特許 7459265 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-22

(45)【発行日】2024-04-01

(54)【発明の名称】基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240325BHJP

   B25J 15/00 20060101ALI20240325BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J15/00 C

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022546866

(86)(22)【出願日】2020-11-02

(86)【国際出願番号】 JP2020041025

(87)【国際公開番号】W WO2022049783

(87)【国際公開日】2022-03-10

【審査請求日】2023-01-20

(31)【優先権主張番号】P 2020148490

(32)【優先日】2020-09-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】清水 一平

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／１６３７９６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１６／１７５１３３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１６／１６６９５２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－６９９１４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ １５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を支持する支持部を含むブレードと、
前記基板を支持するための進退移動する可動支持ユニットと、
前記基板を押圧するための進退移動する可動押圧ユニットと、
前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとを共通に位置決めする位置決め部と、を備える、基板保持ハンド。

【請求項2】

前記位置決め部は、位置決めピンを含み、
前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとの各々は、前記位置決めピンに沿って前記位置決めピンを挿入可能なピン挿入孔を有する被位置決め部を含む、請求項１に記載の基板保持ハンド。

【請求項3】

前記位置決めピンは、前記ブレードの主面に垂直な方向に延びるように設けられており、
前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとは、前記ブレードの主面に垂直な方向に並んだ状態で、前記位置決めピンが前記被位置決め部の前記ピン挿入孔に挿入されることにより、前記位置決めピンにより共通に位置決めされている、請求項２に記載の基板保持ハンド。

【請求項4】

前記可動支持ユニットは、前記基板を支持する支持部材を含み、
前記可動押圧ユニットは、前記基板を押圧する押圧部材を含み、
前記ブレードの主面に垂直な方向から見て、前記支持部材と前記押圧部材とがオーバーラップしないように配置されているとともに、前記可動支持ユニットの前記ピン挿入孔を有する前記被位置決め部と前記可動押圧ユニットの前記ピン挿入孔を有する前記被位置決め部とがオーバーラップするように配置されている、請求項３に記載の基板保持ハンド。

【請求項5】

前記支持部材は、一対の支持部材を含み、
前記押圧部材は、一対の押圧部材を含み、
前記一対の支持部材と前記一対の押圧部材とは、前記ブレードの主面に垂直な方向から見て、前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとの進退方向に延びる中心線に対して、対称の位置に配置されており、
前記ピン挿入孔は、前記ブレードの主面に垂直な方向から見て、前記中心線に対して、一方側に配置されている、請求項４に記載の基板保持ハンド。

【請求項6】

前記位置決めピンは、一対の位置決めピンを含み、
前記ピン挿入孔は、前記一対の位置決めピンに対応する一対のピン挿入孔を含み、
前記一対のピン挿入孔のうちの１つは、長孔状に形成されている、請求項２に記載の基板保持ハンド。

【請求項7】

前記位置決め部により共通に位置決めされた前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとを共通に固定する固定部材をさらに備える、請求項１に記載の基板保持ハンド。

【請求項8】

前記位置決め部は、位置決めピンを含み、
前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとの各々は、前記位置決めピンに沿って前記位置決めピンを挿入可能なピン挿入孔と、前記固定部材を挿入可能な固定部材挿入孔とを有する被位置決め部を含み、
前記被位置決め部の前記ピン挿入孔と前記固定部材挿入孔とは、前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとの進退方向に隣接するように配置されている、請求項７に記載の基板保持ハンド。

【請求項9】

前記支持部は、前記ブレードの先端部側に設けられた前支持部と、前記ブレードの基端部側に設けられた後支持部と、を有し、
前記可動支持ユニットは、前記前支持部と共に前記基板を支持するための可動支持ユニットであり、
前記可動押圧ユニットは、前記前支持部と前記可動支持ユニットとにより支持された前記基板を押圧するための第１可動押圧ユニットと、前記前支持部と前記後支持部とにより支持された前記基板を押圧するための第２可動押圧ユニットと、を含む、請求項１に記載の基板保持ハンド。

【請求項10】

基板保持ハンドと、
前記基板保持ハンドを移動させるアームと、を備え、
前記基板保持ハンドは、
基板を支持する支持部を含むブレードと、
前記基板を支持するための進退移動する可動支持ユニットと、
前記基板を押圧するための進退移動する可動押圧ユニットと、
前記可動支持ユニットと前記可動押圧ユニットとを共通に位置決めする位置決め部と、を含む、基板搬送ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、基板保持ハンドおよび基板搬送ロボットに関し、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを備える基板保持ハンドおよび基板搬送ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを備える基板保持ハンドが知られている。このようなハンドは、たとえば、特開２０１３－６９９１４号公報に開示されている。

【0003】

上記特開２０１３－６９９１４号公報には、基板を搬送するための基板搬送用ハンド（基板保持ハンド）が開示されている。この基板搬送用ハンドは、基板を支持するための進退移動する基端側支持部を含む可動支持ユニットと、基板を押圧するための進退移動する押圧部を含む可動押圧ユニットとを備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１３－６９９１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、上記特開２０１３－６９９１４号公報には記載されていないが、上記特開２０１３－６９９１４号公報に記載されるような従来の基板搬送用ハンドでは、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを別々に位置決めしていた。この場合、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとの位置決め部が別々に必要になるため、位置決め部の構造を簡素化することが困難であるという問題点がある。また、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを位置決めする際の手間がかかるため、基板搬送用ハンド（基板保持ハンド）を簡単に組み立てることが困難であるという問題点もある。

【0006】

この発明の課題（目的）は、位置決め部の構造を簡素化することができるとともに、基板保持ハンドを簡単に組み立てることが可能な基板保持ハンドおよび基板搬送ロボットを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

この発明の第１の局面による基板保持ハンドは、基板を支持する支持部を含むブレードと、基板を支持するための進退移動する可動支持ユニットと、基板を押圧するための進退移動する可動押圧ユニットと、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを共通に位置決めする位置決め部と、を備える。

【0008】

この発明の第２の局面による基板搬送ロボットは、基板保持ハンドと、基板保持ハンドを移動させるアームと、を備え、基板保持ハンドは、基板を支持する支持部を含むブレードと、基板を支持するための進退移動する可動支持ユニットと、基板を押圧するための進退移動する可動押圧ユニットと、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを共通に位置決めする位置決め部と、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、上記のように、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを共通に位置決めする位置決め部を設けることにより、位置決め部の構造を簡素化することができるとともに、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを別々に位置決めする場合に比べて、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを位置決めする際の手間を省くことができるので、その分、基板保持ハンドを簡単に組み立てることができる。また、基板保持ハンドの整備の際に可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを取り外しても、可動支持ユニットと可動押圧ユニットとを簡単に再び取り付ける（組み立てる）ことができるので、基板保持ハンドの整備（メンテナンス）を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態による基板搬送ロボットの構成を示す図である。

【図2】本発明の一実施形態による基板保持ハンドの構成を示す斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態による基板保持ハンドの構成を示す平面図である。

【図4】図３に示した基板保持ハンドの位置決め部および被位置決め部の部分拡大図である。

【図5】本発明の一実施形態による基板保持ハンドの可動支持ユニットと、第１可動押圧ユニットと、第２可動押圧ユニットと、位置決め部とを示す分解斜視図である。

【図6】本発明の一実施形態による基板保持ハンドの可動支持ユニットと、第１可動押圧ユニットと、第２可動押圧ユニットと、位置決め部とを示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明を具体化した本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。

【0012】

図１～図６を参照して、本実施形態による基板搬送ロボット１００の構成について説明する。

【0013】

図１に示すように、基板搬送ロボット１００は、基板保持ハンド１と、基板保持ハンド１を移動させるアーム２と、を備えている。図２～図６に示すように、基板保持ハンド１は、基板（半導体ウエハ）Ｗを支持する支持部３１１および３１２を含むブレード３１と、基板Ｗを支持するための進退移動する可動支持ユニット３２と、基板Ｗを押圧するための進退移動する可動押圧ユニット３３および３４と、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを共通に位置決めする位置決め部３５と、を含んでいる。

【0014】

本実施形態によれば、上記のように、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを共通に位置決めする位置決め部３５を設けることにより、位置決め部３５の構造を簡素化することができるとともに、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを別々に位置決めする場合に比べて、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを位置決めする際の手間を省くことができるので、その分、基板保持ハンド１を簡単に組み立てることができる。また、基板保持ハンド１の整備の際に可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを取り外しても、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを簡単に取り付ける（組み立てる）ことができるので、基板保持ハンド１の整備（メンテナンス）を容易にすることができる。

【0015】

基板保持ハンド１は、図２～図６に示すように、複数（４つ）のブレード３１と、可動支持ユニット３２と、可動押圧ユニット３３および３４と、位置決め部３５と、を備えている。

【0016】

図３～図６に示すように、位置決め部３５は、位置決めピン３５ａを含んでいる。可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との各々は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔を有する被位置決め部を含んでいる。具体的には、可動支持ユニット３２は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔３２１および３２２を有する被位置決め部３２ａを含んでいる。また、可動押圧ユニット３３は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔３３１および３３２を有する被位置決め部３３ａを含んでいる。また、可動押圧ユニット３４は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔３４１および３４２を有する被位置決め部３４ａを含んでいる。

【0017】

位置決めピン３５ａは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に延びるように設けられている。可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に並んだ状態で、位置決めピン３５ａが被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２に挿入されることにより、位置決めピン３５ａにより共通に位置決めされている。

【0018】

可動支持ユニット３２は、基板Ｗを支持する支持部材３２ｂを含んでいる。可動押圧ユニット３３および３４は、それぞれ、基板Ｗを押圧する押圧部材３３ｂおよび３４ｂを含んでいる。ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）から見て、支持部材３２ｂと押圧部材３３ｂおよび３４ｂとがオーバーラップしないように配置されているとともに、可動支持ユニット３２のピン挿入孔３２１および３２２を有する被位置決め部３２ａと、可動押圧ユニット３３のピン挿入孔３３１および３３２を有する被位置決め部３３ａと、可動押圧ユニット３４のピン挿入孔３４１および３４２を有する被位置決め部３４ａとがオーバーラップするように配置されている。

【0019】

支持部材３２ｂは、一対の支持部材３２ｂを含んでいる。押圧部材３３ｂおよび３４ｂは、それぞれ、一対の押圧部材３３ｂおよび３４ｂを含んでいる。一対の支持部材３２ｂと一対の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）から見て、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向（Ｙ方向）に延びる中心線Ｌ１に対して、対称の位置に配置されている。ピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２は、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）から見て、中心線Ｌ１に対して、一方側（Ｘ１方向側）に配置されている。

【0020】

位置決めピン３５ａは、一対の位置決めピン３５ａを含んでいる。ピン挿入孔は、一対の位置決めピン３５ａに対応する一対のピン挿入孔３２１および３２２（３３１および３３２、３４１および３４２）を含んでいる。一対のピン挿入孔３２１および３２２（３３１および３３２、３４１および３４２）のうちの１つ（３２２、３３２、３４２）は、長孔状に形成されている。具体的には、ピン挿入孔３２２（３３２、３４２）は、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に見て、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）に長手方向を有する長孔状に形成されている。また、ピン挿入孔３２１（３３１、３４１）は、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に見て、略円形状を有している。

【0021】

基板保持ハンド１は、位置決め部３５により共通に位置決めされた可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを共通に固定する固定部材３６をさらに備えている。

【0022】

可動支持ユニット３２の被位置決め部３２ａは、ピン挿入孔３２１および３２２と、固定部材３６を挿入可能な固定部材挿入孔３２３とを有している。可動押圧ユニット３３の被位置決め部３３ａは、ピン挿入孔３３１および３３２と、固定部材３６を挿入可能な固定部材挿入孔３３３とを有している。可動押圧ユニット３４の被位置決め部３４ａは、ピン挿入孔３４１および３４２と、固定部材３６を挿入可能な固定部材挿入孔３４３とを有している。被位置決め部３２ａ（３３ａ、３４ａ）のピン挿入孔３２１および３２２（３３１および３３２、３４１および３４２）と固定部材挿入孔３２３（３３３、３４３）とは、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向（Ｙ方向）に隣接するように配置されている。

【0023】

図３に示すように、支持部３１１および３１２は、ブレード３１の先端部３１ａ側（Ｙ１方向側）に設けられた前支持部３１１と、ブレード３１の基端部３１ｂ側（Ｙ２方向側）に設けられた後支持部３１２と、を有している。可動支持ユニット３２は、前支持部３１１と共に基板Ｗを支持するための可動支持ユニットである。可動押圧ユニット３３および３４は、前支持部３１１と可動支持ユニット３２とにより支持された基板Ｗを押圧するための第１可動押圧ユニット３３と、前支持部３１１と後支持部３１２とにより支持された基板Ｗを押圧するための第２可動押圧ユニット３４と、を含んでいる。

【0024】

前支持部３１１と可動支持ユニット３２とは、処理後（洗浄後）の基板Ｗを支持する。前支持部３１１と後支持部３１２とは、処理前（洗浄前）の基板Ｗを支持する。第１可動押圧ユニット３３は、前支持部３１１と可動支持ユニット３２とにより支持された、処理後（洗浄後）の基板Ｗを押圧する。第２可動押圧ユニット３４は、前支持部３１１と後支持部３１２とにより支持された、処理前（洗浄前）の基板Ｗを押圧する。第１可動押圧ユニット３３と第２可動押圧ユニット３４とは、処理前（洗浄前）の基板Ｗと処理後（洗浄後）の基板Ｗとで使い分けられる。

【0025】

図１に示すように、アーム２は、水平多関節ロボットアームである。アーム２は、第１アーム２ａと、第２アーム２ｂとを含んでいる。第１アーム２ａは、一方端部を回動中心として後述するベース５に対して回動可能に構成されている。具体的には、第１アーム２ａの一方端部は、第１関節を介してベース５に回動可能に接続されている。第２アーム２ｂは、一方端部を回動中心として第１アーム２ａに対して回動可能に構成されている。具体的には、第２アーム２ｂの一方端部は、第２関節を介して第１アーム２ａの他方端部に回動可能に接続されている。また、第２アーム２ｂの他方端部には、第３関節を介して基板保持ハンド１が回動可能に接続されている。第１関節、第２関節および第３関節の各関節には、回転駆動の駆動源であるサーボモータと、サーボモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置センサと、サーボモータの出力を関節に伝達する動力伝達機構とを含む駆動機構が設けられている。

【0026】

また、基板搬送ロボット１００は、アーム２が取り付けられるベース５と、ベース５が取り付けられるアーム昇降機構６とをさらに備えている。ベース５は、一方端部が第１アーム２ａの一方端部に接続されるとともに、他方端部がアーム昇降機構６に接続されるように構成されている。アーム昇降機構６は、ベース５を昇降させることにより、アーム２を昇降させるように構成されている。アーム昇降機構６は、昇降駆動の駆動源であるサーボモータと、サーボモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置センサと、サーボモータの出力をベース５（アーム２）に伝達する動力伝達機構とを含んでいる。

【0027】

図２に示すように、基板保持ハンド１には、複数（４つ）のブレード３１が設けられている。すなわち、基板保持ハンド１は、複数（４つ）の基板Ｗを搬送可能（保持可能）に構成されている。

【0028】

図３～図６に示すように、基板保持ハンド１は、フレーム３７をさらに備えている。フレーム３７は、ブレード３１を支持する支持体である。また、フレーム３７の内側には、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４との一部（Ｙ２方向側の部分）が配置されている。また、フレーム３７の底部には、位置決め部３５が設けられている。位置決め部３５の位置決めピン３５ａは、フレーム３７の底部から、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な上方向（Ｚ１方向）に突出するように設けられている。また、フレーム３７の底部には、Ｚ方向に延びる固定部材（締結部材）３６の先端部が締結される締結孔（ねじ穴）３６ａが設けられている。位置決めピン３５ａと締結孔３６ａとは、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向（Ｙ方向）に隣接するように配置されている。

【0029】

図２に示すように、ブレード３１は、基板Ｗを支持する薄板状の支持板である。ブレード３１は、先端部３１ａ側が二股に分かれた形状を有している。ブレード３１では、二股に分かれた部分の各々に、一対の前支持部３１１が振り分けて設けられている。一対の前支持部３１１は、互いに異なる高さに設けられた複数（２つ）の支持面を有している。また、一対の後支持部３１２は、一対の前支持部３１１の下側（Ｚ２方向側）の支持面と略同じ高さに設けられた支持面を有している。なお、「高さ」とは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）における、ブレード３１の主面３１ｃからの距離を意味している。

【0030】

一対の前支持部３１１と、一対の後支持部３１２とは、ブレード３１の主面３１ｃ上に設けられている。一対の前支持部３１１と、一対の後支持部３１２との各支持面は、略円形状の基板Ｗの外周縁部の裏面（Ｚ２方向側の面）を下側から支持するように構成されている。

【0031】

図２～図６に示すように、基板保持ハンド１は、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４とを備えている。可動支持ユニット３２は、支持部材３２ｂと、支持部材３２ｂをＹ方向に進退移動させるためのアクチュエータとしてのエアシリンダ３２ｃと、支持部材３２ｂが取り付けられるとともに、支持部材３２ｂとエアシリンダ３２ｃとを接続する取付部３２ｄとを有している。可動支持ユニット３２は、エアシリンダ３２ｃにより、取付部３２ｄを介して支持部材３２ｂをＹ１方向に前進させて、基板Ｗを支持する支持位置に配置させることが可能なように構成されている。また、可動支持ユニット３２は、エアシリンダ３２ｃにより、取付部３２ｄを介して支持部材３２ｂをＹ２方向に後退させて、基板Ｗを支持しない退避位置に配置させることが可能なように構成されている。

【0032】

支持部材３２ｂは、Ｘ方向に並んだ一対の支持部材３２ｂを含んでいる。一対の支持部材３２ｂは、ブレード３１の数に対応する数（４組）分、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に並んで設けられている。また、一対の支持部材３２ｂは、一対の前支持部３１１の上側（Ｚ１方向側）の支持面と略同じ高さに設けられた支持面を有している。一対の支持部材３２ｂの各支持面は、略円形状の基板Ｗの外周縁部の裏面（Ｚ２方向側の面）を下側から支持するように構成されている。エアシリンダ３２ｃは、Ｙ方向に進退移動するロッド３２４を有している。エアシリンダ３２ｃのロッド３２４は、取付部３２ｄの基端部に接続されている。取付部３２ｄは、先端部側（Ｙ１方向側）が二股に分かれた形状を有している。取付部３２ｄでは、二股に分かれた部分の各々に、一対の支持部材３２ｂが振り分けて設けられている。

【0033】

第１可動押圧ユニット３３は、押圧部材３３ｂと、押圧部材３３ｂをＹ方向に進退移動させるためのアクチュエータとしてのエアシリンダ３３ｃと、押圧部材３３ｂが取り付けられるとともに、押圧部材３３ｂとエアシリンダ３３ｃとを接続する取付部３３ｄとを有している。第１可動押圧ユニット３３は、エアシリンダ３３ｃにより、取付部３３ｄを介して押圧部材３３ｂをＹ１方向に前進させて、基板Ｗを押圧することが可能なように構成されている。また、第１可動押圧ユニット３３は、エアシリンダ３３ｃにより、取付部３３ｄを介して押圧部材３３ｂをＹ２方向に後退させて、基板Ｗを押圧しない退避位置に配置させることが可能なように構成されている。

【0034】

押圧部材３３ｂは、Ｘ方向に並んだ一対の押圧部材３３ｂを含んでいる。一対の押圧部材３３ｂは、複数のブレード３１に支持された複数の基板Ｗを一括して押圧することが可能なように、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に延びるように設けられている。エアシリンダ３３ｃは、Ｙ方向に進退移動するロッド３３４を有している。エアシリンダ３３ｃのロッド３３４は、取付部３３ｄの基端部に接続されている。取付部３３ｄは、先端部側（Ｙ１方向側）が二股に分かれた形状を有している。取付部３３ｄでは、二股に分かれた部分の各々に、一対の押圧部材３３ｂが振り分けて設けられている。

【0035】

第２可動押圧ユニット３４は、押圧部材３４ｂと、押圧部材３４ｂをＹ方向に進退移動させるためのアクチュエータとしてのエアシリンダ３４ｃと、押圧部材３４ｂが取り付けられるとともに、押圧部材３４ｂとエアシリンダ３４ｃとを接続する取付部３４ｄとを有している。第２可動押圧ユニット３４は、エアシリンダ３４ｃにより、取付部３４ｄを介して押圧部材３４ｂをＹ１方向に前進させて、基板Ｗを押圧することが可能なように構成されている。また、第２可動押圧ユニット３４は、エアシリンダ３４ｃにより、取付部３４ｄを介して押圧部材３４ｂをＹ２方向に後退させて、基板Ｗを押圧しない退避位置に配置させることが可能なように構成されている。

【0036】

押圧部材３４ｂは、Ｘ方向に並んだ一対の押圧部材３４ｂを含んでいる。一対の押圧部材３４ｂは、複数のブレード３１に支持された複数の基板Ｗを一括して押圧することが可能なように、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に延びるように設けられている。エアシリンダ３４ｃは、Ｙ方向に進退移動するロッド３４４を有している。エアシリンダ３４ｃのロッド３４４は、取付部３４ｄの基端部に接続されている。取付部３４ｄは、先端部側（Ｙ１方向側）が二股に分かれた形状を有している。取付部３４ｄでは、二股に分かれた部分の各々に、一対の押圧部材３４ｂが振り分けて設けられている。

【0037】

可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと、第１可動押圧ユニット３３の押圧部材３３ｂと、第２可動押圧ユニット３４の押圧部材３４ｂとは、Ｘ方向の内側（中心線Ｌ１に近い側）から外側（中心線Ｌ１から遠い側）に向かって、この順に配置されている。また、可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと、第１可動押圧ユニット３３の押圧部材３３ｂと、第２可動押圧ユニット３４の押圧部材３４ｂとは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）から見て、オーバーラップしないように配置されている。

【0038】

また、可動支持ユニット３２のエアシリンダ３２ｃと、第１可動押圧ユニット３３のエアシリンダ３３ｃと、第２可動押圧ユニット３４のエアシリンダ３４ｃとは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）に並んで配置されている。具体的には、可動支持ユニット３２のエアシリンダ３２ｃと、第１可動押圧ユニット３３のエアシリンダ３３ｃと、第２可動押圧ユニット３４のエアシリンダ３４ｃとは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向（Ｚ方向）から見て、オーバーラップするように設けられている。

【0039】

図５および図６を参照して、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４との取付方法を説明する。

【0040】

図５に示すように、まず、最も下側（Ｚ２方向側、フレーム３７の底部側）に配置される第２可動押圧ユニット３４が、位置決め部３５により、フレーム３７に対して位置決めされる。具体的には、第２可動押圧ユニット３４が、上側（Ｚ１方向側）から下側（Ｚ２方向側）に向かって移動される。これにより、第２可動押圧ユニット３４の被位置決め部３４ａのピン挿入孔３４１および３４２に、位置決め部３５の位置決めピン３５ａが下側（Ｚ２方向側）から上側（Ｚ１方向側）に向かって挿入される。その結果、位置決め部３５の位置決めピン３５ａにより、第２可動押圧ユニット３４のＸＹ方向への移動が規制されるので、第２可動押圧ユニット３４がフレーム３７に対して位置決めされる。なお、第２可動押圧ユニット３４が位置決めされた状態で、位置決めピン３５ａは、第２可動押圧ユニット３４の被位置決め部３４ａのピン挿入孔３４１および３４２から上側（Ｚ１方向側）に突出（露出）している。

【0041】

そして、中間に配置される第１可動押圧ユニット３３が、共通の位置決め部３５により、フレーム３７に対して位置決めされる。具体的には、第１可動押圧ユニット３３が、上側（Ｚ１方向側）から下側（Ｚ２方向側）に向かって移動されて、位置決め済み（配置済み）の第２可動押圧ユニット３４上に配置される。この際、第１可動押圧ユニット３３の被位置決め部３３ａの下面が、第２可動押圧ユニット３４の被位置決め部３４ａの上面に当接するまで、第１可動押圧ユニット３３が移動される。これにより、第１可動押圧ユニット３３の被位置決め部３３ａのピン挿入孔３３１および３３２に、ピン挿入孔３４１および３４２から上側（Ｚ１方向側）に突出している位置決めピン３５ａが、下側（Ｚ２方向側）から上側（Ｚ１方向側）に向かって挿入される。その結果、位置決め部３５の位置決めピン３５ａにより、第１可動押圧ユニット３３のＸＹ方向への移動が規制されるので、第１可動押圧ユニット３３がフレーム３７に対して位置決めされる。なお、第１可動押圧ユニット３３が位置決めされた状態で、位置決めピン３５ａは、第１可動押圧ユニット３３の被位置決め部３３ａのピン挿入孔３３１および３３２から上側（Ｚ１方向側）に突出（露出）している。

【0042】

そして、最も上側（Ｚ１方向側）に配置される可動支持ユニット３２が、共通の位置決め部３５により、フレーム３７に対して位置決めされる。具体的には、可動支持ユニット３２が、上側（Ｚ１方向側）から下側（Ｚ２方向側）に向かって移動されて、位置決め済み（配置済み）の第１可動押圧ユニット３３上に配置される。この際、可動支持ユニット３２の被位置決め部３２ａの下面が、第１可動押圧ユニット３３の被位置決め部３３ａの上面に当接するまで、可動支持ユニット３２が移動される。これにより、可動支持ユニット３２の被位置決め部３２ａのピン挿入孔３２１および３２２に、ピン挿入孔３３１および３３２から上側（Ｚ１方向側）に突出している位置決めピン３５ａが、下側（Ｚ２方向側）から上側（Ｚ１方向側）に向かって挿入される。その結果、位置決め部３５の位置決めピン３５ａにより、可動支持ユニット３２のＸＹ方向への移動が規制されるので、可動支持ユニット３２がフレーム３７に対して位置決めされる。なお、可動支持ユニット３２が位置決めされた状態で、位置決めピン３５ａは、可動支持ユニット３２の被位置決め部３２ａのピン挿入孔３２１および３２２から上側（Ｚ１方向側）に突出していない。

【0043】

そして、図６に示すように、共通の位置決め部３５により位置決めされた可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４とが、共通の固定部材３６により、フレーム３７に対して固定される。具体的には、固定部材３６が、上下方向（Ｚ方向）に並んだ、被位置決め部３２ａの固定部材挿入孔３２３と、被位置決め部３３ａの固定部材挿入孔３３３と、被位置決め部３４ａの固定部材挿入孔３４３とに、上側（Ｚ１方向側）から下側（Ｚ２方向側）に向かって挿入される。そして、３つの固定部材挿入孔３２３、３３３および３４３を上下方向に挿通した固定部材３６の先端部が締結孔３６ａ（図５参照）に締結される。その結果、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４とが、共通の固定部材３６により、フレーム３７に対して一度に固定される。

【0044】

［本実施形態の効果］
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0045】

本実施形態では、上記のように、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを共通に位置決めする位置決め部３５を設けることにより、位置決め部３５の構造を簡素化することができるとともに、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを別々に位置決めする場合に比べて、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを位置決めする際の手間を省くことができるので、その分、基板保持ハンド１を簡単に組み立てることができる。また、基板保持ハンド１の整備の際に可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを取り外しても、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを簡単に再び取り付ける（組み立てる）ことができるので、基板保持ハンド１の整備（メンテナンス）を容易にすることができる。

【0046】

また、本実施形態では、上記のように、位置決め部３５は、位置決めピン３５ａを含む。また、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との各々は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２を有する被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａを含む。これにより、被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２に位置決め部３５の位置決めピン３５ａを挿入するだけで、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを位置決めすることができるので、基板保持ハンド１をより容易に組み立てることができる。

【0047】

また、本実施形態では、上記のように、位置決めピン３５ａは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向に延びるように設けられている。また、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向に並んだ状態で、位置決めピン３５ａが被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２に挿入されることにより、位置決めピン３５ａにより共通に位置決めされている。これにより、構造物が比較的少ないブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向から、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との位置決め（組み立て）を行うことができるので、基板保持ハンド１をより一層容易に組み立てることができる。また、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向に並べて配置することができるので、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを、ブレード３１の主面３１ｃに平行でかつ可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向と直交する方向にコンパクトに配置することができる。

【0048】

また、本実施形態では、上記のように、可動支持ユニット３２は、基板Ｗを支持する支持部材３２ｂを含む。また、可動押圧ユニット３３および３４は、基板Ｗを押圧する押圧部材３３ｂおよび３４ｂを含む。また、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向から見て、支持部材３２ｂと押圧部材３３ｂおよび３４ｂとがオーバーラップしないように配置されているとともに、可動支持ユニット３２のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２を有する被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａと可動押圧ユニット３３および３４のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２を有する被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａとがオーバーラップするように配置されている。これにより、可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと可動押圧ユニット３３および３４の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとの位置をずらすことができるので、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との位置決め（組み立て）時に、可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと可動押圧ユニット３３および３４の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとが干渉しない。その結果、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを容易に配置することができるので、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との位置決め（組み立て）を容易に行うことができる。また、可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと可動押圧ユニット３３および３４の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとの位置をずらすことができるので、同じ高さ位置で可動支持ユニット３２の支持部材３２ｂと可動押圧ユニット３３および３４の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとにより基板Ｗの支持と基板Ｗの押圧とを行うことができる。

【0049】

また、本実施形態では、上記のように、支持部材３２ｂは、一対の支持部材３２ｂを含む。また、押圧部材３３ｂおよび３４ｂは、一対の押圧部材３３ｂおよび３４ｂを含む。また、一対の支持部材３２ｂと一対の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとは、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向から見て、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向に延びる中心線Ｌ１に対して、対称の位置に配置されている。また、ピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２は、ブレード３１の主面３１ｃに垂直な方向から見て、中心線Ｌ１に対して、一方側に配置されている。これにより、可動支持ユニット３２の一対の支持部材３２ｂと可動押圧ユニット３３および３４の一対の押圧部材３３ｂおよび３４ｂとを適切な位置に配置することができるとともに、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との駆動部（エアシリンダ３２ｃ、３３ｃ、３４ｃ）が中心線Ｌ１上に配置されている場合、駆動部を避けて被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２を適切な位置に配置することができる。

【0050】

また、本実施形態では、上記のように、位置決めピン３５ａは、一対の位置決めピン３５ａを含む。また、ピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２は、一対の位置決めピン３５ａに対応する一対のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２を含む。また、一対のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２のうちの１つは、長孔状に形成されている。これにより、一対のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２の両方が円形状に形成されている場合に比べて、一対の位置決めピン３５ａの一対のピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２への挿入を容易に行うことができるので、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との位置決め（組み立て）を容易に行うことができる。

【0051】

また、本実施形態では、上記のように、基板保持ハンド１は、位置決め部３５により共通に位置決めされた可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを共通に固定する固定部材３６をさらに備える。これにより、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを別々に固定する場合に比べて、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを固定する際の手間を省くことができるので、その分、基板保持ハンド１をより簡単に組み立てることができる。また、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４とを別々に固定する場合に比べて、固定部材３６の部品点数を削減することができる。

【0052】

また、本実施形態では、上記のように、位置決め部３５は、位置決めピン３５ａを含む。また、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との各々は、位置決めピン３５ａに沿って位置決めピン３５ａを挿入可能なピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２と、固定部材３６を挿入可能な固定部材挿入孔３２３、３３３および３４３とを有する被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａを含む。また、被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２と固定部材挿入孔３２３、３３３および３４３とは、可動支持ユニット３２と可動押圧ユニット３３および３４との進退方向に隣接するように配置されている。これにより、被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａのピン挿入孔３２１、３２２、３３１、３３２、３４１および３４２と固定部材挿入孔３２３、３３３および３４３とを、ブレード３１の主面３１ｃに平行でかつ上記進退方向と直交する方向にコンパクトに配置することができるので、被位置決め部３２ａ、３３ａおよび３４ａを、ブレード３１の主面３１ｃに平行でかつ上記進退方向と直交する方向にコンパクトにすることができる。

【0053】

また、本実施形態では、上記のように、支持部３１１および３１２は、ブレード３１の先端部３１ａ側に設けられた前支持部３１１と、ブレード３１の基端部３１ｂ側に設けられた後支持部３１２と、を有する。また、可動支持ユニット３２は、前支持部３１１と共に基板Ｗを支持するための可動支持ユニットである。また、可動押圧ユニット３３および３４は、前支持部３１１と可動支持ユニット３２とにより支持された基板Ｗを押圧するための第１可動押圧ユニット３３と、前支持部３１１と後支持部３１２とにより支持された基板Ｗを押圧するための第２可動押圧ユニット３４と、を含む。これにより、１つのブレード３１により、２つ（２種類）の基板Ｗを保持することができる。また、基板保持ハンド１が、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４との３つのユニットを含む場合にも、共通の位置決め部３５により、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４との３つのユニットを共通に位置決めすることができる。その結果、可動支持ユニット３２と、第１可動押圧ユニット３３と、第２可動押圧ユニット３４とを位置決めする際の手間を省くことができるので、その分、基板保持ハンド１を簡単に組み立てることができる。

【0054】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0055】

たとえば、上記実施形態では、アームが、水平多関節ロボットアームである例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、アームが、垂直多関節ロボットアームなどの水平多関節ロボットアーム以外のアームであってもよい。

【0056】

また、上記実施形態では、基板保持ハンドに、複数のブレードが設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板保持ハンドに、１つのブレードが設けられていてもよい。

【0057】

また、上記実施形態では基板保持ハンドに、４つのブレードが設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板保持ハンドに、４つ以外の複数のブレードが設けられていてもよい。

【0058】

また、上記実施形態では、ブレードが、二股に分かれた形状を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ブレードが、二股に分かれた形状以外の形状を有していてもよい。

【0059】

また、上記実施形態では、ブレードが、互いに異なる高さで２つの基板を支持可能に構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ブレードが、１つの基板のみを支持可能（１つの高さでのみ基板を支持可能）に構成されていてもよい。

【0060】

また、上記実施形態では、可動支持ユニットが一対の支持部材を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動支持ユニットが１つの支持部材を含んでいてもよい。

【0061】

また、上記実施形態では、第１可動押圧ユニットと第２可動押圧ユニットとの２つの押圧ユニットが設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動押圧ユニットが１つのみ設けられていてもよい。

【0062】

また、上記実施形態では、可動押圧ユニットが一対の押圧部材を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動押圧ユニットが１つの押圧部材を含んでいてもよい。

【0063】

また、上記実施形態では、位置決め部が、位置決めピンを含んでいる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、位置決め部が、位置決めピン以外の位置決め壁などの位置決め構造を含んでいてもよい。また、位置決め部が、位置決めピンおよび位置決め壁など複数種類の位置決め構造の組み合わせにより、位置決めするように構成されていてもよい。

【0064】

また、上記実施形態では、位置決めピンが、ブレードの主面に垂直な方向に延びるように設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、位置決めピンが、ブレードの主面に垂直な方向に直交する方向に延びるように設けられていてもよい。

【0065】

また、上記実施形態では、一対（２つ）の位置決めピンが設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、１つまたは３つ以上の位置決めピンが設けられていてもよい。

【0066】

また、上記実施形態では、位置決め部により共通に位置決めされた可動支持ユニットと可動押圧ユニットとが、共通の固定部材により固定されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、位置決め部により共通に位置決めされた可動支持ユニットと可動押圧ユニットとが、別々の固定部材により固定されていてもよい。

【0067】

また、上記実施形態では、第２可動押圧ユニット、第１可動押圧ユニット、可動支持ユニットの順に、位置決め部の位置決めピンにより位置決めされる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、可動押圧ユニットと、可動支持ユニットとのうちのいずれのユニットが先に位置決めされてもよい。

【符号の説明】

【0068】

１ 基板保持ハンド
２ アーム
３１ ブレード
３１ａ 先端部
３１ｂ 基端部
３１ｃ 主面
３２ 可動支持ユニット
３２ａ、３３ａ、３４ａ 被位置決め部
３２ｂ 支持部材
３３ 第１可動押圧ユニット（可動押圧ユニット）
３３ｂ、３４ｂ 押圧部材
３４ 第２可動押圧ユニット（可動押圧ユニット）
３５ 位置決め部
３５ａ 位置決めピン
３６ 固定部材
３１１ 前支持部（支持部）
３１２ 後支持部（支持部）
３２１、３２２、３３１、３３２、３４１、３４２ ピン挿入孔
３２３、３３３、３４３ 固定部材挿入孔
Ｌ１ 中心線
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】