特許 7456115 紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-18

(45)【発行日】2024-03-27

(54)【発明の名称】紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 61/52 20060101AFI20240319BHJP

   H01J 65/00 20060101ALI20240319BHJP

【ＦＩ】

H01J61/52 F

H01J65/00 B

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019194966

(22)【出願日】2019-10-28

(65)【公開番号】P2021068660

(43)【公開日】2021-04-30

【審査請求日】2022-09-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000102212

【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109380

【弁理士】

【氏名又は名称】小西 恵

(74)【代理人】

【識別番号】100109036

【弁理士】

【氏名又は名称】永岡 重幸

(72)【発明者】

【氏名】石原 肇

【審査官】鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１１／１２２２５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－０１１３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０９５７２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６０９１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ６１／５２

Ｂ０１Ｊ １９／１２

Ｈ０１Ｊ ６５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体と、
前記筐体に固定され、前記筐体の内部を冷却部と光源部とに区画する仕切板と、
前記仕切板に形成され、前記冷却部の内部と前記光源部の内部とを連通する第１貫通孔と、
前記光源部の内部に配置され、紫外線を放射する光源と、
前記冷却部の内部に配置された電装部品と、
前記冷却部の内部に供給された冷却風を前記電装部品に導く整流部材と、
前記光源部の内部に連通され、前記冷却部の内部に連通されていない排気路と、を備え、
前記冷却風は、前記冷却部から前記第１貫通孔を通って前記光源部へ導入され、前記光源部から前記排気路を介して排気風として排気され、
前記電装部品は、前記光源の点灯を確認するためのセンサを含む
ことを特徴とする紫外線照射装置。

【請求項2】

前記電装部品は、前記光源を点灯するための点灯電源をさらに含む
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。

【請求項3】

筐体と、
前記筐体に固定され、前記筐体の内部を冷却部と光源部とに区画する仕切板と、
前記仕切板に形成され、前記冷却部の内部と前記光源部の内部とを連通する第１貫通孔と、
前記光源部の内部に配置され、紫外線を放射する光源と、
前記冷却部の内部に配置された電装部品と、
前記冷却部の内部に供給された冷却風を前記電装部品に導く整流部材と、
前記光源部の内部に連通され、前記冷却部の内部に連通されていない排気路と、を備え、
前記冷却風は、前記冷却部から前記第１貫通孔を通って前記光源部へ導入され、前記光源部から前記排気路を介して排気風として排気され、
前記仕切板は、前記筐体の側壁に固定され、前記筐体の内部を、上側空間である前記冷却部と下側空間である前記光源部とに上下に区画し、
前記排気路は、少なくとも一部が、前記冷却部の内部における前記光源の直上に形成されており、
前記仕切板に形成され、前記光源部と前記排気路とを連通する第２貫通孔をさらに備える
ことを特徴とする紫外線照射装置。

【請求項4】

前記整流部材は、前記電装部品の近傍に配置された板状部材であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。

【請求項5】

前記電装部品は、前記仕切板の上面に固定されており、
前記冷却部を形成する前記筐体の側壁における前記仕切板の近傍に、第１吸気孔が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の紫外線照射装置。

【請求項6】

前記電装部品は、前記冷却部の内部における上方に配置されており、
前記筐体の上壁における前記電装部品の上方に、第２吸気孔が形成されていることを特徴とする請求項３または５に記載の紫外線照射装置。

【請求項7】

前記冷却部を形成する前記筐体の側壁に設けられた取っ手部をさらに備え、
前記筐体の上壁における前記取っ手部が設けられた前記側壁の近傍に、第３吸気孔が形成されていることを特徴とする請求項３、５および６のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。

【請求項8】

前記取っ手部は、少なくとも一部が、前記筐体の側壁から前記冷却部の内部に突出して設けられていることを特徴とする請求項７に記載の紫外線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、紫外線を放射する紫外線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハの洗浄などにおいて、エキシマランプを光源とした紫外線照射装置が使用されている。このような紫外線照射装置では、エキシマランプが高温になると発光管の紫外線透過率が低下し、所望の紫外線強度が得られなくなることから、適切な温度となるようにエキシマランプを冷却する必要がある。
例えば特許文献１には、ランプに冷却風を供給する冷却機構を備えた紫外線照射装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－１５７４５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

紫外線照射装置の筐体には、ランプを点灯させるための点灯電源（トランス）や、ランプの点灯を確認するためのセンサ（フォトダイオード）等の電装部品を収納する場合がある。このような電装部品には耐熱温度があり、適切な温度に冷却する必要がある。また、紫外線照射装置では、ランプから放射される紫外線によってオゾンが発生するが、上記のような電装部品は、オゾンによって劣化するといった問題がある。
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術では、紫外線照射装置の内部に点灯電源やセンサ等の電装部品が設置された場合の昇温対策や、オゾンによる劣化防止対策については全く考慮されていない。

【0005】

そこで、本発明は、ランプを適正に冷却するとともに、装置内部に設置された電装部品も適正に冷却し、かつ、電装部品のオゾンによる劣化を防止することができる紫外線照射装置を提供することを課題としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明に係る紫外線照射装置の一態様は、筐体と、前記筐体に固定され、前記筐体の内部を冷却部と光源部とに区画する仕切板と、前記仕切板に形成され、前記冷却部の内部と前記光源部の内部とを連通する第１貫通孔と、前記光源部の内部に配置され、紫外線を放射する光源と、前記冷却部の内部に配置された電装部品と、前記冷却部の内部に供給された冷却風を前記電装部品に導く整流部材と、前記光源部の内部に連通され、前記冷却部の内部に連通されていない排気路と、を備え、前記冷却風は、前記冷却部から前記第１貫通孔を通って前記光源部へ導入され、前記光源部から前記排気路を介して排気風として排気される。

【0007】

これにより、冷却部内部に配置された電装部品および光源部内部に配置された光源を、適切に冷却することができる。したがって、光源が高温になることに起因する紫外線透過率の低下を防止することができる。また、電装部品の温度を耐熱温度以下に維持することができ、電装部品の寿命を延ばすことができる。さらに、冷却風の流れで光源よりも上流側の冷却部の内部に、電装部品を配置するので、電装部品がオゾンによって劣化することを確実に防止することができる。

【0008】

また、上記の紫外線照射装置において、前記整流部材は、前記電装部品の近傍に配置された板状部材であってもよい。この場合、容易かつ適切に、電装部品を確実に通るような冷却風の流れを形成することができる。
さらに、上記の紫外線照射装置において、前記電装部品は、前記光源の点灯を確認するためのセンサと、前記光源を点灯するための点灯電源とを含むことができる。この場合、点灯確認用のセンサや点灯用の電源の劣化を適切に抑制することができるので、紫外線照射装置を適正に動作させることができる。

【0009】

また、上記の紫外線照射装置において、前記仕切板は、前記筐体の内部を、上側空間である前記冷却部と下側空間である前記光源部とに上下に区画し、前記排気路は、少なくとも一部が、前記冷却部の内部における前記光源の直上に形成されており、前記仕切板に形成され、前記光源部と前記排気路とを連通する第２貫通孔をさらに備えていてもよい。
この場合、筐体の内部において、オゾン排気と光源の冷却と電装部品の冷却とを兼ねた風の流れを形成することができる。

【0010】

さらに、上記の紫外線照射装置において、前記電装部品は、前記仕切板の上面に固定されており、前記冷却部を形成する前記筐体の側壁における前記仕切板の近傍に、第１吸気孔が形成されていてもよい。この場合、第１吸気孔から供給された冷却風を、仕切板の上面に固定された電装部品に確実に当てることができ、当該電装部品を効率良く冷却することができる。
また、上記の紫外線照射装置において、前記電装部品は、前記冷却部の内部における上方に配置されており、前記筐体の上壁における前記電装部品の上方に、第２吸気孔が形成されていてもよい。この場合、第２吸気孔から供給された冷却風を、冷却部の内部における上方に配置された電装部品に確実に当てることができ、当該電装部品を効率良く冷却することができる。

【0011】

さらにまた、上記の紫外線照射装置は、前記冷却部を形成する前記筐体の側壁に設けられた取っ手部をさらに備え、前記筐体の上壁における前記取っ手部が設けられた前記側壁の近傍に、第３吸気孔が形成されていてもよい。
この場合、第３吸気孔から供給された冷却風を、側壁に当てることができ、当該側壁に設けられた取っ手部を冷却することができる。これにより、取っ手部が把持できないほど高温になることを防止し、紫外線照射装置の持ち運びや移動等を適切に行えるようにすることができる。また、取っ手部が設けられた側壁も冷却することができるので、筐体の温度上昇を抑制し、熱膨張による筐体の撓みを防止することができる。

【0012】

また、上記の紫外線照射装置において、前記取っ手部は、少なくとも一部が、前記筐体の側壁から前記冷却部の内部に突出して設けられていてもよい。
この場合、第３吸気孔から供給された冷却風を、確実に取っ手部に当てることができ、当該取っ手部を効率良く冷却することができる。

【0013】

さらに、上記の紫外線照射装置は、前記筐体を複数備え、前記光源は、前記筐体の長手方向に沿って配置されており、前記筐体は、前記長手方向に平行な一対の幅広の側壁と、前記長手方向に対して垂直な一対の幅狭の側壁とを備え、前記幅広の側壁は、外面がフラット面であり、前記冷却風および前記排気風が通る孔が形成されておらず、複数の前記筐体は、前記幅広の側壁を対向配置させて並べて配置されていてもよい。
このように筐体を複数並べた紫外線照射装置であっても、ランプを適正に冷却するとともに、装置内部に設置された電装部品も適正に冷却し、かつ、電装部品のオゾンによる劣化を防止することができる。

【0014】

また、上記の紫外線照射装置において、前記幅狭の側壁は、前記筐体の上壁に対して回動可能に連結されていてもよい。
この場合、幅狭の側壁を開くことができるので、幅広な側壁を対向配置して筐体を複数並べた場合にも、容易に筐体内にアクセスすることができる。したがって、光源の交換等のメンテナンス作業を適切に容易に行うことができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、ランプを適正に冷却するとともに、装置内部に設置された電装部品も適正に冷却し、かつ、電装部品のオゾンによる劣化を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施形態における紫外線照射装置の外観図である。

【図2】紫外線照射装置の概略構成図である。

【図3】第１貫通孔および第２貫通孔を示す図である。

【図4】冷却部内部での冷却風の流れを概略的に示す図である。

【図5】第３吸気孔から供給された冷却風の流れを概略的に示す図である。

【図6】光源部内部での冷却風の流れを概略的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における紫外線照射装置１０の外観図である。本実施形態では、紫外線照射装置１０は、人が一人でも持ち運びできる程度に小型で軽量な装置である場合について説明する。
なお、以下の説明においては、図１のＸ方向を「幅方向」、図１のＹ方向を「長手方向」、図１のＺ方向を「高さ方向」という。

【0018】

図１に示すように、紫外線照射装置１０は、直方体状の筐体１１を備える。筐体１１は、長手方向に対して垂直な一対の幅狭の側壁１１ａと、上壁１１ｂと、長手方向に平行な一対の幅広な側壁１１ｃとを備える。例えば、紫外線照射装置１０の筐体１１の外形寸法（長さ×幅×高さ）は、５００ｍｍ～７５０ｍｍ×１６０ｍｍ×３６０ｍｍとすることができる。

【0019】

側壁１１ａには第１吸気孔２１が形成され、上壁１１ｂには第２吸気孔２２および第３吸気孔２３が形成されている。これら吸気孔２１～２３は、紫外線照射装置１０の内部に冷却風となる外気を取り込むための開口部であり、例えば複数本のスリットにより構成することができる。これら吸気孔２１～２３から取り込まれた冷却風は、筐体１１内部において規定された風路を通って紫外線照射装置１０の構成部品を冷却し、排気風として排気路３１から排気される。
側壁１１ａは、例えば上壁１１ｂに丁番１１ｄによって連結されていてもよい。つまり、側壁１１ａは、丁番１１ｄを中心に、上壁１１ｂに対してＸ軸回りに回動可能であってもよい。

【0020】

図２は、紫外線照射装置１０の概略構成図である。
この図２に示すように、筐体１１の側壁には、仕切板１４の両端部が固定されており、筐体１１内は、仕切板１４によって上下に区画されている。上下に区画された空間のうち、上側空間は冷却部１５ａ、下側空間は光源部１５ｂである。
冷却部１５ａには、排気風が流れる排気路３１の一部が形成されている。排気路３１は、例えば円筒形状であって、その軸方向が高さ方向に一致するように配置されている。排気路３１の上端部は、筐体１１の上壁１１ｂに設けられた開口部に挿通されて、上壁１１ｂから筐体１１外部（上方）へ突出している。

【0021】

また、排気路３１の下端は、冷却部１５ａに形成された排気室３２の上壁に接続されている。排気室３２は、底面が開口した直方体形状の筐体により形成されており、その４つの側壁が仕切板１４の上面に気密に接続されている。
排気路３１の内部と排気室３２の内部とは連通しており、排気路３１および排気室３２の内部と冷却部１５ａの内部とは連通していない、つまり、排気路３１および排気室３２の内部と冷却部１５ａの内部とは、それぞれ空間的に独立している。

【0022】

仕切板１４には、冷却部１５ａ内部と光源部１５ｂ内部とを連通する第１貫通孔１４ａが形成されている。図３に示すように、第１貫通孔１４ａは、紫外線照射装置１０の幅方向において排気室３２を挟んで両側に、長手方向に沿って形成されている。
また、仕切板１４には、図３に示すように、排気路３１内部（排気室３２内部）と光源部１５ｂ内部とを連通する第２貫通孔１４ｂが形成されている。この図３に示すように、第２貫通孔１４ｂは、仕切板１４の中央部に、長手方向に沿って形成されている。

【0023】

光源部１５ｂには、光源としてのランプ５１が配置されている。ランプ５１としては、特定の波長範囲の紫外線を放射するエキシマランプを用いることができる。このランプ５１は、例えばランプ中心軸に垂直な断面が扁平な矩形状の発光管を備えており、ランプ中心軸が紫外線照射装置１０の長手方向に一致するように配置されている。上記発光管は、例えば合成石英からなるガラス管とすることができる。
ランプ５１の長手方向の長さは、例えば３８５ｍｍ～６３５ｍｍとすることができる。また、ランプ５１への入力電力は、例えば、上記の３８５ｍｍのランプ５１の場合で約２５０Ｗ、６３５ｍｍのランプ５１の場合で４２０Ｗとすることができる。
図３に示すように、第２貫通孔１４ｂおよび排気路３１は、ランプ５１の直上に形成されている。

【0024】

また、光源部１５ｂには、筐体１１とランプ５１との間に、ランプ５１に沿って遮熱板５２が配置されていてもよい。遮熱板５２は、紫外線照射装置１０の幅方向において、ランプ５１を挟んで両側に配置することができる。例えば、遮熱板５２は、それぞれ仕切板１４の下面に固定されており、仕切板１４の下面から下方に連続する垂直面５２ａと、垂直面５２ａの下端部から幅方向内側に突出する水平面５２ｂと、を備える断面コの字状の板状部材であってよい。この場合、垂直面５２ａの幅方向内側の端部とランプ５１の幅方向両側面との間には、所定の隙間が形成される。
このように、遮熱板５２を設けることで、筐体１１にランプ５１からの熱が直接伝わらないようにすることができる。したがって、筐体１１の温度が過度に上昇することを防止することができる。

【0025】

第１貫通孔１４ａは、遮熱板５２に対して幅方向外側に形成されており、冷却部１５ａ内部と、光源部１５ｂ内部における遮熱板５２によって囲まれた空間の外部とを連通する。第２貫通孔１４ｂは、排気路３１内部（排気室３２内部）と、光源部１５ｂ内部における遮熱板５２によって囲まれた空間の内部とを連通する。

【0026】

図２に戻って、紫外線照射装置１０の冷却部１５ａ内部には、ランプ５１の点灯を確認するためのセンサ（フォトダイオード）４１と、ランプ５１を点灯させるための点灯電源（トランス）４２といった電装部品が配置されている。本実施形態における紫外線照射装置１０は、持ち運び可能な紫外線照射装置であるため、紫外線照射装置の点灯制御等に必要な各種電装部品を筐体内に収納する必要がある。

【0027】

センサ４１は、ランプ５１の点灯を確認するために、ランプ５１の近傍に配置される。具体的には、センサ４１は、仕切板１４に固定されている。仕切板１４には、窓部１４ｃ（図４参照）が設けられており、センサ４１は、ランプ５１から放射され窓部１４ｃを透過した光を検出するように構成されている。ここで、窓部１４ｃは、例えば、仕切板１４に形成された開口にランプ５１から放射される光に対して透明なガラスを配置し、Ｏリング等により封止した構成とすることができる。

【0028】

点灯電源４２は、冷却部１５ａの内部における上方に配置されている。また、点灯電源４２の近傍には、整流板（整流部材）４３が設けられている。整流板４３は、上壁１１ｂに設けられた第２吸気孔２２から供給された冷却風を点灯電源４２に導く板状部材であり、例えば、筒状もしくは図２に示すようにコの字状に形成されている。整流板４３は、例えば側壁１１ｃに固定することができる。また、点灯電源４２は、整流板４３の底面上に載置することができる。
点灯電源４２への電力供給は、電力ケーブル１３を介して行われる。

【0029】

第１吸気孔２１は、幅狭の側壁１１ａにおける仕切板１４の近傍に形成されている。また、第２吸気孔２２は、上壁１１ｂにおける点灯電源４２の上方に形成されている。つまり、第１吸気孔２１、第２吸気孔２２は、それぞれセンサ４１、点灯電源４２の近傍に形成されている。
さらに、第３吸気孔２３は、上壁１１ｂにおける側壁１１ｃの近傍、例えば、第１貫通孔１４ａに対向する位置に形成されている。ここで、第３吸気孔２３の開口面積（総面積）と第１貫通孔１４ａの開口面積（総面積）とは同等であってよい。

【0030】

紫外線照射装置１０は、不図示の排気ファンを備え、排気ファンを駆動することで、排気路３１、排気室３２および光源部１５ｂにおける遮熱板５２に囲まれた空間の内部を装置外部の圧力に対して負圧にすることができる。これにより、筐体１１に設けられた各吸気孔２１～２３から冷却部１５ａ内部に外気が取り込まれる。
図４に示すように、第１吸気孔２１から冷却部１５ａ内部に取り込まれた風６１は、第１吸気孔２１の近傍に配置されたセンサ４１に当たり、センサ４１を冷却する冷却風として作用する。このとき、仕切板１４は、第１吸気孔２１から冷却部１５ａの内部に供給された冷却風をセンサ４１に導く整流部材として機能する。センサ４１を冷却した風６２は、仕切板１４に形成された第１貫通孔１４ａを通って光源部１５ｂへ流れ込む。

【0031】

一方、第２吸気孔２２から冷却部１５ａ内部に取り込まれた風６３は、整流板４３によって流れの向きが変えられて、第２吸気孔２２の近傍に配置された点灯電源４２に当たる。このように、整流板４３は、第２吸気孔２２から冷却部１５ａの内部に供給された冷却風を、そのまま下方へ流さずに、点灯電源４２の方へ導くようにしている。点灯電源４２に当てられた風６４は、点灯電源４２を冷却する冷却風として作用し、点灯電源４２を冷却した風６５は、仕切板１４に形成された第１貫通孔１４ａを通って光源部１５ｂへ流れ込む。

【0032】

本実施形態では、第２吸気孔２２を、上壁１１ｂにおける長手方向中央寄りに形成している。これにより、第２吸気孔２２から冷却部１５ａの内部に供給された冷却風は、整流板４３の端部に当たり、整流板４３に沿って紫外線照射装置１０の長手方向外側に流れてから下方へ向かい、第１貫通孔１４ａから光源部１５ｂへ流れ込むことになる。したがって、整流板４３上に載置された点灯電源４２に適切に冷却風を当てることができる。

【0033】

さらに、第３吸気孔２３から冷却部１５ａ内部に取り込まれた風６６は、対向配置された第１貫通孔１４ａに向けて直線的に流れ、第１貫通孔１４ａを通って光源部１５ｂに流れ込む。
ここで、紫外線照射装置１０の幅広な側壁１１ｃには、紫外線照射装置１０を持ち運ぶ際に人が把持する取っ手部１２が設けられている。取っ手部１２は、図５に示すように、側壁１１ｃから冷却部１５ａ内部に突出して設けられている。第３吸気孔２３は、上壁１１ｂにおける側壁１１ｃの近傍に形成されているため、第３吸気孔２３から冷却部１５ａ内部に取り込まれた風６６は、側壁１１ｃに沿って流れ、第１貫通孔１４ａに流れ込むまでの過程で取っ手部１２に直接当たる。つまり、風６６は、取っ手部１２を冷却する冷却風として作用する。

【0034】

図６は、光源部１５ｂ内部での風の流れを概略的に示す図である。
第１貫通孔１４ａから光源部１５ｂに導入された風６６は、遮熱板５２の垂直面５２ａに沿って下方に流れ、ランプ５１と遮熱板５２の水平面５２ｂとの間に形成された隙間を通って、遮熱板５２によって囲まれた空間内に流れ込む。

【0035】

遮熱板５２によって囲まれた空間内に流れ込んだ風６７は、ランプ５１の周面に沿って流れ、ランプ５１を冷却する冷却風として作用する。ランプ５１を冷却した風６８は、第２貫通孔１４ｂに向かって流れ、第２貫通孔１４ｂを介して排気室３２に流れ込む。
本実施形態では、第２貫通孔１４ｂは、ランプ５１の直上に形成されている。そのため、ランプ５１と遮熱板５２との間の隙間から遮熱板５２によって囲まれた空間内に流れ込んだ風６７は、ランプ５１の表面をなぞるように流れ、第２貫通孔１４ｂを介して排気室３２に流れ込むことになる。したがって、ランプ５１を適切に冷却することができる。
排気室３２に導入された風６９は、排気風となって排気路３１を通って紫外線照射装置１０外部に排気される。

【0036】

このように、冷却部１５ａの内部に供給された冷却風は、冷却部１５ａの内部においてセンサ４１や点灯電源４２といった電装部品を冷却し、その後、光源部１５ｂの内部においてランプ５１を冷却する。つまり、電装部品を冷却した風でランプ５１を冷却する。電装部品の温度はランプ５１の温度に対して非常に低いため、電装部品を冷却した風は、ランプ５１を冷却する冷却風として問題なく利用することができる。

【0037】

以上説明したように、本実施形態における紫外線照射装置１０においては、冷却部１５ａを形成する筐体１１の壁に形成された吸気孔から冷却部１５ａの内部に供給された冷却風は、冷却部１５ａから第１貫通孔１４ａを通って光源部１５ｂへ導入され、光源部１５ｂから排気路３１を介して排気風として排気される。
このように、ランプ５１が配置された光源部１５ｂに冷却風を導入することができるので、ランプ５１を適正に冷却することができる。したがって、ランプ５１が備える発光管の紫外線透過率の低下を抑制することができ、所望の紫外線強度を得ることができる。

【0038】

また、センサ４１（フォトダイオード）や点灯電源４２（トランス）といった電装部品が配置された冷却部１５ａに、ランプ５１を冷却する前の冷却風を導入することができるので、電装部品を適切に冷却することができる。したがって、電装部品の高寿命化を図ることができる。
ここで、紫外線照射装置１０は、冷却部１５ａの内部に供給された冷却風を電装部品に導く整流部材（整流板４３、仕切板１４）を備えることができる。これにより、電装部品を効率良く冷却することができる。また、整流部材は、電装部品の近傍に配置された板状部材とすることができる。したがって、容易かつ適切に、電装部品を確実に通るような冷却風の流れを形成することができる。

【0039】

とりわけ、本実施形態における紫外線照射装置１０は、電装部品と、冷却部１５ａの内部に冷却風を取り込むための吸気孔２１および２２との位置関係を適切に規定することで、冷却部１５ａ内部で適切な冷却風の流れを形成し、冷却部１５ａ内に設置された電装部品を確実に冷却することができる。
具体的には、センサ４１の近傍に第１吸気孔２１を形成し、点灯電源４２の近傍に第２吸気孔２２を形成する。したがって、これら電装部品に、装置外部から取り込まれたフレッシュな冷却風を最初に当てることができ、電装部品を効率良く冷却することができる。
また、電装部品の中で最も高温になる点灯電源４２を囲むように筒状もしくは断面コの字状の整流板４３を設けることで、点灯電源４２を確実に冷却することができる。

【0040】

さらに、ランプ５１が配置された光源部１５ｂの内部を排気路３１に直接連通させるので、光源部１５ｂ内部においてランプ５１から放射される紫外線によって発生されたオゾンを適切に排気することができる。また、排気路３１の内部は、冷却部１５ａの内部に連通されていない構成とする。これにより、光源部１５ｂにおいて発生されたオゾンが冷却部１５ａに流れ込まない構成とすることができ、冷却部１５ａ内部に設置された電装部品がオゾンに曝されることを防止することができる。
このように、冷却風の流れでランプ５１よりも上流側の冷却部１５ａの内部に、電装部品を配置するので、電装部品がオゾンによって劣化することを確実に防止することができる。

【0041】

また、紫外線照射装置１０においては、ランプ５１の熱が直接筐体１１に伝わると、筐体１１の上側（冷却部１５ａ側）と下側（光源部１５ｂ側）とで温度差が生じ、熱膨張差により筐体１１が撓んでしまうおそれがある。筐体１１の下（ランプ５１の光照射側）には、被照射物（ワーク）が配置されるが、筐体１１とワークとの間のギャップは、一般に数ｍｍ程度である。そのため、筐体１１が撓むと、筐体１１がワークに接触するおそれがある。
本実施形態では、上壁１１ｂにおける幅広の側壁１１ｃの近傍に、第３吸気孔２３が形成されている。これにより、第３吸気孔２３から取り込まれた冷却風を側壁１１ｃに当て、側壁１１ｃを均一に冷却することができる。したがって、筐体１１の温度を均一化することができ、その結果、筐体１１の撓みを適切に抑制し、筐体１１のワークに対する位置を安定して維持することができる。

【0042】

さらに、側壁１１ｃには取っ手部１２が設けられているため、第３吸気孔２３から取り込まれた冷却風が、側壁１１ｃに当たることで、側壁１１ｃに設けられた取っ手部１２も冷却することができる。このとき、取っ手部１２が側壁１１ｃから冷却部１５ａの内部に突出していれば、第３吸気孔２３から取り込まれた冷却風を確実に取っ手部１２に当てることができ、取っ手部１２を効率良く冷却することができる。
これにより、取っ手部１２が把持できないほど高温になることを防止し、紫外線照射装置１０の持ち運びや移動等を適切に行えるようにすることができる。

【0043】

ここで、第３吸気孔２３を、第１貫通孔１４ａと対向配置すれば、第３吸気孔２３から取り込んだフレッシュな冷却風を、直線的に第１貫通孔１４ａに流し込むことができる。したがって、側壁１１ｃや取っ手部１２を適切に冷却することができる。また、光源部１５ｂ内部に配置されたランプ５１および遮熱板５２も適切に冷却することができる。遮熱板５２を冷却することで、遮熱板５２の遮熱機能を向上させることができる。
なお、本実施形態では、図２に示すように、第３吸気孔２３および第１貫通孔１４ａは、ランプ５１の長手方向における長さよりも短い範囲に形成されている場合について説明したが、ランプ５１の長手方向における長さと同等もしくはそれ以上の範囲に形成されていてもよい。

【0044】

なお、本実施形態の紫外線照射装置１０においては、冷却部１５ａへ冷却風を取り込むための吸気孔２１～２３の形状や数は、図１に示す形状や数に限定されない。吸気孔２１～２３の形状や数は、冷却風が冷却部１５ａに配置された電装部品を通って光源部１５ｂに導入され、排気路３１から排気されるという流れを形成可能であれば、任意に設定可能である。このとき、冷却風の流速は、例えば２ｍ／ｓ以上に設定する。

【0045】

また、本実施形態の紫外線照射装置１０は、複数の筐体１１を備えていてもよい。
筐体１１の幅広の側壁１１ｃに設けられた取っ手部１２は、筐体１１内部に突出した形状を有し、側壁１１ｃの外面はフラット面となっている。また、冷却風を取り込むための吸気孔や、排気風を排気するための排気孔は、側壁１１ｃには形成されていない。そこで、紫外線照射装置１０は、複数の筐体１１を、幅広の側壁１１ｃ同士を向かい合わせて並べて配置した構成としてもよい。これにより、大型の紫外線照射装置を構成することができる。

【0046】

さらに、本実施形態における紫外線照射装置１０は、幅狭の側壁１１ａが筐体１１の上壁１１ｂに対して丁番１１ｄによって連結されており、当該側壁１１ａは、この丁番１１ｄを中心に、上壁１１ｂに対してＸ軸回りに回動可能である。この幅狭の側壁１１ａが開くことにより、筐体１１内にアクセスできるようになる。したがって、幅広の側壁１１ｃ同士を向かい合わせて複数の紫外線照射装置１０を並べた場合であっても、筐体１１内のランプ５１を交換する等のメンテンナンス作業を容易に行うことができる。

【0047】

このように、本実施形態における紫外線照射装置１０によれば、筐体１１の内部において、オゾン排気と紫外線光源の冷却と電装部品の冷却とを兼ねた風の流れを形成することができる。そして、電装部品は、風の流れで紫外線光源よりも上流側に配置することができる。したがって、光源であるランプ５１を適正に冷却するとともに、筐体１１内の電装部品も確実に冷却し、かつ、電装部品がオゾンによって劣化しないようにすることができる。

【0048】

（変形例）
上記実施形態においては、筐体１１の内部が仕切板１４によって上下に区画されている場合について説明したが、区画方法は上記に限定されない。例えば、筐体１１の内部は、左右に区画されていてもよい。
また、上記実施形態においては、排気路３１が冷却部１５ａの内部に形成されている場合について説明したが、光源部１４ｂの内部に連通され、冷却部１５ａの内部に連通されていない構成であれば、冷却部１５ａの外部に形成されていてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１０…紫外線照射装置、１１…筐体、１２…取っ手部、１４…仕切板、１４ａ…第１貫通孔、１４ｂ…第２貫通孔、１５ａ…冷却部、１５ｂ…光源部、２１…第１吸気孔、２２…第２吸気孔、２３…第３吸気孔、３１…排気路、３２…排気室、４１…センサ、４２…点灯電源、４３…整流板、５１…ランプ、５２…遮熱板、５２ａ…垂直面、５２ｂ…水平面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】