ホーム > 特許ランキング > 株式会社ジェイテクト
知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-03-18
(45)【発行日】2024-03-27
(54)【発明の名称】静圧流体支持装置を備えた工作機械
(51)【国際特許分類】
B23Q 1/38 20060101AFI20240319BHJP
F16C 32/06 20060101ALI20240319BHJP
B23Q 17/12 20060101ALI20240319BHJP
B23B 19/02 20060101ALI20240319BHJP
B24B 41/04 20060101ALI20240319BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20240319BHJP
F16F 15/02 20060101ALI20240319BHJP
B23Q 15/12 20060101ALN20240319BHJP
【ＦＩ】
B23Q1/38 A
F16C32/06 C
B23Q17/12
B23B19/02 B
B24B41/04
B24B49/10
F16F15/02 A
B23Q15/12 A
【請求項の数】
15
(21)【出願番号】P 2020043197
(22)【出願日】2020-03-12
(65)【公開番号】P2021142611
(43)【公開日】2021-09-24
【審査請求日】2023-02-17
(73)【特許権者】
【識別番号】000001247
【氏名又は名称】株式会社ジェイテクト
(74)【代理人】
【識別番号】110000648
【氏名又は名称】弁理士法人あいち国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】110000604
【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】近藤 隆
(72)【発明者】
【氏名】杉本 太
(72)【発明者】
【氏名】大和 宏樹
(72)【発明者】
【氏名】金箱 孝則
(72)【発明者】
【氏名】荒川 直矢
【審査官】増山 慎也
(56)【参考文献】
【文献】米国特許第０４６４３５９２（ＵＳ，Ａ）
【文献】特開２００９－２５５５０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０００－５１５２３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１９７２７６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２３Ｑ １／３８
Ｂ２３Ｑ １５／１２
Ｂ２３Ｑ １７／１２
Ｂ２３Ｂ １９／０２
Ｂ２４Ｂ ４１／０４
Ｂ２４Ｂ ４９／１０
Ｆ１６Ｃ ３２／０６
Ｆ１６Ｆ １５／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、
前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適シフト時間導出部は、前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間と前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適シフト時間を導出する、工作機械。
【請求項2】
支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、
前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適シフト時間導出部は、
前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第１位相調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第１最適シフト時間を導出し、
その後、
前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第２位相調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第２最適シフト時間を導出し、
さらにその後、
前記仮第１最適シフト時間を前記第１位相調整波形データの初期シフト時間とし、前記仮第２最適シフト時間を前記第２位相調整波形データの初期シフト時間として用いて、
前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間と前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適シフト時間を導出する、工作機械。
【請求項3】
支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、
前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１、第２位相調整波形データのシフト時間を変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適シフト時間導出部は、前記第１最適シフト時間及び前記第２最適シフト時間の両方を一旦導出した後、前記第１、第２基準波形データの振幅が所定の閾値を下回るまで前記第１、第２最適シフト時間の導出を繰り返して最終調整を行う、工作機械。
【請求項4】
支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、
前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１、第２位相調整波形データのシフト時間を変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適波形データ生成部は、さらに、
前記第１、第２位相調整波形データに対してゲインを調整した第１、第２ゲイン調整波形データを生成するゲイン調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２ゲイン調整波形データの第１、第２最適ゲインを導出する最適ゲイン導出部と、
を備え、
前記最適ゲイン導出部は、前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量と前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながら前記第１、第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適ゲインを導出し、
前記最適波形データ記憶部は、前記第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共に前記第１、第２最適ゲインだけゲインを調整した前記第１、第２最適波形データを記憶する、工作機械。
【請求項5】
支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、
流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、
互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置と、
を備え、
前記静圧流体支持装置は、
前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、
前記流体を供給する流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、
前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置と、
を備え、
前記弁制御装置は、
前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、
前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、
前記第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部と、
前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部と、
を備え、
前記最適波形データ生成部は、
前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１、第２位相調整波形データのシフト時間を変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適波形データ生成部は、さらに、
前記第１、第２位相調整波形データに対してゲインを調整した第１、第２ゲイン調整波形データを生成するゲイン調整波形データ生成部と、
前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２ゲイン調整波形データの第１、第２最適ゲインを導出する最適ゲイン導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、前記第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２
最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共に前記第１、第２最適ゲインだけゲインを調整した前記第１、第２最適波形データを記憶し、
前記最適ゲイン導出部は、
前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第１ゲイン調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第１最適ゲインを導出し、
その後、
前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第２最適ゲインを導出し、
さらにその後、
前記仮第１最適ゲインを前記第１ゲイン調整波形データの初期ゲインとし、前記仮第２最適ゲインを前記第２ゲイン調整波形データの初期ゲインとして用いて、
前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量と前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながら前記第１、第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適ゲインを導出する、工作機械。
【請求項6】
前記最適シフト時間導出部は、前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間と前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適シフト時間を導出する、請求項３乃至５の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項7】
前記最適シフト時間導出部は、前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第１位相調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１最適シフト時間を導出し、
その後、
前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第２位相調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第２最適シフト時間を導出する、請求項３乃至５の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項8】
前記最適シフト時間導出部は、前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第１位相調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第１最適シフト時間を導出し、
その後、
前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間を順次変えながら前記第２位相調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第２最適シフト時間を導出し、
さらにその後、
前記仮第１最適シフト時間を前記第１位相調整波形データの初期シフト時間とし、前記仮第２最適シフト時間を前記第２位相調整波形データの初期シフト時間として用いて、
前記第１基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１位相調整波形データのシフト時間と前記第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第２位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適シフト時間を導出する、請求項３乃至５の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項9】
前記最適シフト時間導出部は、前記第１最適シフト時間及び前記第２最適シフト時間の両方を一旦導出した後、前記第１、第２基準波形データの振幅が所定の閾値を下回るまで前記第１、第２最適シフト時間の導出を繰り返して最終調整を行う、請求項１，２，４，５の何れか一項１乃至４の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項10】
前記最適波形データ生成部は、さらに、前記第１、第２位相調整波形データに対してゲインを調整した第１、第２ゲイン調整波形データを生成するゲイン調整波形データ生成部と、
前記第１、第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量を変えながら前記第１、第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２ゲイン調整波形データの第１、第２最適ゲインを導出する最適ゲイン導出部と、
を備え、
前記最適波形データ記憶部は、前記第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２
最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共に前記第１、第２最適ゲインだけゲインを調整した前記第１、第２最適波形データを記憶する、請求項１乃至３の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項11】
前記最適ゲイン導出部は、前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量と前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながら前記第１、第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適ゲインを導出する、請求項１０に記載の工作機械。
【請求項12】
前記最適ゲイン導出部は、前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第１ゲイン調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１最適ゲインを導出し、
その後、
前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第２最適ゲインを導出する、請求項１０に記載の工作機械。
【請求項13】
前記最適ゲイン導出部は、前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第１ゲイン調整波形データに基づいて前記第１可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第１最適ゲインを導出し、
その後、
前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながら前記第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な仮第２最適ゲインを導出し、
さらにその後、
前記仮第１最適ゲインを前記第１ゲイン調整波形データの初期ゲインとし、前記仮第２最適ゲインを前記第２ゲイン調整波形データの初期ゲインとして用いて、
前記第１位相調整波形データに対する前記第１ゲイン調整波形データのゲイン調整量と前記第２位相調整波形データに対する前記第２ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながら前記第１、第２ゲイン調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２最適ゲインを導出する、請求項１０に記載の工作機械。
【請求項14】
前記最適ゲイン導出部は、前記第１最適ゲイン及び前記第２最適ゲインの両方を一旦導出した後、前記第１、第２基準波形データの振幅が所定の閾値を下回るまで前記第１、第２最適ゲインの導出を繰り返して最終調整を行う、請求項４、５、１０乃至１３の何れか一項に記載の工作機械。
【請求項15】
前記支持体は、円筒形状の内周面に前記第１、第２静圧ポケットを含む複数の静圧ポケットを周方向に配置した軸受本体であり、前記移動体は、前記軸受本体の内周側に配置される回転可能な回転軸体であり、
前記静圧流体支持装置は、前記各静圧ポケットを介して前記回転軸体と前記軸受本体との間に充填される流体の圧力により前記回転軸体を回転可能に支持する、請求項１乃至１４の何れか一項に記載の工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、静圧流体支持装置を備えた工作機械に関する。
【背景技術】
【0002】
静圧流体支持装置を備えた工作機械が知られている。例えば、特許文献１には、対向する移動体及び固定体の面の一方に静圧ポケットを備えた静圧流体支持（軸受）装置が開示されている。特許文献１に記載の静圧流体支持装置では、ポンプによって加圧された流体が静圧ポケットに供給され、移動体と固定体との間に所定の厚さの流体膜が形成される。これにより、移動体が固定体に対して非接触に支持されて摩擦が低減され、移動体及び固定体が高精度に相対移動可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第５８７４１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
発明者は、移動体に加わる外乱負荷に応じて静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することにより、移動体の振動を抑制できることを見出した。しかしながら、静圧流体支持装置に設けられる可変絞り弁の絞り開度を変えてから静圧ポケットに供給される流体の流量が変化するまでに一定のタイムラグが生じる。つまり、移動体に加わる外乱負荷の変化に合わせて可変絞り弁の絞り開度を変えたとしても、静圧ポケットに供給される流体の流量の変化は、移動体に加わる外乱負荷の変化と一致せず、移動体の振動を十分に抑制することができない。また、移動体としての回転軸を円筒状の軸受本体で静圧流体支持する構成においては、回転軸の振動には上下左右の２軸方向の成分が含まれているため、２軸方向の振動を抑制する必要ある。
【0005】
本発明は、移動体に加わる外乱負荷に応じて静圧ポケットに供給する流体の流量を調整することにより、移動体の２軸方向の振動を抑制する静圧流体支持装置を備えた工作機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係る工作機械は、支持体と、前記支持体に対して移動可能な移動体と、流体を介して前記移動体を前記支持体に対して相対移動可能に支持する静圧流体支持装置と、互いに交差する第１軸、第２軸方向における前記移動体の振動を測定可能な第１、第２振動測定装置とを備える。前記静圧流体支持装置は、前記支持体及び前記移動体の一方に設けられ、前記支持体及び前記移動体の他方に対して前記第１軸、第２軸方向に対向する位置にそれぞれ配置された第１、第２静圧ポケットと、前記流体を供給する流体供給装置と、前記流体供給装置から供給された流体を前記第１、第２静圧ポケットへ案内する第１、第２流体案内流路と、前記第１、第２流体案内流路に設けられ、絞り開度を変えることで前記第１、第２静圧ポケットに供給される前記流体の流量を調整可能な能動型の第１、第２可変絞り弁と、前記第１、第２振動測定装置による測定結果に基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を能動的に調整する弁制御装置とを備える。
【0007】
前記弁制御装置は、前記第１、第２振動測定装置による測定結果である第１、第２測定波形データに基づいて得られた第１、第２基準波形データを取得する基準波形データ取得部と、前記第１、第２基準波形データに基づいて第１、第２最適波形データを生成する最適波形データ生成部と、前記第１、第２最適波形データに基づいて、前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整する絞り開度調整部とを備える。
【0008】
前記最適波形データ生成部は、前記第１、第２基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へシフトさせた第１、第２位相調整波形データを生成する位相調整波形データ生成部と、前記第１、第２基準波形データの逆位相の波形データに対する前記第１、第２位相調整波形データのシフト時間を変えながら前記第１、第２位相調整波形データに基づいて前記第１、第２可変絞り弁の前記絞り開度を調整した場合に、前記第１、第２基準波形データの振幅の変化を観察することにより、前記第１、第２基準波形データの振幅を小さくするのに最適な前記第１、第２位相調整波形データの第１、第２最適シフト時間を導出する最適シフト時間導出部と、前記最適シフト時間導出部は、第１、第２基準波形データに対して前記第１、第２最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データを記憶する最適波形データ記憶部とを備える。
【0009】
本発明に係る工作機械によれば、絞り開度調整部は、第１、第２基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。ここで、各可変絞り弁において絞り開度を調整した場合に、絞り開度を調整したタイミングと各静圧ポケットに供給される流体の流量が変更されるタイミングとは、時間にずれを生じる。つまり、各基準波形データそのものに基づいて絞り開度を調整した場合には、各静圧ポケットへ供給する流体の流量を、適切な量とすることができない。そこで、上述したように、絞り開度調整部によって調整する第１、第２絞り開度は、第１、第２基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせた第１、第２最適波形データに基づいて調整されている。よって、静圧流体支持装置は、移動体に加わる外乱負荷の変化に応じて第１、第２静圧ポケットに供給される流体の流量を適切に変化させることができる。その結果、当該工作機械は、移動体の２軸方向における振動を確実に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】工作機械における静圧流体支持に関する構成の全体を示す全体構成図である。
【図3】工作機械を構成する可変絞り弁の拡大断面図である。
【図4】工作機械を構成する弁制御装置の機能ブロック図である。
【図5】弁制御装置の最適波形データ生成部の機能ブロック図である。
【図6】変位波形データＤＷ、最適流量波形データＢＦＷ及び流量波形データＦＷを模式的に示したグラフである。
【図7】最適流量波形データＢＦＷ及び位相調整波形データＲＷ１を模式的に示したグラフである。
【図8】最適流量波形データＢＦＷ、位相調整波形データＲＷ１及び位相調整流量波形データＦＷ１を模式的に示したグラフである。
【図9】最適流量波形データＢＦＷ、位相調整波形データＲＷ１、ゲイン調整波形データＲＷ２、位相調整流量波形データＦＷ１及びゲイン調整流量波形データＦＷ２を模式的に示したグラフである。
【図11】基準波形データの振幅と、基準波形データに対する流量波形データの位相ずれ量との関係を示すグラフである。
【図12】基準波形データの振幅と、基準波形データに対する流量波形データのゲインの差との関係を示すグラフである。
【図13】弁制御装置により実行される絞り開度調整処理を示すフローチャートである。
【図14】絞り開度調整処理の中で実行される最適波形データ生成処理を示すフローチャートである。
【図15】最適波形データ生成処理の中で実行される第一実施形態に係る最適シフト時間導出処理を示すフローチャートである。
【図16】最適シフト時間導出処理の中で実行される最適シフト時間最終調整処理を示すフローチャートである。
【図17】最適シフト時間導出処理の中で実行される位相シフト調整ルーチンを示すフローチャートである。
【図18】第一実施形態に係る最適波形データ生成処理の中で実行される最適ゲイン導出処理を示すフローチャートである。
【図19】最適ゲイン導出処理の中で実行される最適ゲイン最終調整処理を示すフローチャートである。
【図20】最適ゲイン導出処理の中で実行されるゲイン調整ルーチンを示すフローチャートである。
【図21】第一実施形態に係る最適シフト時間の導出手順及び最適ゲインの導出手順の一例を示す模式図である。
【図22】制御実施前と制御実施後の静圧ポケットの供給流量と軸変位量とを示すグラフである。
【図23】最適波形データ生成処理の中で実行される第二実施形態に係る最適シフト時間導出処理を示すフローチャートである。
【図24】最適波形データ生成処理の中で実行される第二実施形態に係る最適ゲイン導出処理を示すフローチャートである。
【図25】第二実施形態に係る最適シフト時間導出処理の流れを示すフローチャートである。
【図26】第二実施形態に係る最適ゲイン導出処理の流れを示すフローチャートである。
【図27】第二実施形態に係る最適シフト時間の導出手順及び最適ゲインの導出手順の一例を示す模式図である。
【図28】最適波形データ生成処理の中で実行される第三実施形態に係る最適シフト時間導出処理を示すフローチャートである。
【図29】最適波形データ生成処理の中で実行される第三実施形態に係る最適ゲイン導出処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0011】
［第一実施形態］
（１．工作機械１の構成）
本発明を具体化した工作機械の実施形態について図面を参照しつつ説明する。本発明に係る工作機械１は、例えば、研削盤、マシニングセンタ等である。工作機械１は、例えば、研削盤の砥石軸等の回転軸体である移動体に対して、移動体の直径方向の荷重であるラジアル荷重を静圧流体支持するジャーナル静圧軸受装置を備える。特に、本例においては、静圧流体支持装置における静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することによって、移動体の振動を減衰させることができる。
（１．工作機械１の構成）
本発明を具体化した工作機械の実施形態について図面を参照しつつ説明する。本発明に係る工作機械１は、例えば、研削盤、マシニングセンタ等である。工作機械１は、例えば、研削盤の砥石軸等の回転軸体である移動体に対して、移動体の直径方向の荷重であるラジアル荷重を静圧流体支持するジャーナル静圧軸受装置を備える。特に、本例においては、静圧流体支持装置における静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することによって、移動体の振動を減衰させることができる。
【0012】
工作機械１の構成について、図１、図２を参照して説明する。ただし、図１、図２には、工作機械１における静圧流体支持に関する構成のみを図示する。工作機械１は、円筒状の軸受本体である支持体２と、回転軸体である移動体３と、静圧流体支持装置１００とを主に備える。静圧流体支持装置１００は、流体Ｆを介して移動体３を支持体２に対して回転可能（移動可能）に支持する装置である。なお、図１、図２に示す矢印は、流体Ｆが流れる方向を示す。
【0013】
（２．静圧流体支持装置１００の詳細構成）
静圧流体支持装置１００の詳細構成について、図１、図２を参照しつつ説明する。図１に示すように、静圧流体支持装置１００は、４つの静圧ポケット１０－１～１０－４と、流体供給装置２０と、流体案内流路３０と、能動型の可変絞り弁４０－１，４０－４と、固定絞りＮＺと、弁制御装置５０とを備える。
静圧流体支持装置１００の詳細構成について、図１、図２を参照しつつ説明する。図１に示すように、静圧流体支持装置１００は、４つの静圧ポケット１０－１～１０－４と、流体供給装置２０と、流体案内流路３０と、能動型の可変絞り弁４０－１，４０－４と、固定絞りＮＺと、弁制御装置５０とを備える。
【0014】
静圧ポケット１０－１～１０－４は、支持体２に設けられ、移動体３と対向する位置に配置される。本例においては、静圧ポケット１０－１～１０－４は、支持体２の内周に移動体３と対向する面に配置される。静圧ポケット１０－１～１０－４は、支持体２の内周面に９０度間隔で配置される。具体的には、静圧ポケット１０－１は、支持体２の内周面上側に、静圧ポケット１０－２は、支持体２の内周面左側に、静圧ポケット１０－３は、支持体２の内周面下側に、静圧ポケット１０－４は、支持体２の内周面右側にそれぞれ配置される。つまり、静圧ポケット１０－１と１０－３とは、上下方向（Ｙ軸方向）に対向配置され、静圧ポケット１０－２と１０－４とは、左右方向（Ｘ軸方向）に対向配置される。流体供給装置２０は、流体Ｆを供給する装置であって、例えば油圧ポンプである。流体Ｆは、例えば、潤滑油である。尚、Ｙ軸が本発明の第１軸に、Ｘ軸方向が第２軸に相当する。
【0015】
流体案内流路３０は、流体供給装置２０から供給された流体Ｆを静圧ポケット１０－１～１０－４に案内する流路である。つまり、流体供給装置２０から供給された流体Ｆは、流体案内流路３０を介して静圧ポケット１０－１～１０－４に流入する。そして、静圧ポケット１０－１～１０－４に流入した流体Ｆは、支持体２と移動体３との間を通過する。このように、静圧流体支持装置１００は、支持体２と移動体３との間に流体Ｆを送りこむことにより、支持体２に対して移動体３を低摩擦で相対移動可能に支持する。
【0016】
可変絞り弁４０－１，４０－４は、静圧ポケット１０－１，１０－４へ通じる流体案内流路３０の途中に設けられる。可変絞り弁４０－１，４０－４は、絞り開度を変えることにより、静圧ポケット１０－１，１０－４へ供給する流体Ｆの流量を能動的に調整する。弁制御装置５０は、可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整するための制御装置である。
【0017】
固定絞りＮＺは、静圧ポケット１０－２，１０－３へ通じる流体案内流路３０の途中にそれぞれ設けられる。各固定絞りＮＺは、絞り開度が固定され、静圧ポケット１０－２，１０－３へ一定流量の流体Ｆを供給する。
【0018】
（３．可変絞り弁４０の構成）
可変絞り弁４０－１，４０－４の構成について、図３を参照して説明する。尚、可変絞り弁４０－１，４０－４は同一構成であるので、本明細書において両者を区別しないときは枝番を付さずに可変絞り弁４０と表記することとする。可変絞り弁４０は、絞り開度を能動的に調整可能とすることにより、静圧ポケット１０（１０－１，１０－４）へ供給する流体Ｆの流量を能動的に調整することができる。可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプ、スプール弁による可変絞りタイプ等が存在する。本例において、可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプを例にあげる。
可変絞り弁４０－１，４０－４の構成について、図３を参照して説明する。尚、可変絞り弁４０－１，４０－４は同一構成であるので、本明細書において両者を区別しないときは枝番を付さずに可変絞り弁４０と表記することとする。可変絞り弁４０は、絞り開度を能動的に調整可能とすることにより、静圧ポケット１０（１０－１，１０－４）へ供給する流体Ｆの流量を能動的に調整することができる。可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプ、スプール弁による可変絞りタイプ等が存在する。本例において、可変絞り弁４０は、ダイアフラムによる可変絞りタイプを例にあげる。
【0019】
可変絞り弁４０は、図３に示すように、ハウジング４１と、ダイアフラム４２と、連通通路４３と、アクチュエータ４４とを主に備える。ハウジング４１は、流体案内流路３０によって流体供給装置２０から静圧ポケット１０へ案内される流体Ｆが流入出する円筒状の部材である。ハウジング４１には、流入通路４５及び流出通路４６が形成される。流入通路４５は、流体供給装置２０から延びる流体案内流路３０とハウジング４１の内部とに連通する通路であり、流体供給装置２０から供給された流体Ｆは、流入通路４５を通過してハウジング４１の内部に流入する。流出通路４６は、静圧ポケット１０から延びる流体案内流路３０とハウジング４１の内部とに連通する通路であり、静圧ポケット１０には、流出通路４６を通過してハウジング４１の内部から流出した流体Ｆが流入する。
【0020】
流入通路４５を通過した流体Ｆがハウジング４１の内部に流入する際の入口となる流入口４５ａと、ハウジング４１の内部の流体Ｆが流出通路４６に流出する際の出口となる流出口４６ａとは、ハウジング４１の内部において対向する位置に配置される。さらに、ハウジング４１には、流出口４６ａが形成される部位であって、流入口４５ａが形成される部位に向けて突出する弁座４７が形成される。
【0021】
ダイアフラム４２は、鋼材等からなる弾性部材である。ダイアフラム４２は、例えば円形に形成され、ダイアフラム４２の周縁部分は、ハウジング４１に保持される。また、ダイアフラム４２は、ハウジング４１の内部を区画する。具体的に、ハウジング４１は、ダイアフラム４２によって、流入通路４５に連通する空間である流体貯留室４８と、流出通路４６に連通する空間である流体供給室４９とに区画される。ダイアフラム４２は、弁座４７と所定の隙間Ｄを隔てて対向し、隙間Ｄにより絞りを形成する。流体供給室４９に流入した流体は、絞りとしての隙間Ｄを通過して流出口４６ａから流出する。つまり、隙間Ｄの寸法は、可変絞り弁４０における絞り開度に相当する。
【0022】
連通通路４３は、流体貯留室４８と流体供給室４９とに連通する通路であり、流体貯留室４８に流入した流体は、連通通路４３を通過することで流体供給室４９に流入する。このように、可変絞り弁４０において、流入通路４５、流体貯留室４８、連通通路４３、流体供給室４９及び流出通路４６は、流体案内流路３０の一部を構成する。
【0023】
アクチュエータ４４は、流体貯留室４８に収容されており、例えば、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）やソレノイドにより構成される。アクチュエータ４４は、弁制御装置５０により駆動制御される。アクチュエータ４４は、固定子４４ａと、可動子４４ｂとを備える。固定子４４ａは、ハウジング４１のうち、流体貯留室４８を形成する部位の内周面に固定される円環状の部材である。可動子４４ｂは、固定子４４ａの径方向内側に配置される。
【0024】
また、ボイスコイルモータを構成するアクチュエータ４４においては、固定子４４ａの内周側には、環状の永久磁石が固定され、可動子４４ｂには、コイルボビンと、そのコイルボビンに巻回されるボイスコイルとが設けられる。アクチュエータ４４は、ボイスコイルに電流を流すことにより、固定子４４ａに対して可動子４４ｂを流入口４５ａ側又は流出口４６ａ側へ変位させる。可動子４４ｂは、ダイアフラム４２に固定されており、アクチュエータ４４は、可動子４４ｂを変位させることでダイアフラム４２を弾性変形させることによって、隙間Ｄの寸法、即ち、絞り開度を変える。このように、可変絞り弁４０は、アクチュエータ４４を駆動して絞り開度を変えることにより、静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を能動的に調整する。
【0025】
ここで、工作機械１が研削盤であり、移動体３が、砥石車を支持する砥石台である場合において、砥石台には、種々の振動が生じる。例えば、研削盤を用いた研削加工において、砥石車を支持する砥石台には、研削抵抗の変化に起因する振動や砥石車の回転振れに起因する振動等が発生する。そこで、工作機械１は、移動体３の振動を測定可能な振動測定装置４（図１参照）を備え、弁制御装置５０が、振動測定装置４から得られた測定結果に基づいて絞り開度を変えることにより、移動体３の振動を減衰させる。
【0026】
本例において、工作機械１は、振動測定装置４として、静圧ポケット１０が流体Ｆから受ける圧力を測定する圧力センサを備える。移動体３が振動すると、移動体３の振動が静圧ポケット１０における流体Ｆに伝達される。つまり、静圧ポケット１０が流体Ｆから受ける圧力は、流体Ｆが移動体３から受ける負荷により変化し、移動体３の振動による変位に連動して変化する。そこで、工作機械１は、圧力センサによる検出結果を移動体３の振動の測定結果として利用する。これにより、工作機械１は、移動体３の振動を確実に測定することができる。
【0027】
（４．弁制御装置５０の構成）
次に、図４を参照して、弁制御装置５０の構成を説明する。弁制御装置５０は、振動測定装置４－１，４－４による測定結果に基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を能動的に調整する。本例においては、弁制御装置５０は、図４に示すように、絞り開度調整部６１を備える。絞り開度調整部６１は、可変絞り弁４０－１，４０－４の各アクチュエータ４４を駆動制御することにより、可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度（図２に示す隙間Ｄ）を能動的に調整する。
次に、図４を参照して、弁制御装置５０の構成を説明する。弁制御装置５０は、振動測定装置４－１，４－４による測定結果に基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を能動的に調整する。本例においては、弁制御装置５０は、図４に示すように、絞り開度調整部６１を備える。絞り開度調整部６１は、可変絞り弁４０－１，４０－４の各アクチュエータ４４を駆動制御することにより、可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度（図２に示す隙間Ｄ）を能動的に調整する。
【0028】
弁制御装置５０は、さらに、最適波形データ記憶部６２を備える。最適波形データ記憶部６２は、絞り開度調整部６１が可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整する際に用いるＸ軸最適波形データ及びＹ軸最適波形データを記憶する。Ｘ軸最適波形データは、可変絞り弁４０－４の絞り開度に関する波形データであり、可変絞り弁４０－４の絞り開度は、可変絞り弁４０－４の最適波形データに対応するように能動的に変化することになる。一方、Ｙ軸最適波形データは、可変絞り弁４０－１の絞り開度に関する波形データであり、可変絞り弁４０－１の絞り開度は、可変絞り弁４０－１の最適波形データに対応するように能動的に変化することになる。そして、弁制御装置５０は、Ｙ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて絞り開度調整部６１による絞り開度の調整を行う。
【0029】
ここで、移動体３は、移動体３に加わる外乱負荷が周期的に変化することで振動する。このとき、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷が大きくなるタイミングで静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を増やし、移動体３に加わる負荷が小さくなるタイミングで静圧ポケット１０に供給する流体Ｆの流量を減らす。このように、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷が流体Ｆから移動体３に加える圧力で相殺されるように絞り開度を調整することにより、移動体３に加わる外乱負荷に起因する移動体３の振動を抑制する。
【0030】
この点に関して、可変絞り弁４０の絞り開度を変えてから静圧ポケット１０に供給される流体の流量が変化するまでの間に、一定のタイムラグが生じる。従って、移動体３に加わる外乱負荷が増減するタイミングに一致するように絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆが増減するタイミングは、移動体３に加わる外乱負荷が増減するタイミングと一致せず、移動体３の振動を十分に抑制できない。そこで、弁制御装置５０は、当該タイムラグを考慮して生成された最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。つまり、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷の増減と静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの増減とが同期するように絞り開度を調整することで、移動体３の振動を確実に抑制することができる。
【0031】
弁制御装置５０は、さらに、基準波形データ取得部７０を備える。基準波形データ取得部７０は、振動測定装置４－１，４－４による測定結果である測定波形データに基づいて得られた基準波形データを取得する。基準波形データは、振動測定装置４－１，４－４による測定結果として得られる測定波形データそのものである場合を例にあげる。つまり、基準波形データは、測定波形データに一致する。なお、後述するが、基準波形データは、測定波形データに対して所定の処理を施したデータとすることもできるため、測定波形データとは区別した表現とする。
【0032】
弁制御装置５０は、さらに、判定部８０を備える。判定部８０は、基準波形データの振幅が予め設定された閾値を超えるか否かを判定する。ここでは、判定部８０は、最適波形データを更新するか否かの判定を行う。つまり、基準波形データの振幅が閾値以下であれば、最適波形データ記憶部６２に既に記憶されている最適波形データに基づいて絞り開度調整部６１による絞り開度の調整が行われる。一方、弁制御装置５０は、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合、新たな最適波形データを生成し、新たに生成された最適波形データを最適波形データ記憶部６２に記憶する。そして、絞り開度調整部６１による絞り開度の調整は、新たに生成された最適波形データに基づいて行われる。
【0033】
弁制御装置５０は、さらに、最適波形データ生成部９０を備える。最適波形データ生成部９０は、基準波形データ取得部７０により取得されたＹ軸、Ｘ軸基準波形データに基づいて、Ｙ軸、Ｘ軸最適波形データを生成する。最適波形データ生成部９０は、最適波形データの初期設定時、及び、上述した判定部８０により最適波形データを更新すべきと判定された場合に、最適波形データの生成を行う。
【0034】
最適波形データを生成する過程において、最適波形データ生成部９０は、仮の最適波形データを作成し、当該仮の最適波形データに基づいて絞り開度を調整したときの移動体３の振動を測定することを繰り返しながら、移動体３の振動が最も小さくなる最適波形データを導出する。そして、最適波形データ生成部９０は、導出された最適波形データを最適波形データとして最適波形データ記憶部６２に記憶する。従って、絞り開度調整部６１は、最適波形データ生成部９０により生成された最適波形データに基づいて絞り開度を調整することになる。
【0035】
（５．最適波形データ生成部９０の詳細構成）
最適波形データ生成部９０の詳細構成について、図５を参照して説明する。図５に示すように、最適波形データ生成部９０は、位相調整波形データ生成部９１を備える。位相調整波形データ生成部９１は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へ逐次シフトさせたＹ軸、Ｘ軸位相調整波形データを生成する。つまり、Ｙ軸、Ｘ軸位相調整波形データは、絞り開度を増減させるタイミングを、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データのタイミングからずらした波形データとなる。
最適波形データ生成部９０の詳細構成について、図５を参照して説明する。図５に示すように、最適波形データ生成部９０は、位相調整波形データ生成部９１を備える。位相調整波形データ生成部９１は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データとは逆位相の波形データを時間軸方向へ逐次シフトさせたＹ軸、Ｘ軸位相調整波形データを生成する。つまり、Ｙ軸、Ｘ軸位相調整波形データは、絞り開度を増減させるタイミングを、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データのタイミングからずらした波形データとなる。
【0036】
位相調整波形データ生成部９１は、最初にＹ軸、Ｘ軸位相調整波形データを生成するにあたり、基準波形データを逆位相にした波形データを初期シフト時間Ｓ０だけ時間軸方向へシフトした波形データＲＷ０を生成する。初期シフト時間Ｓ０は、予め設定されたシフト時間であり、初期シフト時間記憶部９５に記憶される。ここで、初期シフト時間Ｓ０は、０以外に設定されることが望ましい。例えば、初期シフト時間Ｓ０は、最適なシフト時間の予測値とするとよい。これにより、初期シフト時間Ｓ０が０である場合と比べて、最適なシフト時間の導出が短時間にできる。
【0037】
ここで、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対するゲインを１とした波形データ、即ち基準波形データと同一の振幅とした波形データを、位相調整波形データとしてもよい。ただし、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対するゲインを１より大きな一定値とした波形データを、位相調整波形データとするとよい。ここで、位相調整波形データにおいて調整される初期ゲインＧ０は、初期ゲイン記憶部９６に記憶される。
【0038】
最適波形データ生成部９０は、さらに、最適シフト時間導出部９２を備える。最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの逆位相の波形データに対する位相調整波形データのシフト時間として、基準波形データの振幅を小さくするのに最適なシフト時間（以下「最適シフト時間ＢＰＳ」と称す）を導出する。ここで、シフト時間が０である場合とは、位相調整波形データが、基準波形データの逆位相の波形データに一致する場合に相当する。
【0039】
最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの逆位相の波形データに対する位相調整波形データのシフト時間を逐次変えながら位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整した場合に、基準波形データの振幅の変化を観察する。その過程で、最適シフト時間導出部９２は、基準波形データの振幅を最も小さくするのに最適な位相調整波形データＲＷ１を導出し、当該位相調整波形データＲＷ１のシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳとして導出する。そして、最適シフト時間導出部９２は、最適波形データ記憶部６２に最適シフト時間ＢＰＳを記憶させる。なお、最適シフト時間ＢＰＳの導出手順については、後述する。
【0040】
最適波形データ生成部９０は、さらに、ゲイン調整波形データ生成部９３を備える。ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データに対してゲインを逐次調整したゲイン調整波形データを生成する。ゲイン調整波形データは、基準波形データの振幅が更に小さくなるように、位相調整波形データのゲインを調整した波形データである。
【0041】
最適波形データ生成部９０は、さらに、最適ゲイン導出部９４を備える。最適ゲイン導出部９４は、基準波形データの振幅を小さくするのに最適なゲイン調整波形データのゲイン（以下「最適ゲインＢＧ」と称す）を導出する。具体的に、最適ゲイン導出部９４は、位相調整波形データに対するゲイン調整波形データのゲイン調整量を逐次変えながら絞り開度を調整した場合に、基準波形データの振幅の変化を観察する。
【0042】
その過程で、最適ゲイン導出部９４は、基準波形データの振幅を最も小さくするのに最適なゲイン調整波形データＲＷ２を導出し、当該ゲイン調整波形データＲＷ２の基準波形データに対するゲインを最適ゲインＢＧとして導出する。そして、最適ゲイン導出部９４は、最適波形データ記憶部６２に最適ゲインＢＧを記憶させる。なお、最適ゲインＢＧの導出手順については、後述する。
【0043】
つまり、最適波形データ記憶部６２は、基準波形データに対して最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向にシフトさせると共に最適ゲインＢＧだけゲインを調整した最適波形データを記憶する。
【0044】
（６．最適波形データの導出手順の概要）
最適波形データの導出手順の概要について、図６－図１０を参照して説明する。図６には、移動体３に加わる負荷に伴う移動体３の変位の時系列変化を模式的に表した変位波形データＤＷ、及び、その変位波形データＤＷを逆位相にした最適流量波形データＢＦＷが図示されている。即ち、静圧ポケット１０に供給される流量が最適流量波形データＢＦＷに沿って増減することができるように、弁制御装置５０が絞り開度を調整することで、移動体３の振動を効果的に抑制することができる。
最適波形データの導出手順の概要について、図６－図１０を参照して説明する。図６には、移動体３に加わる負荷に伴う移動体３の変位の時系列変化を模式的に表した変位波形データＤＷ、及び、その変位波形データＤＷを逆位相にした最適流量波形データＢＦＷが図示されている。即ち、静圧ポケット１０に供給される流量が最適流量波形データＢＦＷに沿って増減することができるように、弁制御装置５０が絞り開度を調整することで、移動体３の振動を効果的に抑制することができる。
【0045】
ここで、図６に示すように、可変絞り弁４０の絞り開度の変更が静圧ポケット１０に供給される流体の流量の変化に反映されるまでには、一定のタイムラグＴＬが生じる。仮に、絞り開度調整部６１が、最適流量波形データＢＦＷをそのまま利用して絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示す流量波形データＦＷは、最適流量波形データＢＦＷに対してタイムラグＴＬだけ時間軸方向にシフトする。
【0046】
そこで、最適シフト時間導出部９２は、図７に示すように、流量波形データＦＷの位相を最適流量波形データＢＦＷの位相に近似させることができる位相調整波形データＲＷ１を導出する。位相調整波形データＲＷ１は、最適流量波形データＢＦＷの位相を最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向へシフトさせた波形データである。ただし、図７における位相調整波形データＲＷ１は、最適流量波形データＢＦＷに対してゲインを１より大きくしている。このようにして、最適シフト時間導出部９２は、最適シフト時間ＢＰＳを導出する。
【0047】
最適流量波形データＢＦＷを最適シフト時間ＢＰＳだけ時間軸方向にシフトさせた位相調整波形データＲＷ１により絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示す位相調整流量波形データＦＷ１は、図８に示すようになる。つまり、最適流量波形データＢＦＷと位相調整流量波形データＦＷ１とは、位相は一致するが、振幅が異なる。
【0048】
そこで、最適ゲイン導出部９４は、図９に示すように、位相調整流量波形データＦＷ１の振幅が最適流量波形データＢＦＷの振幅に近似させることができるゲイン調整波形データＲＷ２を導出する。ゲイン調整波形データＲＷ２は、最適シフト時間ＢＰＳだけシフトさせた位相調整波形データＲＷ１のゲインを最適ゲインＢＧだけゲイン調整した波形データである。ここで、ゲイン調整波形データＲＷ２により絞り開度を調整した場合、静圧ポケット１０に供給される流体Ｆの流量の時系列変化を示すゲイン調整流量波形データＦＷ２は、最適流量波形データＢＦＷに一致する。このようにして、最適ゲイン導出部９４は、最適ゲインＢＧを導出する。
【0049】
つまり、図１０に示すように、最適波形データ生成部９０は、最初に、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が小さくなるように、位相調整波形データのシフト時間を調整する。そして、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が最も小さくなる最適シフト時間ＢＰＳを導出する。その後、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が小さくなるようにゲイン調整波形データのゲインを調整する。そして、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅及び移動体３の変位が最も小さくなる最適ゲインＢＧを導出する。これにより、最適波形データ生成部９０は、流量波形データＦＷのゲインを最適流量波形データＢＦＷのゲインに近似させるための最適波形データを生成することができる。
【0050】
（７．最適な位相調整波形データＲＷ１の導出手順の例）
次に、最適な位相調整波形データＲＷ１の導出手順の一例について、図１０及び図１１を参照して説明する。位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データ取得部７０が取得した基準波形データに対して、時間進み方向と時間遅れ方向の一方へ初期シフト時間Ｓ０（図１０に示す）だけシフトした位相調整波形データＲＷ０を生成する。
次に、最適な位相調整波形データＲＷ１の導出手順の一例について、図１０及び図１１を参照して説明する。位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データ取得部７０が取得した基準波形データに対して、時間進み方向と時間遅れ方向の一方へ初期シフト時間Ｓ０（図１０に示す）だけシフトした位相調整波形データＲＷ０を生成する。
【0051】
そして、絞り開度調整部６１が、当該位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整すると、静圧ポケット１０へ供給される流体の流量が変化する。その結果、移動体３の振動態様が変化する。再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「位相調整前振幅ａｍ１１」とする。
【0052】
次に、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データを時間進み方向と時間遅れ方向の一方へ初期シフト時間Ｓ０よりも所定時間ΔＳだけさらにシフトした位相調整波形データを生成する。絞り開度調整部６１が、当該位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。そして、再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「位相調整後振幅ａｍ１２」とする。
【0053】
次に、最適シフト時間導出部９２が、位相調整前振幅ａｍ１１と位相調整後振幅ａｍ１２とを比較する。そして、上記処理を繰り返す。ここで、位相調整前振幅ａｍ１１は、新たに時間シフトさせる前の位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。位相調整後振幅ａｍ１２は、新たに時間シフトさせた位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。
【0054】
ここで、図１１に示すように、初期の位相調整波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの位相調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの位相ずれ量をＰ０とする。そして、位相調整波形データのシフト時間を逐次調整すると、図１１に示すように変化する。つまり、位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの位相調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの位相ずれ量が０になるときが、基準波形データの振幅が最も小さくなるときとなる。
【0055】
そこで、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データとは逆位相の波形データを時間進み方向と時間遅れ方向の何れか一方へ逐次シフトさせた位相調整波形データを生成する。そして、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、最小振幅となる領域を通過したと判断し、位相調整前振幅ａｍ１１が、最小振幅となる領域に最も近づいたと判断する。そこで、位相調整前振幅ａｍ１１に対応する位相調整波形データ（直前の位相調整波形データ）を、最適な位相調整波形データＲＷ１とし、位相調整波形データＲＷ１におけるシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳとして導出する。
【0056】
ここで、図１０に示すように、初期シフト時間Ｓ０は、０以外に設定されることが望ましい。例えば、初期シフト時間Ｓ０は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さくなるようなシフト時間であることが望ましい。これにより、初期シフト時間が０である場合と比べて、最適シフト時間ＢＰＳの導出が短時間にできる。
【0057】
また、図１０に示すように、初期ゲインＧ０は、１より大きな一定値に設定されることが望ましい。これにより、位相調整前振幅ａｍ１１と位相調整後振幅ａｍ１２の差を大きくすることができるため、比較判定が容易となる。
【0058】
（８．最適なゲイン調整波形データＲＷ２の導出手順の例）
最適なゲイン調整波形データＲＷ２の導出手順の一例について、図１０及び図１２を参照して説明する。ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データ生成部９１が生成した最適な位相調整波形データＲＷ１に対して、ゲインを調整したゲイン調整波形データを生成する。ゲイン調整波形データのゲインは、位相調整波形データに対して、ゲインを大きくする方向と小さくする方向の何れか一方へ調整する。例えば、図１０に示すように、ゲイン調整波形データのゲインは、初期ゲインＧ０よりも大きくする方向に調整する。
最適なゲイン調整波形データＲＷ２の導出手順の一例について、図１０及び図１２を参照して説明する。ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データ生成部９１が生成した最適な位相調整波形データＲＷ１に対して、ゲインを調整したゲイン調整波形データを生成する。ゲイン調整波形データのゲインは、位相調整波形データに対して、ゲインを大きくする方向と小さくする方向の何れか一方へ調整する。例えば、図１０に示すように、ゲイン調整波形データのゲインは、初期ゲインＧ０よりも大きくする方向に調整する。
【0059】
そして、絞り開度調整部６１が、当該ゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整すると、静圧ポケット１０へ供給される流体の流量が変化する。その結果、移動体３の振動態様が変化する。再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「ゲイン調整前振幅ａｍ２１」とする。
【0060】
次に、ゲイン調整波形データ生成部９３は、ゲインを所定量だけ調整したゲイン調整波形データを生成する。絞り開度調整部６１が、当該ゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。そして、再び、基準波形データ取得部７０が、振動測定装置４による測定結果である測定波形データに基づいて、基準波形データを取得する。このときの基準波形データの振幅を「ゲイン調整後振幅ａｍ２２」とする。
【0061】
次に、最適ゲイン導出部９４が、ゲイン調整前振幅ａｍ２１とゲイン調整後振幅ａｍ２２とを比較する。そして、上記処理を繰り返す。ここで、ゲイン調整前振幅ａｍ２１は、新たにゲインを調整する前のゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。ゲイン調整後振幅ａｍ２２は、新たにゲインを調整したゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データの振幅となる。
【0062】
ここで、図１２に示すように、最適な位相調整波形データＲＷ１に基づいて絞り開度を調整したときの位相調整流量波形データと、最適流量波形データＢＦＷとの振幅の比をＱ０とする。そして、ゲイン調整波形データのゲインを逐次調整すると、図１２に示すように変化する。つまり、ゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときのゲイン調整流量波形データＦＷ２と、最適流量波形データＢＦＷとの振幅の比が１になるときが、基準波形データの振幅が最も小さくなるときとなる。
【0063】
そこで、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データに対して逐次ゲインを調整したゲイン調整波形データを生成する。そして、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、最小振幅となる領域を通過したと判断し、ゲイン調整前振幅ａｍ２１が、最小振幅となる領域に最も近づいたと判断する。そこで、ゲイン調整前振幅ａｍ２１に対応するゲイン調整波形データ（直前のゲイン調整波形データ）を、最適なゲイン調整波形データＲＷ２とし、ゲイン調整波形データＲＷ２におけるゲインを最適ゲインＢＧとして導出する。
【0064】
（９．絞り開度調整処理）
次に、図１３に示すフローチャートを参照しながら、弁制御装置５０により実行される絞り開度調整処理について説明する。図１２に示すように、基準波形データ取得部７０は、絞り開度調整処理で行う最初の処理として、基準波形データを取得する（Ｓ１）。続いて、判定部８０は、基準波形データの振幅が、予め設定された閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ２）。その結果、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、最適波形データ生成部９０は、後述する最適波形データ生成処理（Ｓ３）を実行する。一方、基準波形データの振幅が閾値以下であれば（Ｓ２：Ｎｏ）、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ記憶部６２に記憶された最適シフト時間ＢＰＳ及び最適ゲインＢＧを用いて最適波形データを生成する（Ｓ４）。その後、絞り開度調整部６１は、最適波形データに基づいて絞り開度を調整する（Ｓ５）。
次に、図１３に示すフローチャートを参照しながら、弁制御装置５０により実行される絞り開度調整処理について説明する。図１２に示すように、基準波形データ取得部７０は、絞り開度調整処理で行う最初の処理として、基準波形データを取得する（Ｓ１）。続いて、判定部８０は、基準波形データの振幅が、予め設定された閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ２）。その結果、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、最適波形データ生成部９０は、後述する最適波形データ生成処理（Ｓ３）を実行する。一方、基準波形データの振幅が閾値以下であれば（Ｓ２：Ｎｏ）、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ記憶部６２に記憶された最適シフト時間ＢＰＳ及び最適ゲインＢＧを用いて最適波形データを生成する（Ｓ４）。その後、絞り開度調整部６１は、最適波形データに基づいて絞り開度を調整する（Ｓ５）。
【0065】
このように、判定部８０は、基準波形データの振幅が予め設定された閾値を超えたか否かを判定し、最適波形データ生成部９０は、基準波形データの振幅が閾値を超えた場合に、最適波形データを新たに生成する。つまり、基準波形データの振幅が大きくなってきた場合には、最適波形データを新たに生成することで、基準波形データの振幅を小さくすることができる。一方、基準波形データの振幅が閾値以下である場合には、最適波形データの更新処理を行わないため、弁制御装置５０による安定した振動抑制効果を発揮し続けることができる。
【0066】
（１０．最適波形データ生成処理）
次に、図１４に示すフローチャートを参照しながら、絞り開度調整処理の中で実行される最適波形データ生成処理（Ｓ３）について説明する。図１４に示すように、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行する最初の処理として、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）を実行する。この最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）において、最適波形データ生成部９０は、最適な位相調整波形データＲＷ１を生成する。Ｓ１０の処理が終了すると、最適波形データ生成部９０は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）を実行する。この最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適波形データ生成部９０は、最適なゲイン調整波形データＲＷ２を生成する。
次に、図１４に示すフローチャートを参照しながら、絞り開度調整処理の中で実行される最適波形データ生成処理（Ｓ３）について説明する。図１４に示すように、最適波形データ生成部９０は、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行する最初の処理として、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）を実行する。この最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）において、最適波形データ生成部９０は、最適な位相調整波形データＲＷ１を生成する。Ｓ１０の処理が終了すると、最適波形データ生成部９０は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）を実行する。この最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適波形データ生成部９０は、最適なゲイン調整波形データＲＷ２を生成する。
【0067】
（１０－１．最適シフト時間導出処理）
次に、図１５に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）について説明する。図１５に示すように、位相調整波形データ生成部９１は、位相シフト調整ルーチン（図１７参照）を実行することによりＹ軸の位相シフト調整を行う（Ｓ１１）。ここで、位相シフト調整ルーチンの流れについて、図１７を参照しつつ説明する。まず、当該ルーチンの実行が初回の場合（Ｓ１１０：Ｙｅｓ）、初期の波形データＲＷ０を生成する（Ｓ１１１）。その後、絞り開度調整部６１は、初期の波形データＲＷ０に基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ１１２）。その後、基準波形データ取得部７０は、初期の波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ１３）。具体的に、Ｓ１１３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整前振幅ａｍ１１）を取得する。
次に、図１５に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）について説明する。図１５に示すように、位相調整波形データ生成部９１は、位相シフト調整ルーチン（図１７参照）を実行することによりＹ軸の位相シフト調整を行う（Ｓ１１）。ここで、位相シフト調整ルーチンの流れについて、図１７を参照しつつ説明する。まず、当該ルーチンの実行が初回の場合（Ｓ１１０：Ｙｅｓ）、初期の波形データＲＷ０を生成する（Ｓ１１１）。その後、絞り開度調整部６１は、初期の波形データＲＷ０に基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ１１２）。その後、基準波形データ取得部７０は、初期の波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ１３）。具体的に、Ｓ１１３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整前振幅ａｍ１１）を取得する。
【0068】
次に、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間進み方向に所定時間だけシフトさせた位相調整波形データを生成し（Ｓ１１４）、絞り開度調整部６１は、位相調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ１１５）。その後、基準波形データ取得部７０は、位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ１１６）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整後振幅ａｍ１２）を取得する。
【0069】
次に、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ１１７）。その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ１１７：Ｙｅｓ）、位相調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間進み方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな位相調整波形データを生成する（Ｓ１１８）。
【0070】
一方、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ１１７：Ｎｏ）、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間遅れ方向に所定時間だけシフトさせた位相調整波形データを生成し（Ｓ１１９）、Ｓ１５から繰り返す。そうすると、Ｓ１１７において、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さくなる（Ｓ１１７：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ１１８において、位相調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間遅れ方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな位相調整波形データを生成する。
【0071】
絞り開度調整部６１は、Ｓ１１８の処理後、新たな位相調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ１２０）、基準波形データ取得部７０は、新たな位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ１２１）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整前振幅ａｍ１１及び位相調整後振幅ａｍ１２）を取得して、メインルーチン（図１５の最適シフト時間導出処理）へリターンする。
【0072】
続いて、Ｓ１２で、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ１２）。その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ１２：Ｙｅｓ）、直前に生成した位相調整波形データのシフト時間は、最適シフト時間ＢＰＳではないと判断し、Ｓ１３へ進む。位相調整波形データ生成部９１は、位相シフト調整ルーチン（図１７参照）を実行することによりＸ軸の位相シフト調整を行う（Ｓ１３）。
【0073】
続いて、Ｓ１４で、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ１４）。その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、直前に生成した位相調整波形データのシフト時間は、最適シフト時間ＢＰＳではないと判断し、Ｓ１１へ戻る。このように、Ｓ１１～Ｓ１４を繰り返すことで、Ｙ軸とＸ軸の最適シフト時間を交互に探索することになる。
【0074】
一方、Ｓ１２で、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ１２：Ｎｏ）、すなわち、位相シフトの調整による振幅の減少が停止した場合、直前のシフト時間をＹ軸最適シフト時間とする（Ｓ１５）。次に、位相シフト調整ルーチン（図１７参照）を実行することによりＸ軸の位相シフト調整を行う（Ｓ１６）。続いて、Ｓ１７で、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ１７）。その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、直前に生成した位相調整波形データのシフト時間は、最適シフト時間ＢＰＳではないと判断し、Ｓ１６へ戻る。このように、Ｓ１６～Ｓ１７を繰り返すことで、Ｘ軸の最適シフト時間を探索することになる。
【0075】
Ｓ１４又はＳ１７で、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ１４：Ｎｏ又はＳ１７：Ｎｏ）、すなわち、Ｘ軸の位相シフトの調整による振幅の減少が停止した場合、直前のシフト時間をＸ軸最適シフト時間とする（Ｓ１８）。
【0076】
続いて、Ｓ１９で、最適シフト時間最終調整処理を行う。すなわち、Ｙ軸、Ｘ軸の振幅は互いに影響し合うため、両軸の最適シフト時間の探索が終了した段階でシフト時間の最終調整を行うことで最終的な最適シフト時間を求める。具体的には、図１６のフローチャートに示すように、まず、Ｙ軸振幅が閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ１９１）。Ｓ１９１でＹ軸振幅が閾値以上である場合（Ｓ１９１：Ｎｏ）、Ｙ軸の位相シフト調整（Ｓ１９２）を、Ｙ軸の振幅の減少が停止するまで繰り返し（Ｓ１９３：Ｙｅｓ）、Ｙ軸の振幅の減少が停止した場合（Ｓ１９３：Ｎｏ）、直前のシフト時間をＹ軸最適シフト時間としてＳ１９１へ戻る。
【0077】
Ｙ軸振幅が閾値より小さい場合（Ｓ１９１：Ｙｅｓ）、Ｘ軸振幅が閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ１９５）。Ｓ１９５でＸ軸振幅が閾値以上である場合（Ｓ１９５：Ｎｏ）、Ｘ軸の位相シフト調整（Ｓ１９６）を、Ｘ軸の振幅の減少が停止するまで繰り返し（Ｓ１９７：Ｙｅｓ）、Ｘ軸の振幅の減少が停止した場合（Ｓ１９７：Ｎｏ）、直前のシフト時間をＸ軸最適シフト時間としてＳ１９５へ戻る。Ｘ軸振幅が閾値より小さい場合（Ｓ１９５：Ｙｅｓ）、本ルーチンを終了し、メインルーチン（図１５の最適シフト時間導出処理）へリターンする。以上のように、Ｘ軸最適シフト時間及びＹ軸最適シフト時間が決定されて最適波形データ記憶部６２に記憶し、最適シフト時間導出処理を終了する。
【0078】
このように、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）において、最適シフト時間導出部９２は、位相調整前振幅ａｍ１１と位相調整後振幅ａｍ１２とを比較する。そして、位相調整波形データ生成部９１は、位相調整前振幅ａｍ１１と位相調整後振幅ａｍ１２との比較結果に基づき、基準波形データの振幅が小さくなるように基準波形データに対するシフト時間を再調整した新たな位相調整波形データを生成する。そして、絞り開度調整部６１は、新たな位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。こうした一連の処理を繰り返すことにより、最適シフト時間導出部９２は、位相調整波形データＲＷ１のシフト時間を最適シフト時間ＢＰＳに近似させることができる。
【0079】
また、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、直前に生成した位相調整波形データにおけるシフト時間を最適シフト時間とする。よって、最適シフト時間導出部９２は、最適シフト時間ＢＰＳを確実に導出できる。
【0080】
（１０－２．最適ゲイン導出処理）
次に、図１８に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）について説明する。図１８に示すように、ゲイン調整波形データ生成部９３は、ゲイン調整ルーチン（図２０参照）を実行することによりＹ軸のゲイン調整を行う（Ｓ３１）。
次に、図１８に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）について説明する。図１８に示すように、ゲイン調整波形データ生成部９３は、ゲイン調整ルーチン（図２０参照）を実行することによりＹ軸のゲイン調整を行う（Ｓ３１）。
【0081】
ここで、ゲイン調整ルーチンの流れについて、図２０を参照しつつ説明する。当該ルーチンの実行が初回でない場合（Ｓ３１０：Ｎｏ）、Ｓ３１５へ進む。一方、当該ルーチンの実行が初回の場合（Ｓ３１０：Ｙｅｓ）、位相調整波形データに対してゲインを大きくする方向へ調整したゲイン調整波形データを生成する（Ｓ３１１）。その後、絞り開度調整部６１は、ゲイン調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ３１２）。次に、基準波形データ取得部７０は、ゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ３１３）。具体的に、Ｓ３１３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（ゲイン調整前振幅ａｍ２１及びゲイン調整後振幅ａｍ２２）を取得する。
【0082】
次に、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ３１４）。その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３１４：Ｙｅｓ）、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを大きくする方向）へ、ゲインを調整した新たなゲイン調整波形データを生成する（Ｓ３１５）。
【0083】
一方、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ３１４：Ｎｏ）、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対してゲインを小さくする方向へ調整した新たなゲイン調整波形データを生成し（Ｓ３１６）、Ｓ３１２から繰り返す。そうすると、Ｓ３１４において、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さくなる（Ｓ３１４：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ３１５において、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを小さくする方向）へ、ゲインをさらに調整した新たなゲイン調整波形データを生成する。
【0084】
Ｓ３１５の処理後、絞り開度調整部６１は、新たなゲイン調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ３１７）、基準波形データ取得部７０は、新たなゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得して（Ｓ３１８）、図１８に示す最適ゲイン導出処理ルーチンへリターンする。
【0085】
続いて、Ｓ３２で、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ３２）。その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３２：Ｙｅｓ）、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインは、最適ゲインではないと判断し、Ｓ３３へ進む。ゲイン調整波形データ生成部９３は、ゲイン調整ルーチン（図２０参照）を実行することによりＸ軸のゲイン調整を行う（Ｓ３３）。
【0086】
続いて、Ｓ３４で、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ３４）。その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３４：Ｙｅｓ）、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインは、最適ゲインではないと判断し、Ｓ３１へ戻る。このように、Ｓ３１～Ｓ３４を繰り返すことで、Ｙ軸とＸ軸の最適ゲインを交互に探索することになる。
【0087】
一方、Ｓ３２で、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ３２：Ｎｏ）、すなわち、ゲインの調整による振幅の減少が停止した場合、直前のゲインをＹ軸最適ゲインとする（Ｓ３５）。次に、ゲイン調整ルーチン（図２０参照）を実行することによりＸ軸のゲイン調整を行う（Ｓ３６）。続いて、Ｓ３７で、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ３７）。その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ３４：Ｙｅｓ）、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインは、最適ゲインではないと判断し、Ｓ３６へ戻る。このように、Ｓ３６～Ｓ３７を繰り返すことで、Ｘ軸の最適ゲインを探索することになる。
【0088】
Ｓ３４又はＳ３７で、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ３４：Ｎｏ又はＳ３７：Ｎｏ）、すなわち、Ｘ軸のゲインの調整による振幅の減少が停止した場合、直前のゲインをＸ軸最適ゲインとする（Ｓ３８）。
【0089】
続いて、Ｓ３９で、最適ゲイン最終調整処理を行う。すなわち、Ｙ軸、Ｘ軸の振幅は互いに影響し合う可能性があるため、両軸の最適ゲインの探索が終了した段階でゲインの最終調整を行う。具体的には、図１９のフローチャートに示すように、まず、Ｙ軸振幅が閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ３９１）。Ｓ３９１でＹ軸振幅が閾値以上である場合（Ｓ３９１：Ｎｏ）、Ｙ軸のゲイン調整（Ｓ３９２）を、Ｙ軸の振幅の減少が停止するまで繰り返し（Ｓ３９３：Ｙｅｓ）、Ｙ軸の振幅の減少が停止した場合（Ｓ３９３：Ｎｏ）、直前のゲインをＹ軸最適ゲインとしてＳ３９１へ戻る。
【0090】
Ｙ軸振幅が閾値より小さい場合（Ｓ３９１：Ｙｅｓ）、Ｘ軸振幅が閾値より小さいか否かを判定する（Ｓ３９５）。Ｓ３９５でＸ軸振幅が閾値以上である場合（Ｓ３９５：Ｎｏ）、Ｘ軸のゲイン調整（Ｓ３９６）を、Ｘ軸の振幅の減少が停止するまで繰り返し（Ｓ３９７：Ｙｅｓ）、Ｘ軸の振幅の減少が停止した場合（Ｓ３９７：Ｎｏ）、直前のゲインをＸ軸最適ゲインとしてＳ３９５へ戻る。Ｘ軸振幅が閾値より小さい場合（Ｓ３９５：Ｙｅｓ）、本ルーチンを終了し、メインルーチン（図１８の最適シフト時間導出処理）へリターンする。 以上のように、Ｙ軸最適ゲイン及びＸ軸最適ゲインが決定されて最適波形データ記憶部６２に記憶し、最適ゲイン導出処理を終了する。
【0091】
このように、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整前振幅ａｍ２１とゲイン調整後振幅ａｍ２２とを比較する。そして、ゲイン調整波形データ生成部９３は、ゲイン調整前振幅ａｍ２１とゲイン調整後振幅ａｍ２２との比較結果に基づき、基準波形データの振幅が小さくなるように位相調整波形データＲＷ１に対するゲインを再調整した新たなゲイン調整波形データを生成する。そして、絞り開度調整部６１は、新たなゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整する。こうした一連の処理を繰り返すことにより、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整波形データＲＷ２のゲインを最適ゲインＢＧに近似させることができる。
【0092】
また、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも一旦小さくなった後に大きくなった場合に、直前に生成したゲイン調整波形データにおけるゲインを最適ゲインＢＧとする。よって、最適ゲイン導出部９４は、最適ゲインＢＧを確実に導出できる。図２１は、第一実施形態に係る最適シフト時間の導出手順及び最適ゲインの導出手順の一例を示す模式図である。図２１において、階段状に図示されたグラフはシフト時間又はゲインの調整を表し、近傍の数字は調整の順番を表している。図２１では、Ｙ軸（静圧ポケット１０－１の絞り開度）とＸ軸（静圧ポケット１０－４の絞り開度）とを交互に調整しながら最適シフト時間及び最適ゲインを探索する様子が示されている。
【0093】
（１１．第一実施形態のまとめ）
以上説明したように、本実施形態に係る工作機械１によれば、絞り開度調整部６１は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせたＹ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。ここで、各可変絞り弁において絞り開度を調整した場合に、絞り開度を調整したタイミングと各静圧ポケットに供給される流体の流量が変更されるタイミングとは、時間にずれを生じる。つまり、各基準波形データそのものに基づいて絞り開度を調整した場合には、各静圧ポケットへ供給する流体の流量を、適切な量とすることができない。そこで、上述したように、絞り開度調整部６１によって調整する可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせたＹ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて調整されている。よって、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷の変化に応じて静圧ポケット１０－１，１０－４に供給される流体の流量を適切に変化させることができる。その結果、当該工作機械１は、移動体３の２軸方向における振動を確実に抑制できる。
以上説明したように、本実施形態に係る工作機械１によれば、絞り開度調整部６１は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせたＹ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて絞り開度を調整する。ここで、各可変絞り弁において絞り開度を調整した場合に、絞り開度を調整したタイミングと各静圧ポケットに供給される流体の流量が変更されるタイミングとは、時間にずれを生じる。つまり、各基準波形データそのものに基づいて絞り開度を調整した場合には、各静圧ポケットへ供給する流体の流量を、適切な量とすることができない。そこで、上述したように、絞り開度調整部６１によって調整する可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対して最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせたＹ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて調整されている。よって、静圧流体支持装置１００は、移動体３に加わる外乱負荷の変化に応じて静圧ポケット１０－１，１０－４に供給される流体の流量を適切に変化させることができる。その結果、当該工作機械１は、移動体３の２軸方向における振動を確実に抑制できる。
【0094】
図２２は、制御実施前と制御実施後の静圧ポケット１０－１，１０－４の供給流量と移動体３の軸変位量とを示すグラフである。図２２に示す通り、移動体３のＹ軸、Ｘ軸の軸変位量が制御の実施により小さくなり、２軸方向における振動を確実に抑制できる。
【0095】
また、最適シフト時間導出部９２は、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＸ軸位相調整波形データのシフト時間とＹ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＹ軸位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながらＹ軸、Ｘ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁１０－４，１０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間を導出する。この構成によれば、波形が相互に影響し合うＹ軸、Ｘ軸のシフト時間を交互に探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間を効率的且つ確実に導出することができる。
【0096】
また、最適シフト時間導出部９２は、Ｙ軸最適シフト時間及びＸ軸最適シフト時間の両方を一旦導出した後、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅が所定の閾値を下回るまでＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間の導出を繰り返して最終調整を行う（Ｓ１９）。Ｙ軸、Ｘ軸方向の振動は互いに影響し合うため、両軸の最適シフト時間の探索が終了した段階でシフト時間の最終調整を行うことで最終的な最適シフト時間を求めることがきる。
【0097】
また、最適波形データ生成部９０は、さらに、Ｙ軸、Ｘ軸位相調整波形データに対してゲインを調整したＹ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データを生成するゲイン調整波形データ生成部９３と、Ｙ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量を変えながらＹ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データのＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを導出する最適ゲイン導出部９４とを備える。そして、最適波形データ記憶部６２は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対してＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共にＹ軸、Ｘ軸最適ゲインだけゲインを調整したＹ軸、Ｘ軸最適波形データを記憶する。
【0098】
この構成によれば、絞り開度調整部６１は、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データに対してＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間だけ時間軸方向にシフトさせると共に、Ｙ軸、Ｘ軸最適ゲインだけゲインを調整したＹ軸、Ｘ軸最適波形データに基づいて絞り開度を調整することができる。
【0099】
また、最適ゲイン導出部９４は、Ｙ軸位相調整波形データに対するＹ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量とＸ軸位相調整波形データに対するＸ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながらＹ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを導出する。この構成によれば、波形が相互に影響し合うＹ軸、Ｘ軸のゲインを交互に探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを効率的且つ確実に導出することができる。
【0100】
また、最適ゲイン導出部９４は、Ｙ軸最適ゲイン及びＸ軸最適ゲインの両方を一旦導出した後、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅が所定の閾値を下回るまでＹ軸、Ｘ軸最適ゲインの導出を繰り返して最終調整を行う。Ｙ軸、Ｘ軸方向の振動は互いに影響し合うため、両軸の最適ゲインの探索が終了した段階でゲインの最終調整を行うことで最終的な最適ゲインを求めることがきる。
【0101】
また、支持体２は、円筒形状の内周面に静圧ポケット１０－１，１０－４を含む複数の静圧ポケット１０－１～１０－４を周方向に配置した軸受本体であり、移動体３は、軸受本体である支持体２の内周側に配置される回転可能な回転軸体であり、静圧流体支持装置１００は、各静圧ポケット１０－１～１０－４を介して移動体３（回転軸体）と支持体２（軸受本体）との間に充填される流体の圧力により移動体３（回転軸体）を回転可能に支持するものである。本実施形態によれば、回転軸体である移動体３の２軸方向の振動を確実に抑制することができる。
【0102】
また、工作機械１は、振動測定装置４としての圧力センサを備える。これにより、最適波形データ生成部９０は、移動体３の振動の周期を的確に把握することができる。なお、工作機械１は、振動測定装置４を用いて移動体３の振動の周期を把握できればよく、圧力センサ以外の振動測定装置４を用いることもできる。例えば、工作機械１は、移動体３に加わる外乱負荷を測定する装置として、圧力センサの代わりにロードセルを用いることも可能である。また、工作機械１は、移動体３の振動そのものを測定するものとして、移動体３に装着された変位センサや加速度センサ、ＡＥセンサ等を振動測定装置４として用いてもよい。また、本例において、移動体３の振動の周期は、砥石車の回転に同期すると考えられることから、砥石車の回転軸等に設けられたロータリエンコーダ等を振動測定装置４と用いることも可能である。
【0103】
［第二実施形態］
（１２．第二実施形態の構成及び作用）
上記実施形態では、最適シフト時間導出処理及び最適ゲイン導出処理において、Ｙ軸（静圧ポケット１０－１の絞り開度）とＸ軸（静圧ポケット１０－４の絞り開度）とを交互に調整しながら最適シフト時間及び最適ゲインを探索する構成とした。第二実施形態では、Ｙ軸を連続して調整することによりＹ軸最適シフト時間を導出し、次にＸ軸を連続して調整することによりＸ軸最適シフト時間を導出する。また、Ｙ軸を連続して調整することによりＹ軸最適ゲインを導出し、次にＸ軸を連続して調整することによりＸ軸最適ゲインを導出する。
（１２．第二実施形態の構成及び作用）
上記実施形態では、最適シフト時間導出処理及び最適ゲイン導出処理において、Ｙ軸（静圧ポケット１０－１の絞り開度）とＸ軸（静圧ポケット１０－４の絞り開度）とを交互に調整しながら最適シフト時間及び最適ゲインを探索する構成とした。第二実施形態では、Ｙ軸を連続して調整することによりＹ軸最適シフト時間を導出し、次にＸ軸を連続して調整することによりＸ軸最適シフト時間を導出する。また、Ｙ軸を連続して調整することによりＹ軸最適ゲインを導出し、次にＸ軸を連続して調整することによりＸ軸最適ゲインを導出する。
【0104】
以下、図２３に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）について説明する。まず、図２３に示すように、Ｙ軸最適シフト時間導出処理を行う（Ｓ１０－１）。以下、Ｙ軸最適シフト時間導出処理の流れについて、図２５のフローチャートを参照しつつ説明する。
【0105】
最適シフト時間導出処理では、図２５に示すように、最初の処理として初期の波形データＲＷ０を生成する（Ｓ５１）。その後、絞り開度調整部６１は、初期の波形データＲＷ０に基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ５２）。その後、基準波形データ取得部７０は、初期の波形データＲＷ０に基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ５３）。具体的に、Ｓ５３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整前振幅ａｍ１１）を取得する。
【0106】
次に、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間進み方向に所定時間だけシフトさせた位相調整波形データを生成し（Ｓ５４）、絞り開度調整部６１は、位相調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ５５）。その後、基準波形データ取得部７０は、位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ５６）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整後振幅ａｍ１２）を取得する。
【0107】
次に、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ５７）。その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ５７：Ｙｅｓ）、位相調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間進み方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな位相調整波形データを生成する（Ｓ５８）。
【0108】
一方、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ５７：Ｎｏ）、位相調整波形データ生成部９１は、基準波形データに対して時間遅れ方向に所定時間だけシフトさせた位相調整波形データを生成し（Ｓ５９）、Ｓ５５から繰り返す。そうすると、Ｓ５７において、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さくなる（Ｓ５７：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ５８において、位相調整波形データ生成部９１は、初期の波形データＲＷ０に対するシフト方向（ここでは時間遅れ方向）へ所定時間さらにシフトさせた新たな位相調整波形データを生成する。
【0109】
絞り開度調整部６１は、Ｓ５８の処理後、新たな位相調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ６０）、基準波形データ取得部７０は、新たな位相調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ６１）。具体的に、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（位相調整前振幅ａｍ１１及び位相調整後振幅ａｍ１２）を取得する。続いて、最適シフト時間導出部９２は、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ２２）。
【0110】
その結果、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１よりも小さい場合（Ｓ６２：Ｙｅｓ）、直前に生成した位相調整波形データのシフト時間は、最適シフト時間ＢＰＳではないと判断できる。そこで、位相調整波形データ生成部９１は、位相調整波形データを先のシフト方向に所定時間シフトさせた新たな位相調整波形データを生成し（Ｓ６３）、Ｓ６０の処理を再度実行する。
【0111】
一方、位相調整後振幅ａｍ１２が位相調整前振幅ａｍ１１以上である場合（Ｓ６２：Ｎｏ）、最適シフト時間導出部９２は、直前に生成した位相調整波形データのシフト時間が最適シフト時間ＢＰＳであると判断できる。そこで、最適シフト時間導出部９２は、当該シフト時間を、最適シフト時間ＢＰＳとして最適波形データ記憶部６２に記憶し（Ｓ６４）、本処理を終了して、図２３に示す最適シフト時間導出処理のメインルーチンにリターンする。
【0112】
Ｙ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１）の終了後、Ｘ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－２）を行う。Ｘ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－２）は、静圧ポケット１０－４を対象として図２５に示す最適シフト時間導出処理を行う。処理の流れは、Ｙ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１）と同様であるので、説明を省略する。
【0113】
最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）が終了すると、最適波形データ生成部９０は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）を実行する。この最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）において、最適波形データ生成部９０は、最適なゲイン調整波形データＲＷ２を生成する。
【0114】
以下、図２４に示すフローチャートを参照しながら、最適波形データ生成処理（Ｓ３）の中で実行される最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）について説明する。まず、図２４に示すように、Ｙ軸最適ゲイン導出処理を行う（Ｓ３０－１）。以下、Ｙ軸最適ゲイン導出処理の流れについて、図２６のフローチャートを参照しつつ説明する。
【0115】
最適ゲイン導出処理では、図２６に示すように、ゲイン調整波形データ生成部９３は、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）の中で実行する最初の処理として、位相調整波形データに対してゲインを大きくする方向へ調整したゲイン調整波形データを生成する（Ｓ７１）。その後、絞り開度調整部６１は、ゲイン調整波形データに基づく絞り開度の調整を行う（Ｓ７２）。次に、基準波形データ取得部７０は、ゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整した後の基準波形データを取得する（Ｓ７３）。具体的に、Ｓ７３の処理において、基準波形データ取得部７０は、基準波形データの振幅（ゲイン調整前振幅ａｍ２１及びゲイン調整後振幅ａｍ２２）を取得する。
【0116】
次に、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを比較する（Ｓ７４）。その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ７４：Ｙｅｓ）、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを大きくする方向）へ、ゲインを調整した新たなゲイン調整波形データを生成する（Ｓ７５）。
【0117】
一方、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ７４：Ｎｏ）、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対してゲインを小さくする方向へ調整した新たなゲイン調整波形データを生成し（Ｓ７６）、Ｓ７２から繰り返す。そうすると、Ｓ７４において、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さくなる（Ｓ７４：Ｙｅｓ）。この場合、Ｓ７５において、ゲイン調整波形データ生成部９３は、位相調整波形データＲＷ１に対するゲイン調整方向（ここではゲインを小さくする方向）へ、ゲインをさらに調整した新たなゲイン調整波形データを生成する。
【0118】
Ｓ７５の処理後、絞り開度調整部６１は、新たなゲイン調整波形データに基づく絞り開度の調整を行い（Ｓ７７）、基準波形データ取得部７０は、新たなゲイン調整波形データに基づいて絞り開度を調整したときの基準波形データを取得する（Ｓ７８）。次に、最適ゲイン導出部９４は、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さいか否かを判定する（Ｓ７９）。
【0119】
その結果、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１よりも小さい場合（Ｓ７９：Ｙｅｓ）、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインは、最適ゲインＢＧではないと判断できる。そこで、ゲイン調整波形データ生成部９３は、直前に生成したゲイン調整波形データを、先のゲイン調整方向に所定のゲイン調整を行った新たなゲイン調整波形データを生成し（Ｓ８０）、Ｓ７７の処理を再度実行する。
【0120】
一方、ゲイン調整後振幅ａｍ２２がゲイン調整前振幅ａｍ２１以上である場合（Ｓ７９：Ｎｏ）、最適ゲイン導出部９４は、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインが最適ゲインＢＧであると判断できる。そこで、最適ゲイン導出部９４は、直前に生成したゲイン調整波形データのゲインを、最適ゲインＢＧとして最適波形データ記憶部６２に記憶し（Ｓ８１）、本処理を終了して図２４に示す最適ゲイン導出処理のメインルーチンにリターンする。
【0121】
Ｙ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１）の終了後、Ｘ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－２）を行う。Ｘ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－２）は、静圧ポケット１０－４を対象として図２６に示す最適ゲイン導出処理を行う。処理の流れは、Ｙ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１）と同様であるので、説明を省略する。Ｘ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－２）が終了すると、図２４に示す最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）が終了し、図１４に示す最適波形データ生成処理（Ｓ３）を終了する。
【0122】
（１３．第二実施形態のまとめ）
図２７は、第二実施形態に係る最適シフト時間の導出手順及び最適ゲインの導出手順の一例を示す模式図である。図２７において、階段状に図示されたグラフはシフト時間又はゲインの調整を表し、近傍の数字は調整の順番を表している。図２７は、Ｙ軸（静圧ポケット１０－１の絞り開度）のシフト時間及びゲインを連続して調整した後、Ｘ軸（静圧ポケット１０－４の絞り開度）のシフト時間及びゲインを連続して調整することで最適シフト時間及び最適ゲインを探索する様子を示している。
図２７は、第二実施形態に係る最適シフト時間の導出手順及び最適ゲインの導出手順の一例を示す模式図である。図２７において、階段状に図示されたグラフはシフト時間又はゲインの調整を表し、近傍の数字は調整の順番を表している。図２７は、Ｙ軸（静圧ポケット１０－１の絞り開度）のシフト時間及びゲインを連続して調整した後、Ｘ軸（静圧ポケット１０－４の絞り開度）のシフト時間及びゲインを連続して調整することで最適シフト時間及び最適ゲインを探索する様子を示している。
【0123】
すなわち、第二実施形態において、最適シフト時間導出部９２は、Ｙ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＹ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＹ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸最適シフト時間を導出し、その後、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＸ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＸ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＸ軸最適シフト時間を導出する。この構成によれば、Ｙ軸のシフト時間を探索した後、Ｘ軸のシフト時間を探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間を効率的且つ確実に導出することができる。
【0124】
また、最適ゲイン導出部９４は、Ｙ軸位相調整波形データに対するＹ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながらＹ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸最適ゲインを導出する。その後、Ｘ軸位相調整波形データに対するＸ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながらＸ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＸ軸最適ゲインを導出する。この構成によれば、Ｙ軸のゲインを探索した後、Ｘ軸のゲインを探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを効率的且つ確実に導出することができる。
【0125】
［第三実施形態］
（１４．第三実施形態の構成及び作用）
第三実施形態では、上記第一実施形態と上記第二実施形態とを組み合わせて、Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間及びＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを導出する。以下、第三実施形態における最適シフト時間導出処理、及び最適ゲイン導出処理について図２８、図２９を参照しつつ説明する。
（１４．第三実施形態の構成及び作用）
第三実施形態では、上記第一実施形態と上記第二実施形態とを組み合わせて、Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間及びＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを導出する。以下、第三実施形態における最適シフト時間導出処理、及び最適ゲイン導出処理について図２８、図２９を参照しつつ説明する。
【0126】
第三実施形態において、最適波形データ生成処理（Ｓ３）における最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）では、図２８に示すように、まずＹ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１１）を行う。Ｙ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１１）は、第二実施形態におけるＹ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１）と同様の処理である。但し、Ｙ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１１）では、最適シフト時間導出処理（図２５）で導出された結果をＹ軸最適シフト時間とはせず、Ｙ軸仮最適シフト時間とする。
【0127】
Ｙ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１１）の終了後、Ｘ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１２）を行う。Ｘ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１２）は、第二実施形態におけるＸ軸最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－２）と同様の処理である。但し、Ｘ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１２）では、最適シフト時間導出処理（図２５）で導出された結果をＸ軸最適シフト時間とはせず、Ｘ軸仮最適シフト時間とする。
【0128】
Ｘ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１２）の終了後、Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間交互探索処理（Ｓ１０－１３）を行う。Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間交互探索処理（Ｓ１０－１３）は、第一実施形態における最適シフト時間導出処理（図１５）と同様の処理である。但し、Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間交互探索処理（Ｓ１０－１３）では、初期のシフト時間として、Ｙ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１１）で導出されたＹ軸仮最適シフト時間、及びＸ軸仮最適シフト時間導出処理（Ｓ１０－１２）で導出されたＸ軸仮最適シフト時間を用いる。Ｙ軸、Ｘ軸最適シフト時間交互探索処理（Ｓ１０－１３）が終了すると、最適シフト時間導出処理（Ｓ１０）を終了する。
【0129】
次に、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）では、図２９に示すように、まずＹ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１１）を行う。Ｙ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１１）は、第二実施形態におけるＹ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１）と同様の処理である。但し、Ｙ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１１）では、最適ゲイン導出処理（図２６）で導出された結果をＹ軸最適ゲインとはせず、Ｙ軸仮最適ゲインとする。
【0130】
Ｙ軸仮ゲイン導出処理（Ｓ３０－１１）の終了後、Ｘ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１２）を行う。Ｘ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１２）は、第二実施形態におけるＸ軸最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－２）と同様の処理である。但し、Ｘ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１２）では、最適ゲイン導出処理（図２６）で導出された結果をＸ軸最適ゲインとはせず、Ｘ軸仮最適ゲインとする。
【0131】
Ｘ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１２）の終了後、Ｙ軸、Ｘ軸最適ゲイン交互探索処理（Ｓ３０－１３）を行う。Ｙ軸、Ｘ軸最適ゲイン交互探索処理（Ｓ３０－１３）は、第一実施形態における最適ゲイン導出処理（図１８）と同様の処理である。但し、Ｙ軸、Ｘ軸最適ゲイン交互探索処理（Ｓ３０－１３）では、初期のゲインとして、Ｙ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１１）で導出されたＹ軸仮最適ゲイン、及びＸ軸仮最適ゲイン導出処理（Ｓ３０－１２）で導出されたＸ軸仮最適ゲインを用いる。Ｙ軸、Ｘ軸最適ゲイン交互探索処理（Ｓ３０－１３）が終了すると、最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）を終了すると、図２９に示す最適ゲイン導出処理（Ｓ３０）が終了し、図１４に示す最適波形データ生成処理（Ｓ３）を終了する。
【0132】
（１５．第三実施形態のまとめ）
以上説明したように、第三実施形態において、最適シフト時間導出部９２は、Ｙ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＹ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＹ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸仮最適シフト時間を導出し、その後、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＸ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＸ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＸ軸仮最適シフト時間を導出する。
以上説明したように、第三実施形態において、最適シフト時間導出部９２は、Ｙ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＹ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＹ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸仮最適シフト時間を導出し、その後、Ｘ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＸ軸位相調整波形データのシフト時間を順次変えながらＸ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＸ軸仮最適シフト時間を導出する。
【0133】
さらにその後、Ｙ軸仮最適シフト時間をＹ軸位相調整波形データの初期シフト時間とし、Ｘ軸仮最適シフト時間をＸ軸位相調整波形データの初期シフト時間として用いて、Ｙ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＹ軸位相調整波形データのシフト時間とＸ軸基準波形データの逆位相の波形データに対するＸ軸位相調整波形データのシフト時間とを交互に変えながらＹ軸、Ｘ軸位相調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間を導出する。この構成によれば、Ｙ軸、Ｘ軸仮最適シフト時間を導出した後、それらを初期値として用いて、Ｙ軸とＸ軸とで交互に最適シフト時間を探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適シフト時間を効率的且つ確実に導出することができる。
【0134】
また、最適ゲイン導出部９４は、Ｙ軸位相調整波形データに対するＹ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながらＹ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸仮最適ゲインを導出し、その後、Ｘ軸位相調整波形データに対するＸ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量を順次変えながらＸ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＸ軸仮最適ゲインを導出する。
【0135】
さらにその後、Ｙ軸仮最適ゲインをＹ軸ゲイン調整波形データの初期ゲインとし、Ｘ軸仮最適ゲインをＸ軸ゲイン調整波形データの初期ゲインとして用いて、Ｙ軸位相調整波形データに対するＹ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量とＸ軸位相調整波形データに対するＸ軸ゲイン調整波形データのゲイン調整量とを交互に変えながらＹ軸、Ｘ軸ゲイン調整波形データに基づいて可変絞り弁４０－１，４０－４の絞り開度を調整した場合に、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅の変化を観察することにより、Ｙ軸、Ｘ軸基準波形データの振幅を小さくするのに最適なＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを導出する。この構成によれば、Ｙ軸、Ｘ軸仮最適ゲインを導出した後、それらを初期値として用いて、Ｙ軸とＸ軸とで交互に最適ゲインを探索することで、最適なＹ軸、Ｘ軸最適ゲインを効率的且つ確実に導出することができる。
【0136】
（１６．その他の変形例）
上記において、基準波形データは、振動測定装置４による測定結果そのものである場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データに対してフィルタリング処理を行うことにより得られた波形データ、又は、複数の波形データの振幅を平均化することにより得られた波形データを基準波形データとしてもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データに突発的に発生した（周期的でない）振動が含まれる場合に、当該突発的に発生した振動を基準波形データから除外することができるので、基準波形データの振動の周期を的確に把握することができる。
上記において、基準波形データは、振動測定装置４による測定結果そのものである場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データに対してフィルタリング処理を行うことにより得られた波形データ、又は、複数の波形データの振幅を平均化することにより得られた波形データを基準波形データとしてもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データに突発的に発生した（周期的でない）振動が含まれる場合に、当該突発的に発生した振動を基準波形データから除外することができるので、基準波形データの振動の周期を的確に把握することができる。
【0137】
また、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データを周波数分析することにより得られた関数を基準波形データとして取得してもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データを的確に把握することができる。さらに、弁制御装置５０は、振動測定装置４による測定結果として得られた波形データに対し、フィルタリング処理を行うことにより得られた波形データを、周波数分析することにより得られた関数を基準波形データとして取得してもよい。この場合、弁制御装置５０は、基準波形データに突発的に発生した振動が含まれる場合に、当該突発的に発生した振動を基準波形データから除外することができるので、基準波形データの振動の周期を的確に把握することができる。
【0138】
工作機械１は、例えば、研削盤、マシニングセンタ等であって、支持体に対して移動体を移動可能に支持する支持装置を備える。本例における工作機械は、高精度に移動体を支持するために、支持装置として静圧流体支持装置を適用する。特に、本例においては、静圧流体支持装置における静圧ポケットに供給する流体の流量を能動的に調整することによって、移動体の振動を減衰させることができる。
【0139】
ここで、移動体は、支持体に対してスライド移動する構成としてもよいし、回転する構成としてもよい。移動体は、スライド移動する構成としては、研削盤における砥石台、トラバースベース、テーブル、マシニングセンタにおけるコラム、テーブル等である。また、移動体は、回転する構成としては、研削盤における砥石車の支持軸、工作物の回転支持軸、マシニングセンタにおける工具の支持軸、工作物の回転支持軸等である。
【0140】
例えば、工作機械１が砥石台トラバースタイプの研削盤である場合には、支持体２は、研削盤におけるトラバースベースであり、移動体３は、研削盤の砥石台である。工作機械１がテーブルトラバースタイプの研削盤である場合には、支持体２は、研削盤におけるベッドであり、移動体３は、研削盤の砥石台である。もちろん、支持体２及び移動体３は、上記以外にも適用可能である。
【符号の説明】
【0141】
１：工作機械、 ２：支持体、 ３：移動体、 ４－１：振動測定装置（第１振動測定装置）、４－４：振動測定装置（第２振動測定装置）、１０－１：静圧ポケット（第１静圧ポケット）、 １０－４：静圧ポケット（第２静圧ポケット）、２０：流体供給装置、 ３０：流体案内流路（第１流体案内流路、第２流体案内流路）、 ４０－１：可変絞り弁（第１可変絞り弁）、 ４０－４：可変絞り弁（第２可変絞り弁）、 ６１：絞り開度調整部、 ７０：基準波形データ取得部、 ８０：判定部、 ９１：位相調整波形データ生成部、 ９２：最適シフト時間導出部、 ９３：ゲイン調整波形データ生成部、 ９４：最適ゲイン導出部、 ９５：初期シフト時間記憶部、 ９６：初期ゲイン記憶部、 １００：静圧流体支持装置、 ａｍ１１：位相調整前振幅、 ａｍ１２：位相調整後振幅、 ａｍ２１：ゲイン調整前振幅、 ａｍ２２：ゲイン調整後振幅、 ＢＧ：最適ゲイン、 ＢＰＳ：最適シフト時間、 Ｄ：隙間（絞り開度）、 Ｆ：流体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】