特許 7462503 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-28

(45)【発行日】2024-04-05

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20240329BHJP

   G03F 7/16 20060101ALI20240329BHJP

【ＦＩ】

H01L21/30 564C

G03F7/16 502

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2020125318

(22)【出願日】2020-07-22

(65)【公開番号】P2021040128

(43)【公開日】2021-03-11

【審査請求日】2023-06-20

(31)【優先権主張番号】P 2019158580

(32)【優先日】2019-08-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】松近 啓司

(72)【発明者】

【氏名】松 泰司

(72)【発明者】

【氏名】俵谷 佳典

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 優史

(72)【発明者】

【氏名】西山 耕二

(72)【発明者】

【氏名】村井 征爾

(72)【発明者】

【氏名】福本 靖博

【審査官】菅原 拓路

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－１８４６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０４６８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４５５６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０８０１５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ ７／１６

７／３０

Ｂ０５Ｃ １１／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を保持するスピンチャックと、
前記スピンチャックの下面に設けられ、前記スピンチャックと共に鉛直軸周りに回転することが可能な回転シャフトと、
前記回転シャフトの周囲に配置される円筒状の内カップと、
前記スピンチャックで保持された基板および前記内カップを収容する外カップであって、前記内カップの下端から離れて配置される中空円板状の底部、前記底部の外縁部から上方に延びて前記内カップの周囲に配置される円筒状の外周壁、および前記底部の内縁部から上方に延びて前記内カップの内側に配置される円筒状の仕切り壁を有する前記外カップと、
前記外カップの前記外周壁と前記内カップとの隙間である外排気路と、
前記外排気路に連通する、前記内カップの下端と前記外カップの前記底部との隙間である底排気路と、
前記底排気路に連通する、前記内カップと前記外カップの前記仕切り壁との隙間である内排気路と、
前記外排気路、前記底排気路および前記内排気路を、前記外カップの前記仕切り壁の内周側から排気する排気部と、
複数の孔部が形成されたトラップリングと、を備え、
前記トラップリングは、前記内カップの下端に配置されて、前記外カップの前記外周壁から前記仕切り壁までの幅と略同じリング幅を有していることを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

請求項１に記載の塗布装置において、
前記外カップの前記外周壁と前記内カップとの間に、前記スピンチャック側から溶剤を供給する溶剤供給部と、
前記外カップの底部から溶剤を排出するための液排出部と、
を更に備えていることを特徴とする塗布装置。

【請求項3】

請求項２に記載の塗布装置において、
前記トラップリングは、前記内カップの下端との間に隙間を有して配置されており、
前記トラップリングは、内周側が低くなるように傾斜していることを特徴とする塗布装置。

【請求項4】

請求項２または３に記載の塗布装置において、
前記内カップは、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材と、前記上整流部材の外縁部に接続する円筒状の下整流部材とを有し、
前記外カップは、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部を有し、
前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記上整流部材上に案内することを特徴とする塗布装置。

【請求項5】

請求項２または３に記載の塗布装置において、
前記内カップは、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材と、前記上整流部材の外縁部に接続する円筒状の下整流部材とを有し、
前記外カップは、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部を有し、
前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記下整流部材の外壁に案内することを特徴とする塗布装置。

【請求項6】

請求項４または５に記載の塗布装置において、
前記ガイド突起部は、前記溶剤が集まる先端と、前記先端から各々延びる２つの面とを有し、
前記先端は、前記２つの面の最低位置となるように配置されることを特徴とする塗布装置。

【請求項7】

請求項２または３に記載の塗布装置において、
前記外カップの外周壁の内壁に設けられ、前記溶剤供給部から供給された溶剤を前記トラップリングにガイドするためのリング状の溶剤ガイド部材を更に備えていることを特徴とする塗布装置。

【請求項8】

請求項１から７のいずれかに記載の塗布装置において、
前記トラップリングは、前記外周壁との間および前記仕切り壁との間に隙間を有して配置されていることを特徴とする塗布装置。

【請求項9】

請求項１から８のいずれかに記載の塗布装置において、
前記トラップリングは、前記外カップまたは前記内カップに引っ掛けて、前記トラップリングを吊り下げるためのフックを更に備えていることを特徴とする塗布装置。

【請求項10】

請求項９に記載の塗布装置において、
前記フックは、前記外カップの前記仕切り壁の上端に引っ掛けるためのフックであることを特徴とする塗布装置。

【請求項11】

請求項１から１０のいずれかに記載の塗布装置において、
前記トラップリングは、前記外カップの前記外周壁と前記仕切り壁との間における前記底部に前記トラップリングを立たせるため、複数の脚部を備えていることを特徴とする塗布装置。

【請求項12】

請求項１１に記載の塗布装置において、
前記トラップリングは、前記トラップリングを持ち上げるための取っ手部を更に備えていることを特徴とする塗布装置。

【請求項13】

請求項１から１２のいずれかに記載の塗布装置において、
前記内カップは、円筒状の下整流部材を有し、
前記下整流部材は、前記前記仕切り壁と前記外周壁の中間よりも外周側に位置することを特徴とする塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の表面に塗布液を塗布する塗布装置に関する。基板は、例えば、半導体基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが挙げられる。ＦＰＤは、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などが挙げられる。

【背景技術】

【0002】

従来の塗布装置は、基板上に塗布液を供給し、基板を回転させることにより、基板上に塗布液を塗布している。このとき、余分な塗布液は、遠心力によって基板外に飛散される。基板外に飛散された塗布液は、飛散防止カップ（以下、「カップ」と呼ぶ）によって回収される（例えば、特許文献１～３参照）。

【0003】

なお、特許文献１には、カップ内の雰囲気を外部排気する排気通路内であって、かつ、排気口近傍に、カップ内の雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するミストトラップが開示されている。

【0004】

特許文献２には、浮遊する糸状の塗布液を捕捉するトラップ部材が開示されている。トラップ部材は、多数の孔部を有する。トラップ部材は、上下方向の排気通路を下側から遮るように配置される。トラップ部材は、整流部材にスペーサを介してねじで取り付けられる。トラップ部材が整流部材の外径よりも少し大きく形成されているので、トラップ部材の上面に洗浄液を滴下することができ、トラップ部材の孔部に付着した塗布液が洗浄液により洗浄、除去される。

【0005】

特許文献３には、糸状の塗布液を捕集する塗布液捕集部材が開示されている。塗布液捕集部材は、多数の開口部を有し、また、溶剤を貯留することができるように構成されている。糸状の塗布液は、塗布液捕集部材に貯留される溶剤に接触し、溶解される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２００３－０８０１５９号公報

【文献】特開２０１６－１８４６４４号公報

【文献】特開２０１９－０４６８３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、従来装置は次の問題を有する。基板の回転によって余分な処理液を飛散させると、塗布液ミストが発生する。塗布液ミストは、排気通路の内壁に付着して排気通路を閉塞してしまう可能性がある。ミストトラップを設けて、塗布液ミストを捕集（捕捉）することができる。しかし、従来のミストトラップでは、トラップ効果が不十分である可能性がある。また、図１５に示すように、内カップ１２１の下端で塗布液がつらら状になり（符号ＩＣ）、排気通路を閉塞してしまう可能性がある。

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を防止しつつ、処理液ミストの捕集効率を向上させることができる塗布装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、本発明に係る塗布装置は、基板を保持するスピンチャックと、前記スピンチャックの下面に設けられ、前記スピンチャックと共に鉛直軸周りに回転することが可能な回転シャフトと、前記回転シャフトの周囲に配置される円筒状の内カップと、前記スピンチャックで保持された基板および前記内カップを収容する外カップであって、前記内カップの下端から離れて配置される中空円板状の底部、前記底部の外縁部から上方に延びて前記内カップの周囲に配置される円筒状の外周壁、および前記底部の内縁部から上方に延びて前記内カップの内側に配置される円筒状の仕切り壁を有する前記外カップと、前記外カップの前記外周壁と前記内カップとの隙間である外排気路と、前記外排気路に連通する、前記内カップの下端と前記外カップの前記底部との隙間である底排気路と、前記底排気路に連通する、前記内カップと前記外カップの前記仕切り壁との隙間である内排気路と、前記外排気路、前記底排気路および前記内排気路を、前記外カップの前記仕切り壁の内周側から排気する排気部と、複数の孔部が形成されたトラップリングと、を備え、トラップリングは、前記内カップの下端に配置されて、前記外カップの前記外周壁から前記仕切り壁までの幅と略同じリング幅を有していることを特徴とするものである。

【0010】

本発明に係る塗布装置によれば、複数の孔部が形成されたトラップリングは、内カップの下端に配置されており、外カップの外周壁から仕切り壁までの幅と略同じリング幅を有している。内カップから垂れ落ちる塗布液の一部は、トラップリングによって遮られるので、つらら状の塗布液による底排気路の閉塞を防止することができる。また、外排気路から底排気路に気体が向かうときに、トラップリングは、塗布液ミストを捕集することができる。さらに、底排気路から内排気路に気体が向かうときに、トラップリングは、残留する塗布液ミストを更に捕集することができる。すなわち、このような構成により、排気する気体をトラップリングに２回、通過させることができる。そのため、処理液ミストの捕集効率を向上させることができる。

【0011】

また、上述の塗布装置において、前記外カップの前記外周壁と前記内カップとの間に、前記スピンチャック側から溶剤を供給する溶剤供給部と、前記外カップの底部から溶剤を排出するための液排出部と、を更に備えていることが好ましい。溶剤供給部による溶剤の供給によって、例えば外周壁、内カップおよびトラップリングを洗浄することができる。

【0012】

また、上述の塗布装置において、前記トラップリングは、前記内カップの下端との間に隙間を有して配置されており、前記トラップリングは、内周側が低くなるように傾斜していることが好ましい。これにより、トラップリングの外周から内周にかけて溶剤を流すことができる。例えば、トラップリングの外周側が低くなるように傾斜している場合、トラップリングの外周側に溶剤が流れるが、内周側に溶剤を流すことができなくなる。

【0013】

また、上述の塗布装置において、前記内カップは、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材と、前記上整流部材の外縁部に接続する円筒状の下整流部材とを有し、前記外カップは、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部を有し、前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記上整流部材上に案内することが好ましい。上整流部材上に案内された溶剤は、上整流部材の外縁部に接続する下整流部材に流れる。そのため、下整流部材の上流側から溶剤を流すことができる。そのため、下整流部材の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。

【0014】

また、上述の塗布装置において、前記内カップは、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材と、前記上整流部材の外縁部に接続する円筒状の下整流部材とを有し、前記外カップは、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部を有し、前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記下整流部材の外壁に案内することが好ましい。これにより、下整流部材の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。

【0015】

また、上述の塗布装置において、前記ガイド突起部は、前記溶剤が集まる先端と、前記先端から各々延びる２つの面とを有し、前記先端は、前記２つの面の最低位置となるように配置されることが好ましい。先端が２つの面の最低位置となるように配置されるので、溶剤を先端に集めることができると共に、先端から一方の面を伝って溶剤が流れてしまうことを防止することができる。そのため、先端に集まった溶剤を先端から効果的に滴下させることができる。

【0016】

また、上述の塗布装置において、前記外カップの外周壁の内壁に設けられ、前記溶剤供給部から供給された溶剤を前記トラップリングにガイドするためのリング状の溶剤ガイド部材を更に備えていることが好ましい。これにより、トラップリングに溶剤を供給することを容易にすることができる。

【0017】

また、上述の塗布装置において、前記トラップリングは、前記外周壁との間および前記仕切り壁との間に隙間を有して配置されていることが好ましい。隙間を設けることで、外カップに変形が生じたとしても、トラップリングの取り付けが困難になることを防止できる。また、外周壁近傍および仕切り壁近傍の排気路を塞ぐことを避けられるので、排気性能が低下することを防止できる。さらに、トラップリングが、外周壁および仕切り壁の少なくとも一方と、付着した塗布液（例えばレジスト）によって固着することを抑制でき、その結果、トラップリングの取り外しが困難になり、メンテナンス性が低下することを防止できる。

【0018】

また、上述の塗布装置において、前記トラップリングは、前記外カップまたは前記内カップに引っ掛けて、前記トラップリングを吊り下げるためのフックを更に備えていることが好ましい。例えば、ねじでトラップリングを固定すると、ねじを覆った塗布液が固化したときに、トラップリングの取り外しが難しくなる。本発明によれば、トラップリングをフックで吊り下げているだけなので、トラップリングの取り付けおよび取り外しが容易である。

【0019】

また、上述の塗布装置において、前記フックは、前記外カップの前記仕切り壁の上端に引っ掛けるためのフックであることが好ましい。これにより、新たにフックを引っ掛ける部分を設けなくてもよい効果がある。

【0020】

また、上述の塗布装置において、前記トラップリングは、前記外カップの前記外周壁と前記仕切り壁との間における前記底部に前記トラップリングを立たせるため、複数の脚部を備えていることが好ましい。例えば、ねじでトラップリングを固定すると、ねじを覆った塗布液が固化したときに、トラップリングの取り外しが難しくなる。本発明によれば、トラップリングに設けられた複数の脚部でトラップリングを配置しているだけなので、トラップリングの取り付けおよび取り外しを容易にすることができる。

【0021】

また、上述の塗布装置において、前記トラップリングは、前記トラップリングを持ち上げるための取っ手部を更に備えていることが好ましい。これにより、外カップの外周壁と仕切り壁の間に、はまり込んだトラップリングの取り出しおよび取り付けを容易にすることができる。

【0022】

また、上述の塗布装置において、前記内カップは、円筒状の下整流部材を有し、前記下整流部材は、前記前記仕切り壁と前記外周壁の中間よりも外周側に位置することが好ましい。これにより、下整流部材と外周壁の隙間に流れる風速を高めることができるため、塗布液ミストを含む排気をトラップリングにより強くぶつけることができる。その結果、塗布液ミストの捕集効率を高めることができる。

【0023】

なお、本明細書は、次のような塗布装置に係る発明も開示している。

【0024】

（１）塗布装置は、基板を保持するスピンチャックと、前記スピンチャックの下面に設けられ、前記スピンチャックと共に鉛直軸周りに回転することが可能な回転シャフトと、
前記回転シャフトの周囲に配置される円筒状の内カップと、前記スピンチャックで保持された基板および前記内カップを収容する外カップとを備えている。前記外カップは、前記内カップの下端から離れて配置される中空円板状の底部、前記底部の外縁部から上方に延びて前記内カップの周囲に配置される円筒状の外周壁、および前記底部の内縁部から上方に延びて前記内カップの内側に配置される円筒状の仕切り壁を有する。塗布装置は、前記外カップの前記外周壁と前記内カップとの隙間である外排気路と、前記外排気路に連通する、前記内カップの下端と前記外カップの前記底部との隙間である底排気路と、前記底排気路に連通する、前記内カップと前記外カップの前記仕切り壁との隙間である内排気路と、前記外排気路、前記底排気路および前記内排気路を、前記外カップの前記仕切り壁の内周側から排気する排気部と、を更に備えている。前記内カップは、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材と、前記上整流部材の外縁部に接続する円筒状の下整流部材とを有する。前記外カップは、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部を有する。前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記上整流部材上に案内する。

【0025】

前記（１）に記載の発明によれば、下整流部材の上流側から溶剤を流すことができる。そのため、下整流部材の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を防止することができる。

【0026】

（２）前記（１）に記載の発明において、前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記上整流部材上に案内する。これに代えて、前記ガイド突起部は、前記ガイド突起部を含む前記外カップの内壁で受け止めた溶剤を前記下整流部材の外壁に案内する。これにより、下整流部材の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を防止することができる。

【発明の効果】

【0027】

本発明に係る塗布装置によれば、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を防止しつつ、処理液ミストの捕集効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】実施例１に係る塗布装置の概略構成図である。

【図2】（ａ）は、実施例１に係るトラップリングの平面図であり、（ｂ）は、そのトラップリングの縦断面図である。

【図3】トラップリングが外カップに配置される様子を示す平面図である。

【図4】（ａ）、（ｂ）は、塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図である。

【図5】（ａ）は、溶剤供給ノズルによる溶剤の供給について説明するための図であり、（ｂ）は、裏面洗浄ノズルによる溶剤の供給について説明するための図であり、（ｃ）は、洗浄液ノズルおよびカップ洗浄部材による溶剤の供給について説明するための図である。

【図6】（ａ）は、実施例２に係るトラップリングの平面図であり、（ｂ）は、そのトラップリングの縦断面図である。

【図7】実施例２に係る、塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図である。

【図8】実施例３に係る塗布装置の概略構成図である。

【図9】（ａ）、（ｂ）は、実施例３に係る塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図である。

【図10】（ａ）～（ｃ）は、実施例３に係る塗布装置の変形例を示す図である。

【図11】ガイド突起部の先端の水平方向の位置を説明するための図である。

【図12】変形例に係る、塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図である。

【図13】変形例に係る、塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図である。

【図14】（ａ）は、変形例に係る、塗布装置のカップの縦断面右側を一部拡大した図であり、（ｂ）は、二重のトラップリングの複数の孔部がジグザグ状に配置される様子を示す図である。

【図15】課題を説明するための図である。

【実施例1】

【0029】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る塗布装置１の概略構成図である。なお、この図１において、後述するスピンチャック２、内カップ２１、外カップ２３などは、縦断面図で示される。

【0030】

＜塗布装置１の構成＞
図１を参照する。塗布装置１は、スピンチャック２、回転シャフト３、回転駆動部５、塗布液ノズル７および溶剤ノズル９を備えている。なお、溶剤ノズル９は、本発明の溶剤供給部に相当する。

【0031】

スピンチャック２は、例えば基板Ｗの下面を真空吸着することで基板Ｗを保持する。また、スピンチャック２は、基板Ｗの外縁部を３つ以上のピン部材で機械的に挟み込むような構成であってもよい。スピンチャック２は、円板状に形成されている。スピンチャック２の下面には、回転シャフト３が設けられている。回転シャフト３は、スピンチャック２と共に鉛直軸ＡＸ１周りに回転することができる。回転シャフト３は、鉛直方向（Ｚ方向）に長手の円柱状の部材である。

【0032】

回転駆動部５は、スピンチャック２および回転シャフト３を鉛直軸ＡＸ１周りに回転させることで、スピンチャック２に保持された基板Ｗを鉛直軸ＡＸ１周りに回転させる。回転駆動部５は、電動モータを備えている。

【0033】

塗布液ノズル７は、基板Ｗ上に塗布液を供給する。塗布液は、例えば、フォトレジスト液、反射防止膜を形成するための液、ＳＯＣ（Spin On Carbon）膜を形成するための液、ＳＯＧ（Spin On Glass）膜を形成するための液が用いられる。溶剤ノズル９は、基板Ｗ上に溶剤を供給する。溶剤は、例えばシンナーが用いられる。塗布液ノズル７および溶剤ノズル９は各々、図示しないノズル移動機構によって、基板Ｗの中心上方の位置、および基板Ｗの側方の待機位置など任意の位置に移動できるように構成されている。

【0034】

塗布液供給源１３から塗布液配管１５を通じて塗布液が送られる。塗布液配管１５には、開閉弁Ｖ１とポンプＰ１が設けられている。開閉弁Ｖ１は塗布液の供給とその停止を行い、ポンプＰ１は塗布液を塗布液ノズル７に送り出す。また、溶剤供給源１７から溶剤配管１９を通じて溶剤が供給される。溶剤配管１９には、開閉弁Ｖ２とポンプＰ２が設けられている。開閉弁Ｖ２は溶剤の供給とその停止を行い、ポンプＰ２は溶剤を溶剤ノズル９に送り出す。

【0035】

更に、塗布装置１は、飛散した塗布液を回収するカップとして、内カップ２１と外カップ２３とを備えている。内カップ２１は、整流部材とも呼ばれる。内カップ２１は、回転シャフト３およびベース部材１１の周囲に配置されている。内カップ２１は、上整流部材２５と下整流部材２６とを備えている。上整流部材２５は、中空円板状の部材であり、外周側が低くなるように傾斜している。下整流部材２６は、上整流部材２５の外縁部から少なくとも下方に延び、円筒状（中空）に形成されている。なお、図１では、下整流部材２６は、上整流部材２５の外縁部から下方に延びているが、下に向かうほど広くなるように形成されていてもよい。

【0036】

また、外カップ２３は、例えばスピンチャック２で保持された基板Ｗおよび内カップ２１を収容する。外カップ２３は、底部２７、外周壁２９、仕切り壁３１、および内周壁３３を備えている。底部２７は、中空円板状に形成されている。底部２７は、内カップ２１の下整流部材２６の下端２６Ａから離れて配置されている。外カップ２３において、仕切り壁３１の外周側は、液排出ライン３４であり、仕切り壁３１の内周側は、排気ライン３５である。液排出ライン３４では、底部２７は、断面がＶ字状の溝２７Ａを有する。

【0037】

ここで、図１の右側の四角形の枠内を参照しつつ、内カップ２１と外カップ２３によって形成された、外排気路ＰＴ１、底排気路ＰＴ２および内排気路ＰＴ３について説明する。外排気路ＰＴ１は、外カップ２３の外周壁２９と内カップ２１の下整流部材２６との隙間である。底排気路ＰＴ２は、外排気路ＰＴ１に連通する隙間であって、下整流部材２６（内カップ２１）の下端２６Ａと外カップ２３の底部２７との隙間である。内排気路ＰＴ３は、底排気路ＰＴ２に連通する隙間であって、下整流部材２６と外カップ２３の仕切り壁３１との隙間である。

【0038】

また、底部２７は、仕切り壁３１の外周側（すなわち液排出ライン３４）に設けられた液排出配管３７と、仕切り壁３１の内周側（すなわち排気ライン３５）に設けられた排気配管３８とを有する。塗布液および溶剤は、液排出配管３７から排出され、気体は、排気配管３８から排出される。液排出配管３７は、外周壁２９と仕切り壁３１との間における底部２７（Ｖ字状溝２７Ａ）から溶剤を排出する。排気配管３８は、外排気路ＰＴ１、底排気路ＰＴ２および内排気路ＰＴ３を通過した気体を、仕切り壁３１の内周側から排気する。なお、排気配管３８は、例えば工場の排気ダクトに接続されることで、吸引力が得られる。排気配管３８は、本発明の排気部に相当する。

【0039】

外周壁２９は、底部２７の外縁部から少なくとも上方に延びて形成されている。外周壁２９は、上方に延びる円筒状の下部分２９Ａと、上に向かうほど狭くなっている円筒状の上部分２９Ｂとを備えている。仕切り壁３１は、外周壁２９よりも内周側に配置されている。仕切り壁３１は、底部２７から上方に延びて形成されているが、全部または一部で傾斜していてもよい。仕切り壁３１は、円筒状に形成されている。

【0040】

また、内周壁３３は、底部２７の内側の縁から少なくとも上方に延びて形成されている。内周壁３３は、円筒状に形成されている。内周壁３３の上端は、上整流部材２５と接続する。また、内周壁３３は、上整流部材２５および底部２７の少なくとも一方から延びた壁によって形成されていればよい。また、図１において、内カップ２１の下整流部材２６の下端２６Ａは、外カップ２３の外周壁２９と仕切り壁３１との間に配置される。また、下整流部材２６（すなわち下端２６Ａ）は、仕切り壁３１の上端３１Ａよりも低い位置に配置されている。

【0041】

〔トラップリング４１の構成〕
図２（ａ）は、実施例１に係るトラップリング４１の平面図である。図２（ｂ）は、そのトラップリング４１の縦断面図である。トラップリング４１は、塗布液ミストを捕集するためのものである。なお、塗布液ミストは、基板Ｗを回転させて余分な塗布液を基板Ｗ外に飛散させたときに発生する。トラップリング４１は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ：Stainless Used Steel）で形成されている。

【0042】

図２（ａ）に示すように、トラップリング４１は、複数の孔部４３を備えている。複数の孔部４３は各々、半径方向に長手の長方形で形成されている。複数の孔部４３は、トラップリング４１の中心軸である軸ＡＸ２周りにリング状に配置されている。トラップリング４１は、外カップ２３の仕切り壁３１の上端３１Ａに引っ掛けて、トラップリング４１を吊り下げるための３つのフック４５を備えている。なお、フック４５の個数は、３つに限定されず任意に設定される。また、図２（ｂ）に示すように、トラップリング４１は、内周側が低くなるように傾斜している。

【0043】

図３は、トラップリング４１が外カップ２３に配置される様子を示す平面図である。トラップリング４１は、外カップ２３の外周壁２９と仕切り壁３１の間に配置される。フック４５が仕切り壁３１の上端３１Ａに引っ掛けられることにより、トラップリング４１の位置決めがされる。トラップリング４１は、外カップ２３の外周壁２９から仕切り壁３１までの幅ＷＤ１と略同じリング幅ＷＤ２を有している。また、トラップリング４１は、外周壁２９に対して隙間Ｓ１を有して配置されている。また、トラップリング４１は、仕切り壁３１に対して隙間Ｓ２を有して配置されている。このように、隙間Ｓ１，Ｓ２を設けることで、外カップ２３に変形が生じたとしても、トラップリング４１の取り付けが困難になることを防止できる。また、外周壁２９近傍および仕切り壁３１近傍の排気路を塞ぐことを避けられるので、排気性能が低下することを防止できる。さらに、トラップリング４１が、外周壁２９および仕切り壁３１の少なくとも一方と、付着した塗布液（例えばレジスト）によって固着することを抑制でき、その結果、トラップリング４１の取り外しが困難になることを防止できる。図３において、符号ＮＴで示す二点鎖線は、下整流部材２６の下端２６Ａが配置される位置である。

【0044】

図４（ａ）、図４（ｂ）は、塗布装置１の内カップ２１および外カップ２３の縦断面右側を一部拡大した図である。トラップリング４１は、下整流部材２６の下端２６Ａに隙間Ｓ３を有して配置されている。トラップリング４１は、外カップ２３の外周壁２９から仕切り壁３１までの幅ＷＤ１と略同じリング幅ＷＤ２を有している（図３参照）。すなわち、少なくとも下向きに延びる下整流部材２６を遮るように、傾斜を有しつつ略水平姿勢で配置されている。仮に、下整流部材２６の表面から塗布液が流れ落ちた場合、トラップリング４１の複数の孔部４３を通じて塗布液が垂れ落ちる。しかし、トラップリング４１の複数の孔部４３以外の部分で塗布液が受け止められる。そのため、つらら状の塗布液により排気通路が閉塞されることを防止できる。

【0045】

また、トラップリング４１の配置により、図４（ａ）に示す矢印Ｔ１，Ｔ２のように、排気される気体をトラップリング４１に２回通過させることになる。そのため、２回通過させることによる塗布液ミストの捕集効率を向上させることができる。また、トラップリング４１は、外周側よりも内周側が低くなるように傾斜している。そのため、図４（ｂ）に示すように、トラップリング４１に溶剤が供給されたときに、トラップリング４１上面の外周から内周にかけて溶剤を流すことができる。そのため、内カップ２１の陰になったトラップリング４１の内周側に溶剤を供給でき、トラップリング４１の複数の孔部４３以外の部分で受け止められた塗布液、および塗布液ミストを効率良く、除去することができる。例えば、トラップリング４１の外周側が低くなるように傾斜している場合、トラップリング４１の外周側に溶剤が流れるが、内周側に溶剤を流すことができなくなる。

【0046】

図１に戻る。塗布装置１は、裏面洗浄ノズル５１、洗浄液ノズル５３、カップ洗浄部材５５および回転伝達部５７を備えている。なお、裏面洗浄ノズル５１、洗浄液ノズル５３、カップ洗浄部材５５は、本発明の溶剤供給部に相当する。

【0047】

裏面洗浄ノズル５１は、基板Ｗの裏面に溶剤を向けて供給する。洗浄液ノズル５３は、洗浄液をカップ洗浄部材５５の下面側の凹部５９に向けて吐出する。裏面洗浄ノズル５１および洗浄液ノズル５３は、ベース部材１１に設けられている。

【0048】

溶剤供給源６１から溶剤配管６３を通じて溶剤が供給される。溶剤配管６３には、２つの開閉弁Ｖ３，Ｖ４とポンプＰ３が設けられている。開閉弁Ｖ３は、裏面洗浄ノズル５１のために用いられ、開閉弁Ｖ４は、洗浄液ノズル５３のために用いられる。２つの開閉弁Ｖ３，Ｖ４は各々、溶剤の供給とその停止を行う。ポンプＰ３は溶剤を裏面洗浄ノズル５１および洗浄液ノズル５３に送り出す。

【0049】

カップ洗浄部材５５は、下面側に設けられた凹部５９と、凹部５９と連通する洗浄液吐出口６５とを備えている。凹部５９は、洗浄液ノズル５３から吐出された溶剤を受け取るために用いられる。カップ洗浄部材５５の回転による遠心力により、溶剤は凹部５９に保持され、また、凹部５９と連通する洗浄液吐出口６５から吐出される。

【0050】

内カップ２１、外カップ２３およびベース部材１１は一体的に昇降されるように構成されている。昇降は、例えば、エアシリンダまたは電動モータによって行われる。回転シャフト３には、回転伝達部５７が固定されている。そのため、内カップ２１、外カップ２３およびベース部材１１が下降すると、カップ洗浄部材５５の下面は、回転伝達部５７によって支持される。また、回転伝達部５７は、回転シャフト３とカップ洗浄部材５５を連結させる。また、内カップ２１、外カップ２３およびベース部材１１が上昇すると、回転伝達部５７は、カップ洗浄部材５５から離れる。

【0051】

また、塗布装置１は、図１に示すように、制御部７１と、操作部７２とを備えている。制御部７１は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）を備えている。制御部７１は、塗布装置１の各構成を制御する。操作部７２は、表示部（例えば液晶モニタ）、記憶部および入力部を備えている。記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read-Only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスクの少なくとも１つを備えている。入力部は、キーボード、マウス、タッチパネルおよび各種ボタンの少なくとも１つを備えている。記憶部には、塗布処理の各種条件および塗布装置１の制御に必要な動作プログラム等が記憶されている。

【0052】

＜塗布装置１の動作＞
塗布装置１の動作について説明する。まず、トラップリング４１の捕集機能について説明し、その後、トラップリング４１の洗浄機能について説明する。

【0053】

〔トラップリング４１の捕集機能〕
スピンチャック２は、図１に示すように、基板Ｗを保持している。塗布液ノズル７は、図示しないノズル移動機構により、基板Ｗ中心の上方に配置される。その後、塗布液ノズル７から例えばフォトレジスト液が基板Ｗ上に供給される。また、回転駆動部５は、スピンチャック２に保持された基板Ｗを回転させる。基板Ｗの回転により基板Ｗ上の塗布液が広げられ、塗布液が基板Ｗ上に塗布される。また、基板Ｗの回転により、余分な塗布液は、基板Ｗ外に飛散されて、この際に塗布液ミスト（レジストミスト）が発生する。

【0054】

内カップ２１および外カップ２３により形成される通路内（外排気路ＰＴ１、底排気路ＰＴ２および内排気路ＰＴ３など）は、排気配管３８に向かうように、吸引されている。そのため、発生した塗布液ミストは、排気配管３８に向かうように流れる。図４（ａ）の矢印Ｔ１に示すように、下整流部材２６と外周壁２９の間を通過する塗布液ミストは、トラップリング４１を通過する。この際に、トラップリング４１は、塗布液ミストを捕集する。

【0055】

その後、Ｖ字状溝２７Ａ付近（液排出ライン３４）に存在する塗布液ミストは、再度、トラップリング４１を通過する（図４（ａ）の矢印Ｔ２参照）。この際も、トラップリング４１は、残留する塗布液ミストを捕集する。その後、トラップリング４１によって、塗布液ミストが捕集された後の気体は、排気ライン３５を通じて排気配管３８から排気される。

【0056】

〔トラップリング４１の洗浄機構〕
塗布液が付着したトラップリング４１を洗浄するため、トラップリング４１には、溶剤が供給される。溶剤の供給手段は、例えば次のように、３種類ある。図５（ａ）は、溶剤供給ノズル９による溶剤の供給について説明するための図である。この溶剤供給手段は、プリウェット処理として、塗布液ノズル７から塗布液を基板Ｗに供給する工程の前に行われる。溶剤ノズル９から溶剤を基板Ｗ上に供給する。また、回転駆動部５は、スピンチャック２に保持された基板Ｗを回転する。基板Ｗの回転等により基板Ｗ外に飛散した溶剤は、外カップ２３等により回収される。

【0057】

図５（ｂ）は、裏面洗浄ノズル５１による溶剤の供給について説明するための図である。この溶剤供給手段は、裏面洗浄処理として、塗布液ノズル７から塗布液を基板Ｗに供給する工程の後に行われる。裏面洗浄ノズル５１から溶剤が基板Ｗの裏面（下面）に供給される。また、回転駆動部５は、スピンチャック２に保持された基板Ｗを回転する。基板Ｗの回転等により、溶剤が飛散される。外カップ２３等により回収される。

【0058】

図５（ｃ）は、洗浄液ノズル５３およびカップ洗浄部材５５による溶剤の供給について説明するための図である。この溶剤供給手段は、カップ洗浄処理において行われる。カップ洗浄処理は、予め設定された時間（例えば十数時間）ごとに定期的に行われる。図示しない例えばエアシリンダは、内カップ２１、外カップ２３およびベース部材１１を一体的に下降させる。これにより、カップ洗浄部材５５は、回転シャフト３に固定された回転伝達部５７に支持されると共に、カップ洗浄部材５５は、回転シャフト３と一体的に回転可能になる。

【0059】

回転駆動部５は、回転シャフト３およびカップ洗浄部材５５を回転させる。カップ洗浄部材５５の下面側の凹部５９は、洗浄液ノズル５３から吐出された溶剤を受け取り、遠心力によって溶剤を保持する。また、これと同時に、凹部５９に連通する洗浄液吐出口６５から溶剤が吐出される。

【0060】

３つの溶剤供給手段の各々による溶剤は、スピンチャック２側から外カップ２３の外周壁２９と内カップ２１の下整流部材２６との間に送られる。その後、外周壁２９および内カップ２１に付着した塗布液を洗浄しながら、溶剤がトラップリング４１に送られる。図４（ｂ）に示すように、トラップリング４１は、下整流部材２６の下端２６Ａに隙間Ｓ３を有して配置されている。また、トラップリング４１は、内周側が低くなるように傾斜している。これにより、トラップリング４１上面の外周から内周にかけて溶剤を流すことができる。

【0061】

本実施例によれば、複数の孔部４３が形成されたトラップリング４１は、内カップ２１のリング状の下端２６Ａに沿って配置されており、外カップ２３の外周壁２９から仕切り壁３１までの幅ＷＤ１と略同じリング幅ＷＤ２を有している。内カップ２１から垂れ落ちる塗布液の一部は、トラップリング４１によって遮られるので、つらら状の塗布液（図１５参照）による底排気路の閉塞を防止することができる。また、外排気路ＰＴ１から底排気路ＰＴ２に気体が向かうときに、トラップリング４１は、塗布液ミストを捕集することができる。さらに、底排気路ＰＴ２から内排気路ＰＴ３に気体が向かうときに、トラップリング４１は、残留する塗布液ミストを更に捕集することができる。すなわち、このような構成により、排気する気体をトラップリング４１に２回、通過させることができる。そのため、処理液ミストの捕集効率を向上させることができる。

【0062】

また、塗布装置１は、外カップ２３の外周壁２９と内カップ２１の下整流部材２６との間にスピンチャック２側から溶剤を供給する例えば溶剤ノズル９（溶剤供給部）と、外カップ２３の外周壁２９と仕切り壁３１の間における底部２７から溶剤を排出する排気配管３８とを更に備えている。例えば溶剤ノズル９による溶剤の供給によって、例えば外周壁２９、内カップ２１およびトラップリング４１を洗浄することができる。

【0063】

また、トラップリング４１は、外カップ２３の仕切り壁３１の上端３１Ａに引っ掛けて、トラップリング４１を吊り下げるためのフック４５を備えている。例えば、ねじでトラップリング４１を固定すると、ねじを覆った塗布液が固化したときに、トラップリング４１の取り外しが難しくなる。本実施例によれば、トラップリング４１をフック４５で吊り下げているだけなので、トラップリング４１の取り付けおよび取り外しを容易にすることができる。

【実施例2】

【0064】

次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。

【0065】

実施例１のトラップリング４１は、フック４５によってトラップリング４１が吊り下げられることで、配置された。この点、実施例２では、脚部８１によってトラップリング４１を支えることで、トラップリング４１は配置される。

【0066】

図６（ａ）は、実施例２に係るトラップリング４１の平面図である。図６（ｂ）は、そのトラップリング４１の縦断面図である。トラップリング４１は、複数（例えば４本）の脚部８１と、複数（例えば２つ）の取っ手部８３とを備えている。複数の脚部８１は、外カップ２３の外周壁２９と、仕切り壁３１との間における底部２７にトラップリング４１を立たせるために用いられる。図７に示すように、複数の脚部８１の先端がＶ字状溝２７Ａの最も凹んでいる部分に位置するように、トラップリング４１が配置される。下整流部材２６の下端２６Ａとトラップリング４１との間の隙間Ｓ３（図４（ａ）参照）は、脚部８１の長さを調整することで設定される。

【0067】

複数の取っ手部８３は、トラップリング４１を持ち上げるために用いられる。これにより、トラップリング４１を外カップ２３のＶ字状溝２７Ａに対して取り付けおよび取り外しを容易にすることができる。

【0068】

本実施例によれば、トラップリング４１は、外カップ２３の外周壁２９と仕切り壁３１との間における底部２７にトラップリング４１を立たせるため、複数の脚部８１を備えている。例えば、ねじでトラップリング４１を固定すると、ねじを覆った塗布液が固化したときに、トラップリング４１の取り外しが難しくなる。本実施例によれば、トラップリング４１に設けられた複数の脚部８１でトラップリング４１を配置しているだけなので、トラップリング４１の取り付けおよび取り外しを容易にすることができる。

【実施例3】

【0069】

次に、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。なお、実施例１，２と重複する説明は省略する。

【0070】

実施例１，２において、溶剤供給は、トラップリング４１を洗浄するために行われる。これに加えて、溶剤供給は、内カップ２１の下整流部２６の外壁（外面）を効果的に洗浄するために行われてもよい。また、実施例１の図４（ａ）において、下整流部材２６は、仕切り壁３１と外周壁２９（下部分２９Ａ）の中間に位置する。この点、下整流部材２６は、仕切り壁３１と外周壁２９（下部分２９Ａ）の中間よりも外周側に位置してもよい。具体的に説明する。

【0071】

〔ガイド突起部１０１の構成〕
図８は、実施例３に係る塗布装置１の概略構成図である。内カップ２１は、外周側が低くなるように傾斜する中空円板状の上整流部材２５と、上整流部材２５の外縁部に接続する円筒状の下整流部材２６とを備えている。実施例３の塗布装置１の外カップ２３は、その内壁に設けられたリング状のガイド突起部１０１を備えている。ガイド突起部１０１は、ガイド突起部１０１を含む外カップ２３の内壁で受け止めた溶剤を上整流部材２５上に案内する。

【0072】

ガイド突起部１０１は、外カップ２３の外周壁２９の内周側に周回するように設けられている。ガイド突起部１０１は、外周壁２９と一体的に設けられていてもよい。また、ガイド突起部１０１は、下部分２９Ａ、上部分２９Ｂ、または下部分２９Ａと上部分２９Ｂの両方と一体的に設けられていてもよい。更に、ガイド突起部１０１は、外周壁２９から取り外しできるように構成されていてもよい。

【0073】

図９（ａ）、図９（ｂ）は、塗布装置の内カップ２１、外カップ２３およびトラップリング４１などの構成の縦断面右側を一部拡大した図である。また、図８、図９（ａ）および図９（ｂ）は、鉛直軸ＡＸ１を通過しながら径方向に切った縦断面図でもある。この縦断面を見た場合において、ガイド突起部１０１は、先端１０２と、２つの面１０３，１０４を備えている。先端１０２は、面１０３に沿って流下した液状の溶剤が集まる部分である。２つの面１０３，１０４は、先端１０２から各々延びている。すなわち、先端１０２は、第１の面１０３の一端と、第２の面１０４の一端とを合わせることで形成される。また、先端１０２は、２つの面１０３，１０４の最低位置となるように配置される。

【0074】

第１の面１０３（具体的には面１０３の法線）は、スピンチャック２に保持された基板Ｗの外縁部（内周）に向いている。言い換えると、第１の面１０３は、先端１０２から鉛直上方に延びている。

【0075】

第２の面１０４（具体的には面１０４の法線）は、外周に向いている。言い換えると、第２の面１０４は、先端１０２から上方、あるいは外周に水平に延びている。図９（ａ）、図９（ｂ）において、第２の面１０４は、外周および下に向いており、また、先端１０２から外周および上方に延びている。第２の面１０４は、内周側に向かって下がるように傾斜する。また、２つの面１０３，１０４は、鋭角を形成する。なお、各面１０３，１０４は、平面、曲面、およびこれらの組合せで形成されている。

【0076】

また、先端１０２は、内カップ２１および外カップ２３における排気の流れを妨げないために、上整流部材２５の上面から予め設定された距離を隔てて配置される。図９（ａ）において、例えば、上整流部材２５の上面と平行な仮想線（仮想面）ＩＬを設定する。この場合、先端１０２は、上整流部材２５の上面から予め設定された距離ＤＴ隔てた仮想線ＩＬ上に配置される。なお、仮想線ＩＬと上整流部材２５との間は、排気気流が速い領域である。また、先端１０２の水平方向の位置は、面１０３を流下した溶剤が上整流部材２５の上面に落下するように設定される。具体的には、先端１０２の水平方向の位置は、仕切り壁３１と下整流部材２６の外壁（外面）との間に設定される（後述する範囲ＲＧ４に相当する）。

【0077】

〔下整流部材２６の位置〕
また、本実施例において、内カップ２１は、円筒状の下整流部材２６を備えている。下整流部材２６は、仕切り壁３１と外周壁２９（下部分２９Ａ）の中間（中央）よりも外周側に位置する。すなわち、外周壁２９と下整流部材２６との隙間（図１の外排気路ＰＴ１）の径方向の幅ＷＤ３は、下整流部材２６と仕切り壁３１との隙間（図１の内排気路ＰＴ３）の径方向の幅ＷＤ４よりも小さくなるように構成されている。

【0078】

なお、図９（ａ）において、例えば先端１０２と上整流部材２５との隙間ＤＴ１で定まるリング状流路の断面積は、リング状の外排気路ＰＴ１の流路断面積よりも大きくなるように構成される。これにより、先端１０２は、内カップ２１および外カップ２３における排気の流れを妨げることを防止できる。

【0079】

〔その他の構成〕
また、外カップ２３の外周壁２９の上部分２９Ｂの内縁部およびその付近には、返し部１０６が設けられている。返し部１０６は、内カップ２１および外カップ２３で回収された塗布液および溶剤のミストが基板Ｗに舞い戻ることを防止する（図９（ａ）の矢印ＡＲ１参照）。

【0080】

返し部１０６は、外カップ２３の内側、すなわち、上部分２９Ｂの下面に設けられている。図９（ａ）、図９（ｂ）において、返し部１０６は、先端１０８と、２つの面１０９，１１０を備えている。２つの面１０９，１１０は、先端１０８から各々延びている。先端部１０８は、基板Ｗおよび、ガイド突起部１０１の先端部１０２よりも高い位置に配置される。また、先端部１０８から上整流部材２５の上面までの距離ＤＴ２は、先端部１０２（仮想線ＩＬ）から上整流部材２５の上面までの距離ＤＴ（ＤＴ１）よりも大きく設定されている。これにより、基板Ｗから飛散した塗布液および溶剤が面１０９に衝突して、それらの液やミストが基板Ｗ上に舞い戻ることを防止する。つまり、塗布液および溶剤の回収を妨げないようになっている。

【0081】

＜塗布装置１の動作＞
次に、本実施例の塗布装置１の動作について説明する。まず、図８、図９（ａ）を参照して塗布液ミストの回収について説明する。塗布装置１は、その上方からダウンフローの気体が供給されている。また、例えば工場の排気ダクトに接続されることで、吸引力を得ている。これらは、上述した実施例１，２も同様である。

【0082】

塗布液ノズル７から例えばフォトレジスト液が基板Ｗ上に供給される。基板の回転により、余分な塗布液は、基板Ｗ外に飛散されて、この際に塗布液ミストが発生する。塗布液ミストは、内カップ２１および外カップ２３により回収される。塗布液ミストは、返し部１０６およびガイド突起部１０１によって妨げられずに外排気路ＰＴ１に流れる。

【0083】

ここで、下整流部材２６は、仕切り壁３１と外周壁２９の中間よりも外周側に位置する。これにより、下整流部材２６と外周壁２９との隙間ＷＤ３が内側の隙間ＷＤ４よりも絞られるので、外排気路ＰＴ１における流速を内排気路ＰＴ３よりも高くすることができる。そのため、塗布液ミストを含む気体をトラップリング４１に強く当てつつ底排気路ＰＴ２に送ることができる。その結果、トラップリング４１による塗布液ミストの捕集効率を高めることができる。また、下整流部材２６に付着したフォトレジスト液を強い排気流により効果的に除去することができる。

【0084】

なお、例えば、下整流部材２６が仕切り壁３１と外周壁２９の中間よりも内周側に位置すると、外排気路ＰＴ１における風速が比較的小さくなる。これにより、塗布液ミストを含む気体をトラップリング４１に強く当てることができない可能性がある。そのため、図９（ａ）の破線の矢印ＡＲ２のように、下整流部材２６の下端２６Ａとトラップリング４１の上面との隙間Ｓ３（図９（ｂ）参照）を通過しながら、トラップリング４１の上面に沿って塗布液ミストが流れてしまう。そのため、トラップリング４１に２回通過させる気流が少なくなるので、捕集効率が低下する。

【0085】

次に、図９（ｂ）を参照して、下整流部材２６およびトラップリング４１の洗浄について説明する。なお、図９（ｂ）における破線は、溶剤の移動の一例である。

【0086】

図５（ａ）～図５（ｃ）示す手段によって溶剤が供給される。例えば、図５（ｂ）において、裏面洗浄ノズル５１から溶剤が基板Ｗの下面に供給される。基板Ｗの回転により、溶剤は、基板Ｗの外縁部から例えば水平方向に飛散される。飛散された溶剤は、返し部１０６に妨げられず、例えば、ガイド突起部１０１の面１０３で受け止められる。面１０３で受け止められた溶剤は、面１０３に沿って下向きに流れ、先端１０２から上整流部材２５の上面に、溶剤が流れ落ちる。その後、上整流部材２５の上面から下整流部材２６の外壁に沿って溶剤が流れる。これにより、下整流部材２６の外壁が洗浄されるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。

【0087】

その後、下整流部材２６の下端２６Ａからトラップリング４１の上面に、溶剤が流れ落ちる。ここで、トラップリング４１は、内周側が低くなるように傾斜している。これにより、トラップリング４１の上面の外周から内周にかけて溶剤を流すことができる。本実施例において、下整流部材２６は、仕切り壁３１と外周壁２９の中間よりも外周側に位置する。そのため、下整流部材２６の外壁に沿って流れた溶剤を、トラップリング４１の上面のより外周側に供給することができる。

【0088】

その後、トラップリング４１の内縁部からＶ字状溝２７Ａに、溶剤が流れ落ちる。その後、溶剤は、液排出配管３７から排出される。

【0089】

本実施例によれば、ガイド突起部１０１は、ガイド突起部１０１を含む外カップ２３の内壁で受け止めた溶剤を上整流部材２５上に案内する。上整流部材２５上に案内された溶剤は、上整流部材２５の外縁部に接続する下整流部材２６に流れる。そのため、下整流部材２６の上流側から溶剤を流すことができる。そのため、下整流部材２６の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。

【0090】

また、ガイド突起部１０１は、溶剤が集まる先端１０２と、先端１０２から各々延びる２つの面１０３，１０４とを有する。先端１０２は、２つの面１０３，１０４の最低位置となるように配置される。先端１０２が２つの面の最低位置となるように配置されるので、溶剤を先端１０２に集めることができると共に、先端１０２から一方の面（例えば面１０４）を伝って溶剤が流れてしまうことを防止することができる。そのため、先端１０２に集まった溶剤を先端から効果的に滴下させることができる。

【0091】

＜実施例３の変形例＞
図９（ａ）では、ガイド突起部１０１の第１の面１０３は、先端１０２から真上に延びているが、これに限定されない。例えば、図１０（ａ）に示すように、第１の面１０３は、上方および外周側に向けて延びていてもよい。

【0092】

また、ガイド突起部１０１の先端１０２の水平方向の位置は、図９（ａ）に示す位置に配置されたが、これに限定されない。例えば、図１０（ｂ）に示すように、ガイド突起部１０１の先端１０２Ａの水平方向の位置は、外周壁２９の上部分２９Ｂの内縁部の水平方向の位置（水平位置）ＰＳ１の近くであってもよい。これにより、上整流部材２５の傾斜の上側から溶剤を流すことができる。

【0093】

また、図１０（ｃ）に示すように、先端１０２Ｂの水平位置は、トラップリング４１の外縁部の水平位置ＰＳ２と同じであってもよい。この場合、ガイド突起部１０１は、先端１０２Ｂに集まる溶剤を下整流部材２６の外壁に案内するように構成される。すなわち、ガイド突起部１０１は、ガイド突起部１０１を含む外カップ２３の内壁で受け止めた溶剤を下整流部材２６の外壁に案内する。これにより、下整流部材２６の外壁に付着する塗布液を洗い流すことができるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。また、外周壁２９の内壁（内面）に沿って、トラップリング４１と外周壁２９の内壁との隙間Ｓ１を溶剤が通過してしまうことを防止することができる。

【0094】

図１１を参照する。例えば、ガイド突起部１０１の先端１０２の水平位置は、水平位置Ｐ１より外周側で、かつ水平位置ＰＳ２よりも内周側の範囲ＲＧ１に配置されてもよい。なお、水平位置ＰＳ１は、外周壁２９の上部分２９Ｂの内縁部の水平位置である。水平位置ＰＳ２は、トラップリング４１の外縁部の水平位置である。

【0095】

また、水平位置ＰＳ１と、下部分２９Ａの内壁の水平位置ＰＳ４との中央位置を水平位置ＰＳ３とした場合、先端１０２の水平位置は、水平位置ＰＳ３よりも外周側で、かつ水平位置ＰＳ２よりも内周側の範囲ＲＧ２に配置されていることが好ましい。これにより、先端１０２の水平位置がスピンチャック２に保持された基板Ｗから離れた位置に配置されることになる。そのため、ガイド突起部１０１の第１の面１０３に溶剤が衝突して、溶剤のミストが基板Ｗ上に舞い戻る可能性が抑制される。なお、水平位置ＰＳ２は、トラップリング４１の外縁部の水平位置である。

【0096】

また、先端１０２の水平位置は、水平位置ＰＳ５よりも外周側で、かつ水平位置ＰＳ２よりも内周側の範囲ＲＧ３に配置されていることが好ましい。これにより、水平位置ＰＳ３と同様に、ガイド突起部１０１の第１の面１０３に溶剤が衝突して基板Ｗ上に溶剤が舞い戻る可能性が抑制される。また、水平位置ＰＳ５が水平位置ＰＳ３の外周側に存在すれば、溶剤のミストが基板Ｗ上に舞い戻る可能性が更に抑制される。なお、水平位置ＰＳ５は、仕切り壁３１の内壁（内面）の水平位置である。

【0097】

また、先端１０２の水平位置は、水平位置ＰＳ５よりも外周側で、かつ水平位置ＰＳ６よりも内周側の範囲ＲＧ４に配置されていることが好ましい。これにより、気流を考慮しない場合、ガイド突起部１０１の先端１０２から下整流部材２６の上端側の丸み部分ＣＶに確実に溶剤を流れ落とすことができる。そのため、下整流部材２６の上端側から、下整流部材２６の外壁を洗浄することができる。なお、水平位置ＰＳ５は、仕切り壁３１の内壁の水平位置である。水平位置ＰＳ６は、下整流部材２６の外壁（外面）の水平位置である。

【0098】

なお、上述の範囲ＲＧ１，ＲＧ２，ＲＧ３において、水平位置ＰＳ２に代えて、先端１０２の水平位置は、水平位置ＰＳ６よりも内周側に配置されていることが好ましい。これにより、気流を考慮しない場合、ガイド突起部１０１の先端１０２から下整流部材２６の上端側の丸み部分ＣＶに確実に溶剤を流れ落とすことができる。そのため、下整流部材２６の上端側から、下整流部材２６の外壁を洗浄することができる。

【0099】

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

【0100】

（１）上述した実施例１では、トラップリング４１が吊り下げて設置するために、フック４５が仕切り壁３１の上端３１Ａに引っ掛けられた。しかしながら、フック４５によって、引っ掛けられる部分は、仕切り壁３１の上端３１Ａでなくてもよい。例えば、外カップ２３の外周壁２９および仕切り壁３１の少なくとも一方にフック４５が引っ掛かる部分が設けられていてもよい。また、例えば、下整流部材２６（内カップ２１）にフック４５が引っ掛かる部分が設けられていてもよい。

【0101】

（２）上述した各実施例および変形例（１）において、図１２に示すように、ガイド突起部１２１は、このガイド突起部１２１を含む外カップ２３の内壁で受け止めた溶剤を下整流部材２６の外壁だけに案内してもよい。これにより、下整流部材２６の外壁が洗浄されるので、つらら状の塗布液による排気通路の閉塞を更に防止することができる。また、外排気路ＰＴ１において、所望の風速を得るために、ガイド突起部１２１の先端１２２と下整流部材２６の外壁との距離ＤＴ５を設定してもよい。これにより、下整流部材２６と外周壁２９との隙間（外排気路ＰＴ１）における風速を高くすることができる。そのため、塗布液ミストを含む気体をトラップリング４１に強く当てつつ底排気路ＰＴ２に送ることができる。その結果、トラップリング４１による塗布液ミストの捕集効率を高めることができる。

【0102】

なお、図１２に示すガイド突起部１２１の下側には、溶剤が届きにくくなるが、溶剤ミストによって洗浄できないことはない。また、仮に、ガイド突起部１２１の下側外周壁２９の内壁において塗布液ミストが厚く付着しても、図１５に示すつらら状の塗布液により排気通路が閉塞することはない。また、Ｖ字溝部２７Ａまで塗布液が移動すると、Ｖ字溝部２７Ａを流れる溶剤によって塗布液は洗い流される。また、図１２において、ガイド突起部１２１は、外周壁２９の下部分２９Ａの内壁に設けられている。この点、ガイド突起部１２１は、外周壁２９の下部分２９Ａおよび上部分２９Ｂの内壁に設けられていてもよい。

【0103】

（３）上述した各実施例および変形例（１）において、塗布装置１は、図１３に示すように、外カップ２３の外周壁２９の内壁に設けられ、例えば溶剤ノズル９から供給された溶剤をトラップリング４１にガイドするためのリング状の溶剤ガイド部材８７を備えていてもよい。トラップリング４１と外周壁２９との間の隙間Ｓ１を通過する溶剤を、トラップリング４１上にガイドすることができる。これにより、トラップリング４１に溶剤を供給することを容易にすることができる。なお、溶剤ガイド部材８７は、図１０（ａ）、図１０（ｃ）、図１２のガイド突起部１０１（１２１）のような形状であってもよい。

【0104】

（４）上述した各実施例および各変形例では、トラップリング４１は、一重であった。この点、図１４（ａ）に示すように、トラップリング４１は、二重であってもよい。この場合、例えば、図１４（ｂ）に示すように上側のトラップリング４１の複数の孔部４３と、下側のトラップリング４１の複数の孔部４３は、ジグザグ状に配置されていてもよい。気体を排気するために、トラップリング４１を４回通過することになり、更に、捕集効率を向上させることができる。

【0105】

（５）上述した各実施例および各変形例では、トラップリング４１は、半径方向に長手の矩形の孔部４３を有していた。この点、孔部４３は、丸いパンチ穴であってもよい。また、複数の孔部４３が形成されたトラップリング４１に代えて、櫛状のトラップリング４１であってもよい。

【符号の説明】

【0106】

１ … 塗布装置
２ … スピンチャック
３ … 回転シャフト
９ … 溶剤ノズル
２１ … 内カップ
２３ … 外カップ
２５ … 上整流部材
２６ … 下整流部材
２６Ａ … 下端
２７ … 底部
２９ … 外周壁
３１ … 仕切り壁
３７ … 液排出配管
３８ … 排気配管
４１ … トラップリング
４３ … 孔部
４５ … フック
５１ … 裏面洗浄ノズル
５３ … 洗浄液ノズル
５５ … カップ洗浄部材
７１ … 制御部
８１ … 脚部
８３ … 取っ手部
１０１，１２１ … ガイド突起部
１０２，１０２Ａ，１０２Ｂ，１２２ … 先端
１０３，１０４ … 面
ＷＤ１ … 幅
ＷＤ２ … リング幅
Ｓ１～Ｓ３ … 隙間
ＰＴ１ … 外排気路
ＰＴ２ … 底排気路
ＰＴ３ … 内排気路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】