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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-03-28
(45)【発行日】2024-04-05
(54)【発明の名称】ガラスパネルユニット、ゲッタ材
(51)【国際特許分類】
C03C 27/06 20060101AFI20240329BHJP
B01J 20/18 20060101ALI20240329BHJP
E06B 3/677 20060101ALI20240329BHJP
【ＦＩ】
C03C27/06 101J
B01J20/18 D
E06B3/677
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2022519930
(86)(22)【出願日】2021-04-26
(86)【国際出願番号】 JP2021016576
(87)【国際公開番号】W WO2021225083
(87)【国際公開日】2021-11-11
【審査請求日】2022-10-26
(31)【優先権主張番号】P 2020082839
(32)【優先日】2020-05-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2020191933
(32)【優先日】2020-11-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】阿部 裕之
(72)【発明者】
【氏名】瓜生 英一
(72)【発明者】
【氏名】石橋 将
(72)【発明者】
【氏名】長谷川 和也
(72)【発明者】
【氏名】野中 正貴
(72)【発明者】
【氏名】清水 丈司
(72)【発明者】
【氏名】小杉 直貴
【審査官】酒井 英夫
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１９／１８８４２４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１９／１６７６６６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１９／００３４７５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１６－１０８７９９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ０３Ｃ ２７／０６，
Ｂ０１Ｊ ２０／１８，２０／３４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれた減圧空間と、
前記減圧空間内に配置されたガス吸着体と、
を備え、
前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有し、
前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有し、
前記ゼオライトがＺＳＭ－５型の銅イオン交換ゼオライトであり、
前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上であり、
前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である、
ガラスパネルユニット。
【請求項2】
前記複数の粒子の全重量のうち、前記粒子の径が２００ｎｍ未満の粒子の重量が半分未満である、請求項１に記載のガラスパネルユニット。
【請求項3】
前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が４００ｎｍ以上である、請求項１又は２に記載のガラスパネルユニット。
【請求項4】
前記減圧空間における窒素の分圧が０．１Ｐａ以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
【請求項5】
前記粒子が吸着した窒素の２０℃における総量が、前記減圧空間の容積をＶ（ｍ３）としたとき、０．１Ｖ（Ｐａ・ｍ３）以上である、請求項１～４のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
【請求項6】
前記粒子は、一次粒子であり、
前記径は、前記粒子の最短幅である、
請求項１～５のいずれか一項に記載のガラスパネルユニット。
【請求項7】
第１ガラス板と、
前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれた減圧空間と、
前記減圧空間内に配置されたガス吸着体と、
を備え、
前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有し、
前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有し、
前記ゼオライトがＺＳＭ－５型の銅イオン交換ゼオライトであり、
前記複数の粒子の全数のうちの半分以上の数を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上であり、
前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である、
ガラスパネルユニット。
【請求項8】
第１ガラス板と、
前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれた減圧空間と、
前記減圧空間内に配置されたガス吸着体と、
を備え、
前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有し、
前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有し、
前記ゼオライトがＺＳＭ－５型の銅イオン交換ゼオライトであり、
前記複数の粒子が占める全体積のうちの半分以上の体積を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上であり、
前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である、
ガラスパネルユニット。
【請求項9】
ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有し、
前記ゼオライトがＺＳＭ－５型の銅イオン交換ゼオライトであり、
前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上であり、
前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である、
ゲッタ材。
【請求項10】
前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が４００ｎｍ以上である、
請求項９に記載のゲッタ材。
【請求項11】
前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が６００ｎｍ以上である、
請求項９又は１０に記載のゲッタ材。
【請求項12】
前記複数の粒子の各径が１０００ｎｍ以上である、
請求項９～１１のいずれか一項に記載のゲッタ材。
【請求項13】
前記粒子は、一次粒子であり、
前記径は、前記粒子の最短幅である、
請求項９～１２のいずれか一項に記載のゲッタ材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ガラスパネルユニット、ゲッタ材、ゲッタ材組成物及びガラスパネルユニットの製造方法に関する。詳細には、断熱用ガラスパネルユニット、ゲッタ材、ゲッタ材組成物及びガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、内部にガス吸着体を有するガラスパネルユニットが開示されている。また、特許文献１には、ガス吸着体としてゼオライト系の材料を用いる点が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】国際公開第２０１９／００４１３５号
【発明の概要】
【0004】
しかし、特許文献１には、ガス吸着体を構成するゼオライトの大きさについて何ら開示されておらず、改良の余地がある。
【0005】
本開示の課題は、ガラスパネルユニットの製造プロセスを低温化しても、低圧領域で吸着性能を発揮するゲッタ材を有するガラスパネルユニット、ゲッタ材、ゲッタ材組成物及びガラスパネルユニットの製造方法を提供することである。
【0006】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、枠体と、減圧空間と、ガス吸着体と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。前記減圧空間は、前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれる。前記ガス吸着体は、前記減圧空間内に配置される。前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0007】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、枠体と、減圧空間と、ガス吸着体と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。前記減圧空間は、前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれる。前記ガス吸着体は、前記減圧空間内に配置される。前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全数のうちの半分以上の数を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0008】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、枠体と、減圧空間と、ガス吸着体と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。前記減圧空間は、前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれる。前記ガス吸着体は、前記減圧空間内に配置される。前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全体積のうちの半分以上の体積を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0009】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、枠体と、減圧空間と、ガス吸着体と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。前記減圧空間は、前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれる。前記ガス吸着体は、前記減圧空間内に配置される。前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有する。
【0010】
本開示の一態様に係るゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0011】
本開示の一態様に係るゲッタ材組成物は、ゲッタ材と、溶媒と、を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記粒子の活性化可能温度は４００℃以下である。
【0012】
本開示の一態様に係るゲッタ材組成物は、ゲッタ材と、溶媒と、を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子は、径が２００ｎｍ以上の粒子を含む。
【0013】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットの製造方法は、加工工程と、組立工程と、接合工程と、排気工程と、を含む。前記加工工程は、前記ゲッタ材組成物を用意する。前記組立工程は、第１ガラス板と、第２ガラス板と、枠状の周壁と、内部空間と、前記ゲッタ材組成物から得られるガス吸着体と、排気口と、を備える組立て品を用意する。前記接合工程は、前記周壁を溶融させて前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。排気工程は、排気口を介して前記内部空間を排気して減圧空間とする。
【0014】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、枠体と、減圧空間と、ガス吸着体と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを気密に接合する。前記減圧空間は、前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記枠体とで囲まれる。前記ガス吸着体は、前記減圧空間内に配置される。前記ガス吸着体は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。封止材の軟化点または融点または接着可能温度の少なくとも１つが３５０℃以下である。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
まず、本開示に至った経緯を説明する。
【0017】
ガラスパネルユニットは、二枚のガラス板の間に減圧空間（又は真空空間）を有することにより、断熱性を有する。このようなガラスパネルユニットの断熱性は、二枚のガラス板の間に減圧空間があっても、この減圧空間にガスが残ることで低下してしまうと考えられる。このため、減圧空間内にガスが残る量を減らすため、ガス吸着体が減圧空間内に設けられている。ガス吸着体として、ゼオライトからなるゲッタ材を有するものが従来用いられている（特許文献１参照）。
【0018】
大気中や溶液中等に置かれたゼオライトは、大量のガスを吸着した状態になっている。このため、減圧空間内で十分な吸着性能を持つガス吸着体としてゼオライトを用いるためには、真空中で加熱することによってゼオライトが吸着しているガスを脱離させ（活性化）、吸着サイトを発現させる必要がある。特に、銅イオン交換型ゼオライトは酸化銅が還元（酸素が脱離）することによって強力な窒素吸着サイトが発現する。このとき、十分高い温度で活性化しないと、酸素、または水分などの他のガスが脱離せず、十分な吸着性能が得られない。
【0019】
ガラスパネルユニットの製造プロセスにおけるゼオライトの活性化は、例えば第１溶融工程（接合工程）の途中又は終了時に開始される排気工程において行うことができる。このとき、排気工程においてゼオライトを十分加熱できれば、十分な吸着性能が得られる。一方、生産タクト改善や製造設備の簡略化、強化ガラスへの対応などのため、ガラスパネルユニットの製造工程は低温化が望まれている。このため、ゼオライトは低温の排気工程（低温の活性化）でも十分に吸着能力が発揮されることが望ましい。
【0020】
一般的に低圧領域での吸着が難しい窒素も、ガラスパネルユニットの製造プロセスや、製造後、ガラスパネルユニットを使用中に紫外線があたることによっても放出される。このため、窒素も吸着できる銅イオン交換ゼオライトは特に望ましい。しかし、低温プロセス（低温での排気工程、低温での活性化工程）で銅イオン交換ゼオライトを十分に活性化できない場合、窒素に対する強力な吸着サイトを発現させにくくなり、十分な吸着性能が得られない。
【0021】
ゼオライトの結晶からなる粒子においては、表面に多数の細孔が形成されており、この細孔より吸着対象であるガスが吸い込まれて、入り組んだ内部空間内に保持（吸着）される。このようなゼオライトの粒子のガス吸着能力は、一般的に、表面積の大きさに比例するとされている。ゼオライトの粒子の表面積については、多数のゼオライトの粒子の重量の合計値が一定である場合、言い換えると単位重量あたりにおいて、ゼオライトの粒子の径が小さくゼオライトの粒子の数が多いほど、ゼオライトの粒子の表面積の合計値が大きくなる。このため、ゼオライトの粒子の径が小さいほど、単位重量あたりのガス吸着能力は高くなる。なお、本開示では、ゼオライトの粒子の径と、ゼオライトの結晶サイズ（結晶の大きさ）とは、同義として説明する。また本開示では、ゼオライトの粒子は、一次粒子として説明している。すなわち、ゼオライトの粒子は、凝集体（二次粒子）ではなく、ゼオライトの結晶である。
【0022】
しかしながら、発明者らは、鋭意研究の結果、大気圧よりも所定量減圧された低圧領域（特に真空に近い領域）において、ゼオライトの粒子の体積の合計値が一定であっても、ゼオライトの粒子の径が大きい方が、ゼオライトの粒子の径が小さい場合よりもガス吸着能力が大きくなることを見出した。また、特にゼオライトが低温で活性化される場合において、この傾向が著しく顕著になることを見出した。このようなゼオライトの粒子の性質を利用して、低圧領域において高いガス吸着能力を得るため、本開示に至った。すなわち、本実施形態では、低圧領域において高いガス吸着能力を有するガス吸着体を得るための、真空又は減圧空間断熱用のゲッタ材及びゲッタ材組成物を提供することができる。
【0023】
＜第１実施形態＞
次に、本実施形態に係るガラスパネルユニット１０及びその製造方法の概要を説明する。
次に、本実施形態に係るガラスパネルユニット１０及びその製造方法の概要を説明する。
【0024】
図２に示すように、ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第１ガラス板２０に対向する第２ガラス板３０と、枠体４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、を備える。枠体４０は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを気密に接合する。減圧空間５０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれる。ガス吸着体６０は、減圧空間５０内に配置される。ガス吸着体６０は、ゲッタ材を含有する。
【0025】
ガラスパネルユニット１０の製造方法は、加工工程と、組立工程（図３～図５参照）と、接合工程（第１溶融工程、図６参照）と、排気工程（図６参照）とを含む。加工工程は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有するゲッタ材を得るゲッタ材作製工程を含む。組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。組立て品１００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、枠状の周壁４１０と、内部空間５００と、ガス吸着体６０と、排気口７００とを備える（図１Ａ及び図１Ｂ参照）。第２ガラス板３００は、第１ガラス板２００に対向する。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間にある。内部空間５００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０とで囲まれる。ガス吸着体６０は、内部空間５００内に配置され、かつ上記のゲッタ材を含有する。排気口７００は、内部空間５００と外部空間とをつなぐ。接合工程は、周壁４１０を溶融させて第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合させる工程である。排気工程は、排気口７００を介して内部空間５００を排気して減圧空間５０とする工程である。ガラスパネルユニット１０の製造方法（以下、製造方法という場合がある）を、図１～図８を参照して詳細に説明する。この製造方法は、図２のようなガラスパネルユニット１０を製造する方法である。なお、本実施形態では、方向Ｄ１は第１ガラス板２００の厚み方向と平行な方向であり、方向Ｄ２は、方向Ｄ１と直交する方向であり、方向Ｄ３は方向Ｄ１及び方向Ｄ２と直交する方向である。また方向Ｄ１は第１方向であってもよく、方向Ｄ２は第２方向であってもよく、方向Ｄ３は第３方向であってもよい。
【0026】
製造方法は、準備工程と、除去工程とを含む。
【0027】
準備工程は、図７に示す仕掛り品１１０を用意する工程である。仕掛り品１１０は、図１Ａ及び図１Ｂに示す組立て品１００から形成される。すなわち、仕掛り品１１０はガラスパネルユニット１０（図２参照）を作製するための中間生成物であり、組立て品１００は仕掛り品１１０を作製するための中間生成物である。
【0028】
【0029】
加工工程は、ゲッタ材組成物を用意する工程である。このゲッタ材組成物は、少なくとも、ゼオライトと、溶媒（例えば、水及び有機溶剤の少なくとも一方）とを含有する。そして、ガス吸着体６０はゲッタ材組成物の乾燥物である。加工工程は、加熱工程と、ゲッタ材作製工程と、混合工程とを含む。ゲッタ材組成物は、液体、ペースト、インク、スラリーなど、流動性があることが好ましく、塗布又は印刷などで供給可能な形態であることが好ましい。
【0030】
加熱工程は、ガス吸着体６０に含有されるゼオライトを加熱する工程である。加熱工程の温度は、排気工程の温度（後述の排気温度Ｔｅ）よりも高いことが好ましく、第１溶融工程の温度（後述の第１溶融温度Ｔｍ１）よりも高いことがより好ましく、第２溶融工程の温度（後述の第２溶融温度Ｔｍ２）よりも高いことが特に好ましい。この場合、組立て品１００を作製する前に、ゼオライトが吸着していたガス成分を脱離させることができる。また、加熱工程において、ゼオライトを加熱すると、ゼオライトに吸着されていた酸素を加熱工程によって脱離させることができる。これにより、接合工程以降で酸素を脱離させる量が減らすことができるため、排気工程を低温化でき、その結果、第１溶融工程、及び第２溶融工程を低温化させることができる。したがって、ガラスパネルユニット１０の製造コストを削減することができる。なお、この加熱工程は任意の工程であり、行われなくてもよい。
【0031】
ゼオライトは、表面に多数の細孔が形成された、多孔質の結晶からなる小さな粒子（微粒子）である。ゼオライトの細孔より吸着対象であるガスが吸い込まれて、入り組んだ内部空間内にガスが保持（吸着）される。ゼオライトが吸着するガスとして、例えば、水蒸気、二酸化炭素、酸素、窒素、及びメタン等の炭化水素等が挙げられる。中でも、ゼオライトは、他の一般的な吸着材では吸着しにくい窒素及び炭化水素等のガス（特に窒素）を減圧空間内で吸着することができる。ゼオライト構造は、下記一般式（１）の組成を有する。
【0032】
Ｍｅ２／ＸＯ・Ａｌ２Ｏ３・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ，…（１）
ここで、Ｍｅは細孔内に存在するｘ価のカチオンである。ｍはシリカ／アルミナ比であり、２以上の整数である。ｎは０以上の整数である。式（１）の組成中、各Ａｌで１価の負電荷が生じている。このため、Ｍｅが２価以上のカチオンである場合、ゼオライトの細孔内で正電荷が生じる。また、Ｍｅが１価のカチオンである場合、細孔内は電気的に中性となる。
ここで、Ｍｅは細孔内に存在するｘ価のカチオンである。ｍはシリカ／アルミナ比であり、２以上の整数である。ｎは０以上の整数である。式（１）の組成中、各Ａｌで１価の負電荷が生じている。このため、Ｍｅが２価以上のカチオンである場合、ゼオライトの細孔内で正電荷が生じる。また、Ｍｅが１価のカチオンである場合、細孔内は電気的に中性となる。
【0033】
ゼオライト構造では、Ｍｅは１価のカチオンであってもよい。Ｍｅは２価以上のカチオンであってもよい。Ｍｅは１価のカチオンと、２価以上のカチオンを組み合わせていてもよい。１価のカチオンとして、例えば、Ｌｉ＋、Ｎａ＋、及びＫ＋等のアルカリ金属イオン；プロトン；並びにアンモニウムイオン（ＮＨ４
＋）、Ａｇ＋等が挙げられる。２価以上のカチオンとして、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋、及びＢａ２＋等のアルカリ土類金属イオン；並びにＣｕ２＋、Ａｕ２＋、Ｆｅ２＋、Ｚｎ２＋及びＮｉ２＋等の遷移金属イオンが挙げられる。
【0034】
ゼオライト構造として、例えば、Ａ型ゼオライト構造、Ｘ型ゼオライト構造、Ｙ型ゼオライト構造、L型ゼオライト構造、β型ゼオライト構造、モルデナイト構造、フェリエライト構造、USYゼオライト構造、CHA型ゼオライト構造、SAPO型ゼオライト構造、及びＺＳＭ－５構造（MFI）等が挙げられる。ゼオライトは、上記の構造以外の任意のゼオライト構造を含有してもよい。
【0035】
一般式（１）中の水（Ｈ２Ｏ）は、結晶水としてゼオライトに含まれている。このような水は、例えば細孔内に含まれている。ゼオライトを加熱すると、この結晶水だけでなく、加熱前に吸着していた酸素等のガス成分をゼオライトから脱離させることができる。これにより、ゼオライトが有するガス吸着性を向上させることができる。なお、結晶水が完全に脱離すると、一般式（１）中のｎは０になる。
【0036】
加熱工程で得られるゼオライトは、酸素が脱離し、かつ窒素、メタン及び水分等のうち少なくとも１種の成分（以下、吸着成分という場合がある）を吸着していることが好ましい。すなわち、加熱工程で得られるゼオライトの吸着容量は吸着成分で飽和していることが好ましい。この場合、吸着成分が排気工程等の加熱時にゼオライトから脱離することにより、ゼオライトのガス吸着性を回復させることができる。なお、加熱工程後のゼオライトが水と混合されると、このゼオライトに、窒素又はメタンが吸着されていても、その一部は水分に置換されると考えられる。
【0037】
ゼオライトは、銅イオン交換ゼオライトを含有することが好ましい。この銅イオン交換ゼオライトは、一般式（１）中のＭｅが銅イオンである成分である。ここで、銅イオン交換ゼオライトは、ゼオライト構造に銅イオンを保持させた成分である。このため、「銅イオン交換ゼオライト」は、ゼオライト構造に銅イオンを保持させる前の成分まで限定しない。また、ゼオライトの結晶構造はＺＳＭ－５型であることがより好ましい。銅イオン交換されたＺＳＭ－５型ゼオライト（Ｃｕ－ＺＳＭ－５）は、室温においても低圧下で窒素やメタン等を強く吸着することができる。なお、ＺＳＭ－５型のシリカ／アルミナのモル比は１００以下が望ましく、２０以上４５以下がより望ましいが、特にこれに限るものではない。また、銅の含有量は１～１０ｗｔ％であることが望ましいが、これに限るものではない。本開示に係るガス吸着体６０が含有するゼオライトの結晶は、所定の条件を有するものであり、この点については、後で詳述する。
【0038】
ゲッタ材作製工程は、加熱工程後または未加熱のゼオライトを用いてゲッタ材を得る工程である。例えば、ゲッタ材作製工程は、ゼオライトからなる粒子（結晶）と、ゼオライト以外の化合物からなる粒子とを混合して複合ゲッタ材を得る工程を含む。またゲッタ材作製工程は、所定の粒度分布を有する複数の粒子（ゼオライトからなる粒子と、それとは種類の異なるゼオライトからなる粒子またはゼオライト以外の化合物からなる粒子）を調製する工程を含む。ゲッタ材は、組成や結晶構造、粒度分布等の異なる複数種のゼオライトを含んでいてもよく、ゼオライト以外の粒子を含んでいてもよい。ゲッタ材作製工程の後、混合工程が行われる。
【0039】
混合工程は、ゲッタ材と溶媒とを混合してゲッタ材組成物を得る工程である。ゲッタ材は上述のようなゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。またゲッタ材はゼオライト以外の化合物からなる粒子を含んでいてもよい。溶媒としては、水、有機溶媒、及び水と有機溶媒の混合物を使用することができる。
【0040】
溶媒として水を用いる場合、このゲッタ材組成物では水がゲッタ材を覆うようにして存在する。これにより、ゲッタ材組成物の状態で、ゲッタ材は空気と接しにくくなる。すなわち、ゲッタ材は空気（特に空気中の酸素）等を吸着しにくくなる。したがって、ゲッタ材組成物の保存が容易となり、ガラスパネルユニット１０を製造する際の煩雑性を軽減できる。ゲッタ材組成物における水の含有量は、任意に選択できる。溶媒は水を使用できる。また溶媒は水を主成分とする溶液を使用できる。例えば、溶媒は、不純物としての有機物やカルシウム、ナトリウムなどの成分が混合された水であってもよい。
【0041】
また溶媒は、水と有機溶媒の混合物であってもよい。この場合、水と、５０質量％以下のエタノール等の有機溶媒とが混合された混合溶媒であってもよい。また有機溶媒は、エタノール又はブチルカルビトールアセテート、ターピネオールなどの有機溶媒及びこれらの混合物であってもよい。溶媒として水を使用する場合は、可能な限り純水、超純水、イオン交換水、蒸留水等を用いることが望ましい。
【0042】
また溶媒として有機溶媒を用いる場合、有機溶媒の分子サイズが、ゼオライト（特に、ＺＳＭ－５型）の細孔径と同等か、細孔径よりも大きいことが好ましい。例えば、ゼオライトの細孔径が５．５Åの場合、有機溶媒の分子サイズ（分子の最大幅）が５．５Å以上であることが好ましい。
【0043】
有機溶媒の分子サイズが、ゼオライトの細孔径と同等の場合、ゼオライトの細孔に入り込む溶媒の分子が少なくなる。すなわち、ゼオライトへの有機溶媒の分子の拡散速度が遅く、ゼオライトの結晶内部にまでは拡散する有機溶媒の分子が少なくなる。したがって、ゼオライトの粒子の表面近傍に有機溶媒の分子が留まるので、有機溶媒の分子を脱離させるのにそれほどエネルギーを要さない。
【0044】
また有機溶媒の分子サイズが、ゼオライトの細孔径より大きい場合、多くの有機溶媒の分子がゼオライトの細孔に入りこめないため、ゼオライトの粒子の表面に有機溶媒の分子が留まり、有機溶媒の分子を脱離させるのに、さらにエネルギーを要さない。
【0045】
したがって、有機溶媒の分子サイズが、ゼオライトの細孔径と同等か、細孔径よりも大きい場合、ゲッタ材組成物から溶媒を除去してガス吸着体６０を形成する場合に、ゼオライトの内部に拡散している有機溶媒が少ないため、大きなエネルギーを要することなく、溶媒を除去することができる。またゼオライトの内部に有機溶媒が残存しにくくなり、ゼオライトの粒子の径を大きくしたことによる効果が得やすくなる。
【0046】
一方、有機溶媒の分子サイズが、ゼオライトの細孔径より小さい場合、有機溶媒の分子がゼオライトの結晶内部に拡散するため、有機溶媒の分子を脱離させるのに多大なエネルギーを要する。
【0047】
分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）より大きい有機溶媒であって、芳香族化合物としては、例えば、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、ペンタメチルベンゼン、ヘキサメチルベンゼン、ｍキシレンなどである。
【0048】
分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）より大きい有機溶媒であって、非芳香族化合物としては、シクロオクタン、シクロヘプタン、ジメチルキノリン、αピネン、βピネン、ピナン、αピネンオキシド、ピノカルベオール、カリオフィレン、ベルべノン、イソボニルシクロヘキサノールなどの環状構造を含む環式化合物が例示される。
【0049】
分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）と同程度の有機溶媒としては、ｐキシレン、ｐメンタン、ｄリモネン、ｌリモネン、αテルピネオール、βテルピネオール、γテルピネオール、テルピネン、メントール、ミルテナール、ミルテノール、ｐメンテン、安息香酸ベンジル、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピニルアセテートなどの環状構造を含む環式化合物が例示される。
【0050】
このように本開示では、有機溶媒としては、芳香族化合物又は非芳香族化合物を含む環状構造を有する環式化合物を使用するのが好ましい。直鎖構造の有機溶媒の分子は、分子サイズが大きくてもゼオライトの細孔の中に入りやすいため、好ましくない。また環式化合物の中でも、芳香族系は人体に有害な場合が多いため、可能な限り使用を避けることが望ましく、非芳香族化合物を有機溶媒として使用することが好ましい。
【0051】
また、一般には極性の大きい分子、例えばＯＨ基を持つような有機溶媒の方が、ゼオライトの極性と引き合い、脱離しにくい傾向があると考えられている。しかし、銅イオン交換ゼオライト（Ｃｕ－ＺＳＭ－５）と各種有機溶媒を混合し、その後、ＧＣＭＳにて加熱による溶媒成分の脱離について調べたところ、分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）と同程度の有機溶媒の中では、ｐキシレン、ｐメンテン、ｄリモネンなどの炭素と水素のみで構成される極性の小さい有機溶媒の方が加熱によって脱離しにくく、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の内部に残留しやすい傾向にあることが分かった。これは、ゼオライトと溶媒とを混合した際に、極性を持たない分子の場合は混合液として保管されている間に時間をかけてゼオライトの内部まで拡散するのに対し、溶媒分子にＯＨ基やＯ、Ｆ、Ｎなどの元素が含まれ、比較的極性の大きい溶媒分子の場合はゼオライト細孔の入り口付近に吸着して細孔を塞ぎ、その溶媒分子自身が他の分子の侵入を防ぎ、結果として溶媒分子が内部まで拡散しにくいためであると考えられる。この効果は、ゼオライトの結晶サイズが大きいほど顕著に表れる。このため、例えばゼオライトの結晶サイズは２００ｎｍ以上が有利で、さらに３００ｎｍ以上が望ましく、さらに、４００ｎｍ以上が望ましく、５００ｎｍ以上がさらに望ましく、６００ｎｍ以上であればより望ましい。また、ゼオライトの結晶サイズは、７５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以上、１５００ｎｍ以上、２０００ｎｍ以上であればなおよい。
【0052】
なお、αピネン、βピネンのように分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）より大きい有機溶媒であって、かつ炭素と水素のみで構成されている極性の小さい溶媒については、溶媒がＣｕ－ＺＳＭ－５から脱離しにくい傾向は見られなかった。このため、分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）より大きい有機溶媒を用いるか、または分子サイズがゼオライト（ＺＳＭ－５）の細孔径（５．５Å）と同程度であり、かつ分子構造にＯＨ基や、Ｏ、Ｎ、Ｆなどの元素を持つ溶媒を用いることがより望ましい。すなわち、結晶サイズ２００ｎｍ以上のＣｕ－ＺＳＭ－５型ゼオライトと混合する有機溶媒としては、シクロオクタン、シクロヘプタン、ジメチルキノリン、αピネン、βピネン、ピナン、αピネンオキシド、ピノカルベオール、カリオフィレン、ベルべノン、イソボニルシクロヘキサノールや、αテルピネオール、βテルピネオール、γテルピネオール、メントール、ミルテナール、ミルテノール、安息香酸ベンジル、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネオールアセテートのうち少なくとも１つを含むものが望ましい。また、この効果は、ガラスパネルユニット（複層ガラス）のプロセス温度がゼオライトから溶媒が脱離しにくい３５０℃以下の場合に特に顕著になり、すなわち封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度（ガラスパネルユニットを封着材で封止する際に必要な最低温度）のいずれか１つが３５０℃以下のときにより効果的であり、さらに封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３００℃以下のときにさらに効果的である。
【0053】
また、結晶サイズ４００ｎｍ以上のＣｕ－ＺＳＭ－５型ゼオライトと混合する有機溶媒としては、シクロオクタン、シクロヘプタン、ジメチルキノリン、αピネン、βピネン、ピナン、αピネンオキシド、ピノカルベオール、カリオフィレン、ベルべノン、イソボニルシクロヘキサノールや、αテルピネオール、βテルピネオール、γテルピネオール、メントール、ミルテナール、ミルテノール、安息香酸ベンジル、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネオールアセテートのうち少なくとも１つを含むものがより望ましい。また、この効果は、ガラスパネルユニット（複層ガラス）のプロセス温度がゼオライトから溶媒が脱離しにくい３５０℃以下の場合に特に顕著になり、すなわち封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３５０℃以下のときにより効果的であり、さらに封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３００℃以下のときにより効果的である。
【0054】
あるいは、結晶サイズ６００ｎｍ以上のＣｕ－ＺＳＭ－５型ゼオライトと混合する有機溶媒として、シクロオクタン、シクロヘプタン、ジメチルキノリン、αピネン、βピネン、ピナン、αピネンオキシド、ピノカルベオール、カリオフィレン、ベルべノン、イソボニルシクロヘキサノールや、αテルピネオール、βテルピネオール、γテルピネオール、メントール、ミルテナール、ミルテノール、安息香酸ベンジル、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネオールアセテートのうち少なくとも１つを含むことがより望ましい。また、この効果は、ガラスパネルユニットのプロセス温度がゼオライトから溶媒が脱離しにくい３５０℃以下の場合に特に顕著になり、すなわち封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３５０℃以下のときにより効果的であり、さらに封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３００℃以下のときにより効果的である。
【0055】
さらに、結晶サイズ７５０ｎｍ以上のＣｕ－ＺＳＭ５型ゼオライトと混合する有機溶媒として、シクロオクタン、シクロヘプタン、ジメチルキノリン、αピネン、βピネン、ピナン、αピネンオキシド、ピノカルベオール、カリオフィレン、ベルべノン、イソボニルシクロヘキサノールや、αテルピネオール、βテルピネオール、γテルピネオール、メントール、ミルテナール、ミルテノール、安息香酸ベンジル、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネオールアセテートのうち少なくとも１つを含むことがより望ましい。また、この効果は、ガラスパネルユニットのプロセス温度がゼオライトから溶媒が脱離しにくい３５０℃以下の場合に特に顕著になり、封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３５０℃以下のときにより効果的であり、さらに封着材の（第１封着材または第２封着材のうち少なくとも一方の）軟化点または融点または接着可能温度のいずれか１つが３００℃以下のときにより効果的である。
【0056】
またゲッタ材組成物の溶媒は、沸点が３００℃以下の有機溶媒を含むことが好ましい。これにより、低温であってもゲッタ材組成物から有機溶媒を除去しやすくなり、ガス吸着体６０が形成しやすい。
【0057】
このように封止材の軟化点または融点または接着可能温度の少なくとも１つが３００℃以下であって、ゼオライトの結晶サイズは２００ｎｍ以上が有利で、さらに３００ｎｍ以上が望ましく、さらに、４００ｎｍ以上が望ましく、５００ｎｍ以上がさらに望ましく、６００ｎｍ以上であればより望ましい。また、ゼオライトの結晶サイズは、７５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以上、１５００ｎｍ以上、２０００ｎｍ以上であればなおよい。
【0058】
ゲッタ材としては、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の他に、二酸化炭素吸着材からなる複数の粒子を含んでいてもよい。この場合、二酸化炭素の高い吸着性能を有する複合ゲッタ材が得られる。二酸化炭素吸着材からなる粒子としては、γ－Ａｌ２Ｏ３などのアルミナ、酸化亜鉛、シリカ、チタニア、白金などの白金族、珪酸リチウム、活性炭、酸化カルシウム、水酸化カルシウム、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、水酸化ナトリウム、酸化イットリウム、コバルト錯体などの金属錯体、酸化セリウム、水酸化セリウム等のセリウム化合物、からなる粒子を例示することができる。これらの二酸化炭素吸着材からなる粒子は、ＣＯ２吸着材として作用する。したがって、有機溶剤から放出されるＣＯ２を二酸化炭素吸着材で吸着することができ、ゼオライトの粒子に二酸化炭素が吸着しにくくなる。したがって、ゼオライトの結晶からなる粒子の作用が二酸化炭素により低下するのを小さくすることができる。また、Ｃｕ－ＺＳＭ－５より二酸化炭素吸着能力が高く、Ｃｕ－ＺＳＭ５と異なる金属（例えばＢａやＳｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｕなど）でイオン交換されたゼオライトの粒子や、Ｃｕ－ＺＳＭ－５とは異なる結晶構造、例えばゼオライト１３ＸやＡ型ゼオライトなどの粒子と、Ｃｕ－ＺＳＭ－５とが混合されているゲッタ材の場合も同様の効果が期待できる。
【0059】
また、ゲッタ材は水素化触媒を含むことが望ましい。水素化触媒は、水素化反応の触媒である。水素化反応は，水素ガスを還元剤として、有機溶媒等の化合物（炭化水素など）の炭素－炭素結合などの多重結合部位に水素原子を付加させる反応をいう。このような反応は、化合物と金属触媒との接触により生じやすい。
【0060】
本実施形態において、水素化触媒はルテニウム、ロジウム、白金、パラジウムなどの白金族、ニッケル、コバルト、モリブデン、タングステン、鉄、銅、チタン、ジルコニウム、アルミニウムなどの金属、またはこれらの酸化物等の化合物など、一般的に知られたものを用いることができる。ゲッタ材がこれらを含むことで、有機溶媒の揮発を促進して封止工程で除去されやすくしたり、炭化水素をＨ２、ＣＯ２、Ｈ２Ｏ、あるいは他の反応性の高い炭化水素などに分解したりすることができ、分解後の分子を揮発させて除去したり、ゲッタ材で吸着して除去することができる。特に、ゲッタ材と有機溶媒を混合した場合には、不要な炭化水素が除去されやすくなり、大きな効果が得られる。また、例えば水素化触媒は他の物質に担持または添加されていてもよく、または白金黒及びパラジウムブラックのように白金族などの金属パウダーが金属多孔質体またはシングルミクロン以下のサイズの粉体として混合されていてもよい。
【0061】
なお、水素化触媒が担持される担体は、多孔質体が望ましい。多孔質体の比表面積は２０ｍ２／ｇ以上であることが好ましく、さらには５０ｍ２／ｇ以上であることがより好ましい。また、前述の二酸化炭素吸着材に担持されていてもよい。ただし、ゼオライトとして銅イオン交換ゼオライトを用いる場合、銅イオン交換ゼオライトは真空中で銅が還元されることによって活性化され、強い吸着力を発現する性質があるため、二酸化炭素吸着材としては、酸化セリウム以外のものを使用するのがより好ましい。酸化セリウムを用いても高い効果は得られるが、一方で酸化セリウムやセリア－ジルコニア固溶体のように、酸素貯蔵特性がある物質と銅イオン交換ゼオライトを混合すると、酸化セリウムやセリア－ジルコニア固溶体から放出される酸素が銅イオン交換ゼオライトの活性化を阻害して性能劣化を引き起こす場合がある。また、セリウムがゼオライトのシリカ部分と反応し、銅イオン交換ゼオライトを劣化させてしまう場合もある。さらに希少金属のレアアースであるセリウムの使用量は可能な限り減らすことが、コストや生産安定性の面で望ましい。このため、水素化触媒の担体は、アルミナ、シリカ、活性炭、硫酸バリウムなどの群から選ばれる少なくとも１つが特に望ましく、さらにはゼオライトと同じ金属成分を持つアルミナなどのＡｌ化合物、シリカなどのＳｉ化合物が特に好ましい。また、水素化触媒の担体の平均粒子径は１ｎｍ以上５０μｍ以下が好ましい。なお、水素化触媒の担体の平均粒子径はＳＥＭ観察で確認することができる。また、担体に対する水素化触媒の質量割合は０．０１重量％以上３０重量％以下であることが、水素化触媒の利用効率の面で望ましい。
【0062】
水素化触媒が担持される担体は、例えばアルミナ、シリカ、活性炭、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、炭化ケイ素、酸化チタン、酸化ジルコニウムなどから選ばれる少なくとも1つの多孔質物質を用いることができる。この中でも多孔質アルミナはそれ自体が二酸化炭素吸着能力を持っており、特に望ましい。仮に酸化セリウムに水素化触媒を担持したり、二酸化炭素吸着材として酸化セリウムがゲッタ材に混合されたりする場合は、ゲッタ材全体の３０ｗｔ％以下とすることが望ましい。さらに１５ｗｔ％以下とすることがより望ましく、５ｗｔ％以下とすることがさらに望ましく、１ｗｔ％以下とすることがより望ましい。
【0063】
水素化触媒と担体の組み合わせとしては、例えば、以下のようなものが挙げられる。なお、以下の例示は、Ａ／Ｂ：水素化触媒／担体の形式で示している。Ｒｕ／Ａｌ２Ｏ３、Ｒｈ／Ａｌ２Ｏ３、Ｐｔ／Ａｌ２Ｏ３、Ｐｄ／Ａｌ２Ｏ３、Ｉｒ／Ａｌ２Ｏ３、Ｏｓ／Ａｌ２Ｏ３、Ａｕ／Ａｌ２Ｏ３、Ｎｉ／Ａｌ２Ｏ３、Ｃｏ／Ａｌ２Ｏ３、Ｍｏ／Ａｌ２Ｏ３、Ｗ／Ａｌ２Ｏ３、Ｆｅ／Ａｌ２Ｏ３、Ｃｕ／Ａｌ２Ｏ３、Ｔｉ／Ａｌ２Ｏ３、Ｚｒ／Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３や、Ｒｕ／ＳｉＯ２、Ｒｈ／ＳｉＯ２、Ｐｔ／ＳｉＯ２、Ｐｄ／ＳｉＯ２、Ｉｒ／ＳｉＯ２、Ｏｓ／ＳｉＯ２、Ａｕ／ＳｉＯ２、Ｎｉ／ＳｉＯ２、Ｃｏ／ＳｉＯ２、Ｍｏ／ＳｉＯ２、Ｗ／ＳｉＯ２、Ｆｅ／ＳｉＯ２、Ｃｕ／ＳｉＯ２、Ｔｉ／ＳｉＯ２、Ｚｒ／ＳｉＯ２、Ａｌ／ＳｉＯ２、Ｒｕ／Ｃ、Ｒｈ／Ｃ、Ｐｔ／Ｃ、Ｐｄ／Ｃ、Ｉｒ／Ｃ、Ｏｓ／Ｃ、Ａｕ／Ｃ、Ｎｉ／Ｃ、Ｃｏ／Ｃ、Ｍｏ／Ｃ、Ｗ／Ｃ、Ｆｅ／Ｃ、Ｃｕ／Ｃ、Ｔｉ／Ｃ、Ｚｒ／Ｃ、Ａｌ／Ｃ（Ｃは活性炭を示す）などが水素化触媒と担体の組み合わせとして望ましい。
【0064】
また、これらの中でも、水素化触媒と担体の組み合わせが、Ｒｕ／Ａｌ２Ｏ３、Ｒｈ／Ａｌ２Ｏ３、Ｐｔ／Ａｌ２Ｏ３、Ｐｄ／Ａｌ２Ｏ３、Ａｕ／Ａｌ２Ｏ３、Ｒｕ／ＳｉＯ２、Ｒｈ／ＳｉＯ２、Ｐｔ／ＳｉＯ２、Ｐｄ／ＳｉＯ２、Ａｕ／ＳｉＯ２、など、白金族または金あるいはそれらの化合物を含む物質がアルミナやシリカなどの多孔質セラミックスに担持されているものであれば、酸化・還元の安定性が高く、銅イオン交換ゼオライトとの組み合わせにおいて特に優れた特性を示す。
【0065】
一方、例えば、銀や酸化銀などのように、３５０℃以下の大気中にて酸化し、３５０℃以下の真空中において還元されて大量の酸素を放出する触媒は、銅イオン交換ゼオライトの活性化を阻害するため、このような特性の物質の銅イオン交換ゼオライトへの混合は可能な限り避けることが望ましい。例えば、このような特性の物質は、ゲッタ材全体に対して少なくとも５重量％未満が望ましく、１重量％以下であることがより望ましく、０．１重量％以下であることがさらに望ましい。
【0066】
担体に担持された水素化触媒はゼオライトの粒子及び二酸化炭素吸着材の粒子よりも粒径が小さな粉体であることが好ましい。水素化触媒の粉体の例としては、和光純薬製のルテニウム５ｗｔ％－アルミナ粉体（製品コードＪＡＮ４９８７４８１３２３４６９）、白金５ｗｔ％－アルミナ粉体（製品コードＪＡＮ４９８７４８１３１７１６１）、パラジウム５ｗｔ％－アルミナ粉体（製品コードＪＡＮ４９８７４８１３１７１０９）、Ｎ・Ｅ・ケムキャット製の５ｗｔ％Ｐｄアルミナ粉末（ＩＤ Ｃｏｄｅ：ＡＡ－２５０１）、５ｗｔ％Ｐｄ硫酸バリウム（ＩＤ Ｃｏｄｅ：ＯＰ－２５０５）、Ｐｄブラック（ＢＬ－２９０１）、５ｗｔ％Ｐｔアルミナ粉末（ＩＤ Ｃｏｄｅ：ＡＡ－１５０１）、Ｐｔブラック（ＩＤ Ｃｏｄｅ：ＢＬ－１９０１）、５ｗｔ％Ｒｕアルミナ粉末（ＩＤ Ｃｏｄｅ：ＡＡ－４５０１）などが挙げられる。
【0067】
以下、具体例を示す。水素化触媒の粉体１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ５の粉体９０ｗｔ％を混合し、溶媒にα－テルピネオールを用いてゲッタ組成物を作成した。これを用いてガラスパネルユニットを試作した結果、Ｃｕ－ＺＳＭ－５単体の場合の熱コンダクタンスが１２Ｗ／ｍ２Ｋであったのに対し、ルテニウム５ｗｔ％－アルミナ粉体を１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ－５の粉体９０ｗｔ％を混合し、溶媒にα－テルピネオールを用いたゲッタ材組成物の場合、熱コンダクタンスは０．８７Ｗ／ｍ２Ｋであった。
【0068】
また白金５ｗｔ％－アルミナ粉体を１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ－５の粉体９０ｗｔ％を混合し、溶媒にα－テルピネオールを用いたゲッタ材組成物の場合、熱コンダクタンスは０．７８Ｗ／ｍ２Ｋであった。また、パラジウム５ｗｔ％－アルミナ粉体を１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ－５の粉体９０ｗｔ％を混合し、溶媒にα－テルピネオールを用いたゲッタ材組成物の場合の熱コンダクタンスは０．７６Ｗ／ｍ２Ｋであった。また、水素化触媒を含まないアルミナ１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ－５粉体９０ｗｔ％を混合したゲッタ材を用いたガラスパネルの場合の熱コンダクタンスは２Ｗ／ｍ２Ｋであった。そして、水素化触媒を含まないアルミナを混合したゲッタ材を用いたガラスパネルの残留ガスを分析すると、炭化水素系のガスが多く検出された。
【0069】
さらに、水素化触媒を含まない酸化セリウム１０ｗｔ％と、結晶サイズ４００ｎｍのＣｕ－ＺＳＭ－５粉体９０ｗｔ％を混合したゲッタ材を用いたガラスパネルの場合の熱コンダクタンスは２．６Ｗ／ｍ２Ｋであった。また、溶媒に、沸点２１９℃のαーテルピネオールを５０ｗｔ％と、沸点２６０℃の高沸点溶媒(βカリオフィレン)５０ｗｔ％とを混合したものを用い、同様の実験を行ったとき、ルテニウム５ｗｔ％－アルミナ粉体を用いた場合は熱コンダクタンスが２．３Ｗ／ｍ２Ｋ、白金５ｗｔ％－アルミナ粉体を用いた場合は熱コンダクタンスが０．７８Ｗ／ｍ２Ｋ、パラジウム５ｗｔ％－アルミナ粉体を用いた場合は熱コンダクタンスが０．７６Ｗ／ｍ２Ｋ、水素化触媒を含まないアルミナ粉体を用いた場合は熱コンダクタンスが８．３Ｗ／ｍ２Ｋであり、溶媒に沸点２５０℃以上の高沸点溶媒を含む場合の方が水素化触媒の有無で大きな違いが見られた。
【0070】
さらに、水素化触媒としてルテニウム・パラジウム・白金などの白金族を含む場合には、沸点２５０℃以上の高沸点溶媒を使用しても比較的良好な熱コンダクタンスを維持しており、特にパラジウム・白金については沸点２５０℃以上の高沸点溶媒の有無で熱コンダクタンスがほとんど変化していない。このため、溶媒に沸点２５０℃以上の高沸点溶媒や樹脂成分のような揮発しにくい成分を含む場合に、白金族などの水素化触媒は特に有利な効果をもたらすと考えられる。さらに溶媒に沸点２５０℃以上の高沸点溶媒や樹脂成分を混合した場合に、パラジウムまたは白金はより有利な効果をもたらすと考えられる。一方、白金族を含まないゲッタ材においては、ゲッタ材と混合される溶媒は、沸点２５０℃未満の溶媒を主成分（５０ｗｔ％より大きい割合）とすることがより望ましい。
【0071】
なお、これらの熱コンダクタンスの値は、各ゲッタ材粉体の総量を一定とした上での比較である。このことから、アルミナなどの二酸化炭素吸着材は、特にゲッタ材を有機溶媒と混合した場合において、有機溶媒が分解されることで放出される二酸化炭素を吸着することでガラスパネルの内圧を低く保つ効果をもたらす。さらに水素化触媒は、有機溶媒の揮発を促進して封止工程で除去されやすくしたり、有機溶媒がガス化した炭化水素系ガスを分解し、ゼオライトや二酸化炭素吸着材、または水素化触媒自身に吸着させたりすることができ、ガラスパネルの内圧上昇を抑制する効果がある。
【0072】
また、低沸点の溶媒を用いるよりも高沸点の溶媒や樹脂成分を用いたときの方が水素化触媒の効果は大きくなりやすい。環式構造を持つ有機溶媒は比較的分子量が大きいため沸点が高くなりやすい。このため、環式構造を持つ有機溶媒とゼオライト、水素化触媒を混合したゲッタ材組成物とすることで、有機溶媒によるゼオライトへのダメージを抑制しつつ、塗布後に有機溶媒を適切に除去することができる。この傾向は、ゼオライトの結晶サイズが２００ｎｍ以上であるときにより顕著であり、さらに３００ｎｍ以上が望ましく、さらに、４００ｎｍ以上が望ましく、５００ｎｍ以上であればより望ましく、６００ｎｍ以上であれば特に望ましい。
【0073】
また、ゼオライトの結晶サイズ（径）は、７５０ｎｍ以上がさらに望ましく、１０００ｎｍ以上であればより望ましく、１５００ｎｍ以上、２０００ｎｍ以上であればなおよい。なお、沸点が２５０℃以上の高沸点溶媒や樹脂は一般に高粘性である場合が多く、これらを混合することでより効果的にゲッタ材組成物の沈降を抑制し、塗布安定性を高めることができる。高沸点溶媒の例としては、βカリオフィレン、安息香酸ベンジル、イソボニルシクロヘキサノール、樹脂成分の例としては、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリエステル、ポリウレタン、フェノール樹脂など、一般的なスクリーン印刷などで用いられる溶媒や樹脂バインダを用いることができ、これらのうち少なくとも１つを用いることができる。
【0074】
このように、ゼオライト、二酸化炭素吸着材、水素化触媒を組み合わせることで、有機溶剤と混合した場合においても性能の劣化を抑え、高性能なゲッタ材組成物およびゲッタ材が得られる。一方、二酸化炭素吸着材や水素化触媒は窒素の吸着には不適であるため、ゼオライトは特に銅イオン交換ゼオライトが望ましく、ＺＳＭ－５型であることがさらに望ましい。なお、例えばゼオライトと二酸化炭素吸着材、またはゼオライトと水素化触媒のみを含む組み合わせでも一定の効果は得られる。また、封着材やガラス基板、ピラーなどから放出される炭化水素系ガスおよび二酸化炭素を吸着するためにも、ゼオライト、二酸化炭素吸着材、水素化触媒を組み合わせることは有効である。
【0075】
本実施形態において、ゲッタ材はゼオライトの粒子のみで構成されていても良い。この場合、ゲッタ材を構成する粒子の１００重量％がゼオライトの粒子である。
【0076】
また本実施形態において、ゲッタ材はゼオライトの粒子と二酸化炭素吸着材の粒子との混合物で構成されていても良い。この場合、ゲッタ材は、重量比で、ゼオライトの粒子が１に対して、二酸化炭素吸着材の粒子を０．０１～０．９９で含有していることが好ましい。
【0077】
また本実施形態において、ゲッタ材はゼオライトの粒子と水素化触媒の粉体との混合物で構成されていても良い。この場合、ゲッタ材は、重量比で、ゼオライトの粒子が１に対して、水素化触媒の粉体が０．０００１～０．３で含有していることが好ましい。
【0078】
また本実施形態において、ゲッタ材はゼオライトの粒子と二酸化炭素吸着材の粒子と水素化触媒の粉体との混合物で構成されていても良い。この場合、ゲッタ材は、重量比で、ゼオライトの粒子が１に対して、二酸化炭素吸着材の粒子を０．０１～０．９９で、水素化触媒の粉体が０．０００１～０．３でそれぞれ含有していることが好ましい。
【0079】
また本実施形態において、ゲッタ材組成物は、ゲッタ材と溶媒とを所定の割合で含有することが好ましい。例えば、ゲッタ材組成物は、重量比で、ゲッタ材１に対して溶媒を０．１～１００で含有していることが好ましい。
【0080】
また本実施形態において、ゲッタ材組成物は、ゲッタ材と溶媒と樹脂成分とを所定の割合で含有することが好ましい。例えば、ゲッタ材組成物は、重量比で、ゲッタ材１に対して溶媒を０．１～１００で、樹脂成分を０．０１～２でそれぞれ含有していることが好ましい。
【0081】
また本実施形態において、ゲッタ材組成物は、ゲッタ材と沸点２５０℃未満の溶媒と沸点２５０℃以上の高沸点溶媒とを所定の割合で含有することが好ましい。例えば、ゲッタ材組成物は、重量比で、ゲッタ材１に対して沸点２５０℃未満の溶媒を０．１～１００で、沸点２５０℃以上の高沸点溶媒を０．０１～２でそれぞれ含有していることが好ましい。
【0082】
ここで、ゲッタ材およびゲッタ材組成物における水素化触媒の効果について再度まとめる。
【0083】
ゲッタ材を減圧されたガラスパネルユニット（複層ガラス）などの薄い隙間に形成するためには、ゲッタ材を溶媒と混合し、ガラス基板上に塗布することが望ましい。このときの塗布の方法は、ディスペンスやスクリーン印刷、スリットコート、スプレーコート、スピンコートなど、特に限定されない。
【0084】
粉体状のゲッタ材を溶媒と混合して塗布するメリットとして、（１）（例えば、封止材の厚さ以下となるように）薄い膜を形成できること、（２）粉体状のゲッタ材を直接ガラス基板に塗布する場合と比べて、乾燥後に粉体状のゲッタ材が凝集して見た目の体積を減らせること、（３）量産において自由なガラス基板の形状に対応できること、（４）乾燥後にゲッタ材が基板に静電吸着するため、ゲッタ材の固定用部材が不要なこと、などが挙げられる。
【0085】
一方で課題としては、（１）沸点の低い溶媒を用いると、ゲッタ材組成物の保管中や塗布工程中に溶媒が乾燥してしまい、塗布不良を引き起こすこと、（２）ある程度粘性の高い溶媒を用いないとゲッタ材の粉体が沈降してしまい、塗布安定性を保てないこと、（３）一般に粘性の高い溶媒は沸点も高く、特にガスを吸着する性質のゲッタ材と混合した場合、ゲッタ材が溶媒分子を吸着してしまい、脱離させるために多大なエネルギーを必要とすること、（４）塗布後に溶媒を十分脱離させないとゲッタ材としての吸着性能が劣化すること（さらに溶媒分子がガスとしてゲッタ材から放出され、かえってガラスパネルユニット内の残留ガスを増やしてしまう場合もある）、が挙げられる。
【0086】
すなわち、安定して塗布できるように高沸点の溶媒を用いると、溶媒を十分脱離させることが難しくなり、ゲッタ材の吸着性能が低下してしまうことが課題であった。特に、ガラスパネルユニットのプロセス温度が低くなるほど、ゲッタ材組成物を塗布した後、溶媒を十分脱離させることができず、性能劣化を引き起こしやすくなる。また、例えばある有機溶媒を沸点まで加熱したとしても、実際には完全に溶媒が揮発せず、特にＣｕ－ＺＳＭ５と混合した場合においては、沸点より１００～１５０℃以上高い温度で加熱しないと溶媒分子が完全には脱離しない。３５０℃以下で完全に揮発させられる有機溶媒は少ないため、プロセス温度が３５０℃以下の場合や、封着材（第１封着材と第２封着材の少なくとも一方）の軟化点または融点が３５０℃以下の場合に特に問題になりやすい。
【0087】
塗布後のゲッタ材組成物は、（Ａ）その後の乾燥工程や封着工程（例えば第１溶融工程）で加熱されて有機溶媒が脱離される、（Ｂ）ゲッタ材が真空中で加熱されて活性化される、（Ｃ）組立て品１００が真空ポンプから隔離された後に、組立て品１００の内部から二酸化炭素（最も多い）、窒素、メタン等のガスが放出された際、ゲッタ材によってガスが吸着される（例えば第２溶融工程の後）、といった段階を通ることになる。そして、銅イオン交換ゼオライトに水素化触媒を混合することによって、（Ａ）（Ｃ）の両方の段階においてその効果を発揮させることができる。
【0088】
まず、（Ａ）の段階において、水素化触媒は有機溶媒の分解や反応を促進して揮発させ、銅イオン交換ゼオライトに有機溶媒が残留して性能劣化してしまうことを抑制する。さらに、（Ｃ）の段階においては、水素化触媒（特に白金族）は化学吸着性を持った強力な二酸化炭素吸着材または炭化水素系ガス吸着材としても働く。これによって、窒素やメタンも吸着できる銅イオン交換ゼオライトの吸着サイトが二酸化炭素で埋まってしまうことを防ぐため、銅イオン交換ゼオライトのみをゲッタ材とした場合や水素化触媒のみをゲッタ材とした場合と比較して、銅イオン交換ゼオライトと水素化触媒とが混合されたゲッタ材の方が、二酸化炭素だけでなく、窒素やメタンをも多く吸着し、結果的に、ガラスパネルユニットの残留ガス圧を低く保つことができる。
【0089】
この効果は、プロセス温度３５０℃以下の、有機溶媒が脱離しにくく、銅イオン交換ゼオライトの活性化が十分されにくい条件のときにより顕著になる。すなわち、封止材（第１封着材と第２封着材の少なくとも一方）の軟化点または融点が３５０℃以下の場合に特に顕著になる。また、Ｃｕ－ＺＳＭ－５との組み合わせにおいては、有機溶媒は環式化合物を持つことが望ましいが、環式化合物は一般に沸点が高い場合が多い。Ｃｕ－ＺＳＭ５と、有機溶媒を含む溶媒と、水素化触媒と、を組み合わせることによって、吸着性能と塗布安定性が両立されたゲッタ材組成物を実現できる。
【0090】
Ｃｕ－ＺＳＭ－５と、有機溶媒を含む溶媒と、水素化触媒とを組み合わせることによって、吸着性能と塗布安定性が両立されたゲッタ材組成物を実現できる。また、Ｃｕ－ＺＳＭ－５との組み合わせにおいては、有機溶媒は環式化合物を持つことが望ましいが、環式化合物は一般に沸点が高い場合が多い。有機溶媒に環式化合物を用いることで、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の内部に有機溶媒が侵入しにくくなるため、水素化触媒と有機溶媒との反応が起こりやすくなり、より水素化触媒の効果が得られやすくなる。さらに、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の結晶サイズを４００ｎｍ以上、より好ましくは６００ｎｍ以上、さらに好ましくは７５０ｎｍ以上とすることで、有機溶媒による劣化をさらに抑制し、低圧領域でより吸着性能の高いゲッタ材組成物を実現できる上、これを水素化触媒と環式化合物を含む有機溶媒と混合することで、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の結晶内部の有機溶媒の割合が減り、水素化触媒との反応が促進されるため、溶媒が脱離されやすくなり、より効果的である。
【0091】
ゲッタ材の例として、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の銅イオン交換ゼオライトを５１ｗｔ％以上９９ｗｔ％以下、水素化触媒が担持された多孔質粉体（多孔質粉体全体に対する水素化触媒の重量割合が０．１ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下）を１ｗｔ％以上４９ｗｔ％以下、とすることができる。また、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下のＣｕ－ＺＳＭ－５を５１ｗｔ％以上９９ｗｔ％以下、水素化触媒が担持された多孔質粉体（多孔質粉体全体に対する水素化触媒の重量割合が０．１ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下）を１ｗｔ％以上４９ｗｔ％以下、であればなお良い。また、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の銅イオン交換ゼオライトを５１ｗｔ％以上９９ｗｔ％以下、水素化触媒の粉末を１ｗｔ％以上４９ｗｔ％以下、としてもよい。
【0092】
また、ゲッタ材組成物の例として、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の銅イオン交換ゼオライトを２０ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下、水素化触媒が担持された多孔質粉体（多孔質粉体全体に対する水素化触媒の重量割合が０．１ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下）を０．５ｗｔ％以上４０ｗｔ％以下、有機溶媒を３０ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下、とすることができる。あるいは、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下のＣｕ－ＺＳＭ－５を２０ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下、水素化触媒が担持された多孔質粉体（多孔質粉体全体に対する水素化触媒の重量割合が０．１ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下）を０．５ｗｔ％以上４０ｗｔ％以下、主成分が環式化合物の有機溶媒を３０ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下（この場合、有機溶媒のうち５０ｗｔ％以上は環式化合物）、とすることがより望ましい。結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の銅イオン交換ゼオライトを２０ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下、水素化触媒の粉末を０．１ｗｔ％以上４０ｗｔ％以下、有機溶媒を３０ｗｔ％９５ｗｔ％以下、としてもよい。
【0093】
そして、混合工程の後、組立工程が行われる。
【0094】
組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。
【0095】
組立て品１００は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０と、仕切り４２０と、を備える。また、組立て品１００は、第１及び第２ガラス板２００，３００と周壁４１０とで囲まれた内部空間５００を有する。さらに、組立て品１００は、内部空間５００内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。さらに、組立て品１００は、排気口７００を備える。
【0096】
第１ガラス板（第１ガラス基板）２００は、後述の第１ガラス板２０の基礎となる部材であり、第１ガラス板２０と同じ材料で形成されている。第２ガラス板（第２ガラス基板）３００は、後述の第２ガラス板３０の基礎となる部材であり、第２ガラス板３０と同じ材料で形成されている。第１及び第２ガラス板２００，３００は同じ平面形状である。本実施形態では、第１ガラス板２００は、後述の第１ガラス板２０を少なくとも１つ形成可能な大きさを有し、第２ガラス板３００は、後述の第２ガラス板３０を少なくとも１つ形成可能な大きさを有する。
【0097】
第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも多角形（本実施形態では長方形）の平板状である。
【0098】
第１ガラス板２００は、本体２１０と、低放射膜２２０とを含む。
【0099】
低放射膜２２０は、内部空間５００内にあり、本体２１０を覆う。低放射膜２２０は、本体２１０に接している。低放射膜２２０は、赤外線反射膜とも呼ばれ、透光性を有するものの、赤外線を反射する。このため、低放射膜２２０は、ガラスパネルユニット１０の断熱性を向上させることができる。低放射膜２２０は、例えば、金属製の薄膜である。低放射膜２２０は、例えば、銀を含有する。低放射膜２２０の一例は、Ｌｏｗ－Ｅ膜である。
【0100】
第１ガラス板２００は、上記の通り、本体２１０を含む。本体２１０は、第１面２１１と第２面２１２とを有する。第１面２１１は、平坦な面であって、低放射膜２２０に覆われる。第２面２１２は、第１面２１１と平行で、かつ平坦な面であって、方向Ｄ１において内部空間５００と反対側にある。本体２１０は、第１ガラス板２００の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体２１０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。また、第１ガラス板２００の厚さは０．１ｍｍ～２０ｍｍであってもよい。
【0101】
第２ガラス板３００は、本体３１０を含む。本体３１０は、第１面３１１と第２面３１２とを有する。第１面３１１は、平坦な面であって、低放射膜２２０と対向する。第２面３１２は、第１面３１１と平行で、かつ平坦な面であって、方向Ｄ１において内部空間５００と反対側にある。本体３１０は、第２ガラス板３００の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体３１０は、本体２１０と同形状である。第２ガラス板３００は、本実施形態では、本体３１０のみからなるが、本体３１０に加えて低放射膜２２０と同様の低放射膜を備えてもよい。第２ガラス板３００が低放射膜を備える場合、この低放射膜は、内部空間５００内で、本体３１０を覆い、かつ本体３１０に接する。本体３１０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。また、第２ガラス板３００の厚さは０．１ｍｍ～２０ｍｍであってもよい。
【0102】
周壁４１０は、第１封着材（第１熱接着剤）を含む。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間に配置される。周壁４１０は、図１Ａに示すように、枠状である。特に、周壁４１０は、矩形の枠状である。周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００の外周に沿って形成されている。これにより、組立て品１００では、周壁４１０と第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【0103】
第１熱接着剤は、例えば、ガラスフリットを含む。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。本実施形態では、第１熱接着剤はバナジウム系ガラスフリットにより構成される。また、第１熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属、又はホットメルト接着材を含むことができる。第１熱接着剤は、有機バインダ及び有機溶剤のうちの一方または両方をさらに含んでもよい。この場合、封止工程（第２溶融工程）後に有機バインダ及び有機溶剤のうちの一方または両方に由来するガスが減圧空間５０に放出されても、このガスをガス吸着体６０が吸着することにより、減圧空間５０内にガスが残りにくくなる。
【0104】
有機バインダは、例えば樹脂を含む。この樹脂として、例えば、ポリイソブチルメタアクリレート、エチルセルロース、脂肪族ポリカーボネート、アクリル樹脂、及びブチラール樹脂が挙げられる。有機バインダは、上記の樹脂に限らず、任意の成分を含むことができる。有機バインダを構成する樹脂は、低分子量で分解しやすい樹脂であることが好ましい。
【0105】
有機溶剤として、例えば、酢酸ブチルカルビトール、及び酢酸エチルカルビトール等のエステル類が挙げられる。しかし、有機溶剤は、上記の成分に限らず、テルペン系溶剤などの一般的なスクリーン印刷に用いられる溶剤、及びディスペンス塗布に用いられる溶剤のうち少なくとも１種を含んでもよい。
【0106】
周壁４１０が樹脂をさらに含有する場合、組立工程の後、この樹脂に由来するガスが内部空間５００内に放出されても、樹脂に由来するガスは、排気工程によって排気される。排気工程後、樹脂に由来するガスが残留ガスとして減圧空間５０内に存在しても、この残留ガスをガス吸着体６０が吸着することができる。
【0107】
仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、第１空間５１０と、第２空間（通気空間）５２０とに仕切る。このため、第１空間５１０は排気工程で排気される空間であり、第２空間５２０は第１空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス板３００の中央よりも第２ガラス板３００の長さ方向（図１Ａにおける左右方向）の第１端側（図１Ａにおける右端側）に形成される。仕切り４２０は、第２ガラス板３００の幅方向（図１Ａにおける上下方向）に沿うようにして内部空間５００内に配置される。ただし、仕切り４２０の長さ方向の両端は、周壁４１０と接していない。本実施形態では、第２ガラス板３００の幅方向は方向Ｄ２と平行であり、第２ガラス板３００の長さ方向は方向Ｄ３と平行である。
【0108】
仕切り４２０は、その本体を構成する本体部（仕切り本体部）４２１と、遮断部４２２とを備える。遮断部４２２は、第１遮断部４２２１と、第２遮断部４２２２とを備える。本体部４２１は、方向Ｄ２に沿う直線状である。この方向Ｄ２は、例えば、第２ガラス板３００の幅方向である。また、方向Ｄ２において、本体部４２１の両端は、周壁４１０と接触していない。本体部４２１の両端のうち、一端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第１遮断部４２２１が形成され、他端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第２遮断部４２２２が形成されている。本体部４２１の一端は第１端であってもよく、他端は第２端であってもよい。
【0109】
仕切り４２０は、第２封着材（第２熱接着剤）を含む。第２熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。本実施形態では、第２熱接着剤はバナジウム系ガラスフリットにより構成される。また、第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属、またはホットメルト接着材であってもよい。なお、本実施形態では、第１熱接着剤と第２熱接着剤とは同じものを使用している。つまり、第１封着材と第２封着材とは、同じ材料である。
【0110】
通気路６００は、図１Ａに示すように、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を含む。第１通気路６１０は、仕切り４２０の第１端（図１Ａの上端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。第２通気路６２０は、仕切り４２０の第２端（図１Ａの下端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。
【0111】
排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０および通気路６００（第１通気路６１０及び第２通気路６２０）を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とは、第１空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス板３００の角部分にある。
【0112】
ガス吸着体６０及び複数のスペーサ７０は第１空間５１０内に配置されている。特に、ガス吸着体６０は、第２ガラス板３００の長さ方向の第２端側（図１Ａにおける左端側）に、第２ガラス板３００の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（減圧空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０および通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
【0113】
組立工程は、組立て品１００を得るために、第１ガラス板２００、第２ガラス板３００、周壁４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、及び複数のスペーサ７０を形成する工程である。組立工程は、第１～第６工程を有する。なお、第２～第５工程の順番は、適宜変更してもよい。
【0114】
第１工程は、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を形成する工程（基板形成工程）である。例えば、第１工程では、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を作製し、必要に応じて、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を洗浄する。
【0115】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス板３００を洗浄する。
【0116】
第３工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である（図３参照）。第３工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス板３００の所定位置に配置する。複数のスペーサ７０は、組立て品１００が仕掛り品１１０となった状態で、第１及び第２ガラス板２００，３００間の間隔を所定間隔に維持するために用いられる。このようなスペーサ７０を構成する材料として、例えば、金属、ガラス、及び樹脂が挙げられる。スペーサ７０は、これらの材料のうち、１種又は複数種含むことができる。
【0117】
本実施形態の第３工程では、上記の通り、スペーサ７０を予め形成して第２ガラス板３００に配置しているが、周知のパターン形成技術を利用して複数のスペーサ７０を第２ガラス板３００に形成してもよい。また、スペーサ７０が樹脂を含む場合、複数のスペーサ７０は、上記の形成方法と異なる方法として、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成することができる。
【0118】
なお、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。各スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。例えば、スペーサ７０は、直径が０．５ｍｍ、高さが１００μｍ、スペーサ間の距離が２０ｍｍである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。また、例えば、スペーサ７０は、直径が０．１ｍｍ～５ｍｍ、高さが１０μｍ～３０００μｍ、スペーサ間の距離が２ｍｍ～１００ｍｍとなっていてもよい。
【0119】
第４工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である（図３参照）。第４工程では、ディスペンサなどを利用して、加工工程のゲッタ材組成物を第２ガラス板３００上に塗布する。そして、塗布後のゲッタ材組成物を乾燥することにより、ガス吸着体６０が形成される。すなわち、第４工程は、ゲッタ材組成物を乾燥する乾燥工程を含む。ゲッタ材組成物を乾燥することにより、ゲッタ材のガス吸着性を回復させることができる。また、ゲッタ材組成物を塗布することにより、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、第１空間５１０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【0120】
以下に、ゲッタ材組成物の塗布工程の例について記載する。なお、塗布工程は必ずしも下記に限る必要はない。
【0121】
まず、水素化触媒または水素化触媒が担持された多孔質粉体を準備する。水素化触媒の粉体又は多孔質粉体の粒径はＤ５０で２０μｍ以下となるように、必要に応じて粉砕などを行い、調整されることが望ましい。その後、水素化触媒又は水素化触媒が担持された多孔質粉体０．０１質量部以上４９質量部以下と、結晶サイズ４００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下のＣｕ－ＺＳＭ－５の粉体５０質量部以上９９．９９質量部以下とを混合し、混合されたものをゲッタ材とする。
【0122】
次に、ゲッタ材５質量部以上７０質量部以下と、有機溶媒３０質量部以上９５質量部以下を混合し、得られたものをゲッタ材組成物とする。このときの有機溶媒は環式化合物を含むことが望ましい。また、有機溶媒として沸点２５０℃以上の高沸点溶媒を混合することで、塗布装置の塗布ヘッドの中で溶媒が乾燥することによって起こるノズル詰まり等を抑制することができる。
【0123】
ゲッタ材組成物は、例えば、ディスペンサなどのシリンジに注入され、封着材やスペーサが形成された第１ガラス板または第２ガラス板の外周に沿って塗布される。この時の塗布位置がガラス基板の端から１５ｍｍ以内となっていると、ガラスパネルユニットをサッシに組み込んだ際にサッシでゲッタ材が隠れて目立たないため、より望ましい。なお、封着材、スペーサ、ゲッタ材組成物を基板に形成する順序には特に制限はない。例えば、スペーサを形成した後にゲッタ材組成物を塗布し、その後に封着材を形成してもよく、ゲッタ材組成物、スペーサ、封着材の順に形成してもよい。
【0124】
次に、ガラス基板を乾燥工程に通すことで、ゲッタ材組成物の溶媒の一部を乾燥させ、粉体がガラス基板に固着した状態とすることができる。この後、第１ガラス基板と第２ガラス基板を重ね合わせ、後述のような封着工程を行う。なお、封着材を第１ガラス板または第２ガラス板へ塗布した後に乾燥工程を通し、その後にゲッタ材組成物を第１ガラス板または第２ガラス板へ形成し、再度乾燥工程を通してもよい。この場合は封着材の溶剤の揮発成分をゲッタ材が吸着することを防ぎ、ゲッタ材の劣化を抑制できる場合がある。ただし、封着材とゲッタ材を同時に乾燥させる方が生産性は高くなる。
【0125】
後述の第１溶融工程は大気中で行われる。このときにゲッタ材組成物の溶媒残渣を脱離させる。水素化触媒は、第１溶融工程時に溶媒の脱離を促進させる効果を持つ。また、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の結晶サイズが４００ｎｍ以上、望ましくは６００ｎｍ以上、より望ましくは７５０ｎｍ以上となっていることで、より溶媒の影響を抑制できる。さらに溶媒に環式化合物を含むことで、さらに溶媒の影響を抑制することができる。なお、この段階で可能な限り溶媒がゲッタ材組成物から脱離していることが望ましい。ゲッタ材組成物から溶媒成分が十分に脱離することで、ゲッタ材組成物は再びゲッタ材の状態に戻る。そして、第１溶融工程で第１ガラス基板と第２ガラス基板の間が接合されると、次に排気工程を行う。このときに、ゲッタ材が活性化され、ゲッタ材が吸着能力を持つようになる。
【0126】
次に、後述の第２溶融工程において、ガラスパネルユニット１０は封止され、真空ポンプから隔離される。その後、ガラスパネルユニット１０の減圧空間５０に放出されるガスを、ゲッタ材によって吸着させる。このとき、水素化触媒は二酸化炭素や炭化水素系ガスを優先的に吸着するため、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の吸着サイトを窒素やメタンの吸着に使えるように確保させることができる。また、Ｃｕ－ＺＳＭ－５の結晶サイズが４００ｎｍ以上、より望ましくは６００ｎｍ以上となっていることで、低圧領域においてより良い真空度を保つことができる。
【0127】
第５工程は、周壁４１０、及び仕切り４２０を配置する工程（封着材配置工程）である（図３参照）。第５工程では、ディスペンサなどを利用して、第１封着材を第２ガラス板３００上に塗布し、その後第１封着材を乾燥させて周壁４１０を形成する。また、ディスペンサなどを利用して、第２封着材を第２ガラス板３００上に塗布し、その後第２封着材を乾燥させて仕切り４２０を形成する。
【0128】
第１工程から第５工程が終了することで、図３に示されるような、第２ガラス板３００が得られる。この第２ガラス板３００には、周壁４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０及び複数のスペーサ７０が形成されている。
【0129】
第６工程は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、図４に示すように、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とは、互いに平行かつ対向するように配置される。
【0130】
【0131】
第１溶融工程は、周壁４１０を一旦溶融させて周壁４１０で第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００とを気密に接合する工程である。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される（図６参照）。本実施形態では、第１封着材と第２封着材とが、上記の通り、同じ材料であるため、第１封着材の軟化点（第１軟化点）は、第２封着材の軟化点（第２軟化点）と同じである。このため、第１溶融温度Ｔｍ１は、第１及び第２軟化点以上に設定される。第１溶融温度Ｔｍ１が第１及び第２軟化点以上であっても、排気工程は第１溶融工程後に開始されるため（図６参照）、第１溶融工程では仕切り４２０は通気路６００を塞がない。すなわち、第１溶融工程では通気路６００を確保している。第１溶融工程において、例えば、第１及び第２軟化点が２６５℃で、第１溶融温度Ｔｍ１は、２９０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、例えば、１５分である。
【0132】
本実施形態において、第１軟化点が第２軟化点と同じである態様は、第１軟化点が第２軟化点と厳密に同じである態様だけでなく、第１軟化点が第２軟化点と略同じである態様も含む。
【0133】
第１溶融温度Ｔｍ１で周壁４１０を加熱することにより、仕切り４２０の変形を抑制しながらも、周壁４１０を軟化させることができる。これにより、周壁４１０によって第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合しやすくなる。
【0134】
排気工程は、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を減圧空間５０とする工程である。排気は、例えば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図５に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により組立て品１００に接続される。排気管８１０は、例えば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、組立て品１００を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス板３００に接合される。
【0135】
排気工程では、第２溶融工程の開始前までに、排気温度Ｔｅ以上で所定時間（排気時間）ｔｅ以上、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する（図６参照）。排気温度Ｔｅは、第２封着材の第２軟化点（例えば２６５℃）より低く設定される。例えば、排気温度Ｔｅは、２５０℃である。このようにすれば、排気工程でも仕切り４２０は変形しない。排気工程の際、ガス吸着体６０中の少なくとも水分が気化して第１空間５１０内に放出され、第１空間５１０は、通気路６００、第２空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。ガス吸着体６０から放出された水分等が排気されることで、ゲッタ材のガス吸着性をさらに回復させることができる。排気時間ｔｅは、所望の減圧度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の減圧空間５０が得られるように設定される。例えば、排気時間ｔｅは、３０分に設定される。また、このときのガス吸着体６０の活性化温度は排気温度Ｔｅとなる。すなわち、ガス吸着体６０には粉体状のゲッタ材が含まれており、このゲッタ材の活性化可能温度は排気温度Ｔｅ以下である。
【0136】
第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて少なくとも通気路６００を塞ぐことで隔壁４２を形成して仕掛り品１１０を得る工程である。つまり、第２溶融工程では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ。言い換えると、変形した仕切り４２０により第１空間５１０が塞がれて、第１空間５１０と第２空間５２０とが分離される。これにより、減圧空間５０を囲む枠体４０が形成される（図７参照）。本実施形態では、仕切り４２０の長さ方向の両端（第１及び第２遮断部４２２１、４２２２）が周壁４１０に接して一体となるように、仕切り４２０を変形させている。これによって、図７に示すように、内部空間５００を第１空間５１０（減圧空間５０）と第２空間５２０とに気密に分離する隔壁４２が形成される。より詳細には、第２封着材の第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で仕切り４２０を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させる。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図６参照）。第２溶融温度Ｔｍ２及び第２溶融時間ｔｍ２は、仕切り４２０が軟化し、通気路６００が塞がれるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（例えば２６５℃）である。第２溶融温度Ｔｍ２は、例えば、３００℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、例えば、３０分である。本実施形態の封止工程は第２溶融工程であるが、封止工程は、要するに、減圧空間５０を、減圧空間５０以外の空間から空間的に分離する工程である。減圧空間５０以外の空間は、本実施形態では、第２空間５２０に相当する。
【0137】
本実施形態では、図６に示すように、排気工程は、第１溶融工程の後に開始され、第２溶融工程の終了とともに終了している。このため、第２溶融工程の際に、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気されている。そのため、組立て品１００の内外の圧力差が生じ、この圧力差によって、第１及び第２ガラス板２００，３００が互いに接近するように移動させられる。これにより、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。
【0138】
また、図６に示す第２溶融工程では、第２溶融時間ｔｍ２が経過した後、溶融炉内の温度を室温まで等速で冷却する。そして、シールヘッド８２０を取り外すことで、第２溶融工程及び排気工程を終了する。
【0139】
上述の準備工程によって、図７示す仕掛り品１１０が得られる。仕掛り品１１０は、図７に示すように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１と、隔壁４２と、を備える。また、仕掛り品１１０は、減圧空間５０と、第２空間５２０とを有する。さらに、仕掛り品１１０は、減圧空間５０内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。さらに、仕掛り品１１０は、排気口７００を備える。
【0140】
第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラス板２００，３００は同じ平面形状である。
【0141】
隔壁４２は、減圧空間５０を第２空間５２０から（空間的に）分離する。言い換えれば、仕掛り品１１０の第２空間５２０は排気口７００を介して外部空間と（空間的に）繋がっているため、隔壁４２は、減圧空間５０と外部空間とを分離する。そして、隔壁４２と周壁４１０とが一体となって、減圧空間５０を囲む枠体４０を構成する。枠体４０は、減圧空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する。
【0142】
ガス吸着体６０は、減圧空間５０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺の平板状であり、第２ガラス板３００に配置されている。ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４０となる熱接着剤（第１熱接着剤、及び第２熱接着剤）が加熱される際に、熱接着剤から放出されるガスである。
【0143】
複数のスペーサ７０は、減圧空間５０内に配置されている。複数のスペーサ７０は、第１及び第２ガラス板２００，３００間の距離を所望の値に維持するために使用される。
【0144】
減圧空間５０は、上記の通り、第２空間５２０及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、減圧空間５０は、真空度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。減圧空間５０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００と枠体４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０及び排気口７００から分離されている。
【0145】
除去工程は、準備工程の後に実行される。除去工程は、図８に示すように、仕掛り品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、減圧空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。
【0146】
ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、を備える。第１ガラス板２０は、第１ガラス板２００のうち第１空間５１０（減圧空間５０）に対応する部分であり、第２ガラス板３０は、第２ガラス板３００のうち第１空間５１０（減圧空間５０）に対応する部分である。
【0147】
一方、不要な部分１１は、第１ガラス板２００のうち第２空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス板３００のうち第２空間５２０に対応する部分３２０と、を含む。なお、ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。
【0148】
除去工程では、具体的には、溶融炉から取り出された仕掛り品１１０は、隔壁４２に沿って切断され、減圧空間５０を有する部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。なお、仕掛り品１１０を切断する部分（切断線）の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線は隔壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。
【0149】
上述の、準備工程及び除去工程を経て、図２に示すガラスパネルユニット１０が得られる。
【0150】
図２は、本実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０と、を備える。また、ガラスパネルユニット１０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と枠体４０とで囲まれた減圧空間５０を有する。さらに、ガラスパネルユニット１０は、減圧空間５０内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。ガラスパネルユニット１０は、第１及び第２ガラス板２０、３０に排気口７００を備えない。
【0151】
第１及び第２ガラス板２０，３０はいずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状である。
【0152】
本実施形態の第１ガラス板２０は、除去工程により第１ガラス板２００の不要な部分２３０が除去されたものである。このため、第１ガラス板２０は、第１ガラス板２００と同様の構成を有する。すなわち、第１ガラス板２０は、その主な形状を構成する本体と、低放射膜２２０とを含む。この本体は、減圧空間５０内で低放射膜２２０により覆われる。第１ガラス板２０は、矩形の平板状である。
【0153】
本実施形態の第２ガラス板３０は、除去工程により第２ガラス板３００の不要な部分３２０が除去されたものである。このため、第２ガラス板３０は、第２ガラス板３００と同様の構成を有する。すなわち、第２ガラス板３０は、その主な形状を構成する本体を備える。第２ガラス板３０は、本実施形態では、その本体のみからなるが、この本体に加えて低放射膜２２０と同様の低放射膜を備えてもよい。第２ガラス板３０が低放射膜を備える場合、この低放射膜は、減圧空間５０内で、第２ガラス板３０の本体を覆い、かつこの本体に接する。
【0154】
枠体４０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０との間にあり、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを気密に接合する。これによって、減圧空間５０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれている。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と同様の多角形（本実施形態では四角形）の枠状である。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０の外周に沿って形成されている。
【0155】
複数のスペーサ７０は、減圧空間５０内に配置されている。複数のスペーサ７０は、第１及び第２ガラス板２０，３０間の距離を所望の値に維持するために使用される。
【0156】
＜ガス吸着体によるガスの吸着＞
ガス吸着体６０は、ガラスパネルユニット１０の減圧空間５０内に配置されている。ガス吸着体６０に含まれているゲッタ材は複数の粒子を含有するが、これら粒子の活性化可能温度は、４００℃以下である。本開示において、「活性化可能温度」とは、ガス吸着体６０に含まれる複数の粒子が活性化するために必要な温度を意味する。すなわち、ガス吸着体６０に含まれる複数の粒子は、活性化可能温度以上において活性化する。活性化したガス吸着体６０中の複数の粒子は、ガス吸着能が増大する。言い換えると、ガス吸着体６０中の複数の粒子は、活性化可能温度に達すると、吸着ガスを放出することによって活性化し、ガス吸着能が高くなる。活性化可能温度は、例えば、ガス吸着材６０を０．００１Ｐａ以下の真空中で所定の加熱温度にて十分な時間加熱した後、２０℃環境中で０．１Ｐａの窒素平衡圧で窒素ガスの吸着量を測定した場合、窒素吸着量が４×１０－１１ｍｏｌ／ｇ以上となる最低限の加熱温度である。この窒素吸着量は、例えばマイクロトラックベル製のｂｅｌｓｏｒｐ－ｍａｘにて、０．５ｇの吸着材の前処理をターボポンプにて排気しながら所定の温度（活性化温度）で１２時間以上加熱を行い、その後２０℃に降温し、吸着質に６Ｎ以上の純度の窒素ガスを用い、平衡圧０．１Ｐａでの窒素吸着量を測定し、その吸着量が４×１０－１１ｍｏｌ／ｇ以上であれば、所定の温度（活性化温度）が活性化可能温度以上であることを確認することができる。
ガス吸着体６０は、ガラスパネルユニット１０の減圧空間５０内に配置されている。ガス吸着体６０に含まれているゲッタ材は複数の粒子を含有するが、これら粒子の活性化可能温度は、４００℃以下である。本開示において、「活性化可能温度」とは、ガス吸着体６０に含まれる複数の粒子が活性化するために必要な温度を意味する。すなわち、ガス吸着体６０に含まれる複数の粒子は、活性化可能温度以上において活性化する。活性化したガス吸着体６０中の複数の粒子は、ガス吸着能が増大する。言い換えると、ガス吸着体６０中の複数の粒子は、活性化可能温度に達すると、吸着ガスを放出することによって活性化し、ガス吸着能が高くなる。活性化可能温度は、例えば、ガス吸着材６０を０．００１Ｐａ以下の真空中で所定の加熱温度にて十分な時間加熱した後、２０℃環境中で０．１Ｐａの窒素平衡圧で窒素ガスの吸着量を測定した場合、窒素吸着量が４×１０－１１ｍｏｌ／ｇ以上となる最低限の加熱温度である。この窒素吸着量は、例えばマイクロトラックベル製のｂｅｌｓｏｒｐ－ｍａｘにて、０．５ｇの吸着材の前処理をターボポンプにて排気しながら所定の温度（活性化温度）で１２時間以上加熱を行い、その後２０℃に降温し、吸着質に６Ｎ以上の純度の窒素ガスを用い、平衡圧０．１Ｐａでの窒素吸着量を測定し、その吸着量が４×１０－１１ｍｏｌ／ｇ以上であれば、所定の温度（活性化温度）が活性化可能温度以上であることを確認することができる。
【0157】
以下に、ガス吸着体６０が含有するゼオライトの結晶からなる粒子について説明する。
【0158】
ガス吸着体６０が含有するゲッタ材は、多数（複数）のゼオライトの粒子の全重量のうち、半分以上の重量を占めるゼオライトの粒子の径が２００ｎｍ以上である。言い換えると、径が２００ｎｍ以上の複数のゼオライトの粒子の重量が、ゲッタ材を構成する複数のゼオライトの粒子の全重量の半分以上を占めている。なお、径が２００ｎｍ以上の複数のゼオライトの粒子の重量が、ゲッタ材及びガス吸着体６０に含有されている複数のゼオライトの粒子の全重量であってもよく、この場合、ゲッタ材及びガス吸着体６０に含有されている複数のゼオライトの粒子の全部が、２００ｎｍ以上の径を有している。
【0159】
上述したが、一般的に（例えば１００Ｐａ以上の圧力下で）、ゼオライトの粒子の径が小さくゼオライトの粒子の数が多いほど、ゼオライトの粒子の表面積が大きくなり、ゼオライトのガス吸着能力は高くなる。ゼオライトの粒子の径が小さいと、表面の細孔から内部に入り込む内部空間の奥行（表面からの経路の長さ）は短い。このため、ガス（分子）は、粒子の内部空間の奥方にまで入り込めず、表面近傍に保持（吸着）されている。表面近傍に保持されているガスは、所定の時間（粒子により異なる）を経て粒子より離脱するが、新たに吸着されるガスもあるため、粒子において離脱するガスと吸着するガスは平衡する。この平衡の観点からは、圧力が小さくなるほど、新たに吸着されるガスの量が小さく、離脱と吸着の平衡点も小さくなるため、単位重量あたりのガス吸着能力は小さくなる。また、一定の圧力下では、径が小さく表面積の合計値が大きいほど、単位重量あたりのガス吸着能力は大きくなる。
【0160】
しかしながら、低圧領域（例えば１００Ｐａ以下、特に３０Ｐａ以下）では、平衡の観点とは別の観点から、大きい粒子からのガスの離脱が小さくなると考えられる。すなわち、大きい粒子においては、単位重量あたりの表面積は小さいものの、表面の細孔から内部に入り込む内部空間の奥行は長くなり、小さい粒子よりも内部空間の奥方にまで入り込むガスが存在する。内部空間の奥方にまで入り込んだガスは、粒子から離脱しにくい。このため、低圧領域では、粒子が大きい方が、単位重量あたりのガス吸着能力が大きくなると考えられる。
【0161】
ここで、ゼオライトの粒子の径について説明する。ゼオライトの粒子の形状が球状である場合、その球の直径が粒子の径となる。ゼオライトの粒子の形状が球状ではない場合、ゼオライトの粒子の形状は楕円体形状又は直方体形状であることが多い。この場合、ガス吸着能力に最も影響を与えるのは、ゼオライトの粒子の最短幅と考えられる。最短幅とは、粒子の中心を含む断面を想定し、その断面において中心を通る線分のうちで、最も短い線分の長さであって、例えばゼオライトの粒子の形状が楕円体形状である場合、ゼオライトの粒子の短軸方向の長さである。また、例えばゼオライトの粒子の形状が直方体形状である場合、最短幅とは、直方体の辺のうちの最短辺の長さである。ゼオライトの粒子の形状が直方体形状と楕円体形状のいずれでもない場合、最短幅とは、粒子の最長幅を示す線を含む任意の断面において、最長幅を示す線と垂直方向の粒子幅で最大となるものの集合のうち、最小となる粒子幅である。なお、ゼオライトの粒子の形状が球状である場合、最短幅は球の直径である。
【0162】
ここで、粒子の最短幅を指標として採用する理由は、最短幅に対応する部分の表面積は広くなりやすく、かつ、最短幅に対応する部分の内部空間の奥行が短いほど内部空間に入り込んだガスが離脱しやすいため、ゼオライトの粒子の単位重量あたりのガス吸着能力に最も影響を与えると考えられるからである。
【0163】
粒子の径は、いわゆるＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察を行い、粒子の短軸幅を測定することによって求められる。短軸幅として、例えば粒子の形状が平板状であれば、板厚を測定すればよい。
【0164】
また、各粒子の重量比はＳＥＭ観察から得られる粒子の形状からその体積比を計算することで算出できる。ただし、ゼオライト以外の粒子が混合されている場合、ゼオライト以外の粒子を除外して体積比を算出する。
【0165】
図９及び図１０に、径が５０ｎｍの銅イオン交換型ＺＳＭ－５粒子と、径が４００ｎｍの銅イオン交換型ＺＳＭ－５粒子とによるガス吸着能力の比較実験の結果を示す。図９及び図１０に示す平衡圧－吸着量の関係図の横軸は平衡圧（Ｐａ）であり、縦軸は２０℃における窒素吸着量（任意単位）である。但し、図９においては縦軸及び横軸は通常の軸であり、図１０においては縦軸及び横軸は対数軸である。図１０より、平衡圧が約３０Ｐａとなるあたりで、径が５０ｎｍの銅イオン交換型ＺＳＭ－５粒子と径が４００ｎｍの銅イオン交換型ＺＳＭ－５粒子とによるガス吸着能力が逆転していることが分かる。
【0166】
本実施形態においては、ガス吸着体６０が含有する複数（多数）の粒子の全重量のうち、半分以上の重量を占める粒子の径が２００ｎｍ以上であればよいが、ガス吸着体６０に含有される複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める粒子の径が３００ｎｍ以上であればより好ましい。更に、ガス吸着体６０に含有される複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める粒子の径が４００ｎｍ以上であればより好ましい。つまり、径が４００ｎｍ以上の複数の粒子の重量が、ガス吸着体６０に含有されている複数の粒子の全重量の半分以上を占めていることが好ましい。
【0167】
図１１に、径が５０ｎｍの粒子と径が４００ｎｍの粒子とによるガス吸着能力の活性化温度の比較実験の結果を示す。図１１に示す吸着量比－活性化温度の関係図の横軸は活性化温度（℃）であり、縦軸は、２０℃環境下で平衡圧０．１Ｐａの場合における、径が４００ｎｍの粒子の窒素吸着量／径が５０ｎｍの粒子の窒素吸着量の比である。図１１より、活性化温度が３５０℃である場合の方が、活性化温度が４００℃である場合よりも吸着量比が大きく、活性化温度が２５０℃である場合の方が、活性化温度が３５０℃である場合よりも著しく吸着量比が大きいことが分かる。これは、銅イオン交換ゼオライトの場合、酸化銅還元による強力な窒素吸着サイトの発現が、活性化温度（排気工程の温度）を３５０℃以下にすることによって急激に起こりにくくなり、結晶サイズ効果の割合が大きくなるためであると考えられる。
【0168】
このため、本実施形態では、ガラスパネルユニット１０の製造プロセスにおける排気温度（活性化温度と同等）が４００℃以下でより効果的になり、３５０℃以下ではさらに大きな効果が得られ、３００℃以下であればより効果的になる。また、通常、排気工程は封着材（第１封着材及び第２封着材）の溶融温度付近かそれ以下の温度で行われるため、本発明におけるガラスパネルユニット１０は、封着材(第一封着材または第二封着材の少なくとも一方）の溶融温度が４００℃以下の場合により効果的であり、３５０℃以下ではさらに著しく効果的であり、３００℃以下でより効果的になる。
【0169】
図１２に、ガラスパネルユニット１０の残留ガス量－結晶の径（結晶サイズ）の関係図を示す。このとき、ガス吸着体６０の活性化は、図６に示す第１溶融工程と第２溶融工程の間の排気工程（排気温度Ｔｅ＝２５０℃）における条件と同じ条件で行った。図１２に示す関係図の横軸は結晶の径（ｎｍ）である結晶サイズであり、縦軸は残留ガス量（任意単位）である。図１２より、結晶の径が５０ｎｍの場合と比べて、結晶の径が４００ｎｍ及び２０００ｎｍの場合は残留ガス量が小さいことが分かる。
【0170】
従って、ガラスパネルユニット１０は、ゲッタ材が結晶サイズ４００ｎｍ以上の銅イオン交換ゼオライトを含み、封着材(第一封着材または第二封着材の少なくとも一方）の軟化点または融点が３５０℃以下であることが好ましい。
【0171】
ガラスパネルユニット１０の減圧空間５０における窒素の分圧が０．１Ｐａ以下としやすい。このことは、通常の吸着材では吸着されにくい窒素がガラスパネルユニット１０の減圧空間に残留または放出されても、十分な真空度にすることができ、良好な断熱特性が得られやすいことを意味する。
【0172】
さらに、減圧空間５０の体積をＶ（ｍ３）としたとき、窒素吸着の総量が０．１Ｖ（Ｐａ・ｍ３）以上としやすい。このことは、本来であれば減圧空間５０に残留または放出された窒素によって減圧空間５０の圧力が０．１Ｐａ以上になるものだとしても、ガス吸着体６０の窒素吸着によって窒素分圧を０．１Ｐａ以下にできていることを意味する。
【0173】
また、複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める粒子の径は、３０μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ以下である。
【0174】
図１３Ａは、ガラスパネルユニット１０の残留ガス量－結晶の径（結晶サイズ）の関係図を示す。この図では、ゲッタ材組成物の溶媒が水の場合と有機溶媒の場合とで、ガラスパネルユニット１０の残留ガス量に差が生じることが判る。すなわち、ゲッタ材組成物の溶媒が水の場合と有機溶媒の場合とで、ゼオライトの結晶からなる粒子に残存する溶媒の量が異なり、ガス吸着体６０のガス吸着能が異なってくる。
【0175】
図１３Ａから明らかなように、ゼオライトの結晶サイズが非常に小さい場合、ゲッタ材組成物の溶媒として有機溶媒を用いたガス吸着体のほうが残留ガス量は多い（すなわち、ガス吸着体の性能がやや低い）。しかし、ゼオライトの結晶サイズが４００ｎｍになると、ゲッタ材組成物の溶媒として有機溶媒を用いたガス吸着体と、水を用いたガス吸着体とでは、残留ガス量はほぼ同じ（残留ガス量比が１付近）になる。そして、ゼオライトの結晶サイズが４００ｎｍより大きくなると、ゲッタ材組成物の溶媒として水を用いるより有機溶媒を用いた方がガス吸着体の特性（ガス吸着能）が良くなる。例えば、ゼオライトの結晶サイズが６００ｎｍ以上になると、残留ガス量比が１以下になる。
【0176】
図１３Ｂに示すように、ゼオライトの結晶からなる粒子の径が５００ｎｍ以上になると、残留ガス量比が１以下となるため、ゲッタ材組成物の溶媒として、有機溶媒の方が水より有利になる（ガス吸着体のガス吸着能が高くなる）。なお、残留ガス量比は以下の式（２）で示される。
残留ガス量比＝［有機溶媒のときの残留ガス量］÷［水溶媒のときの残留ガス量］ …（２）
残留ガス量比＝［有機溶媒のときの残留ガス量］÷［水溶媒のときの残留ガス量］ …（２）
【0177】
したがって、ゲッタ材組成物の溶媒として、有機溶媒を用いる場合、ゼオライトの結晶からなる粒子の径（結晶サイズ）は、２００ｎｍ以上が有利で、さらに３００ｎｍ以上が望ましく、さらに、４００ｎｍ以上が望ましく、５００ｎｍ以上がさらに好ましく、６００ｎｍ以上であればより望ましい。また、ゼオライトの結晶からなる粒子の径は、７５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以上、１５００ｎｍ以上、２０００ｎｍ以上であればなおよい。すなわち、ゲッタ組成物は、結晶サイズ４００ｎｍ以上（または６００ｎｍ以上）の銅イオン交換ゼオライトを含み、環状構造を持つ有機溶媒を含むことが好ましい。
【0178】
例えば、ゲッタ材組成物は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める粒子の径が２００ｎｍ以上であり、かつ、複数の粒子の平均径は、２００ｎｍ以上であることが好ましい。これにより、低圧領域で吸着性能を発揮しやすいガス吸着体６０が得られる。ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の平均径（平均サイズ）は、前述のようにＳＥＭ観察で複数の粒子の短軸幅を測定し、その平均をとることで求められる。
【0179】
なお、例えば結晶サイズが２００ｎｍ未満（結晶サイズ５０ｎｍ）のゼオライト粒子０．５質量部、結晶サイズが２００ｎｍ以上（結晶サイズ４００ｎｍ）のゼオライト粒子０．５質量部を有機溶媒と混合して同様の実験をした場合、全量が結晶サイズ４００ｎｍのゼオライトを有機溶媒と混合した場合に近い残留ガス量（全量の結晶サイズが４００ｎｍの場合の１～１．５倍）となる。しかしながら、結晶サイズが２００ｎｍ未満（結晶サイズ５０ｎｍ）のゼオライト粒子０．７５質量部と、結晶サイズが２００ｎｍ以上（結晶サイズ４００ｎｍ）のゼオライト粒子０．２５質量部を有機溶媒と混合した場合においては、全量が結晶サイズ５０ｎｍのゼオライト粒子と有機溶媒を混合した場合とほぼ同じ残留ガス量（全量の結晶サイズが５０ｎｍの場合の０．８～１倍）となる。これは、結晶サイズの大きいゼオライト粒子を用いた場合に本来得られるはずの低圧状態では、結晶サイズの小さいゼオライトがむしろガスを放出しており、結晶サイズの小さいゼオライトの比率が高くなると、低圧領域ではゲッタ材全体としてガスの吸着より放出の割合が高くなってしまい、結晶サイズの大きい粒子の効果が得られにくくなるためと考えられる。このため、結晶サイズ２００ｎｍ未満のゼオライト粒子は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分未満であることが望ましい。
【0180】
さらにゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうち、３００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の重量はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分未満であることがより望ましく、４００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の重量はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分未満であることがより望ましく、５００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の重量はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分未満であることがより望ましく、６００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の重量はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうちの半分未満であることがさらに望ましい。また、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうち、７５０ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の重量が半分未満であることがより望ましく、１０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の重量が半分未満であることがより望ましく、１５００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の重量がゼオライトの半分未満であることがより望ましく、２０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の重量は半分未満であることがさらに望ましい。また、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全重量のうち、２００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の重量が半分未満であり、かつ、４００ｎｍ以上の粒子の重量割合が２５％より大きくてもよい。このようにすることで、結晶サイズの小さい粒子の影響を抑制することができる。
【0181】
なお、ゼオライトの結晶サイズ別の比率は、上記では粒子の重量の割合で示しているが、粒子の数（個数）の割合で比較した場合、あるいは粒子の体積の割合で比較した場合でもほぼ同様の傾向である。すなわち、結晶サイズ２００ｎｍ未満の粒子は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうちの半分未満であることが望ましい。あるいは、結晶サイズ２００ｎｍ未満の粒子は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の占める全体積のうちの半分未満であることが望ましい。
【0182】
さらにゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうち、３００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の体積はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうちの半分未満であることがより望ましく、４００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の体積はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうちの半分未満であることがより望ましく、５００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の体積はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうちの半分未満であることがより望ましく、６００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の体積はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうちの半分未満であることがさらに望ましい。また、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうち、７５０ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の体積が半分未満であることがより望ましく、１０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の体積が半分未満であることがより望ましく、１５００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の体積が半分未満であることがより望ましく、２０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の体積は半分未満であることがさらに望ましい。
【0183】
またゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうち、３００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の数はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうちの半分未満であることがより望ましく、４００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の数はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうちの半分未満であることがより望ましく、５００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の数はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうちの半分未満であることがより望ましく、６００ｎｍ未満の結晶サイズのゼオライト粒子の数はゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうちの半分未満であることがさらに望ましい。また、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうち、７５０ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の数が半分未満であることがより望ましく、１０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の数が半分未満であることがより望ましく、１５００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の数がゼオライトの半分未満であることがより望ましく、２０００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の数は半分未満であることがさらに望ましい。
【0184】
また、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全体積のうち、２００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の体積が半分未満であり、かつ、４００ｎｍ以上の粒子の体積割合が２５％より大きくてもよい。このようにすることで、結晶サイズの小さい粒子の影響を抑制することができる。また、例えば、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子の全数のうち、２００ｎｍ未満の結晶サイズの粒子の数が半分未満であり、かつ、４００ｎｍ以上の粒子の数が２５％より多くてもよい。
【0185】
なお、図１３Ａ及び図１３Ｂで使用したガラスパネルユニット１０は、以下のようなものである。
・ガス吸着体を構成するゲッタ材：Ｃｕ－ＺＳＭ－５（銅イオン交換ゼオライト）
・ガス吸着材量：１００ｍｇ
・ゲッタ材組成物の溶媒：αピネン又は水（なお、ゲッタ組成物は、ゲッタ材と溶媒とを混合後、１週間放置した後に塗布した)
・減圧空間体積：９０００ｍｍ３
・第一溶融温度：２９０℃
・排気温度および時間：２５０℃、３０ｍｉｎ
・第二溶融温度：３００℃
・シール材：バナジウム系フリット（軟化点２７０℃であり、第１封着材と第２封着材は同じ材料を使用した)。
・ガス吸着体を構成するゲッタ材：Ｃｕ－ＺＳＭ－５（銅イオン交換ゼオライト）
・ガス吸着材量：１００ｍｇ
・ゲッタ材組成物の溶媒：αピネン又は水（なお、ゲッタ組成物は、ゲッタ材と溶媒とを混合後、１週間放置した後に塗布した)
・減圧空間体積：９０００ｍｍ３
・第一溶融温度：２９０℃
・排気温度および時間：２５０℃、３０ｍｉｎ
・第二溶融温度：３００℃
・シール材：バナジウム系フリット（軟化点２７０℃であり、第１封着材と第２封着材は同じ材料を使用した)。
【0186】
（変形例）
本開示の実施形態は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に、上記実施形態の変形例を列挙する。なお、以下の説明において、上記実施形態を基本例とする。
本開示の実施形態は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に、上記実施形態の変形例を列挙する。なお、以下の説明において、上記実施形態を基本例とする。
【0187】
基本例では、第１及び第２ガラス板２００、３００のうち、第１ガラス板２００だけが低放射膜２２０を備えているが、変形例では第２ガラス板３００も低放射膜を備えてもよい。すなわち、第１及び第２ガラス板２００、３００の両方が低放射膜を備えてもよい。このため、第１及び第２ガラス板２０、３０の両方も低放射膜を備えてもよい。また、第１及び第２ガラス板２０、３０の両方ともが低放射膜を備えなくてもよい。
【0188】
基本例では、第１及び第２ガラス板２００、３００のうち、第１ガラス板２００は低放射膜２２０を備え、第２ガラス板３００は低放射膜を備えていない。しかし、変形例では第２ガラス板３００が低放射膜を備え、第１ガラス板２００が低放射膜２２０を備えなくてもよい。このため、変形例のガラスパネルユニット１０でも、第２ガラス板３０が低放射膜を備え、第１ガラス板２０が低放射膜２２０を備えなくてもよい。
【0189】
基本例では、排気工程は第１溶融工程後に開始しているが、変形例では、第１溶融時間ｔｍ１が経過した後で、かつ溶融炉内の温度が第１軟化点よりも低ければ、排気工程は第１溶融工程の途中で開始してもよい。
【0190】
基本例では、排気工程は第２溶融工程の終了とともに終了しているが、変形例では、排気工程は、第１溶融工程の後に開始し、第２溶融工程の前に終了してもよい。
【0191】
基本例では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、変形例では、ガラスパネルユニット１０は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラス板２０、及び第２ガラス板３０は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。
【0192】
第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２０は、第２ガラス板３０と同じ厚みを有していなくてもよい。これらの点は、第１及び第２ガラス板２００，３００についても同様である。
【0193】
周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【0194】
周壁４１０は、芯材等の他の要素をさらに備えていてもよい。
【0195】
また、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあるだけでこれらを接合していない。しかしながら、組立て品１００の段階で、周壁４１０が第１及び第２ガラス板２００，３００同士を接合していてもよい。要するに、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあればよく、これらを接合していることは必須ではない。
【0196】
また、基本例では、仕切り４２０は、周壁４１０に接していない。これによって、仕切り４２０の両端と周壁４１０との隙間が、通気路６１０，６２０を形成している。ただし、仕切り４２０は、その両端の一方のみが周壁４１０に連結されていてもよく、この場合、仕切り４２０と周壁４１０との間に一つの通気路６００が形成されうる。あるいは、仕切り４２０は、その両端が周壁４１０に連結されていてもよい。この場合、通気路６００は、仕切り４２０に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路６００は、仕切り４２０と第１ガラス板２００と間の隙間であってもよい。あるいは、仕切り４２０は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路６００は、２以上の仕切りの間に介在する隙間であってもよい。
【0197】
基本例では、通気路６００は２つの通気路６１０，６２０を備えているが、通気路６００は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路６００の形状は、特に限定されない。
【0198】
また、基本例では、内部空間５００は、一つの第１空間５１０と一つの第２空間５２０とに仕切られている。ただし、内部空間５００は、仕切り４２０によって、１以上の第１空間５１０と１以上の第２空間５２０とに仕切られていてもよい。内部空間５００が２以上の第１空間５１０を有する場合、１つの仕掛り品１１０から２以上のガラスパネルユニット１０を得ることができる。
【0199】
基本例では、第１空間５１０を減圧空間５０としているが、減圧空間５０の代わりに、減圧空間としてもよい。減圧空間は、減圧状態となった第１空間５１０である。減圧状態とは、圧力が大気圧より低い状態であればよい。
【0200】
基本例では、隔壁４２で減圧空間５０を外部空間から空間的に分離している。しかし変形例では、排気口７００の中または外周のみを封着材により封止していてもよい。また第二溶融工程で通気路６００を塞ぐ代わりに、排気口７００の周辺部のみを局所加熱し、封着材を溶融させることで封止してもよい。また、排気口７００を形成せず、炉全体を真空排気することで、ガラスパネルユニット１０の中を減圧した後、真空中でガラスパネルユニット１０を加熱することで外周の封着材を溶融させ、封止してもよい。
【0201】
基本例では、隔壁４２で減圧空間５０を外部空間から空間的に分離している。しかし変形例では、排気口７００に接続された排気管の途中を溶融切断することで形成される封止部により減圧空間５０を外部空間から空間的に分離してもよい。すなわち、減圧空間５０を外部空間から空間的に分離する部材として、隔壁４２は必須ではない。
【0202】
（まとめ）
以上述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
以上述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0203】
第１の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0204】
第２の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１の態様との組み合わせにより実現される。第２の態様のガラスパネルユニット（１０）では、前記複数の粒子の全重量のうち、前記粒子の径が２００ｎｍ未満の粒子の重量が半分未満である。
【0205】
第２の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0206】
第３の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１又は２の態様との組み合わせにより実現される。第３の態様のガラスパネルユニット（１０）では、前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が４００ｎｍ以上である。
【0207】
第３の態様によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0208】
第４の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１～３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第４の態様のガラスパネルユニット（１０）では、減圧空間（５０）における窒素の分圧が０．１Ｐａ以下である。
【0209】
第４の態様によれば、断熱性能の高いガラスパネルユニット（１０）としやすい。
【0210】
第５の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１～４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第５の態様のガラスパネルユニット（１０）では、前記粒子が吸着した窒素の２０℃における総量が、減圧空間（５０）の容積をＶ（ｍ３）としたとき、０．１Ｖ（Ｐａ・ｍ３）以上である。
【0211】
第５の態様によれば、断熱性能の高いガラスパネルユニット（１０）としやすい。
【0212】
第６の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１～５のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第６の態様のガラスパネルユニット（１０）では、ゼオライトは、銅イオン交換ゼオライトである。
【0213】
第６の態様によれば、ガス吸着体（６０）が吸着性能を発揮しやすい。
【0214】
第７の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１～６のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第７の態様のガラスパネルユニット（１０）では、前記粒子は、一次粒子である。また前記径は、前記粒子の最短幅である。
【0215】
第７の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0216】
第８の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全数のうちの半分以上の数を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0217】
第８の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0218】
第９の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子が占める全体積のうちの半分以上の体積を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0219】
第９の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0220】
第１０の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子と、水素化触媒と、を含有する。
【0221】
第１０の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0222】
第１１の態様のゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める粒子の径が２００ｎｍ以上である。前記粒子の活性化可能温度が４００℃以下である。
【0223】
第１１の態様のゲッタ材は、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0224】
第１２の態様のゲッタ材は、第１１の態様との組み合わせにより実現される。第１２の態様のゲッタ材では、前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が４００ｎｍ以上である。
【0225】
第１２の態様のゲッタ材は、低圧領域で吸着性能を発揮することができる。
【0226】
第１３の態様のゲッタ材は、第１１又は１２の態様との組み合わせにより実現される。第１３の態様のゲッタ材では、前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が６００ｎｍ以上である。
【0227】
第１３の態様のゲッタ材は、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0228】
第１４の態様のゲッタ材は、第１１～１３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１４の態様のゲッタ材では、前記複数の粒子の各径が１０００ｎｍ以上である。
【0229】
第１４の態様のゲッタ材は、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0230】
第１５の態様のゲッタ材は、第１１～１４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１５の態様のゲッタ材では、前記粒子は、一次粒子である。また前記径は、前記粒子の最短幅である。
【0231】
第１５の態様のゲッタ材は、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0232】
第１６の態様のゲッタ材は、第１１～１５のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１６の態様のゲッタ材では、二酸化炭素吸着材（酸化セリウムを除く）を更に含む。
【0233】
第１６の態様のゲッタ材は、二酸化炭素を吸着しやすくなり、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0234】
第１７の態様のゲッタ材は、第１６の態様との組み合わせにより実現される。第１７の態様のゲッタ材では、前記二酸化炭素吸着材は、シリカ、アルミナ及び活性炭からなる群より選択される少なくとも一種を含む。
【0235】
第１７の態様のゲッタ材は、二酸化炭素を吸着しやすくなり、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0236】
第１８の態様のゲッタ材は、第１１～１７のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１８の態様のゲッタ材では、水素化触媒を更に含む。
【0237】
第１８の態様のゲッタ材は、化合物を水素化しやすくなり、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0238】
第１９の態様のゲッタ材は、第１８の態様との組み合わせにより実現される。第１９の態様のゲッタ材では、前記水素化触媒は、粉体である。
【0239】
第１９の態様のゲッタ材は、化合物を水素化しやすくなり、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【0240】
第２０の態様のゲッタ材は、第１８又は１９の態様との組み合わせにより実現される。第２０の態様のゲッタ材では、前記水素化触媒は、シリカ、アルミナ及び活性炭からなる群より選択される少なくとも一種を含む担体に担持されている。
【0241】
第２０の態様のゲッタ材は、水素化触媒を担持体で担持し、水素化触媒が脱離しにくくなる。
【0242】
第２１の態様のゲッタ材は、第１１～２０のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第２１の態様のゲッタ材では、ゼオライトは、銅イオン交換ゼオライトである。
【0243】
第２１の態様のゲッタ材は、吸着性能を発揮しやすい。
【0244】
第２２の態様のゲッタ材組成物は、ゲッタ材と、溶媒と、を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記粒子の活性化可能温度は４００℃以下である。
【0245】
第２２の態様のゲッタ材組成物によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすいガス吸着体（６０）が得られる。
【0246】
第２３の態様のゲッタ材組成物は、ゲッタ材と、溶媒と、を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子は、径が２００ｎｍ以上の粒子を含む。
【0247】
第２３の態様のゲッタ材組成物によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすいガス吸着体（６０）が得られる。
【0248】
第２４の態様のゲッタ材組成物は、第２２又は２３の態様との組み合わせにより実現される。第２４の態様のゲッタ材組成物では、前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上であり、かつ、前記複数の粒子の平均径は、２００ｎｍ以上である。
【0249】
第２４の態様のゲッタ材組成物によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすいガス吸着体（６０）が得られる。
【0250】
第２５の態様のゲッタ材組成物は、第２２～２４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第２５の態様のゲッタ材組成物では、溶媒は、沸点が３００℃以下の有機溶媒を含む。
【0251】
第２５の態様のゲッタ材組成物によれば、有機溶媒を脱離するのに必要なエネルギーを低減することができ、ガス吸着体（６０）が得やすくなる。
【0252】
第２６の態様のゲッタ材組成物は、第２２～２５のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第２６の態様のゲッタ材組成物では、溶媒は、環式構造を有する有機溶媒を含む。
【0253】
第２６の態様のゲッタ材組成物によれば、有機溶媒を脱離するのに必要なエネルギーを低減することができ、ガス吸着体（６０）が得やすくなる。
【0254】
第２７の態様のゲッタ材組成物は、第２２～２６のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第２７の態様のゲッタ材組成物では、溶媒は、非芳香族を有する有機溶媒を含む。
【0255】
第２７の態様のゲッタ材組成物によれば、有機溶媒を脱離するのに必要なエネルギーを低減することができ、ガス吸着体（６０）が得やすくなる。
【0256】
第２８の態様のゲッタ材組成物は、第２２～２７のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。ゲッタ材は、さらに、二酸化炭素吸着材を含有する。
【0257】
第２８の態様のゲッタ材組成物によれば、ガス吸着能が優れるガス吸着体（６０）が得やすくなる。
【0258】
第２９の態様のゲッタ材組成物は、第２２～２８のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。ゲッタ材は、さらに、水素化触媒を含有する。
【0259】
第２９の態様のゲッタ材組成物によれば、ガス吸着能が優れるガス吸着体（６０）が得やすくなる。
【0260】
第３０の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、加工工程と、組立工程と、接合工程と、排気工程と、を含む。加工工程は、第２２～２９のいずれか一つの態様のゲッタ材組成物を用意する。組立工程は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠状の周壁（４１０）と、内部空間（５００）と、ゲッタ材組成物から得られるガス吸着体（６０）と、排気口（７００）と、を備える組立て品（１００）を用意する。接合工程は、周壁（４１０）を溶融させて第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（２０）とを気密に接合する。排気工程は、排気口（７００）を介して内部空間（５００）を排気して減圧空間（５０）とする。
【0261】
第３０の態様によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすいガラスパネルユニット（１０）が得られる。
【0262】
第３１の態様のガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第１ガラス板（２０）に対向する第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、減圧空間（５０）と、ガス吸着体（６０）と、を備える。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とを気密に接合する。減圧空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着体（６０）は、減圧空間（５０）内に配置される。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材を含有する。前記ゲッタ材は、ゼオライトの結晶からなる複数の粒子を含有する。前記複数の粒子の全重量のうちの半分以上の重量を占める前記粒子の径が２００ｎｍ以上である。封止材の軟化点または融点または接着可能温度の少なくとも１つが３５０℃以下である。
【0263】
第３１の態様のガラスパネルユニット（１０）によれば、低圧領域で吸着性能を発揮しやすい。
【符号の説明】
【0264】
１０ガラスパネルユニット
２０第１ガラス板
３０第２ガラス板
４０枠体
５０減圧空間
６０ガス吸着体
２０第１ガラス板
３０第２ガラス板
４０枠体
５０減圧空間
６０ガス吸着体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】