特許 7453146 検査プローブ組立体及び検査ソケット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】検査プローブ組立体及び検査ソケット

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20240312BHJP

   H01R 13/24 20060101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

H01R13/24

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020541329

(86)(22)【出願日】2018-06-28

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-12-17

(86)【国際出願番号】 KR2018007343

(87)【国際公開番号】W WO2019093614

(87)【国際公開日】2019-05-16

【審査請求日】2020-04-08

【審判番号】

【審判請求日】2022-11-10

(31)【優先権主張番号】10-2017-0147488

(32)【優先日】2017-11-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2018-0067907

(32)【優先日】2018-06-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】517040445

【氏名又は名称】リーノ インダストリアル インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(74)【代理人】

【識別番号】100135079

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 修

(72)【発明者】

【氏名】ジョン，ジェ－ファン

(72)【発明者】

【氏名】キム，グン－ス

(72)【発明者】

【氏名】シン，ジョン－チョル

【合議体】

【審判長】岡田 吉美

【審判官】田辺 正樹

【審判官】濱本 禎広

(56)【参考文献】

【文献】実開昭６０－８２２７１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００６－１２５９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１９７４０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２４９４４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平６－２１６２０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６１－１２０７１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭６０－２０７３４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１１－５０６９２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３３３４５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０２０３８３１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１９／０２２２０４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２００８／０７２６９９（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

G01R1/06-1/073, 31/26

H01L21/64-21/66

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査プローブ組立体であって、
導電性のパイプと、
前記パイプ内に非接触で挿入され、長さ方向に沿って弾性的に伸縮可能なプローブであって、該プローブはバレルと、該バレル内から部分突出するように挿入されたプランジャーとを含む、プローブと、
前記プローブを支持するように前記パイプの内壁と前記プローブの外面との間に介在される絶縁性のプローブ支持部材と、
を含み、
前記プローブ支持部材は、パイプ挿入部及び前記パイプ挿入部から半径方向に拡張して前記パイプの端部外側に延長する拡張部を含み、該拡張部は前記プローブ支持部材のグリップを容易にするように構成され、前記導電性のパイプの外で前記プランジャーを部分的に取り囲むように配置されることを特徴とする検査プローブ組立体。

【請求項2】

前記プローブ支持部材は、前記パイプを内部に加圧変形させた突起を収容する突起収容部を含むことを特徴とする、請求項１に記載の検査プローブ組立体。

【請求項3】

前記パイプは、長さ方向に互いに連結する第１パイプ及び第２パイプを含むことを特徴とする、請求項１に記載の検査プローブ組立体。

【請求項4】

前記プローブ支持部材は前記パイプ挿入部の外面に形成された第１ネジを含み、
前記パイプは、前記第１ネジに相応する第２ネジを含む、請求項１に記載の検査プローブ組立体。

【請求項5】

前記プローブ支持部材は、前記バレルを収容するバレル孔と、前記プランジャーを収容するプランジャー孔とを含む、請求項２に記載の検査プローブ組立体。

【請求項6】

前記突起収容部は、前記プランジャー孔の外周面に形成されることを特徴とする、請求項５に記載の検査プローブ組立体。

【請求項7】

検査ソケットであって、
請求項１～６のいずれかに記載の検査プローブ組立体と、
前記プローブの両端部が上面及び下面から部分突出するように前記検査プローブ組立体を平行に支持する導電性ブロックと、
を含むことを特徴とする検査ソケット。

【請求項8】

検査プローブ組立体の製造方法であって、
バレルの内部にスプリングと、第１のプランジャーと、第２のプランジャーとを挿入してプローブを組立する段階と、
前記バレルの一端部に対応する形状の第１のバレル孔と、該第１のバレル孔に連通し、前記第１のプランジャーが通過するのに適した第１のプランジャー孔とが内側に形成され、第１の突起収容部が外側に形成された、第１の絶縁性のプローブ支持部材を準備する段階と、
前記バレルの他端部に対応する形状の第２のバレル孔と、該第２のバレル孔に連通し、前記第２のプランジャーが通過するのに適した第２のプランジャー孔とが内側に形成され、第２の突起収容部が外側に形成された、第２の絶縁性のプローブ支持部材を準備する段階と、
前記バレルの一端部と前記第１のプランジャーがそれぞれ前記第１のバレル孔と前記第１のプランジャー孔に挿入され、前記バレルの他端部と前記第２のプランジャーがそれぞれ前記第２のバレル孔と前記第２のプランジャー孔に挿入された状態で、前記第１及び第２の絶縁性のプローブ支持部材を導電性のパイプの両端に挿入する段階と、
前記第１及び第２の突起収容部に対応する位置の前記導電性のパイプを、前記第１及び第２の突起収容部に挿入されるように加圧変形させる段階と、
を含み、
前記第１及び第２の絶縁性のプローブ支持部材のそれぞれは、パイプ挿入部及び前記パイプ挿入部から半径方向に拡張して前記パイプの端部外側に延長する拡張部を含み、該拡張部は前記第１及び第２のプローブ支持部材のグリップを容易にするように構成され、前記導電性のパイプの外で、前記第１のプローブ支持部材の拡張部は前記第1のプランジャーを部分的に取り囲み、前記第２のプローブ支持部材の拡張部は前記第２のプランジャーを部分的に取り囲むように配置される、検査プローブ組立体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、高周波又は高速半導体のような被検査体を検査するための検査プローブ組立体及び検査ソケットに関する。

【背景技術】

【0002】

高周波又は高速半導体テスト用検査ソケットは、隣接する信号用プローブとのノイズを遮蔽するために信号用プローブを導電性ブロックに非接触状態で装着する。このとき、信号用プローブは、導電性ブロックに非接触状態で通過した後、導電性ブロックの両面に配置された絶縁性支持プレートにその両端部が支持される。しかし、このような従来の方式は、絶縁性支持プレートを十分に厚くしないとプローブを支持し難く、絶縁性支持プレートを厚くすると、支持プレートにおいて隣接する信号用プローブ同士間にノイズ洩れの問題が発生する。

【0003】

このような問題を解決するための従来技術として韓国公開特許公報第１０－２０１０－０１０５６２２号には、導電性検査ソケット内のプローブ孔の両端にエポキシ絶縁体を配置して信号用プローブを支持する技術が開示されている。検査ソケットには多数の検査プローブが装着される。このような従来の方式は、検査ソケットに装着された検査プローブのいずれか一つでも損傷すると検査ソケット全体を取り替えなければならなという問題がある。また、従来方式は、エポキシ絶縁体を検査ソケットのプローブ孔内に挿入する作業が非常に不便で複雑である問題がある。特に、従来方式は、検査ソケットのプローブ孔にはめ込まれたエポキシ絶縁体を支持することが困難であり、外部に抜ける問題が発生する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】韓国公開特許公報第１０－２０１０－０１０５６２２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的は、従来の問題を解決するためのものであり、ノイズ遮蔽能力を高め、且つ修復修繕が便利である高周波又は高速半導体テスト用検査プローブ組立体及び検査ソケットを提供することにある。

【0006】

本発明の他の目的は、製造作業が便利であり、且つ耐久性に優れた高周波又は高速半導体テスト用検査プローブ組立体及び検査ソケットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するための検査プローブ組立体及び検査ソケットが提供される。検査プローブ組立体は、導電性パイプと、前記パイプ内に非接触で挿入され、長さ方向に沿って弾性的に伸縮可能なプローブと、前記プローブを支持するように前記パイプ内壁と前記プローブ外面との間に介在される絶縁性プローブ支持部材と、を含むことを特徴とする。本発明の検査プローブ組立体は、金属パイプを使用してプローブを支持することによって、確実にノイズを遮蔽でき、且つ修復修繕時に、容易にプローブを取り替えることができる。特に、信号プローブ間の露出を最小化することによってノイズ遮蔽性能が向上する。

【0008】

前記プローブ支持部材は前記パイプに挿入されるように事前製作され、前記パイプを内部に加圧変形させた突起を収容する突起収容部を含むことができる。

【0009】

前記プローブ支持部材は、液状エポキシを前記パイプ内に注入して硬化させて形成してもよい。

【0010】

前記パイプは、長さ方向に互いに連結される第１パイプ及び第２パイプを含むことができる。

【0011】

前記プローブ支持部材は、パイプ挿入部、前記パイプ挿入部から半径方向に拡張された拡張部、及び前記パイプ挿入部の外面に形成された第１ネジを含み、前記パイプは前記第１ネジに相応する第２ネジを含むことができる。

【0012】

前記プローブは、バレルと、前記バレル内から部分突出するように挿入されたプランジャーとを含み、前記プローブ支持部材は、前記バレルを収容するバレル孔と、前記プランジャーを収容するプランジャー孔とを含むことができる。

【0013】

前記突起収容部は前記プランジャー孔の外周面に形成され得る。

【0014】

前記パイプの両端部の少なくとも一端部は、直径を縮小させた縮み部を含むことができる。

【0015】

本発明の実施例に係る検査ソケットは、上述した検査プローブ組立体と、前記プローブの両端部が 上面及び下面から部分突出するように前記検査プローブ組立体を平行に支持する導電性ブロックと、を含む。

【0016】

本発明の実施例に係る検査プローブ組立体の製造方法は、パイプの一端部にローリング又はディンプル作業によって内側に突出する突起を形成する段階と、前記パイプをトレイに装着する段階と、プローブの外面形状と類似の形状の金型を前記パイプの一側に挿入する段階と、樹脂投入孔を有するカバープレートで前記パイプの他側を遮断する段階と、前記樹脂投入孔から樹脂を注入して硬化させる段階と、前記金型及び前記カバープレートを除去する段階と、を含む。

【発明の効果】

【0017】

本発明の検査プローブ組立体と検査ソケットは、次のような長所を提供する。

【0018】

第一に、金属性パイプでプローブ孔を極力カバーすることによって、信号用プローブ相互間の露出部分を最小化し、ノイズ遮蔽性能を向上させることができる。

【0019】

第二に、検査ソケットにおいて損傷した検査プローブ組立体だけを取り替えることができ、修繕費を節減することができる。

【0020】

第三に、金属パイプにプローブ支持部材が堅固に支持されることによって耐久性が向上する。

【0021】

第四に、簡易な方法でノイズ遮蔽用検査プローブ組立体を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の第１実施例に係る検査プローブ組立体の斜視図である。

【図2】本発明の第１実施例に係る検査プローブ組立体の断面図である。

【図3】図１の検査プローブ組立体を装着した検査ソケットの部分断面図である。

【図4】本発明の第２及び第３実施例に係る検査プローブ組立体を適用した検査ソケットを示す断面図である。

【図5】本発明の第２及び第３実施例に係る検査プローブ組立体を適用した検査ソケットを示す断面図である。

【図6】本発明の第４実施例に係る検査プローブ組立体の分解斜視図である。

【図7】本発明の第１実施例に係る検査プローブ組立体を製造する過程を示す図である。

【図8】本発明の第１実施例に係る検査プローブ組立体を製造する過程を示す図である。

【図9】本発明の第５実施例に係るプローブ支持部材を示す図である。

【図10】本発明の第６実施例に係るプローブ支持部材を示す図である。

【図11】本発明の第７実施例に係る検査プローブ組立体の分解斜視図である。

【図12】図１１の検査プローブ組立体を適用した検査ソケットの部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、添付の図面を参照して本発明の実施例に係る検査プローブ組立体１００を詳細に説明する。

【0024】

図１及び図２はそれぞれ、本発明の第１実施例に係る検査プローブ組立体１００の斜視図及び断面図である。図示のように、検査プローブ組立体１００は、導電性パイプ１１０、パイプ１１０内に収容されるプローブ１２０、及びパイプ１１０内でプローブ１２０を支持する絶縁性プローブ支持部材１３０を含む。

【0025】

導電性パイプ１１０は、中空の金属、例えば、鉄、銅、アルミニウム、ベリリウム銅、それらの合金のパイプで製作される。導電性パイプ１１０は、外周面の中央に半径方向に拡張されたフランジ１１２、及び両端部側にローリング（ｒｏｌｌｉｎｇ）によって内側に突出した円環形の第１及び第２突起１１４－１，１１４－２を含む。第１及び第２突起１１４－１，１１４－２は、後述するプローブ支持部材１３０の第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２にそれぞれ収容される。ここで、ローリング作業はプローブ支持部材１３０を導電性パイプ１１０に挿入した状態でなされる。結果的に、プローブ支持部材１３０は導電性パイプ１１０内に堅固に固定され得る。フランジ１１２は、後述する検査ソケット１に検査プローブ組立体１００を装着した時、それが外部に抜けることを防止する。代案として、ローリング作業による円環形突起の代わりに、ディンプル（ｄｉｍｐｌｅ）作業による点状の突起を形成することも可能である。

【0026】

プローブ１２０は、長さ方向に伸縮可能なポゴピンとすることができる。プローブ１２０は、バレル１２２、長さ方向に伸縮移動可能に前記バレル１２２の両端部に挿入される第１及び第２プランジャー１２４，１２６、及び前記バレル１２２内で前記第１及び第２プランジャー１２４，１２６を弾性的に伸縮可能にさせる弾性体、例えばスプリング１２８を含む。第１及び第２プランジャー１２４，１２６のいずれか一つは選択的にバレル１２２に固定されてもよい。プローブ１２０はパイプ１１０の内壁に非接触状態でプローブ支持部材１３０によって支持される。第１及び第２プランジャー１２４，１２６は基本的にパイプ１１０の端部を超えて突出し、検査時に、スプリング１２８を圧縮しながらバレル１２２内に移動する。上述した構造のプローブ１２０は説明のための例であり、様々な構造のプローブが適用可能である。

【0027】

プローブ支持部材１３０はプローブ１２０をパイプ１１０の内壁に非接触状態で支持する。プローブ支持部材１３０は、パイプ１１０の一端に位置する第１プローブ支持部材１３０－１と、パイプ１１０の他端に位置する第２プローブ支持部材１３０－２を含む。第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２は、プローブ１２０のバレル１２２の両端部をパイプ１１０内にフローティング状態で支持する。プローブ支持部材１３０は、例えばエポキシ又はエンジニアリングプラスチックのような絶縁性材質で加工又は成形される。

【0028】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、プローブ１２０のバレル１２２の外径に対応する第１及び第２バレル孔１３１－１，１３１－２、及び第１及び第２プランジャー１２４，１２６の外径に対応する第１及び第２プランジャー孔１３３－１，１３３－２を含む。

【0029】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、パイプ１１０内の両端部に挿入される第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２、及び第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２の外周面に形成された第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２を含む。第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２は、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２をパイプ１１０に挿入した状態で、パイプ１１０を内側にローリング又はディンプル作業して形成された第１及び第２突起１１４－１，１１４－２を収容して、挿入された第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２がパイプ１１０の外部に抜けないように固定する。必要によって、ローリング又はディンプル作業で形成された第１及び第２突起１１４－１，１１４－２が第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２を強制的に直接変形させることによって、第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２の事前形成が省略されてもよい。

【0030】

第１及び第２プローブ支持部材１３２－１，１３２－２は、事前に製作してパイプ１１０に挿入する代わりに、図７及び図８に示すように、液状エポキシをパイプ１１０内に注入及び硬化して製作されてもよい。

【0031】

図３は、図１及び図２の検査プローブ組立体１００を装着する検査ソケット１を示す。図示のように、検査ソケット１は、導電性ブロック１０及び少なくとも一つの検査プローブ組立体１００を含む。

【0032】

導電性ブロック１０は、銀, 鉄、銅又は黄銅などで作られた金属ブロック、又はプラスチック、セラミックなどに例えば金がメッキされたメッキブロックで製作される。導電性ブロック１０は、信号用プローブとして検査プローブ組立体１００を挿入装着するプローブ孔１２を含む。導電性ブロック１０は第１ブロック１０－１及び第２ブロック１０－２で構成される。第１ブロック１０－１は、パイプ１１０の外径に対応する第１パイプ孔１２－１、及びパイプ１１０のフランジ１１２の半分に対応する第１フランジ孔１３－１を含む。第２ブロック１０－２は、パイプ１１０の外径に対応する第２パイプ孔１２－２、及びパイプ１１０のフランジ１１２の残り半分に対応する第２フランジ孔１３－２を含む。検査プローブ組立体１００は、フランジ１１２が第１及び第２ブロック１０－１，１０－２の第１及び第２フランジ孔１３－１，１３－２に挿入固定されることによって導電性ブロック１０に堅固に固定支持され得る。

【0033】

図３に示すように、検査プローブ組立体１００のパイプ１１０は、検査ソケット１の厚さ全体にわたって埋められるので、隣接する検査プローブ組立体１００間のノイズ干渉を極力防止することができる。また、特定の検査プローブ組立体１００に不良又は故障が起きる場合、当該検査プローブ組立体１００だけを取り替えればいい。すなわち、本発明の第１実施例は、プローブを支持するために導電性ブロックの上面及び下面に装着される絶縁性支持部材を省略することができる。

【0034】

図４及び図５はそれぞれ、本発明の第２及び第３実施例に係る検査プローブ組立体１００を適用した検査ソケット１を示す断面図である。図１～図３に示した第１実施例と同一の部分は同一の符号で表示し、その説明は省略する。

【0035】

図４で、第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、パイプ１１０内に挿入される第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２の外周面に形成された第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２、及び第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２から半径方向に拡張してパイプ１１０の端部外側に延長する第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２を含む。第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２は、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２をパイプ１１０に挿入した状態で、パイプ１１０を内側にローリング又はディンプル作業によって変形して形成された第１及び第２突起１１４－１，１１４－２を収容する。第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２は、プローブ支持部材１３０を事前に製作してパイプ１１０内に挿入する場合に適している。特に、プローブ支持部材１３０は直径が１ｍｍ前後と非常に小さいため、パイプ１１０内に挿入する作業が非常に難しく、グリップのための適切な第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２が要求されるわけである。

【0036】

図５において、導電性パイプ１１０は、内側にローリング又はディンプル作業によって変形して形成された第１及び第２突起１１４－１，１１４－２を含む。ここで、導電性パイプ１１０は、前述した第１及び第２実施例と違い、フランジ１１２が省略されている。

【0037】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、パイプ１１０内に挿入される第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２の外周面に形成された第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２から半径方向に拡張してパイプ１１０の端部外側に延長する第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２、及び前記拡張部１３６－１，１３６－２から半径方向に縮小して延長する第１及び第２縮径部１３８－１，１３８－２を含む。第１及び第２突起収容部１３４－１，１３４－２は、第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２をパイプ１１０に挿入した状態で、パイプ１１０を内側にローリング又はディンプル作業によって変形して形成された第１及び第２突起１１４－１，１１４－２を収容する。第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２は、プローブ支持部材１３０を事前に製作してパイプ１１０内に挿入する場合に適している。特に、プローブ支持部材１３０は直径が１ｍｍ前後と非常に小さいため、パイプ１１０内に挿入する作業が非常に難しく、グリップのための適切な第１及び第２拡張部１３６－１，１３６－２が要求されるわけである。

【0038】

導電性ブロック１０は、信号用プローブとして検査プローブ組立体１００を挿入装着するプローブ孔１２を含む。導電性ブロック１０は、上部ブロック１０－１及び下部ブロック１０－２で構成される。上部ブロック１０－１は、パイプ１１０の外径に対応する上部パイプ孔１２－１、及び第１縮径部１３８－１の外径に対応する第１縮径部挿入孔１６－１を含む。下部ブロック１０－２は、パイプ１１０の外径に対応する下部パイプ孔１２－２、及び第２縮径部１３８－２の外径に対応する第２縮径部挿入孔１６－２を含む。導電性ブロック１０は、上部パイプ孔１２－１と第１縮径部挿入孔１６－１との間の第１係止突部１８－１、及び下部パイプ孔１２－２と第２縮径部挿入孔１６－２との間の第２係止突部１８－２を含む。ここで、導電性ブロック１０は、前述した第１及び第２実施例と違い、上部フランジ孔１３－１及び下部フランジ孔１３－２が省略されている。その代わりに、検査プローブ組立体１００は導電性ブロック１０の第１及び第２係止突部１８－１，１８－２によって導電性ブロック１０内に固定支持される。

【0039】

図６は、本発明の第４実施例に係る検査プローブ組立体１００を示す分解断面図である。検査プローブ組立体１００は、導電性第１パイプ１１０－１、導電性第２パイプ１１０－２、第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２内に収容される上下伸縮可能なプローブ１２０、及び第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２内でプローブ１２０を支持する絶縁性第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２を含む。検査プローブ組立体１００において、第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２以外のプローブ１２０と第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２は、図１～図３に示した第１実施例のプローブ１２０及び第１及び第２プローブ支持部材と同じ構造を有するので、その説明を省略する。

【0040】

第１パイプ１１０－１は、一側端部に半径が拡張された第１フランジ１１２－１、及びローリング又はディンプル作業などによりパイプ壁を内側に突出させた第１突起１１４－１を含む。第１パイプ１１０－１は一端部の内側に第１プローブ支持部材１３０－１が挿入される。第２パイプ１１０－２は、一側端部に半径が拡張された第２フランジ１１２－２、及びローリング又はディンプル作業などによりパイプ壁を内側に突出させた第２突起１１４－２を含む。第２パイプ１１０－２は一端部の内側に第２プローブ支持部材１３０－２が挿入される。第１パイプ２１０－１及び第２パイプ２１０－２は、第１フランジ（２１２－１）と第２フランジ（２１２－２）とを当接するように連結してプローブ１２０を収容及び支持する。

【0041】

図７及び図８は、図６の第１パイプ１１０－１内に第１プローブ支持部材１３０－１を形成する過程を説明する。ここで、第２パイプ１１０－２内に第２プローブ支持部材１３０－１を形成する過程は同一であり、その説明を省略する。

【0042】

図７において、第１パイプ１１０－１は、多数のトレイ３１０に第１フランジ１１２－１が下方に置かれるように金型３２０に装着される。金型３２０は、第１パイプ１１０－１に挿入されるプローブ１２０の外面形状と類似の形態であり、おおむね、第１パイプ１１０－１の内径に相応するベース３２２、プローブ１２０のバレル１２２の外径に対応する第１縮径部３２４、及びプローブ１２０の第１プランジャー１２４の外径に対応する第２縮径部３２６を含む。その後、トレイ３１０の上側から第１パイプ１１０－１の端部を覆うカバープレート３３０が下降する。カバープレート３３０は、第２縮径部３２６が挿入される開孔３３２、及び樹脂投入孔３３４を含む。樹脂投入孔３３４から流入する樹脂としては液状エポキシを含む。

【0043】

図８で、樹脂注入器３４０から樹脂投入孔３３２に注入した液状エポキシは硬化して第１プローブ支持部材１３０－１を形成する。その後、金型３２０を取り出すと、図３に示した第１プローブ支持部材１３０－１が挿入された第１パイプ１１０－１が形成される。第１プローブ支持部材１３０－１は第１突起２１４－１によって第１パイプ２１０－１内に確実に固定され得る。このような方法は、非常に微細な大きさの第１プローブ支持部材１３０－１が挿入された第１パイプ１１０－１を大量で生産することができる。

【0044】

図９は、本発明の第５実施例に係る検査プローブ組立体１００を示す。図１～図３に示した第１実施例と同一の部分は同一の符号で表示し、その説明を省略する。

【0045】

導電性パイプ１１０は、中央にフランジ１１２、両端部の内側に形成された第１ネジ１１８を含む。ここで、第１ネジ１１８は、パイプ１１０の大きさが非常に小さいだけでなく厚さも薄いことから、パイプ１１０の壁自体を変形させて形成することが好ましい。

【0046】

第１プローブ支持部材１３０－１は、導電性パイプ１１０内に挿入される第１パイプ挿入部１３２－１、第１パイプ挿入部１３２－１から半径方向に拡張された第１拡張部１３６－１、及び第１パイプ挿入部１３２－１の外周面に形成された第２ネジ１３８－１を含む。

【0047】

図９で、パイプ１１０の第１ネジ１１８は第１プローブ支持部材１３０－１の第２ネジ１３８と締め付けられることによって、第１プローブ支持部材１３０－１はパイプ１１０の端部内に容易に固定され得る。

【0048】

図１０は、本発明の第６実施例に係る検査プローブ組立体１００のプローブ支持部材１３０を示す。

【0049】

プローブ支持部材１３０は、パイプ１１０の両端部内に挿入されるパイプ挿入部１３２、パイプ挿入部１３２の外周面に形成された突起収容部１３４、及びパイプ挿入部１３２から半径方向に拡張されたフランジ１３６を含む。

【0050】

プローブ支持部材１３０は、プローブ１２０のバレル１２２の外径に対応するバレル孔１３１、及びプランジャー１２４，１２６の外径に対応するプランジャー孔１３３を含む。

【0051】

図１０で、プランジャー孔１３３はフランジ１３６を通過してパイプ挿入部１３２まで深く延長して形成されている。このとき、突起収容部１３４は、プランジャー孔１３３を取り囲む位置のパイプ挿入部１３２に形成される。プランジャー孔１３３を取り囲むパイプ挿入部１３２の厚さがバレル孔１３１を取り囲むパイプ挿入部１３２よりも厚いので、突起収容部１３４が形成し易い。また、突起収容部１３４を、バレル孔１３１周囲のパイプ挿入部１３２に形成するよりは、プランジャー孔１３３を取り囲むパイプ挿入部１３２に形成する方が、耐久性に優れる。

【0052】

図１１は、本発明の第７実施例に係る検査プローブ組立体の分解斜視図であり、図１２は、図１１の検査プローブ組立体を適用した検査ソケットの部分断面図である。

【0053】

図示のように、検査プローブ組立体１００は、導電性第１パイプ１１０－１、導電性第２パイプ１１０－２、第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２内に収容される上下伸縮可能なプローブ１２０、及び第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２内でプローブ１２０を支持する絶縁性第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２を含む。検査プローブ組立体１００において第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２以外のプローブ１２０と第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２は、図１～図３に示した第１実施例のプローブ１２０及び第１及び第２プローブ支持部材と同じ構造を有し、その説明を省略する。

【0054】

第１パイプ１１０－１は、一側端部に半径が拡張された第１フランジ１１２－１、及び他側端部を中心に向かって縮めた第１縮み部１１６－１を含む。第１縮み部１１６－１は、実質的に所定の曲率で加工され、後述する第１プローブ支持部材１３０－１の第１軸径部が挿入される第１縮径部挿入孔１１７－１を形成する。

【0055】

第２パイプ１１０－２は、一側端部に半径が拡張された第２フランジ１１２－２、及び他側端部を中心に向かって縮めた第２縮み部１１６－２を含む。第２縮み部１１６－２は実質的に所定の曲率で加工され、後述する第２プローブ支持部材１３０－２の第２縮径部１１７－２が挿入される第２縮径部挿入孔１１７－２を形成する。第１フランジ１１２－１及び第２フランジ１１２－２は省略可能である。

【0056】

第１パイプ１１０－１及び第２パイプ１１０－２は、第１フランジ１１２－１と第２フランジ１１２－２とを当接するように連結してプローブ１２０を収容及び支持する。

【0057】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２は、プローブ１２０のバレル１２２の両端部を、連結された第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２内にフローティング状態で支持する。

【0058】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、プローブ１２０のバレル１２２の外径に対応する第１及び第２バレル孔１３１－１，１３１－２、及び第１及び第２プランジャー１２４，１２６の外径に対応する第１及び第２プランジャー孔１３３－１，１３３－２を含む。

【0059】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、パイプ１１０内の両端部に挿入される第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２、及び第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２から半径が縮小して延長する第１及び第２縮径部１３８－１，１３８－２を含む。第１及び第２縮径部１３８－１，１３８－２は第１及び第２縮径部挿入孔１１７－１，１１７－２に挿入される。

【0060】

第１及び第２パイプ挿入部１３２－１，１３２－２と第１及び第２縮径部１３８－１，１３８－２との間には、第１及び第２縮み部１１６－１，１１６－２の曲率に相応する第１及び第２段差部１１９－１，１１９－２が形成されている。

【0061】

第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２はそれぞれ、第１及び第２フランジ１１２－１，１１２－２側の端部から第１及び第２バレル孔１３１－１，１３１－２に挿入される。第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２は最終的に、第１及び第２段差部１１９－１，１１９－２が第１及び第２縮み部１１６－１，１１６－２に止められてそれ以上挿入されない。

【0062】

図１２は、図１１の検査プローブ組立体１００を装着する検査ソケット１を示す。図示のように、検査ソケット１は、導電性ブロック１０、及び少なくとも一つの検査プローブ組立体１００を含む。

【0063】

導電性ブロック１０は、第１ブロック１０－１及び第２ブロック１０－２を含む。導電性ブロック１０は必要によって３個以上で構成されてもよい。

【0064】

第１ブロック１０－１は、第１パイプ１１０－１の外径に対応する第１パイプ孔１２－１、第１パイプ１１０－１の第１フランジ１１２－１に対応する第１フランジ孔１３－１、及び第１プランジャー通過孔を含む。第１ブロック１０－１は、第１パイプ孔１２－１と第１プランジャー通過孔との間に、第１パイプ１１０－１の第１縮み部１１６－１の外面に対応する第１段差部１６－１を含む。

【0065】

第２ブロック１０－２は、第２パイプ１１０－２の外径に対応する第２パイプ孔１２－２、第２パイプ１１０－２の第２フランジ１１２－２に対応する第２フランジ孔１３－２、及び第２プランジャー通過孔を含む。第２ブロック１０－２は、第２パイプ孔１２－２と第２プランジャー通過孔との間に、第２パイプ１１０－２の第２縮み部１１６－２の外面に対応する第２段差部１６－２を含む。

【0066】

第１及び第２パイプ１１０－１，１１０－２の第１及び第２縮み部１１６－１，１１６－２は、第１及び第２ブロック１０－１，１０－２の第１及び第２段差部１６－１，１６－２が外側から支持するので、テスト時に、第１及び第２プローブ支持部材１３０－１，１３０－２によって変形されることを効果的に防止でき、耐久性を向上させることができる。

【0067】

以上のように本発明を限られた例示的な実施例及び図面を挙げて説明してきたが、本発明は上記の例示的な実施例に限定されるものではなく、本発明の属する分野における通常の知識を有する者であれば、上記の記載から様々な修正及び変形が可能である。

【0068】

したがって、本発明の範囲は、説明された例示的な実施例に限定して定められてはならず、後述する特許請求の範囲及びその均等物によって定められるべきである。

【符号の説明】

【0069】

１ 検査ソケット
１０ 導電性ブロック
１０－１ 第１ブロック
１０－２ 第２ブロック
１２ プローブ孔
１００ 検査プローブ組立体
１１０ パイプ
１１０－１ 第１パイプ
１１０－２ 第２パイプ
１２０ プローブ
１３０ プローブ支持部材
１３０－１ 第１プローブ支持部材
１３０－２ 第２プローブ支持部材
３１０ トレイ
３２０ 金型
３３０ カバープレート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】