特許7453605IP Force 特許公報全文掲載

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単結晶膜の製造方法に関し、特に、コロンバイトの結晶構造（ａ ｃｒｙｓｔａｌ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ｃｏｌｕｍｂｉｔｅ）を有する単結晶膜の製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、表面平滑性に優れ、光学電気特性に優れた単結晶膜を工業的有利に製造できる方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者らは、目的を達成すべく鋭意検討した結果、２価のハロゲン化スズを用いてミストＣＶＤ法により、ＹＳＺ基板上に酸化スズを形成すると、驚くべきことに、コロンバイトの結晶構造を有する酸化スズの単結晶膜が形成できることを見出し、得られた単結晶膜が、表面平滑性に優れ、光透過性が高いこと等を種々知見し、このような単結晶膜の製造方法が従来の問題を一挙に解決できるものであることを見出した。 また・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の製造方法は、表面平滑性に優れ、光学電気特性に優れている単結晶膜を工業的有利に製造することができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施例において用いられる成膜装置（ミストＣＶＤ装置）の概略構成図である。
【図2】 実施例におけるＸＲＤ測定結果を示す図である。
【図3】 実施例におけるＳＥＭ写真を示す図である。
【図4】 実施例及び比較例におけるＸＲＤ測定結果を示す図である。
【図5】 実施例における断面ＳＥＭ写真を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１９ ミストＣＶＤ装置 ２０ 基板 ２１ サセプタ ２２ａ キャリアガス供給手段 ２２ｂ キャリアガス（希釈）供給手段 ２３ａ 流量調節弁 ２３ｂ 流量調節弁 ２４ ミスト発生源 ２４ａ 原料溶液 ２５ 容器 ２５ａ 水 ２６ 超音波振動子 ２７ 供給管 ２８ ヒーター ２９ 排気口

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