特許7453609剥離方法および結晶性酸化物膜の製造方法

発明の名称　剥離方法および結晶性酸化物膜の製造方法

出願人　株式会社ＦＬＯＳＦＩＡ　（識別番号 511187214）

　　　　特許公開件数ランキング 2875 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 756 位（27件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7453609

公報発行日　2024年3月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7453609

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