特許 7462524 エキシマランプ、紫外線照射装置およびオゾン発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-28

(45)【発行日】2024-04-05

(54)【発明の名称】エキシマランプ、紫外線照射装置およびオゾン発生装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 65/00 20060101AFI20240329BHJP

   H01J 61/36 20060101ALI20240329BHJP

【ＦＩ】

H01J65/00 D

H01J61/36 Z

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020156231

(22)【出願日】2020-09-17

(65)【公開番号】P2022049928

(43)【公開日】2022-03-30

【審査請求日】2023-06-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100090169

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 孝

(74)【代理人】

【識別番号】100124497

【弁理士】

【氏名又は名称】小倉 洋樹

(72)【発明者】

【氏名】小林 剛

(72)【発明者】

【氏名】福田 剛士

(72)【発明者】

【氏名】両角 洋二

【審査官】佐藤 海

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０９１６１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１７９８９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／０４９６０６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０７－２７２６９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０３８６５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０５４０５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１９８１７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１１－５０５０６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０１１９２７９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ６１／３０－６５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端に小径部を設けた放電容器と、
前記放電容器内に設けられた内側電極と、
前記内側電極を被覆する内側管とを備え、
前記内側管の先端部が、前記小径部に入り込み、
前記内側電極のランプ軸に沿った先端位置が、前記小径部より後端側にあることを特徴とするエキシマランプ。

【請求項2】

前記内側管の先端部が先細く、
前記先端部の側面の少なくとも一部が、前記小径部の内面と接していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項3】

前記先端部の側面の少なくとも一部と接する前記小径部の接触部分が曲面形状であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。

【請求項4】

前記小径部が、容器外側および／または容器内側に向けて突出する円筒状部分を有し、
前記内側管が、前記円筒状部分と接していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

【請求項5】

前記内側管の先端部と前記内側電極の先端部とのランプ軸に沿った距離間隔が、前記内側電極と前記内側管の外周面とのランプ径方向に沿った距離間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のエキシマランプ。

【請求項6】

前記内側管の先端と前記内側電極の先端とのランプ軸に沿った距離間隔が、前記内側管の先端と前記小径部の先端とのランプ軸に沿った距離間隔よりも長いことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のエキシマランプ。

【請求項7】

前記内側管の先端部は先細く、
前記内側電極が箔状であって、電界が集中するように前記内側管に埋設されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。

【請求項8】

請求項１乃至７のいずれかに記載されたエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、
前記エキシマランプが、前記放電容器の外表面に設けられた外側電極または前記外側電極と同電位である導電体と、前記小径部または前記放電容器の端部とを接した状態または近接した状態で、装置筐体内に設置されることを特徴とする紫外線照射装置。

【請求項9】

請求項１乃至７のいずれかに記載されたエキシマランプを備えたオゾン発生装置であって、
前記小径部を吸気ファンに向けて設置される前記エキシマランプを、前記小径部の先端部または前記放電容器の端部で支持し、前記放電容器の外表面に設けられた外側電極と同電位である支持部材を備えることを特徴とするオゾン発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプ、エキシマランプを備えた紫外線照射装置およびオゾン発生装置に関し、特に、エキシマランプの放電容器の先端部の構成に関する。

【背景技術】

【0002】

エキシマランプでは、放電容器（発光管）内に希ガスを封入し、発光管の外表面に設けられた外側電極と、発光管内に設けられた内側電極との間に電圧を印加することによって放電し、エキシマ光が放射される。エキシマ光として紫外線を照射可能であり、紫外線照射によるオゾン発生などを行う光源として利用することができる。

【0003】

エキシマランプの始動電圧を低下させるため、内部電極の先端部を、放電容器の一端に形成されたチップ部内まで延ばし、外部電極をチップ部外表面まで延設する電極の配置構成が知られている（特許文献１参照）。このような電極配置構成は、二重管構造のエキシマランプにも採用することができる（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１４－１５４２７４号公報

【文献】特開２０１６－９１６１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

エキシマランプの内側電極に対して高電圧が印加される一方、チップ部は、エキシマランプの製造過程における放電容器内の排気経路の残部であり、放電容器（外側管）に比べて内径が小さい。そのため、チップ管先端まで延びる内側電極と、チップ部外表面まで延設している外側電極との間で絶縁破壊が生じやすい。また、チップ部に対して外側電極と同電位（アース）の導電体が接近している場合も、同じように絶縁破壊が生じやすい。

【0006】

したがって、絶縁破壊の発生を抑制する放電容器の構成が求められる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のエキシマランプは、先端に小径部を設けた放電容器と、放電容器内に設けられた内側電極と、内側電極を被覆する内側管とを備える。ここでの「先端」は、放電容器の一方の端部に相当する。また、「小径部」は、放電容器の径一定部分と比べて径が小さい部分であり、放電容器の軸（ランプ軸）に沿って様々な形状による小径部を形成することができる。容器端から先端側（容器外側）に向けて突出する構成、後端側（容器内側）に一部突出する部分を形成することも可能である。

【0008】

内側電極は、ランプ軸に沿って延びる構成が可能であり、例えば、箔状の電極として構成することができる。内側管は、先端部は先細く形成し、電界が集中するように内側管に埋設するようにすることができる。

【0009】

本発明では、内側管の先端部が、小径部に入り込み、内側電極のランプ軸に沿った先端位置が、小径部より後端側にある。小径部に入り込む形態は様々であり、内側管の形状、小径部の形状などに従う。

【0010】

例えば、内側管の先端部が先細く形成される場合、先端部の側面の少なくとも一部が、小径部の内面と接するように構成することができる。先端部の側面の少なくとも一部と接する小径部の接触部分を、曲面形状にすることができる。

【0011】

また、小径部は、容器外側および／または容器内側に向けて突出する円筒状部分を設けてもよく、内側管が、円筒状部分と接するように構成することができる。

【0012】

例えば、内側管の先端部と内側電極の先端部とのランプ軸に沿った距離間隔が、内側電極と内側管の外周面とのランプ径方向に沿った距離間隔よりも大きくなるように構成すればよい。

【0013】

また、内側管の先端と内側電極の先端とのランプ軸に沿った距離間隔が、内側管の先端と小径部の先端とのランプ軸に沿った距離間隔よりも長くなるように構成してもよい。

【0014】

本発明の一態様である紫外線照射装置は、上記エキシマランプのいずれかの特徴を備えた装置として構成可能であり、エキシマランプが、外側電極または外側電極と同電位である導電体と、小径部または放電容器の端部とを接した状態または近接した状態で、装置筐体内に設置される。

【0015】

本発明の一態様であるオゾン発生装置は、上記エキシマランプのいずれかの特徴を備えた装置として構成可能であり、小径部を吸気ファンに向けて設置されるエキシマランプを、小径部の先端部または放電容器端部で支持し、外側電極と同電位である支持部材を備える。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、エキシマランプ、エキシマランプを備えたオゾン発生装置などにおいて、絶縁破壊の発生を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１の実施形態であるエキシマランプを備えた照射装置の概略的内部構成を示した図である。

【図2】エキシマランプの先端部を示す拡大図である。

【図3】第１の実施形態である放電容器の変形例を示した図である。

【図4】第１の実施形態である放電容器の他の変形例を示した図である。

【図5】第２の実施形態である紫外線照射装置に設けられたキシマランプの概略的構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

【0019】

図１は、第１の実施形態であるオゾン発生装置の概略的内部構成を示した図である。なお、図１ではエキシマランプと筐体とを断面図として描いている。

【0020】

オゾン発生装置１００は、エキシマランプ１０を筐体１００Ｋ内に収容した紫外線照射装置を備え、エキシマランプ１０は、そのランプ軸Ｅを鉛直方向に沿うように配置されている。送風機（図示せず）は、エキシマランプ１０の下方に設置され、筐体１００Ｋ内に吸入されたガスは、筐体１００Ｋ内を鉛直方向（ランプ軸Ｅ）に沿って流れ、上面の開口部１００Ｐから流出する。

【0021】

エキシマランプ１０は、紫外線を照射し、例えば波長１７２ｎｍの紫外線を照射する。エキシマランプ１０の周囲を流れる酸素を含むガスに対して紫外線が照射されることにより、オゾンが発生し、オゾンを含むガスが開口部１００Ｐから放出される。これによって、除菌、殺菌などが行われる。

【0022】

エキシマランプ１０は、支持部材７０、７１、７２によって筐体１００Ｋ内で支持されている。支持部材７０、７１、７２は、それぞれ筐体１００Ｋ内に配置された壁部７５に取り付けられ、支持部材７０、７１は、エキシマランプ１０の主に径方向への変位を防止するように、外側電極５０を介して挟持する。支持部材７２は、エキシマランプ１０の主に軸方向への変位を防止するように、エキシマランプ１０の一端（以下、先端部とする）を下支えしている。

【0023】

エキシマランプ１０の放電容器（発光管）１０Ｔは、石英ガラスなどの誘電材料から成る断面略円筒状の外側管２０を備える。外側管２０内には、管軸すなわちランプ軸Ｅに沿って延びる箔電極（以下、内側電極という）４０が埋設（被覆）された断面略円筒状の内側管３０を設けている。放電容器１０Ｔ内の放電空間Ｓには、キセノンガスなどの希ガスや希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが放電ガスとして封入されている。

【0024】

誘電体である内側管３０は、外側管２０に対して同軸的に配置され、放電容器１０Ｔの後端側で加熱溶着することで、放電空間Ｓを形成する。内側電極４０は、内側管３０の端部から見て、ランプ軸Ｅを中心として内側管３０内に配置されている。内側電極４０は、内側管３０と外側管２０との間に形成される放電空間Ｓに露出していない。なお、内側電極を内側管により加熱溶着して埋設せず、内側管の管内に配置する構成も可能である。

【0025】

外側管２０の外表面２０Ｓには、外側電極５０が設けられている。外側電極５０は、ここでは螺旋状に巻かれた金属線で構成され、その一部が支持部材７０、７１および壁部７５を介してアースと接続する給電線（図示せず）と電気的に接続されている。

【0026】

筐体１００Ｋ内には、図示しない電源部が設けられている。電源部は、商用交流電圧を直流電圧に変換し、スイッチング回路により直流電圧から高周波電圧に変換して、昇圧トランスへ送る。昇圧トランスは、高周波電圧を昇圧し、給電線６０を通じて内側電極４０と外側電極５０との間へ高周波高電圧を印加する。あるいは、周波数コンバータにより商用交流電圧から直流電圧に変換して、昇圧トランスへ送るように構成してもよい。

【0027】

放電容器１０Ｔは、放電空間Ｓを囲む内径一定部分２０Ｍの両端に、突起状部分（以下、小径部という）２１、２２を設けている。小径部２２は、内側管３０の後端側の一部が外側管２０に覆われずにランプ後端に向けてランプ軸Ｅに沿って突出した部分であり、内部を給電線６０が貫通している。

【0028】

小径部２１は、ランプ製造の過程で形成され、ランプ先端側に向けてランプ軸Ｅに沿って放電容器１０Ｔ（容器外部）から突出している。ここでは、外側管２０の先端側を加熱変形して縮径し、外側管２０よりも小径のチップ管を溶着させることで、内径一定部分２０Ｍよりも径の小さい小径部２１が一体的に成形されている。なお、ランプ製造に用いるチップ管を小径部とは別の位置に設けてもよい。

【0029】

本実施形態では、内側管３０の先端部３１が小径部２１に入り込んで、内側管３０の先端部３１が小径部２１と接触して支持される。このような嵌合状態を形成する一方、内側電極４０の先端部４１は、小径部２１内にまで入り込まない。以下、これについて詳述する。

【0030】

図２は、放電容器１０Ｔの小径部付近を示した拡大図である。

【0031】

内側管３０の先端部３１は先細く、ここでは砲弾型形状になっている。一方、外側管２０の先端側では、内径一定部分２０Ｍから小径部２１に向けて縮径する縮径部２０Ｔが、ここでは椀状の曲面形状で構成され、小径部２１がその中心部から突出するように形成されている。

【0032】

外側管２０の縮径部２０Ｔおよび小径部２１の内面２１Ｓは、ここでは、縮径部２０Ｔと小径部２１の繋目が分からないように、連続的で滑らかな曲面形状になっている。放電容器１０Ｔの縮径部２０Ｔから小径部２１に至るまでの内面断面形状には、２つの曲率変更点Ｑ１１、Ｑ１２が現れる。

【0033】

放電容器１０Ｔの縮径部２０Ｔから小径部２１に至るまでの内面断面形状に沿った曲線を円（曲率円）で近似したとき、曲率変更部分（変更点）Ｑ１１は、曲率円の曲率中心が放電空間Ｓからランプ外側に移る境界位置に該当する。すなわち、放電空間Ｓ側に凹状となっている内面断面形状部分からランプ外側に凹状となっている内面断面形状部分に移る境界位置に該当する。

【0034】

一方、曲率変更部分Ｑ１２は、曲率円の曲率中心がランプ外側から再び放電空間Ｓ側に移る境界位置に該当する。すなわち、ランプ外側に凹状となっている内面断面形状部分から放電空間Ｓ側に凹状となっている内面断面形状部分に移る境界位置に該当する。

【0035】

曲率変更部分Ｑ１１を用いて小径部２１を定義すると、小径部２１は、放電容器１０Ｔの先端２１Ｔと曲率変更部分Ｑ１１までの軸方向範囲の部分を示し、ランプ軸Ｅに沿って長さＫ１を有する。縮径部２０Ｔは、曲率変更部分Ｑ１１よりも放電容器１０Ｔの後端側に形成され、小径部２１に向けて縮径する部分を表す。

【0036】

鉛直方向に沿って配置される内側管３０は、その先端部３１の側面（周方向に沿った外表面）３１Ｓの一部が、接触部２３に接することで位置決めされ、放電容器１０Ｔによって支持されている。ただし、接触部２３は、小径部２１の曲率変更部分Ｑ１１とＱ１２との間の曲面部分を示す。内側管３０の先端部頂点３１Ｔとチップ管先端部頂点２１Ｔとのランプ軸Ｅに沿った距離間隔Ｌ１は、内側管３０の内側管先端部頂点３１Ｔと内側電極４０の先端部４１とのランプ軸Ｅに沿った距離間隔Ｌ２より短い。

【0037】

また、距離間隔Ｌ２は、箔状の内側電極４０のランプ径方向端の縁部４０Ｌと内側管３０の外周面３０Ｓとの最短距離間隔Ｔよりも長い。すなわち、内側管３０に埋設された内側電極４０のランプ軸Ｅ方向に沿った絶縁距離が、径方向に沿った絶縁距離よりも長い。

【0038】

上述したように、エキシマランプ１０は、その小径部２１のチップ管先端部頂点２１Ｔにおいて、アース接続する支持部材７０に支えられている。また、箔状の内側電極４０の縁部４０Ｌは、ここでは幅方向の中心から縁に向けて先鋭化したナイフエッジ形状となっている。このような電極形状の内側電極４０に対して高電圧が印加されると、縁部４０Ｌにおいて（特に先端部４１）電界集中が生じる。

【0039】

しかしながら、絶縁距離として距離間隔Ｌ２（内側管３０のランプ軸方向の厚さ）と距離間隔Ｌ１（内側管先端部頂点３１Ｔとチップ管先端部頂点２１Ｔとのランプ軸方向距離間隔）とを確保しているため、支持部材７０との間での絶縁破壊を防ぐことができる。その結果、内側電極４０と外側電極５０との間で放電が良好に生じ、紫外線が放電容器１０Ｔ全体から放射される。

【0040】

このように、内側管３０の先端部３１が、放電容器の小径部２１の内部空間に達して嵌合状態になる一方、内側電極４０の先端部４１のランプ軸Ｅに沿った位置が、小径部２１の内部空間に達することなく、小径部２１よりも後端(放電容器中央)側にある。そのため、内側電極４０のランプ軸Ｅに沿った長さ、および外側電極５０の巻く長さを、外側管２０の縮径部２０Ｔ付近まで含めることが可能となり、ランプの全長を変更せずに、発光長を長くすることができる。

【0041】

また、内側管３０が小径部２１に接触して支えられる構造であるため、内側管３０を外側管２０内で安定して同軸状に保持することできるとともに、接触部２３である小径部の内面が曲面形状となっていることで、内側管３０の先端部３１を破損させないように接触することができる。そして、内側管３０の先端部３１が曲面形状で先細くなっているため、それぞれの加熱成形による寸法誤差に対しても安定して同軸状の保持できるように接触を実現することができる。

【0042】

放電容器１０Ｔでは、ランプ軸に沿って縮径部２０Ｔから小径部２１までの部分は、放電（紫外線の放射）にほとんど寄与しない。したがって、放電容器１０Ｔの縮径部２０Ｔを、椀状の曲面形状でなく、略平坦状にすることも可能である。

【0043】

図３は、第１の実施形態における放電容器の変形例を示した図である。ランプ軸Ｅに垂直な方向（ランプ径方向）に沿った略平坦な面として平坦状部分２０ＴＭを形成している。小径部２１－１のランプ軸Ｅに沿った長さ（突出高さ）Ｋ１’を短くすることで、ランプ軸Ｅに沿ってコンパクトなエキシマランプ１０－１が構成可能となり、放電領域と放電容器１０Ｔの縮径部２０Ｔとを接近させることで、ランプ全長に対する発光長を長くすることができる。

【0044】

内側管３０が放電容器１０Ｔの小径部２１－１と接して支持される（位置決めされる）構成としては、様々な構成が可能である。例えば、内側管３０の先端部３１の外径に対して小径部２１－１の内径を大きくして、内側管先端部頂点３１Ｔがチップ管先端部頂点２１Ｔに近い位置とすることで、小径部２１－１の内面の曲率変更部分Ｑ１２よりも内側管先端部頂点３１Ｔ側や底部２１Ｂに接して支持される構成としてもよい。

【0045】

また、小径部２１－１の内表面において、曲率円の曲率中心がランプ外側から放電空間Ｓ側に移る境界位置、すなわち曲率変更部分Ｑ１２がある内表面部分に、ランプ軸Ｅに沿った円筒状部分を形成し、小径部２１－１のランプ軸Ｅに沿った長さ（突出高さ）Ｋ１’を長くし、円筒状部分において先端部３１と接触させた嵌合状態にしてもよい。さらには、内側管３０の先端部３１を先細く、曲面形状にせず、小径部内面を先細くして嵌合させてもよい。この場合、曲率変更部分Ｑ１１，Ｑ１２がある内表面部分は曲面形状でなくてもよい。内側管３０の先端部３１と小径部２１－１が径方向に対して重なる軸方向範囲を有すればよい。

【0046】

図４は、第１の実施形態である放電容器の他の変形例を示した図である。ここでの小径部２１－２は、その一端側で縮径部２０Ｔの先端よりもランプ後端（容器内側）に向けてランプ軸Ｅに沿って突出して形成されている。小径部２１－２は、少なくとも一部が放電空間側に突出した円筒状部分を有し、内側管３０の先端部３１は、小径部２１－２の円筒状部分に嵌合する。なお、先端部３１の側面が小径部２１－２の内面と接してもよく、先端部頂点３１Ｔが小径部２１－２の底部２１Ｂの内面と接してもよい。なお、ランプ外側に突出せず、内側だけに突出するようにしてもよい。

【0047】

次に、図５を用いて、第２の実施形態であるエキシマランプを備えた紫外線照射装置について説明する。第２の実施形態では、外側電極が小径部にまで渡って設けられ、小径部を介して外側電極用の給電部と電気的に接続される。

【0048】

図５は、第２の実施形態である紫外線照射装置のエキシマランプを示した概略的内部構成図である。

【0049】

紫外線照射装置１００’は、エキシマランプ１０’を備える。ここでは、エキシマランプ１０’が、紫外線照射装置筐体（図示せず）内において横方向（水平方向）に設置された光透過性のジャケット管１１内部に配置され、洗浄水など紫外線照射対象となる流体がジャケット管１１の外周側を流れていく。

【0050】

放電容器１０’Ｔの外表面２０’Ｓには、アルミニウム膜などの金属膜によって構成された外側電極５０’が設けられている。外側電極５０’は、放電容器１０’Ｔの両端で外表面全体を覆う一方、その間の径一定部分２０’Ｍでは紫外線照射の障害とならないように、一部表面のみ覆っている。小径部２１’を覆う外側電極５０’は、図示しない金属ソケットなどを介して外側電極用給電線と接続している。なお、図３では外側電極５０’の厚みを誇張して描いている。

【0051】

第１の実施形態と同様、断面図における曲率変更部分を用いて、小径部２１’などの範囲が定義可能である。外側管２０’の内径一定部分２０’Ｍから縮径部２０’Ｔを介して小径部２１’までを接続する内面は、連続的で滑らかな曲面形状であり、その断面において曲率変更部分Ｑ２０、Ｑ２１、Ｑ２２、Ｑ２３が存在する。小径部２１’は、円筒状部分を有する。

【0052】

曲率変更部分Ｑ２０は、外側管２０の径一定部分２０’Ｍと縮径部２０Ｔとの境界部分であって、曲率変更部分Ｑ２１は、縮径部２０Ｔとランプ径方向に沿った平坦状部分との境界部分に該当する。曲率変更部分Ｑ２２は、ランプ径方向に沿った平坦状部分と小径部２１’との境界部分であって、曲率変更部分Ｑ２３は、小径部２１におけるランプ後端側の縮径部分と円筒状部分との境界部分に該当する。曲率変更部分Ｑ２４は、小径部２１’における円筒状部分とランプ先端側の縮径部分との境界部分であって、底部２１Ｂは、小径部２１’の内面の凹部の底となる部分である。

【0053】

このように定めたときの小径部２１’とは、曲率変更部分Ｑ２２からチップ管先端部頂点２１Ｔとのランプ軸Ｅに沿った長さとして表される（平坦状部分は含まれない）。ランプ軸方向に沿って、内側管３０の先端部頂点３１Ｔが小径部２１の曲率変更部分Ｑ２２よりもランプ先端側（内部）にまで入り込んで嵌合状態を形成する一方、内側電極４０の端部４１’は、小径部２１の曲率変更部分Ｑ２２よりも後端側（放電容器中央側）の位置にある。すなわち、小径部２１’内にまで入り込んでいない。これによって、絶縁破壊を防ぐことができる。

【0054】

内側管３０’と放電容器１０’Ｔの小径部２１’との嵌合状態は、内側管３０’の先端部３１’と小径部２１’が互いに接触する様々な構成として実現可能であり、第１の実施形態と同様に、平坦状部分や円筒状部分を設けなくてもよい。また、外側管２０’の径一定部分２０’Ｍから縮径部２０’Ｔを介して小径部２１までを接続する内面を連続的で滑らかな曲面形状としなくてもよい。

【0055】

例えば、曲率変更部分Ｑ２０とＱ２１との間の曲面を設けず、外側管２０’の内径一定部分２０’Ｍと平坦状部分とを接続してもよく、曲率変更部分Ｑ２２とＱ２３との間の曲面を設けず、平坦状部分と円筒状部分を接続してもよく、曲率変更部分Ｑ２４と底部２１Ｂとの間の曲面とせず、平坦状底部としてもよい。

【0056】

エキシマランプの配置は、第１、第２の実施形態に限定されるものでなく、様々なバリエーションが可能である。この場合、外側電極の同電位である導電体が近接した状態で配置される状況も生じるが、上述した構成によって絶縁破壊を防ぐことができる。第１の実施形態で示したエキシマランプを、紫外線照射装置に組み込むことも可能であり、第２の実施形態で示したエキシマランプをオゾン発生装置に組み込むことも可能である。

【符号の説明】

【0057】

１０ エキシマランプ
１０Ｔ 放電容器
２０ 外側管
３０ 内側管
４０ 内側電極
５０ 外側電極
１００ オゾン発生装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】