特許 7461013 搬送機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-26

(45)【発行日】2024-04-03

(54)【発明の名称】搬送機構

(51)【国際特許分類】

   B25J 18/02 20060101AFI20240327BHJP

   B25J 9/04 20060101ALI20240327BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240327BHJP

【ＦＩ】

B25J18/02

B25J9/04 B

H01L21/68 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019233404

(22)【出願日】2019-12-24

(65)【公開番号】P2021102237

(43)【公開日】2021-07-15

【審査請求日】2022-12-19

(73)【特許権者】

【識別番号】390038896

【氏名又は名称】バキュームプロダクツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090479

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 一

(74)【代理人】

【識別番号】100104710

【弁理士】

【氏名又は名称】竹腰 昇

(74)【代理人】

【識別番号】100124682

【弁理士】

【氏名又は名称】黒田 泰

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 利弘

(72)【発明者】

【氏名】北條 久男

【審査官】岩▲崎▼ 優

(56)【参考文献】

【文献】実公昭５４－０１７９６８（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】米国特許第０５２７７０９７（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開昭６０－０９４２８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１２５５８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１７７８８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００４／０９９５２４（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００－２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを進退駆動する進退機構と、
最大回転半径の範囲内で前記進退機構を垂直軸廻りで回転させる回転機構と、
を有し、
前記進退機構は、
前記ワークを保持する進退アームと、
前記進退アームの駆動部と、
を有し、
前記進退アームは、複数の第１リンクをピン結合した第１長尺部材と、複数の第２リンクをピン結合した第２長尺部材と、を有する長尺部材を含み、
前記複数の第１リンクの各々は、第１回転ストッパーと、第１磁性体と、を含み、
前記複数の第２リンクの各々は、第２回転ストッパーと、第２磁性体と、を含み、
前記第１及び第２磁性体の少なくとも一方は第１磁石であり、
前記複数の第１リンクのうち隣り合う２つのリンクの各々の前記第１回転ストッパー同士の接触により、前記２つの第１リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制され、前記複数の第２リンクのうち隣り合う２つの第２リンクの各々の前記第２回転ストッパー同士の接触により、前記２つの第２リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直上向きとなる回転が規制されて、前記進退アームの直線部分が形成維持され、前記進退アームの前記直線部分では、前記第１長尺部材と前記第２長尺部材とがその順で上下に重ね合わされ、前記複数の第２リンクの各々が対応する第１リンクと磁気結合されて、前記第２長尺部材では、前記直線部分に位置する第２リンクは、ピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制され、
前記駆動部は、
前記進退アームを進退駆動する進退駆動部と、
前記進退アームの後退時に、第１後退位置を通過する前記第１長尺部材の前記複数の第１リンクの一つに外力を付与して、前記２つの第１リンクの各々の前記第１回転ストッパー同士の接触を解除することにより、前記２つの第１リンクの一方を対応する第２リンクから引き離して、前記長尺部材に非直線部分を形成して、前記第１長尺部材を前記最大回転半径内に収まるように変形させる第１変形駆動部と、
を含み、
前記２つの第１リンクの一方から引き離された前記対応する第２リンクが自重により垂れ下がることで、前記第２長尺部材が前記最大回転半径内に収まるように変形され、
前記第１変形駆動部は、水平軸の周りに回転する回転体と、前記回転体の周方向に沿って配置された複数の第２磁石と、を含み、前記外力が磁気力である搬送機構。

【請求項2】

請求項１において、
第２変形駆動部をさらに含み、前記第２変形駆動部は、前記第１長尺部材の後退方向で前記第１変形駆動部よりも下流に、第２後退位置を通過する前記第１長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記第１長尺部材を許容高さ内でかつ前記最大回転半径内に収まるように変形させる搬送機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば真空－大気置換室内に配置される搬送機構に関する。

【背景技術】

【0002】

真空室にワークを搬入出する搬送機構は、ロードロックチャンバーとも称される真空－大気置換室内に配置される。真空－大気置換室は、大気圧に設定された状態で第１バルブが開放されて大気と連通されて、ワークを真空－大気置換室と外部との間で搬入出する。真空－大気置換室は、真空引きされた後に第２バルブが開放されて真空室と連通されて、ワークを真空－大気置換室と真空室との間で搬入出する。

【0003】

ワークを真空室と外部との間で搬入出させる搬送機構は、真空－大気置換室内に配置される。真空－大気置換室は真空引きされるため、容積を小さくすることが必要である。搬送機構は、ワークを進退させる進退機構と、その進退機構の向きを変更する回転機構が不可欠である。この搬送機構を真空－大気置換室に配置するためには、進退機構の回転半径を小さくする要求がある。このため、この種の搬送機構に用いられる進退機構は、フログレッグ型ロボット等、回転半径が小さい多関節ロボットで構成されている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－１９６７３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、多関節ロボットは、モーター制御される多関節を有するが故に、構造及び制御が複雑化し、高価格化が避けられない。

【0006】

本発明は、多関節ロボットよりも簡単な構造でありながら、ワークを進退させる進退機構の最大回転半径を小さくすることができる搬送機構を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明の一態様は、
ワークを進退駆動する進退機構と、
最大回転半径の範囲内で前記進退機構を垂直軸廻りで回転させる回転機構と、
を有し、
前記進退機構は、
ワークを保持して水平面内で進退させる進退アームと、
前記進退アームの駆動部と、
を有し、
前記進退アームは、複数のリンクをピン結合した長尺部材を含み、
前記複数のリンクの各々は、回転ストッパーを含み、
前記複数のリンクのうち隣り合う２つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触により、前記進退アームの直線部分が形成維持され、
前記駆動部は、
前記進退アームの前記直線部分を進退駆動する進退駆動部と、
前記進退アームの後退時に、第１後退位置を通過する前記長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記２つのリンクの各々の前記回転ストッパー同士の接触を解除することにより、前記長尺部材に非直線部分を形成して、前記長尺部材を前記最大回転半径内に収まるように変形させる変形駆動部と、
を含む搬送機構に関する。

【0008】

本発明の一態様によれば、ワークを保持する進退アームを含む進退機構を、回転機構により回転させて、進退アームの向きを変更することができる。進退アームを構成する長尺部材は、隣り合う２つのリンクの各々の回転ストッパー同士の接触により直線部分が形成維持され、その直線部分を進退させることでワークを受け渡しすることができる。変形駆動部は、進退アームの後退時に、第１後退位置を通過する長尺部材の複数のリンクの各一つに外力を付与して、隣り合う２つのリンクの各々の回転ストッパー同士の接触を解除することにより、長尺部材を最大回転半径内に収まるように変形させる。それにより、多関節ロボットを用いなくても、進退機構の最大回転半径を小さくでき、搬送機構の小型化が維持される。

【0009】

（２）本発明の一態様（１）では、前記進退アームは、複数の第１リンクをピン結合した第１長尺部材と、複数の第２リンクをピン結合した第２長尺部材と、を含み、前記進退アームの前記直線部分では、前記第１長尺部材と前記第２長尺部材とがその順で上下に重ね合わされて結合され、前記複数の第１リンクの各々は第１回転ストッパーを含み、前記複数の第２リンクの各々は第２回転ストッパーを含み、前記複数の第１リンクのうち隣り合う２つの第１リンクの各々の前記第１回転ストッパー同士の接触により、前記２つの第１リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制され、前記複数の第２リンクのうち隣り合う２つの第２リンクの各々の前記第２回転ストッパー同士の接触により、前記２つの第２リンクの各々はピン廻りでの回転接線方向が鉛直上向きとなる回転が規制され、前記変形駆動部は第１変形駆動部を含み、前記第１変形駆動部は、前記進退アームの後退時に、前記第１後退位置を通過する前記第１長尺部材の前記２つの第１リンクの各々の前記第１回転ストッパー同士の接触を前記外力により解除して、前記２つの第１リンクの一方を対応する第２リンクから引き離し、前記２つの第１リンクの一方から引き離された前記対応する第２リンクが自重により垂れ下がることで、前記第２長尺部材が前記最大回転半径内に収まるように変形されても良い。進退アームを第１及び第２長尺部材の上下の積層構造とすると、進退アームの強度が増大する。それにより、進退方向に対する直交方向（上下方向及び左右方向）への撓みや曲がりが抑制される。

【0010】

（３）本発明の一態様（２）では、前記第１長尺部材の前記複数の第１リンクの各々は第１磁石を含み、前記第２長尺部材の前記複数の第２リンクの各々は磁性体を含むことができる。こうすると、前記複数の第２リンクの各々が対応する第１リンクと磁気結合されて、前記第２長尺部材は、前記直線部分に位置する第２リンクは、ピン廻りでの回転接線方向が鉛直下向きとなる回転が規制される。このようにして、上下積層構造の第１及び第２長尺部材同士を磁気結合により連結することができる。なお、第１長尺部材と第２長尺部材との結合は、磁気力に限らず、静電力等の他の外力であっても良く、あるいは凹凸の嵌合等による機械的に結合であってもよい。要は、直線部分では第１及び第２長尺部材同士の結合が維持され、この結合が第１変形駆動部により解除できるものであればよい。

【0011】

（４）本発明の一態様（３）では、前記第１変形駆動部は、水平軸の周りに回転する回転体と、前記回転体の周方向に沿って配置された複数の第２磁石と、を含み、前記外力を磁気力とすることができる。第１変形駆動部が外力として磁気力を第１リンクに付与すると、第１リンクは回転体に巻き付くように変形され、かつ、対応する第２リンクとの磁気結合が解除される。こうして、第１及び第２長尺部材が、最大半径内に止まるように変形される。

【0012】

（５）本発明の一態様（２）～（４）では、前記変形駆動部は第２変形駆動部をさらに含むことができる。前記第２変形駆動部は、前記第１長尺部材の後退方向で前記第１変形駆動部よりも上流に、第２後退位置を通過する前記第１長尺部材の前記複数のリンクの一つに外力を付与して、前記第１長尺部材を許容高さ内でかつ前記最大回転半径内に収まるように変形させることができる。こうすると、第１長尺部材は許容高さの範囲内でかつ最大回転半径に止まるように変形され、搬送機構の小型化が高さ方向でも維持される。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】マルチチャンバー型真空処理装置の概略図である。

【図2】シングルチャンバー型真空処理装置の概略図である。

【図3】回転機構と進退機構とを含む搬送機構の概略図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る進退機構の概略正面図である。

【図5】図４に示す第１及び第２長尺部材の直線部分の平面図である。

【図6】図４に示す第１及び第２長尺部材を部分的に拡大して示す図である。

【図7】図４のＸ－Ｘ断面図である。

【図8】図４のＺ－Ｚ方向から見た矢視図である。

【図9】図８のＡ部拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下の開示において、提示された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態や実施例を提供する。もちろんこれらは単なる例であり、限定的であることを意図するものではない。さらに、本開示では、様々な例において参照番号および／または文字を反復している場合がある。このように反復するのは、簡潔明瞭にするためであり、それ自体が様々な実施形態および／または説明されている構成との間に関係があることを必要とするものではない。さらに、第１の要素が第２の要素に「接続されている」または「連結されている」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素と第２の要素とが互いに直接的に接続または連結されている実施形態を含むとともに、第１の要素と第２の要素とが、その間に介在する１以上の他の要素を有して互いに間接的に接続または連結されている実施形態も含む。また、第１の要素が第２の要素に対して「移動する」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素及び第２の要素の少なくとも一方が他方に対して移動する相対的な移動の実施形態を含む。

【0015】

１．真空処理装置
先ず、本発明の搬送機構が好適に使用される真空処理装置について概説する。図１はマルチチャンバー型真空処理装置を、図２はシングルチャンバー型真空処理装置を示す。図１において、ロードロックチャンバー１Ａには複数例えば３つのゲートバルブ２Ａ～２Ｃを介して連結された例えば３つの真空チャンバー３Ａ～３Ｃが連結される。ロードロックチャンバー１Ａには、ゲートバルブ２Ｄを開放することで大気と連通される。図２において、ロードロックチャンバー１Ｂはゲートバルブ４を介して連結された真空チャンバー３が連結される。ロードロックチャンバー１Ｂには、ゲートバルブ４Ｂを開放することで大気と連通される。

【0016】

図１のロードロックチャンバー１Ａと、図２のロードロックチャンバー１Ｂとに、本発明の搬送機構が配置される。搬送機構は、ゲートバルブ２Ｄ，４Ｂを開放してワークをロードロックチャンバー１Ａ，１Ｂに搬入する。大気－真空置換可能なロードロックチャンバー１Ａ，１Ｂが真空引きされた後に、ゲートバルブ２Ａ～２Ｃの一つまたはゲートバルブ４Ａか開放され、搬送機構によりワークが真空チャンバー３Ａ～３Ｃの一つまたは真空チャンバー３に搬入される。図１では、真空チャンバー３Ａで処理が終了したワークは、搬送機構により真空チャンバー３Ｂ，３Ｃに順次搬送されて全処理が終了される。全処理が終了されたワークは、真空－大気置換されるロードロックチャンバー１Ａ，１Ｂを介して搬送機構により外部に搬出される。

【0017】

２．搬送機構
図３は、図１のロードロックチャンバー１Ａまたは図２のロードロックチャンバー１Ｂに配置される搬送機構の概略図である。搬送機構５は、回転機構１０と進退機構１００とを含む。回転機構１０は、ロードロックチャンバー１Ａまたは１Ｂ内の最大回転半径Ｒ_ＭＡＸの範囲内で、進退機構１００を垂直軸廻りで回転させる。搬送機構５は、ワークを移し替えるために進退機構１００を昇降させる昇降機構（図示せず）を含むことができる。

【0018】

図４は、進退機構１００の概略正面図である。図４において、進退機構１００は、ワークを保持して水平面内で進退させる進退アーム１１０と、進退アーム１１０を駆動する駆動部２００とを含む。図４において、進退アーム１１０は左方向に向けて前進駆動され、右方向に向けて後退駆動される。進退アーム１１０の前進方向の先端部には、ワークを保持する保持部の取付部１１１を設けることができる。

【0019】

２．１．長尺部材（第１及び第２長尺部材）
本実施形態では、進退アーム１１０は、長尺部材として、例えば第１長尺部材１２０と第２長尺部材１３０とを含む。第１長尺部材１２０は、複数の第１リンク１２１をピン１２２で連結してピン結合される。同様に、第２長尺部材１３０は、複数の第２リンク１３１をピン１３２で連結してピン結合される。第１及び第２長尺部材１２０、１３０の詳細について、図５～図７も参照して説明する。図５～図７に示すように、第１長尺部材１２０は、隙間を隔てて配置される一対の第１リンク１２１、１２１間に第１回転ストッパー１２３を有する。図７に示すように、一対の第１リンク１２１、１２１と第１回転ストッパー１２３とは、それらに形成される各孔に挿通される連結軸部１２４により連結される。連結軸部１２４の例えば両端にＣリング１２５等を装着して抜け止めされる。複数の第１リンク１２１のうち隣り合う２つの第１リンク１２１の各々の第１回転ストッパー１２３同士は、図６に示すように鉛直軸と平行な端面である第１回転ストッパー面１２３Ａ同士が接触する。第１回転ストッパー面１２３Ａ同士の接触により、隣り合う２つの第１リンク１２１の各々はピン１２２の廻りで、図６に示す回転接線Ｚ１の方向が鉛直下向きとなる回転Ｒ１が規制される。こうして、第１回転ストッパー面１２３Ａ同士が接触する複数の第１リンク１２１により、図４に示すように第１長尺部材１２０には直線部分１２０Ａが形成される。第１リンク１２１は、第１回転ストッパー面１２３Ａに続く面取り部１２３Ｂを有する。隣り合う２つの第１リンク１２１の面取り部１２３Ｂ間には隙間が形成される。それにより、隣り合う２つの第１リンク１２１は、図６に示す回転接線Ｚ２の方向が鉛直上向きとなる回転Ｒ２が許容される。

【0020】

同様に、図５～図７に示すように、第２長尺部材１３０は、隙間を隔てて配置される一対の第２リンク１３１、１３１間に第２回転ストッパー１３３を有する。図７に示すように、一対の第２リンク１３１、１３１と第２回転ストッパー１３３とは、それらに形成される各孔に挿通される連結軸部１３４により連結される。連結軸部１３４の例えば両端にＣリング１３５等を装着して抜け止めされる。複数の第２リンク１３１のうち隣り合う２つの第２リンク１３１の各々の第２回転ストッパー１３３同士は、図６に示すように鉛直軸と平行な端面である第２回転ストッパー面１３３Ａ同士が接触する。第２回転ストッパー面１３３Ａ同士の接触により、隣り合う２つの第２リンク１３１の各々はピン１３２の廻りで、図６に示す回転接線Ｚ２の方向が鉛直上向きとなる回転Ｒ２が規制される。第２リンク１３１は、第２回転ストッパー面１３３Ａに続く面取り部１３３Ｂを有する。隣り合う２つの第２リンク１３１の面取り部１３３Ｂ間には隙間が形成される。それにより、隣り合う２つの第２リンク１３１は、図６に示す回転接線Ｚ１の方向が鉛直下向きとなる回転Ｒ１が許容される。

【0021】

図７に示すように、一対の第１リンク１２１、１２１間には、第１磁性体１２６が配置され、第１磁性体１２６は例えば一対の第１リンク１２１、１２１間に挟まれて支持される。同様に、一対の第２リンク１３１、１３１間には、第２磁性体１３６が配置され、第２磁性体１３６は例えば一対の第２リンク１３１、１３１間に挟まれて支持される。第１磁性体１２６及び第２磁性体１３６は、磁気吸引される関係にあり、その少なくとも一方が磁石である。本実施形態では、第１磁性体１２６を永久磁石で構成している。なお、第１及び第２回転ストッパー１２３、１３３は、非磁性体で構成することができる。

【0022】

本実施形態では、一対の第１リンク１２１、１２１及び一対の第２リンク１３１、１３１は磁性体で形成される。それにより、図７に示すように、第１磁性体１２６及び第２磁性体１３６との間には、一対の第１リンク１２１、１２１及び一対の第２リンク１３１、１３１を介して磁力線の閉ループＧ１が形成される。こうして、第２長尺部材１３０にも、第１長尺部材１２０には直線部分１２０Ａと磁気結合される領域に直線部分１３０Ａが形成される（図４参照）。第２長尺部材１３０の直線部分１３０Ａでは、第１長尺部材１２０の直線部分１２０Ａと磁気結合されることで、隣り合う２つの第２リンク１３１の各々はピン１３２の廻りで、図６に示す回転接線Ｚ１方向が鉛直下向きとなる回転Ｒ１が規制されるからである。

【0023】

２．２．駆動部
本実施形態では、進退アーム１１０の駆動部２００として、進退駆動部２１０及び第１変形駆動部２２０を含み、必要により第２変形駆動部２３０を含むことができる。駆動部２００は、図８に示すように、進退アーム１１０の進退通路の例えば両側に支持板２０１、２０１を有する。この支持板２０１、２０１間に、進退駆動部２１０及び第１変形駆動部２２０を有し、必要により第２変形駆動部２３０を有することができる。なお、支持板２０１、２０１間には、図４に示すように、進退アーム１１０の直線部分１２０Ａ、１３０Ａを案内する案内部として、上下一対の案内ローラー２０３～２０６を設けることができる。

【0024】

２．２．１．進退駆動部
図４及び図８に示すように、進退駆動部２１０は、例えば、第１水平軸２１１の廻りに回転する一対の第１回転体２１２の周縁に複数のスプロケット歯２１３を有するスプロケットで構成される。図５及び図８に示すように、第２長尺部材１３０のピン１３２は一対の第２リンク１３１よりも外方に突出している。進退駆動部２１０のスプロケット歯２１３は、例えば第２長尺部材１３０のピン１３２と接触する。一対の第１回転体２１２は可逆回転され、第２長尺部材１３０のピン１３２を正逆方向に回転送りすることで、進退アーム１１０を進退駆動する。なお、進退駆動部２１０は、第１長尺部材１２０のピン１２２を回転送りするように構成しても良い。

【0025】

２．２．２．第１変形駆動部
図４及び図８に示すように、第１変形駆動部２２０は、例えば、第２水平軸２２１の廻りに回転する一対の第２回転体２２２の間に、周方向で等間隔に複数の磁石（第２磁石）２２３を有する。本実施形態では、一対の第２回転体２２２は磁性体で形成される。それにより、図９に示すように、一対の第２回転体２２２の間の第２磁石２２３と、第１長尺部材１２０の第１磁性体（第１磁石）１２６との間には、一対の第１リンク１２１、１２１及一対の第２回転体２２２を介して磁力線の閉ループＧ２が形成される。図９に示す磁力線の閉ループＧ２は、図７に示す磁力線の閉ループＧ１に打ち勝つように強力に形成される。

【0026】

それにより、第１変形駆動部２２０は、図４の右方向に向けて後退駆動される進退アーム１１０の後退時に、第１後退位置Ｐ１を通過する第１長尺部材１２０の隣り合う２つの第１リンク１２１、１２１の各々の第１回転ストッパー１２３同士の接触を外力（磁気力）により解除して、第２回転体２２２に沿って第１長尺部材１２０に非直線部分１２０Ｂを形成する。それにより、第１長尺部材１２０が図３に示す最大回転半径Ｒ_ＭＡＸ内に収まるように変形される。

【0027】

隣り合う２つの第１リンク１２１、１２１のうちの一方である後退方向で下流の第１リンク１２１に第１変形駆動部２２０から磁気力が付与されると、その第１リンク１２１は、その第１リンク１２１に磁気吸引されていた対応する第２リンク１３１から引き離される。こうすると、対応する第２リンク１３１は、その自重により、図６に示す鉛直下方に向かう回転接線Ｚ１を有する回転Ｒ１の方向に回転されて垂れ下がる。こうして、第２長尺部材１３０もまた、図３に示す最大回転半径Ｒ_ＭＡＸ内に収まるように変形される。

【0028】

２．２．３．第２変形駆動部
図４に示すように、第２変形駆動部２３０は、例えば第１変形駆動部２２０と同様にして、第３水平軸２３１の廻りに回転する一対の第３回転体２３２の間に、周方向で等間隔に複数の磁石（第３磁石）２３３を有する。本実施形態では、一対の第３回転体２３２は磁性体で形成される。それにより、図９と同様にして、一対の第３回転体２３２の間の第３磁石２３３と、第１長尺部材１２０の第１磁性体（第１磁石）１２６との間には、一対の第１リンク１２１、１２１及一対の第２回転体２２２を介して磁力線の閉ループが形成される。

【0029】

それにより、第２変形駆動部２３０は、図４の上方向に向けて後退駆動される進退アーム１１０の後退時に、第２後退位置Ｐ２を通過する第１長尺部材１２０の隣り合う２つの第１リンク１２１、１２１の各々の第１回転ストッパー１２３同士の接触を外力（磁気力）により解除して、第３回転体２３２に沿って第１長尺部材１２０を図４の左側に向くように変形させることができる。それにより、第１長尺部材１２０が、図３に示す最大回転半径Ｒ_ＭＡＸ内であって、かつ、ロードロックチャンバー１Ａ，１Ｂの許容高さ内に収まるように変形される。なお、図４において、下を向くように変形された第２長尺部材１３０を同様にして変形駆動させる追加の変形駆動部をさらに設けても良い。

【0030】

進退アーム１１０を第１及び第２長尺部材１２０、１３０の上下の積層構造とすると、進退アーム１１０の強度が増大する。それにより、進退方向に対する直交方向（上下方向及び左右方向）への撓みや曲がりが抑制される。ただし、進退アーム１１０は、必要とされる強度が担保される限り、長尺部材１２０により構成しても良い。長尺部材１２０は、第２長尺部材１３０の存在を必要とせずに直線部分１２０Ａを、隣り合う２つの第１リンク１２１の回転ストッパー１２３同士の接触により形成できるからである。この場合、変形駆動部２２０は、進退アーム１１０（１２０）の後退時に、第１後退位置Ｐ１を通過する長尺部材１２０の複数のリンク１２１の各一つに外力を付与して、隣り合う２つのリンク１２１の各々の回転ストッパー１２３同士の接触を解除することにより、長尺部材１２０を最大回転半径Ｒ_ＭＡＸ内に収まるように変形させる。

【符号の説明】

【0031】

１Ａ，１Ｂ…ロードロックチャンバー、５…搬送機構、１０…回転機構、１００…進退機構、１１０…進退アーム、１２０…第１長尺部材、１２０Ａ…直線部分、１２０Ｂ…非直線部分、１２１…第１リンク、１２２…ピン、１２３…第１回転ストッパー、１２３Ａ…第１ストッパー面、１２４…連結軸部、１２５…Ｃリング、１２６…第１磁性体（第１磁石）、１３０…第２長尺部材、１３０Ａ…直線部分、１３０Ｂ…非直線部分、１３１…第２リンク、１３２…ピン、１３３…第２回転ストッパー、１３３Ａ…第２ストッパー面、１３４…連結軸部、１３５…Ｃリング、１３６…第２磁性体、２００…駆動部、２１０…進退駆動部、２１１…第１水平軸、２１２…第１回転体、２１３…スプロケット歯、２２０…第１変形駆動部、２２１…第２水平軸、２２２…第２回転体、２２３…第２磁石、２３０…第２変形駆動部、２３１…第３水平軸、２３２…第３回転体、２３３…第３磁石、Ｇ１，Ｇ２…磁力線の閉ループ、Ｐ１…第１後退位置、Ｐ２…第２後退位置、Ｒ_ＭＡＸ…最大回転半径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】