特許 7462339 基板移送ロボットをチャンバ内で走行させるための走行ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-28

(45)【発行日】2024-04-05

(54)【発明の名称】基板移送ロボットをチャンバ内で走行させるための走行ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240329BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240329BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/07 F

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022109053

(22)【出願日】2022-07-06

(65)【公開番号】P2023057015

(43)【公開日】2023-04-20

【審査請求日】2022-07-06

(31)【優先権主張番号】10-2021-0134357

(32)【優先日】2021-10-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】513217252

【氏名又は名称】株式会社ティーロボティクス

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】李壽鍾

(72)【発明者】

【氏名】崔恩載

(72)【発明者】

【氏名】金賢珠

(72)【発明者】

【氏名】金峻瑩

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－０３９０４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１０１９１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２１７２９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１２５６４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／１８９５６５（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板移送ロボットを移送チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、
移送チャンバの内部に設けられた昇降駆動軸を上下及び回転運動させる昇降部；
一方の第１先端領域が前記昇降駆動軸に結合された第１走行リンクアーム；
密閉された内部空間に第１駆動モータが設けられ、前記第１駆動モータに連動する第１走行駆動軸と、前記第１走行駆動軸に連動する第１走行出力軸とが一方の第２先端領域に封止されるように設けられ、前記第１駆動モータに連動する第２走行駆動軸と、前記第２走行駆動軸に連動する第２走行出力軸とが他方の第２先端領域に封止されるように設けられ、前記第１走行出力軸が前記第１走行リンクアームの他方の第１先端領域に結合された、第２走行リンクアーム；及び
密閉された内部空間に第２駆動モータが設けられ、前記第２駆動モータに連動する回転駆動軸と、前記回転駆動軸に連動する回転出力軸とが他方の第３先端領域に設けられ、一方の第３先端領域が前記第２走行リンクアームの前記第２走行出力軸に結合され、前記回転出力軸に基板移送ロボットが結合される、第３走行リンクアーム；
を含み、
前記基板移送ロボットは、
中央領域に前記第２走行リンクアームの前記回転駆動軸に対応する第１貫通孔が形成された第１係止部材により第１上部空間と第１下部空間とに区分され、前記第１上部空間が第１カバーにより封止された第１結合孔、一方の第４先端領域に第２貫通孔が形成された第２係止部材により第２上部空間と第２下部空間とに区分され、前記第２下部空間が第２カバーにより封止された第２結合孔、及び他方の第４先端領域に第３貫通孔が形成された第３係止部材により第３上部空間と第３下部空間とに区分され、前記第３下部空間が第３カバーにより封止された第３結合孔が形成され、前方（前記前方は、前記移送チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で前記工程チャンバが位置する方向である）領域にリンク結合のための第１ブレードと第２ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第１下部空間に引き入れられ、前記第１係止部材に固定結合された第３連結部材に前記回転出力軸が固定結合された、移送アームプラットフォーム；
密閉された内部空間に第３駆動モータと、前記第３駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機とが設けられ、前記第１減速機に連動する第１＿１移送駆動軸と、前記第１＿１移送駆動軸に連動する第１＿１移送出力軸とが一方の第５＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第３駆動モータに連動する第１＿２移送駆動軸と、前記第１＿２移送駆動軸に連動する第１＿２移送出力軸とが他方の第５＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２上部空間に引き入れられ、前記第２係止部材に固定結合された第４＿１連結部材に前記第１＿１移送出力軸が固定結合された、第１＿１移送リンクアーム；一方の第５＿２先端領域が前記第１＿１移送リンクアームの前記第１＿２移送出力軸に第１固定結合軸を通じて固定結合された第１＿２移送リンクアーム；前記第１固定結合軸に回転可能に結合される第１共通リンクアーム；前記第１＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第５＿３先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１ブレードに回転可能に結合され、他方の第５＿３先端領域が前記第１共通リンクアームの一方の第５＿４先端領域に回転可能に結合される、第１＿１補助リンクアーム；前記第１＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第５＿５先端領域が前記第１共通リンクアームの他方の第５＿４先端領域に回転可能に結合される、第１＿２補助リンクアーム；前記第１共通リンクアームに平行であり、一方の第５＿６先端領域が前記第１＿２補助リンクアームの他方の第５＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第５＿６先端領域が前記第１＿２移送リンクアームの他方の第５＿２先端領域に回転可能に結合される、第１＿３補助リンクアーム；及び前記第１＿３補助リンクアームの前記他方の第５＿６先端領域に固定され、前記基板を支持する、第１エンドエフェクタ；を含む第１移送アーム部；及び
密閉された内部空間に第４駆動モータと、前記第４駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ、前記第２減速機に連動する第２＿１移送駆動軸と、前記第２＿１移送駆動軸に連動する第２＿１移送出力軸とが一方の第６＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第４駆動モータに連動する第２＿２移送駆動軸と、前記第２＿２移送駆動軸に連動する第２＿２移送出力軸とが他方の第６＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第３上部空間に引き入れられ、前記第３係止部材に固定結合された第４＿２連結部材に前記第２＿１移送出力軸が固定結合された、第２＿１移送リンクアーム；一方の第６＿２先端領域が前記第２＿１移送リンクアームの前記第２＿２移送出力軸に第２固定結合軸を通じて固定結合された第２＿２移送リンクアーム；前記第２固定結合軸に回転可能に結合される第２共通リンクアーム；前記第２＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第６＿３先端領域が前記移送ア
ームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第２ブレードに回転可能に結合され、他方の第６＿３先端領域が前記第２共通リンクアームの一方の第６＿４先端領域に回転可能に結合される、第２＿１補助リンクアーム；前記第２＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第６＿５先端領域が前記第２共通リンクアームの他方の第６＿４先端領域に回転可能に結合される、第２＿２補助リンクアーム；前記第２共通リンクアームに平行であり、一方の第６＿６先端領域が前記第２＿２補助リンクアームの他方の第６＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第６＿６先端領域が前記第２＿２移送リンクアームの他方の第６＿２先端領域に回転可能に結合される、第２＿３補助リンクアーム；及び前記第２＿３補助リンクアームの前記他方の第６＿６先端領域に固定され、前記基板を支持する、第２エンドエフェクタ；を含む第２移送アーム部；
を含むことを特徴とする、走行ロボット。

【請求項2】

前記昇降部は、前記移送チャンバの内部を密閉する筐体の外側下部領域に位置し、上端が前記筐体の下部領域に形成された移送チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、前記昇降駆動軸を前記移送チャンバの貫通孔で上下運動させる、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項3】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、及び前記第２走行駆動軸の回転速度は１：２：２の速度比を有する、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項4】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、前記第２走行駆動軸、及び前記回転駆動軸の回転速度は１：２：２：１の速度比を有する、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項5】

前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第１走行リンクアームの前記一方の第１先端領域に結合され、
前記昇降出力軸、前記第１走行出力軸、及び前記第２走行出力軸の回転速度は１：２：２の速度比を有する、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項6】

前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第１走行リンクアームの前記一方の第１先端領域に結合され、
前記昇降出力軸、前記第１走行出力軸、前記第２走行出力軸、及び前記回転出力軸の回転速度は１：２：２：１の速度比を有する、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項7】

前記第１走行出力軸と前記他方の第１先端領域との結合は、一方の第１側端が前記第１走行出力軸に結合され、他方の第１側端が前記他方の第１先端領域に結合された、第１連結部材からなり、
前記第２走行出力軸と前記一方の第３先端領域との結合は、一方の第２側端が前記第２走行出力軸に結合され、他方の第２側端が前記一方の第３先端領域に結合された、第２連結部材からなる、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項8】

前記昇降駆動軸と前記第１走行駆動軸との間の距離、前記第１走行駆動軸と前記第２走行駆動軸との間の距離、及び前記第２走行駆動軸と前記回転駆動軸との間の距離は１：２：１の距離比を有する、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項9】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、前記第２走行駆動軸、及び前記回転駆動軸のそ
れぞれは、中空が形成され、前記中空を通じて前記第１駆動モータ、前記第２駆動モータ、及び前記基板移送ロボットの制御のための配線が前記第１走行リンクアーム、前記第２走行リンクアーム、及び前記第３走行リンクアームの内部に設けられるようにした、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項10】

前記第１エンドエフェクタがブラケットを通じて前記他方の第５＿６先端領域に固定されるか、前記第２エンドエフェクタが前記ブラケットを通じて前記他方の第６＿６先端領域に固定される、請求項１に記載の走行ロボット。

【請求項11】

前記移送アームプラットフォームは、前記第１上部空間及び前記第２下部空間を連結する第１配線孔と、前記第１上部空間及び前記第３下部空間を連結する第２配線孔とをさらに含む、請求項１に記載の走行ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、走行ロボット関し、より詳細には、基板処理装置内のチャンバで基板を移送する基板移送ロボットをチャンバ内で走行させるための走行ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

一般的に、半導体素子用ウエハ、表示装置用ガラス基板、または薄膜型太陽電池用ガラス基板などのような基板は、基板上に様々な工程を遂行して製造される。この際、基板は、それぞれの工程に必要な最適の条件を提供する基板処理装置にローディングされて処理される。

【0003】

最近、生産性を向上させるために基板を一括に処理することができるクラスタ（ｃｌｕｓｔｅｒ）型の基板処理装置が開発され、使用されている。

【0004】

クラスタ型の基板処理装置は、基板が格納されるロードロックチャンバ、基板を移送するための移送チャンバ、及びそれぞれの工程を遂行するための複数の工程チャンバを含む。

【0005】

そして、基板を移送する基板移送ロボットは、移送チャンバに設けられ、ロードロックチャンバから移送チャンバへの基板移送、移送チャンバからロードロックチャンバへの基板移送、移送チャンバ間の基板移送、または工程チャンバへの引き入れ及び引出しのための基板移送などを遂行することができる。

【0006】

最近では、限定された空間内で基板処理装置の設置面積を最小化して空間の効率性を向上させるために、韓国登録特許第１０－２２００５５０号におけるように、工程チャンバが移送チャンバの外周部にて等間隔に設けられた円形構造を、工程チャンバが移送チャンバの基板移送経路上の両側に設けられた四角構造に変更するなどの研究が進行されている。

【0007】

このような四角構造の基板処理装置では、工程チャンバにおける基板のローディング及びアンローディングのために移送チャンバにおける基板移送距離が増加する。

【0008】

し たがって、米国登録特許第５，９９３，１４２号にて示されている３節リンクを利用した基板移送ロボットを利用して四角構造の基板処理装置で基板の移送距離を増加させようとしている。

【0009】

しかし、従来の３節リンクを利用した基板移送ロボットは、ベース軸に設けられた単一モータを利用してそれぞれのリンクアームをプーリ連動させることで、直線運動を遂行することができるようにするものであり、基板を移送することができる最大距離が制限されるため、工程チャンバの設置距離が最大距離以上である場合には、一つの基板移送ロボットで基板を移送することができないという問題点が発生する。

【0010】

したがって、四角構造ではそれぞれの工程チャンバの設置位置に対応するために基板移送ロボットに対する位置移動が必然的に伴い得る。

【0011】

そのために、移送チャンバ内にレールなどの移送経路を設け、移送経路上で移送ロボットを走行させる方法などが提案されている。

【0012】

しかし、移送チャンバ内にレールなどの移送経路を設ける場合には、移送チャンバ内に移送経路を形成するための構造物を設けた後、構造物の上部に基板移送ロボットを設けなければならないため、基板移送ロボットの設置のための作業が困難なだけでなく、後に基板移送ロボットに対する維持補修のための作業においても困難となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0013】

【文献】韓国登録特許第１０－２２００２５０号

【文献】米国登録特許第５，９９３，１４２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0014】

本発明は、上述した問題点を全て解決することをその目的とする。

【0015】

本発明は、基板移送ロボットを移送チャンバ内で走行させるための走行ロボットを提供することを他の目的とする。

【0016】

本発明は、移送チャンバ内に基板移送ロボットを走行させるための走行ロボットを容易に設けることができるようにすることを他の目的とする。

【0017】

本発明は、移送チャンバ内に設けられた基板移送ロボットを走行させるための走行ロボットに対する維持補修を容易にできるようにすることを他の目的とする。

【0018】

本発明は、移送チャンバの真空状態を維持して基板移送ロボットを走行させる走行ロボットを提供することを他の目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0019】

前記のような本発明の目的を達成し、後述する本発明の特徴的な効果を実現するための、本発明の特徴的な構成は以下のとおりである。

【0020】

本発明の一実施例によると、基板移送ロボットを移送チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、移送チャンバの内部に設けられた昇降駆動軸を上下及び回転運動させる昇降部；一方の第１先端領域が前記昇降駆動軸に結合された第１走行リンクアーム；密閉された内部空間に第１駆動モータが設けられ、前記第１駆動モータに連動する第１走行駆動軸と、前記第１走行駆動軸に連動する第１走行出力軸とが一方の第２先端領域に封止されるように設けられ、前記第１駆動モータに連動する第２走行駆動軸と、前記第２走行駆動軸に連動する第２走行出力軸とが他方の第２先端領域に封止されるように設けられ、前記第１走行出力軸が前記第１走行リンクアームの他方の第１先端領域に結合された、第２走行リンクアーム；及び密閉された内部空間に第２駆動モータが設けられ、前記第２駆動モータに連動する回転駆動軸と、前記回転駆動軸に連動する回転出力軸とが他方の第３先端領域に設けられ、一方の第３先端領域が前記第２走行リンクアームの前記第２走行出力軸に結合され、前記回転出力軸に基板移送ロボットが結合される、第３走行リンクアーム；を含む走行ロボットが提供される。

【0021】

前記昇降部は、前記移送チャンバの内部を密閉する筐体の外側下部領域に位置し、上端が前記筐体の下部領域に形成された移送チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、前記昇降駆動軸を前記移送チャンバの貫通孔で上下運動させることができる。

【0022】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、及び前記第２走行駆動軸の回転速度は１：２：２の速度比を有することができる。

【0023】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、前記第２走行駆動軸、及び前記回転駆動軸の回転速度は１：２：２：１の速度比を有することができる。

【0024】

前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第１走行リンクアームの前記一方の第１先端領域に結合され、前記昇降出力軸、前記第１走行出力軸、及び前記第２走行出力軸の回転速度は１：２：２の速度比を有することができる。

【0025】

前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第１走行リンクアームの前記一方の第１先端領域に結合され、前記昇降出力軸、前記第１走行出力軸、前記第２走行出力軸、及び前記回転出力軸の回転速度は１：２：２：１の速度比を有することができる。

【0026】

前記第１走行出力軸と前記他方の第１先端領域との結合は、一方の第１側端が前記第１走行出力軸に結合され、他方の第１側端が前記他方の第１先端領域に結合された、第１連結部材からなり、前記第２走行出力軸と前記一方の第３先端領域との結合は、一方の第２側端が前記第２走行出力軸に結合され、他方の第２側端が前記一方の第３先端領域に結合された、第２連結部材からなり得る。

【0027】

前記昇降駆動軸と前記第１走行駆動軸との間の距離、前記第１走行駆動軸と前記第２走行駆動軸との間の距離、及び前記第２走行駆動軸と前記回転駆動軸との間の距離は１：２：１の距離比を有することができる。

【0028】

前記昇降駆動軸、前記第１走行駆動軸、前記第２走行駆動軸、及び前記回転駆動軸のそれぞれは、中空が形成され、前記中空を通じて前記第１駆動モータ、前記第２駆動モータ、及び前記基板移送ロボットの制御のための配線が前記第１走行リンクアーム、前記第２走行リンクアーム、及び前記第３走行リンクアームの内部に設けられ得る。

【0029】

前記基板移送ロボットは、中央領域に前記第２走行リンクアームの前記回転駆動軸に対応する第１貫通孔が形成された第１係止部材により第１上部空間と第１下部空間とに区分され、前記第１上部空間が第１カバーにより封止された第１結合孔、一方の第４先端領域に第２貫通孔が形成された第２係止部材により第２上部空間と第２下部空間とに区分され、前記第２下部空間が第２カバーにより封止された第２結合孔、及び他方の第４先端領域に第３貫通孔が形成された第３係止部材により第３上部空間と第３下部空間とに区分され、前記第３下部空間が第３カバーにより封止された第３結合孔が形成され、前方（前記前方は、前記移送チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で前記工程チャンバが位置する方向である）領域にリンク結合のための第１ブレードと第２ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第１下部空間に引き入れられ、前記第１係止部材に固定結合された第３連結部材に前記回転出力軸が固定結合された、移送アームプラットフォーム；密閉された内部空間に第３駆動モータと、前記第３駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機とが設けられ、前記第１減速機に連動する第１＿１移送駆動軸と、前記第１＿１移送駆動軸に連動する第１＿１移送出力軸とが一方の第５＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第３駆動モータに連動する第１＿２移送駆動軸と、前記第１＿２移送駆動軸に連動する第１＿２移送出力軸とが他方の第５＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第２上部空間に引き入れられ、前記第２係止部材に固定結合された第４＿１連結部材に前記第１＿１移送出力軸が固定結合された、第１＿１移送リンクアーム：一方の第５＿２先端領域が前記第１＿１移送リンクアームの前記第１＿２移送出力軸に第１固定結合軸を通じて固定結合された第１＿２移送リンクアーム：前記第１固定結合軸に回転可能に結合される第１共通リンクアーム：前記第１＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第５＿３先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第１ブレードに回転可能に結合され、他方の第５＿３先端領域が前記第１共通リンクアームの一方の第５＿４先端領域に回転可能に結合される、第１＿１補助リンクアーム：前記第１＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第５＿５先端領域が前記第１共通リンクアームの他方の第５＿４先端領域に回転可能に結合される、第１＿２補助リンクアーム：前記第１共通リンクアームに平行であり、一方の第５＿６先端領域が前記第１＿２補助リンクアームの他方の第５＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第５＿６先端領域が前記第１＿２移送リンクアームの他方の第５＿２先端領域に回転可能に結合される、第１＿３補助リンクアーム：及び前記第１＿３補助リンクアームの前記他方の第５＿６先端領域に固定され、前記基板を支持する、第１エンドエフェクタ；を含む第１移送アーム部；及び密閉された内部空間に第４駆動モータと、前記第４駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ、前記第２減速機に連動する第２＿１移送駆動軸と、前記第２＿１移送駆動軸に連動する第２＿１移送出力軸とが一方の第６＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記第４駆動モータに連動する第２＿２移送駆動軸と、前記第２＿２移送駆動軸に連動する第２＿２移送出力軸とが他方の第６＿１先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第３上部空間に引き入れられ、前記第３係止部材に固定結合された第４＿２連結部材に前記第２＿１移送出力軸が固定結合された、第２＿１移送リンクアーム：一方の第６＿２先端領域が前記第２＿１移送リンクアームの前記第２＿２移送出力軸に第２固定結合軸を通じて固定結合された第２＿２移送リンクアーム：前記第２固定結合軸に回転可能に結合される第２共通リンクアーム：前記第２＿１移送リンクアームに平行であり、一方の第６＿３先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第２ブレードに回転可能に結合され、他方の第６＿３先端領域が前記第２共通リンクアームの一方の第６＿４先端領域に回転可能に結合される、第２＿１補助リンクアーム：前記第２＿２移送リンクアームに平行であり、一方の第６＿５先端領域が前記第２共通リンクアームの他方の第６＿４先端領域に回転可能に結合される、第２＿２補助リンクアーム：前記第２共通リンクアームに平行であり、一方の第６＿６先端領域が前記第２＿２補助リンクアームの他方の第６＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第６＿６先端領域が前記第２＿２移送リンクアームの他方の第６＿２先端領域に回転可能に結合される、第２＿３補助リンクアーム：及び前記第２＿３補助リンクアームの前記他方の第６＿６先端領域に固定され、前記基板を支持する、第２エンドエフェクタ：を含む第２移送アーム部；を含むことができる。

【0030】

前記第１エンドエフェクタがブラケットを通じて前記他方の第５＿６先端領域に固定されるか、前記第２エンドエフェクタが前記ブラケットを通じて前記他方の第６＿６先端領域に固定され得る。

【0031】

前記移送アームプラットフォームは、前記第１上部空間及び前記第２下部空間を連結する第１配線孔と、前記第１上部空間及び前記第３下部空間を連結する第２配線孔とをさらに含むことができる。

【発明の効果】

【0032】

本発明は、走行ロボットを移送チャンバ内に設けて移送チャンバ内で基板を移送する基板移送ロボットを走行させることができる。

【0033】

また、本発明は、走行ロボットをリンクアーム構造に形成することによって、移送経路を生成するための別途の構造物を設けることなく、移送チャンバ内に走行ロボットを容易に設けることができる。

【0034】

また、本発明は、移送経路を生成するための別途の構造物を設けることなく、リンクアーム構造に形成された走行ロボットを設けることによって、走行ロボットの維持補修を容易にすることができる。

【0035】

また、本発明は、走行ロボットの駆動部を密閉構造に形成し、駆動部の動作のための配線を走行ロボットの内部に形成することによって、汚染源を未然に防止して移送チャンバの真空状態を維持することができる。

【0036】

本発明の実施例の説明に利用されるために添付された以下の各図面は、本発明の実施例のうち単に一部であるに過ぎず、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者（以下「通常の技術者」）にとっては、発明的作業が行われずにこれらの図面に基づいて他の各図面が得られ得る。

【図面の簡単な説明】

【0037】

【図1】図１は、本発明の一実施例において、走行ロボットが設けられたクラスタ型の基板処理装置の一例を示した図面である。

【図2a】図２ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットを簡略に示す図面である。

【図2b】図２ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットを簡略に示す図面である。

【図3】図３は、本発明の一実施例において、走行ロボットの断面を簡略に示す図面である。

【図4a】図４ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットを簡略に示す図面である。

【図4b】図４ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットを簡略に示す図面である。

【図5a】図５ａは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの移送アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図5b】図５ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの移送アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図5c】図５ｃは、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの移送アームプラットフォームを簡略に示す図面である。

【図6】図６は、本発明の一実施例において、走行ロボットに結合される基板移送ロボットの第１＿１移送リンクアーム（または第２＿１移送リンクアーム）を簡略に示す図面である。

【発明を実施するための形態】

【0038】

後述する本発明に対する詳細な説明は、本発明の目的、技術的解決法及び利点を明らかにするために本発明が実施され得る特定の実施例を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施例は、通常の技術者が本発明を実施することができるように十分詳細に説明される。

【0039】

後述する本発明に対する詳細な説明は、本発明が実施され得る特定の実施例を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施例は、当業者が本発明を実施することができるように十分詳細に説明される。本発明の多様な実施例は互いに異なるが、相互に排他的である必要はないことが理解されるべきである。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造及び特性は、一実施例に関連して本発明の精神及び範囲を逸脱せず、かつ他の実施例で具現され得る。

【0040】

また、それぞれの開示された実施例内の個別の構成要素の位置又は配置は、本発明の精神及び範囲を逸脱せず、かつ変更され得ることが理解されるべきである。したがって、後述の詳細な説明は、限定的な意味として受け取ろうとするものではなく、本発明の範囲は適切に説明されるのであれば、その請求項が主張することと均等な全ての範囲とともに添付された請求項によってのみ限定される。図面において類似の参照符号は、様々な側面にわたって同一であるか、類似する機能を指す。

【0041】

以下、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者が本発明を容易に実施し得るようにするために、本発明の好ましい実施例について、添付された図面を参照して詳細に説明することにする。

【0042】

図１は、本発明の一実施例において、走行ロボットが設けられたクラスタ型の基板処理装置を簡略に示す図面である。

【0043】

図１は、四角構造の移送チャンバＴＣの両側にそれぞれ５個の工程チャンバＰＣ１乃至ＰＣ１０が設けられ、基板を処理する基板処理装置に関し、走行ロボット１００は移送チャンバＴＣ内に設けられ、それぞれの工程チャンバの位置に対応するように基板移送ロボット２００を走行させる。

【0044】

一例として、走行ロボット１００は工程チャンバＰＣ１における基板位置Ｐ１に対応するために基板移送ロボット２００を走行させ、基板位置Ｐ１に位置するようにした状態で、基板移送ロボット２００を回転させて基板移送ロボット２００を工程チャンバＰＣ１に対面させることによって、基板移送ロボット２００が工程チャンバＰＣ１に基板をローディングするか、工程チャンバＰＣ１から基板をアンローディングすることができる。

【0045】

また、走行ロボット１００は、工程チャンバＰＣ１０における基板位置Ｐ５に対応するために基板移送ロボット２００を走行させ、基板位置Ｐ５に位置するようにした状態で、基板移送ロボット２００を回転させて基板移送ロボット２００を工程チャンバＰＣ１０に対面させることによって、基板移送ロボット２００が工程チャンバＰＣ１０に基板をローディングするか、工程チャンバＰＣ１０から基板をアンローディングすることができる。

【0046】

一方、図１では移送チャンバＴＣの一側に５個の工程チャンバＰＣ１乃至ＰＣ５またはＰＣ６乃至ＰＣ１０を設けた基板処理装置を例示として説明したものであり、本発明はこれに限定されるわけではなく、移送チャンバＴＣの両側に設けられる工程チャンバの個数は必要に応じて変更され得る。

【0047】

図２ａ及び図２ｂは、本発明の一実施例において、走行ロボット１００を簡略に示す図面である。

【0048】

図２ａ及び図２ｂを参照すると、走行ロボット１００は昇降部１１０、第１走行リンクアーム１２０、第２走行リンクアーム１３０、及び第３走行リンクアーム１４０を含むことができる。

【0049】

まず、昇降部１１０は移送チャンバの内部に設けられた昇降駆動軸を上下及び回転運動させることができる。

【0050】

この際、昇降部１１０は移送チャンバの内部を密閉する筐体の外側下部領域に位置し、上端が筐体の下部領域に形成された移送チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、昇降駆動軸を移送チャンバの貫通孔で上下運動させることができる。これによって走行ロボット１０００は基板移送ロボット２００の上下位置を調整することによって、基板移送ロボット２００を工程チャンバなどで基板をローディングまたはアンローディングするための適正の高さに位置させることができる。

【0051】

また、昇降部１１０は昇降駆動軸を上下運動させるだけでなく、昇降駆動軸を回転運動させる動作をさらに遂行することができる。これによって、走行ロボット１００は昇降部１１０の回転角度に応じて基板移送ロボット２００を様々な方向に走行させることができる。

【0052】

次に、第１走行リンクアーム１２０は一方の第１先端領域が昇降部１１０の昇降駆動軸に結合され、第２走行リンクアーム１３０は一方の第２先端領域が第１走行リンクアーム１２０の他方の第１先端領域に回転可能に結合され、第３走行リンクアーム１４０は一方の第３先端領域が第２走行リンクアーム１３０の他方の第２先端領域に回転可能に結合され、第３走行リンクアーム１４０の他方の第３先端領域には基板移送ロボット２００が結合され得る。

【0053】

これによって、走行ロボット１００は移送チャンバ内における特定の位置に固定された状態で、第１走行リンクアーム１２０、第２走行リンクアーム１３０、及び第３走行リンクアーム１４０の回転動作により第３走行リンクアーム１４０に結合された基板移送ロボット２００を移送チャンバ内の基板移送経路上で走行させ、基板移送ロボット２００を設定位置、即ち、基板をローディングまたはアンローディングするための工程チャンバなどに位置させ、昇降部１１０による上下運動により、基板移送ロボット２００の高さ方向の位置を調整することによって基板移送ロボット２００が工程チャンバなどで基板をローディングするか、基板をアンローディングすることができる。

【0054】

このような本発明の一実施例において、走行ロボット１００を図３を参照してより詳細に説明すると以下の通りである。

【0055】

昇降部１１０は上下運動及び回転運動をする昇降駆動軸１１３を含むことができる。

【0056】

また、昇降部１１０には昇降駆動軸１１３を上下運動させるための駆動力を生成する駆動モータ１１１と昇降駆動軸１１３を回転運動させるための駆動力を生成する駆動モータ１１２とが設けられ得る。

【0057】

そして、昇降部１１０の昇降駆動軸１１３には第１走行リンクアーム１２０の一方の第１先端領域が結合され得る。

【0058】

この際、昇降駆動軸１１３には昇降駆動軸１１３と連動する昇降出力軸１１４とが形成され得、昇降出力軸１１４が第１走行リンクアーム１２０の一方の第１先端領域に結合され得る。

【0059】

また、昇降出力軸１１４と第１走行リンクアーム１２０の一方の第１先端領域との結合のために、連結部材１１５が使用され得、連結部材１１５の一方の側端が昇降出力軸１１４に結合され、他方の側端が第１走行リンクアーム１２０の一方の第１先端領域に結合され得る。

【0060】

この際、昇降駆動軸１１３と第１走行リンクアーム１２０の一方の第１先端領域とを固定結合する場合、Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加して固定結合領域における密閉性能を向上させることができる。Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加する構成は以後に説明する他の結合部においても同一に適用され得るため、以下の説明ではこれに対する説明を省略する。

【0061】

これによって、昇降部１１０に第１走行リンクアーム１２０の結合を容易にできるだけでなく、維持補修のために移送チャンバ内で昇降部１１０から第１走行リンクアーム１２０を容易に脱去することが可能になる。

【0062】

次に、第２走行リンクアーム１３０は密閉された内部空間に第１駆動モータ１３１が設けられ、第１駆動モータ１３１に連動する第１走行駆動軸１３３と、第１走行駆動軸１３３に連動する第１走行出力軸１３４とが一方の第２先端領域に封止されるように設けられ、第１駆動モータ１３１に連動する第２走行駆動軸１３６と、第２走行駆動軸１３６に連動する第２走行出力軸１３７とが他方の第２先端領域に封止されるように設けられ得る。

【0063】

この際、第１駆動モータ１３１と第１走行駆動軸１３３との連動、第１駆動モータ１３１と第２走行駆動軸１３６との連動はそれぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。

【0064】

そして、第１走行駆動軸１３３と第２走行駆動軸１３６とは回転方向が互いに反対方向となり得る。また、第１走行駆動軸１３３及び第１走行出力軸１３４、第２走行駆動軸１３６及び第２走行出力軸１３７は、それぞれ減速機で構成され得、同一の減速機を互いに反対方向に設けたものであり得る。

【0065】

また、第１駆動モータ１３１と第１走行駆動軸１３３との間には第１駆動モータ１３１の出力軸の位置と第１走行駆動軸１３３の入力軸の位置とを補償するための駆動力位置変換部１３２が設けられ得る。この際、図３におけるように、第１駆動モータ１３１の出力軸の位置が下部に位置するものとは反対に、第１駆動モータ１３１の出力軸の位置が上部に位置する場合には、駆動力位置変換部１３２が第１駆動モータ１３１と第２走行駆動軸１３６との間に位置することができる。

【0066】

そして、第２走行リンクアーム１３０の第１走行出力軸１３４が第１走行リンクアーム１２０の他方の第１先端領域に結合され得る。

【0067】

この際、第１走行出力軸１３４と第１走行リンクアーム１２０の他方の第１先端領域との結合は第１連結部材１３５により行われ得、第１連結部材１３５の一方の側端を第１走行リンクアーム１２０の他方の第１先端領域に固定結合し、第１連結部材１３５の他方の側端を第１走行出力軸１３４に固定結合することができる。

【0068】

これによって、第１走行リンクアーム１２０の内部には駆動力の伝達のための別途の装置が不要になり、それに伴って第１走行リンクアーム１２０の厚さを減らすことができる。また、第１走行リンクアーム１２０の内部に別途の構成要素が設けられないため、第１走行リンクアーム１２０をバー（ｂａｒ）形状に構成することができ、それに伴って走行ロボット１００及び基板移送ロボットを支持する第１走行リンクアーム１２０の強度を大きくすることができる。

【0069】

次に、第３走行リンクアーム１４０は密閉された内部空間に第２駆動モータ１４１が設けられ、第２駆動モータ１４１に連動する回転駆動軸１４２と回転駆動軸１４２に連動する回転出力軸１４３とが他方の第３先端領域に設けられ得る。

【0070】

この際、第２駆動モータ１４１と回転駆動軸１４２との連動はプーリにより行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではない。

【0071】

また、回転駆動軸１４２と回転出力軸１４３とは減速機で構成され得る。

【0072】

そして、第３走行リンクアーム１４０の一方の第３先端領域は第２走行リンクアーム１３０の第２走行出力軸１３７に結合され得る。

【0073】

この際、第３走行リンクアーム１４０の一方の第３先端領域と第２走行出力軸１３７との間の結合は第２連結部材１３８により行われ得、第２連結部材１３８の一方の側端が第２走行出力軸１３７に固定結合され、第２連結部材１３８の他方の側端が第３走行リンクアーム１４０の一方の第３先端領域に固定結合され得る。

【0074】

そして、第３走行リンクアーム１４０の他方の第３先端領域に設けられた回転出力軸１４３には基板移送ロボットが結合され得る。

【0075】

この際、第３走行リンクアーム１４０の回転出力軸１４３と基板移送ロボットとの結合は連結部材１４４により行われ得、連結部材１４４の一方の側端が回転出力軸１４３に固定結合され、連結部材１４４の他方の側端が基板移送ロボットに固定結合され得る。

【0076】

このように本発明の一実施例において、走行ロボット１００は昇降駆動軸１１３、第１走行駆動軸１３３、及び第２走行駆動軸１３６の回転動作により第３走行リンクアーム１４０に結合された基板移送ロボットが移送チャンバ内の基板移送経路上で直線運動をするよう走行することによって、基板移送ロボットが基板を移送するようにすることができる。

【0077】

この際、昇降駆動軸１１３と第１走行駆動軸１３３との間の距離、第１走行駆動軸１３３と第２走行駆動軸１３６との間の距離、及び第２走行駆動軸１３６と回転駆動軸１４２との間の距離は１：２：１の距離比を有するように構成することによって、走行ロボット１００の走行距離を最大化することができる。そして、第２走行リンクアーム１３０の長さは移送チャンバの両側の間の距離に対応するようにすることができる。

【0078】

また、基板移送ロボットの直線運動のために、第１移送リンクアーム１２０の回転速度、第２移送リンクアーム１３０の回転速度、及び第３移送リンクアーム１４０の回転速度は１：２：２の速度比となるようにすることができる。

【0079】

即ち、昇降駆動軸１１３、第１走行駆動軸１３３、及び第２走行駆動軸１３６の回転速度が１：２：２の速度比を有するようにするか、昇降出力軸１１４、第１走行出力軸１３４、及び第２走行出力軸１３７の回転速度が１：２：２の速度比を有するようにすることができる。

【0080】

一方、走行ロボット１００により基板移送ロボットが走行する状態で基板移送ロボットの方向を同一に維持されるようにすることができ、そのために第２駆動モータ１４１による回転駆動軸１３２の回転速度を第１駆動モータ１３１と連動して調節することができる。

【0081】

即ち、昇降駆動軸１１３、第１走行駆動軸１３３、第２走行駆動軸１３６、及び回転駆動軸１４２の回転速度が１：２：２：１の速度比を有するようにするか、昇降出力軸１１４、第１走行出力軸１３４、第２走行出力軸１３７、及び回転出力軸１４３の回転速度が１：２：２：１の速度比を有するようにすることによって、基板移送ロボットの方向を同一に維持することができる。

【0082】

そして、走行ロボット１００により移送チャンバ内の設定位置に基板移送ロボットが位置した状態で、第２駆動モータ１４１による回転駆動軸１４２の回転により基板移送ロボットの方向が調整され、方向が調整された状態で基板移送ロボットは基板を移送することができる。

【0083】

また、本発明の一実施例による走行ロボット１００において、昇降駆動軸１１３、第１走行駆動軸１３３、第２走行駆動軸１３６、及び回転駆動軸１４２それぞれは、中空が形成され得、中空を通じて第１駆動モータ１３１、第２駆動モータ１４１、及び基板移送ロボットの制御のための配線が第１走行リンクアーム１２０、第２走行リンクアーム１３０、及び第３走行リンクアーム１４０の内部に設けられるようにすることができる。これによって、移送チャンバの気密性を向上させることができる。

【0084】

次に、本発明の一実施例による走行ロボット１００に対応する基板移送ロボット２００について説明すると次の通りである。

【0085】

図４ａ及び図４ｂを参照すると、基板移送ロボット２００は走行ロボットの第３走行リンクアームに結合される移送アームプラットフォーム２１０と、移送アームプラットフォーム２１０に結合された第１移送アーム部２２０と、第２移送アーム部２３０と、を含むことができ、第１移送アーム部２２０と第２移送アーム部２３０とのそれぞれには、基板を支持する第１エンドエフェクタ２２８と第２エンドエフェクタ２３８とが結合され得る。

【0086】

これによって、基板移送ロボット２００は走行ロボットの第１移送リンクアーム、第２移送リンクアーム、及び第３移送リンクアームの動作により移送チャンバ内で走行して特定の位置に位置するか、さらなる走行ロボットの昇降部の回転運動により特定の位置に位置し、走行ロボットの昇降部の上下運動により第１エンドエフェクタ２２８または第２エンドエフェクタ２３８が基板のローディングまたはアンローディング位置に位置した状態で、第１移送アーム部２２０または第２移送アーム部２３０の動作により第１エンドエフェクタ２２８または第２エンドエフェクタ２３８が基板をローディングまたはアンローディングすることができる。

【0087】

まず、移送アームプラットフォーム２１０は、図５ａ乃至図５ｃを参照すると、本体２１１の中央領域に形成された第１結合孔２１２、一方の第４先端領域に形成された第２結合孔２１３ａ、及び他方の第４先端領域に形成された第３結合孔２１３ｂを含むことができる。

【0088】

第１結合孔２１２は中央領域に移送ロボットの第３移送リンクアームの回転駆動軸に対応する第１貫通孔が形成された第１係止部材により第１上部空間２１２＿１と第１下部空間２１２＿２とに区分され、第１上部空間２１２＿１が第１カバー２１４により封止され得る。

【0089】

そして、第２結合孔２１３ａは本体２１１の一方の第４先端領域に第２貫通孔が形成された第２係止部材により第２上部空間２１３ａ＿１と第２下部空間２１３ａ＿２とに区分され、第２＿２下部空間２１３ａ＿２が第２カバー２１５ａにより封止され得る。

【0090】

また、第３結合孔２１３ｂは本体２１１の他方の第４先端領域に第３貫通孔が形成された第３係止部材により第３上部空間２１３ｂ＿１と第３下部空間２１３ｂ＿２とに区分され、第３下部空間２１３ｂ＿２が第３カバー２１５ｂにより封止され得る。

【0091】

そして、移送アームプラットフォーム２１０は前方領域にリンク結合のための第１ブレード２１８ａと第２ブレード２１８ｂとを含むリンク連結部材２１７が固定結合され得る。この際、前方は移送チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために基板移送ロボット２００が位置した状態で工程チャンバが位置する方向であり得る。

【0092】

そして、移送アームプラットフォーム２１０は走行ロボットに結合され得、具体的に、走行ロボットの第３走行リンクアームの回転出力軸または回転出力軸に結合された第３連結部材が第１結合孔２１２の第１下部空間２１２＿２に引き入れられるようにし、移送ロボットの第３移送リンクアームの回転出力軸が第１係止部材に固定結合されるようにすることができる。この際、回転出力軸を第１係止部材に固定結合する場合、Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加して固定結合領域における密閉性能を向上させることができる。Ｏリング、ガスケットなどの封止部材を追加する構成は以後に説明する他の結合部においても同一に適用することができるため、以下の説明ではこれに対する説明を省略する。

【0093】

この際、走行ロボットの第３走行リンクアームの回転駆動軸には中空が形成され得、回転駆動軸の中空を通じて引き入れられる配線を第１移送アーム部２２０と第２移送アーム部２３０とに引き入れるための配線孔が移送アームプラットフォーム２１０に形成され得る。

【0094】

即ち、移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の一側面にて第１上部空間２１２＿１をそれぞれ連結する第１＿１配線孔Ｈ１１と第１＿２配線孔Ｈ２１とが形成され、移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の一側面にて第２下部空間２１３ａ＿２を連結する第２＿１配線孔Ｈ１２と移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の一側面にて第３下部空間２１３ｂ＿２を連結する第２＿２配線孔Ｈ２２とが形成され得る。

【0095】

そして、配線孔に対する封止のために、第１＿１配線孔Ｈ１１と第２＿１配線孔Ｈ１２とを移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の一側面にて封止する第１封止カバー２１６ａと、第１＿２配線孔Ｈ２１と第２＿２配線孔Ｈ２２とを移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の一側面にて封止する第２封止カバー２１６ｂと、が設けられ得る。

【0096】

また、走行ロボットの回転駆動軸を通じて引き入れられる配線を第１移送アーム部２２０と第２移送アーム部２３０とに引き入れるための配線孔を移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の内部に形成することができる。

【0097】

即ち、移送アームプラットフォーム２１０の本体２１１の内部で、第１上部空間２１２＿１と第２下部空間２１３ａ＿２とを連結する第３配線孔Ｈ３と、第１上部空間２１２＿１と第３下部空間２１３ｂ＿２とを連結する第４配線孔Ｈ４と、を形成して別途の封止部材なしで移送アームプラットフォーム２１０の内部で密閉が行われるようにすることができる。

【0098】

次に、移送アームプラットフォーム２１０の第２結合孔２１３ａには第１移送アーム部２２０の第１＿１移送リンクアーム２２１が結合され、移送アームプラットフォーム２１０の第３結合孔２１３ｂには第２移送アーム部２３０の第２＿１移送リンクアーム２３１が結合され得る。

【0099】

この際、図６を参照すると、第１移送アーム部２２０の第１＿１移送リンクアーム２２１は密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に第３駆動モータ２２１＿１と、第３駆動モータ２２１＿１に連動して回転速度を１／２に減速する第１減速機２２１＿２とが設けられ得る。

【0100】

また、第１＿１移送リンクアーム２２１の一方の第５＿１先端領域には第１減速機２２１＿２に連動する中空が形成された第１＿１移送駆動軸２２１＿３と、第１＿１移送駆動軸２２１＿３に連動する第１＿１移送出力軸２２１＿４とが封止されるように設けられ得、第１＿１移送リンクアーム２２１の他方の第５＿１先端領域には第３駆動モータ２２１＿１に連動する中空が形成された第１＿２移送駆動軸２２１＿６と、第１＿２移送駆動軸２２１＿６に連動する第１＿２移送出力軸２２１＿７とが封止されるように設けられ得る。この際、第３駆動モータ２２１＿１と第１減速機２２１＿２との間の連動、第１減速機２２１＿２と第１＿１移送駆動軸２２１＿３との間の連動、及び第３駆動モータ２２１＿１と第１＿２移送駆動軸２２１＿６との間の連動はそれぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明はこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第１＿１移送駆動軸２２１＿３及び第１＿１移送出力軸２２１＿４、第１＿２移送駆動軸２２１＿６及び第１＿２移送出力軸２２１＿７は、それぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。これに加えて、第１＿１移送出力軸２２１＿４と第１＿２移送出力軸２２１＿７とは回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0101】

そして、第１移送アーム部２２０の第１＿１走行リンクアーム２２１の一方の第５＿１先端領域に設けられた第１＿１移送出力軸２２１＿４が移送アームプラットフォーム２１０の第２結合孔２１３ａの第２上部空間２１３ａ＿１に引き入れられ、第２係止部材に固定結合され得る。

【0102】

この際、第１＿１移送出力軸２２１＿４と第２係止部材との結合のために第４＿１連結部材２２１＿５が利用され得、第４＿１連結部材２２１＿５は移送アームプラットフォーム２１０と第１＿１移送リンクアーム２２１とが結合される位置で第１＿１移送出力軸２２１＿４と第２係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第４＿１連結部材２２１＿５の両方の終端がそれぞれ第１＿１移送出力軸２２１＿４と第２係止部材とに固定結合され得る。

【0103】

そして、第１移送アーム部２２０の第１＿１移送リンクアーム２２１の第１＿２移送出力軸２２１＿７には第１＿２移送リンクアーム２２２の一方の第５＿２先端領域が固定結合され得る。

【0104】

この際、第１＿２移送出力軸２２１＿７と一方の第５＿２先端領域との結合のために第１固定結合軸が利用され得、第１固定結合軸は第１＿１移送リンクアーム２２１と第１＿２移送リンクアーム２２２とが結合される位置で第１＿２移送出力軸２２１＿７と一方の第５＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第１固定結合軸の両方の終端がそれぞれ第１＿２移送出力軸２２１＿７と一方の第５＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。

【0105】

そして、第１＿２移送出力軸２２１＿７と一方の第５＿２先端領域との結合領域に第１共通リンクアーム２２５が設けられ得る。

【0106】

即ち、第１共通リンクアーム２２５は第１＿２移送出力軸２２１＿７と一方の第５＿２先端領域とを結合する第１固定結合軸に中央領域が回転可能に結合され得る。

【0107】

そして、第１移送アーム部２２０は第１＿１補助リンクアーム２２３を含むことができ、第１＿１補助リンクアーム２２３は第１＿１移送リンクアーム２２１に平行であり、一方の第５＿３先端領域が移送アームプラットフォーム２１０のリンク連結部材２１７の第１ブレード２１８ａに回転可能に結合され、他方の第５＿３先端領域が第１共通リンクアーム２２５の一方の第５＿４先端領域に回転可能に結合され得る。

【0108】

また、第１移送アーム部２２０は第１＿２補助リンクアーム２２６を含むことができ、第１＿２補助リンクアーム２２６は第１＿２移送リンクアーム２２２に平行であり、一方の第５＿５先端領域が第１共通リンクアーム２２５の他方の第５＿４先端領域に回転可能に結合され得る。

【0109】

そして、第１移送アーム部２２０は第１＿３補助リンクアーム２２７を含むことができ、第１＿３補助リンクアーム２２７は第１共通リンクアーム２２５に平行であり、一方の第５＿６先端領域が第１＿２補助リンクアーム２２６の他方の第５＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第５＿６先端領域が第１＿２移送リンクアーム２２２の他方の第５＿２先端領域に回転可能に結合され得る。

【0110】

また、第１移送アーム部２２０は第１エンドエフェクタ２２８を含むことができ、第１エンドエフェクタ２２８は第１＿３補助リンクアーム２２７の他方の第５＿６先端領域に固定されて基板を支持することができる。

【0111】

このように構成された第１移送アーム部２２０は第３駆動モータ２２１＿１の動作によってそれぞれの移送リンクアームと補助リンクアームとにより第１エンドエフェクタ２２８が直線上で前進及び後進することができるようにし、それに伴って第１エンドエフェクタ２２８を通じて設定された位置で基板をローディングするか、アンローディングすることができる。

【0112】

一方、第２移送アーム部２３０は第１移送アーム部２２０と同様に構成され得、移送アームプラットフォーム２１０の中央領域を中心に互いに対称となるように移送アームプラットフォーム２１０に設けられ得る。

【0113】

即ち、第２移送アーム部２２０の第２＿１移送リンクアーム２３１は密閉された内部空間を有し、密閉された内部空間に第４駆動モータと、第４駆動モータに連動して回転速度を１／２に減速する第２減速機とが設けられ得る。

【0114】

また、第１＿１移送リンクアーム２３１の一方の第６＿１先端領域には第２減速機に連動する中空が形成された第２＿１移送駆動軸と、第２＿１移送駆動軸に連動する第２＿１移送出力軸とが封止されるように設けられ得、第２＿１移送リンクアーム２３１の他方の第６＿１先端領域には第４駆動モータに連動する中空が形成された第２＿２移送駆動軸と、第２＿２移送駆動軸に連動する第２＿２移送出力軸とが封止されるように設けられ得る。この際、第４駆動モータと第２減速機との間の連動、第２減速機と第２＿１移送駆動軸との間の連動、及び第４駆動モータと第２＿２移送駆動軸との間の連動はそれぞれプーリ方式により行われ得るが、本発明がこれに限定されるわけではなく、ギヤ方式など回転力の伝達のための様々な方式が利用され得る。また、第２＿１移送駆動軸及び第２＿１移送出力軸、並びに第２＿２移送駆動軸及び第２＿２移送出力軸はそれぞれ同一の減速比を有する減速機で形成することができる。これに加えて、第２＿１移送出力軸と第２＿２移送出力軸とは回転方向が互いに反対方向となり得る。

【0115】

そして、第２移送アーム部２３０の第２＿１走行リンクアーム２３１の一方の第６＿１先端領域に設けられた第２＿１移送出力軸が移送アームプラットフォーム２１０の第３結合孔２１３ｂの第２上部空間２１３ｂ＿１に引き入れられ、第３係止部材に固定結合され得る。

【0116】

この際、第２＿１移送出力軸と第３係止部材との結合のために第５＿１連結部材が利用され得、第５＿１連結部材は移送アームプラットフォーム２１０と第２＿１移送リンクアーム２３１とが結合される位置で第２＿１移送出力軸と第３係止部材との間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第５＿１連結部材の両方の終端がそれぞれ第２＿１移送出力軸と第３係止部材とに固定結合され得る。

【0117】

そして、第２移送アーム部２３０の第２＿１移送リンクアーム２３１の第２＿２移送出力軸には第２＿２移送リンクアーム２３２の一方の第６＿２先端領域が固定結合され得る。

【0118】

この際、第２＿２移送出力軸と一方の第６＿２先端領域との結合のために第２固定結合軸が利用され得、第２固定結合軸は第２＿１移送リンクアーム２３１と第２＿２移送リンクアーム２３２とが結合される位置で第２＿２移送出力軸と一方の第６＿２先端領域との結合領域の間の距離だけ延長された長さを有するチューブ状のシャフトであり、第２固定結合軸の両方の終端がそれぞれ第２＿２移送出力軸と一方の第６＿２先端領域との結合領域に固定結合され得る。

【0119】

そして、第２＿２移送出力軸と一方の第６＿２先端領域との結合領域に第２共通リンクアーム２３５が設けられ得る。

【0120】

即ち、第２共通リンクアーム２３５は第２＿２移送出力軸と一方の第６＿２先端領域とを結合する第２固定結合軸に中央領域が回転可能に結合され得る。

【0121】

そして、第２移送アーム部２３０は第２＿１補助リンクアーム２３３を含むことができ、第２＿１補助リンクアーム２３３は第２＿１移送リンクアーム２３１に平行であり、一方の第６＿３先端領域が移送アームプラットフォーム２１０のリンク連結部材２１７の第２ブレード２１８ｂに回転可能に結合され、他方の第６＿３先端領域が第２共通リンクアーム２３５の一方の第６＿４先端領域に回転可能に結合され得る。

【0122】

また、第２移送アーム部２３０は第２＿２補助リンクアーム２３６を含むことができ、第２＿２補助リンクアーム２３６は第２＿２移送リンクアーム２３２に平行であり、一方の第６＿５先端領域が第２共通リンクアーム２３５の他方の第６＿４先端領域に回転可能に結合され得る。

【0123】

そして、第２移送アーム部２３０は第２＿３補助リンクアーム２３７を含むことができ、第２＿３補助リンクアーム２３７は第２共通リンクアーム２３５に平行であり、一方の第６＿６先端領域が第２＿２補助リンクアーム２３６の他方の第６＿５先端領域に回転可能に結合され、他方の第６＿６先端領域が第２＿２移送リンクアーム２３２の他方の第６＿２先端領域に回転可能に結合され得る。

【0124】

また、第２移送アーム部２３０は第２エンドエフェクタ２３８を含むことができ、第２エンドエフェクタ２３８は第２＿３補助リンクアーム２３７の他方の第６＿６先端領域に固定されて基板を支持することができる。

【0125】

このように構成された第２移送アーム部２３０は第４駆動モータの動作によってそれぞれの移送リンクアームと補助リンクアームとにより第２エンドエフェクタ２３８が直線上で前進及び後進することができるようにし、それに伴って第２エンドエフェクタ２３８を通じて設定された位置で基板をローディングするか、アンローディングすることができる。

【0126】

一方、第１移送アーム部２２０の第１エンドエフェクタ２２８は第１＿３補助リンクアームの他方の第５＿６先端領域に固定されるように結合する一方、第２移送アーム部２３０の第２エンドエフェクタ２３８は第２＿３補助リンクアームの他方の第６＿６先端領域に固定されるように結合し、第１エンドエフェクタ２２８との高さを異なるようにするためにブラケットを通じて結合されるようにする。ここで、ブラケットは「コ」型に構成され得るが、これに限定されるわけではない。

【0127】

したがって、第１移送アーム部２２０の第１エンドエフェクタ２２８と第２移送アーム部２３０の第２エンドエフェクタ２３８とはブラケットの上部面と下部面との間の距離だけ互いに異なる高さで基板を支持することができる。

【0128】

また、第１移送アーム部２２０と第２移送アーム部２３０との動作による基板の移送の際、第１エンドエフェクタ２２８または第１エンドエフェクタ２２８に支持された基板は第２移送アーム部２３０のブラケットの上部面と下部面との間を通じて移動され、第１エンドエフェクタ２２８と第２エンドエフェクタ２３８との間の接触を防止することができる。

【0129】

しかし、本発明がこれに限定されるわけではなく、ブラケットの設置位置を変更して第１エンドエフェクタ２２８と第２エンドエフェクタ２３８との高さが互いに反対となるようにするか、ブラケット以外の様々な機械的構成を通じて第１エンドエフェクタ２２８と第２エンドエフェクタ２３８との高さが互いに相違するようにすることができる。

【0130】

前記では走行ロボット１００に支持される基板移送ロボット２００の特徴的な構成について説明したが、本発明が上記で説明した基板移送ロボットに限定されるわけではなく、移送チャンバ内で基板を移送することができる全ての種類の基板移送ロボットを走行ロボットに結合し、走行ロボットによる移送チャンバ内における基板移送ロボットの走行及び、基板移送ロボットによる移送チャンバ内における基板移送を遂行することができる。

【0131】

また、前記では基板を移送することを説明したが、基板に工程を進行するために必要なマスクを移送することも同一に適用され得る。

【0132】

以上にて本発明が具体的な構成要素などのような特定事項と限定された実施例及び図面によって説明されたが、これは、本発明のより全般的な理解の一助とするために提供されたものであるに過ぎず、本発明が前記実施例に限られるものではなく、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、かかる記載から多様な修正及び変形が行われ得る。

【0133】

したがって、本発明の思想は、前記説明された実施例に局限されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、本特許請求の範囲と均等または等価的に変形されたものすべては、本発明の思想の範囲に属するといえる。

【符号の説明】

【0134】

１００：走行ロボット
１１０：昇降部
１２０：第１走行リンクアーム
１３０：第２走行リンクアーム
１４０：第３走行リンクアーム
２００：基板移送ロボット

【図1】

【図2a】

【図2b】

【図3】

【図4a】

【図4b】

【図5a】

【図5b】

【図5c】

【図6】