特許 7459239 多波長透過型光学フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-22

(45)【発行日】2024-04-01

(54)【発明の名称】多波長透過型光学フィルタ

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/28 20060101AFI20240325BHJP

   G01J 3/26 20060101ALI20240325BHJP

【ＦＩ】

G02B5/28

G01J3/26

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2022520142

(86)(22)【出願日】2020-10-08

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-12-07

(86)【国際出願番号】 US2020070633

(87)【国際公開番号】W WO2021072432

(87)【国際公開日】2021-04-15

【審査請求日】2023-08-25

(31)【優先権主張番号】62/912,951

(32)【優先日】2019-10-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】16/948,960

(32)【優先日】2020-10-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】502151820

【氏名又は名称】ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】Ｖｉａｖｉ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｉｎｃ．

(74)【代理人】

【識別番号】100147485

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 憲司

(74)【代理人】

【識別番号】230118913

【弁護士】

【氏名又は名称】杉村 光嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100226263

【弁理士】

【氏名又は名称】中田 未来生

(72)【発明者】

【氏名】ウィリアム ディー フック

【審査官】小久保 州洋

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１６－５１３２４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００４－５３０１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６１８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第０３１１２８２８（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ５／２８

Ｇ０１Ｊ ３／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光学フィルタであって、
少なくとも２つの透過ピークに関連付けられた少なくとも２つのチャネルを通過させる干渉フィルタと、
複数のブロッカーと、
を備え、
前記複数のブロッカーの各ブロッカーは、前記干渉フィルタの同じ表面に取り付けられ、前記少なくとも２つの透過ピークのそれぞれの透過ピークに関連付けられたそれぞれのチャネルを通過させて、前記それぞれの透過ピークに関連付けられた前記それぞれのチャネル以外の１つ以上のチャネルを遮断するように構成されている、
光学フィルタ。

【請求項2】

請求項１に光学フィルタであって、前記少なくとも２つの透過ピークのうち、第１透過ピークが、前記少なくとも２つの透過ピークのうち、第２透過ピークの高調波透過ピークである、光学フィルタ。

【請求項3】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記複数のブロッカーは、第１ブロッカー及び第２ブロッカーを含み、前記少なくとも２つの透過ピークは、第１透過ピーク及び第２透過ピークを含み、
前記第１ブロッカーが、前記少なくとも２つのチャネルのうち、前記第１透過ピークに関連するチャネルを通過させ、前記少なくとも２つのチャネルのうち、前記第２透過ピークに関連するチャネルを遮断し、更に、
前記第２ブロッカーは、前記第２透過ピークに関連するチャネルを通過させ、前記第１透過ピークに関連するチャネルを遮断するように構成されている、光学フィルタ。

【請求項4】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記複数のブロッカーが互いに重なり合わない、光学フィルタ。

【請求項5】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記少なくとも２つの透過ピークが第１透過ピークのセット及び第２透過ピークのセットを含み、前記第２透過ピークのセットが前記第１透過ピークのセットの対応する透過ピークに調和的に関連している、光学フィルタ。

【請求項6】

請求項５に記載の光学フィルタであって、前記複数のブロッカーは、第１ブロッカー及び第２ブロッカーを備え、
前記第１ブロッカーが、前記少なくとも２つのチャネルのうち、前記第１透過ピークのセットに関連するチャネルのセットを通過させ、前記少なくとも２つのチャネルのうち、前記第２透過ピークのセットに関連するチャネルのセットを遮断するように構成され、かつ、
前記第２ブロッカーは、前記第１透過ピークのセットに関連するチャネルのセットをブロックし、前記第２透過ピークのセットに関連するチャネルのセットを通過させるように構成されている、光学フィルタ。

【請求項7】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記少なくとも２つの透過ピークのうち、少なくとも１つの透過ピークが、前記干渉フィルタの自由スペクトル範囲外である、光学フィルタ。

【請求項8】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記干渉フィルタが第１のミラー、第２のミラー、及び前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間のスペーサーを備える、光学フィルタ。

【請求項9】

請求項８に記載の光学フィルタであって、前記スペーサーが水素化シリコンスペーサーを含む、光学フィルタ。

【請求項10】

センサーデバイスであって、該センサーデバイスは、
データを収集する光学センサーと、
光学デバイスと、
を備え、該光学デバイスは、
干渉フィルタ
を備え、該干渉フィルタは、
スペーサーと、
第１のミラー及び第２のミラーと、
を備え、
前記干渉フィルタは、少なくとも２つの透過ピークに関連付けられた少なくとも２つのチャネルを通過させ、かつ複数のブロッカーは、前記干渉フィルタに取り付けられ、
前記複数のブロッカーの各ブロッカーは、前記第１のミラーの表面に取り付けられ、かつ、前記少なくとも２つの透過ピークのそれぞれの透過ピークに関連付けられたそれぞれのチャネルを通過するように構成されている、センサーデバイス。

【請求項11】

請求項１０に記載のセンサーデバイスであって、前記光学デバイスは、前記スペーサーを含む複数のスペーサーを更に備え、前記複数のスペーサーの各スペーサーは、それぞれの透過ピークのセットに関連付けられている、センサーデバイス。

【請求項12】

請求項１０に記載のセンサーデバイスであって、前記少なくとも２つの透過ピークのうち、第１透過ピークが近赤外線スペクトル範囲に関連付けられ、前記少なくとも２つの透過ピークのうち、第２透過ピークが可視スペクトル範囲に関連付けられる、センサーデバイス。

【請求項13】

分光フィルタであって、該分光フィルタは、
複数の干渉フィルタと、
複数のブロッカーと、
を備え、
前記複数の干渉フィルタの各干渉フィルタは、それぞれの透過ピークの対に関連付けられたそれぞれのチャネルの対を通過するように構成され、
前記複数の干渉フィルタの一つの干渉フィルタは、前記複数のブロッカーのうちの第１ブロッカーと関連付けられおり、該第１ブロッカーは、前記それぞれの透過ピークの対のうちの第１透過ピークに関連するチャネルを通過させ、かつ前記それぞれの透過ピークの対のうちの第２透過ピークに関連するチャネルを遮断するように構成されており、
前記一つの干渉フィルタは、前記複数のブロッカーのうちの第２ブロッカーと関連付けられており、該第２ブロッカーは、前記第２透過ピークに関連するチャネルを通過させ、かつ前記第１透過ピークに関連するチャネルをブロックし、そして
前記第１ブロッカーと前記第２ブロッカーが、前記一つの干渉フィルタの同じ表面に取り付けられるように構成されている、
分光フィルタ。

【請求項14】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記第２透過ピークは、前記第１透過ピークの高調波透過ピークである、分光フィルタ。

【請求項15】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記複数の干渉フィルタの各干渉フィルタは、それぞれのブロッカーの対と関連付けられる、分光フィルタ。

【請求項16】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記それぞれのブロッカーの対の各ブロッカーの対は、それぞれの第１ブロッカー及びそれぞれの第２ブロッカーを備え、
前記それぞれの第１ブロッカーは、対応する透過ピークの対のそれぞれの第１透過ピークに関連するチャネルを遮断し、前記対応する透過ピークの対のそれぞれの第２透過ピークに関連するチャネルを通過させるように構成され、更に、
前記それぞれの第２ブロッカーは、前記それぞれの第２透過ピークに関連するチャネルを通過させ、前記それぞれの第１透過ピークに関連するチャネルを遮断するように構成されている、分光フィルタ。

【請求項17】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記第１透過ピークは近赤外線スペクトル範囲に関連し、前記第２透過ピークは可視スペクトル範囲に関連する、分光フィルタ。

【請求項18】

請求項１に記載の光学フィルタであって、前記干渉フィルタはミラーを備え、
前記同じ表面は、前記ミラー上にある、光学フィルタ。

【請求項19】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記一つの干渉フィルタは第１のミラーと第２のミラーとを備え、
前記同じ表面は、前記第１のミラー上にある、光学フィルタ。

【請求項20】

請求項１３に記載の分光フィルタであって、前記第１ブロッカーが前記同じ表面の第１の部分に取り付けられ、かつ
前記第２ブロッカーが前記同じ表面の第２の部分に取り付けられる、分光フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【関連出願の相互参照】

【0001】

本特許出願は、２０１９年１０月９日に出願された「MULTI-TRANSMISSION OPTICAL FILTER」と題する米国仮特許出願第６２／９１２，９５１号と、２０２０年１０月７日に出願された「MULTI-TRANSMISSION OPTICAL FILTER」と題する米国非仮特許出願第１６／９４８，９６０号の優先権を主張しており、これらは参照により明確に本書に組み込まれる。

【背景技術】

【0002】

干渉フィルタは、１つ以上のスペクトルバンド又はラインを反射し、他のものを透過させる光学フィルタである。干渉フィルタは、干渉フィルタの境界で入射波と反射波の間で起こる干渉効果によって、波長選択性を有することがある。

【発明の概要】

【0003】

いくつかの実施態様によれば、本発明に係る光学フィルタは、少なくとも２つの透過ピークに関連付けられた少なくとも２つのチャネルを通過させる干渉フィルタ、及び複数のブロッカーを含んでもよく、前記複数のブロッカーの各ブロッカーは、前記少なくとも２つの透過ピークのそれぞれの透過ピークに関連付けられたそれぞれのチャネルを通過させて、前記それぞれの透過ピークに関連付けられた前記それぞれのチャネル以外の１つ以上のチャネルを遮断する。

【0004】

いくつかの実施態様によれば、本発明に係るセンサーデバイスは、複数のチャネルを使用してデータを収集する光学センサー、及び光学デバイスを含んでもよく、該光学デバイスは、スペーサー、及び第１のミラー並びに第２のミラーを備えており、前記光学デバイスは、少なくとも２つの透過ピークに関連付けられ、かつ複数のブロッカーは、前記光学デバイスに取り付けられ、前記複数のブロッカーの各ブロッカーは、前記複数のチャネルの、前記少なくとも２つの透過ピークのそれぞれの透過ピークに関連付けられたそれぞれのチャネルを通過する。

【0005】

いくつかの実施態様によれば、本発明に係るバイナリマルチスペクトルフィルタは、複数の干渉フィルタ、及び複数のブロッカーを含んでもよく、前記複数の干渉フィルタの各干渉フィルタは、それぞれの透過ピークの対（ペア）に関連付けられたそれぞれのチャネルの対を通過するように構成され、前記複数の干渉フィルタの干渉フィルタは、前記複数のブロッカーのうちの第１ブロッカーと関連付けられており、該第１ブロッカーは、前記それぞれの透過ピークの対のうちの第１透過ピークに関連するチャネルを通過させ、かつ前記それぞれの透過ピークの対のうちの第２透過ピークに関連するチャネルを遮断するように構成され、及び前記干渉フィルタは、前記複数のブロッカーのうちの第２のブロッカーと関連付けられており、該第２ブロッカーは、前記第２透過ピークに関連する前記チャネルを通過させ、かつ前記第１の透過ピークに関連する前記チャネルを遮断するように構成されている。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】例示的な干渉フィルタの概要図である。

【図2】干渉フィルタを組み込んだ例示的なデバイスの概要図である。

【図3】干渉フィルタの透過率チャートの一例を示すグラフである。

【図4】複数の異なる厚さのスペーサーに関連する干渉フィルタの透過率チャートの一例を示すグラフである。

【図5】干渉フィルタの透過率チャートの一例を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下の実施例の詳細な説明は、添付の図面を参照する。異なる図面における同じ参照番号は、同じ又は類似の要素を識別することができる。

【0008】

光学センサーはフィルタを使用して、検出動作のために所望の周波数で光を透過させることができる。例えば、光センサーは、本明細書においてチャネルと呼ばれる１つ以上の周波数範囲に関して検出を実施してもよい。場合によっては、光センサーは、干渉フィルタを使用して、チャネルを透過し、不要な周波数の光を遮断してもよい。干渉フィルタ（例えば、干渉計、ファブリペロー干渉計、エタロン、及び／又はリオフィルターなど）は、干渉フィルタの形状及び材料組成に基づく透過ピークに関連する光を透過させてもよい。いくつかの実施態様では、干渉フィルタは、干渉フィルタの自由スペクトル範囲（ＦＳＲ）内にある透過ピークに関連するチャネルを透過するように構成可能であり、光センサーがチャネルに関する検出を実施できるようにしてもよい。

【0009】

単一の光学センサーを使用して複数のチャネルの検出を実施することが有益である場合がある。複数のチャネルの検出を容易にするために、干渉フィルタのＦＳＲは、干渉フィルタの形状及び／又は材料組成を変えることによって操作することができる。しかし、ＦＳＲを大きくすると共振器の帯域幅が大きくなり、スペクトル分解能が低下することがあるため、アドレス可能なチャネルの範囲を広げるためにＦＳＲを拡張することは、すべてのユースケースにおいて実施可能なソリューションではない可能性がある。光センサーが複数のチャネルの検出を実施する場合、干渉フィルタは、２つ以上の異なるスペーサーの厚さで製造することができ、これにより、干渉フィルタは、２つ以上の対応するチャネルを透過することができる。しかしながら、複数のスペーサーの厚さの使用は、光学フィルタの製造を複雑にし、いくつかの蒸着技術を使用して実現することが困難又は不可能である可能性がある。

【0010】

干渉フィルタが、ＦＳＲの特定の領域における透過ピークに関連するチャネルを透過するように構成される場合、干渉フィルタは、所望の透過ピークとは異なる周波数で（例えば、高調波効果により）第２透過ピークに関連する第２チャネルも通過させることができる。例えば、干渉フィルタが高調波効果の影響を受けやすいＦＳＲの領域で発生する透過ピークを透過するように構成されている場合、干渉フィルタは、所望のチャネルと重なる可能性のある第２透過ピークも透過する可能性がある。そのような場合、干渉フィルタ（又は別のフィルタ）が不要な高調波透過ピークを遮断するように構成されていないと、光センサーは所望のチャネルでノイズを検出する可能性がある。

【0011】

本明細書に記載の実施態様は、光センサーによる測定のために、２つ以上の透過ピークである第１透過ピーク（例えば、干渉フィルタのＦＳＲの高調波領域内）及び対応する第１の透過ピークに調和的に関連している第２透過ピークに関連するチャネルを透過する干渉フィルタを提供する。干渉フィルタは、２つ以上の透過ピークに対応する２つ以上のブロッカーを含んでもよい。各ブロッカーは、それぞれの２つ以上の透過ピークのうちの１つに関連するそれぞれのチャネルを通過させてもよく、２つ以上の透過ピークのうちの１つ以上の他の透過ピークをブロックしてもよい。ブロッカーは、そうでなければ高調波干渉を引き起こすＦＳＲの領域における透過ピークの使用を可能にしてもよい。例えば、これにより、可変スペーサー設計と比較して設計の複雑さ又は製作の難易度を高めることなく、近赤外線（ＮＩＲ）スペクトル範囲及び可視スペクトル範囲（例えば、赤色光波長範囲、並びに／若しくは生物学的に有意な波長範囲など）で検出を行う光センサーが可能になり得る。

【0012】

図１は、例示的な干渉フィルタ１００の図である。いくつかの実施態様において、干渉フィルタ１００は、スペクトルフィルタ、又はマルチスペクトルフィルタ（例えば、バイナリマルチスペクトルフィルタ及び／若しくはなど）などから構成されてもよい。いくつかの態様において、干渉フィルタ１００は、生体認証センサーデバイス、セキュリティセンサーデバイス、健康監視センサーデバイス、物体識別センサーデバイス、分光識別センサーデバイス、及び／又は装着可能なデバイスのセンサーなどに含まれてもよい。図示するように、干渉フィルタ１００は、１つ以上のスペーサー１１０と、ミラーのセット１２０と、及びブロッカーのセット１３０－１並びに１３０－２とを含む。スペーサー１１０を介した光の伝播及びミラー１２０による光の反射は、干渉を生じさせ、特定のチャネル又は周波数範囲（例えば、透過ピーク）だけに関連する光を通過させることができる。チャネルは、スペーサー１１０の厚さ、又はスペーサー１１０及び／若しくはミラー１２０の材料特性を変化させることによって構成可能であってもよい。例えば、スペーサー１１０の厚さを変化させると、干渉フィルタ１００のチャネルは上方又は下方にシフトしてもよい。同様に、スペーサー１１０の異なる領域が異なる厚さを有する場合、又は干渉フィルタ１００の異なるスペーサー１１０が異なる厚さを有する場合、異なる領域若しくは異なるスペーサー１１０は、異なる透過ピークに関連するチャネルを通過させてもよい。また、スペーサー１１０及び／又はミラー１２０の材料特性を変化させると、透過ピークを上方又は下方にシフトさせることができる。スペーサー１１０は、ガラス、ポリマー、及び／又は基板など、光を通過させることができる任意の材料で構成されてもよい。例えば、スペーサー１１０は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、水素化ケイ素（Ｓｉ：Ｈ）、ニオブ－チタン－酸化物（ＮｂＴｉＯｘ）、ニオブ－タンタル－酸化物（ＮｂＴａＯｘ）、又は酸化亜鉛（ＺｎＯ）などを含んでもよい。Ｓｉ：Ｈは、所定の設計について高調波透過ピークが発生しやすい領域で材料吸収を提供してもよく、Ｓｉ：Ｈの使用は、高調波透過ピークに関してブロッカー１３０の機能性を提供し得ることを意味する。いくつかの態様において、干渉フィルタ１００は、第１透過ピークを遮断する単一のブロッカー１３０、及び第２透過ピークを遮断するＳｉ：Ｈで部分的に構成されたスペーサー１１０を備えてもよい。例えば、単一のブロッカー１３０によって覆われていない干渉フィルタ１００の領域は、Ｓｉ：Ｈから構成されるスペーサー１１０を含んでもよく、したがって、複数のブロッカーを実装することに関連するコストを低減することができる。したがって、ブロッカーは、干渉フィルタ１００の水素化シリコンスペーサー１１０に実装されてもよい。ミラー１２０は、反射ガラス層及び／又はなどの反射層を備えてもよい。ミラー１２０は、スペーサー１１０の反対の面に取り付けられてもよい。いくつかの態様において、ミラー１２０は、銀層及び／又はなどの反射材料で構成されてもよい。いくつかの態様において、ミラー１２０及びスペーサー１１０は、集合的に閾値未満の厚さを有していてもよい。例えば、ミラー１２０及びスペーサー１１０は、約３ミクロン未満の厚さを有するファブリペロー干渉計を形成してもよい。

【0013】

図示するように、干渉フィルタ１００は、複数のブロッカー１３０を含む。ブロッカー１３０は、第１周波数に関連する光を遮断し（例えば、反射、吸収、又はそれらの組み合わせ）、第２周波数に関連する光を通過させる（例えば、透過）ことが可能なデバイスを含む。例えば、ブロッカー１３０は、光学フィルタを含んでもよい。いくつかの実施態様では、ブロッカー１３０は、干渉フィルタ１００の表面に取り付けられてもよい。いくつかの実施態様では、ブロッカー１３０は、干渉フィルタ１００の表面上で互いに重なり合わない場合がある。

【0014】

図１に示す例では、ブロッカー１３０－１は、約１１００ｎｍ（透過チャート１５０の右側の透過ピークの周りに破線の楕円で示す）のチャネルを通過するように構成され、ブロッカー１３０－２は、約７７５ｎｍ（透過チャート１５０の左側の透過ピークの周りに破線の楕円で示す）のチャネルを通過するように構成される。透過チャート１５０は、図３に関連してより詳細に説明される。

【0015】

各ブロッカー１３０は、そのブロッカー１３０によって通過されるチャネル以外の１つ以上のチャネルをブロックするように構成されてもよい。例えば、ブロッカー１３０－１は、ブロッカー１３０－２に関連する波長（例えば、約７７５ｎｍ）の光をブロックするように構成されてもよく、ブロッカー１３０－２は、ブロッカー１３０－１に関連する波長（例えば、約１１００ｎｍ）の光をブロックするように構成されてもよい。このようにして、干渉フィルタ１００は、ブロッカー１３０を使用して不要な周波数を遮断することによって高調波透過ピークに関連する透過ピークを利用し、それによって干渉を低減し、干渉フィルタ１００に関連する光学センサーによって実施される測定精度を向上させることが可能である。

【0016】

成層媒体を通る電磁波の伝搬を分析するための方法を用いて、透過ピーク、及び透過ピークに関連する対応する高調波透過ピークを識別することができる。一例では、伝達ピーク及び対応する高調波伝達ピークは、伝達マトリクス法を用いて決定することができる。例えば、トランスファーマトリクス法は、ミラー１２０及びスペーサー１１０の形状及び材料組成に少なくとも部分的に基づいて、ミラー１２０及びスペーサー１１０に関連する高調波応答を識別し得る。高調波応答は、透過ピーク及び１つ以上の対応する高調波透過ピークを示し得る。

【0017】

干渉フィルタ１００は、複数の異なる厚さのスペーサー１１０を含むことができる。スペーサー１１０の各厚さは、それぞれの透過ピークの対（又はそれぞれの複数の透過ピーク）及び対応するブロッカー１３０のセットと関連付けてもよい。そのような実施態様に関連する透過チャートの例が、図４及び図５に示されている。いくつかの態様において、スペーサー１１０及びミラー１２０は、スペーサー１１０並びにミラー１２０が透過ピーク並びに対応する高調波透過ピークを作成するように構成されてもよい。例えば、スペーサー１１０及びミラー１２０の厚さ、並びに／又はスペーサー１１０及びミラー１２０の材料特性などは、スペーサー１１０及びミラー１２０が透過ピーク並びに１つ以上の対応する高調波透過ピークを透過するように構成されてもよい。

【0018】

上記に示したように、図１は単に例として提供されるものである。他の例は、図１に関して説明されるものと異なる場合がある。

【0019】

図２は、干渉フィルタ１００を組み込んだ例示的なデバイス２００の図である。デバイス２００は、干渉フィルタ１００及び光学センサー２１０を含む任意のデバイスを備える。いくつかの態様において、デバイス２００は、光学デバイスである。干渉フィルタ１００は、本明細書の他の箇所でより詳細に説明される。いくつかの実施態様において、デバイス２００は、分光器、及び／又はスペクトルセンサー（例えば、バイナリマルチスペクトル（ＢＭＳ）センサー）などのセンサーデバイスであってもよい。図示するように、デバイス２００は、干渉フィルタ１００及び光学センサー２１０を含む。光学センサー２１０は、光を検出することができるデバイスを含む。例えば、光学センサー２１０は、画像センサー、マルチスペクトルセンサー、及び／又はスペクトルセンサーなどを含んでもよい。いくつかの実施態様では、光学センサー２１０は、電荷結合素子（ＣＣＤ）センサー、及び／又は相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）センサーなどを含んでもよい。いくつかの実施態様では、光学センサー２１０は、フロントサイド照明（ＦＳＩ）センサー、及び／又はバックサイド照明（ＢＳＩ）センサーなどを含んでもよい。参照番号２２０で図示するように、干渉フィルタ１００の第１ブロッカー１３０は、第１透過ピークに関連するチャネルを通過させてもよい。参照番号２３０で図示するように、干渉フィルタ１００の第２ブロッカー１３０は、第２透過ピークに関連するチャネルを通過させてもよい。

【0020】

上記に示したように、図２は単に例として提供されるものである。他の例は、図２に関して説明されるものと異なる場合がある。

【0021】

図３は、干渉フィルタ１００のための例示的な透過チャート３００（例えば、透過チャート１５０）を説明する図である。図示するように、透過チャート３００は、第１透過ピーク３１０及び第２透過ピーク３２０を含む。例えば、第１透過ピーク３１０は、第１透過ピーク３１０の高調波透過ピーク（すなわち、第２透過ピーク３２０）に関連する干渉フィルタ１００の自由スペクトル範囲（ＦＳＲ）３３０の領域で発生し得る。

【0022】

高調波ピークは、センサーデバイス（例えば、デバイス２００）の検出動作に干渉する可能性がある。例えば、約７７５ｎｍの第１チャネル（例えば、別のチャネルの高調波としてではなく、プライマリチャネルとして）及び約１１００ｎｍの第２チャネルを通過するように構成されている干渉フィルタを考えてみる。この場合、干渉フィルタは、７７５ｎｍの第１チャネルに加えて、７７５ｎｍの第２チャネルの高調波透過ピークを通過させてもよい。したがって、干渉フィルタは、第１チャネルと高調波透過ピークとの重なりにより、７７５ｎｍの第１チャネルとの干渉を引き起こし得る。

【0023】

ブロッカー１３０及び第１透過ピーク３１０に関連する高調波透過ピークを利用することによって、干渉フィルタ１００は干渉を低減し、干渉フィルタ１００の有効スペクトル範囲を増加させることができる。例えば、干渉フィルタの２つのスペーサーを構成して第１チャネル及び第２チャネルを通過させるのではなく（これは、第１チャネルと第２チャネルの高調波透過ピークとの間の干渉を引き起こし得る）、干渉フィルタ１００は、単一のスペーサーを使用して第２チャネル（第１透過ピーク３１０と関連する）及び第２チャネルの高調波透過ピーク（第２透過ピーク３２０と関連する）を通過させてもよい。干渉フィルタ１００のそれぞれのブロッカーは、第１チャネル及び第２チャネルのうちの１つを遮断してもよい。したがって、干渉フィルタ１００は、単一のスペーサーの厚みで２つの透過ピークに関連する光を通過させることができ、それによって、干渉フィルタ１００の製造を簡素化し、所定のスペーサーの厚さプロファイルに対して干渉フィルタ１００が通過させることができるチャネルの数を増加させることができる。

【0024】

図４は、複数の異なる厚さのスペーサー１１０に関連する干渉フィルタ（例えば、干渉フィルタ１００）についての例示的な透過チャート４００を示す図である。ここでは、干渉フィルタの８つの領域のうち５つの領域が例としてのみ示されており、示されていない領域は、省略記号で示されている。参照番号４１０で図示するように、干渉フィルタは、複数の異なる厚さのスペーサー１１０を含んでもよい。図示するように、各スペーサー１１０は、それぞれのミラー１２０のセットと、それぞれの複数のブロッカー１３０（例えば、対応する対）とに関連付けられる。

【0025】

干渉フィルタの各領域は、それぞれのスペーサー１１０の厚さ、及び／又はスペーサー１１０並びに／若しくはミラー１２０の材料特性に基づいて、それぞれのチャネルを通過し得る。それぞれのチャネルは、参照番号４２０で示されている。さらに、それぞれのチャネルがそれぞれの高調波透過ピークに関連するＦＳＲの領域にある場合、干渉フィルタの各領域は、それぞれの高調波透過ピークに関連するチャネルを通過させてもよい。高調波透過ピークに関連するそれぞれのチャネルは、参照番号４３０によって示されている。図示するように、異なるスペーサー厚さに関連する干渉フィルタの各領域は、それぞれのスペーサー１１０の対に関連してもよい。各対の一方のスペーサー１１０は、参照番号４２０で示されるチャネルを遮断してもよく、各対の他方のスペーサー１１０は、参照番号４３０で示されるチャネルを遮断してもよい。このようにして、干渉フィルタによって通過されるチャネルの数は、干渉フィルタが高調波効果に関連するＦＳＲの領域の外側の単一チャネルを通過させるように構成されるアプローチと比較して増加させる。

【0026】

図５は、干渉フィルタ（例えば、干渉フィルタ１００）についての例示的な透過チャート５００を示す図である。チャート５００によって図示するように、いくつかの実施態様において、干渉フィルタは、複数の一次フィルタチャネル５１０及び複数の二次フィルタチャネル５２０を有してもよい。各二次フィルタチャネル５２０は、対応する一次フィルタチャネル５１０の高調波透過ピークと関連付けられてもよい。図示するように、一次フィルタチャネル５１０及び二次フィルタチャネル５２０は、互いに対して約５ｎｍの間隔であってよい。これは、ミラー１２０又はスペーサー１１０の特性を構成することによって達成されてもよい。したがって、センサーデバイス（例えば、デバイス２００）によってアドレス指定可能なチャネルの間隔及び数は、二次フィルタチャネル５２０を利用しないアプローチと比較して増加し得る。

【0027】

上記に示したように、図５は例として提供されるものである。他の例は、図５に関して説明されるものとは異なる場合がある。

【0028】

前述の開示は、例示及び説明を提供するが、網羅的であること又は開示された正確な形態に実施態様を限定することは意図していない。修正及び変形は、上記の開示に照らして行われてもよいし、又は実施態様の実践から獲得されてもよい。

【0029】

本明細書で使用される場合、閾値を満たすことは、文脈に応じて、値が閾値より大きい、閾値より多い、閾値より高い、閾値以上、閾値より小さい、閾値より低い、閾値以下、又は閾値と同じ等を指し得る。

【0030】

特徴の特定の組み合わせが特許請求の範囲に記載され、及び／又は明細書に開示されているとしても、これらの組み合わせは、様々な実施態様の開示を制限することを意図するものではない。実際、これらの特徴の多くは、特許請求の範囲に具体的に記載されていない方法及び／又は本明細書に開示されていない方法で組み合わされ得る。以下に記載される各従属請求項は、１つの請求項にのみ直接的に依存することができるが、様々な実施態様の開示は、請求項セット内の他のすべての請求項との組み合わせで各従属請求項を含むものである。

【0031】

本明細書で使用されるいかなる要素、動作、又は指示も、そのように明示的に記述されない限り、重要又は必須であると解釈されるべきではない。また、本明細書で使用される場合、不定冠詞「a」及び「an」は、１つ以上の項目を含むことを意図しており、「１つ以上」と交換可能に使用される場合がある。さらに、本明細書で使用される場合、定冠詞「the」は、定冠詞「the」に関連して参照される１つ以上の項目を含むことが意図され、「１つ以上」と交換可能に使用されてもよい。さらに、本明細書で使用される場合、用語「セット」は、１つ以上の項目（例えば、関連項目、非関連項目、関連項目及び非関連項目の組み合わせなど）を含むことを意図しており、「１つ以上」と交換可能に使用されてもよい。１つの項目のみが意図される場合、「１つのみ」というフレーズ又は同様の言語が使用される。また、本明細書で使用される場合、用語「有する」、「持つ」、「有している」などは、制限のない用語であることが意図される。さらに、フレーズ「に基づく」は、明示的に別段の記載がない限り、「少なくとも部分的に基づく」を意味することが意図される。また、本明細書で使用される場合、用語「又は」は、シリーズで使用される場合、包括的であることが意図され、明示的に他に記載されない限り（例えば、「いずれか」又は「いずれか一方のみ」と組み合わせて使用する場合）、「及び／又は」と入れ替えて使用することができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】