特許 7462271 超音波流量計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-28

(45)【発行日】2024-04-05

(54)【発明の名称】超音波流量計

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/66 20220101AFI20240329BHJP

【ＦＩ】

G01F1/66 101

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020101308

(22)【出願日】2020-06-11

(65)【公開番号】P2021196208

(43)【公開日】2021-12-27

【審査請求日】2023-02-13

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002527

【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 真人

(72)【発明者】

【氏名】三好 麻子

(72)【発明者】

【氏名】松田 正誉

(72)【発明者】

【氏名】中林 裕治

(72)【発明者】

【氏名】名和 基之

【審査官】羽飼 知佳

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０００／０５５５８１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００３－０６５８１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１０１６７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００９／００１６５５５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｆ １／６６－１／６６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

矩形断面の計測流路と、
前記計測流路内を超音波が斜めに横断するように前記矩形断面の短辺側に配置した一対の超音波送受波器と、
前記一対の超音波送受波器間の超音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測部と、
前記伝搬時間計測部で計測された伝搬時間から流量を演算する演算部と、
前記一対の超音波送受波器と前記計測流路との間に形成されるキャビティと前記計測流路の前記キャビティ近傍とを分割するように前記計測流路の長辺と平行に配置した分割板と、
を備えた超音波流量計。

【請求項2】

前記分割板により区分される分割流路の間隔を代表長さとし、その代表長さと、計測される最大流速とより定められるレイノルズ数が層流になるように前記間隔を設定した請求項１に記載の超音波流量計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波流量計における計測誤差の低減に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、超音波流量計では、超音波送受信器を取り付ける為の取付穴において、超音波送受信器の前方に形成されるキャビティに発生する渦の影響による計測誤差を低減する工夫が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

図８は、特許文献１に記載された超音波流量計の超音波送受波器の取付穴の構成を示している。

【0004】

図８（ａ）に示すように、この流量計１００では、計測流路１０１に配置された超音波送受信器１０２、１０３が取付穴１１４、１１５に斜めに取り付けられることで、超音波送受信器１０２、１０３の前方には、流路との間にキャビティ１０４、１０５が形成されている。そして、キャビティ１０４、１０５の内部が分割部材１０６、および分割部材１０７により分割されている。

【0005】

すなわち、キャビティ１０４は、分割通路１０４ａ、分割通路１０４ｂ、分割通路１０４ｃに分割され、また、キャビティ１０５は、分割通路１０５ａ、分割通路１０５ｂ、分割通路１０５ｃに分割されている。この場合、分割部材１０６、１０７は、キャビティ１０４、１０５の内部において流れを遮る方向に形成されている。

【0006】

このような構成において、計測流路１０１を通過する流れＦの流速によりキャビティ１０４、１０５の内部には、キャビティ全域にわたる大きい渦が発生しようとするが、分割部材１０６、１０７により、キャビティ１０４、１０５の内部が小さく分割され、渦が発生しにくくなることと、分割通路１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃの流入抑制体としての作用により、流体の流入も低減させることができ、これらにより、誤差の発生を少なくする構成となっている。

【0007】

また、分割部材を用いた構成の別な実施例として、図８（ｂ）のような構成も提示されている。

【0008】

この図８（ｂ）は、計測流路面１１１（図８（ａ）の計測流路面１０８に相当する）の開口穴を流路内の垂直方向から見た図を示したものであり、この場合、キャビティ１０９は、分割部材１１０により、分割通路１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃの３つの分割流路に分割されている。この場合、分割部材１１０は、キャビティ１０９の内部において流れと同じ方向に形成されている。ここでは、超音波送受波器を取り付けたキャビティの内の一方のキャビティ１０９のみを示したが、他方も同様である。

【0009】

このような構成においても、キャビティの内部が小さく分割され、分割流路の流入抑制体としての作用により、流体の流れを低減させることができ、これにより、キャビティに発生する渦の影響による計測誤差の発生を少なくする構成となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【文献】特開２００４－１０１５４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、前記従来の構成では、キャビティに発生する渦の影響による計測誤差の発生を少なくするための工夫が、キャビティ内部に限られたものであり、キャビティ内部の流れに大きな影響を及ぼすキャビティ近傍の流れまで考慮に入れた対策とはなっていないという課題を有するものであった。

【0012】

本発明では、キャビティ近傍の流れも考慮し、流速の大小に関わらず、キャビティ内部の流れ状態を一定にして、補正を容易にし、誤差低減を図ることを目的とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0013】

前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波流量計は、矩形断面の計測流路と、前記計測流路内を超音波が斜めに横断するように前記矩形断面の短辺側に配置した一対の超音波送受波器と、前記一対の超音波送受波器間の超音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測部と、前記伝搬時間計測部で計測された伝搬時間から流量を演算する演算部と、前記一対の超音波送受波器と前記計測流路との間に形成されるキャビティと前記計測流路の前記キャビティ近傍とを分割するように前記計測流路の長辺と平行に配置した分割板と、を備えたことにより、流速の大小に関わらずキャビティ内の流れ状態を一定にし、補正をしやすくして計測精度の向上を図ることができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明の流量計測装置は、一対の超音波送受波器と計測流路との間に形成されるキャビティ前方の計測流路部において、計測流路長辺と平行に配置した分割板の一部がキャビティ内部を分割するように延長し、流速の大小に関わらずキャビティ内の流れ状態を一定にすることにより、補正を容易にすると共に、補正量を少なくして、キャビティにおける誤差を少なくすることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態１における超音波流量計の計測部の概略構成図

【図2】（ａ）本発明の実施の形態１における超音波流量計のブロック図、（ｂ）（ａ）のＣＣ’断面図

【図3】（ａ）キャビティ８近傍の部分斜視図、（ｂ）（ａ）のＢ矢視図

【図4】本発明の実施の形態１におけるＡＡ’断面図で分割板がない場合の誤差発生説明図

【図5】本発明の実施の形態１において、分割板がない場合のキャビティ近傍の流れ状態図

【図6】本発明の他の実施の形態を示す図

【図7】本発明の他の実施の形態を示す図

【図8】従来の超音波流量計における構成を示す断面図

【発明を実施するための形態】

【0016】

第１の発明は、矩形断面の計測流路と、前記計測流路内を超音波が斜めに横断するように前記矩形断面の短辺側に配置した一対の超音波送受波器と、前記一対の超音波送受波器間の超音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測部と、前記伝搬時間計測部で計測された伝搬時間から流量を演算する演算部と、前記一対の超音波送受波器と前記計測流路との間に形成されるキャビティと前記計測流路の前記キャビティ近傍とを分割するように前記計測流路の長辺と平行に配置した分割板と、を備えたことにより、流速の大小に関わらずキャビティ内の流れ状態を一定にし、補正をしやすくして計測精度の向上を図ることができる。

【0017】

第２の発明は、特に請求項１の発明において、前記分割板により区分される分割流路の間隔を代表長さとし、その代表長さと、計測される最大流速とより定められるレイノルズ数が層流になるように前記間隔を設定したことにより、補正量を少なくして計測精度の向上を図ることができる。

【0018】

以下、図面を参照しながら実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明、または、実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。

【0019】

なお、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図していない。

【0020】

（実施の形態１）
実施の形態１について、図１～図３を用いて説明する。

【0021】

図１は、本発明の実施の形態１における超音波流量計の計測部の概略構成を示す斜視図である。

【0022】

図１において、超音波流量計の計測部１は矩形断面の計測流路２と超音波送受波器保持部３より構成されている。計測流路２は、矩形断面の短辺側の上面２ａと下面２ｂ、および矩形断面の長辺側の長辺側の側面２ｃと側面２ｄにより形成されている。

【0023】

図２（ａ）は、超音波流量計１４のブロック図であり、計測部１は図１のＡＡ’断面を示し、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣＣ’断面図である。

【0024】

計測流路２の上部に取り付けられた超音波送受波器保持部３には、超音波送受波器の取付け穴４，５が形成されており、それぞれの取付け穴４，５に超音波送受波器６，７が取付けられている。超音波送受波器６，７は、計測流路２の流路方向に対して所定の角度で超音波を送信するように斜めに取り付けられている為、超音波送受波器６，７の超音波信号の送信方向には、計測流路２との間にキャビティ８、９が形成される。キャビティ８、９近傍の計測流路２、即ち上面２ａ側には、計測流路２を分割する分割板１０、１１が設けられている。分割板１０は、分割板延伸部１０ａ、１０ｂ、分割板１１は、分割板延伸部１１ａ（図示せず）、１１ｂを有しており、それぞれ、キャビティ８、９の内部を分割するように形成されている。この分割板１０、１１の高さｍは、キャビティ８の開口幅ｗと同程度の大きさを有している。また、分割板１０，１１の流れ方向における長さは、キャビティ８の上流端近傍から、キャビティ９の下流端近傍までとなっている。

【0025】

超音波送受波器６，７は、一方が送信側に、他方が受信側に設定され、送信側に設定された超音波送受波器が駆動信号で駆動されて超音波信号を送信し、受信側に設定された超音波送受波器が超音波信号を受信する。そして、超音波送受波器６，７を送信側と受信側に交互に切替えることで、超音波は、超音波送受波器６から、超音波送受波器７へ、もしくは、その反対方向へ超音波伝搬路ＵＰ１～ＵＰ２の経路（一点鎖線で示す）を経て送受信される。このとき、計測流路２の下面２ｂは、超音波の反射面として作用する。

【0026】

受信側に設定された超音波送受波器６，７に生じた超音波の受信信号は、処理手段１２にて処理されて超音波の伝搬時間が求められ、その後、演算手段１３にて流速、または、流量を求めるための演算処理が行われる。

【0027】

計測部１、処理手段１２、および演算手段１３により、超音波流量計１４が構成される。

【0028】

なお、処理手段１２では、超音波送受波器６，７の送受信の切替、駆動信号の出力、受信信号の増幅などの超音波の伝搬時間計測の為に必要な処理を行っている。

【0029】

図３（ａ）は、図２におけるキャビティ８近傍の部分斜視図であり、図３（ｂ）は、そのＢ矢視図である。

【0030】

キャビティ８近傍の計測流路２には、分割板１０、１１が配置されている。

【0031】

図３（ａ）では、図の煩雑さをさけるため、分割板１０、１１の厚みを省略して点線で示しているが、実際は、図３（ｂ）に示す様に、厚みｔを有している。

【0032】

また、図３（ｂ）に示す様に、計測流路２は、分割板１０、１１により分割され分割流路１５、１６、１７を形成している。この例では、これらの分割流路１５、１６、１７の間隔ｈ１、ｈ２、ｈ３は、均等に構成されている。これらの値をｈとした場合、ｈの寸法は、ｈを代表長さとし、この超音波流量計における最大流速をＶｍａｘとした場合、最大流速におけるレイノルズ数が、約２３００以下つまり、層流となるように設定されている。

【0033】

ここには記載しないが、図２におけるキャビティ９近傍も、同様の構成となっている。

【0034】

なお、本実施の形態では、分割流路１５、１６、１７の間隔ｈ１、ｈ２、ｈ３を均等に構成したが、不均等であっても、そのうちの最大の寸法を代表長さとし、この流量計における最大流速をＶｍａｘとした場合、最大流速におけるレイノルズ数が、約２３００以下、つまり、層流となるように設定されていても良いものである。

【0035】

このような構成において、動作説明をするにあたり、まず、キャビティ８、９近傍に分割板１０、１１が無い場合、キャビティにおける流れ状況や、キャビティにおいて発生する誤差について、図４、および図５を用いて説明する。

【0036】

図４は、図２と同様の計測流路で、キャビティ８、９に分割板１０、１１がないものである。この図における符号は、図２と同様であり説明は省略する。

【0037】

まず、図４を用いて、流量計測の方法と、キャビティでの誤差発生要因について説明する。

【0038】

計測流路２を流れる流体の流速をＶ、流体中の音速をＣ、流体の流れる方向と超音波が下面２ｂで反射するまでの超音波伝搬方向とのなす角度をθとする。

【0039】

また、超音波送受波器６と超音波送受波器７との間で伝搬する超音波の超音波伝搬路が図３の一点鎖線で示すＵＰ１，ＵＰ２であり、この超音波の超音波伝搬路ＵＰ１，ＵＰ２の各ポイントを超音波送受波器６送信面Ｐ１、キャビティ８と計測流路２の境界をＰ２，反射点をＰ３、キャビティ９と計測流路２の境界をＰ４、超音波送受波器７の送信面Ｐ５と定義すると、超音波伝搬路ＵＰ１，ＵＰ２は、Ｐ１～Ｐ２～Ｐ３～Ｐ４～Ｐ５に分解できる。

【0040】

ここで、Ｐ１～Ｐ２は、キャビティ８内の超音波伝搬路であり、その長さをＬ１とする。次にＰ２～Ｐ３は、キャビティ８を出てから計測流路２の下面２ｂで反射するまでの超
音波伝搬路であり、その長さをＬ２とする。

【0041】

次に、Ｐ３～Ｐ４は、超音波が下面２ｂで反射したのち、キャビティ９に到達するまでの超音波伝搬路であり、その長さをＬ３とする。その後の、Ｐ４～Ｐ５は、キャビティ９内の超音波伝搬路であり、その長さをＬ４とする。これらの超音波伝搬路を経て、超音波は、超音波送受波器７に到達する。

【0042】

いま、超音波が超音波送受波器６を出てから、超音波送受波器７に到達するまでのＰ１～Ｐ５経路における全長をＬとすると、Ｌは、下式のようになる。

【0043】

Ｌ＝Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４ （１）
このとき、超音波送受波器６から出た超音波が、もう一方の超音波送受波器７に到達するまでの伝搬時間ｔ１は、下式にて示される。

【0044】

ｔ１＝Ｌ／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ） （２）
次に超音波送受波器７から出た超音波が、もう一方の超音波送受波器６に到達するまでの伝搬時間ｔ２は、下式にて示される。

【0045】

ｔ２＝Ｌ／（Ｃ－Ｖｃｏｓθ） （３）
式（２）と式（３）から流体の音速Ｃを消去すると、下式が得られる。

【0046】

Ｖ＝（Ｌ／２ｃｏｓθ）（１／ｔ１－１／ｔ２） （４）
式（４）にて分るように、Ｌとθが既知であれば、処理手段１２にて計測された伝搬時間ｔ１、およびｔ２を用いて、流速Ｖが求められる。

【0047】

次に、下式に示すようにこの流速Ｖに計測流路２の断面積Ｓを乗じて、計測流路２を流れる流量ｑを算出する。

【0048】

ｑ＝ｋｘＶｘＳ （５）
ここに、ｋは、上記のようにして求めた流速Ｖが、種々の誤差を含んでいることを考慮して上記のＶから正しい流速に換算するための補正係数である。

【0049】

例えば、上記の（２）式、および（３）式で求めた伝搬時間ｔ１、ｔ２は、それぞれ、キャビティ８、および９における伝搬時間が含まれているため、誤差を含んだものとなっている。

【0050】

式（１）を式（２）、（３）に代入して、整理すると、次式のようになる。

【0051】

ｔ１＝（（Ｌ２＋Ｌ３）／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ））＋（Ｌ１／（Ｃ＋Ｖ１ｃｏｓθ））
＋（Ｌ２／（Ｃ＋Ｖ２ｃｏｓθ）） （６）
ｔ２＝（（Ｌ２＋Ｌ３）／（Ｃ－Ｖｃｏｓθ））＋（Ｌ１／（Ｃ－Ｖ１ｃｏｓθ））
＋（Ｌ２／（Ｃ－Ｖ２ｃｏｓθ）） （７）
ここで、Ｖ１、およびＶ２は、それぞれ、キャビティ８，９内の流速をあらわす。

【0052】

式（６）、（７）において、第２項は、キャビティ８内における伝搬時間、第３項は、キャビティ９内における伝搬時間を意味している。

【0053】

これらの式から分かるように、キャビティ８，９において、流れが発生していなければＶ１＝Ｖ２＝０となるため、単にキャビティ８、９を超音波が通過する経過時間だけをｔ１、ｔ２から差し引けば、正確な伝搬時間が求められる。

【0054】

しかしながら、キャビティ８、９内に流れが発生しておれば、その流れ状況に応じた伝搬時間が生じる為、キャビティ８、９内の伝搬時間を求めることができなければ、誤差を生じることになる。

【0055】

次に、図５を用いて、キャビティ８，９に分割板１０、１１が無い場合の、キャビティ８、９近傍の流れ状態について説明する。

【0056】

図５は、図４において、キャビティ８，９近傍の流れ状態を示した図である。

【0057】

図５（ａ）は、流速が小さい場合で、図５（ｂ）、図５（ｃ）の順に流速が大きくなっていくときの状態を示している。

【0058】

図５（ａ）に示すように流速が小さいときは、流体の粘性力が慣性力より大きいため、キャビティ８、９近傍の流れは、キャビティ８、９の内部に流れ込んでから出てくる流れＳａ１、Ｓａ２となる。

【0059】

図５（ｃ）の流速が大きいときは、流体の粘性力よりも慣性力の方が大きいため、流れはキャビティ８，９内に流れ込むことはなく、流れＳｃ１、Ｓｃ２となり、キャビティ８、９内には、閉じた渦Ｖｃ１、Ｖｃ２が形成される。

【0060】

図５（ｂ）は、図５（ａ）と図５（ｃ）の中間の流速の時であり、上流側は、キャビティ８に流れ込む流れＳｂ１が生じるが、下流側では、流れＳｂ２により、渦Ｖｂ２が発生する。

【0061】

先の図４を用いた説明で、キャビティ８、９内部における流れの影響により、伝搬時間に誤差が発生することを説明したが、この図５に照らし合わせて考えると、流速が小さいとき、すなわち図５（ａ）の状態では、その誤差は、キャビティ８，９内への流れ込みに起因するものである。また、流速が大きいとき、すなわち図５（ｃ）の状態では、その誤差はキャビティ８，９内の渦に起因するものである。この２つの場合を比較すればわかるように、キャビティ内の流れ状態は、流速により全く違ったものとなっており、誤差を補正するための方法が異なるものとなる。つまり、流速に応じて補正の方法を使い分ける必要がある。

【0062】

さらに、中間流速（ｂ）の場合は、上流側のキャビティ８と、下流側のキャビティ９との流れ状態が異なるため、誤差補正の取扱いは、一層複雑なものとなる。

【0063】

次に、本実施の形態における動作を図３及び図５を用いて説明する。

【0064】

図３（ｂ）において、計測流路２内の流速が小さい場合は、分割板１０、１１により分割された分割流路１５、１６、１７を通過する流速をＦ１，Ｆ２，Ｆ３とすると、これらは図５（ａ）と同様の流れとなり、すべて、キャビティ８内に流れ込む状態の流れとなる。

【0065】

次に、流速が増加した場合、もし、分割板１０、１１が無ければ、図５の（ｂ）、（ｃ）に示す流れの状態となり、キャビティ８内の流れは、流れ込みの状態から、渦形成へと推移するのであるが、本実施の形態の場合は、分割板１０、１１があるため、そのようにはならない。

【0066】

すなわち、分割板１０、１１により区切られた分割流路１５、１６、１７の流れは、そ
のレイノルズ数が、流速の最大値に対して、層流となるように定められているため、流れは渦を生じることはなく、最大流速に至るまで図５（ａ）に示すような流れ込みの状態となる。

【0067】

このことは、キャビティ８内に生じる流れによる誤差を補正するに当たり、流速に応じて、流れ状態が変わるということがないため、補正処理が容易になるものである。

【0068】

また、キャビティ８内の流れを層流にすることにより、流れ込み自体に対する抵抗も増すため、流れ込みの量も少なくなり、誤差を生じても、その誤差量を少なくすることが出来る。

【0069】

上記は、キャビティ８について述べたが、図３に示していない、下流側のキャビティ９についても、同様の事が言える。

【0070】

以上の様に、本実施の形態によると、流速の大小に関わらずキャビティ８、９内の流れ状態を一定にすることにより、補正を容易にすると共に、補正量を少なくして、キャビティ８、９における誤差を少なくすることができる。

【0071】

なお、本実施の形態では、分割板１０の高さｍは、キャビティ８の開口幅ｗと同程度の大きさとしたが、ｍは、それ以上の大きさであればよく、図２に記載した計測流路２の高さМまで延びていても良いものである。

【0072】

また、分割板１０、１１の流れ方向における長さとして、キャビティ８の上流端近傍から、キャビティ９の下流端近傍までとしたが、それ以上の流さであればよく、図２に記載した計測流路２の入口から出口までの長さまで延びていても良いものである。

【0073】

（他の実施の形態）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態１を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用できる。

【0074】

そこで、以下、他の実施の形態を例示する。

【0075】

図６（ａ）は、多層流路に分割板を設けた場合の計測部の断面図、図６（ｂ）は、ＤＤ’断面図を示す。なお、実施の形態１と同一符号のものは同一構造を有し、説明は省略する。

【0076】

図６において、計測部２１の構成は、実施の形態１と同様であるが、計測流路２２は、２つの仕切り板２３，２４により、３つの流路２５ａ、２５ｂ、２５ｃの多層に分割されている。更に、流路２５ｂは、キャビティ９の近傍においては、分割板１０，１１で分割されている。

【0077】

本実施の形態１では、計測流路２が１層の場合を示したが、図６に示す様な多層流路であっても、各層において、実施の形態１に記載したのと同じ条件で分割板を設ければ、同様の効果を発揮することができる。

【0078】

また、分割板の数が２枚の場合を示したが、これに限るものではなく、１枚であっても、また、３枚以上であっても、分割される分割流路の間隔が上記に記載したのと同じ条件であれば、同様の効果が発揮されるものである。

【0079】

図７は、超音波送受波器が計測流路に対応配置された計測部を示す断面図である。なお、実施の形態１と同一符号のものは同一構造を有し、説明は省略する。

【0080】

図７において、計測部３１は、矩形断面の計測流路３２の対向する面には、超音波送受波器保持部３３に保持された超音波送受波器６と超音波送受波器保持部３７に保持された超音波送受波器７が対向するように配置されている。

【0081】

実施の形態１では、一対の超音波送受波器が計測流路の同じ面に配置されており、一方の超音波送受波器から送信された超音波は対向する面に反射して他方の超音波送受波器に受信される所謂Ｖパス方式であったが、本実施の形態では、一対の超音波送受波器が計測流路の対向する面に配置され、超音波は直接送受信される所謂Ｚパス方式である。

【0082】

そして、計測流路３２のキャビティ８近傍、及びキャビティ８内は２つの分割板３５で分割され、キャビティ９近傍、及びキャビティ９内は２つの分割板３６で分割されている。

【0083】

従って、実施の形態１に記載したのと同じ条件で分割板を設ければ、同様の効果を発揮することができる

【産業上の利用可能性】

【0084】

以上のように、本発明の超音波流量計は、キャビティ前方の計測流路に配置した分割板の一部が、キャビティ内部も分割することにより、流速の大小に関わらずキャビティ内の流れ状態を一定にし、補正を容易にして、キャビティにおける誤差を少なくすることができるため、家庭用、および業務用のガスメータや、工業用流量計など、計測精度を必要とする流量計としての応用が可能となる。

【符号の説明】

【0085】

２、２２、３２ 計測流路
２ａ 上面（短辺）
２ｃ 側面（長辺）
６、７ 超音波送受波器
８、９ キャビティ
１０、１１、３５、３６ 分割板
１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂ 分割板延伸部
１２ 処理手段（伝搬時間計測部）
１３ 演算手段
１４ 超音波流量計
１５、１６、１７ 分割流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】