特許 7452682 検査システム、抽出装置、検査方法及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】検査システム、抽出装置、検査方法及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/30 20060101AFI20240312BHJP

【ＦＩ】

G01B11/30 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022553379

(86)(22)【出願日】2020-10-01

(86)【国際出願番号】 JP2020037437

(87)【国際公開番号】W WO2022070387

(87)【国際公開日】2022-04-07

【審査請求日】2023-03-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100103894

【弁理士】

【氏名又は名称】家入 健

(72)【発明者】

【氏名】辻 聡

【審査官】山▲崎▼ 和子

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０７９９５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０３７８０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／１６１８５２（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｃ １／００－１／１４

５／００－１５／１４

Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０

Ｅ２１Ｄ ９／００－１３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置と、
前記トンネルの内部において、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させる移動手段と、
測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段と、
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出する算出手段と、
を備え、
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出する、
検査システム。

【請求項2】

前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出する、
請求項１に記載の検査システム。

【請求項3】

前記算出手段は、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出する、
請求項１または２に記載の検査システム。

【請求項4】

トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段を備え、
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段が算出した場合に、
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出する、
抽出装置。

【請求項5】

前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出する、
請求項４に記載の抽出装置。

【請求項6】

前記算出手段は、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出する、
請求項４または５に記載の抽出装置。

【請求項7】

トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、
前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、
測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させ、
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
検査方法。

【請求項8】

前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出させる、
請求項７に記載の検査方法。

【請求項9】

前記算出手段に、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出させる、
請求項７または８に記載の検査方法。

【請求項10】

トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、
前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、
測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させ、
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させるプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査システム、抽出装置、検査方法、抽出方法及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、測定対象物の形状を光切断法により計測する三次元形状計測装置が記載されている。特許文献１の三次元形状計測装置は、測定対象物に対してパターン光を照射する投光部と、撮像部と、輝度条件調整部と、制御部と、演算部とを備える。撮像部は、パターン光によって測定対象物の表面に形成されるパターンを含む画像を撮像する。輝度条件調整部は、画像の輝度に影響を与えるパラメータのうち少なくとも１つを変化させる。制御部は、測定対象物とパターン光とを所定方向に相対的に走査させるとともに、パターン光の走査位置がそれぞれ相違する複数の画像を上記のパラメータを変化させながら取得する。演算部は、複数の画像のうちで輝度レベルが所定範囲に収まるものを対象画像として抽出し、該対象画像に対応するパターンの輝度情報を用いて測定対象物の三次元形状を求める。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００９－１６８６５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の三次元形状計測装置は、輝度から測定対象物の三次元形状を得ている。しかしながら、パターン光によって測定対象物の表面に形成されるパターンは、測定対象物の形状によって、不安定な輝度値を示す場合がある。よって、測定精度の向上に関して課題がある。

【0005】

本開示の目的は、このような課題を解決するためになされたものであり、測定精度を向上させることができる検査システム、抽出装置、検査方法、抽出方法及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る検査システムは、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置と、前記トンネルの内部において、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させる移動手段と、測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段と、を備える。

【0007】

また、本開示に係る抽出装置は、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段を備える。

【0008】

さらに、本開示に係る検査方法は、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させる。

【0009】

本開示に係る抽出方法は、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記点群データを取得し、前記測定地点毎に取得された前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出させる。

【0010】

また、本開示に係るプログラムは、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させる、ことをコンピュータに実行させる。

【0011】

さらに、本開示に係るプログラムは、トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記点群データを取得させ、前記測定地点毎に取得された前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出させる、ことをコンピュータに実行させる。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、測定精度を向上させることができる検査システム、抽出装置、検査方法、抽出方法及びプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】実施形態１に係る検査システムを例示した図である。

【図2】実施形態１に係る検査システムを例示したブロック図である。

【図3】実施形態１に係る検査システムにおいて、測定装置の測定原理を例示した斜視図である。

【図4】実施形態１に係る検査システムにおいて、測定装置を例示した斜視図である。

【図5】実施形態１に係る検査システムにおいて、トンネルの壁面を測定する測定装置を例示した図である。

【図6】実施形態１に係る検査システムにおいて、トンネルの壁面を測定する測定装置を例示した図である。

【図7】実施形態１に係る検査システムにおいて、抽出部を例示したブロック図である。

【図8】実施形態１に係る検査システムにおいて、抽出部が抽出したデータを含むチャネルを例示した図である。

【図9】実施形態１に係る検査システムにおいて、抽出部が抽出したデータを含むチャネルを例示した図である。

【図10】実施形態１に係る別の検査システムを例示したブロック図である。

【図11】実施形態１に係るさらに別の検査システムにおいて、抽出部及びデータ保存部を例示したブロック図である。

【図12】実施形態１に係る検査方法を例示したフローチャート図である。

【図13】実施形態１に係る抽出方法を例示したフローチャート図である。

【図14】トンネルの壁面の穴及び測定部が照射する複数のビームを例示した図である。

【図15】実施形態２に係る検査システムを例示したブロック図である。

【図16】実施形態２に係る検査システムにおいて、算出部が算出した算出面を例示した図である。

【図17】実施形態２に係る別の検査システムを例示したブロック図である。

【図18】実施形態２に係るさらに別の検査システムにおいて、算出部、抽出部及びデータ保存部を例示したブロック図である。

【図19】実施形態２に係る検査方法を例示したフローチャート図である。

【図20】実施形態２に係る抽出方法を例示したフローチャート図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、実施形態について、図面を参照しながら説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。

【0015】

（実施形態１）
まず、実施形態１に係る検査システムを説明する。本実施形態に係る検査システムは、例えば、トンネルの壁面を検査するシステムである。

【0016】

図１は、実施形態１に係る検査システムを例示した図である。図２は、実施形態１に係る検査システムを例示したブロック図である。図１及び図２に示すように、検査システム１は、測定装置１０、移動部２０及び抽出部３０を備えている。測定装置１０、移動部２０及び抽出部３０は、それぞれ、測定手段、移動手段及び抽出手段としての機能を有している。

【0017】

測定装置１０は、トンネルＴＮの内部ＴＮＩの測定地点Ｐ１に配置されている。測定装置１０は、レーザ光等のビームでトンネルＴＮの壁面ＴＮＷを照射する。測定装置１０は、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンしたビームの反射光を受光することにより、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する。

【0018】

移動部２０は、測定装置１０をトンネルＴＮの内部ＴＮＩに渡って移動させる。例えば、移動部２０は、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに沿って、測定装置１０を移動させる。移動部２０は、トンネルＴＮの内部ＴＮＩにおいて、測定装置１０を、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させる。

【0019】

抽出部３０は、測定装置１０が取得した点群データにおいて、データを抽出する。例えば、抽出部３０は、測定地点Ｐ１及びＰ２毎に測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐ１及びＰ２からの距離に基づいて、データを抽出する。以下で、＜測定装置＞、＜移動部＞及び＜抽出部＞の各構成を詳細に説明する。

【0020】

＜測定装置＞
まず、測定装置１０を説明する。図３は、実施形態１に係る検査システム１において、測定装置１０の測定原理を例示した斜視図である。図３に示すように、測定装置１０は、測定対象ＯＢに対してレーザ光等のビームＬＢをスキャンさせることにより、測定対象ＯＢの形状を点群データとして取得することができる。点群データは、少なくとも座標値及び輝度値を含む。測定装置１０は、例えば、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）等のセンサである。

【0021】

例えば、ＴｏＦ（Ｔｉｍｅ ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ）方式のＬｉＤＡＲの原理は、以下のとおりである。すなわち、ＬｉＤＡＲは、レーザ光等のビームＬＢを発光する発光部１１と、ビームＬＢが測定対象ＯＢで反射した反射光ＲＢを検出する検出部１２と、を備えている。ＬｉＤＡＲは、ビームＬＢを所定の画角で測定対象ＯＢに対してスキャンさせながら、測定対象ＯＢで反射した反射光ＲＢを検出する。そして、ＬｉＤＡＲは、ビームＬＢが測定対象ＯＢに到達するまでの時間ｔ１と、反射光ＲＢが検出部１２に到達するまでの時間ｔ２を用いて、測定対象ＯＢまでの距離Ｄを、Ｄ＝（ｔ２－ｔ１）／２×（光の速さ）から算出する。これにより、ＬｉＤＡＲは、スキャンした範囲におけるスキャンデータとして、測定対象ＯＢまでの距離を含んだ座標値及び輝度値を有する点群データを取得することができる。

【0022】

本実施形態を説明するにあたり、測定装置１０は、ビームを複数異なる角度に照射し、ビームの照射方向の変更方法を、ビームの発光部１１を回転させるものとして、説明する。ただし、このことは、測定装置１０の構成、及び、ビームの照射方向の変更方法を本手法に限定するものではない。図４は、実施形態１に係る検査システム１において、測定装置１０を例示した斜視図である。図４に示すように、測定装置１０は、回転中心軸ＲＣを有してもよい。測定装置１０は、回転中心軸ＲＣを回転軸としてビームＬＢの射出方向を回転させてもよい。これにより、測定装置１０は、回転中心軸ＲＣの周りに３６０［ｄｅｇ］の全方向をスキャンすることができる。測定装置１０の回転中心軸ＲＣに対して直交する面方向へのビームＬＢの照射方向を、本明細書では、便宜上、鉛直面方向と呼ぶ。

【0023】

測定装置１０は、複数のチャネルを備えてもよい。例えば、測定装置１０は、１６本のビームＬＢを照射するチャネルを備えてもよい。そして、測定装置１０の各チャンネルは、回転中心軸ＲＣに対して各々異なる方向にビームＬＢを照射してもよい。よって、測定装置１０は、回転中心軸ＲＣに対して異なる複数の角度の照射方向に照射した複数のビームＬＢを回転中心軸ＲＣの周りに回転させる。例えば、測定装置１０は、隣り合うビームＬＢ間を２［ｄｅｇ］間隔の異なる方向にビームＬＢを照射してもよい。よって、１６本のビームＬＢは、中心軸に対して、３０［ｄｅｇ］の角度の範囲内に照射される。各チャンネルは、回転中心軸ＲＣを中心に回転する。

【0024】

このように、測定装置１０は、（１）複数チャネルを備え、（２）各チャネルは回転中心軸ＲＣに対して、各々異なる方向にビームＬＢを照射し、（３）各チャネルは回転中心軸ＲＣを中心に回転する、という特徴を有してもよい。なお、前述したように、測定装置１０の構成、及び、ビームＬＢの照射方向の変更方法は、上述の方法に限らない。例えば、ＬｉＤＡＲ等の測定装置１０には、ＭＥＭＳ等の技術を用いて、電気的にビームＬＢの照射方向を変更するものがある。また、１本のビームＬＢを水平方向だけでなく垂直方向にも方向を変更することで、広い範囲のスキャンを実現しているＬｉＤＡＲも存在する。したがって、測定装置１０は、そのようなＬｉＤＡＲも含んでもよい。すなわち、測定装置１０は、基準点を有し、基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームＬＢで、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンしたビームＬＢの反射光ＲＢを受光することにより、壁面ＴＮＷの点群データを取得してもよい。

【0025】

本実施形態の検査システム１は、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの異常を検査する際に、測定装置１０が取得する点群データにおける輝度値を利用することが可能である。例えば、測定装置１０は、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの点群データを取得する。具体的には、測定装置１０は、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンしたビームＬＢの反射光ＲＢを受光することにより、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する。そして、測定装置１０は、クラック等の異常を輝度値に基づいて検知する。

【0026】

しかしながら、移動部２０が測定装置１０を複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させる場合に、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを常にトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせて移動できるとは限らない。例えば、測定装置１０から照射されたビームＬＢにおいて、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷへの当たり方（ビームＬＢの入射角）が変わりうる。ビームＬＢがトンネルＴＮの壁面ＴＮＷに対して入射する角度が垂直に近いほど（入射角が０［ｄｅｇ］に近いほど）、得られる輝度値は大きい。

【0027】

したがって、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの状態とは別の要因で輝度値が変化することがある。よって、このままでは異常を検知する精度を向上させることが困難である。以下で、測定装置１０がトンネルＴＮの壁面ＴＮＷを検査する際の課題を具体的に説明する。

【0028】

図５及び図６は、実施形態１に係る検査システム１において、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを測定する測定装置１０を例示した図である。図５に示すように、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷにビームＬＢが斜めに入射する場合には、測定装置１０へ反射する反射光ＲＢの成分が減少する。よって、測定装置１０が測定する輝度値は小さい。

【0029】

一方、図６に示すように、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷにビームＬＢが垂直に入射する場合には、測定装置１０への反射光ＲＢは大きい。よって、測定装置１０が測定する輝度値は大きい。

【0030】

このように、ビームＬＢがトンネルＴＮの壁面ＴＮＷに対して入射する角度が垂直に近いほど（入射角が０［ｄｅｇ］に近いほど）、得られる輝度値は大きい。点群データは、少なくとも三次元空間における座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ等）と反射光ＲＢの強さを示す輝度値（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）とを含む。測定装置１０の回転中心軸ＲＣがトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣ方向に平行でない場合には、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンしたデータ（点群データ)に含まれる輝度値の値が安定しないという課題を有する。本実施形態の検査システム１は、この課題を解決する。

【0031】

＜移動部＞
次に、移動部２０を説明する。移動部２０は、測定装置１０を複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させる。複数の測定地点Ｐ１及びＰ２を総称して測定地点Ｐと呼ぶ。特定の測定地点Ｐを示す場合には、測定地点Ｐ１またはＰ２と符号を付す。

【0032】

移動部２０は、例えば、走行車両、ドローン等である。移動部２０は、自動制御で自動走行する自動走行車両でもよい。また、移動部２０は、測定装置１０を携行して歩く人でもよい。移動部２０は、測定装置１０にトンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンさせながらトンネルＴＮの内部ＴＮＩを進む。

【0033】

トンネルＴＮは、中心軸ＴＮＣを有している。移動部２０は、中心軸ＴＮＣに沿うように測定装置１０を移動させる。例えば、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣが一方向に延びている場合には、移動部２０は、中心軸ＴＮＣに平行な方向に測定装置１０を移動させる。トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣが湾曲している場合には、移動部２０は、湾曲した中心軸ＴＮＣと同じ曲率で湾曲させた経路に沿って測定装置１０を移動させる。

【0034】

移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、測定装置１０の移動方向に合わせる。例えば、移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣが測定装置１０の移動方向を向くように測定装置１０を移動させる。この場合には、測定装置１０が取得する点群データは、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、測定装置１０の移動方向に合わせて、測定装置１０を移動させた場合に、各測定地点Ｐで測定装置１０が取得したものである。

【0035】

また、移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせる。例えば、移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣがトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣの方向を向くように測定装置１０を移動させる。この場合には、測定装置１０が取得する点群データは、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせて、測定装置１０を移動させた場合に、各測定地点Ｐで測定装置１０が取得したものである。

【0036】

＜抽出部＞
次に、抽出部３０を説明する。図７は、実施形態１に係る検査システム１において、抽出部３０を例示したブロック図である。図７に示すように、抽出部３０は、抽出装置３１に設けられ、単体として機能してもよい。抽出部３０は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、インターフェイス部（Ｉ／Ｆ）等からなるマイクロコンピュータを含むハードウェアで構成されてもよい。ＣＰＵは、抽出処理及び制御処理等を行う。また、ＣＰＵは、算出処理及び保存処理を行ってもよい。ＲＯＭは、ＣＰＵによって実行される抽出プログラム及び制御プログラム等を記憶する。ＲＡＭは、点群データ等の各種のデータを記憶する。インターフェイス部（Ｉ／Ｆ）は、外部と信号の入出力を行う。ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びインターフェイス部は、データバスなどを介して相互に接続されている。抽出部３０が設けられた抽出装置３１は、抽出処理だけでなく、測定装置１０及び移動部２０の制御を含めた検査システム１全体の制御を行ってもよい。

【0037】

抽出部３０は、測定装置１０と有線又は無線の通信手段により、データ等の情報を送受信可能な状態で接続されている。抽出部３０は、移動部２０と有線又は無線の通信手段により、制御信号等を送受信可能な状態で接続されてもよい。

【0038】

図８及び図９は、実施形態１に係る検査システム１において、抽出部３０が抽出したデータを含むチャネルを例示した図である。図８に示すように、測定装置１０の回転中心軸ＲＣがトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに平行な場合には、抽出部３０は、回転中心軸ＲＣに直交するチャネルＣＨ１の方向に照射したビームＬＢにより取得されたデータを抽出する。チャネルＣＨ１のビームＬＢは、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷへ入射する角度が最も垂直に近い（入射角が最も小さい）。チャネルＣＨ１のビームＬＢにより取得したデータは、測定地点Ｐ１からの最短距離を示すデータである。

【0039】

一方、図９に示すように、測定装置１０の回転中心軸ＲＣがトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに平行でない場合には、抽出部３０は、回転中心軸ＲＣに傾斜したチャネルＣＨ２の方向に照射したビームＬＢにより取得されたデータを抽出する。チャネルＣＨ２のビームＬＢは、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷへ入射する角度が最も垂直に近い（入射角が最も小さい）。チャネルＣＨ２のビームＬＢにより取得したデータは、測定地点Ｐ２からの最短距離を示すデータである。

【0040】

このように、抽出部３０は、測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐから壁面ＴＮＷまでの距離に基づいて、データを抽出する。具体的には、抽出部３０は、測定装置１０を、トンネルＴＮの内部ＴＮＩにおいて、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させた場合に、測定地点Ｐ１及びＰ２毎に測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐ１及びＰ２からの距離に基づいて、データを抽出する。

【0041】

抽出部３０は、測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐから最短距離を示すデータを抽出してもよい。すなわち、抽出部３０は、測定地点ＰからトンネルＴＮの壁面ＴＮＷまでの距離が最も短いデータを抽出する。抽出部３０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣに直交した鉛直面上のデータを抽出する。

【0042】

抽出部３０は、複数チャネル（複数本）のビームＬＢを異なる照射方向に照射可能な測定装置１０を用い、ある測定地点Ｐで取得したデータのうち、最もトンネルＴＮの壁面ＴＮＷまでの距離が近いデータをその箇所の輝度値として採用する。これにより、上述した課題を解決する。トンネルＴＮの壁面ＴＮＷに対して、最も距離が近いビームＬＢは、壁面ＴＮＷに垂直に近い角度で入射していると期待できる。よって、輝度値の情報を安定的に取得可能となる。

【0043】

なお、抽出部３０は、測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐからの距離に基づいて、データを抽出すれば、測定地点Ｐから最短距離を示すデータ以外のデータを抽出してもよい。例えば、２番目に短い距離を示すデータを抽出してもよいし、平均値を示すデータを抽出してもよい。

【0044】

＜データ保存部＞
次に、実施形態１の別の例として、データ保存部を備えた検査システムを説明する。図１０は、実施形態１に係る別の検査システムを例示したブロック図である。図１０に示すように、別の検査システム１ａは、データ保存部４０をさらに備えている。データ保存部４０は、データを保存するデータ保存手段としての機能を有している。データ保存部４０は、例えば、ＲＡＭ、ハードディスク等の記憶媒体である。データ保存部４０は、クラウド上に設けられてもよい。データ保存部４０は、データ保存装置として、単体で機能してもよい。データ保存部４０は、抽出部３０と有線又は無線の通信手段により、データ等の情報を送受信可能な状態で接続されている。

【0045】

図１１は、実施形態１に係るさらに別の検査システムにおいて、抽出部３０及びデータ保存部４０を例示したブロック図である。図１１に示すように、データ保存部４０は、抽出部３０を含む抽出装置３１ａに設けられてもよい。この場合には、抽出部３０及びデータ保存部４０を含む抽出装置３１ａは、単体として機能してもよい。

【0046】

データ保存部４０は、データを保存する。データ保存部４０は、測定装置１０が取得したデータを保存してもよいし、抽出部３０が抽出したデータを保存してもよい。また、データ保存部４０は、抽出したデータを保存する際に、測定地点Ｐを示す情報とともにデータを保存してもよい。例えば、抽出部３０は、測定地点Ｐ１及びＰ２を示す情報とともにデータをデータ保存部４０に保存させる。

【0047】

また、データ保存部４０は、測定地点Ｐを示す情報を用いて、各測定地点Ｐ１及びＰ２間で共通の座標系の座標値に変換されたデータを保存してもよい。例えば、抽出部３０は、各測定地点Ｐ１及びＰ２間で共通の座標系の座標値に変換されたデータをデータ保存部４０に保存させる。測定地点Ｐを示す情報は、ホイールエンコーダーを移動部２０に搭載して取得してもよいし、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷに現在位置を示すビーコン等を設置し、ビーコンとの位置関係を基に算出してもよい。

【0048】

＜検査方法＞
次に、本実施形態の検査方法を説明する。図１２は、実施形態１に係る検査方法を例示したフローチャート図である。図１２のステップＳ１１に示すように、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの点群データを取得する。具体的には、トンネルＴＮの内部ＴＮＩの測定地点Ｐに測定装置１０を配置する。測定装置１０は、回転中心軸ＲＣを有し、回転中心軸ＲＣに対して異なる複数の角度の照射方向に照射した複数のビームＬＢを回転中心軸ＲＣの周りに回転させる。このようにして、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷをスキャンしたビームＬＢの反射光ＲＢを受光することにより、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして測定装置１０に取得させる。

【0049】

次に、ステップＳ１２に示すように、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２で点群データを取得する。具体的には、トンネルＴＮの内部ＴＮＩにおいて、移動部２０によって、測定装置１０を、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させる。

【0050】

測定装置１０を移動させる際に、移動部２０に、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、測定装置１０の移動方向に合わせさせてもよい。また、移動部２０に、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせさせてもよい。

【0051】

次に、ステップＳ１３に示すように、測定地点Ｐ１及びＰ２毎に取得された点群データにおいて、測定地点Ｐ１及びＰ２からの距離に基づいてデータを抽出する。具体的には、測定地点Ｐ１及びＰ２からの距離に基づいて、抽出部３０にデータを抽出させる。

【0052】

抽出部３０にデータを抽出させる際には、抽出部３０に測定地点Ｐから最短距離を示すデータを抽出させてもよい。また、抽出部３０に回転中心軸ＲＣに直交した鉛直面上のデータを抽出させてもよい。

【0053】

なお、測定装置１０により取得されたデータまたは抽出部３０により抽出されたデータを、測定地点Ｐを示す情報とともにデータ保存部４０に保存させてもよい。また、測定地点Ｐを示す情報を用いて、各測定地点Ｐ間で共通の座標系の座標値に変換されたデータをデータ保存部４０に保存させてもよい。

【0054】

このようにして、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを示すデータを抽出することにより、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを検査することができる。

【0055】

＜抽出方法＞
次に、抽出部３０または抽出装置３１に設けられた抽出部３０が行う抽出方法を説明する。図１３は、実施形態１に係る抽出方法を例示したフローチャート図である。図１３のステップＳ２１に示すように、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２で取得されたトンネルＴＮの壁面ＴＮＷの点群データを取得する。具体的には、測定装置１０を、トンネルＴＮの内部ＴＮＩにおいて、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２に移動させた場合に、測定地点Ｐ１及びＰ２毎に点群データを取得する。

【0056】

点群データは、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、測定装置１０の移動方向に合わせて、測定装置１０を移動させた場合に、各測定地点Ｐで測定装置１０が取得したものでもよい。また、点群データは、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを、トンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせて、測定装置１０を移動させた場合に、各測定地点Ｐで測定装置１０が取得したものでもよい。

【0057】

次に、図１３のステップＳ２２に示すように、測定地点Ｐ１及びＰ２毎に取得された点群データにおいて、測定地点Ｐ１及びＰ２からの距離に基づいてデータを抽出する。

【0058】

抽出部３０にデータを抽出させる際には、抽出部３０に測定地点Ｐ１及びＰ２から最短距離を示すデータを抽出させてもよい。また、抽出部３０に回転中心軸ＲＣに直交した鉛直面上のデータを抽出させてもよい。

【0059】

なお、測定装置１０により取得されたデータまたは抽出部３０により抽出されたデータを、測定地点Ｐを示す情報とともにデータ保存部４０に保存させてもよい。また、測定地点Ｐを示す情報を用いて、各測定地点Ｐ間で共通の座標系の座標値に変換されたデータをデータ保存部４０に保存させてもよい。このようにして、抽出部３０は、データを抽出する。

【0060】

次に、本実施形態の効果を説明する。本実施形態の検査システム１は、測定地点Ｐ毎に測定装置１０が取得した点群データにおいて、測定地点Ｐからの距離、すなわち、測定地点Ｐから壁面ＴＮＷまでの距離に基づいて、データを抽出する。よって、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷに入射する角度が垂直に近いビームＬＢによるデータを抽出するので、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを示すデータの測定精度を向上させることができる。

【0061】

抽出部３０は、測定地点Ｐからの最短距離を示すデータを抽出する場合には、壁面ＴＮＷに入射する角度をより垂直に近づけることができ、測定精度をさらに向上させることができる。また、抽出部３０は、回転中心軸ＲＣに直交した鉛直面上のデータを抽出するので、測定精度をさらに向上させることができる。

【0062】

移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣを測定装置１０の移動方向に合わせるので、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷに入射する角度をより垂直に近づけることができる。また、移動部２０は、測定装置１０の回転中心軸ＲＣをトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせるので、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷに入射する角度をより垂直に近づけることができる。これにより、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを示すデータの測定精度を向上させることができる。

【0063】

データ保存部４０は、測定地点Ｐを示す情報とともにデータを保存するので、抽出処理時間を短縮することができる。また、データの保存量を増大させ、検査システム１の記憶容量を増大させることができる。

【0064】

（実施形態２）
次に、実施形態２に係る検査システムを説明する。トンネルＴＮの壁面には穴等が生じている場合がある。その場合には、測定地点Ｐからの距離が本来であれば最短となるチャネルが選択されないことが起こりうる。

【0065】

図１４は、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの穴及び測定装置１０が照射する複数のビームＬＢを例示した図である。図１４に示すように、例えば、測定装置１０の回転中心軸ＲＣをトンネルＴＮの中心軸ＴＮＣに合わせた場合に、本来であれば、チャネルＣＨ３のビームＬＢによるデータが測定地点Ｐ１からトンネルＴＮの壁面ＴＮＷまでの最短距離を示すデータとして抽出される。しなしながら、壁面ＴＷに穴があるために、チャネルＣＨ４のビームＬＢによるデータが測定地点Ｐから最短距離を示すデータとして抽出される。よって、穴がなければ、測定地点Ｐからの距離が最短となるチャネルＣＨ３は、穴があるために抽出されないことが起こりうる。そこで、本実施形態の検査システムは、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの原形に近似した算出面を算出する。

【0066】

図１５は、実施形態２に係る検査システムを例示したブロック図である。図１５に示すように、本実施形態の検査システム２は、算出部５０をさらに備えている。算出部５０は、算出手段としての機能を有している。算出部５０は、算出装置として、単体で機能してもよい。算出部５０は、測定装置１０と有線又は無線の通信手段により、データ等の情報を送受信可能な状態で接続されている。また、算出部５０は、抽出部３０と有線又は無線の通信手段により、データ等の情報を送受信可能な状態で接続されている。算出部５０は、測定装置１０が取得した点群データに含まれるデータの座標値に基づいて、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷの原形に近似した算出面を算出する。

【0067】

算出部５０は、複数の測定地点Ｐで測定した複数の点群データを用いて算出面を算出してもよい。例えば、算出部５０は、複数の測定地点Ｐで測定した複数の点群データから最小二乗法等に基づいて算出面を算出してもよい。算出部５０は、トンネルＴＮの設計図面等のモデルデータから算出面を算出してもよい。

【0068】

図１６は、実施形態２に係る検査システム２において、算出部５０が算出した算出面を例示した図である。図１６に示すように、算出部５０は算出面ＣＦを算出する。算出面ＣＦは、トンネルＴＮの壁面ＴＷの原形ＴＮＯに近似している。壁面ＴＷの原形ＴＮＯは、トンネルＴＮの本来の壁面ＴＷであり、穴等の異常の発生を検査する場合において、参照となる面である。

【0069】

本実施形態の抽出部３０は、測定地点Ｐ１から算出面ＣＦまでの距離に基づいて、データを抽出する。例えば、抽出部３０は、測定地点Ｐ１から算出面ＣＦまでの最短距離を示すデータを抽出してもよい。これにより、チャネルＣＨ５のビームＬＢによるデータが、測定地点Ｐ１からトンネルＴＮの壁面ＴＮＷの原形ＴＮＯまでの最短距離を示すデータとして抽出される。チャネルＣＨ５のデータは、壁面ＴＷに形成された穴の情報を含んでいる。よって、検査システム２は、壁面ＴＷの穴を検査することができる。

【0070】

本実施形態の検査システム２は、データ保存部４０を備えてもよい。図１７は、実施形態２に係る別の検査システムを例示したブロック図である。図１７に示すように、別の検査システム２ａは、データ保存部４０を備えている。本実施形態のデータ保存部４０は、前述の検査システム１のデータ保存部４０の構成及び動作に加えて、算出面ＣＦを保存することができる。

【0071】

図１８は、実施形態２に係るさらに別の検査システムにおいて、算出部、抽出部及びデータ保存部を例示したブロック図である。図１８に示すように、算出部５０、データ保存部４０は、抽出部３０を含む抽出装置３１ｂに設けられてもよい。この場合には、算出部５０、抽出部３０及びデータ保存部４０を含む抽出装置３１ｂは、単体として機能してもよい。

【0072】

次に、本実施形態の検査方法を説明する。図１９は、実施形態２に係る検査方法を例示したフローチャート図である。図１９のステップＳ３１及びステップＳ３２は、実施形態１の検査方法におけるステップＳ１１及びステップＳ１２と同様である。

【0073】

次に、ステップＳ３３に示すように、算出面を算出する。具体的には、測定装置１０が取得した点群データに含まれるデータの座標値に基づいて、トンネルＴＮの壁面ＴＷの原形ＴＮＯに近似した算出面ＣＦを算出部５０に算出させる。算出部５０に、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２で取得した複数の点群データを用いて、算出面ＣＦを算出させてもよい。

【0074】

次に、ステップＳ３４に示すように、測定地点Ｐ毎に取得された点群データにおいて、測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの距離に基づいてデータを抽出する。具体的には、抽出部３０に、測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの距離に基づいて、データを抽出させる。抽出部３０に、測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの最短距離を示すデータを抽出させてもよい。測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの最短距離を示すデータは、壁面ＴＷに形成された穴の情報を含む場合もある。このようにして、検査システム２は、トンネルＴＮの壁面ＴＷを検査することができる。

【0075】

次に、本実施形態の抽出方法を説明する。図２０は、実施形態２に係る抽出方法を例示したフローチャート図である。図２０のステップＳ４１は、実施形態１の抽出方法におけるステップＳ２１と同様である。

【0076】

次に、ステップＳ４２に示すように、算出面ＣＦを算出する。具体的には、測定装置１０が取得した点群データに含まれるデータの座標値に基づいて、トンネルＴＮの壁面ＴＷの原形ＴＮＯに近似した算出面ＣＦを算出部５０に算出させる。算出部５０に、複数の測定地点Ｐ１及びＰ２で取得した複数の点群データを用いて、算出面ＣＦを算出させてもよい。

【0077】

次に、ステップＳ４３に示すように、測定地点Ｐ毎に取得された点群データにおいて、測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの距離に基づいてデータを抽出する。このようにして、抽出部３０は、トンネルＴＮの壁面ＴＷを示すデータを抽出する。

【0078】

本実施形態の検査システム２は、トンネルＴＮの壁面ＴＷの原形ＴＮＯに近似する算出面ＣＦを算出する算出部５０を備えている。そして、抽出部３０は、測定地点Ｐ毎に取得された点群データにおいて、測定地点Ｐから算出面ＣＦまでの距離に基づいてデータを抽出する。よって、トンネルＴＮの壁面ＴＷに穴が形成された場合でも、トンネルＴＮの壁面ＴＷの原形ＴＮＯに入射する角度をより垂直に近づけることができ、トンネルＴＮの壁面ＴＮＷを測定する測定精度を向上させることができる。よって、トンネルＴＮの穴等の異常を検査することができる。これ以外の構成及び効果は、実施形態１の記載に含まれている。

【0079】

以上、実施形態１及び２を参照して本願発明を説明したが、本願発明は、上記実施形態１及び２に限られたものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることが可能である。例えば、実施形態１及び２の各構成を組み合わせた実施形態も、技術的思想の範囲に含まれる。また、実施形態１及び２の検査方法及び抽出方法を、コンピュータに実行させるプログラムも実施形態１及び２の技術的範囲に含まれる。

【0080】

上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。

【0081】

（付記１）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置と、
前記トンネルの内部において、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させる移動手段と、
測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段と、
を備えた検査システム。
（付記２）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記１に記載の検査システム。
（付記３）
前記抽出手段は、前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出する、
付記２に記載の検査システム。
（付記４）
前記移動手段は、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせる、
付記２または３に記載の検査システム。
（付記５）
前記移動手段は、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせる、
付記２～４のいずれか１項に記載の検査システム。
（付記６）
前記抽出手段は、前記測定地点から最短距離を示すデータを抽出する、
付記１～５のいずれか１項に記載の検査システム。
（付記７）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データを保存するデータ保存手段をさらに備えた、
付記１～６のいずれか１項に記載の検査システム。
（付記８）
前記データ保存手段は、前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを保存する、
付記７に記載の検査システム。
（付記９）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出する算出手段をさらに備え、
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出する、
付記１～８のいずれか１項に記載の検査システム。
（付記１０）
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出する、
付記９に記載の検査システム。
（付記１１）
前記算出手段は、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出する、
付記９または１０に記載の検査システム。
（付記１２）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記測定装置が取得した点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出する抽出手段を備えた、
抽出装置。
（付記１３）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記１２に記載の抽出装置。
（付記１４）
前記抽出手段は、前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出する、
付記１３に記載の抽出装置。
（付記１５）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記１３または１４に記載の抽出装置。
（付記１６）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記１３～１５のいずれか１項に記載の抽出装置。
（付記１７）
前記抽出手段は、前記測定地点から最短距離を示すデータを抽出する、
付記１２～１６のいずれか１項に記載の抽出装置。
（付記１８）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データをデータ保存手段に保存させる、
付記１２～１７のいずれか１項に記載の抽出装置。
（付記１９）
前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを前記データ保存手段に保存させる、
付記１８に記載の抽出装置。
（付記２０）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段が算出した場合に、
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出する、
付記１２～１９のいずれか１項に記載の抽出装置。
（付記２１）
前記抽出手段は、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出する、
付記２０に記載の抽出装置。
（付記２２）
前記算出手段は、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出する、
付記２０または２１に記載の抽出装置。
（付記２３）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、
前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、
測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させる、
検査方法。
（付記２４）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記２３に記載の検査方法。
（付記２５）
前記抽出手段に、前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出させる、
付記２４に記載の検査方法。
（付記２６）
前記移動手段に、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせさせる、
付記２４または２５に記載の検査方法。
（付記２７）
前記移動手段に、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせさせる、
付記２４～２６のいずれか１項に記載の検査方法。
（付記２８）
前記抽出手段に、前記測定地点から最短距離を示すデータを抽出させる、
付記２３～２７のいずれか１項に記載の検査方法。
（付記２９）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データをデータ保存手段に保存させる、
付記２３～２８のいずれか１項に記載の検査方法。
（付記３０）
前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを前記データ保存手段に保存させる、
付記２９に記載の検査方法。
（付記３１）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
付記２３～３０のいずれか１項に記載の検査方法。
（付記３２）
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出させる、
付記３１に記載の検査方法。
（付記３３）
前記算出手段に、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出させる、
付記３１または３２に記載の検査方法。
（付記３４）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記点群データを取得し、
前記測定地点毎に取得された前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
抽出方法。
（付記３５）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記３４に記載の抽出方法。
（付記３６）
前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出させる、
付記３５に記載の抽出方法。
（付記３７）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記３５または３６に記載の抽出方法。
（付記３８）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記３５～３７のいずれか１項に記載の抽出方法。
（付記３９）
前記測定地点から最短距離を示すデータを抽出させる、
付記３４～３８のいずれか１項に記載の抽出方法。
（付記４０）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データをデータ保存手段に保存させる、
付記３４～３９のいずれか１項に記載の抽出方法。
（付記４１）
前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを前記データ保存手段に保存させる、
付記４０に記載の抽出方法。
（付記４２）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
付記３４～４１のいずれか１項に記載の抽出方法。
（付記４３）
前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出させる、
付記４２に記載の抽出方法。
（付記４４）
前記算出手段に、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて前記算出面を算出させる、
付記４２または４３に記載の抽出方法。
（付記４５）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして前記測定装置に取得させ、
前記トンネルの内部において、移動手段によって、前記測定装置を、複数の前記測定地点に移動させ、
測定地点毎に前記測定装置が取得した前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、抽出手段に前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させるプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記４６）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記４５に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記４７）
前記抽出手段に、前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記４６に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記４８）
前記移動手段に、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせさせる、
ことをコンピュータに実行させる付記４６または４７に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記４９）
前記移動手段に、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせさせる、
ことをコンピュータに実行させる付記４６～４８のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５０）
前記抽出手段に、前記測定地点から最短距離を示すデータを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記４５～４９のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５１）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データをデータ保存手段に保存させる、
ことをコンピュータに実行させる付記４５～５０のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５２）
前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを前記データ保存手段に保存させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５１に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５３）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記４５～５２のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５４）
前記抽出手段に、前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５３に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５５）
前記算出手段に、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて、前記算出面を算出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５３または５４に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５６）
トンネルの内部の測定地点に配置された測定装置であって、基準点を有し、前記基準点に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上のビームで、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記壁面の座標値及び輝度値を含む複数のデータを点群データとして取得する前記測定装置を、前記トンネルの内部において、複数の前記測定地点に移動させた場合に、測定地点毎に前記点群データを取得させ、
前記測定地点毎に取得された前記点群データにおいて、前記測定地点からの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させるプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５７）
前記測定装置は、前記基準点を通る回転中心軸を有し、前記回転中心軸に対して異なる複数の角度の照射方向に照射した１本以上の前記ビームを前記回転中心軸の周りに回転させ、前記トンネルの壁面をスキャンした前記ビームの反射光を受光することにより、前記点群データを取得する、
付記５６に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５８）
前記回転中心軸に直交した鉛直面上のデータを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５７に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記５９）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記測定装置の移動方向に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記５７または５８に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６０）
前記点群データは、前記回転中心軸を、前記トンネルの中心軸に合わせて、前記測定装置を移動させた場合に、各測定地点で前記測定装置が取得したものである、
付記５７～５９のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６１）
前記測定地点からの最短距離を示すデータを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５６～６０のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６２）
前記測定地点を示す情報とともに、前記データをデータ保存手段に保存させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５６～６１のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６３）
前記測定地点を示す情報を用いて、各測定地点間で共通の座標系の座標値に変換された前記データを前記データ保存手段に保存させる、
ことをコンピュータに実行させる付記６２に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６４）
前記測定装置が取得した前記点群データに含まれる前記データの前記座標値に基づいて、前記壁面の原形に近似した算出面を算出手段に算出させ、
前記測定地点から前記算出面までの距離に基づいて、前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記５６～６３のいずれか１項に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６５）
前記測定地点から前記算出面までの最短距離を示す前記データを抽出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記６４に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。
（付記６６）
前記算出手段に、複数の前記測定地点で取得した複数の前記点群データを用いて前記算出面を算出させる、
ことをコンピュータに実行させる付記６４または６５に記載のプログラムが格納された非一時的なコンピュータ可読媒体。

【0082】

上述の例において、プログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体（non-transitory computer readable medium）を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体（tangible storage medium）を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体（例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ）、光磁気記録媒体（例えば光磁気ディスク）、ＣＤ－ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－Ｒ／Ｗ、半導体メモリ（例えば、マスクＲＯＭ、ＰＲＯＭ（Programmable ROM）、ＥＰＲＯＭ（Erasable PROM）、フラッシュＲＯＭ、ＲＡＭ（Random Access Memory））を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体（transitory computer readable medium）によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。

【符号の説明】

【0083】

１、１ａ、２、２ａ 検査システム
１０ 測定装置
１１ 発光部
１２ 検出部
２０ 移動部
３０ 抽出部
３１、３１ａ、３１ｂ 抽出装置
４０ データ保存部
５０ 算出部
ＣＦ 算出面
ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３、ＣＨ４、ＣＨ５ チャネル
ＬＢ ビーム
ＯＢ 測定対象
Ｐ１、Ｐ２ 測定地点
ＲＣ 回転中心軸
ＲＢ 反射光
ＴＮ トンネル
ＴＮＣ 中心軸
ＴＮＩ 内部
ＴＮＯ 原形
ＴＮＷ 壁面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】