特許 7462791 光回折素子ユニット、多段光回折装置、及び、多段光回折装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-28

(45)【発行日】2024-04-05

(54)【発明の名称】光回折素子ユニット、多段光回折装置、及び、多段光回折装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/18 20060101AFI20240329BHJP

   G02B 7/00 20210101ALI20240329BHJP

【ＦＩ】

G02B5/18

G02B7/00 B

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022560653

(86)(22)【出願日】2021-08-18

(86)【国際出願番号】 JP2021030182

(87)【国際公開番号】W WO2022097347

(87)【国際公開日】2022-05-12

【審査請求日】2023-04-17

(31)【優先権主張番号】P 2020186055

(32)【優先日】2020-11-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005186

【氏名又は名称】株式会社フジクラ

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】山岸 裕幸

【審査官】小西 隆

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１１５６０６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０００－１３１５０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３７２６５８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ５／１８

Ｇ０２Ｂ ７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透光性を有する基板と、
前記基板の一方の主面に設けられた光回折素子と、
前記一方の主面において前記光回折素子の近傍に設けられ、且つ、厚さが前記光回折素子の厚さよりも厚い３次元アライメントマークと、を備えている、
ことを特徴とする光回折素子ユニット。

【請求項2】

前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークは、前記光回折素子を連続的に取り囲む環状、又は、前記光回折素子を断続的に取り囲む略環状であり、
前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークの一部は、直線により構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の光回折素子ユニット。

【請求項3】

前記３次元アライメントマークは、厚さが最も厚い部分である肉厚部を含み、
前記肉厚部は、前記光回折素子を連続的に取り囲むように設けられている、
ことを特徴とする請求項２に記載の光回折素子ユニット。

【請求項4】

前記３次元アライメントマークは、透光性を有する材料により構成されており、且つ、厚さが最も厚い部分である肉厚部と、当該肉厚部よりも厚さが薄い部分である肉薄部と、により構成されており、
前記肉厚部と前記肉薄部との境界には、段差が設けられている、
ことを特徴とする請求項１～３の何れか１項に記載の光回折素子ユニット。

【請求項5】

前記３次元アライメントマークは、前記光回折素子と同じ材料により構成されている、ことを特徴とする請求項１～４の何れか１項に記載の光回折素子ユニット。

【請求項6】

前記光回折素子は、厚み又は屈折率が互いに独立に設定された複数のセルを含む、
ことを特徴とする請求項１～５の何れか１項に記載の光回折素子ユニット。

【請求項7】

前記複数のセルの各々は、マイクロセルである、
ことを特徴とする請求項６に記載の光回折素子ユニット。

【請求項8】

請求項１～７の何れか１項に記載の光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）重ねることによって構成された多段光回折装置であって、
ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間には、ｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在している、
ことを特徴とする多段光回折装置。

【請求項9】

前記ｎ個の光回折素子ユニットのうち何れかの光回折素子ユニットの基板の主面を平面視した場合に、前記ｎ個の光回折素子ユニットは、各光回折素子ユニットに設けられた前記３次元アライメントマークが重なるように固定されている、
ことを特徴とする請求項８に記載の多段光回折装置。

【請求項10】

請求項１～７の何れか１項に記載の光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）備えている多段光回折装置の製造方法であって、
ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間にｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在するように、ｉ番目の光回折素子ユニットとｉ＋１番目の光回折素子ユニットとを重ねる第１の工程と、
ｉ番目の光回折素子ユニットの前記３次元アライメントマークと、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークとが重なるように、ｉ番目の光回折素子ユニットに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニットの位置を調整する第２の工程と、
ｉ番目の光回折素子ユニットに対してｉ＋１番目の光回折素子ユニットを固定する第３の工程と、を含んでいる、
ことを特徴とする多段光回折装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光回折素子を備えた光回折素子ユニットに関する。また、そのような光回折素子ユニットを複数備えた多段光回折装置、及び、多段光回折装置の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、入力光の光路上にレンズや光回折素子など複数の光学素子を重ねて配置し、これらの光学素子を入力光に順に作用させる技術が開示されている。なお、光学素子の一例としては、微細な凹凸構造を有するものの、巨視的には２次元的にパターニングされ、且つ、典型的な厚さが数μｍである平面状の光回折素子が挙げられる。これらの光回折素子は、透光性を有する基板の主面上に設けられている。以下において、光回折素子及び基板のことを光回折素子ユニットと称する。

【0003】

複数の光回折素子ユニットを入力光に順に作用させる多段光回折装置においては、各光回折素子ユニットの入力光に対する位置及び方向を予め定められた位置及び方向に調整することが重要である。なぜなら、光回折素子ユニットの入力光に対する位置及び方向が予め定められた位置及び方向からずれると、所期の作用を入力光に対して及ぼすことが困難になるからである。なお、各光回折素子ユニットの入力光に対する位置及び方向の調整は、調整する光回折素子ユニットにおける基板の主面を平面視した状態で、当該主面の面内方向において当該光回折素子ユニットを動かすことによって行われる。したがって、以下においては、各光回折素子ユニットにおけるこの調整のことを面内方向における調整と呼ぶ。

【0004】

これらの面内方向における調整の方法としては、各光回折素子ユニットにおいて光回折素子が設けられている主面上の予め定められた位置に、当該光回折素子とともにアライメントマークを設けておく方法が考えられる。各基板上にアライメントマークが設けられていることにより、アライメントマークを手がかりとして、重ねられている各光回折素子ユニットの面内方向における位置及び方向を調整することができる（例えば、特許文献２参照）。

【0005】

特許文献２に記載されているアライメントマークは、フォトリソグラフィの技術を用いて薄膜材料をパターニングすることによって得られる。そのため、当該アライメントマークは、厚さ方向には構造をもたない２次元的な構造物であり、その厚さは、当該アライメントマークと同時にパターニングされる薄膜材料と同じ（例えば、０．５μｍあるいは２μｍ）である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】国際公開第２０１３／０２７３４０号公報

【文献】日本国特開２０００－９６２６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、複数の光回折素子ユニットを入力光に順に作用させる多段光回折装置においては、上述した面内方向における調整に加えて、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を予め定められた間隔（以下において、設計間隔と称する）に略一致させることが求められる。

【0008】

上述したように、特許文献２に記載されているアライメントマークは、面内方向における調整を想定したものであり、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を設計間隔に略一致させることを想定したものではない。

【0009】

本発明の一態様は、上述した課題に鑑みなされたものであり、面内方向における調整に加えて、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を規定することができる光回折素子ユニットを提供することを目的とする。また、そのような光回折素子ユニットを複数備えている多段光回折装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る光回折素子ユニットは、透光性を有する基板と、前記基板の一方の主面に設けられた光回折素子と、前記一方の主面において前記光回折素子の近傍に設けられ、且つ、厚さが前記光回折素子の厚さよりも厚い３次元アライメントマークと、を備えている。

【0011】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る多段光回折装置は、本発明の何れか一態様に係る光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）重ねることによって構成された多段光回折装置である。本多段光回折装置においては、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間には、ｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在している、構成が採用されている。

【0012】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る多段光回折装置の製造方法は、本発明の何れか一態様に係る光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）備えている多段光回折装置の製造方法である。本製造方法は、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間にｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在するように、ｉ番目の光回折素子ユニットとｉ＋１番目の光回折素子ユニットとを重ねる第１の工程と、ｉ番目の光回折素子ユニットの前記３次元アライメントマークと、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークとが重なるように、ｉ番目の光回折素子ユニットに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニットの位置を調整する第２の工程と、ｉ番目の光回折素子ユニットに対してｉ＋１番目の光回折素子ユニットを固定する第３の工程と、を含んでいる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一態様によれば、面内方向における調整に加えて、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を規定することができるアライメントマークを備えている光回折素子ユニットを提供することができる。また、そのような光回折素子ユニットを複数備えている多段光回折装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る多段光回折装置を構成する３つの光回折素子ユニットの分解斜視図である。

【図2】（ａ）は、図１に示した多段光回折装置の断面図である。（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、図１に示した多段光回折装置を構成する光回折素子ユニットの平面図である。

【図3】図１に示した多段光回折装置を構成する光回折素子の一例の斜視図である。

【図4】本発明の第２の実施形態に係る多段光回折装置の製造方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

〔第１の実施形態〕
＜多段光回折装置の構成＞
本発明の第１の実施形態に係る多段光回折装置１１について、図１、図２、及び図３を参照して説明する。図１は、多段光回折装置１１を構成する３つの光回折素子ユニット１１１～１１３の分解斜視図である。図２の（ａ）は、多段光回折装置１１の断面図であって、図１に示したＡ－Ａ’線を通り且つｚ軸に平行なＡ－Ａ’断面における断面図である。図２の（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、多段光回折装置１１を構成する光回折素子ユニット１１１及び光回折素子ユニット１１３の平面図である。図３は、多段光回折装置１１を構成する光回折素子の一例である光回折素子ｃｉの斜視図である。

【0016】

図１に示すように、多段光回折装置１１は、ｎ個（ｎは、２以上の整数）の光回折素子ユニット１１１，・・・，１１ｎを備えている。本実施形態において、ｎ＝３である。ただし、ｎは、３に限定されるものではない。また、光回折素子ユニット１１１～１１３の各々を特に区別しない場合には、各光回折素子ユニットのことを光回折素子ユニット１１ｉ（ｉは、１≦ｉ≦ｎの整数）とも呼ぶ。

【0017】

また、図２の（ａ）に示すように、多段光回折装置１１は、光回折素子ユニット１１１～１１３に加えて、基板１１４及び基板１１５を更に備えている。基板１１４及び基板１１５は、光回折素子ユニット１１１～１１３を挟持するとともに固定している。

【0018】

多段光回折装置１１は、光回折素子ユニット１１１、光回折素子ユニット１１２、及び光回折素子ユニット１１３を、この順番で重ねることによって構成されている。以下では、光回折素子ユニット１１１～１１３を重ねる方向を積層方向と呼び、積層方向に直交する平面であって、光回折素子ユニット１１１～１１３の基板１１ａ１～１１ａ３の主面と平行な方向を面内方向と呼ぶ。光回折素子ユニット１１１～１１３の積層構造については、図２の（ａ）を参照して後述する。

【0019】

図１においては、積層方向のうち光回折素子ユニット１１１から光回折素子ユニット１１３に向かう方向をｚ軸正方向と定めている。また、図１においては、基板１１ａ１～１１ａ３の主面がｘｙ平面と平行になるように、且つ、ｘ軸及びｙ軸の各々がそれぞれ光回折素子１１ｃｉの各辺と平行になるように、直交座標系を定めている。図２の（ａ）～（ｃ）及び図３に示す直交座標系も、図１に示した直交座標系と同様に定めている。

【0020】

なお、本実施形態において、光回折素子ユニット１１１と光回折素子ユニット１１２とは、同一に構成されている。したがって、図２においては、光回折素子ユニット１１２の平面図の図示を省略している。

【0021】

（光回折素子ユニットの構成）
図１に示すように、光回折素子ユニット１１ｉは、基板１１ａｉと、アライメントマーク１１ｂｉと、光回折素子１１ｃｉと、を備えている。

【0022】

基板１１ａｉは、透光性を有する板状部材である。本実施形態では、基板１１ａｉを構成する透光性を有する材料として石英ガラスを採用している。ただし、基板１１ａｉを構成する透光性を有する材料は、石英ガラスに限定されるものではなく、透光性を有するガラス又は樹脂のなかから適宜選択することができる。

【0023】

また、本実施形態において、光回折素子ユニット１１ｉは、主面の法線方向（例えばｚ軸正方向）からみた場合に、正方形となるように成形されている。以下において、光回折素子ユニット１１ｉを主面の法線方向からみることを「主面を平面視する」と表現する。

【0024】

光回折素子１１ｃｉは、基板１１ａｉの一方の主面（本実施形態では、ｚ軸正方向側の主面）に設けられた、平面状の光回折素子である。光回折素子１１ｃｉは、基板１１ａｉと同様に、透光性を有する材料により構成されている。本実施形態では、光回折素子１１ｃｉを構成する透光性を有する材料として紫外線硬化樹脂を採用している。光回折素子１１ｃｉの構成については、図３を参照して後述する。

【0025】

３次元アライメントマークの一例であるアライメントマーク１１ｂｉは、光回折素子１１ｃｉと同様に、基板１１ａｉの一方の主面に設けられている。アライメントマーク１１ｂｉは、基板１１ａｉと同様に、透光性を有する材料により構成されている。本実施形態では、アライメントマーク１１ｂｉを構成する透光性を有する材料として、光回折素子１１ｃｉを構成する材料と同じ紫外線硬化樹脂を採用している。

【0026】

アライメントマーク１１ｂｉは、基板１１ａｉの一方の主面うち、光回折素子１１ｃｉの近傍に設けられ、且つ、厚さが光回折素子１１ｃｉの厚さよりも厚い３次元的な構造物である。

【0027】

アライメントマーク１１ｂｉの厚さが光回折素子１１ｃｉの厚さよりも厚いことによって、アライメントマーク１１ｂｉは、ｉ番目の基板である基板１１ａｉと、ｉ＋１番目の基板である基板１１ａｉ＋１との間隔を設計間隔に一致させるスペーサとして機能する。設計間隔は、多段光回折装置１１の設計時に予め定められた間隔である。

【0028】

図２の（ａ）に示すように、アライメントマーク１１ｂ１は、基板１１ａ１と基板１１ａ２との間に、且つ、基板１１ａ１及び基板１１ａ２の各々に直接接するように介在しており、アライメントマーク１１ｂ２は、基板１１ａ２と基板１１ａ３との間に、且つ、基板１１ａ２及び基板１１ａ３の各々に直接接するように介在しており、アライメントマーク１１ｂ３は、基板１１ａ３と後述する基板１１５との間に、且つ、基板１１ａ３及び基板１１５の各々に直接接するように介在している。

【0029】

主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉの形状は、光回折素子１１ｃｉを連続的に取り囲む環状（本実施形態においては、外縁１１ｂｉ５が円形状である円環状）である。ただし、アライメントマーク１１ｂｉは、径方向に沿って設けられた１又は複数の溝部又は切り欠き部により複数に分割されていてもよい。この場合、アライメントマーク１１ｂｉの形状は、光回折素子１１ｃｉを断続的に取り囲む略環状になる。

【0030】

また、主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉの中央には、光回折素子１１ｃｉを収容するための空隙が設けられている。この空隙は、主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉの内縁１１ｂｉ３であって、正方形と円形とを組み合わせた形状を有する内縁１１ｂｉ３により取り囲まれており、当該正方形の中心と当該円形の中心とは一致している。なお、正方形の中心とは、２本の対角線同士の交点と意味し、正方形の重心とも言い替えられる。本実施形態において、空隙を構成する円の直径は、空隙を構成する正方形の一辺の長さより長く、且つ、当該正方形の対角線よりも短い（図２の（ｂ）及び（ｃ）参照）。このように、主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉは、主面の直線により構成された構造を含んでいる。ただし、この空隙は、光回折素子１１ｃｉを包含するように構成されていればよく、その形状は、正方形及び円形を組み合わせた形状に限定されるものではない。

【0031】

なお、本実施形態においては、主面を平面視した場合において、内縁１１ｂｉ３を構成する正方形の４つの角がアライメントマーク１１ｂｉの境界１１ｂｉ４に到達している。したがって、境界１１ｂｉ４も直線により構成された構造を含んでいると言える。ただし、内縁１１ｂｉ３を構成する正方形の４つの角は、境界１１ｂｉ４に到達しておらず、境界１１ｂｉ４に包含されていてもよい。

【0032】

このように、主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉが円環状に構成されていることによって、光回折素子１１ｃｉは、アライメントマーク１１ｂｉの空隙の内部に収容される（図２の（ａ）参照）。

【0033】

アライメントマーク１１ｂｉは、図４を参照して後述するように、ｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１の位置及び面内方向における向きを調整するための手がかりとして利用される。光回折素子ユニット１１ｉに対する光回折素子ユニット１１ｉ＋１の向きを特定するために、主面を平面視した場合に、アライメントマーク１１ｂｉは、直線により構成された構造を含むことが好ましい。図２の（ｂ）及び（ｃ）に示すように、平面視した場合のアライメントマーク１１ｂｉの形状は、内縁１１ｂｉ３、境界１１ｂｉ４、及び外縁１１ｂｉ５により規定される。本実施形態において、アライメントマーク１１ｂｉは、外縁１１ｂｉ５の形状が等方的な円形状であるものの、内縁１１ｂｉ３及び境界１１ｂｉ４が正方形状及び円形状を組み合わせた形状であり、直線により構成された構造を含む。

【0034】

ただし、アライメントマーク１１ｂｉの構造は、隣接する光回折素子ユニット（例えば、光回折素子ユニット１１ｉ及び光回折素子ユニット１１ｉ＋１）同士の向きが一致しているか否かを特定可能な構造に限定されるものではない。例えば、アライメントマーク１１ｂｉは、内縁１１ｂｉ３、境界１１ｂｉ４、及び外縁１１ｂｉ５が何れも円形であり、それぞれが同心円になるように構成されていてもよい。

【0035】

図２の（ａ）に示すように、アライメントマーク１１ｂｉは、厚さが最も厚い部分である肉厚部１１ｂｉ２と、当該肉厚部よりも厚さが薄い部分である肉薄部１１ｂｉ１と、により構成されている。本実施形態において、肉厚部１１ｂｉ２は、光回折素子１１ｃｉを連続的に取り囲むように設けられており、肉薄部１１ｂｉ１は、肉厚部１１ｂｉ２の内側に、且つ、肉厚部１１ｂｉ２に沿って設けられている（図２の（ｂ）及び（ｃ）参照）。

【0036】

本実施形態においては、肉薄部１１ｂｉ１の厚さと肉厚部１１ｂｉ２の厚さとは、不連続に変化する。したがって、肉薄部１１ｂｉ１と肉厚部１１ｂｉ２との境界１１ｂｉ４には段差が設けられている（図２の（ｂ）及び（ｃ）参照）。

【0037】

多段光回折装置１１においては、光回折素子ユニット１１１～１１３のうち何れかの光回折素子ユニット１１ｉの基板１１ａｉの主面を平面視した場合に、光回折素子ユニット１１１～１１３は、各光回折素子ユニット１１ｉに設けられたアライメントマーク１１ｂｉが重なるように、紫外線硬化樹脂を用いて固定されている。ただし、光回折素子ユニット１１１～１１３の各々の相対的な位置を固定する固定手段は、光硬化性樹脂であればよく、紫外線硬化型樹脂に限定されるものではなく、適宜選択することができる。

【0038】

なお、アライメントマーク１１ｂｉが重なっている状態とは、平面視した場合に、ｉ番目の光回折素子ユニットのアライメントマーク１１ｂｉの形状と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットのアライメントマーク１１ｂｉ＋１の形状とが略一致している状態を意味する。なお、平面視した場合におけるアライメントマーク１１ｂｉの形状は、内縁１１ｂｉ３、境界１１ｂｉ４、及び外縁１１ｂｉ５により規定される。

【0039】

以上のように、光回折素子ユニット１１１～１１３が重ねられた多段光回折装置１１において、（１）光回折素子１１ｃ１が収容されている空隙は、基板１１ａ１と、基板１１ａ２と、アライメントマーク１１ｂ１とにより密閉されており、（２）光回折素子１１ｃ２が収容されている空隙は、基板１１ａ２と、基板１１ａ３と、アライメントマーク１１ｂ２とにより密閉されており、（３）光回折素子１１ｃ３が収容されている空隙は、基板１１ａ３と、基板１１５と、アライメントマーク１１ｂ３とにより密閉されている。

【0040】

本実施形態において、これらの密閉された空隙には、ガスの一例である乾燥空気が充填されている。光回折素子１１ｃｉは、空気中に含まれる水分により経年劣化（例えば加水分解）する場合がある。光回折素子１１ｃｉが収容されている空隙に乾燥空気を充填し、且つ、当該空隙を密閉することによって、光回折素子１１ｃｉを異物（水分を含む）から保護することができる。

【0041】

ただし、これらの密閉された空隙に充填されるガスは、酸素による酸化を抑制するという観点では、乾燥窒素であることが好ましい。ただし、このガスは、乾燥空気及び乾燥窒素に限定されるものではなく、適宜選択することができる。また、これらの密閉された空隙に充填するガスの圧力は、適宜選択することができ、大気圧と等しくてもよいし、大気圧より低くてもよいし、大気圧よりも高くてもよい。

【0042】

また、これらの密閉された空隙には、ガスの代わりに透光性を有する液体が充填されていてもよい。透光性を有する液体の一例としては、オイルが挙げられる。オイルの種類は、特に限定されないが、シリコーン系又はパラフィン系のオイルが安定性及び入手性の面で優れている。また、オイルの種類を適宜選択することによって、オイルの屈折率を所望の値に近づけることができる。したがって、光回折素子１１ｃｉと、光回折素子１１ｃｉに接するオイルとの屈折率差、及び、当該オイルと、基板１１ａｉ又は基板１１５との屈折率差を設計時に定めた屈折率差に近づけることができる。

【0043】

（光回折素子の構成）
図３に示すように、光回折素子１１ｃｉは、平面状の光回折素子であり、厚み又は屈折率が個別に且つ互いに独立に設定された複数のマイクロセルにより構成されている。ここで、マイクロセルとは、例えば、セルサイズが１０μｍ未満のセルのことを指す。また、セルサイズとは、セルの面積の平方根のことを指す。例えば、マイクロセルの平面視形状が正方形である場合、セルサイズとは、セルの一辺の長さである。セルサイズの下限は、特に限定されないが、例えば１ｎｍである。また、光回折素子１１ｃｉの厚み（すなわち、各マイクロセルの厚みのうち最大の厚み）は、特に限定されないが、典型的には数μｍである。

【0044】

上述した複数のマイクロセルは、基板１１ａｉの有効領域内に形成されている。本実施形態において、基板１１ａｉの有効領域は、一辺１．０ｍｍの正方形であり、マトリックス状に配置された１０００×１０００個のマイクロセルにより構成されている。各マイクロセルは、厚さ１００μｍのベース上に形成された、１辺１μｍの底辺を有するピラーにより構成されている。各ピラーの高さは、例えば、０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍ、…、１１００ｎｍ、１２００ｎｍ（１００ｎｍステップ１３段階）の何れかであり、そのピラーにより構成されるマイクロセルの屈折率が所期の屈折率になるように決められている。

【0045】

なお、本実施形態において、光回折素子１１ｃｉにおけるピラーのサイズは１μｍであるが、これに限定されない。すなわち、光回折素子１１ｃｉのピラーのサイズは、１０μｍ未満であってもよい。また、光回折素子１１ｃｉのセル数及び有効領域サイズも任意である。

【0046】

多段光回折装置１１は、各マイクロセルを透過した光（主に可視光及び赤外光の少なくとも何れかを想定）を相互に干渉させることによって、予め定められた光演算を実行するように設計されたものである。このような光回折素子１１ｃｉを並べてＮ回の光演算を順次実行する場合、基板１１ａ１～１１ａ３の相対的な位置関係を所期の関係に保つことが重要になる。

【0047】

多段光回折装置１１においては、アライメントマーク１１ｂｉを手がかりとして、重ねられている各光回折素子ユニット１１ｉの面内方向における調整を実施することができる。なお、面内方向における調整の方法については、図４を参照して後述する。また、多段光回折装置１１においては、アライメントマーク１１ｂｉの厚さを、設計間隔に略一致させておくことにより、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を設計間隔に略一致させることができる。したがって、多段光回折装置１１は、アライメントマーク１１ｂｉを用いて、面内方向における調整に加えて、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を規定することができる。

【0048】

〔第２の実施形態〕
本発明の第２の実施形態に係る多段光回折装置の製造方法Ｍ１について、図４を参照して説明する。本実施形態では、第１の実施形態で説明した多段光回折装置１１を説明する場合を例に、製造方法Ｍ１について説明する。図４は、製造方法Ｍ１のフローチャートである。なお、第１の実施形態にて説明した多段光回折装置１１の構成については、その説明を省略する。

【0049】

図４に示すように、製造方法Ｍ１は、成形工程Ｓ１１と、積層工程Ｓ１２と、調整工程Ｓ１３と、固定工程Ｓ１４とを含んでいる。

【0050】

＜成形工程＞
成形工程Ｓ１１は、基板１１ａｉの一方の主面の有効領域に、アライメントマーク１１ｂｉと、光回折素子１１ｃｉとを形成する工程である。本実施形態においては、以下のように、光造形の手法を用いてアライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉを形成する。成形工程Ｓ１１を実施することによって、光回折素子ユニット１１１～１１３（図１参照）を製造することできる。

【0051】

まず、基板１１ａｉの一方の主面に直接接するように未硬化状態の紫外線硬化樹脂の層を形成する。そのうえで、前記有効領域において、各ピラーに対応する所定の領域ごとに、所定の強度及びパルス幅の紫外線レーザ光を所定の回数照射することによって、光回折素子１１ｃｉ（図３参照）を形成する。また、前記有効領域を取り囲む所定の領域に、紫外線レーザ光を照射することによって、アライメントマーク１１ｂｉ（図１参照）を形成する。
本実施形態においては、アライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉを形成するための紫外線硬化樹脂として、同一の紫外線硬化樹脂を用いる。したがって、アライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉは、同じ材料により構成されている。

【0052】

また、本実施形態においては、単一の光造形のプロセスを用いて、アライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉの各々を区別することなく、アライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉを一括して形成する。これにより、アライメントマーク１１ｂｉを形成する光造形のプロセスと、光回折素子１１ｃｉを形成する光造形のプロセスとの間において、光造形に用いる座標系がリセットされることを回避することができる。座標系がリセットされた場合、リセットの前後において座標系がランダムにずれるため、アライメントマーク１１ｂｉと光回折素子１１ｃｉとの相対位置が、光回折素子ユニット１１ｉごとにばらついてしまう。その結果、アライメントマーク１１ｂｉを手がかりとして面内方向における位置の調整を実施することができなくなる。アライメントマーク１１ｂｉ及び光回折素子１１ｃｉを一括して形成することにより、各光回折素子ユニット１１ｉにおけるアライメントマーク１１ｂｉと光回折素子１１ｃｉとの相対位置を一致させることができる。

【0053】

＜繰り返し工程＞
積層工程Ｓ１２、調整工程Ｓ１３、及び固定工程Ｓ１４の各々は、それぞれ、請求の範囲における第１の工程、第２の工程、及び、第３の工程の一例である。積層工程Ｓ１２、調整工程Ｓ１３、及び固定工程Ｓ１４は、ｉ≦ｎ－１である限り繰り返される。多段光回折装置１１においては、ｎ＝３であるので、本実施形態において、積層工程Ｓ１２、調整工程Ｓ１３、及び固定工程Ｓ１４は、２回繰り返される。

【0054】

（積層工程）
積層工程Ｓ１２は、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニット１１ｉとｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１とを重ねる工程である。積層工程Ｓ１２において、光回折素子ユニット１１ｉ及び光回折素子ユニット１１ｉ＋１は、光回折素子ユニット１１ｉの基板１１ａｉと、光回折素子ユニット１１ｉ＋１の基板１１ａｉ＋１との間にｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉのアライメントマーク１１ｂｉが介在するように重ねられる。積層工程Ｓ１２を実施することによって、基板１１ａｉと基板１１ａｉ＋１との間隔が設計間隔に略一致する。

【0055】

（調整工程）
調整工程Ｓ１３は、光回折素子ユニット１１ｉとｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１とにおいて、面内方向における調整を実施する工程である。具体的には、ｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉのアライメントマーク１１ｂｉと、ｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１のアライメントマーク１１ｂｉ＋１とが重なるように、ｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１の位置及び面内方向における向きを調整する。

【0056】

ｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１の位置を調整する場合、アライメントマーク１１ｂｉ，１１ｂｉ＋１の外縁１１ｂｉ５，１１ｂｉ＋１５及び境界１１ｂｉ４，１１ｂｉ＋１４を手がかりとして利用することができるし、ｉ番目の光回折素子ユニット１１ｉに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニット１１ｉ＋１の面内方向における向きを調整する場合、アライメントマーク１１ｂｉ，１１ｂｉ＋１の内縁１１ｂｉ３，１１ｂｉ＋１３を利用することができる。

【0057】

調整工程Ｓ１３は、多段光回折装置の製造者が顕微鏡像をみながら手作業で実施してもよいし、面内方向における位置を自動で調整する調整装置が実施してもよい。

【0058】

（固定工程）
固定工程Ｓ１４は、光回折素子ユニット１１ｉに対して光回折素子ユニット１１ｉ＋１を固定する工程である。本実施形態においては、互いに接している光回折素子ユニット１１ｉのアライメントマーク１１ｂｉと、光回折素子ユニット１１ｉ＋１の１１ａｉ＋１とを、紫外線硬化樹脂を用いて接着する。ただし、光回折素子ユニット１１ｉ＋１は、光回折素子ユニット１１ｉに対して直接固定されていてもよいし、他の部材を介して間接的に固定されていてもよい。他の部材の一例としては、重ねられた状態の光回折素子ユニット１１１～１１３を収容する筒状部材が挙げられる。筒状部材の横断面の形状は、平面視した場合における基板１１ａｉの形状に対応して定めればよい。

【0059】

（その他の工程）
なお、光回折素子１１ｃｉが収容される空隙にオイルなどの液体を充填する場合、調整工程Ｓ１３と固定工程Ｓ１４との間に、当該空隙にオイルを満たす工程を追加すればよい。

【0060】

また、多段光回折装置１１は、光回折素子ユニット１１３の光回折素子１１ｃ３が収容されている空隙を密閉する基板１１５を備えている。この場合、積層工程Ｓ１２、調整工程Ｓ１３、及び固定工程Ｓ１４の繰り返しが実施されたあとに、光回折素子ユニット１１３の基板１１ａ３と基板１１５とを重ねる工程と、光回折素子ユニット１１３に対して基板１１５を固定する工程と、を実施する。本実施形態において、基板１１ａ３と基板１１５とは、各々の間にアライメントマーク１１ｂ３が介在するように重ねられる。また、基板１１５は、アライメントマーク１１ｂ３に対して固定される。

【0061】

〔まとめ〕
本発明の第１の態様に係る光回折素子ユニットは、透光性を有する基板と、前記基板の一方の主面に設けられた光回折素子と、前記一方の主面において前記光回折素子の近傍に設けられ、且つ、厚さが前記光回折素子の厚さよりも厚い３次元アライメントマークと、を備えている。

【0062】

このように構成された光回折素子ユニットを複数重ねて多段光回折装置を構成する場合に、多段光回折装置の製造者、あるいは、面内方向における調整を自動で行う調整装置は、３次元アライメントマークを手がかりとして、重ねられている各光回折素子ユニットの面内方向における調整を実施することができる。また、多段光回折装置の製造者は、３次元アライメントマークの厚さを、上述した設計間隔に略一致させておくことにより、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を設計間隔に略一致させることができる。したがって、第１の態様は、面内方向における調整に加えて、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を規定することができる。

【0063】

また、本発明の第２の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第１の態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークは、前記光回折素子を連続的に取り囲む環状、又は、前記光回折素子を断続的に取り囲む略環状であり、前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークは、少なくとも直線により構成された構造を含む、構成が採用されている。

【0064】

このように構成された光回折素子ユニットを複数重ねて多段光回折装置を構成する場合に、多段光回折装置の製造者、あるいは、面内方向における調整を自動で行う調整装置は、３次元アライメントマークの形状と、少なくとも直線により構成された構造とを手がかりとして、重ねられている各光回折素子ユニットの面内方向における位置及び方向を調整することができる。したがって、第２の態様は、光回折素子ユニットを複数重ねて多段光回折装置を構成する場合に、面内方向における調整を容易に行うことができる。

【0065】

また、本発明の第３の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第２の態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、厚さが最も厚い部分である肉厚部を含み、前記肉厚部は、前記光回折素子を連続的に取り囲むように設けられている、構成が採用されている。

【0066】

このように構成された光回折素子ユニットを複数重ねて多段光回折装置を構成する場合に、光回折素子は、当該光回折素子が設けられている基板と、当該基板の一方の主面に設けられた３次元アライメントマークと、当該３次元アライメントマークの上に重ねられた別の基板と、により取り囲まれた空間内に収容される。

【0067】

そのうえで、上記の構成によれば、肉厚部が光回折素子を連続的に取り囲んでいる。したがって、光回折素子を収容している空間は、２枚の基板と、当該２枚の基板の間に介在する３次元アライメントマークとにより密閉される。したがって、第３の態様は、光回折素子を、大気中に含まれ得る水分や外部から加わり得る衝撃などから保護することができる。

【0068】

また、本発明の第４の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第１の態様～第３の態様の何れか一態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、透光性を有する材料により構成されており、且つ、厚さが最も厚い部分である肉厚部と、当該肉厚部よりも厚さが薄い部分である肉薄部と、により構成されており、前記肉厚部と前記肉薄部との境界には、段差が設けられている、構成が採用されている。

【0069】

複数の光回折素子ユニットを重ねてなる多段光回折装置において面内方向における調整を実施する場合、固定されている側の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークと、調整する側の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークと、を顕微鏡で観察し、３次元アライメントマーク同士を一致させる。このとき、多段光回折装置の製造者、あるいは、面内方向における調整を自動で行う調整装置は、光回折素子及び３次元アライメントマークの大きさに応じて顕微鏡の倍率を決定するので、顕微鏡の焦点深度は、光回折素子及び３次元アライメントマークの大きさに応じて自動的に決まる。

【0070】

上記の構成によれば、基板の厚さと３次元アライメントマークの厚さとの和が厚いことに起因して両方の３次元アライメントマークにピントを合わせることが難しい場合であっても、肉薄部の外縁に設けられた段差を手がかりにすることによって、３次元アライメントマーク同士を一致させることができる。

【0071】

また、本発明の第５の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第１の態様～第４の態様の何れか一態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、前記光回折素子と同じ材料により構成されている、構成が採用されている。

【0072】

上記の構成によれば、３次元アライメントマークを光回折素子とは異なる材料を用いて構成する場合と比較して、材料ごとの装置コストを削減することができ、且つ、製造条件を単純化することができる。

【0073】

また、本発明の第６の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第１の態様～第５の態様の何れか一態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記光回折素子は、厚み又は屈折率が互いに独立に設定された複数のセルを含む、構成が採用されている。

【0074】

多段光回折装置が含む光回折素子の例としては、厚み又は屈折率が互いに独立に設定された複数のセルを含む光回折素子が挙げられる。

【0075】

また、本発明の第７の態様に係る光回折素子ユニットは、上述した第６の態様に係る光回折素子ユニットの構成に加えて、前記複数のセルの各々は、マイクロセルである、構成が採用されている。

【0076】

なお、マイクロセルとは、例えば、セルサイズが１０μｍ未満のセルのことを指す。また、セルサイズとは、セルの面積の平方根のことを指す。

【0077】

本発明の第８の態様に係る多段光回折装置は、上述した第１の態様～第７の態様の何れか一態様に係る光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）重ねることによって構成された多段光回折装置であって、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間には、ｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在している。

【0078】

多段光回折装置の製造者、あるいは、面内方向における調整を自動で行う調整装置は、３次元アライメントマークを手がかりとして、重ねられている各光回折素子ユニットの面内方向における調整を実施することができる。また、多段光回折装置の製造者は、３次元アライメントマークの厚さを、上述した設計間隔に略一致させておくことにより、積層方向において隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を設計間隔に略一致させることができる。したがって、第７の態様においては、各光回折素子ユニットに設けられた３次元アライメントマークを用いて面内方向における調整を実施可能であり、且つ、各光回折素子ユニットに設けられた３次元アライメントマークを用いて隣接する光回折素子ユニット同士の間隔を規定することができる。

【0079】

また、本発明の第９の態様に係る多段光回折装置は、上述した第８の態様に係る多段光回折装置の構成に加えて、前記ｎ個の光回折素子ユニットのうち何れかの光回折素子ユニットの基板の主面を平面視した場合に、前記ｎ個の光回折素子ユニットは、各光回折素子ユニットに設けられた前記３次元アライメントマークが重なるように固定されている、構成が採用されている。

【0080】

多段光回折装置において、各光回折素子ユニットに設けられた前記３次元アライメントマークが重なっているということは、各光回折素子ユニットに設けられた光回折素子の面内方向における位置の調整が完了していることを意味する。したがって、第８の態様によれば、各光回折素子ユニットに設けられた光回折素子の面内方向における位置が調整済である多段光回折装置を提供することができる。

【0081】

本発明の第１０の態様に係る多段光回折装置の製造方法は、上述した第１の態様から第７の態様の何れか一態様に係る光回折素子ユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）備えている多段光回折装置の製造方法であって、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）の光回折素子ユニットの基板と、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの基板との間にｉ番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークが介在するように、ｉ番目の光回折素子ユニットとｉ＋１番目の光回折素子ユニットとを重ねる第１の工程と、ｉ番目の光回折素子ユニットの前記３次元アライメントマークと、ｉ＋１番目の光回折素子ユニットの３次元アライメントマークとが重なるように、ｉ番目の光回折素子ユニットに対するｉ＋１番目の光回折素子ユニットの位置を調整する第２の工程と、ｉ番目の光回折素子ユニットに対してｉ＋１番目の光回折素子ユニットを固定する第３の工程と、を含んでいる。

【0082】

上記の構成によれば、積層方向において隣接するｉ番目の光回折素子ユニットとｉ＋１番目の光回折素子ユニットとの間隔が３次元アライメントマークにより規定されており、且つ、各光回折素子ユニットに設けられた光回折素子の面内方向における位置が調整済である多段光回折装置を提供することができる。

【0083】

〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【0084】

なお、本明細書における「光回折素子」は、或る情報（例えば、或る画像）を表す光信号を別の情報（例えば、別の画像）を表す光信号に変換する素子である。このため、或る画像を表す電気信号を別の画像を表す電気信号に変換する素子をフィルタと呼ぶのと同様の意味で、本明細書における「光回折素子」は、「光フィルタ」と言い換えることができる。この場合、本明細書に開示した光演算システムは、以下のように表現することもできる。

【0085】

本発明の第Ａの態様に係るフィルタユニットは、透光性を有する基板と、前記基板の一方の主面に設けられた光フィルタと、前記一方の主面において前記光フィルタの近傍に設けられ、且つ、厚さが前記光フィルタの厚さよりも厚い３次元アライメントマークと、を備えている。

【0086】

また、本発明の第Ｂの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ａの態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークは、前記光フィルタを連続的に取り囲む環状、又は、前記光フィルタを断続的に取り囲む略環状であり、前記主面を平面視した場合に、前記３次元アライメントマークは、少なくとも直線により構成された構造を含む、構成が採用されている。

【0087】

また、本発明の第Ｃの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ｂの態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、厚さが最も厚い部分である肉厚部を含み、前記肉厚部は、前記光フィルタを連続的に取り囲むように設けられている、構成が採用されている。

【0088】

また、本発明の第Ｄの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ａの態様～第Ｃの態様の何れか一態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、透光性を有する材料により構成されており、且つ、厚さが最も厚い部分である肉厚部と、当該肉厚部よりも厚さが薄い部分である肉薄部と、により構成されており、前記肉厚部と前記肉薄部との境界には、段差が設けられている、構成が採用されている。

【0089】

また、本発明の第Ｅの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ａの態様～第Ｄの態様の何れか一態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記３次元アライメントマークは、前記光フィルタと同じ材料により構成されている、構成が採用されている。

【0090】

また、本発明の第Ｆの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ａの態様～第Ｅの態様の何れか一態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記光フィルタは、屈折率が互いに独立に設定された複数のセルを含む、構成が採用されている。

【0091】

また、本発明の第Ｇの態様に係るフィルタユニットは、上述した第Ｆの態様に係るフィルタユニットの構成に加えて、前記複数のセルの各々は、マイクロセルである、構成が採用されている。

【0092】

本発明の第Ｈの態様に係る多段光フィルタ装置は、上述した第Ａの態様～第Ｇの態様の何れか一態様に係るフィルタユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）重ねることによって構成された多段光フィルタ装置であって、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）のフィルタユニットの基板と、ｉ＋１番目のフィルタユニットの基板との間には、ｉ番目のフィルタユニットの３次元アライメントマークが介在している。

【0093】

また、本発明の第Ｉの態様に係る多段光フィルタ装置は、上述した第Ｈの態様に係る多段光フィルタ装置の構成に加えて、前記ｎ個のフィルタユニットのうち何れかのフィルタユニットの基板の主面を平面視した場合に、前記ｎ個のフィルタユニットは、各フィルタユニットに設けられた前記３次元アライメントマークが重なるように固定されている、構成が採用されている。

【0094】

本発明の第Ｊの態様に係る多段光フィルタ装置の製造方法は、上述した第Ａの態様から第Ｇの態様の何れか一態様に係るフィルタユニットをｎ個（ｎは、２以上の整数）備えている多段光フィルタ装置の製造方法であって、ｉ番目（ｉは、１≦ｉ≦ｎ－１の整数）のフィルタユニットの基板と、ｉ＋１番目のフィルタユニットの基板との間にｉ番目のフィルタユニットの３次元アライメントマークが介在するように、ｉ番目のフィルタユニットとｉ＋１番目のフィルタユニットとを重ねる第１の工程と、ｉ番目のフィルタユニットの前記３次元アライメントマークと、ｉ＋１番目のフィルタユニットの３次元アライメントマークとが重なるように、ｉ番目のフィルタユニットに対するｉ＋１番目のフィルタユニットの位置を調整する第２の工程と、ｉ番目のフィルタユニットに対してｉ＋１番目のフィルタユニットを固定する第３の工程と、を含んでいる。

【符号の説明】

【0095】

１１ 多段光回折装置
１１１，１１２，１１３ 光回折素子ユニット
１１ａ１，１１ａ２，１１ａ３ 基板
１１ｂ１，１１ｂ２，１１ｂ３ アライメントマーク（３次元アライメントマーク）
１１ｂ１１，１１ｂ３１ 肉薄部
１１ｂ１２，１１ｂ３２ 肉厚部
１１ｂ１３，１１ｂ３３ 内縁
１１ｂ１４，１１ｂ３４ 境界
１１ｂ１５，１１ｂ３５ 外縁
１１ｃ１，１１ｃ２，１１ｃ３ 光回折素子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】