３２）と、
を含み、
前記複数のブロックは、前記複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部（１２７）を有し、前記位置決め部に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態、及び、前記傾斜面がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられることで台座（１２８）を構成し、
前記複数のセンサは、前記台座の前記傾斜面にそれぞれ配置されることで前記主軸がそれぞれ異なる方向に向けられると共に、前記主軸に対応する前記慣性力のベクトル成分をそれぞれ検出し、
前記複数のブロックは、前記傾斜面に接続された直角三角形の形状の一対の端面（１０８、１０９、１１３、１１４、１３４、１３５、１３９、１４０）と、前記傾斜面と前記端面とに接続された一対の側面（１１０、１１１、１１５、１１６、１３６、１３７、１４１、１４２）と、をそれぞれ有する三角柱状の第１ブロック（１０２）、第２ブロック（１０３）、第３ブロック（１２９）、第４ブロック（１３０）であり、
前記傾斜面は、前記直角三角形の斜辺に対応する面であり、
前記第１ブロックの一方の側面（１１０）、前記第２ブロックの一方の側面（１１５）、前記第３ブロックの一方の側面（１３６）、前記第４ブロックの一方の側面（１４１）が前記設置面に配置され、
前記設置面に垂直な軸をｚ軸とすると、
前記第１ブロックは、前記第１ブロックの傾斜面、前記第１ブロックの一方の側面（１１０）、前記第１ブロックの一方の端面（１０８）で構成される一方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１４７）と、前記第１ブロックの傾斜面、前記第１ブロックの一方の側面、前記第１ブロックの他方の端面（１０９）で構成される他方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１４８）と、を有し、
前記第２ブロックは、前記第２ブロックの傾斜面、前記第２ブロックの一方の側面（１１５）、前記第２ブロックの一方の端面（１１３）で構成される一方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１４９）と、前記第２ブロックの傾斜面、前記第２ブロックの一方の側面、前記第２ブロックの他方の端面（１１４）で構成される他方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５０）と、を有し、
前記第３ブロックは、前記第３ブロックの傾斜面、前記第３ブロックの一方の側面（１３６）、前記第３ブロックの一方の端面（１３４）で構成される一方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１５１）と、前記第３ブロックの傾斜面、前記第３ブロックの一方の側面、前記第３ブロックの他方の端面（１３５）で構成される他方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５２）と、を有し、
前記第４ブロックは、前記第４ブロックの傾斜面、前記第４ブロックの一方の側面（１４１）、前記第４ブロックの一方の端面（１３９）で構成される一方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１５３）と、前記第４ブロックの傾斜面、前記第４ブロックの一方の側面、前記第４ブロックの他方の端面（１４０）で構成される他方の端部が前記ｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５４）と、を有し、
前記台座は、
前記第１ブロックの傾斜面（１０７）と前記第２ブロックの傾斜面（１１２）とが向き合うと共に、前記第１ブロックと前記第２ブロックとがスペースを持って配置され、
前記第３ブロックの傾斜面（１３３）と前記第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、前記第３ブロックと前記第４ブロックとがスペースを持って配置され、
前記第１ブロックの一方の切断面と前記第３ブロックの他方の切断面とが接触し、前記第１ブロックの他方の切断面と前記第４ブロックの一方の切断面とが接触し、
前記第２ブロックの一方の切断面と前記第４ブロックの他方の切断面とが接触し、前記第２ブロックの他方の切断面と前記第３ブロックの一方の切断面とが接触することで、組み立てられている、多軸慣性力センサ。

【請求項5】

前記台座は、前記複数のブロックが前記実装材の前記設置面のうちの基準点を基準とした点対称に配置されることで構成される、請求項１ないし４のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項6】

前記傾斜面に垂直な方向をＺ軸と定義すると、
前記複数のセンサは、前記主軸が前記Ｚ軸に平行に配置されると共に、前記慣性力としてＺ軸回りの角速度を検出する１軸のジャイロセンサである、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項7】

前記傾斜面に垂直な方向をＺ軸と定義すると、
前記複数のセンサは、前記主軸が前記Ｚ軸に平行に配置されると共に、前記慣性力としてＺ軸方向の加速度を検出する１軸の加速度センサである、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項8】

前記複数のブロックの前記端面は、直角二等辺三角形の形状である、請求項１ないし７のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項9】

前記傾斜面は、前記直角二等辺三角形の斜辺に対応する面である、請求項８に記載の多軸慣性力センサ。

【請求項10】

前記複数のブロックは、全て同じ形状である、請求項１ないし９のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項11】

前記複数のブロックは、前記複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して前記接触相手に連結されるための連結部（１５５）を有する、請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【請求項12】

前記複数のブロックは、前記傾斜面に設けられた電子部品（１１７）を有する、請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の多軸慣性力センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、多軸慣性力センサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、複数のセンサが台座に搭載された装置が、例えば特許文献１で提案されている。具体的には、台座は、基板の設置面に固定される。台座は、複数の取り付け面を含む角錐台状である。各取り付け面は、基板の設置面に対して傾斜している。各センサは、各取り付け面にそれぞれ配置される。これにより、複数の検出軸の運動が検出可能になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】米国特許出願公開第２０１４／００１３８４３号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記従来の技術では、台座の各取り付け面に対してセンサをそれぞれ実装しなければならない。各取り付け面はそれぞれ異なる方向を向いているので、１つの台座に複数のセンサを実装することが困難であると共に煩雑になる。

【0005】

また、台座は複数の取り付け面を備えるので、台座の形状が複雑であると共に、台座の加工に手間が掛かる。このため、装置のコストが高くなってしまう。

【0006】

本発明は上記点に鑑み、台座に対する複数のセンサの設置を容易にすることができると共に、コストを低減することができる構成を備えた多軸慣性力センサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するため、請求項１～４に記載の発明では、多軸慣性力センサは、実装材（１０１、１５９、１７２）、複数のブロック（１０２、１０３、１２９、１３０）、及び複数のセンサ（１０４、１０５、１３１、１３２）を含む。

【0008】

実装材は、設置面（１０６、１６５、１７８）を有する。複数のブロックは、実装材の設置面に配置されると共に、設置面に対して傾斜した傾斜面（１０７、１１２、１３３、１３８）を有する。複数のセンサは、複数のブロックの傾斜面にそれぞれ配置されると共に、主軸に対応する慣性力を検出する。

【0009】

複数のブロックは、複数のブロックのうちの少なくとも１つあるいは複数と接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部（１２７）を有する。複数のブロックは、位置決め部に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態、及び、傾斜面がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられることで台座（１２８）を構成する。

【0010】

複数のセンサは、台座の傾斜面にそれぞれ配置されることで主軸がそれぞれ異なる方向に向けられると共に、主軸に対応する慣性力のベクトル成分をそれぞれ検出する。
複数のブロックは、傾斜面に接続された直角三角形の形状の一対の端面（１０８、１０９、１１３、１１４、１３４、１３５、１３９、１４０）と、傾斜面と一対の端面とに接続された一対の側面（１１０、１１１、１１５、１１６、１３６、１３７、１４１、１４２）と、をそれぞれ有する三角柱状の第１ブロック（１０２）、第２ブロック（１０３）、第３ブロック（１２９）、第４ブロック（１３０）である。
傾斜面は、直角三角形の斜辺に対応する面である。
第１ブロックの一方の側面（１１０）、第２ブロックの一方の側面（１１５）、第３ブロックの一方の側面（１３６）、第４ブロックの一方の側面（１４１）が設置面に配置される。
請求項１に記載の発明では、台座は、第１ブロックの他方の側面（１１１）と第２ブロックの他方の側面（１１６）とが向き合うと共に接触することで互いに隙間無く配置され、第２ブロックの一方の端面（１１３）と第３ブロックの傾斜面（１３３）とが向き合うと共に、第１ブロックの他方の端面（１０９）と第３ブロックの傾斜面とが向き合うように、第１ブロック、第２ブロック、第３ブロックが接触することで互いに隙間無く配置され、第１ブロックの一方の端面（１０８）と第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、第２ブロックの他方の端面（１１４）と第４ブロックの傾斜面とが向き合うように、第１ブロック、第２ブロック、第４ブロックが接触することで互いに隙間無く配置されることで、組み立てられている。
請求項２に記載の発明では、台座は、第３ブロックの傾斜面（１３３）と第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、第３ブロックの傾斜面と第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端と、第４ブロックの傾斜面と第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端と、が接触することで第３ブロックと第４ブロックとが互いに隙間無く配置され、第３ブロックの一方の端面（１３４）と第２ブロックの他方の側面（１１６）とが向き合うと共に、第４ブロックの他方の端面（１４０）と第２ブロックの他方の側面とが向き合うように、第２ブロック、第３ブロック、第４ブロックが接触することで互いに隙間無く配置され、第４ブロックの一方の端面（１３９）と第１ブロックの他方の側面（１１１）とが向き合うと共に、第３ブロックの他方の端面（１３５）と第１ブロックの他方の側面とが向き合うように、第１ブロック、第３ブロック、第４ブロックが接触することで互いに隙間無く配置されることで、組み立てられている。
請求項３に記載の発明では、第１ブロックの傾斜面（１０７）と第２ブロックの傾斜面（１１２）とが向き合うと共に、第１ブロックと第２ブロックとがスペースを持って配置される。第３ブロックの傾斜面（１３３）と第４ブロックの傾斜面（１３８）とが向き合うと共に、第３ブロックと第４ブロックとがスペースを持って配置される。台座は、第３ブロックの傾斜面と第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの第３ブロックの一方の端面（１３４）側の一方の端部（１４３）が、第２ブロックの他方の端面（１１４）に突き当てられ、第３ブロックの傾斜面と第３ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの第３ブロックの他方の端面（１３５）側の他方の端部（１４４）が、第１ブロックの一方の端面（１０８）に突き当てられ、第４ブロックの傾斜面と第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの第４ブロックの一方の端面（１３９）側の一方の端部（１４５）が、第１ブロックの他方の端面（１０９）に突き当てられ、第４ブロックの傾斜面と第４ブロックの一方の側面とで構成される角部の先端のうちの第４ブロックの他方の端面（１４０）側の他方の端部（１４６）が、第２ブロックの一方の端面（１１３）に突き当てられることで、組み立てられている。
請求項４に記載の発明では、設置面に垂直な軸をｚ軸とする。第１ブロックは、第１ブロックの傾斜面（１０７）、第１ブロックの一方の側面、第１ブロックの一方の端面（１０８）で構成される一方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１４７）と、第１ブロックの傾斜面、第１ブロックの一方の側面、第１ブロックの他方の端面（１０９）で構成される他方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１４８）と、を有する。第２ブロックは、第２ブロックの傾斜面（１１２）、第２ブロックの一方の側面（１１５）、第２ブロックの一方の端面（１１３）で構成される一方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１４９）と、第２ブロックの傾斜面、第２ブロックの一方の側面、第２ブロックの他方の端面（１１４）で構成される他方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５０）と、を有する。第３ブロックは、第３ブロックの傾斜面（１３３）、第３ブロックの一方の側面（１３６）、第３ブロックの一方の端面（１３４）で構成される一方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１５１）と、第３ブロックの傾斜面、第３ブロックの一方の側面、第３ブロックの他方の端面（１３５）で構成される他方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５２）と、を有する。第４ブロックは、第４ブロックの傾斜面（１３８）、第４ブロックの一方の側面（１４１）、第４ブロックの一方の端面（１３９）で構成される一方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面（１５３）と、第４ブロックの傾斜面、第４ブロックの一方の側面、第４ブロックの他方の端面（１４０）で構成される他方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面（１５４）と、を有する。台座は、第１ブロックの傾斜面と第２ブロックの傾斜面とが向き合うと共に、第１ブロックと第２ブロックとがスペースを持って配置され、第３ブロックの傾斜面と第４ブロックの傾斜面とが向き合うと共に、第３ブロックと第４ブロックとがスペースを持って配置され、第１ブロックの一方の切断面と第３ブロックの他方の切断面とが接触し、第１ブロックの他方の切断面と第４ブロックの一方の切断面とが接触し、第２ブロックの一方の切断面と第４ブロックの他方の切断面とが接触し、第２ブロックの他方の切断面と第３ブロックの一方の切断面とが接触することで、組み立てられている。

【0011】

これによると、１つのブロックに対して１つのセンサが設置されるので、ブロックに対するセンサの設置を容易にすることができる。多軸化は、複数のブロックが組み合わされた台座が構成されることで実現することができる。また、１つのブロックに複数の傾斜面を形成する必要が無いので、ブロックの形成や加工が容易になる。したがって、多軸慣性力センサのコストを低減することができる。

【0012】

なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図2】図１に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図3】第１センサが第１ブロックに設置された状態を示した斜視図である。

【図4】第１ブロックが嵌め込み板に設置された様子を示した一部断面図である。

【図5】ヨーが各センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図6】ロールが各センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図7】第１実施形態に係る各ブロックの変形例を示した図である。

【図8】第１実施形態に係る各ブロックの変形例を示した図である。

【図9】第１実施形態に係る各ブロックの変形例を示した図である。

【図10】第１実施形態に係る各ブロックの変形例を示した図である。

【図11】第２実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図12】図１１に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図13】第３実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図14】図１３に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図15】ヨーが第３センサ及び第４センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図16】ロールが第３センサ及び第４センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図17】ピッチが第１センサ及び第２センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図18】ピッチが第３センサ及び第４センサに印加されたときのベクトル成分を示した図である。

【図19】第４実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図20】図１９に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図21】第５実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図22】図２１に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図23】第６実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図24】図２３に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図25】第７実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図26】図２５に示された多軸慣性力センサの上面図である。

【図27】第８実施形態に係る多軸慣性力センサの斜視図である。

【図28】第９実施形態に係る第１ブロックの斜視図である。

【図29】第９実施形態に係る第１ブロックの斜視図である。

【図30】第９実施形態に係る第１ブロックの斜視図である。

【図31】第９実施形態に係る第１ブロックの変形例を示した図である。

【図32】第９実施形態に係る第１ブロックの変形例を示した図である。

【図33】第１０実施形態に係るＩＭＵの分解斜視図である。

【図34】第１１実施形態に係るＩＭＵの分解斜視図である。

【図35】第１２実施形態に係る多軸慣性力センサの上面図である。

【図36】第１３実施形態に係る多軸慣性力センサの上面図である。

【図37】第１４実施形態に係る多軸慣性力センサの上面図である。

【図38】第１５実施形態に係る多軸慣性力センサの上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

【0015】

（第１実施形態）
以下、第１実施形態について図を参照して説明する。図１及び図２に示されるように、多軸慣性力センサ１００は、実装材１０１、第１ブロック１０２、第２ブロック１０３、及び第１センサ１０４、及び第２センサ１０５を含む。

【0016】

実装材１０１は、設置面１０６を有する。設置面１０６は、平面である。実装材１０１は、例えば、単層あるいは多層のプリント基板である。実装材１０１には、マイクロコンピュータやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の電子部品が実装される。実装材１０１は、図示しない筐体に収容される。

【0017】

各ブロック１０２、１０３は、各センサ１０４、１０５がそれぞれ配置される土台である。各ブロック１０２、１０３は、実装材１０１の設置面１０６に配置される。各ブロック１０２、１０３は、同じサイズ及び同じ形状である。各ブロック１０２、１０３は、中実部材である必要は無い。各ブロック１０２、１０３は、一部がくり抜かれていたり、内部が空洞になっていても良い。各ブロック１０２、１０３は、金属、樹脂、セラミックス等の材料によって形成される。

【0018】

図１に示されるように、第１ブロック１０２は、傾斜面１０７、一対の端面１０８、１０９、及び一対の側面１１０、１１１を有する三角柱である。傾斜面１０７は、実装材１０１の設置面１０６に対して傾斜した面である。一対の端面１０８、１０９は、傾斜面１０７に接続された三角形状の面である。一対の側面１１０、１１１は、傾斜面１０７と一対の端面１０８、１０９とに接続された四角形状の面である。一対の側面１１０、１１１のうちの一方の側面１１０が実装材１０１の設置面１０６に配置される。

【0019】

一対の端面１０８、１０９は、直角二等辺三角形の形状である。傾斜面１０７は、直角二等辺三角形の各端面１０８、１０９の斜辺に対応する面である。したがって、傾斜面１０７は実装材１０１の設置面１０６に対して４５°の角度で傾斜する。

【0020】

第２ブロック１０３は、第１ブロック１０２と同様に、傾斜面１１２、一対の端面１１３、１１４、及び一対の側面１１５、１１６を有する三角柱である。このように、各ブロック１０２、１０３の形状が単純な三角柱であることから、射出成型による量産が可能である。よって、各ブロック１０２、１０３の製造コストを抑えることが可能である。

【0021】

また、図３に示されるように、第１ブロック１０２は、傾斜面１０７に設けられた複数の電子部品１１７を有する。電子部品１１７は、実装基板１１８、外付部品１１９、外部配線１２０、引出部１２１を有する。

【0022】

実装基板１１８は、例えばプリント基板である。実装基板１１８には第１センサ１０４が半田により実装される。実装基板１１８は接着剤等で傾斜面１０７に固定される。

【0023】

外付部品１１９は、チップ抵抗等の部品である。外部配線１２０は、実装基板１１８の表面に形成されると共に、第１センサ１０４や外付部品１１９に接続される。

【0024】

引出部１２１は、外部配線１２０に接続される。引出部１２１は、第１センサ１０４の信号を外部に取り出すと共に、外部から第１センサ１０４に電源供給するための電気接続部である。引出部１２１は、実装材１０１の電気回路に接続される。引出部１２１としてフレキシブル基板用のソケットを用いても良い。

【0025】

上記と同様に、第２ブロック１０３には、電子部品１１７及び第２センサ１０５が実装される。すなわち、各センサ１０４、１０５は、各ブロック１０２、１０３の各傾斜面１０７、１１２にそれぞれ配置される。つまり、第１ブロック１０２に１個の第１センサ１０４が配置され、第２ブロック１０３に１個の第２センサ１０５が配置される。

【0026】

なお、図１及び図２では、各ブロック１０２、１０３に配置された電子部品１１７を省略している。以下の各図においても、適宜、各ブロック１０２、１０３に配置された電子部品１１７を省略している。

【0027】

各センサ１０４、１０５は、主軸に対応する慣性力として角速度を検出する１軸のジャイロセンサである。各ブロック１０２、１０３の各傾斜面１０７、１１２に垂直な方向をＺ軸と定義すると、各センサ１０４、１０５は、主軸がＺ軸に平行に配置される。したがって、各センサ１０４、１０５は、慣性力としてＺ軸回りの角速度を検出する。

【0028】

各センサ１０４、１０５は、例えば、樹脂モールドパッケージとして構成される。パッケージの中には、センサ素子とＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）とが内包される。センサ素子はＷＬＰ（Wafer Level Packaging) として構成されることが好ましい。つまり、センサ素子とセンサ素子を動作させて信号を読み出すＩＣ（Integrated Circuit）とを合わせてジャイロセンサと言う。なお、各センサ１０４、１０５は、セラミックパッケージとして構成されていても良い。また、パッケージがオープンになっていても良い。

【0029】

図４に示されるように、第１センサ１０４が実装された実装基板１１８は、嵌め込み板１２２を用いて第１ブロック１０２に固定される。嵌め込み板１２２は、平面１２３及び溝部１２４を有する。溝部１２４は、嵌め込み板１２２のうちの平面１２３の一部が凹んだ部分である。溝部１２４は、第１ブロック１０２の外形とほぼ同じ形状である。溝部１２４は、少なくとも、第１ブロック１０２の各側面１１０、１１１が接触する壁面１２５、１２６を有する。

【0030】

第１ブロック１０２は、各側面１１０、１１１が溝部１２４の各壁面１２５、１２６に接触するように、溝部１２４に嵌め込まれる。これにより、第１ブロック１０２の傾斜面１０７が嵌め込み板１２２の平面１２３と平行になる。嵌め込み板１２２の平面１２３が予め水平に固定されることで、第１ブロック１０２の傾斜面１０７が水平に配置される。この状態で、基板実装技術やリフロー実装技術等によって実装基板１１８及び第１センサ１０４が第１ブロック１０２に実装される。

【0031】

第１センサ１０４はＺ軸ジャイロセンサである。よって、第１ブロック１０２に対する第１センサ１０４の実装において、主軸に垂直な第１他軸と、主軸及び第１他軸に垂直な第２他軸と、の両方向のずれを精密に制御せずとも、傾斜面１０７に対する主軸すなわちＺ軸方向の軸ずれが大きくなることはない。第１他軸はＸ軸である。第２他軸はＹ軸である。第２ブロック１０３についても、上記と同様に、電子部品１１７及び第２センサ１０５が嵌め込み板１２２を用いて実装される。

【0032】

なお、各センサ１０４、１０５がＸ軸やＹ軸を主軸とする場合、各ブロック１０２、１０３に対して各センサ１０４、１０５の位置を制御した状態で実装する必要がある。

【0033】

上記の構成において、図１及び図２に示されるように、各ブロック１０２、１０３は実装材１０１の設置面１０６に組み立てられる。ここで、実装材１０１の設置面１０６に垂直な軸をｚ軸とする。ｚ軸に直交すると共に設置面１０６に平行な方向をｘ軸とする。ｚ軸及びｘ軸に直交すると共に設置面１０６に平行な方向をｙ軸とする。ｘ軸及びｙ軸は、設置面１０６に平行な軸である。各ブロック１０２、１０３は、ｘ軸に沿って並べられる。

【0034】

各ブロック１０２、１０３は、互いに接触するに際して接触相手との位置を相対的に決める位置決め部１２７を有する。位置決め部１２７は、各ブロック１０２、１０３のうちの接触相手との突き当て部である。位置決め部１２７は、接触相手との接触部分である。

【0035】

各ブロック１０２、１０３は、位置決め部１２７に基づいて互いに相対的な位置が決まった状態に組み立てられる。また、各ブロック１０２、１０３は、各傾斜面１０７、１１２がそれぞれ異なる方向に向けられた状態に組み立てられる。これにより、各ブロック１０２、１０３は台座１２８を構成する。各ブロック１０２、１０３は、接着剤によって連結される。

【0036】

多軸化は、各ブロック１０２、１０３の組み立てによって達成される。つまり、多軸慣性力センサ１００は、２軸のジャイロセンサである。位置決め部１２７によって、各センサ１０４、１０５の相対位置の精度が規定される。各ブロック１０２、１０３の加工形状が管理されると共に、各ブロック１０２、１０３の形状精度が確保されることで、両センサ１０４、１０５の軸直交性が十分保証される。

【0037】

各センサ１０４、１０５は、台座１２８の各傾斜面１０７、１１２にそれぞれ配置されることで主軸がそれぞれ異なる方向に向けられる。つまり、各センサ１０４、１０５の主軸は、実装材１０１の設置面１０６に対して傾斜する。したがって、各センサ１０４、１０５は、主軸に対応する角速度のベクトル成分をそれぞれ検出する。

【0038】

本実施形態では、台座１２８は、各ブロック１０２、１０３が実装材１０１の設置面１０６のうちの基準点を基準とした点対称に配置されることで構成される。台座１２８は、第１ブロック１０２の他方の側面１１１と第２ブロック１０３の他方の側面１１６とが向き合うように組み立てられる。これにより、台座１２８は、山形形状を構成する。また、各ブロック１０２、１０３は、各側面１１１、１１６が接触することで、互いに隙間無く組み立てられる。以上が、多軸慣性力センサ１００の全体構成である。

【0039】

次に、２軸の角速度を検知する原理を説明する。まず、ｚ軸回りの角速度をヨーとし、ｘ軸回りの角速度をロールとする。各センサ１０４、１０５は、角速度が加わる方向から、角速度の回転方向を判別する。

【0040】

具体的には、図５に示されるように、ヨーが多軸慣性力センサ１００に印加された場合、角速度ω_ｚが各センサ１０４、１０５に印加される。各ブロック１０２、１０３の各傾斜面１０７、１１２はｚ軸に対して４５°の角度で傾斜しているので、角速度ω_ｚをベクトル分解すると、各センサ１０４、１０５のＺ軸には√２ω_ｚ／２のベクトル成分が印加される。√２ω_ｚ／２の角速度が各他軸に加わるものの、各センサ１０４、１０５の主軸感度には影響がない。

【0041】

図６に示されるように、ロールが多軸慣性力センサ１００に印加された場合、角速度ω_ｘが各センサ１０４、１０５に印加される。上記と同様に、角速度ω_ｘをベクトル分解すると、各センサ１０４、１０５のＺ軸には√２ω_ｘ／２のベクトル成分が印加される。√２ω_ｘ／２の角速度が各他軸に加わるものの、各センサ１０４、１０５の主軸感度には影響がない。

【0042】

本実施形態では、各ブロック１０２、１０３はｘ軸に沿って配置されている。よって、上記のように、ｘ軸回り及びｚ軸回りにそれぞれ加わる角速度をベクトル分解すれば、Ｚ軸回りの角速度として検知できると共に、角速度の方向も検知できる。すなわち、各センサ１０４、１０５はＺ軸ジャイロセンサであるので、ｘ軸とｚ軸ジャイロセンサとして機能する。よって、ｘ軸回り及びｚ軸回りの２軸の角速度を検知することができる。

【0043】

なお、各ブロック１０２、１０３がｙ軸に沿って配置される場合、ｙ軸回り及びｚ軸回りの２軸の角速度を検知することができる。

【0044】

以上説明したように、本実施形態では、各ブロック１０２、１０３に各センサ１０４、１０５が設置される構成である。すなわち、１個のブロック１０２、１０３に１個のセンサ１０４、１０５を実装するのみで良い。このため、台座１２８に対する複数のセンサ１０４、１０５の実装が非常に容易になる。また、１つのブロック１０２、１０３に複数の傾斜面を形成する必要が無い。このため、各ブロック１０２、１０３の形成や加工が容易になり、ひいては多軸慣性力センサ１００のコストを低減することができる。

【0045】

そして、１軸のセンサ１０４、１０５が実装された各ブロック１０２、１０３が組み立てられるので、ｘ軸回り及びｚ軸回りの角速度を２個のセンサ１０４、１０５によってそれぞれ検知することができる。

【0046】

また、台座１２８は各ブロック１０２、１０３が組み立てられて構成される。このため、各センサ１０４、１０５の各主軸の直交性を高い確度で維持することができる。つまり、各検出軸のセンサ精度を維持することができる。各ブロック１０２、１０３の各傾斜面１０７、１１２の傾斜角度が４５°であることから、精度低下の要因であるマトリックス演算が等分になることもメリットである。

【0047】

さらに、各ブロック１０２、１０３の強度が高いので、実装材１０１に発生したひずみが各ブロック１０２、１０３を介して各センサ１０４、１０５に伝わりにくい。このため、外部で発生したひずみ、すなわち応力に対して各センサ１０４、１０５のロバスト性を向上させることができる。

【0048】

変形例として、各センサ１０４、１０５は、主軸がＺ軸に平行に配置されると共に、慣性力としてＺ軸方向の加速度を検出する１軸の加速度センサとして構成されていても良い。加速度センサは、Ｘ軸やＹ軸を主軸として構成されても構わない。各ブロック１０２、１０３に対する各センサ１０４、１０５の実装は、図４に示された方法と同じである。センサ１０４、１０５が２個の場合、２軸の加速度センサが構成される。上記と同様に、ｘ軸及びｚ軸の２軸の加速度を検知することができる。

【0049】

変形例として、図７に示されるように、第１ブロック１０２の傾斜面１０７には、第１センサ１０４、外付部品１１９、外部配線１２０、及び引出部１２１が直接実装されていても良い。この場合、実装基板１１８は電子部品１１７に含まれない。第２ブロック１０３についても同様である。各ブロック１０２、１０３は、熱可塑性樹脂の射出成型によって製造される。外部配線１２０や電極は、ＭＩＤ（Molded Interconnect Device）工法によって形成される。つまり、各ブロック１０２、１０３が実装基板１１８を兼ねる。

【0050】

変形例として、図８に示されるように、第１ブロック１０２は、傾斜面１０７と一方の側面１１０とによって構成される角部の先端が面取りされた形状でも構わない。第２ブロック１０３についても同様である。

【0051】

変形例として、図９に示されるように、第１ブロック１０２は、傾斜面１０７と各側面１１０、１１１とによって構成される２箇所の角部の先端が面取りされた形状でも構わない。第２ブロック１０３についても同様である。

【0052】

変形例として、図１０に示されるように、図９に示された第１ブロック１０２の形状において、傾斜面１０７、一方の端面１０８、及び一方の側面１１０で構成される角部が面取りされた形状でも構わない。また、第１ブロック１０２は、傾斜面１０７、他方の端面１０９、及び一方の側面１１０で構成される角部が面取りされた形状でも構わない。第２ブロック１０３についても同様である。

【0053】

（第２実施形態）
本実施形態では、主に第１実施形態と異なる部分について説明する。図１１及び図１２に示されるように、各ブロック１０２、１０３は、形状が同じであるが、サイズが異なる。

【0054】

具体的には、第１ブロック１０２が第２ブロック１０３よりも大きい。ｙ軸方向において、第１ブロック１０２の中心位置と第２ブロック１０３の中心位置とは同じ位置に配置される。したがって、位置決め部１２７は、第１ブロック１０２の他方の側面１１１のうちの第２ブロック１０３が接触する部分と、第２ブロック１０３の他方の側面１１６の全体と、で構成される。

【0055】

以上のように、各ブロック１０２、１０３のサイズが異なっていても、第１実施形態と同様にｘ軸回り及びｚ軸回りの角速度を検知することができる。

【0056】

変形例として、第１ブロック１０２が第２ブロック１０３よりも小さくても良い。また、ｙ軸方向において、第１ブロック１０２の中心位置と第２ブロック１０３の中心位置とは異なる位置に配置されていても良い。例えば、第１ブロック１０２の一方の端面１０８と、第２ブロック１０３の他方の端面１１４と、が同一面に位置するように各ブロック１０２、１０３が配置されても構わない。なお、各センサ１０４、１０５は、ｘ軸に沿った直線上に配置されることが好ましい。

【0057】

（第３実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図１３及び図１４に示されるように、多軸慣性力センサ１００は、各ブロック１０２、１０３及び各センサ１０４、１０５の他に、第３ブロック１２９、第４ブロック１３０、第３センサ１３１、及び第４センサ１３２を含む。

【0058】

第３ブロック１２９は、傾斜面１３３、一対の端面１３４、１３５、及び一対の側面１３６、１３７を有する三角柱である。第４ブロック１３０は、傾斜面１３８、一対の端面１３９、１４０、及び一対の側面１４１、１４２を有する三角柱である。

【0059】

各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０は、全て同じサイズ及び同じ形状である。上記各実施形態と同様に、第３センサ１３１は電子部品１１７と共に第３ブロック１２９の傾斜面１３３に配置され、第４センサ１３２は電子部品１１７と共に第４ブロック１３０の傾斜面１３８に配置される。

【0060】

台座１２８は、第１ブロック１０２及び第２ブロック１０３が第３ブロック１２９と第４ブロック１３０とに挟まれることで、山形形状に組み立てられる。具体的には、第１ブロック１０２及び第２ブロック１０３は、ｘ軸に沿って配置される。また、第１ブロック１０２の他方の側面１１１と第２ブロック１０３の他方の側面１１６とが向き合うと共に隙間無く配置される。

【0061】

第３ブロック１２９及び第４ブロック１３０は、ｙ軸に沿って配置される。第３ブロック１２９の他方の側面１３７と、第１ブロック１０２の他方の端面１０９及び第２ブロック１０３の一方の端面１１３と、が向き合うと共に隙間無く配置される。第４ブロック１３０の他方の側面１４２と、第１ブロック１０２の一方の端面１０８及び第２ブロック１０３の他方の端面１１４と、が向き合うと共に隙間無く配置される。

【0062】

各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は、台座１２８の傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８にそれぞれ配置されることで主軸がそれぞれ異なる方向に向けられる。第１ブロック１０２のうちの各端面１０８、１０９の一部及び他方の側面１１１、第２ブロック１０３のうちの各端面１１３、１１４の一部及び他方の側面１１６が位置決め部１２７となる。また、第３ブロック１２９のうちの他方の側面１３７の一部、第４ブロック１３０のうちの他方の側面１４２の一部が位置決め部１２７となる。これにより、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の主軸の直交精度は各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の形状精度によって保証される。

【0063】

次に、３軸の角速度を検知する原理を説明する。まず、ｙ軸回りの角速度をピッチとする。各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は、Ｚ軸回りの角速度を検知する１軸ジャイロセンサである。

【0064】

まず、ヨーが多軸慣性力センサ１００に印加された場合、角速度ω_ｚが各センサ１０４、１０５、１３１、１３２に印加される。図５に示される場合と同様に、角速度ω_ｚをベクトル分解すると、第１センサ１０４及び第２センサ１０５のＺ軸には√２ω_ｚ／２のベクトル成分が印加される。

【0065】

また、図１５に示されるように、第３センサ１３１及び第４センサ１３２のＺ軸には√２ω_ｚ／２のベクトル成分が印加される。すなわち、√２ω_ｚ／２の角速度が、４個のセンサ１０４、１０５、１３１、１３２のＺ軸に印加される。第３センサ１３１及び第４センサ１３２の各傾斜面１３３、１３８は実装材１０１の設置面１０６に対して４５°の角度で傾斜しているので、各センサ１３１、１３２の等分の角速度が各他軸に加わるものの、各センサ１３１、１３２の主軸感度には影響がない。

【0066】

ロールが多軸慣性力センサ１００に印加された場合、角速度ω_ｘが各センサ１０４、１０５、１３１、１３２に印加される。図６に示される場合と同様に、角速度ω_ｘをベクトル分解すると、第１センサ１０４及び第２センサ１０５のＺ軸には√２ω_ｘ／２のベクトル成分が印加される。よって、角速度ω_ｘが加わる方向から角速度ω_ｘの回転方向を判別することができる。

【0067】

一方、図１６に示されるように、第３センサ１３１及び第４センサ１３２には角速度ω_ｘが第２他軸に印加される。このため、第３センサ１３１及び第４センサ１３２の主軸感度は変化しない。

【0068】

ピッチが多軸慣性力センサ１００に印加された場合、角速度ω_ｙが各センサ１０４、１０５、１３１、１３２に印加される。図１７に示されるように、角速度ω_ｙをベクトル分解すると、第１センサ１０４及び第２センサ１０５には角速度ω_ｙが第２他軸に印加される。このため、第１センサ１０４及び第２センサ１０５の主軸感度は変化しない。

【0069】

一方、図１８に示されるように、角速度ω_ｙをベクトル分解すると、第３センサ１３１及び第４センサ１３２のＺ軸には√２ω_ｙ／２のベクトル成分が印加される。√２ω_ｙ／２の角速度が各他軸に加わるものの、第３センサ１３１及び第４センサ１３２の主軸感度には影響がない。よって、角速度ω_ｙが加わる方向から角速度ω_ｙの回転方向を判別することができる。

【0070】

以上の原理から、３軸の角速度を検知することができる。また、仮に、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２のうちの１個が壊れたとしても、残りの３個を用いて３軸の角速度を検知することができる。すなわち、冗長性を確保することができる。

【0071】

変形例として、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２としてＺ軸を主軸とする加速度センサを採用しても良い。この場合も上記と同様の原理で３軸方向の加速度を検知することができる。

【0072】

（第４実施形態）
本実施形態では、主に第３実施形態と異なる部分について説明する。図１９及び図２０に示されるように、台座１２８は、第１ブロック１０２の他方の端面１０９及び第２ブロック１０３の一方の端面１１３と、第３ブロック１２９の傾斜面１３３と、が向き合うように組み立てられる。第３ブロック１２９のうちの傾斜面１３３と一方の側面１３６とで構成される角部の先端、第１ブロック１０２の他方の端面１０９の一部、及び第２ブロック１０３の一方の端面１１３の一部が、位置決め部１２７となる。

【0073】

また、台座１２８は、第１ブロック１０２の一方の端面１０８及び第２ブロック１０３の他方の端面１１４と第４ブロック１３０の傾斜面１３８とが向き合うように組み立てられる。第４ブロック１３０のうちの傾斜面１３８と一方の側面１４１とで構成される角部の先端、第１ブロック１０２の一方の端面１０８の一部、及び第２ブロック１０３の他方の端面１１４の一部が位置決め部１２７となる。

【0074】

以上のように、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０は隙間無く組み立てられる。また、台座１２８は、第３ブロック１２９及び第４ブロック１３０が第１ブロック１０２及び第２ブロック１０３に対して線で接触するように構成される。

【0075】

（第５実施形態）
本実施形態では、主に第３、第４実施形態と異なる部分について説明する。図２１及び図２２に示されるように、台座１２８は、第３ブロック１２９の傾斜面１３３と第４ブロック１３０の傾斜面１３８とが向き合うように組み立てられる。第３ブロック１２９のうちの傾斜面１３３と一方の側面１３６とで構成される角部の先端と、第４ブロック１３０のうちの傾斜面１３８と一方の側面１４１とで構成される角部の先端と、が位置決め部１２７となり、互いに突き当てられる。

【0076】

また、台座１２８は、第３ブロック１２９及び第４ブロック１３０が第１ブロック１０２と第２ブロック１０３とに挟まれた状態に組み立てられる。第１ブロック１０２の他方の側面１１１と、第３ブロック１２９の他方の端面１３５及び第４ブロック１３０の一方の端面１３９と、が向き合うと共に隙間無く配置される。第１ブロック１０２の他方の側面１１１の一部、第３ブロック１２９の他方の端面１３５の一部、及び第４ブロック１３０の一方の端面１３９の一部が位置決め部１２７となる。

【0077】

第２ブロック１０３の他方の側面１１６と、第３ブロック１２９の一方の端面１３４及び第４ブロック１３０の他方の端面１４０と、が向き合うと共に隙間無く配置される。第２ブロック１０３の他方の側面１１６の一部、第３ブロック１２９の一方の端面１３４の一部、及び第４ブロック１３０の他方の端面１４０の一部が位置決め部１２７となる。

【0078】

（第６実施形態）
本実施形態では、主に第３～第５実施形態と異なる部分について説明する。図２３及び図２４に示されるように、第１ブロック１０２及び第２ブロック１０３は、第１ブロック１０２の傾斜面１０７と第２ブロック１０３の傾斜面１１２とが向き合うと共に、スペースを持って配置される。第３ブロック１２９及び第４ブロック１３０は、第３ブロック１２９の傾斜面１３３と第４ブロック１３０の傾斜面１３８とが向き合うと共に、スペースを持って配置される。

【0079】

第３ブロック１２９のうちの傾斜面１３３と一方の側面１３６とで構成される角部の先端で、一方の端面１３４側の一方の端部１４３が、第２ブロック１０３の他方の端面１１４に突き当てられる。第３ブロック１２９のうちの傾斜面１３３と一方の側面１３６とで構成される角部の先端で、他方の端面１３５側の他方の端部１４４が、第１ブロック１０２の一方の端面１０８に突き当てられる。第３ブロック１２９の各端部１４３、１４４、第１ブロック１０２の一方の端面１０８の一部、及び第２ブロック１０３の他方の端面１１４の一部が位置決め部１２７となる。

【0080】

第４ブロック１３０のうちの傾斜面１３８と一方の側面１４１とで構成される角部の先端で、一方の端面１３９側の一方の端部１４５が、第１ブロック１０２の他方の端面１０９に突き当てられる。第４ブロック１３０のうちの傾斜面１３８と一方の側面１４１とで構成される角部の先端で、他方の端面１４０側の他方の端部１４６が、第２ブロック１０３の一方の端面１１３に突き当てられる。第４ブロック１３０の各端部１４５、１４６、第２ブロック１０３の一方の端面１１３の一部、及び第１ブロック１０２の他方の端面１０９の一部が位置決め部１２７となる。

【0081】

以上のように、台座１２８は、中央部にスペースを有するように組み立てられていても良い。このような台座１２８であっても、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の軸直交性は位置決め部１２７によって担保される。

【0082】

（第７実施形態）
本実施形態では、主に第６実施形態と異なる部分について説明する。図２５及び図２６に示されるように、第１ブロック１０２は、第１ブロック１０２のうちの傾斜面１０７、一方の側面１１０、及び一方の端面１０８で構成される一方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた一方の切断面１４７を有する。

【0083】

また、第１ブロック１０２は、第１ブロック１０２のうちの傾斜面１０７、一方の側面１１０、及び他方の端面１０９で構成される他方の端部がｚ軸に沿って切り落とされた他方の切断面１４８を有する。

【0084】

同様に、第２ブロック１０３は、一方の切断面１４９及び他方の切断面１５０を有する。第３ブロック１２９は、一方の切断面１５１及び他方の切断面１５２を有する。第４ブロック１３０は、一方の切断面１５３及び他方の切断面１５４を有する。

【0085】

第１ブロック１０２の一方の切断面１４７と、第３ブロック１２９の他方の切断面１５２と、が接触する。第１ブロック１０２の他方の切断面１４８と、第４ブロック１３０の一方の切断面１５３と、が接触する。したがって、第１ブロック１０２の各切断面１４７、１４８、第３ブロック１２９の他方の切断面１５２、及び第４ブロック１３０の一方の切断面１５３が位置決め部１２７となる。

【0086】

第２ブロック１０３の一方の切断面１４９と、第４ブロック１３０の他方の切断面１５４と、が接触する。第２ブロック１０３の他方の切断面１５０と、第３ブロック１２９の一方の切断面１５１と、が接触する。したがって、第２ブロック１０３の各切断面１４９、１５０、第４ブロック１３０の他方の切断面１５４、及び第３ブロック１２９の一方の切断面１５１が位置決め部１２７となる。

【0087】

以上のように、台座１２８は、第６実施形態の場合よりも中央部のスペースが小さくなるように組み立てられていても良い。これにより、台座１２８を小型化することができる。

【0088】

（第８実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図２７に示されるように、第１ブロック１０２の一方の側面１１０と、第３ブロック１２９の他方の側面１３７と、が接触する。第１ブロック１０２の他方の側面１１１と、第４ブロック１３０の一方の側面１４１と、が接触する。

【0089】

また、第２ブロック１０３の一方の側面１１５と、第４ブロック１３０の他方の側面１４２と、が接触する。第２ブロック１０３の他方の側面１１６と、第３ブロック１２９の一方の側面１３６と、が接触する。

【0090】

したがって、第１ブロック１０２の各側面１１０、１１１、第２ブロック１０３の各側面１１５、１１６、第３ブロック１２９の各側面１３６、１３７、及び第４ブロック１３０の各側面１４１、１４２が位置決め部１２７となる。各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の各軸の直交精度は各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の形状精度によって保証される。

【0091】

なお、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は第１他軸及び第２他軸に対して軸ずれが起きないように各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０に実装される。各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８の直交精度は加工精度で規定されるので、充分な直交精度を担保できる。よって、高い軸直交性を達成できる。

【0092】

以上により、台座１２８は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０が直方体状に組み立てられて構成される。台座１２８は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の一方の端面１０８、１１３、１３４、１３９が上面に位置するように、実装材１０１の設置面１０６に設置される。

【0093】

各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８は、実装材１０１の設置面１０６に対して垂直に配置される。各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８の傾斜は、各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８が設置面１０６に対して垂直の場合も含む。

【0094】

本実施形態では、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は、２軸の加速度センサである。第１センサ１０４及び第２センサ１０５は、ｘ軸方向に沿って配置される。第３センサ１３１及び第４センサ１３２は、ｙ軸方向に沿って配置される。

【0095】

ｘ軸方向の加速度は、第３センサ１３１及び第４センサ１３２によって検知される。ｙ軸方向の加速度は、第１センサ１０４及び第２センサ１０５によって検知される。ｚ軸方向の加速度は、４個のセンサ１０４、１０５、１３１、１３２によって検知される。仮に、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２のうちの１個が壊れたとしても残りの３個を用いて３軸の加速度を検知することができる。

【0096】

（第９実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図２８～図３０に示されるように、第１ブロック１０２は、連結部１５５を有する。連結部１５５は、接触相手と接触するに際して接触相手に連結されるための部分である。

【0097】

連結部１５５は、例えば嵌合部である。図２９に示されるように、連結部１５５は、第１ブロック１０２の一方の側面１１０に形成された凸部である。また、図３０に示されるように、連結部１５５は、第１ブロック１０２の他方の側面１１１に形成された凹部である。他のブロック１０３、１２９、１３０も同様に連結部１５５を有する。

【0098】

各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のうちの一方の凸部が他方の凹部に差し込まれることで各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０が連結される。また、台座１２８を固定するための実装材１０１に溝を設けておけば、台座１２８が傾くことなく実装材１０１に実装される。

【0099】

変形例として、図３１に示されるように、連結部１５５として磁石を採用しても良い。磁石は、Ｓ極が第１ブロック１０２の一方の側面１１０に位置するように、予め形成された溝に埋め込まれる。また、磁石は、Ｎ極が第１ブロック１０２の他方の側面１１１に位置するように、予め形成された溝に埋め込まれる。あるいは、図３２に示されるように、磁石は、第１ブロック１０２にインサート成形されても良い。他のブロック１０３、１２９、１３０にも同様に磁石が設けられる。台座１２８は、各磁石の引力によって組み立てられる。インサート成形によって、第１ブロック１０２を肉抜きして形成しても良い。

【0100】

（第１０実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、多軸慣性力センサ１００は、ＩＭＵ（Inertial Measurement Unit）に適用される。

【0101】

具体的には、図３３に示されるように、ＩＭＵ１５６は、台座１２８及び各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の他に、封止台座１５７、封止蓋１５８、及びプリント基板１５９を備える。

【0102】

台座１２８は、例えば、図２５に示された構成が採用される。各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８には、ＭＩＤ工法によって配線や電極が形成されると共に、外付部品１１９、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２、各ソケット１６０～１６３が実装される。

【0103】

各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は、真空封止されたＺ軸ジャイロセンサとして構成される。したがって、上述のように、４個のセンサ１０４、１０５、１３１、１３２によってｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸の角速度が検知される。各ソケット１６０～１６３は、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の信号を取り出すと共に、電源供給のための接続ポートである。

【0104】

封止台座１５７及び封止蓋１５８は、金属製の筐体である。封止台座１５７及び封止蓋１５８は、高剛性である。封止蓋１５８は、封止台座１５７に設けられたねじ孔１６４を通してねじ固定される。よって、封止台座１５７及び封止蓋１５８は、外乱による影響を受けにくい構造である。

【0105】

プリント基板１５９の一面１６５には、台座１２８、加速度センサ１６６、複数のＬＳＩ１６７、複数の電子部品１６８、複数のソケット１６９、及び外部用ソケット１７０が実装される。

【0106】

加速度センサ１６６は、例えば３軸の加速度センサである。加速度センサ１６６は、プリント基板１５９に２個搭載される。したがって、ＩＭＵ１５６は、６軸慣性力の高精度検知ができる。

【0107】

複数のＬＳＩ１６７は、演算用のものや、信号補正用アルゴリズムが書き込まれたものがプリント基板１５９に実装される。複数の電子部品１６８は、ＩＣや回路部品等である。

【0108】

複数のソケット１６９は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各ソケット１６０～１６３に対応して実装される。各ソケット１６９は、ＦＰＣ（Flexible printed circuits）によって各ソケット１６０～１６３に接続される。これにより、プリント基板１５９と各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各センサ１０４、１０５、１３１、１３２等との電気的接続を取る。

【0109】

外部用ソケット１７０は、ＩＭＵ１５６のデジタル信号を外部装置に取り出すためのアウトプットポートである。プリント基板１５９は、封止台座１５７に設けられたねじ孔１７１にねじを通して封止台座１５７に固定される。

【0110】

以上のように、多軸慣性力センサ１００をＩＭＵ１５６の一部として構成することができる。なお、加速度センサ１６６は、プリント基板１５９ではなく、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０に実装されても構わない。また、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、プリント基板１５９が特許請求の範囲の「実装材」に対応し、一面１６５が特許請求の範囲の「設置面」に対応する。

【0111】

（第１１実施形態）
本実施形態では、主に第１０実施形態と異なる部分について説明する。図３４に示されるように、ＩＭＵ１５６は、セラミックパッケージ１７２及びリッド１７３を備える。

【0112】

セラミックパッケージ１７２は、リッド１７３が固定されることで気密封止される。気密封止は、セラミックパッケージ１７２の開口端１７４に設けられた枠状の半田１７５が溶かされることによって行われる。セラミックパッケージ１７２の内部は、真空に気密封止される。なお、セラミックパッケージ１７２の内部を真空に維持するため、リッド１７３の裏面にゲッター膜を設けても良い。あるいは、セラミックパッケージ１７２に固形のゲッターを設置しても良い。

【0113】

セラミックパッケージ１７２は、複数の内部端子１７６及び複数の外部端子１７７を有する。複数の内部端子１７６は、セラミックパッケージ１７２の内部に設けられる。複数の外部端子１７７は、セラミックパッケージ１７２の壁面に設けられる。各外部端子１７７は、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２のセンサ信号の出力用であると共に、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２の電源用である。各内部端子１７６と各外部端子１７７とは内部配線によってセラミックパッケージ１７２の内部で電気的に接続される。

【0114】

台座１２８は、セラミックパッケージ１７２の底面１７８に直接実装される。第１ブロック１０２は、傾斜面１０７と他方の側面１１１とで構成される角部が面取りされると共に、ワイヤボンディング用の電極パッド１７９が配置される。他のブロック１０３、１２９、１３０も同様である。例えば、第２ブロック１０３の各電極パッド１８０が、セラミックパッケージ１７２の各内部端子１７６にワイヤボンディングで電気的に接続される。これにより、第２センサ１０５は電源供給されると共に、センサ信号の出力が可能になる。

【0115】

第２センサ１０５は、センサ素子１８１とＡＳＩＣ１８２とで構成される。第３センサ１３１は、センサ素子１８３とＡＳＩＣ１８４とで構成される。各センサ素子１８１、１８３は、Ｚ軸ジャイロセンサ素子である。各センサ素子１８１、１８３はオープンパッケージとして構成される。各センサ素子１８１、１８３は、ＷＬＰ構造を取り、チップレベルで真空に気密封止された形態であっても良い。この場合、セラミックパッケージ１７２の内部は気密封止されているだけで良く、真空である必要はない。ゲッター膜も不要である。

【0116】

各ＡＳＩＣ１８２、１８４は、各センサ素子１８１、１８３を動作させて信号生成する。各センサ素子１８１、１８３及び各ＡＳＩＣ１８２、１８４は、ワイヤボンディングで傾斜面１１２、１３３の電極に電気的接続されている。第１センサ１０４及び第４センサ１３２の構成も上記と同様である。

【0117】

なお、セラミックパッケージ１７２の内部にはｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の加速度センサが設けられる。３軸加速度センサを実現するための手段として、Ｚ軸加速度センサを各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８に実装しても良い。あるいは、３軸加速度センサをセラミックパッケージ１７２の底面１７８に２個実装しても良い。その他の構成でも、３軸の加速度を検知するセンサがあれば良い。いずれの形態でも、加速度センサ素子はＷＬＰによって大気圧に近い状態で気密封止される。電気配線は、ジャイロセンサ素子と同様に、ワイヤボンディングで行われる。

【0118】

以上の構成により、６軸の慣性力を検知できるＩＭＵ１５６が構成される。ＩＭＵ１５６は、例えば、自己位置推定システムのプリント基板に半田を介して実装される。ＩＭＵ１５６は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０だけでなく、高剛性のセラミックパッケージ１７２の相乗効果によって、外部からの応力影響をより遮断することができる。そのため、０点が応力によって変動しにくく、６軸慣性力の高精度検知ができる。

【0119】

なお、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、セラミックパッケージ１７２が特許請求の範囲の「実装材」に対応し、底面１７８が特許請求の範囲の「設置面」に対応する。

【0120】

（第１２実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図３５に示されるように、台座１２８は、第３ブロック１２９の他方の側面１３７及び一方の端面１３４を基準として山形形状に組み立てられる。

【0121】

具体的には、第２ブロック１０３の一方の端面１１３は、第３ブロック１２９の他方の側面１３７に接触する。第３ブロック１２９の一方の端面１３４と、第２ブロック１０３の他方の側面１１６と、は同一面に配置される。

【0122】

したがって、第２ブロック１０３の一方の端面１１３の一部と、第３ブロック１２９の他方の側面１３７の一部と、が位置決め部１２７となる。

【0123】

第１ブロック１０２の他方の側面１１１は、第３ブロック１２９の一方の端面１３４と、第２ブロック１０３の他方の側面１１６と、の両方に接触する。第４ブロック１３０の他方の側面１４２の一部は、第１ブロック１０２の一方の端面１０８に接触する。第４ブロック１３０の一方の端面１３９の一部は、第２ブロック１０３の他方の側面１１６一部に接触する。

【0124】

したがって、第１ブロック１０２の他方の側面１１１の一部及び一方の端面１０８一部と、第２ブロック１０３の他方の側面１１６の一部と、が位置決め部１２７となる。また、第３ブロック１２９の一方の端面１３４の一部と、第４ブロック１３０の他方の側面１４２の一部及び一方の端面１３９の一部と、が位置決め部１２７となる。

【0125】

以上のように、第１ブロック１０２及び第２ブロック１０３は、一直線上に配置されていなくても良い。同様に、第３ブロック１２９及び第４ブロック１３０は、一直線上に配置されていなくても良い。

【0126】

変形例として、図３５に示された各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の配置において、第１ブロック１０２の傾斜面１０７と第２ブロック１０３の傾斜面１１２とが向き合うように配置されても良い。この場合、第３ブロック１２９の傾斜面１３３は、第２ブロック１０３に向き合うように配置されると共に、第４ブロック１３０の傾斜面１３８は、第１ブロック１０２に向き合うように配置されても良い。

【0127】

（第１３実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図３６に示されるように、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のサイズがそれぞれ異なる。例えば、第１ブロック１０２、第２ブロック１０３、第３ブロック１２９、第４ブロック１３０の順にサイズが大きい。台座１２８は、例えば、第１ブロック１０２を基準に組み立てられる。なお、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のサイズは適宜決定すれば良い。

【0128】

（第１４実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図３７に示されるように、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のサイズが同じ場合において、台座１２８は、第２ブロック１０３を基準として組み立てられる。この場合、第１ブロック１０２、第３ブロック１２９、及び第４ブロック１３０は、互いに接触しない。なお、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のサイズは異なっていても構わない。

【0129】

（第１５実施形態）
本実施形態では、主に上記各実施形態と異なる部分について説明する。図３８に示されるように、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のサイズが異なる場合において、台座１２８は、第１ブロック１０２を基準として組み立てられる。この場合、第２ブロック１０３、第３ブロック１２９、及び第４ブロック１３０は、互いに接触しない。

【0130】

（他の実施形態）
上記各実施形態で示された多軸慣性力センサ１００の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、各センサ１０４、１０５、１３１、１３２は、１軸センサではなく、複数軸のセンサとして構成されていても良い。

【0131】

各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８に配置されるセンサは１個に限られない。各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０には、Ｚ軸ジャイロセンサだけでなく、Ｚ軸加速度センサを配置しても良い。これにより、６軸慣性力センサを構成することも可能である。

【0132】

第１ブロック１０２の各端面１０８、１０９は、直角二等辺三角形の形状でなくても良い。すなわち、第１ブロック１０２の傾斜面１０７は、実装材１０１の設置面１０６に対して４５°の角度で傾斜していなくても良い。

【0133】

各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０の各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８は、設置面１０６に対して傾斜していれば良い。したがって、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０は、各傾斜面１０７、１１２、１３３、１３８が設置面１０６に対して鋭角及び垂直に傾斜する場合だけでなく、鈍角に傾斜する形状でも構わない。
つまり、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０は三角柱ではなく、台形状や任意の形状に形成されていても構わない。

【0134】

台座１２８は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のうちの一方の端面と他方の端面とが向き合うように組み立てられていても良い。あるいは、台座１２８は、各ブロック１０２、１０３、１２９、１３０のうちの一方の傾斜面と他方の側面とが向き合うように組み立てられていても良い。

【0135】

台座１２８を構成するブロックの数は、２個あるいは４個に限られず、２個以上であれば良い。台座１２８は、偶数個のブロックによって組み立てられる場合だけでなく、奇数個のブロックによって組み立てられても良い。

【0136】

台座１２８は、傾斜面の向きが同じ方向に向けられているブロックを含んでいても構わない。

【符号の説明】

【0137】

１０１、１５９、１７２ 実装材
１０２、１０３、１２９、１３０ ブロック
１０４、１０５、１３１、１３２ センサ
１０６、１６５、１７８ 設置面
１０７、１１２、１３３、１３８ 傾斜面
１２７ 位置決め部
１２８ 台座

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】