特許 7459855 ガス検知装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-25

(45)【発行日】2024-04-02

(54)【発明の名称】ガス検知装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 1/40 20060101AFI20240326BHJP

【ＦＩ】

G01N1/40

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021188820

(22)【出願日】2021-11-19

(65)【公開番号】P2023075735

(43)【公開日】2023-05-31

【審査請求日】2023-02-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000003609

【氏名又は名称】株式会社豊田中央研究所

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中村 忠司

(72)【発明者】

【氏名】溝下 倫大

(72)【発明者】

【氏名】山寺 秀哉

(72)【発明者】

【氏名】勝野 高志

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 敏一

(72)【発明者】

【氏名】郡司島 造

【審査官】永田 浩司

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－２２５８４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００７／０１８６７７６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ １／００ ー １／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

気体試料の流入口および第１排出口を備えた第１室と、
前記第１室の内部に配置されており、前記気体試料中の特定ガス成分を吸着可能であるとともに、所定温度以上に加熱されることで吸着した前記特定ガス成分を脱離可能な吸着材であって、膜形状を有する前記吸着材と、
前記吸着材を加熱可能に構成されているヒータと、
前記第１室に隣接して配置されており、第１連通路によって前記第１室に接続されている第２室と、
前記第２室の内部に配置されており、前記吸着材から脱離した前記特定ガス成分を検出可能な検知部と、
を備え、
前記吸着材の膜面と前記検知部の検知面とが前記第１連通路を介して対向して配置されており、
前記吸着材は気体を通過させることが可能に構成されており、
前記吸着材は前記第１連通路を塞ぐように配置されている、
ガス検知装置。

【請求項2】

前記流入口から前記第１排出口へ向かう方向である第１方向に対して、前記吸着材の膜面が略平行であり、
前記第１方向に対して、前記第１連通路の方向が略垂直である、請求項１に記載のガス検知装置。

【請求項3】

前記第２室は、前記第１連通路と対向して配置されている第２排出口を備えており、
前記第１連通路から前記第２排出口へ至る流路上に前記検知部が配置されている、請求項１または２に記載のガス検知装置。

【請求項4】

前記第１排出口および第２排出口に接続されており、前記第１排出口および前記第２排出口の一方を択一的に外部に接続する切換部をさらに備える、請求項３に記載のガス検知装置。

【請求項5】

前記第１連通路を開閉可能な開閉部をさらに備え、
前記開閉部は、前記第１排出口が外部に接続されている場合に前記第１連通路を閉状態にするとともに、前記第２排出口が外部に接続されている場合に前記第１連通路を開状態にすることが可能に構成されている、請求項４に記載のガス検知装置。

【請求項6】

前記第１連通路は開口部を備えており、
前記開閉部は板状部材を備えており、
前記板状部材は、前記開口部の外周全体に接触する状態と、前記開口部の外周の少なくとも一部に接触していない状態と、の間で変化することが可能に構成されている、請求項５に記載のガス検知装置。

【請求項7】

前記吸着材は、前記第１連通路を塞いでいる第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、を備えており、
前記第１面側の方が前記第２面側よりも密度が低い、請求項１に記載のガス検知装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書が開示する技術は、気体試料中の一つ以上のガス成分を検知することが可能なガス検知装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、温度変化によって被検知ガスが吸着脱離する吸着部、および、吸着部より脱離した被検知ガスを検知する検知部を備えたガス検知ユニットが開示されている。低濃度の被測定成分を含有する被検知ガスを一定量流し、吸着部に被測定成分を吸着させて濃縮することができる。次に、吸着部を加熱して被測定成分を脱離させ、脱離ガスを検知部側に流下させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第６２２５３５６９号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の技術では、吸着部の上流側と下流側との間で、検知部までの距離に差が存在している。すると、吸着部の上流部からの脱離ガスと下流部からの脱離ガスとの間で、検知部への到達時間に差が発生するため、効率的な濃縮が困難である。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書が開示するガス検知装置の一実施形態は、気体試料の流入口および第１排出口を備えた第１室を備える。ガス検知装置は、第１室の内部に配置されており、気体試料中の特定ガス成分を吸着可能であるとともに、所定温度以上に加熱されることで吸着した特定ガス成分を脱離可能な吸着材を備える。吸着材は膜形状を有する。ガス検知装置は、吸着材を加熱可能に構成されているヒータを備える。ガス検知装置は、 第１室に隣接して配置されており、第１連通路によって第１室に接続されている第２室を備える。ガス検知装置は、第２室の内部に配置されており、吸着材から脱離した特定ガス成分を検出可能な検知部を備える。吸着材の膜面と検知部の検知面とが第１連通路を介して対向して配置されている。

【0006】

吸着面と検知面とが対向して配置されているため、吸着面と検知面との距離を、面内の何れの位置においてもほぼ等しくすることができる。吸着面から離脱した特定ガス成分が検知面に到達する時間を、面内で同一とすることができるため、特定ガス成分の効率的な濃縮と検知感度向上が可能となる。

【0007】

流入口から第１排出口へ向かう方向である第１方向に対して、吸着材の膜面が略平行であってもよい。第１方向に対して、第１連通路の方向が略垂直であってもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0008】

第２室は、第１連通路と対向して配置されている第２排出口を備えていてもよい。第１連通路から第２排出口へ至る流路上に検知部が配置されていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0009】

第１排出口および第２排出口に接続されており、第１排出口および第２排出口の一方を択一的に外部に接続する切換部をさらに備えていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0010】

第１連通路を開閉可能な開閉部をさらに備えていてもよい。開閉部は、第１排出口が外部に接続されている場合に第１連通路を閉状態にするとともに、第２排出口が外部に接続されている場合に第１連通路を開状態にすることが可能に構成されていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0011】

第１連通路は開口部を備えていてもよい。開閉部は板状部材を備えていてもよい。板状部材は、開口部の外周全体に接触する状態と、開口部の外周の少なくとも一部に接触していない状態と、の間で変化することが可能に構成されていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0012】

吸着材は気体を通過させることが可能に構成されていてもよい。吸着材は連通路を塞ぐように配置されていてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【0013】

吸着材は、連通路を塞いでいる第１面と、第１面の反対側の第２面と、を備えていてもよい。第１面側の方が第２面側よりも密度が低くてもよい。効果の詳細は実施例で説明する。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施例１のガス検出システム１の断面模式図である。

【図2】実施例１のガス検出システム１の平面図である。

【図3】実施例２のガス検出システム１ａの断面模式図である。

【図4】開閉部５１ａの拡大上面図である。

【図5】開閉部５１ａの断面図である。

【図6】開閉部５２の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例1】

【0015】

（ガス検出システム１の構成）
図１に、実施例１のガス検出システム１の断面模式図を示す。図２に、本体５を＋ｚ方向から見た平面図を示す。なお図１は、図２のI－I線における断面図である。また図２では、ガス通路１２および１４、吸着室ＡＣ、吸着材１６、複数の第１連通路２１を点線で示している。

【0016】

ガス検出システム１は、ガス検知装置２、試料ガス容器３、ポンプ４、演算装置７を備えている。ガス検知装置２は、本体５および三方バルブ６を備えている。本体５の流入口１１には、配管６１を介して試料ガス容器３が接続されている。本体５の第１排出口１３および第３排出口４２は、配管６２および６３を介して三方バルブ６に接続されている。三方バルブ６の出口は、配管６４を介してポンプ４に接続されている。

【0017】

試料ガス容器３は、試料ガスを保持するための容器である。試料ガス容器３は、例えば樹脂フィルム製のパックであってもよい。三方バルブ６は、第１排出口１３および第３排出口４２の一方を択一的にポンプ４に接続するバルブである。ポンプ４は、吸引することでガスの流れを発生させる部位である。演算装置７は、試料ガス中の特定ガス成分の濃度を算出する装置である。演算装置７は、不図示の配線によって検知部３１～３３に接続されていてもよい。演算装置７は、例えばＰＣなどであってもよい。

【0018】

（本体５の構成）
本体５は、容器１０、２０、３０、４０が互いに積層されて接合されている構造を有している。容器１０、２０、３０、４０は、不図示の接合層を介して接合していてもよい。容器１０には、吸着室ＡＣが形成されている。容器１０の－ｘ方向端部には流入口１１が形成されている。流入口１１は、ガス通路１２を介して吸着室ＡＣに接続されている。図２に示すように、ガス通路１２は分岐している。これにより、吸着室ＡＣのｙ方向幅に均一に試料ガスを導入することができる。容器１０の＋ｘ方向端部には、第１排出口１３が形成されている。第１排出口１３は、ガス通路１４を介して吸着室ＡＣに接続されている。図２に示すように、ガス通路１４は分岐している。これにより、吸着室ＡＣから均一に試料ガスを排出することができる。

【0019】

吸着室ＡＣの内部には、吸着材１６が配置されている。吸着材１６は、試料ガス中の特定ガス成分を吸着可能であるとともに、所定温度以上に加熱されることで吸着した特定ガス成分を脱離可能である。吸着材１６は、膜形状を有しており、下面１６Ｌと、下面１６Ｌの反対側の上面１６Ｕとを備えている。下面１６Ｌは、第１連通路２１を塞ぐように、底面２０Ｌに接触している。すなわち、流入口１１から第１排出口１３へ向かう方向（＋ｘ方向）に対して、吸着材１６の膜面が略平行である。ここで略平行とは、完全な平行のみでなく、３０°程度の角度を有して対向している状態を含む概念である。

【0020】

吸着室ＡＣの底面２０Ｌには、複数の第１連通路２１が形成されている。複数の第１連通路２１は、ｚ方向に延びている。すなわち、流入口１１から第１排出口１３へ向かう方向（＋ｘ方向）に対して、第１連通路２１の方向（ｚ方向）は略垂直である。ここで略垂直とは、完全な垂直のみでなく、垂直方向に対して３０°程度の角度を有して傾いている状態を含む概念である。

【0021】

吸着材１６は気体を通過させることが可能に構成されている。例えば、多孔質体であってもよい。これにより、吸着材１６から離脱した特定ガス成分を、第１連通路２１を介して裏面側（－ｚ方向側）へ放出することが可能となる。

【0022】

また吸着材１６は、下面１６Ｌ側の方が上面１６Ｕ側よりも密度が低い。例えば、第１連通路２１に接する下面１６Ｌの気孔率（物質の全体積に占める空間の体積の割合）を、上面１６Ｕ(最上面)に比べて大きくしてもよい。これにより、離脱した特定ガス成分を裏面側へ放出しやすくすることが可能となる。

【0023】

吸着材１６は、加熱時に特定ガス成分を膜面と略垂直方向へ速やかに脱離することが求められるため、可能な限り薄いことが好ましい。例えば、吸着材１６の厚さは１０μｍ以下であってもよい。また吸着材１６の面積は、１０ｍｍ×１０ｍｍ以下であってもよい。これにより、本体５の小型化が可能となる。吸着材１６の材料としては、メソポーラス材料（例：メソポーラスシリカ、メソポーラス有機シリカ、メソポーラスカーボン等）、金属有機構造体（MOF:Metal-Organic Framework）、ゼオライト、活性炭等のミクロポーラス材料、を用いることができる。

【0024】

容器１０の上面には、ヒータ１５が配置されている。ヒータ１５は、吸着材１６を加熱可能に構成されている部材である。図２に示すように、平面視においてヒータ１５は、吸着材１６と少なくとも一部が重複して配置されている。ヒータ１５は、抵抗発熱体で形成されており、通電することで発熱する。抵抗発熱体としては、例えば、白金、タングステン、タンタル、ＮｉＣｒ合金、ＦｅＣｒＡｌ合金、ＣｕＮｉ合金などの金属や、ＳｉＣ、ＴｉＮ、ＭｏＳｉ_２などの非金属を用いることができる。

【0025】

容器２０および３０には、センサ室ＳＣが形成されている。センサ室ＳＣは、吸着室ＡＣの下方側に、吸着室ＡＣと隣接して配置されている。センサ室ＳＣは、複数の第１連通路２１によって吸着室ＡＣに接続されている。

【0026】

センサ室ＳＣの底面３０Ｌには、検知部３１～３３が配置されている。すなわち、吸着材１６の膜面と検知部３１～３３の検知面とが、第１連通路２１を介して対向して配置されている。検知部３１～３３は、吸着材１６から脱離した特定ガス成分を検出可能な部位である。検知部３１～３３は、互いに異なる種類であってもよい。検知部のセンサとしては、特定ガス成分の吸着により抵抗、容量、共振周波数、応力等が変化するタイプのセンサを用いることができる。検知部３１～３３の出力は演算装置７へ送信される。演算装置７は、センサ出力から特定ガス成分濃度を算出する。

【0027】

センサ室ＳＣの底面３０Ｌには、複数の第２排出口３４が形成されている。複数の第２排出口３４は、検知部３１～３３の側面に開口部を有している。そして互いに合流し、容器３０の底面を－ｚ方向に貫通して排出室ＥＣに通じている。すなわち、複数の第２排出口３４は、複数の第１連通路２１と対向して配置されている。そして、複数の第１連通路２１から複数の第２排出口３４へ至る流路上に、検知部３１～３３が配置されている。これにより後述するように、複数の第１連通路２１から放出された特定ガス成分を、検知部３１～３３の検知面に効率よく暴露することができる。

【0028】

容器４０には、排出室ＥＣが形成されている。排出室ＥＣは、センサ室ＳＣの下方側に、センサ室ＳＣと隣接して配置されている。容器４０の＋ｘ方向端部には、第３排出口４２が形成されている。第３排出口４２は、ガス通路４３を介して排出室ＥＣに接続されている。ガス通路４３は、ガス通路１２およびガス通路１４と同様に、分岐していてもよい。

【0029】

（本体５の製造方法）
本体５は、マイクロマシニング技術により作製することができる。第１ステップにおいて、シリコンウエハを用いて、容器１０、２０、３０、４０の各々を作製する。例えば、複数の第１連通路２１は、反応性イオンエッチングにより形成することができる。第２ステップにおいて、検知部３１～３３、吸着材１６、ヒータ１５の各々を形成する。第３ステップにおいて、容器１０、２０、３０、４０を作製したウエハを、ウエハ接合することにより一体化する。第４ステップにおいて、接合したウエハから本体５を切り出す。

【0030】

マイクロマシニング技術により本体５を製造できるため、本体５を小型化することができる。ガス検知装置２のコンパクト化が可能となる。

【0031】

（ガス検出システム１のガス検出動作）
まず、吸着ステップが行われる。第１排出口１３がポンプ４に接続されるように、三方バルブ６が切り換えられる。ポンプ４の吸引動作を開始すると、試料ガスは、試料ガス容器３から流入口１１およびガス通路１２を介して吸着室ＡＣに導入される。吸着材１６によって第１連通路２１が塞がれているため、吸着室ＡＣに導入された試料ガスは、吸着材１６の膜面に略平行に、＋ｘ方向へ流れる。（点線の矢印Ｙ１を参照）。すなわち吸着材１６は、試料ガスがセンサ室ＳＣへ流入することを防止する部材としても機能する。そして、吸着材１６の表面を試料ガスに暴露することで、吸着材１６に特定ガス成分を選択的に吸着させることができる。吸着室ＡＣを通過した試料ガスは、ガス通路１４、第１排出口１３、配管６２、三方バルブ６を介してポンプ４により排気される。

【0032】

次に、測定ステップが行われる。第３排出口４２がポンプ４に接続されるように、三方バルブ６が切り換えられる。ポンプ４の吸引動作を開始すると、吸着材１６の下面１６Ｌからセンサ室ＳＣ、第２排出口３４を介して排出室ＥＣへ至る流路が形成される（実線の矢印Ｙ２を参照）。このとき、流入口１１からＮ_２などのキャリアガスを供給してもよい。

【0033】

そしてヒータ１５による吸着材１６の加熱を開始する。吸着材１６が所定温度以上に加熱されると、特定ガス成分が吸着材１６から離脱する。離脱した特定ガス成分は、吸着材１６の下面１６Ｌから第１連通路２１を介して－ｚ方向へ放出され、検知部３１～３３で検知される。

【0034】

検知部３１～３３に到達した特定ガス成分は、第２排出口３４を介して排出室ＥＣに排出される。排出室ＥＣ内の特定ガス成分は、ガス通路４３、第３排出口４２、配管６３、三方バルブ６を介してポンプ４により排気される。

【0035】

（効果）
本明細書の技術では、吸着ステップにおいて、試料ガスを吸着材１６の膜面に略平行に流すことができる。これにより、吸着材１６の－ｘ方向端部から＋ｘ方向端部までの全域をまんべんなく試料ガスに暴露できるため、吸着効率を高めることができる。その結果、ガス検出システム１の検知感度を高めることができるため、ｐｐｂオーダの低濃度ガスの検知が可能となる。

【0036】

本明細書の技術では、吸着材１６の膜面と検知部３１～３３の検知面とが対向して配置されているため、両膜面の間の距離を、面内の何れの位置においてもほぼ等しくすることができる。吸着材１６から離脱した特定ガス成分が検知部３１～３３に到達する時間を、面内で同一とすることができるため、特定ガス成分の効率的な濃縮が可能となり、ガス検出システム１の検知感度を高めることが可能となる。また、離脱した特定ガス成分の移動遅れを防止することができるため、検知部３１～３３の応答性を高めることができる。ｐｐｂオーダの低濃度ガスの検知において、応答速度を向上させることができる。

【0037】

複数の検知部を、特定ガス成分の流路に沿って並べる場合には、複数の検知部が特定ガス成分に暴露されるタイミングに時間差が発生するため、複数の検知部の応答に差が生じる場合がある。本明細書の技術では、複数の検知部３１～３３を、特定ガス成分の流路に対して垂直に並べているため、複数の検知部３１～３３を同時に特定ガス成分に暴露することができる。複数の検知部３１～３３の応答を均等にすることができる。

【実施例2】

【0038】

図３に、実施例２のガス検出システム１ａの断面模式図を示す。実施例２のガス検出システム１ａは、実施例１のガス検出システム１をｚ方向にひっくり返した構造を有する。また開閉部５１ａを備える。実施例１のガス検出システム１と実施例２のガス検出システム１ａとで共通する部位には同一符号を付すことで、説明を省略する。また実施例２に特有の部位については、符号の末尾に「ａ」を付すことで区別する。

【0039】

吸着材１６は、吸着室ＡＣの底面２０Ｌａ上に配置されている。吸着材１６は、第１連通路２１ａから離れて配置されており、第１連通路２１ａを塞いでいない。また吸着材１６は、上面１６Ｕ側の方が下面１６Ｌ側よりも密度が低い。例えば、上面１６Ｕ(最上面)の気孔率を、下面１６Ｌに比べて大きくしてもよい。これにより、離脱した特定ガス成分を表面側へ放出しやすくすることが可能となる。

【0040】

吸着室ＡＣの上面２０Ｕａには、複数の第１連通路２１ａが形成されている。複数の第１連通路２１ａは、ｚ方向に延びている。複数の第１連通路２１ａの各々には、開閉部５１ａが備えられている。開閉部５１ａは、第１連通路２１ａを開閉可能な部位である。

【0041】

（開閉部５１ａの構造および動作）
図４に、１つの開閉部５１ａの拡大図を示す。図４は＋ｚ方向から見た上面図である。図５（Ａ）および（Ｂ）は、図４のV－V線における断面図である。図５（Ａ）は開状態、図５（Ｂ）は閉状態を示している。

【0042】

第１連通路２１ａは、センサ室ＳＣの底面３０Ｌａに開口部ＯＰを備えている。開閉部５１ａは、板状部材５１ｐ、梁部５１ｂ、基部５１ｆを備えている。基部５１ｆは、底面３０Ｌａに固定されている。梁部５１ｂは、基部５１ｆと板状部材５１ｐとを接続している。これにより板状部材５１ｐは、ｚ方向に移動可能に支持されている。板状部材５１ｐの周囲には、通気口ＶＨが形成されている。板状部材５１ｐおよび容器２０ａは、不図示の制御回路に接続されており、電圧を印加可能とされている。

【0043】

図５（Ａ）の開状態を説明する。板状部材５１ｐと底面３０Ｌａとの間に電圧を印加しない状態では、板状部材５１ｐに静電力が加わらない。板状部材５１ｐは、底面３０Ｌａから離れた状態となる。すなわち、板状部材５１ｐが、開口部ＯＰの外周の少なくとも一部に接触していない状態となる。開口部ＯＰから通気口ＶＨを介してセンサ室ＳＣへ至る流路が形成される。

【0044】

図５（Ｂ）の閉状態を説明する。板状部材５１ｐと底面３０Ｌａとの間に電圧を印加している状態では、両者の間に静電引力が働く。梁部５１ｂが変形し、板状部材５１ｐは－ｚ方向へ移動する。これにより、板状部材５１ｐが開口部ＯＰの外周全体に接触する状態となる。板状部材５１ｐによって開口部ＯＰが塞がれ、吸着室ＡＣからセンサ室ＳＣへ至る流路が遮断される。

【0045】

（ガス検出システム１ａの動作および効果）
吸着ステップでは、板状部材５１ｐに電圧が印加され、板状部材５１ｐが閉状態とされる。また、第１排出口１３がポンプ４に接続されるように、三方バルブ６が切り換えられる。板状部材５１ｐは、試料ガスがセンサ室ＳＣへ流入することを防止する部材として機能する。従って、吸着室ＡＣに導入された試料ガスは、吸着材１６の膜面に略平行に、＋ｘ方向へ流れる。（図３、点線の矢印Ｙ１ａを参照）。これにより、吸着効率を高めることができる。

【0046】

測定ステップでは、板状部材５１ｐに電圧が印加されず、板状部材５１ｐが開状態とされる。また、第３排出口４２がポンプ４に接続されるように、三方バルブ６が切り換えられる。第１連通路２１ａが開放されているため、吸着室ＡＣから第１連通路２１ａ、センサ室ＳＣ、第２排出口３４ａを介して排出室ＥＣへ至る流路が形成される（実線の矢印Ｙ２ａを参照）。ヒータ１５の加熱により吸着材１６から離脱した特定ガス成分は、第１連通路２１ａを介して略垂直上方向（＋ｚ方向）へ放出され、検知部３１～３３で検知される。これにより、特定ガス成分の効率的な濃縮が可能になるとともに、検知部３１～３３の応答性を高めることが可能となる。

【0047】

（開閉部５１ａの変形例）
開閉部５２（図６）は、開閉部５１ａ（図５）の変形例である。図６（Ａ）は開状態、図６（Ｂ）は閉状態を示している。開閉部５２は、板状部材５２ｐおよび固定部５２ｆを備えている。板状部材５２ｐはバイメタルである。板状部材５２ｐの端部５２Ｅは、固定部５２ｆによって底面３０Ｌａに固定されている。

【0048】

図６（Ａ）の開状態を説明する。ヒータ１５による吸着材１６の加熱と同時に、板状部材５２ｐも加熱される。加熱により板状部材５２ｐは＋ｚ方向へ反るように変形し、底面３０Ｌａから離れた状態となる。開口部ＯＰが開放され、吸着室ＡＣから第１連通路２１ａを介してセンサ室ＳＣへ至る流路が形成される。

【0049】

図６（Ｂ）の閉状態を説明する。板状部材５２ｐが加熱されていない状態では、板状部材５２ｐは真っ直ぐな形状となる。板状部材５２ｐは、開口部ＯＰの外周全体に接触する状態となる。板状部材５２ｐによって開口部ＯＰが塞がれ、第１連通路２１ａが遮断される。

【0050】

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【0051】

（変形例）
吸着材１６は複数配置してもよい。また吸着材１６の種類を異ならせてもよい。例えば図１のガス検出システム１において、検知部３１～３３の各々に対向するように、３種類の吸着材１６ａ～１６ｃを配置してもよい。これにより、３種類の特定ガス成分について濃縮および検出が可能となる。また検知部３１および３２に対向させて吸着材１６ａを配置するとともに、検知部３３に対向させて吸着材１６ｂを配置してもよい。

【0052】

検知部の数は３つに限られない。検出対象に応じた任意の数とすることができる。

【0053】

図１のガス検出システム１において、吸着材１６の配置態様は様々であってよい。例えば、吸着室ＡＣの上面２０Ｕに吸着材１６を配置することで、吸着材１６で第１連通路２１を塞がない形態としてもよい。

【0054】

開閉部５１ａ（図５）には、開口部ＯＰの周囲を囲うように、高さが均一な突起部が設けられていても良い。これにより、板状部材５１ｐの底面３０Ｌａへの静電力によるステイッキングを回避することが可能となる。

【0055】

開閉部５２（図６）において、板状部材５２ｐの加熱方法は様々であってよい。板状部材５２ｐに接続されている不図示の制御回路によって、板状部材５２ｐが加熱可能とされていてもよい。

【0056】

吸着室ＡＣは、第１室の一例である。センサ室ＳＣは、第２室の一例である。＋ｘ方向は、第１方向の一例である。三方バルブ６は、切換部の一例である。

【符号の説明】

【0057】

１：ガス検出システム ２：ガス検知装置 ３：試料ガス容器 ４：ポンプ ５：本体 ６：三方バルブ １０、２０、３０、４０：容器 １１：流入口 １３：第１排出口 １５：ヒータ １６：吸着材 ２１：第１連通路 ３１～３３：検知部 ３４：第２排出口 ４２：第３排出口 ＡＣ：吸着室 ＳＣ：センサ室 ＥＣ：排出室

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】