特許 7452387 Ｘ線検査装置、Ｘ線検査装置の管理用サーバおよびＸ線検査装置の管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置、Ｘ線検査装置の管理用サーバおよびＸ線検査装置の管理方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20240312BHJP

   G16Y 20/20 20200101ALI20240312BHJP

   G16Y 40/40 20200101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

G16Y20/20

G16Y40/40

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020192075

(22)【出願日】2020-11-18

(65)【公開番号】P2022080781

(43)【公開日】2022-05-30

【審査請求日】2023-03-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001069

【氏名又は名称】弁理士法人京都国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】植木 太

(72)【発明者】

【氏名】松花 文太

【審査官】吉田 将志

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０７４９３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－００６９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０２２１６３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００ － Ｇ０１Ｎ ２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査物の出入口と該出入口を開閉する扉を有するケーシングと、
前記ケーシングの内部に収容された、被検査物が載置されるステージ、Ｘ線を出射するＸ線源、前記Ｘ線源から出射し前記ステージに載置された被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記ステージの移動機構を含む駆動系と、
通信ネットワークに接続可能な通信部と、
前記駆動系の動作状況を示すデータ、および、前記扉の開閉回数を示すデータの少なくとも一つを含む消耗判定用データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した消耗判定用データを、前記通信部を介して前記通信ネットワークに出力するデータ送信部と、
を備えるＸ線検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記駆動系の動作状況を示すデータは、前記ステージの移動状況を示すデータであるＸ線検査装置。

【請求項3】

請求項２に記載のＸ線検査装置において、
前記ステージの移動状況を示すデータには、前記ステージの移動時間、移動速度、移動距離、および移動速度に応じた重み付けの少なくとも一つに関する情報が含まれる、Ｘ線検査装置。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれかに記載のＸ線検査装置を管理する管理用サーバであって、
通信ネットワークに接続可能なサーバ用通信部と、
前記Ｘ線検査装置から前記通信ネットワークを通じて送られてくる消耗判定用データを、前記サーバ用通信部を介して受信するデータ受信部と、
を備えるＸ線検査装置の管理用サーバ。

【請求項5】

請求項４に記載のＸ線検査装置の管理用サーバにおいて、
前記データ受信部が受信した消耗判定用データに基づいて、前記Ｘ線検査装置の駆動系の交換、および、前記扉の構成部品の交換の少なくとも一つを促すメッセージを出力する出力部をさらに備えるＸ線検査装置の管理用サーバ。

【請求項6】

通信ネットワークに接続された管理用サーバを用いて、請求項１から３のいずれかに記載のＸ線検査装置の状況を管理する管理方法であって、
前記管理用サーバが前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置に消耗判定用データの送信を要求するステップと、
前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置から前記管理用サーバに送られてくる消耗判定用データを受信するステップと、
を有する、Ｘ線検査装置の管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線検査装置、Ｘ線検査装置の管理用サーバおよびＸ線検査装置の管理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線検査装置は、被検査物を載置するステージと、被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射され前記被検査物と透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、をケーシング内に収納した構成を有する。

【0003】

例えば、Ｘ線検査装置の一種としての産業用のＸ線ＣＴ装置は、各種製品の内部構造の観察および３次元形状の測定を非破壊で行うためのものであり、互いに対向配置させたＸ線源とＸ線検出器と、それらの間に配置された回転ステージを有する。回転ステージの上に工業製品等の被検査物を載置し、該被検査物にＸ線を照射しつつ回転ステージをその載置面に垂直な回転軸を中心に回転させてＸ線検出器からのＸ線投影データを収集する。そして、収集されたＸ線投影データを用いて被検査物の断層画像を再構成することにより、その被検査物の内部構造を３次元的に観察することができる（特許文献１参照）。また、被検査物を回転させることなく、透視により被検査物の内部構造を観察するＸ線透視装置も使用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００５－３５１８７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このようなＸ線検査装置においては、その使用状況に応じて装置の設計を行うことが有効である。また、使用状況に応じたタイミングにおいて装置設計を行ったり部品の交換やメンテナンスを実行したりする必要がある。

【0006】

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、Ｘ線検査装置の各部の使用状況を正確に把握することができるようにすることである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために成された本発明に係るＸ線検査装置の一態様は、
被検査物の出入口と該出入口を開閉する扉を有するケーシングと、
前記ケーシングの内部に収容された、被検査物が載置されるステージ、Ｘ線を出射するＸ線源、および、前記Ｘ線源から出射し前記ステージに載置された被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記ステージの移動機構を含む駆動系と、
通信ネットワークに接続可能な通信部と、
前記駆動系の動作状況を示すデータ、および、前記扉の開閉回数を示すデータの少なくとも一つを含む消耗判定用データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した消耗判定用データを、前記通信部を介して前記通信ネットワークに出力するデータ送信部と
を備えるものである。

【0008】

また、本発明に係るＸ線検査装置の管理用サーバの一態様は、
Ｘ線検査装置を管理する管理用サーバであって、
通信ネットワークに接続可能なサーバ用通信部と、
前記Ｘ線検査装置から前記通信ネットワークを通じて送られてくる消耗判定用データを、前記サーバ用通信部を介して受信するデータ受信部と、
を備えるものである。

【0009】

また、本発明に係るＸ線検査装置の管理方法の一態様は、
通信ネットワークに接続された管理用サーバを用いてＸ線検査装置の状況を管理する方法であって、
前記管理用サーバが前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置に前記消耗判定用データの送信を要求するステップと、
前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置から前記管理用サーバに送られてくる消耗判定用データを受信するステップと、
を有するものである。

【発明の効果】

【0010】

本発明の上記態様によれば、通信ネットワークを介してＸ線検査装置と接続された管理用サーバは、該Ｘ線検査装置から送られてくる消耗判定用データに基づいて、Ｘ線検査装置の駆動系の動作状況、もしくは、ケーシングに設けられた扉の開閉回数を把握することができる。したがって、Ｘ線検査装置の使用状況に応じた適切なタイミングで部品を交換したりメンテナンスを実行したりすることができる。また、消耗判定用データから得られる情報をＸ線検査装置の設計に利用することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係るＸ線検査装置の一実施形態であるＸ線ＣＴ装置の斜視図。

【図2】Ｘ線ＣＴ装置のケーシング付近の前面図。

【図3】ケーシングの内部構成を制御系等とともに示す概要図。

【図4】制御・処理部の機能的構成を示すブロック図。

【図5】移動機構コントローラの機能的構成を示すブロック図。

【図6】管理用サーバの機能的構成を示すブロック図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

一般的にＸ線検査装置では、各部品の保守点検の時期、交換時期が予め定められている。
例えば、被検査物であるワークをケーシングに対して搬入・搬出するための出入口を開閉する扉の場合、その開閉回数に基づき、扉の保守点検、扉の構成部品の交換の時期が決められる。また、扉の開閉頻度（例えば一日当たりの開閉回数）に応じて扉の耐久性、扉の構造が設計される。通常、１台のＸ線検査装置において一日に検査が行われるワークの個数を、一日当たりの扉の開閉回数であると仮定し、ワークの個数に一定期間におけるＸ線検査装置の稼働日数を乗算することにより、その期間の扉の開閉回数を推定している。

【0013】

しかしながら、ケーシングに搬入されたワークの姿勢を変更するため等、ワークの搬出入とは関係なく扉を開閉する場合があり、扉の開閉回数は必ずしもワークの数と対応しない。このため、扉を設計するときは、安全性を確保するために十分な耐久性を有する材質、形状等の部品が選択される。また、保守・点検も必要以上に頻繁に行われる場合が多い。しかし、実際の扉の開閉回数を知ることができないことから、安全性を考慮した余裕のある動作回数が推定されているというのが実情である。

【0014】

また、例えばステージをＸ－Ｙ－Ｚ－θ方向に移動させる移動機構を備えたＸ線検査装置においては、いずれの方向へも同じようにステージを移動させる等、標準的に動作させるものと仮定して移動機構の保守・点検時期、部品の交換時期等が設定されている。しかし顧客によっては、移動機構のうち一部の方向のみに頻繁にステージを移動させたり、通常よりも高速でステージを移動させたり、或いは狭い範囲で繰り返しステージを往復移動させるハンチングと呼称される動作を行わせたりする等の場合がある。このような非標準的な動作は、移動機構の各部品の寿命に影響を及ぼすが、従来のＸ線検査装置において、移動機構の動作状況に関する情報が蓄積されることはなかった。

【0015】

本発明に係るＸ線検査装置は、上述した問題に対応すべく成されたものである。
以下、本発明に係るＸ線検査装置の一実施形態であるＸ線ＣＴ装置について、図面を参照しつつ具体的に説明する。

【0016】

図１はＸ線ＣＴ装置の斜視図である。このＸ線ＣＴ装置は、非破壊検査装置とも呼称されるものであり、Ｘ線を利用したＣＴ撮影（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ：コンピュータ断層撮影）を実行する。このＸ線ＣＴ装置は、装置本体１００と、その上半部に設けられたケーシング１０と、装置本体１００の右下部に設けられた制御装置３０と、装置本体１００の右側面の上部に取り付けられた操作パネル４５とを備えている。操作パネル４５は、例えばタッチパッドが組み込まれた液晶ディスプレイから成り、表示画面を兼用する。

【0017】

ケーシング１０はＸ線を透過させない部材（Ｘ線非透過部材）から形成されている。図１及び図２に示すように、ケーシング１０は、その内部に被検査物であるワークを搬入・搬出するための出入口が前面に設けられており、該出入口を開放し、閉鎖する、扉４１、４２を有している。扉４１、４２は連動して移動するように連結されている。扉４１にはハンドル４３が取り付けられている。扉４２には、Ｘ線を遮断可能な鉛ガラスが装着された窓部４４が形成されている。窓部４４を通してケーシング１０の内部を観察することができる。ケーシング１０の出入口近傍、例えば出入口の右縁部には、扉４１、４２を勢いよく閉めたときの衝撃を吸収するショックアブソーバ４６、及び扉４１、４２の開閉動作を検出するためのマイクロスイッチ１３が取り付けられている。なお、この実施形態では扉４１、４２の開閉動作を検出する手段としてマイクロスイッチを採用したが、これに代えてリードスイッチ、フォトセンサ等の近接センサを使用しても良い。マイクロスイッチ１３については後で詳しく述べる。

【0018】

図３に示すように、ケーシング１０の内部には、Ｘ線源１１、Ｘ線検出器１２、移動機構２０が配設されている。Ｘ線源１１は、Ｘ線を例えば円錐状に出射するＸ線管を有している。Ｘ線検出器１２はＸ線源１１と対向して配置されており、該Ｘ線源１１から出射され、ステージに載置された被検査物を透過したＸ線を検出する。移動機構２０は、ケーシング１０内の底部に配置された定盤２６上に設置されており、Ｘ線源１１とＸ線検出器１２の間に位置する回転ステージ２１を回転させ、上下動させる。回転ステージ２１にはワークが載置される。

【0019】

定盤２６の上面は平坦面から成り、該上面が水平面となるように装置本体１００は設置される。以下の説明では、定盤２６の上面に平行で且つ互いに垂直な２方向をＸ方向及びＹ方向と呼び、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向（つまり鉛直方向）をＺ方向と呼ぶこととする。

【0020】

移動機構２０は、定盤２６上に配設された一対のガイドレール２５と、ガイドレール２５に沿って移動する基台２４と、基台２４の上に配置された、Ｘ方向に移動するＸステージ２３及びＹ方向に移動するＹステージ２２、並びに基台２４、Ｘステージ２３、Ｙステージ２２、回転ステージ２１をそれぞれ移動させるモータ５１～５５（図５参照）を有する。

【0021】

モータ（基台用モータ）５１は基台２４に設けられ、該基台２４をガイドレール２５に沿って移動させる。モータ５２はＸステージ２３に設けられ、該Ｘステージ２３をＸ方向に移動させる。モータ５３はＹステージ２２に設けられ、該Ｙステージ２２をＹ方向に移動させる。モータ５４はＹステージ２２に設けられ、回転ステージ２１をＺ方向の回転軸２１１を中心に符号２１２で示す方向に回転させる。モータ５５は基台２４に設けられ、Ｘステージ２３、Ｙステージ２２及び回転ステージ２１を一体的に、基台２４に対してＺ方向（鉛直方向）に移動させる。

【0022】

回転ステージ２１が、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動し、回転軸２１１を中心に回転することにより、回転ステージ２１の上に載置されたワークに対する、Ｘ線源１１から出射されたＸ線の照射位置が移動する。また、ガイドレール２５に沿って基台２４が移動することにより、Ｘ線源１１と回転ステージ２１との距離が変化し、この結果、Ｘ線検出器１２で検出されるワークの投影像の拡大率が変更される。

【0023】

次に、図３～図５を参照して制御装置３０について説明する。制御装置３０は、制御・処理部３４と、通信ネットワークであるインターネット１１０とを介した通信を行うための通信部３５とを備えている。制御・処理部３４はＸ線ＣＴ装置全体の動作を制御するためのものであり、Ｘ線検出器１２、マイクロスイッチ１３の検出信号が入力される。また、制御・処理部３４には、操作パネル４５の操作信号が入力される。制御・処理部３４は、記憶部３７の他に、制御ブロックとしてのＸ線制御部３１、ステージ制御部３２、画像処理部３３、表示制御部３８、データ受信部３９、判定用データ作成部４０、判定用データ送信部３６を備えている。

【0024】

Ｘ線制御部３１は、ワークの材質やＸ線透過特性に応じて、Ｘ線源１１におけるＸ線管に供給する管電圧や管電流を制御する。

【0025】

ステージ制御部３２は、移動機構２０に含まれるモータ５１～５５に接続されたドライバ６１～６５（図５参照）を有しており、これらドライバ６１～６５を介してモータ５１～５５を制御する。本実施形態では、操作パネル４５が操作されることにより、モータ５１～５５の回転速度（つまり、基台２４の移動速度、Ｘステージ２３及びＹステージ２２の移動速度、回転ステージ２１の回転速度、Ｘステージ２３、Ｙステージ２２及び回転ステージ２１のＺ方向の移動速度）が選択可能に構成されており、ステージ制御部３２は、操作パネル４５からの操作信号に基づいてモータ５１～５５を制御する。

【0026】

画像処理部３３は、Ｘ線検出器１２の検出信号に基づいてＸ線画像データを作成する。また、画像処理部３３は、得られたＸ線画像データに対して適宜の画像処理を実行することにより、例えば回転ステージ２１上のワークをＸ－Ｙ平面に沿った面でスライスした断層画像を構築することができる。
表示制御部３８は、操作パネル４５に含まれる液晶ディスプレイの表示を制御する。

【0027】

データ受信部３９は、制御・処理部３４に入力されたマイクロスイッチ１３の検出信号を受信する。また、データ受信部３９は、ドライバ６１～６５がモータ５１～５５を駆動している時間データ（駆動時間データ）をステージ制御部３２から受信する。

【0028】

判定用データ作成部４０は、データ受信部３９が受信したマイクロスイッチ１３の検出信号、モータ５１～５５の駆動時間データ、操作パネル４５の操作信号から、扉４１、４２の開閉回数を示すデータ（開閉回数データ）、移動機構２０の動作状況を示すデータ（動作状況データ）を作成する。以下、これらのデータをまとめて判定用データということもある。本実施形態では、データ受信部３９及び判定用データ作成部４０からデータ取得部が構成される。また、判定用データが本発明の消耗判定用データに相当する。

【0029】

判定用データ送信部３６（本発明のデータ送信部に相当）は、判定用データ作成部４０が作成した判定用データを通信部３５を通じてインターネット１１０に出力する。

【0030】

なお、制御・処理部３４の実体は一般的なパーソナルコンピュータであり、予めインストールされたソフトウェアをプロセッサで実行することにより、上記の各機能ブロックが具現化される。

【0031】

図６は、管理用サーバ１１１の機能的構成を示すブロック図である。
管理用サーバ１１１は、インターネット１１０に接続可能なサーバ用通信部１１２と、Ｘ線検査装置の判定用データ送信部３６からインターネット１１０に出力される判定用データを前記サーバ用通信部１１２を介して受信するデータ受信部１１３と、判定用データに基づいた適宜のタイミングでＸ線検査装置の移動機構２０の部品、及び扉４１、４２の交換を促すメッセージを出力する出力部１１４とを備える。

【0032】

次に、管理用サーバ１１１を用いたＸ線ＣＴ装置の管理方法について説明する。
上記構成のＸ線ＣＴ装置において、ワークに対するＣＴ撮影を行うためにケーシング１０内にワークを搬入する場合、あるいは、ＣＴ撮影が終了したワークをケーシング１０から搬出する場合、ユーザはハンドル４３を把持して、閉鎖状態にある扉４１、４２を左方に移動させて出入口を開放する。この結果、扉４１の右端面がマイクロスイッチ１３から離間し、マイクロスイッチ１３の接点がオフする。

【0033】

そして、回転ステージ２１上にワークを載置した後、或いは回転ステージ２１上からワークを取り出した後、扉４１、４２を右方に移動させて出入口を閉鎖する。この結果、扉４１の右端面がマイクロスイッチ１３に当接してマイクロスイッチ１３の接点がオンする。マイクロスイッチ１３の検出信号（オン信号及びオフ信号）は制御・処理部３４に入力され、それをデータ受信部３９が受信する。判定用データ作成部４０は、データ受信部３９がマイクロスイッチ１３の検出信号を受信する毎に扉４１、４２の開閉回数をカウントし、前回までの開閉回数に「１」加算した開閉回数データを作成する。

【0034】

なお、本実施形態では、判定用データ作成部４０は、マイクロスイッチ１３からオフ信号が入力されてから次にオン信号が入力されるまでの時間が所定の長さよりも短いときは、開閉回数をカウントしない。これにより、ユーザが誤ってハンドル４３に触れたことにより、あるいは何らかの外力により扉４１、４２が僅かに左方に移動してしまった場合等、扉４１、４２の意図せぬ開閉動作が開閉回数としてカウントされることを回避できる。

【0035】

また、回転ステージ２１に載置されたワークに対するＸ線ＣＴ撮影を実行する際は、ステージ制御部３２は、制御・処理部３４に入力された操作パネル４５の操作信号に従い、ドライバ６１～６５を制御する。これにより、操作パネル４５で設定された回転速度、移動速度でモータ５１～５５が回転し、その結果、基台２４、Ｘステージ２３、Ｙステージ２２および回転ステージ２１が移動する。

【0036】

このとき、データ受信部３９は、ステージ制御部３２からモータ５１～５５の駆動時間データと、操作パネル４５の操作信号を受信する。判定用データ作成部４０は、データ受信部３９が受信したモータの駆動時間データと操作信号とから移動機構２０の動作状況を示すデータを作成する。具体的には、例えばＸステージ２３の移動速度として、Ｖ１（遅い）、Ｖ２（ふつう）、Ｖ３（速い）という３段階の速度が設定されており、移動速度がＶ１のときの動作時間をＴ１、移動速度がＶ２のときの動作時間をＴ２、移動速度がＶ３のときの動作時間をＴ３とした場合、Ｘステージ２３にとっては一般的に高速で移動したときの方が摩耗度は大きい。そこで、速度Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３のときの摩耗度の重み付けとして、Ａ１、Ａ２、Ａ３なる値を定義し、以下のような動作状況のデータを生成する。
Ｌ０＝（Ａ１×Ｖ１×Ｔ１）＋（Ａ２×Ｖ２×Ｔ２）＋（Ａ３×Ｖ３×Ｔ３）
・・・（１）

【0037】

例えば、Ｖ１＝１ｃｍ/秒、Ｖ２＝５ｃｍ/秒、Ｖ３＝１０ｃｍ/秒、Ｔ１＝１０秒、 Ｔ２＝２秒、Ｔ３＝１秒と仮定すると、式（１）において、Ａ１、Ａ２、Ａ３なる重み付けを採用しなかった場合、動作状況のデータＬ０は、下記のＬ１～Ｌ３の和の値（＝３０）となる。
Ｌ１＝Ｖ１×Ｔ１＝１×１０＝１０
Ｌ２＝Ｖ２×Ｔ２＝５×２ ＝１０
Ｌ３＝Ｖ３×Ｔ３＝１０×１＝１０

【0038】

しかし、Ａ１＝１、Ａ２＝３、Ａ３＝１０の重み付け行った場合、Ｌ１～Ｌ３の値は以下に示す通り、上述した重み付けを行わなかったときと異なる値となる。
Ｌ１＝Ａ１×Ｖ１×Ｔ１＝１×１×１０＝１０
Ｌ２＝Ａ２×Ｖ２×Ｔ２＝３×５×２＝３０
Ｌ３＝Ａ３×Ｖ３×Ｔ３＝１０×１０×１＝１００
このため、Ｌ１～Ｌ３の和の値であるＬ０の値として異なる結果を得ることが出来る。 ここでは、Ｘステージ２３について説明したが、Ｙステージ２２、回転ステージ２１、ガイドレール２５などについても同様の重み付けを行うことが出来る。

【0039】

以上のようにして判定用データ作成部４０で作成された扉４１、４２の開閉回数データ、移動機構２０の動作状況データ（判定用データ）は、判定用データ送信部３６から通信部３５を介してインターネット１１０に出力される。判定用データがインターネット１１０に出力されると、管理用サーバ１１１のデータ受信部１１３は、これをサーバ用通信部１１２を介して受信する。データ受信部１１３が判定用データを受信すると、出力部１１４は、その判定用データに基づき移動機構２０の構成部品、扉４１、４２の構成部品（例えばマイクロスイッチ１３、衝撃吸収用のショックアブソーバ４６）の交換を促すメッセージ信号を作成し、出力する。例えば、判定用データが扉４１、４２の開閉回数データの場合は、開閉回数が所定値を上回ったことに基づき扉４１、４２の構成部品（例えばマイクロスイッチ１３、衝撃吸収用のショックアブソーバ１０１）の交換を促すメッセージ信号を作成する。また、判定用データが移動機構２０の動作状況データの場合は、ステージ負荷量Ｌ０が所定値を上回ったことに基づき移動機構２０の部品の交換を促すメッセージ信号を作成する。

【0040】

メッセージ信号は、音声信号でもよく、図示しない表示部に表示するための文字や記号等を表す画像信号でもよい。また、管理用サーバ１１１の出力部１１４は、サーバ用通信部１１２、インターネット１１０を介してＸ線ＣＴ装置の制御・処理部３４にメッセージ信号を出力するようにしても良い。この場合、管理用サーバ１１１からのメッセージ信号が入力された制御・処理部３４は、交換を促すメッセージを操作パネル４５に表示する。

【0041】

なお、出力部１１４は、移動機構２０の部品等を交換するタイミングでメッセージ信号を出力するだけでなく、交換する時期よりも所定の時間だけ前のタイミングでもメッセージ信号を出力しても良い。交換する時期よりも所定の時間だけ前のタイミングでメッセージ信号を出力することにより、交換する時期の到来に備えて交換部品を調達しておくことができる。

【0042】

また、上述した実施形態においては、移動機構２０の動作状況を示すデータを判定用データの一つとしたが、移動機構２０以外の駆動系、例えば、Ｘ線検査装置の動作開始時に検査に先立って実行されるエージング作業において使用されるエージングカバー６３やシャッター６２（いずれも図５に二点鎖線で示す）の移動機構の動作状況を示すデータを判定用データに加えることができる。

【0043】

さらに、Ｘ線検査装置から管理用サーバ１１１への判定用データの送信は、該データが作成されるごとに実行されてもよく、一定時間ごと、一定回数ごと、あるいは、一定の条件ごとに実行されてもよい。例えば開閉回数データの場合は、扉４１、４２の開閉動作が行われるごとに送信されると良い。また、移動機構２０の動作状況データの場合は、ワークのＣＴ撮影が行われるごとに送信されると良い。

【0044】

また、上記実施形態ではタッチパネル式の操作パネル４５を採用したが、マウス操作式の操作パネルとしても良い。

【0045】

上述した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0046】

（第１項）本発明に係るＸ線検査装置の一態様は、
被検査物の出入口と該出入口を開閉する扉を有するケーシングと、
前記ケーシングの内部に収容された、被検査物が載置されるステージ、Ｘ線を出射するＸ線源、前記Ｘ線源から出射し前記ステージに載置された被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記ステージの移動機構を含む駆動系と、
通信ネットワークに接続可能な通信部と、
前記駆動系の動作状況を示すデータ、および、前記扉の開閉回数を示すデータの少なくとも一つを含む消耗判定用データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した消耗判定用データを、前記通信部を介して前記通信ネットワークに出力するデータ送信部と、
を備えるものである。

【0047】

（第４項）また、本発明に係るＸ線検査装置の管理用サーバは、上述したＸ線検査装置を管理するものであって、
通信ネットワークに接続可能なサーバ用通信部と、
前記Ｘ線検査装置から前記通信ネットワークを通じて送られてくる消耗判定用データを、前記サーバ用通信部を介して受信するデータ受信部と、
を備えるものである。

【0048】

（第６項）本発明に係る管理方法は、通信ネットワークに接続された管理用サーバを用いて、Ｘ線検査装置の状況を管理する管理方法であって、
前記管理用サーバが前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置に消耗判定用データの送信を要求するステップと、
前記通信ネットワークを通じて前記Ｘ線検査装置から前記管理用サーバに送られてくる消耗判定用データを受信するステップと、
を有するものである。

【0049】

本発明によれば、Ｘ線検査装置のデータ取得部で取得された消耗判定用データを、通信ネットワークを介して前記Ｘ線検査装置と接続された管理用サーバで管理することができる。消耗判定用データには、Ｘ線検査装置の駆動系の動作状況を示すデータ、扉の開閉回数を示すデータの少なくとも一つが含まれるため、前記消耗判定用データから、Ｘ線検査装置の駆動系、又は、扉の使用状況を正確に把握することができる。

【0050】

（第２項）
第２項のＸ線検査装置は、第１項に記載のＸ線検査装置であって、
前記駆動系の動作状況を示すデータは、前記ステージの移動状況を示すデータであるものとすることができる。

【0051】

第２項のＸ線検査装置によれば、Ｘ線検査装置のステージの使用状況を把握することができる。

【0052】

（第３項）
第３項のＸ線検査装置は、第２項のＸ線検査装置であって、
前記ステージの移動状況を示すデータは、前記ステージの移動時間、移動速度、移動距離、および移動速度に応じた重み付けの少なくとも一つを示すデータであるものとすることができる。

【0053】

第３項のＸ線検査装置によれば、ステージの使用状況をより正確に把握することができる。

【0054】

（第５項）
第５項のＸ線検査装置の管理用サーバは、第４項のＸ線検査装置の管理用サーバにおいて、
前記データ受信部が受信した消耗判定用データに基づいて、前記Ｘ線検査装置の駆動系の交換、および、前記扉の構成部品の交換の少なくとも一つを促すメッセージを出力する出力部をさらに備えるものである。

【0055】

第５項のＸ線検査装置の管理用サーバによれば、Ｘ線検査装置の駆動系の交換、および、前記扉の構成部品の交換が必要であることを容易に認識することが可能となる。

【0056】

なお、上述した記載はこの発明の実施形態の説明のためのものであり、この発明を限定するものではない。

【符号の説明】

【0057】

１００…装置本体
１０…ケーシング
１１…Ｘ線源
１２…Ｘ線検出器
１３…マイクロスイッチ
２０…移動機構
２１…回転ステージ
２２…Ｙステージ
２３…Ｘステージ
２４…基台
３０…制御装置
３１…Ｘ線制御部
３２…ステージ制御部
３３…画像処理部
３４…制御・処理部
３５…通信部
３６…判定用データ送信部
３７…記憶部
３８…表示制御部
３９…データ受信部
４０…判定用データ作成部
４１、４２…扉
４５…操作パネル
４６…ショックアブソーバ
１１０…インターネット
１１１…管理用サーバ
１１２…サーバ用通信部
１１３…データ受信部
１１４…出力部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】