(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-03-14
(45)【発行日】2024-03-25
(54)【発明の名称】圧電振動片、及び圧電振動子
(51)【国際特許分類】
H03H 9/19 20060101AFI20240315BHJP
H03H 9/215 20060101ALI20240315BHJP
【ＦＩ】
H03H9/19 K
H03H9/215
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020040272
(22)【出願日】2020-03-09
(65)【公開番号】P2021141554
(43)【公開日】2021-09-16
【審査請求日】2023-01-12
(73)【特許権者】
【識別番号】713005174
【氏名又は名称】エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004244
【氏名又は名称】弁理士法人仲野・川井国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100096655
【弁理士】
【氏名又は名称】川井 隆
(74)【代理人】
【識別番号】100091225
【弁理士】
【氏名又は名称】仲野 均
(72)【発明者】
【氏名】市村 直也
【審査官】▲高▼橋 徳浩
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－２０４２４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１５８３８６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１０７６０３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１６５３５７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０３Ｈ３／００７－Ｈ０３Ｈ３／１０
Ｈ０３Ｈ９／００－Ｈ０３Ｈ９／７６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、
前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、
前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と前記土手部の主面、及び、他方の振動腕部の溝部の両側面と前記土手部の主面に形成された第１励振電極と、
前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と前記土手部の主面、及び、前記他方の振動腕部の両側面と前記土手部の主面に形成された第２励振電極と、
を備え、
前記第１励振電極と前記第２励振電極は、前記振動腕部における長手方向の境界線の一部が前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面に形成され、残りが前記境界線の一部が形成された側面とつながる土手部の主面に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項2】
前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との間でジグザグ状に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項3】
前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面における凹部と前記土手部の主面における凸部とが交互に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項4】
前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが前記土手部の幅の１／５以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項5】
前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが０．５μｍ以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項6】
実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、
を具備したことを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧電振動片、及び圧電振動子に係り、詳細には振動腕部を励振させる励振電極の改良に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、携帯電話や携帯情報端末機器等の電子機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が用いられる。
この種の圧電振動子として、特許文献１に示すように、パッケージと蓋体で形成されるキャビティ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。
この種の圧電振動子として、特許文献１に示すように、パッケージと蓋体で形成されるキャビティ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。
【0003】
図７は、特許文献１の従来に記載された圧電振動片６００の構造についての、斜視図（ａ）とＰ－Ｐ断面からの斜視図（ｂ）を表したものである。
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電振動片６００は、圧電材料により形成された所定長さの基部８００と、基部８００から並んで延びる一対の振動腕部７００ａ、ｂを備えている。
両振動腕部７００ａ、ｂには、その主面（表裏面）に振動腕の長手方向に延びる溝７２０ａ、ｂが形成されると共に、その主面と側面に駆動用の電圧が印加される２系統の電極９１０、９２０が形成されている。
電極９１０、９２０の形成は、溝７２０ａ、ｂ内を含めた圧電振動片６００の全体に対して電極材料を蒸着やスパッタリングによって成膜する。そして両振動腕部７００ａ、ｂの主面に形成された成膜のうち、図７に示す白色部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、電極９１０と電極９２０とを分割している。
このようにして形成した圧電振動片６００は、電極９１０と電極９２０とに異なる系統の電圧を掛けることで、両振動腕部７００ａ、ｂが互いに振動する。
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電振動片６００は、圧電材料により形成された所定長さの基部８００と、基部８００から並んで延びる一対の振動腕部７００ａ、ｂを備えている。
両振動腕部７００ａ、ｂには、その主面（表裏面）に振動腕の長手方向に延びる溝７２０ａ、ｂが形成されると共に、その主面と側面に駆動用の電圧が印加される２系統の電極９１０、９２０が形成されている。
電極９１０、９２０の形成は、溝７２０ａ、ｂ内を含めた圧電振動片６００の全体に対して電極材料を蒸着やスパッタリングによって成膜する。そして両振動腕部７００ａ、ｂの主面に形成された成膜のうち、図７に示す白色部分をフォトリソグラフにより取り除くことで、電極９１０と電極９２０とを分割している。
このようにして形成した圧電振動片６００は、電極９１０と電極９２０とに異なる系統の電圧を掛けることで、両振動腕部７００ａ、ｂが互いに振動する。
【0004】
しかし、電極９１０と電極９２０とを振動腕部７００ａ、ｂの主面において分割しているため、導電性の異物Ｓが付着するとショートしてしまうという課題がある。
この導電性の異物Ｓとしては、例えば、圧電振動片を収容したパッケージと蓋体を接着する際の銀ロウのスプラッシュ等がある。
また、両振動腕部７００ａ、ｂの両サイドや両者間に形成されたアームにより、圧電振動片をパッケージ内に接着し固定する場合には、導電性接着剤が異物Ｓとなる場合がある。
特に圧電振動片が小型化する傾向にあるが、小型化するほど両電極９１０、９２０間の幅も狭くなるため、より小さな異物Ｓもショートの原因になっていた。
この導電性の異物Ｓとしては、例えば、圧電振動片を収容したパッケージと蓋体を接着する際の銀ロウのスプラッシュ等がある。
また、両振動腕部７００ａ、ｂの両サイドや両者間に形成されたアームにより、圧電振動片をパッケージ内に接着し固定する場合には、導電性接着剤が異物Ｓとなる場合がある。
特に圧電振動片が小型化する傾向にあるが、小型化するほど両電極９１０、９２０間の幅も狭くなるため、より小さな異物Ｓもショートの原因になっていた。
【0005】
一方、特許文献１には対象技術として、図７（ｃ）の断面図に示すように、それぞれの電極９１０と電極９２０を主面上には形成せず、振動腕部７００ａ、ｂの側面と、溝７２０ａ、ｂの内側面に、主面よりも低い位置まで形成する技術も記載されている。
しかし、主面に電極を形成しないことで、導電性の異物Ｓによるショートは回避できるが、電極面積が減少してしまい、電界効率が低下（ＣＩ値が上昇）してしまうという課題がある。
しかし、主面に電極を形成しないことで、導電性の異物Ｓによるショートは回避できるが、電極面積が減少してしまい、電界効率が低下（ＣＩ値が上昇）してしまうという課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２００８－１１８２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、異物による短絡が生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積をより大きく確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
（１）請求項１に記載の発明では、基部と、前記基部から並んで延設された１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両主面に、長手方向に沿って形成された溝部と、前記溝部の各々により、当該溝部の両側に形成される土手部と、前記１対の振動腕部における、一方の振動腕部の両側面と前記土手部の主面、及び、他方の振動腕部の溝部の両側面と前記土手部の主面に形成された第１励振電極と、前記１対の振動腕部における、前記一方の振動腕部の溝部の両側面と前記土手部の主面、及び、前記他方の振動腕部の両側面と前記土手部の主面に形成された第２励振電極と、を備え、前記第１励振電極と前記第２励振電極は、前記振動腕部における長手方向の境界線の一部が前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面に形成され、残りが前記境界線の一部が形成された側面とつながる土手部の主面に形成されている、ことを特徴とする圧電振動片を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との間でジグザグ状に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面における凹部と前記土手部の主面における凸部とが交互に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが前記土手部の幅の１／５以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが０．５μｍ以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片を提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、を具備したことを特徴とする圧電振動子を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との間でジグザグ状に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記長手方向の境界線は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面における凹部と前記土手部の主面における凸部とが交互に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが前記土手部の幅の１／５以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記土手部の主面における凸部は、前記振動腕部の側面又は前記溝部の側面と前記土手部の主面との境界線から、前記土手部の主面における凸部の先端までの距離の最大値ｈが０．５μｍ以下に形成されている、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載の圧電振動片を提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、実装部を備えたパッケージと、前記実装部に接合材を介して実装された、請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載の圧電振動片と、を具備したことを特徴とする圧電振動子を提供する。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、第１励振電極と第２励振電極の、振動腕部における長手方向の境界線の一部が側面に形成され、残りが主面に形成されているので、異物による短絡が生じにくく、振動に寄与する電極部分の面積をより大きく確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】圧電振動片の構成と振動腕部の断面を表した図である。
【図2】振動腕部における励振電極の状態を表した断面拡大図である。
【図3】圧電振動片と圧電振動子の製造工程を表したフローチャートである。
【図4】圧電振動片と圧電振動子の製造工程の一部における振動腕部の状態を表した断面図である。
【図5】圧電振動片と圧電振動子の製造工程における残りの振動腕部の状態を表した断面図である。
【図6】圧電振動子の構成を表した斜視図である。
【図7】従来の圧電振動片の構造について表した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の圧電振動片、及び圧電振動子における好適な実施形態について、図１から図６を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施形態の圧電振動片６は、音叉形の圧電振動片であり、基部８から１対の振動腕部７が延設されると共に、基部８から振動腕部７の両外側に並列して延設された支持腕部９を備える。１対の振動腕部７の長手方向には、その主面（裏表面）に一定幅の溝部７２が形成されている。この溝部７２により、振動腕部７には、溝部７２の外側と内側の土手部７３が合計８箇所に形成されている。
（１）実施形態の概要
本実施形態の圧電振動片６は、音叉形の圧電振動片であり、基部８から１対の振動腕部７が延設されると共に、基部８から振動腕部７の両外側に並列して延設された支持腕部９を備える。１対の振動腕部７の長手方向には、その主面（裏表面）に一定幅の溝部７２が形成されている。この溝部７２により、振動腕部７には、溝部７２の外側と内側の土手部７３が合計８箇所に形成されている。
【0012】
振動腕部７の外周面を構成する側面と主面及び溝部７２内には、異なる２系統の第１励振電極９１と第２励振電極９２が形成されている。
本実施形態および各変形例によれば、振動腕部７に形成された、全８箇所の土手部７３に形成される、第１励振電極９１、第２励振電極９２の長手方向の端部（境界線）１６箇所をギザギザ形状に形成し、当該ギザギザによる境界線を土手部７３のエッジ部Ｅ（側面と主面との交線）にかけて形成する。
すなわち、第１励振電極９１と第２励振電極９２のギザギザにより、土手部７３の主面に形成される凸部９１ｐ、９２ｐと、側面に形成される凹部９１ｑ、９２ｑとが交互に配置される。
そして、土手部７３の主面上に形成される凸部９１ｐ、９２ｐにおける、エッジ部Ｅからの最大の高さｈを、土手部７３の幅Ｗの１／５以下、又は／及び、０．５μｍ以下とする。
このように、第１励振電極９１、第２励振電極９２における、電極パターンのギザギザ部を土手部７３のエッジ部Ｅ（土手のショルダー部）にかけて形成することで、電解効率の低下を最小限に留めつつ、異物による短絡のリスクも低減することができる。
本実施形態および各変形例によれば、振動腕部７に形成された、全８箇所の土手部７３に形成される、第１励振電極９１、第２励振電極９２の長手方向の端部（境界線）１６箇所をギザギザ形状に形成し、当該ギザギザによる境界線を土手部７３のエッジ部Ｅ（側面と主面との交線）にかけて形成する。
すなわち、第１励振電極９１と第２励振電極９２のギザギザにより、土手部７３の主面に形成される凸部９１ｐ、９２ｐと、側面に形成される凹部９１ｑ、９２ｑとが交互に配置される。
そして、土手部７３の主面上に形成される凸部９１ｐ、９２ｐにおける、エッジ部Ｅからの最大の高さｈを、土手部７３の幅Ｗの１／５以下、又は／及び、０．５μｍ以下とする。
このように、第１励振電極９１、第２励振電極９２における、電極パターンのギザギザ部を土手部７３のエッジ部Ｅ（土手のショルダー部）にかけて形成することで、電解効率の低下を最小限に留めつつ、異物による短絡のリスクも低減することができる。
【0013】
（２）実施形態の詳細
図１は、実施形態に係る圧電振動片６の構成と断面を表した図である。
圧電振動片６は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉形の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。本実施形態では、圧電材料として水晶を使用して形成した圧電振動片を例に説明する。
図１は、実施形態に係る圧電振動片６の構成と断面を表した図である。
圧電振動片６は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された、いわゆる音叉形の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。本実施形態では、圧電材料として水晶を使用して形成した圧電振動片を例に説明する。
【0014】
図１（ａ）に示すように、圧電振動片６は、一対の振動腕部７ａ、７ｂと、基部８と、一対の支持腕部９ａ、９ｂを備えている。
本明細書において、振動腕部７ａ、７ｂの長さ方向（図１の左右方向）を長手方向、振動腕部７ａ、７ｂが対向する方向（図１（ａ）の上下方向）を短手方向、圧電振動片６の厚さの方向（図１（ｂ）の上下方向）を厚さ方向という。
基部８は、一対の振動腕部７ａ、７ｂにおける長手方向の一方の端部同士を連結している。
基部８には、短手方向を向く両端面から外側に延びる連結部８１ａ、８１ｂが連結され、この連結部８１ａ、８１ｂには、長手方向に延びる支持腕部９ａ、９ｂが連結されている。一対の支持腕部９ａ、９ｂは、短手方向において、振動腕部７ａ、７ｂの両外側に配置されている。
本明細書において、振動腕部７ａ、７ｂの長さ方向（図１の左右方向）を長手方向、振動腕部７ａ、７ｂが対向する方向（図１（ａ）の上下方向）を短手方向、圧電振動片６の厚さの方向（図１（ｂ）の上下方向）を厚さ方向という。
基部８は、一対の振動腕部７ａ、７ｂにおける長手方向の一方の端部同士を連結している。
基部８には、短手方向を向く両端面から外側に延びる連結部８１ａ、８１ｂが連結され、この連結部８１ａ、８１ｂには、長手方向に延びる支持腕部９ａ、９ｂが連結されている。一対の支持腕部９ａ、９ｂは、短手方向において、振動腕部７ａ、７ｂの両外側に配置されている。
【0015】
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、互いに平行となるように配置されており、基部８側の端部を固定端とし、先端が自由端として振動する。
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、その全長のほぼ中央部分の幅を基準幅とした場合、この基準幅よりも両側に広くなるように形成された拡幅部７１ａ、７１ｂを備えている。この拡幅部７１ａ、７１ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの重量及び振動時の慣性モーメントを増大する機能を有している。これにより、振動腕部７ａ、７ｂは振動し易くなり、振動腕部７ａ、７ｂの長さを短くすることができ、小型化が図られている。
なお、本実施形態の圧電振動片６は、振動腕部７ａ、７ｂに拡幅部７１ａ、７１ｂが形成されているが、拡幅部のない圧電振動片を使用してもよい。
一対の振動腕部７ａ、７ｂは、その全長のほぼ中央部分の幅を基準幅とした場合、この基準幅よりも両側に広くなるように形成された拡幅部７１ａ、７１ｂを備えている。この拡幅部７１ａ、７１ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの重量及び振動時の慣性モーメントを増大する機能を有している。これにより、振動腕部７ａ、７ｂは振動し易くなり、振動腕部７ａ、７ｂの長さを短くすることができ、小型化が図られている。
なお、本実施形態の圧電振動片６は、振動腕部７ａ、７ｂに拡幅部７１ａ、７１ｂが形成されているが、拡幅部のない圧電振動片を使用してもよい。
【0016】
また、本実施形態の圧電振動片６では、図示しないが、振動腕部７ａ、７ｂの先端部（拡幅部７１ａ、７１ｂ）に、所定周波数の範囲内で振動するように調整（周波数調整）するための重り金属膜（粗調膜及び微調膜からなる）が形成されている。この重り金属膜を、例えばレーザ光の照射やイオンミリング方によって適量だけ取り除くことで、周波数調整を行い、一対の振動腕部７ａ、７ｂの周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができるようになっている。この重り金属膜についても、拡幅部と同様に形成しないことも可能である。
【0017】
図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＶ－Ｖ線に沿った断面を矢印の方向に見た振動腕部７ａ、７ｂの断面図である。
図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂには、一定幅の溝部７２ａ、７２ｂが形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂは、一対の振動腕部７ａ、７ｂの両主面（表裏面）上において、厚さ方向に凹むとともに、基部８側から長手方向に沿って延在している。溝部７２ａ、７２ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの基端（基部８の先端側の端部）から、拡幅部７１ａ、７１ｂの手前までに形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂにより、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、それぞれ図１（ｂ）に示すように断面Ｈ型となっている。
図１（ｂ）に示すように、一対の振動腕部７ａ、７ｂには、一定幅の溝部７２ａ、７２ｂが形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂは、一対の振動腕部７ａ、７ｂの両主面（表裏面）上において、厚さ方向に凹むとともに、基部８側から長手方向に沿って延在している。溝部７２ａ、７２ｂは、振動腕部７ａ、７ｂの基端（基部８の先端側の端部）から、拡幅部７１ａ、７１ｂの手前までに形成されている。
溝部７２ａ、７２ｂにより、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、それぞれ図１（ｂ）に示すように断面Ｈ型となっている。
【0018】
そして、振動腕部７ａ、７ｂの主面には、溝部７２ａ、７２ｂが形成されることで、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向外側の側面と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向外側の側面との間に外側土手部７３が形成されている。
また、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向内側の側面（振動腕部７ａ、７ｂの互いに対応する側の面）と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向内側の側面との間に内側土手部７３が形成されている。
また、振動腕部７ａ、７ｂの短手方向内側の側面（振動腕部７ａ、７ｂの互いに対応する側の面）と、溝部７２ａ、７２ｂの短手方向内側の側面との間に内側土手部７３が形成されている。
【0019】
圧電振動片６の一方の主面側の面（図１（ａ）の反対側の面）には、点線で示すように、支持腕部９ａ、９ｂに２系統のマウント電極９９ａ、９９ｂが形成されている。このマウント電極９９ａ、９９ｂは、図６で後述するように、パッケージに形成された実装部１４Ａ、１４Ｂに圧電振動片６をマウント（実装）する際に、電極パッド２０Ａ、２０Ｂと導電性接着剤５１で接続される。
両マウント電極９９ａ、９９ｂと電気的に接続した２系統の引回し電極（図示しない）が連結部８１ａ、８１ｂと基部８に形成されている。
そして、支持腕部９ａに形成された第１系統のマウント電極９９ａが引回し電極を介して励振電極９２（図１（ｂ）参照）と接続され、支持腕部９ｂに形成された第２系統のマウント電極９９ｂが引回し電極を介して第１励振電極９１と接続されている。
第１励振電極９１はマウント電極９９ａを介して、第１励振電極９２はマウント電極９９ｂを介して、それぞれ励振用の電圧が印加されるようになっている。
両マウント電極９９ａ、９９ｂと電気的に接続した２系統の引回し電極（図示しない）が連結部８１ａ、８１ｂと基部８に形成されている。
そして、支持腕部９ａに形成された第１系統のマウント電極９９ａが引回し電極を介して励振電極９２（図１（ｂ）参照）と接続され、支持腕部９ｂに形成された第２系統のマウント電極９９ｂが引回し電極を介して第１励振電極９１と接続されている。
第１励振電極９１はマウント電極９９ａを介して、第１励振電極９２はマウント電極９９ｂを介して、それぞれ励振用の電圧が印加されるようになっている。
【0020】
第１励振電極９１と第２励振電極９２は、マウント電極９９ａ、９９ｂを介して電圧が印加されることで、一対の振動腕部７ａ、７ｂを互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、電気的に切り離された状態で振動腕部７ａ、７ｂ上にパターニングされて形成されている。
具体的には、図１（ｂ）に示すように、一方の励振電極９１が、主に一方の振動腕部７ａの溝部７２ａ内と、他方の振動腕部７ｂの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
また、他方の励振電極９２が、主に他方の振動腕部７ｂの溝部７２ｂ内と、一方の振動腕部７ａの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
具体的には、図１（ｂ）に示すように、一方の励振電極９１が、主に一方の振動腕部７ａの溝部７２ａ内と、他方の振動腕部７ｂの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
また、他方の励振電極９２が、主に他方の振動腕部７ｂの溝部７２ｂ内と、一方の振動腕部７ａの側面上とに互いに電気的に接続された状態で形成されている。
【0021】
図２は、振動腕部７ａにおける第１励振電極９１と第２励振電極の状態を表した断面拡大図である。
図２に示すように、第１励振電極９１と第２励振電極の長手方向の端部は、土手部７３の主面と側面が交差するエッジ部Ｅを中心としたギザギザ状態に形成されている。
このギザギザによる第１励振電極９１、第２励振電極の境界線は、エッジ部Ｅから主面側に凸出した凸部９１ｐ、９２ｐと、エッジ部Ｅから側面側に凹んだ凹部９１ｑ、９２ｑにより形成されている。
図２に示すように、第１励振電極９１と第２励振電極の長手方向の端部は、土手部７３の主面と側面が交差するエッジ部Ｅを中心としたギザギザ状態に形成されている。
このギザギザによる第１励振電極９１、第２励振電極の境界線は、エッジ部Ｅから主面側に凸出した凸部９１ｐ、９２ｐと、エッジ部Ｅから側面側に凹んだ凹部９１ｑ、９２ｑにより形成されている。
【0022】
主面において、第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線が長手方向の直線にならず、凸部９１ｐ、９２ｐや凹部９１ｑ、９２ｑが形成されるのは、次の２つの理由による。
１つめの理由としては、レジスト膜に形成するフォトマスクによる。すなわち、電極形成の際にスプレー塗布したレジスト膜に電極分割用のマスクをパターニングするが、レジスト粒の影響によってフォトレジストの表面に凹凸が形成されているため、マスクパターンの直線性が悪くなる。このため、主面の露光と側面のオーバー露光によって、除去されたレジスト膜の境界線がギザギザになることが理由である。
２つめの理由としては、金属層のメタルエッチングによるオーバーエッチングによる。
１つめの理由としては、レジスト膜に形成するフォトマスクによる。すなわち、電極形成の際にスプレー塗布したレジスト膜に電極分割用のマスクをパターニングするが、レジスト粒の影響によってフォトレジストの表面に凹凸が形成されているため、マスクパターンの直線性が悪くなる。このため、主面の露光と側面のオーバー露光によって、除去されたレジスト膜の境界線がギザギザになることが理由である。
２つめの理由としては、金属層のメタルエッチングによるオーバーエッチングによる。
【0023】
土手部７３の幅をＷ、主面に形成した凸部９１ｐ、９２ｐにおける、エッジ部Ｅから凸部９１ｐ、９２ｐの先端までの高さ（最大値）をｈとした場合、本実施形態では、凸部９１ｐ、９２ｐの高さｈは、幅Ｗの１／５以下に形成されている。
なお、凸部９１ｐ、９２ｐの高さｈは、０．５μｍ以下に形成するようにしてもよい。
このように、凸部９１ｐ、９２ｐの高さｈを、ｈ≦１／５、又は／及び、ｈ≦０．５μｍとすることにより、第１励振電極９１と第２励振電極９２における長手方向に沿った端部の境界線の全てが主面上に形成されたり、境界線の全てが側面上に形成されることなく、主面の凸部９１ｐ、９２ｐと側面の凹部９１ｑ、９２ｑが交互に配置されたギザギザ形状にすることができる。
そして、第１励振電極９１、第２励振電極９２の境界線が、エッジ部Ｅから凸出した主面側の凸部９１ｐ、９２ｐと、エッジ部Ｅから凹んだ側面側の凹部９１ｑ、９２ｑによってギザギザ形状に形成されているので、電極面積が小さくなることによる電解効率の低下を最小限に留めることができる。
また、主面に形成される電極（凸部９１ｐ、９２ｐ）の高さｈが低く形成されると共に、凹部９１ｑ、９２ｑと連続する主面部分には電極が形成されていないので、異物による短絡のリスクを低減することができる。
このように本実施形態によれば、電解効率の低下を最小限に留めつつ、異物による短絡のリスクも低減することができる。
なお、凸部９１ｐ、９２ｐの高さｈは、０．５μｍ以下に形成するようにしてもよい。
このように、凸部９１ｐ、９２ｐの高さｈを、ｈ≦１／５、又は／及び、ｈ≦０．５μｍとすることにより、第１励振電極９１と第２励振電極９２における長手方向に沿った端部の境界線の全てが主面上に形成されたり、境界線の全てが側面上に形成されることなく、主面の凸部９１ｐ、９２ｐと側面の凹部９１ｑ、９２ｑが交互に配置されたギザギザ形状にすることができる。
そして、第１励振電極９１、第２励振電極９２の境界線が、エッジ部Ｅから凸出した主面側の凸部９１ｐ、９２ｐと、エッジ部Ｅから凹んだ側面側の凹部９１ｑ、９２ｑによってギザギザ形状に形成されているので、電極面積が小さくなることによる電解効率の低下を最小限に留めることができる。
また、主面に形成される電極（凸部９１ｐ、９２ｐ）の高さｈが低く形成されると共に、凹部９１ｑ、９２ｑと連続する主面部分には電極が形成されていないので、異物による短絡のリスクを低減することができる。
このように本実施形態によれば、電解効率の低下を最小限に留めつつ、異物による短絡のリスクも低減することができる。
【0024】
次に、本実施形態における圧電振動片６の製造方法について説明する。
図３は、圧電振動片６の製造処理の各工程を表したフローチャートである。
図４、図５は、圧電振動片６の各製造工程における振動腕部７ａの状態を表した断面図である。
なお、図の表示領域の関係で、支持腕部９ａ、９ｂと振動腕部７ｂの状態については省略している。
図３は、圧電振動片６の製造処理の各工程を表したフローチャートである。
図４、図５は、圧電振動片６の各製造工程における振動腕部７ａの状態を表した断面図である。
なお、図の表示領域の関係で、支持腕部９ａ、９ｂと振動腕部７ｂの状態については省略している。
【0025】
圧電振動片６の製造工程において、最初に前工程を行う（ステップ１１）。
この前工程では、水晶を所定角度でスライスした一定厚さのウエハを準備し、振動腕部７に溝部７２が形成された圧電振動片６の外形形状を形成する。
すなわち、所定の厚みに高精度に仕上げられた水晶のウエハから、複数の圧電振動片６の外形形状を形成し、更に、振動腕部７の主面上に溝部７２を形成する。
具体的には、フォトリソグラフ技術によってウエハの両面に、圧電振動片６の外形形状に対応する形状のマスク（外形マスク）を形成する。その後、当該ウエハをウェットエッチング加工し、外形マスクでマスクされていない領域を選択的に除去することで、図１に示すように、圧電振動片６の平面的な外形形状が形成される。
次に、各圧電振動片６の各振動腕部７ａ、７ｂに対してエッチング加工を施し、各振動腕部７ａ、７ｂの両主面に溝部７２を形成することで、合計８個の土手部７３を形成する。
なお、複数の圧電振動片６は、連結部を介してウエハに連結された状態となっていて、電極を形成（ステップ１２～ステップ２０）した後に連結部を切断することで個片化される。
この前工程では、水晶を所定角度でスライスした一定厚さのウエハを準備し、振動腕部７に溝部７２が形成された圧電振動片６の外形形状を形成する。
すなわち、所定の厚みに高精度に仕上げられた水晶のウエハから、複数の圧電振動片６の外形形状を形成し、更に、振動腕部７の主面上に溝部７２を形成する。
具体的には、フォトリソグラフ技術によってウエハの両面に、圧電振動片６の外形形状に対応する形状のマスク（外形マスク）を形成する。その後、当該ウエハをウェットエッチング加工し、外形マスクでマスクされていない領域を選択的に除去することで、図１に示すように、圧電振動片６の平面的な外形形状が形成される。
次に、各圧電振動片６の各振動腕部７ａ、７ｂに対してエッチング加工を施し、各振動腕部７ａ、７ｂの両主面に溝部７２を形成することで、合計８個の土手部７３を形成する。
なお、複数の圧電振動片６は、連結部を介してウエハに連結された状態となっていて、電極を形成（ステップ１２～ステップ２０）した後に連結部を切断することで個片化される。
【0026】
前工程により外形形状と溝部７２を形成した後、図４（ａ）に示すように、表面全体に電極スパッタを行う（ステップ１２）。この工程では、圧電振動片６の全面に対して、電極となる金属層３１を成膜する。金属層３１の成膜は、電極スパッタによりクロム層を形成し、その後金層を形成することによる。なお、クロム層、金層の順に蒸着によって金属層３１を形成するようにしてもよい。
【0027】
次に、レジスト塗布を行う（ステップ１３）。
この工程では、図４（ｂ）に示すように、形成した金属層３１の表面全体にレジスト膜３３をスプレー塗布する。このレジスト膜３３は紫外光に感光感度を持つ樹脂をベースとした化合物である。レジスト膜３３は流動性を有するため、スプレー塗布によって表と裏の両主面側から２回塗布する。
この工程では、図４（ｂ）に示すように、形成した金属層３１の表面全体にレジスト膜３３をスプレー塗布する。このレジスト膜３３は紫外光に感光感度を持つ樹脂をベースとした化合物である。レジスト膜３３は流動性を有するため、スプレー塗布によって表と裏の両主面側から２回塗布する。
【0028】
次に、露光・現像を行う（ステップ１４）。
この工程では、電極（励振電極とマウント電極）に対応したマスクパターンを使用して、両主面側に対して紫外光を照射することでレジスト膜３３を露光し、その後、現像液で現像する。
この露光・現像により、図４（ｃ）に示すように、振動腕部７の両主面にレジスト膜３３から領域Ｑ１部分が除去される。
露光・現像によってＱ１部分を除去した後の、レジスト膜３３の境界線は、図２で説明した第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線に対応したギザギザ状態となっている。
この工程では、電極（励振電極とマウント電極）に対応したマスクパターンを使用して、両主面側に対して紫外光を照射することでレジスト膜３３を露光し、その後、現像液で現像する。
この露光・現像により、図４（ｃ）に示すように、振動腕部７の両主面にレジスト膜３３から領域Ｑ１部分が除去される。
露光・現像によってＱ１部分を除去した後の、レジスト膜３３の境界線は、図２で説明した第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線に対応したギザギザ状態となっている。
【0029】
次に、メタルエッチングを行い（ステップ１５）、領域Ｑ１部分の金属層３１の除去を行う（図５（ｄ））。
すなわち、最初に金層用のエッチング液（例えば、ヨウ素系薬液）に浸けることで、領域Ｑ１の金層を除去し、その後クロム層用のエッチング液（例えば、セリウム系薬液）に浸けることで領域Ｑ１のクロム層を除去することで、金属層３１を除去する。
次に、残ったレジスト層３３を剥離する（ステップ１６）。
すなわち、最初に金層用のエッチング液（例えば、ヨウ素系薬液）に浸けることで、領域Ｑ１の金層を除去し、その後クロム層用のエッチング液（例えば、セリウム系薬液）に浸けることで領域Ｑ１のクロム層を除去することで、金属層３１を除去する。
次に、残ったレジスト層３３を剥離する（ステップ１６）。
【0030】
以上のフォトリソ工程（ステップ１３～ステップ１６）により、図５（ｅ）に示すように、振動腕部７ａ、７ｂの全面に形成されていた金属層３１（クロム層、金層）が、両主面上の２箇所で分離されることで、長手方向の端部の境界線がギザギザの励振電極９１と励振電極９２が形成される。
このため、振動腕部７ａについて表している図５（ｅ）では、振動腕部７ａの溝部７２ａ側には第１励振電極９１が形成され、振動腕部７ａの両側面側には第２励振電極９２が形成された状態が表示されている。
一方、図示していないが、振動腕部７ｂには、溝部７２ｂ側には第２励振電極９２が形成され、振動腕部７ｂの両側面側には第１励振電極９１が形成される（図１（ｂ）、図２参照）。
なお、支持腕部９の金属層３１は、振動腕部７ａ、７ｂの側面側に形成された系統の励振電極と接続されている。
このため、振動腕部７ａについて表している図５（ｅ）では、振動腕部７ａの溝部７２ａ側には第１励振電極９１が形成され、振動腕部７ａの両側面側には第２励振電極９２が形成された状態が表示されている。
一方、図示していないが、振動腕部７ｂには、溝部７２ｂ側には第２励振電極９２が形成され、振動腕部７ｂの両側面側には第１励振電極９１が形成される（図１（ｂ）、図２参照）。
なお、支持腕部９の金属層３１は、振動腕部７ａ、７ｂの側面側に形成された系統の励振電極と接続されている。
【0031】
次に、各圧電振動片６の振動腕部７ａ、７ｂに対する重り金属膜を形成する（ステップ１７）。
この重り金属膜形成工程では、各振動腕部７ａ、７ｂの拡幅部７１ａ、７１ｂの表面に周波数調整用の重り金属膜を形成する。
この重り金属膜は、例えば蒸着等により形成することができる。
なお、重り金属膜は、電極形成工程（ステップ１２～ステップ１６）において各電極と同時に形成するようにしてもよい。
この重り金属膜形成工程では、各振動腕部７ａ、７ｂの拡幅部７１ａ、７１ｂの表面に周波数調整用の重り金属膜を形成する。
この重り金属膜は、例えば蒸着等により形成することができる。
なお、重り金属膜は、電極形成工程（ステップ１２～ステップ１６）において各電極と同時に形成するようにしてもよい。
【0032】
次に、各圧電振動片６に対する周波数調整を行う（ステップ１８）。
周波数調整工程では、各圧電振動片６に接続した第１電極パッド２３と第２電極パッド２４間に所定の駆動電圧を印加して、圧電振動片６の各振動腕部７ａ、７ｂを振動させることにより圧電振動片６の周波数を調整する。
具体的には、フレーム部２上に形成した各第１電極パッド２３と第２電極パッド２４に駆動電圧を印加するための測定器のプローブ等を押し当てる。この状態で、各第１励振電極９１、第２励振電極９２に駆動電圧を印加して各振動腕部７ａ、７ｂを振動させる。そして、各圧電振動片６の振動周波数と目標周波数との差に応じて、拡幅部７１ａ、７１ｂ上に形成した重り金属膜を部分的に除去する。これにより、各振動腕部７ａ、７ｂの質量が変化することで、各振動腕部７ａ、７ｂの振動周波数（圧電振動片６の周波数）が変化する。よって、圧電振動片６の周波数の目標周波数に近付けることができる。
周波数調整工程では、各圧電振動片６に接続した第１電極パッド２３と第２電極パッド２４間に所定の駆動電圧を印加して、圧電振動片６の各振動腕部７ａ、７ｂを振動させることにより圧電振動片６の周波数を調整する。
具体的には、フレーム部２上に形成した各第１電極パッド２３と第２電極パッド２４に駆動電圧を印加するための測定器のプローブ等を押し当てる。この状態で、各第１励振電極９１、第２励振電極９２に駆動電圧を印加して各振動腕部７ａ、７ｂを振動させる。そして、各圧電振動片６の振動周波数と目標周波数との差に応じて、拡幅部７１ａ、７１ｂ上に形成した重り金属膜を部分的に除去する。これにより、各振動腕部７ａ、７ｂの質量が変化することで、各振動腕部７ａ、７ｂの振動周波数（圧電振動片６の周波数）が変化する。よって、圧電振動片６の周波数の目標周波数に近付けることができる。
【0033】
以上の各工程により、連結部を介してウエハに複数連結された圧電振動片６が形成される。
次に、複数連結された圧電振動片６を個片化する（ステップ１９）。
具体的には、各圧電振動片６を折り曲げるようにして、各連結部で切断する。
以上により、１枚のウエハから、複数の圧電振動片６を一度に製造することができる。
次に、複数連結された圧電振動片６を個片化する（ステップ１９）。
具体的には、各圧電振動片６を折り曲げるようにして、各連結部で切断する。
以上により、１枚のウエハから、複数の圧電振動片６を一度に製造することができる。
【0034】
次に、上述の方法により製造した各圧電振動片６を、圧電振動子容器２内に実装した圧電振動子１について説明する。
この圧電振動子１は、図１（ａ）で説明したサイドアーム型の圧電振動片を例に説明するが、センターアーム型の圧電振動片６や、支持腕部９を有しない圧電振動片６についても、マウント部の構造とマウント箇所が異なることを除き同様である。
この圧電振動子１は、図１（ａ）で説明したサイドアーム型の圧電振動片を例に説明するが、センターアーム型の圧電振動片６や、支持腕部９を有しない圧電振動片６についても、マウント部の構造とマウント箇所が異なることを除き同様である。
【0035】
図６は、上述した実施形態又は変形例に係るサイドアーム型の圧電振動片６を備えた圧電振動子１の分解斜視図である。
図６に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片６と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ２は、概略直方体状に形成されている。パッケージ２は、パッケージ本体３と、パッケージ本体３に対して接合されるとともに、パッケージ本体３との間にキャビティＣを形成する封口板４と、を備えている。
パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
図６に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片６と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ２は、概略直方体状に形成されている。パッケージ２は、パッケージ本体３と、パッケージ本体３に対して接合されるとともに、パッケージ本体３との間にキャビティＣを形成する封口板４と、を備えている。
パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
【0036】
第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、両ベース基板１０、１１の厚み方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１０および第２ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
【0037】
なお、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミック材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミック製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ－Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【0038】
第１ベース基板１０の上面は、キャビティＣの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
なお、後述するように第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間には、両ベース基板１０、１１に挟まれた状態で接続電極（図示せず）が形成されている。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
なお、後述するように第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間には、両ベース基板１０、１１に挟まれた状態で接続電極（図示せず）が形成されている。
【0039】
第２ベース基板１１には、貫通部１１ａが形成されている。貫通部１１ａは、四隅が丸みを帯びた平面視長方形状に形成されている。貫通部１１ａの内側面は、キャビティＣの側壁の一部を構成している。貫通部１１ａの短手方向で対向する両側の内側面には、内方に突出する実装部１４Ａ、１４Ｂが設けられている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向略中央に形成されている。実装部１４Ａ、１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向の長さの１／３以上の長さに形成されている。
【0040】
シールリング１２は、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１１の上面に接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって第２ベース基板１１上に接合、あるいは、第２ベース基板１１上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【0041】
シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２－アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板１０および第２ベース基板１１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０－６／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０－６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５～６．５×１０－６／℃の４２－アロイを用いることが好ましい。
【0042】
封口板４は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体３に対して気密に接合されている。そして、封口板４、シールリング１２、第２ベース基板１１の貫通部１１ａ、および第１ベース基板１０の上面により画成された空間が、気密に封止されたキャビティＣとして機能する。
【0043】
封口板４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板４とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板４の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【0044】
第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂの上面には、圧電振動片６との接続電極である一対の電極パッド２０Ａ、２０Ｂが形成されている。また、第１ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ、２１Ｂがパッケージ２の長手方向に間隔をあけて形成されている。電極パッド２０Ａ、２０Ｂおよび外部電極２１Ａ、２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜である。
電極パッド２０Ａ、２０Ｂと外部電極２１Ａ、２１Ｂとは、第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂに形成された第２貫通電極２２Ａ、２２Ｂ、第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間に形成された接続電極（図示せず）、及び、第１ベース基板１０に形成された第１貫通電極（図示せず）を介して互いにそれぞれ導通している。
電極パッド２０Ａ、２０Ｂと外部電極２１Ａ、２１Ｂとは、第２ベース基板１１の実装部１４Ａ、１４Ｂに形成された第２貫通電極２２Ａ、２２Ｂ、第１ベース基板１０と第２ベース基板１１の間に形成された接続電極（図示せず）、及び、第１ベース基板１０に形成された第１貫通電極（図示せず）を介して互いにそれぞれ導通している。
【0045】
圧電振動片６は、一対の支持腕部９ａ、９ｂにより実装部１４Ａ、１４Ｂ上に実装された状態で、気密封止されたパッケージ２のキャビティＣ内に収容されている。
すなわち、図６に示すように、圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂに設けられた各マウント電極９９ａ、９９ｂ（図１（ａ）参照）が、実装部１４Ａ、１４Ｂ上の電極パッド２０Ａ、２０Ｂ（上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層）にそれぞれ接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂを介して電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂのそれぞれが、その長さ方向（長手方向）の２箇所で実装部１４Ａ、１４Ｂ上に接合保持（２点支持）される。
すなわち、図６に示すように、圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂに設けられた各マウント電極９９ａ、９９ｂ（図１（ａ）参照）が、実装部１４Ａ、１４Ｂ上の電極パッド２０Ａ、２０Ｂ（上面にメタライズ層が形成されている場合は該メタライズ層）にそれぞれ接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂを介して電気的および機械的に接合されている。
このように、本実施形態の圧電振動片６は、支持腕部９ａ、９ｂのそれぞれが、その長さ方向（長手方向）の２箇所で実装部１４Ａ、１４Ｂ上に接合保持（２点支持）される。
【0046】
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂは、導電性を有し、かつ接合初期の段階において流動性を持ち、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質を有するものが使用され、例えば、銀ペースト等の導電性接着剤や、金属バンプ等の使用が好適である。
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂが導電性接着剤により構成されている場合、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより塗布される。
本実施形態では、各接合材のサイズは圧電振動子１のサイズによるが、例えば、１．２ｍｍ×１．０ｍｍサイズの圧電振動子１の場合、半径０．１ｍｍ程度に塗布される。
接合材５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂが導電性接着剤により構成されている場合、塗布装置の移動ヘッドに支持されたディスペンサノズルにより塗布される。
本実施形態では、各接合材のサイズは圧電振動子１のサイズによるが、例えば、１．２ｍｍ×１．０ｍｍサイズの圧電振動子１の場合、半径０．１ｍｍ程度に塗布される。
【0047】
このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧を印加する。外部電極２１Ａ、２１Ｂに所定の電圧が印加されると、２系統の励振電極９１、９２に電流が流れ、２系統の励振電極９１、９２間に発生する電界による逆圧電効果によって、一対の振動腕部７ａ、７ｂは、例えば互いに接近、離間する方向（短手方向）に所定の共振周波数で振動する。一対の振動腕部７ａ、７ｂの振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして用いられる。
本実施形態の圧電振動片６では、上述したように、
第１励振電極９１と第２励振電極９２の長手方向の境界線（端部）が、土手部７３の主面と側面が交差する線（エッジ部Ｅ）に対して、側面側と主面側にギザギザとした凹凸形状に形成されているので、導電性異物の付着による短絡をより少なくしつつ、振動に寄与する電極面積を大きくすることができ、圧電効果を良くすることができる。
本実施形態の圧電振動片６では、上述したように、
第１励振電極９１と第２励振電極９２の長手方向の境界線（端部）が、土手部７３の主面と側面が交差する線（エッジ部Ｅ）に対して、側面側と主面側にギザギザとした凹凸形状に形成されているので、導電性異物の付着による短絡をより少なくしつつ、振動に寄与する電極面積を大きくすることができ、圧電効果を良くすることができる。
【0048】
以上説明した圧電振動子１は、電波時計、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として、また、ジャイロセンサなどの計測機器等として使用される。
【0049】
本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、本実施形態では振動腕部７ａ、７ｂに形成される８箇所の土手部７３における、全１６所のエッジ部Ｅに対して、第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線を、側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状に形成する場合について説明した。
これに対して、１つの土手部７３に対して、外側又は内側（溝部７２ａ、７２ｂ側）のうちの一方側のエッジ部Ｅに対して、第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線をギザギザ形状に形成するようにしてもよい。この場合、他方のエッジ部Ｅには、従来と同様に第１励振電極９１と第２励振電極９２の全境界線が主面上、又は側面上に位置するように形成してもよい。
この場合においても、各土手部７３のエッジ部Ｅの一方側において、境界線が側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状に形成されているので、主面の両側の長手方向の全体にわたって境界線が形成される場合に比べて異物による短絡の可能性を低くすることができる。また、両側面の長手方向全体に境界線が形成される場合にくらべて、電極面積を大きくすることができる。
例えば、本実施形態では振動腕部７ａ、７ｂに形成される８箇所の土手部７３における、全１６所のエッジ部Ｅに対して、第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線を、側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状に形成する場合について説明した。
これに対して、１つの土手部７３に対して、外側又は内側（溝部７２ａ、７２ｂ側）のうちの一方側のエッジ部Ｅに対して、第１励振電極９１と第２励振電極９２の境界線をギザギザ形状に形成するようにしてもよい。この場合、他方のエッジ部Ｅには、従来と同様に第１励振電極９１と第２励振電極９２の全境界線が主面上、又は側面上に位置するように形成してもよい。
この場合においても、各土手部７３のエッジ部Ｅの一方側において、境界線が側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状に形成されているので、主面の両側の長手方向の全体にわたって境界線が形成される場合に比べて異物による短絡の可能性を低くすることができる。また、両側面の長手方向全体に境界線が形成される場合にくらべて、電極面積を大きくすることができる。
【0050】
また、８箇所存在する土手部７３のうち、上方からの落下する異物による短絡が発生しやすい、上側の土手部７３の４箇所を対象としたエッジ部Ｅに、側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状の境界線を形成するようにしてもよい。
この場合も、４箇所の土手部７３における両エッジ部Ｅを対象としてもよく、何れか一方側だけでもよい。
なお、この場合の上面側は、圧電振動片６を実装した場合に封口板４と対向する側の土手部７３が該当する。
この場合も、４箇所の土手部７３における両エッジ部Ｅを対象としてもよく、何れか一方側だけでもよい。
なお、この場合の上面側は、圧電振動片６を実装した場合に封口板４と対向する側の土手部７３が該当する。
【0051】
さらに、１６箇所存在するエッジ部Ｅのうち、少なくとも１箇所のエッジ部Ｅを対象にして、側面側の凹部９１ｑ、９２ｑと主面側の凸部９１ｐ、９２ｐによるギザギザ形状の境界線を形成することでも可能である。
この場合においても、従来に比べると、短絡を少なくし、電極面積を大きくすることができる
この場合においても、従来に比べると、短絡を少なくし、電極面積を大きくすることができる
【0052】
上記実施形態においては、圧電振動片６を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片６を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子１に適用することも可能である。
また、説明した実施形態の電極パッド２０は、実装部１４のほぼ全面に形成されているが、接合材５１、５２の少なくとも一方に対応する領域に形成されていればよい。
また、説明した実施形態の電極パッド２０は、実装部１４のほぼ全面に形成されているが、接合材５１、５２の少なくとも一方に対応する領域に形成されていればよい。
【0053】
また、説明した実施形態及び変形例では、基部８から振動腕部７ａ、７ｂの両外側に実装用の支持腕部９ａ、９ｂが形成されたいわゆるサイドアーム型の圧電振動片３を配設した圧電ウエハ１について説明したが、各種他の形式の圧電振動片を配置することも可能である。
例えば、支持腕部が存在せず、実装用の２系統のマウント電極が基部８に形成された、いわゆる片持ち型の圧電振動片を配設した圧電ウエハ１とすることも可能である。
また、基部８から両振動腕部７ａ、７ｂの間に支持部が１本形成され、この支持部に実装用の２系統のマウント電極が形成された、いわゆるセンターアーム型の圧電振動片を配設した圧電ウエハ１とすることも可能である。
例えば、支持腕部が存在せず、実装用の２系統のマウント電極が基部８に形成された、いわゆる片持ち型の圧電振動片を配設した圧電ウエハ１とすることも可能である。
また、基部８から両振動腕部７ａ、７ｂの間に支持部が１本形成され、この支持部に実装用の２系統のマウント電極が形成された、いわゆるセンターアーム型の圧電振動片を配設した圧電ウエハ１とすることも可能である。
【符号の説明】
【0054】
１ 圧電振動子
２ パッケージ
３ パッケージ本体
４ 封口板
６ 圧電振動片
７ 振動腕部
７１ 拡幅部
７２ 溝部
７３ 土手部
Ｅ エッジ部Ｅ
８ 基部
９ 支持腕部
９１ 第１励振電極
９２ 第２励振電極
９１ａ、９２ａ 凸部
９１ｑ、９２ｑ 凹部
１０ 第１ベース基板
１１ 第２ベース基板
１４ 実装部
２０ 電極パッド
２１ 外部電極
２２ 第２貫通電極
５１、５２ 接合材
９９ マウント電極
２ パッケージ
３ パッケージ本体
４ 封口板
６ 圧電振動片
７ 振動腕部
７１ 拡幅部
７２ 溝部
７３ 土手部
Ｅ エッジ部Ｅ
８ 基部
９ 支持腕部
９１ 第１励振電極
９２ 第２励振電極
９１ａ、９２ａ 凸部
９１ｑ、９２ｑ 凹部
１０ 第１ベース基板
１１ 第２ベース基板
１４ 実装部
２０ 電極パッド
２１ 外部電極
２２ 第２貫通電極
５１、５２ 接合材
９９ マウント電極
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】