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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-03-29
(45)【発行日】2024-04-08
(54)【発明の名称】めっき装置及びめっき方法
(51)【国際特許分類】
C25D 21/10 20060101AFI20240401BHJP
C25D 7/12 20060101ALN20240401BHJP
【ＦＩ】
C25D21/10 301
C25D7/12
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2023218588
(22)【出願日】2023-12-25
【審査請求日】2023-12-25
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000233044
【氏名又は名称】株式会社日立パワーソリューションズ
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 好浩
(72)【発明者】
【氏名】岡崎 浩平
(72)【発明者】
【氏名】高星 徹也
(72)【発明者】
【氏名】森 歩
【審査官】菅原 愛
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－０４６１５４（ＪＰ，Ａ）
【文献】中国実用新案第２１９１３６９９６（ＣＮ，Ｕ）
【文献】国際公開第２０２２／１６６４０６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０２３－３２１８９７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１９３３５８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２２－１２５５０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１５１８７４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ２５Ｄ ７／１２
Ｃ２５Ｄ ２１／１０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被めっき物に電解めっきを行うめっき装置であって、前記めっき装置は、揺動ユニットと、めっき槽と、攪拌パネルと、を含んで構成され、
前記揺動ユニットは、往復動機構と、揺動機構と、を有し、
前記往復動機構は、前記被めっき物のめっき面に平行な方向を示す水平方向において前記被めっき物より大きな範囲で設定した攪拌範囲で前記攪拌パネルが所定の往復動速度で往復動するよう前記揺動機構を往復動させ、
前記揺動機構は、前記めっき槽内において、ホルダに保持された前記被めっき物にめっき液を均一に供給するように、前記水平方向において前記被めっき物の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で前記攪拌パネルを前記往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら前記往復動機構の動きに同期して前記攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項2】
前記攪拌パネルは、矩形の板状部材であり、前記攪拌パネルに所定の面積を有する矩形状で合同な形状を有する複数の穿孔部を設けることによって形成される少なくとも２本以上の攪拌棒を有し、前記攪拌棒は、水平断面の形状が三角形または台形である柱状構造物であり、前記柱状構造物は、所定の傾斜角で構成する二つの傾斜面を備え、前記攪拌パネルが揺動するときに、二つの前記傾斜面が前記被めっき物に対向するように配設されること、
を特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項3】
前記被めっき物のめっきパターンに応じて、当該被めっき物に前記めっき液を均一に供給するように、前記めっき装置を本運用する前段階のテスト運用において、前記往復動速度の値と、前記揺動速度の値と、前記攪拌棒の前記傾斜角の値と、が設定されること、を特徴とする請求項２に記載のめっき装置。
【請求項4】
前記往復動機構は、台座上に所定の間隔で離間して配設された２本のガイドと、空気圧によって駆動するエアシリンダと、を備え、前記エアシリンダは、第一の吸排気口と、第二の吸排気口と、を備え、
前記第一の吸排気口と前記第二の吸排気口とは、それぞれ通気管を介して吸排気切替機構に接続され、
前記吸排気切替機構は、空気供給装置に接続され、
前記吸排気切替機構の動作によって、前記空気供給装置からの圧縮空気が、前記第一の吸排気口及び前記第二の吸排気口のうちの一方を介して吸気され、他方を介して排気される処理が交互に繰り返されることで、前記エアシリンダ内のロッドを往復動運動させること、
を特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項5】
前記往復動機構は、前記ガイドに沿って移動可能な接続機構を有するベース部と、
前記ベース部の下面に設置され、前記ベース部と前記ロッドを連結する連結部と、
前記ベース部における前記めっき槽側の端部に直立した状態で当該ベース部に固着接続された部材取付部と、を備え、
前記ベース部が２本の前記ガイドに沿って安定して移動するように、所定の離間距離を有する１対の前記接続機構が前記ベース部の下面に２組配設され、それぞれの１対の前記接続機構がそれぞれの前記ガイドに沿って移動可能となるように接続され、
前記ロッドが移動すると、前記連結部を介して駆動力が前記ベース部に伝達され、２組の１対の前記接続機構が２本の前記ガイド上をスライドすることで、前記ロッドの往復動運動に同期して前記揺動機構が往復動すること、
を特徴とする請求項４に記載のめっき装置。
【請求項6】
前記揺動機構は、前記部材取付部の所定の位置でモータ把持部を介して設置され、回転駆動力を発生するモータと、
前記モータの駆動軸にダイレクト接続され、前記モータの前記回転駆動力を受ける回転軸と、
前記回転軸に固着接続された回転板から構成される回転体と、を備え、
前記モータは、前記攪拌パネルを所定の前記揺動速度で揺動させるように、所定の回転速度で当該回転体を円運動させること、
を特徴とする請求項５に記載のめっき装置。
【請求項7】
前記揺動機構は、前記回転板の中心から所定量分外れた位置において前記回転板の穿孔に挿入されたカムフォロアを備えるとともに、
長孔を有する水平面上の平面プレート部と、前記平面プレート部における前記めっき槽側の端部に鉛直に固着接続された直立プレート部と、を含むリンクプレートと、
前記部材取付部の上部に配設され、前記直立プレート部と接続するスライド部と、
前記直立プレート部と前記攪拌パネルとを接続する攪拌パネル取付部品と、を備え、
前記回転板は、前記回転軸を介して前記モータから前記回転駆動力を付与されて所定の回転速度で円運動し、前記カムフォロアは、前記回転板の中心軸との離間距離を保持したまま前記回転板に同期して円運動することによって偏心輪の移動軌跡を形成し、前記カムフォロアを挿入した長孔が前記カムフォロアの動きに応じて移動することで、前記回転板の円運動を直線運動である揺動運動に変換して前記リンクプレートに伝達し、前記リンクプレートが前記スライド部を介して前記攪拌パネルを前記揺動速度で揺動させること、
を特徴とする請求項６に記載のめっき装置。
【請求項8】
前記被めっき物のパターンに応じて前記攪拌棒の傾斜角が変更される場合は、所定の攪拌パネル取付部品にねじ止めされた前記攪拌パネルが取り外され、新たに準備された別の攪拌パネルが前記攪拌パネル取付部品にねじ止めして取り付けられること、を特徴とする請求項２に記載のめっき装置。
【請求項9】
前記スライド部の移動を案内するリニアガイドの前記水平方向における長さは、少なくとも前記揺動範囲の長さと前記攪拌パネルの長さとの差分以上の長さで設定されていること、を特徴とする請求項７に記載のめっき装置。
【請求項10】
被めっき物に電解めっきを行うめっき方法であって、揺動ユニットの往復動機構が、前記被めっき物のめっき面に平行な方向を示す水平方向において前記被めっき物より大きな範囲で設定した攪拌範囲で攪拌パネルが所定の往復動速度で往復動するよう揺動機構を往復動させ、
前記揺動ユニットの前記揺動機構が、めっき槽内において、ホルダに保持された前記被めっき物にめっき液を均一に供給するように、前記水平方向において前記被めっき物の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で前記攪拌パネルを前記往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら前記往復動機構の動きに同期して前記攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌すること、
を特徴とするめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、めっき装置及びめっき方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェハやプリント基板の電解めっきに関して、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。すなわち、特許文献１には、「基板を前記めっき液中に浸漬させ、前記めっき液中のアノードと前記基板との間に電流を流して前記基板をめっきする」ことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１７－１８３３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の技術では、パドルが往復運動したときにパドルの両側端が基板の外側に位置するように設定される。これによって、めっき液の攪拌に伴う流動が被めっき物の全域に伝搬するようにしている。しかしながら、被めっき物の表面の回路パターン（めっきパターン）の複雑化・微細化が進むにつれて、被めっき物に均一にめっきを施すことが困難になる可能性がある。
【0005】
なお、特許文献１に記載の技術において、パドルを往復させる際の速度を速くすると、めっき液の流動が促進されるため、めっきの均一化を図ることが可能になるが、その一方で、めっき液の液はねが生じやすくなる。めっき液には硫酸イオン等が含まれることが多いため、液はねを抑制することが望ましい。つまり、めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物に適切にめっきを施すことが望ましいが、そのような技術については特許文献１には記載されていない。
【0006】
そこで、本開示は、めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物に適切にめっきを施すようにしためっき装置及びめっき方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記した課題を解決するために、本開示は、被めっき物に電解めっきを行うめっき装置であって、前記めっき装置は、揺動ユニットと、めっき槽と、攪拌パネルと、を含んで構成され、前記揺動ユニットは、往復動機構と、揺動機構と、を有し、前記往復動機構は、前記被めっき物のめっき面に平行な方向を示す水平方向において前記被めっき物より大きな範囲で設定した攪拌範囲で前記攪拌パネルが所定の往復動速度で往復動するよう前記揺動機構を往復動させ、前記揺動機構は、前記めっき槽内において、ホルダに保持された前記被めっき物にめっき液を均一に供給するように、前記水平方向において前記被めっき物の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で前記攪拌パネルを前記往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら前記往復動機構の動きに同期して前記攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌することを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物に適切にめっきを施すようにしためっき装置及びめっき方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施形態に係るめっき装置の構成図である。
【図2】実施形態に係るめっき装置の攪拌パネルの攪拌範囲及び揺動範囲に関する説明図である。
【図3A】実施形態に係るめっき装置の攪拌パネルの斜視図である。
【図3C】比較例に係るめっき装置の攪拌棒に関する説明図である。
【図3D】実施形態に係るめっき装置の攪拌棒に関する説明図である。
【図4A】実施形態に係るめっき装置の往復動機構の概略的な側面図である。
【図4B】実施形態に係るめっき装置の往復動機構のベース部を下から見た場合の下面図である。
【図5】実施形態に係るめっき装置のエアシリンダを含む機構の説明図である。
【図6】実施形態に係るめっき装置の揺動機構の構成を示す説明図である。
【図7A】実施形態に係るめっき装置の攪拌パネルの揺動に関する説明図である。
【図7B】実施形態に係るめっき装置の攪拌パネルの揺動に関する説明図である。
【図7C】実施形態に係るめっき装置の攪拌パネルの揺動に関する説明図である。
【図8】実施形態に係るめっき装置のスライド部の長さに関する説明図である。
【図9】第１の変形例に係るめっき装置の攪拌パネルの揺動速度と揺動範囲の変更に関する説明図である。
【図10A】第２の変形例に係るめっき装置の攪拌棒の横断面を含む説明図である。
【図10B】第３の変形例に係るめっき装置の攪拌棒の横断面を含む説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
≪実施形態≫
＜めっき装置の構成＞
図１は、実施形態に係るめっき装置１０の構成図である。
なお、図１では、めっき槽１や収容体Ｕ１において、図１の紙面手前側の側壁を取り除いた状態を示している。また、図１では、めっき槽１に貯留されるめっき液をドットで示している。図１に示すように、ホルダ２やアノード電極３や遮蔽板４や攪拌パネル５の各板面に対して垂直な方向（奥行方向）にｙ軸をとる。また、水平面でｙ軸に対して垂直な方向（幅方向）にｘ軸をとる。また、ｘ軸・ｙ軸の両方に対して垂直な方向（高さ方向）にｚ軸をとる。
＜めっき装置の構成＞
図１は、実施形態に係るめっき装置１０の構成図である。
なお、図１では、めっき槽１や収容体Ｕ１において、図１の紙面手前側の側壁を取り除いた状態を示している。また、図１では、めっき槽１に貯留されるめっき液をドットで示している。図１に示すように、ホルダ２やアノード電極３や遮蔽板４や攪拌パネル５の各板面に対して垂直な方向（奥行方向）にｙ軸をとる。また、水平面でｙ軸に対して垂直な方向（幅方向）にｘ軸をとる。また、ｘ軸・ｙ軸の両方に対して垂直な方向（高さ方向）にｚ軸をとる。
【0011】
図１に示すめっき装置１０は、被めっき物Ｐ１に電解めっきを施す装置である。このような被めっき物Ｐ１として、例えば、半導体ウェハやプリント基板が用いられる。図１の例では、被めっき物Ｐ１が矩形板状である場合を示しているが、円板状といった他の形状であってもよい。図１に示すように、めっき装置１０は、めっき槽１と、ホルダ２と、アノード電極３（電極板）と、遮蔽板４と、攪拌パネル５と、めっき液供給装置６と、揺動ユニット７と、攪拌パネル取付部品８と、制御装置９と、を備えている。
【0012】
めっき槽１は、めっき液を貯留する槽（容器）である。図１に示すように、めっき槽１は、上側が開口した箱状の本体１ａを備えるとともに、本体１ａの内部空間を仕切る板状のオーバーフロー壁１ｂを備えている。オーバーフロー壁１ｂは、その板面がｙ軸に対して垂直になっている。オーバーフロー壁１ｂの上端の高さ位置は、本体１ａの上端の高さ位置よりも低くなっている。
【0013】
図１に示すように、オーバーフロー壁１ｂよりもｙ軸方向の正側の領域にめっき液が貯留されている。なお、めっき液の液面の高さ位置は、オーバーフロー壁１ｂの上端付近に設定されている。そして、攪拌パネル５の移動に伴ってオーバーフロー壁１ｂからｙ軸方向の負側の領域に溢れ出ためっき液が、めっき液供給装置６によって、オーバーフロー壁１ｂのｙ軸方向正側の領域に戻されるようになっている。
【0014】
めっき槽１に貯留されるめっき液は、電解めっきに用いられる電解液である。このようなめっき液として、例えば、銅イオン（Ｃｕ２＋）や硫酸イオン（ＳＯ４
２-）を含んだ電解液が用いられる。なお、めっき液に含まれる金属イオンは銅イオン（Ｃｕ２＋）に限定されるものではなく、亜鉛イオン（Ｚｎ２＋）やクロムイオン（Ｃｒ３＋）、ニッケルイオン（Ｎｉ２＋）、金イオン（Ａｕ２＋）、銀イオン（Ａｇ＋）といったものを用いることもできる。
【0015】
図１に示すように、ホルダ２と、攪拌パネル５と、遮蔽板４と、アノード電極３と、がめっき槽１の内部（オーバーフロー壁１ｂよりもｙ軸方向の正側の領域）に配置されている。具体的に説明すると、ｙ軸方向の負側に向かって順に、ホルダ２と、攪拌パネル５と、遮蔽板４と、アノード電極３と、が配置されている。また、ホルダ２、攪拌パネル５、遮蔽板４、及びアノード電極３の各板面は、略平行になっている。
【0016】
前記した複数の部材間の間隔（ｙ方向の距離）として、例えば、アノード電極３と遮蔽板４との間を２５［ｍｍ］とし、遮蔽板４と攪拌パネル５との間を１５［ｍｍ］とし、攪拌パネル５とホルダ２との間を５［ｍｍ］としてもよい。なお、前記した各数値は一例であり、これに限定されるものではない。各部材間の間隔は、電解めっきの条件に基づいて適宜に変更することが可能である。
【0017】
ホルダ２は、被めっき物Ｐ１をめっき液に浸漬させた状態で保持するための矩形板状の部材である。ホルダ２の下部には、被めっき物Ｐ１に対応した形状の開口部（符号は図示せず）が設けられている。そして、この開口部に被めっき物Ｐ１が嵌め込まれるようになっている。
【0018】
ホルダ２の上部には、ホルダ２を上下方向に出し入れするための矩形状の開口部Ｈ３が設けられている。そして、電解めっきの開始前にホルダ２をめっき液に浸漬させたり、電解めっきの終了後にホルダ２をめっき液から取り出したりする際には、開口部Ｈ３の上側の把持部２ａが所定に把持される。なお、ホルダ２の開口部Ｈ３の高さ位置は、めっき液の液面よりも高くなっている。また、電解めっきの処理中には、ホルダ２の位置が固定されるものとする。
【0019】
アノード電極３は、直流電源Ｅ１を介して被めっき物Ｐ１に電気的に接続される矩形板状の電極板であり、めっき液に浸漬されている。なお、アノード電極３が所定の電極用ホルダ（図示せず）で保持されるようにしてもよい。このようなアノード電極３の構成材料として、例えば、銅や含リン銅といったものが用いられる。そして、直流電源Ｅ１を介して電流を流すと、被めっき物Ｐ１（カソード電極）で還元反応が生じて、めっき液中の金属イオンが被めっき物Ｐ１の表面に析出するようになっている。一方、アノード電極３では酸化反応が生じて、アノード電極３に含まれる金属がめっき液に溶出する。
【0020】
遮蔽板４は、被めっき物Ｐ１におけるめっき皮膜の膜厚を調整するための矩形板状の部材であり、めっき液に浸漬されている。図１の例では、遮蔽板４に矩形状の開口部Ｈ４が設けられている。この開口部Ｈ４の開口面積が適宜に調整されることで、被めっき物Ｐ１におけるめっき皮膜の膜厚が調整される。なお、図１の例では、電解めっきの処理中、遮蔽板４の位置は固定されている。
【0021】
攪拌パネル５は、めっき液を所定に攪拌するための部材である。攪拌パネル５は、矩形の板状部材であり、この攪拌パネル５に所定の面積を有する矩形状で合同な形状を有する複数の穿孔部Ｈ５１，Ｈ５２を設けることによって、３本の攪拌棒５ａが形成された構成になっている。つまり、攪拌パネル５は、矩形板状の部材から、高さ方向に細長い２つの穿孔部Ｈ５１，Ｈ５２（図２参照）が横並びで穿孔された形状になっている。細長い穿孔部Ｈ５１の一方側（ｘ軸方向の正側）には、高さ方向に細長い柱状の攪拌棒５ａが設けられている。同様に、穿孔部Ｈ５１，Ｈ５２の間にも柱状の攪拌棒５ａが設けられ、また、穿孔部Ｈ５２の他方側（ｘ軸方向の負側）にも柱状の攪拌棒５ａが設けられている。これら３本の攪拌棒５ａは、ｘ軸方向において等間隔で設けられている。このように、攪拌パネル５は、高さ方向に延びる３本の攪拌棒５ａを有し、３本の攪拌棒５ａがｘ軸方向（幅方向）に所定間隔を空けて配置された構成になっている。なお、攪拌棒５ａの本数は、３本に限定されず、２本であってもよいし、また、４本以上であってもよい。つまり、攪拌棒５ａの本数は、少なくとも２本以上であればよい。
【0022】
図１に示すように、３本の攪拌棒５ａは、めっき液に浸漬された状態になっている。また、３本の攪拌棒５ａの高さ方向の長さは、被めっき物Ｐ１の高さ方向の長さよりも長くなっている。そして、３本の攪拌棒５ａの高さ方向の範囲が、被めっき物Ｐ１の高さ方向の範囲を含むように攪拌棒５ａや被めっき物Ｐ１が配置されている。
【0023】
図１に示すめっき液供給装置６は、オーバーフロー壁１ｂからｙ軸方向の負側の領域に溢れ出ためっき液を反対側の領域（ｙ軸方向の正側の領域）に戻す装置であり、図示はしないが、ポンプを備えている。また、めっき槽１の本体１ａの底板において、オーバーフロー壁１ｂよりもｙ軸方向の負側の所定箇所には、めっき液の流出口Ｈ１が設けられている。また、めっき槽１の本体１ａの底板において、ホルダ２よりもｙ軸方向の正側の所定箇所には、めっき液の流入口Ｈ２が設けられている。
【0024】
そして、流出口Ｈ１及び配管Ｋ１を順次に介してめっき液供給装置６に導かれためっき液が、めっき液供給装置６から配管Ｋ２及び流入口Ｈ２を順次に介して、めっき槽１の内部（オーバーフロー壁１ｂのｙ軸方向正側の領域）に戻されるようになっている。なお、前記したポンプ（図示せず）の他に、異物を除去するためのフィルタ（図示せず）や、温度調整を行うためのヒータ（図示せず）や冷却器（図示せず）がめっき液供給装置６に設けられるようにしてもよい。
【0025】
図１に示す揺動ユニット７は、複数の攪拌棒５ａがめっき液に浸漬された状態で攪拌パネル５をｘ軸方向（幅方向）に移動させる装置である。詳細については後記するが、揺動ユニット７は、攪拌パネル５をｘ軸方向に細かく高速に揺動（往復）させつつ、この攪拌パネル５をｘ軸方向に大きくゆっくりと往復させるようになっている。
【0026】
図１に示すように、揺動ユニット７は、往復動機構７１と、揺動機構７２と、を含んで構成されている。往復動機構７１は、攪拌パネル５を所定の攪拌範囲でｘ軸方向（幅方向）に往復させる機構である。揺動機構７２は、攪拌パネル５を所定の揺動範囲でｘ軸方向（幅方向）に揺動させる機構である。なお、攪拌パネル５の攪拌範囲や揺動範囲については後記する。
【0027】
図１に示す攪拌パネル取付部品８は、前記した揺動機構７２と攪拌パネル５とを接続する部材である。攪拌パネル取付部品８は、第１攪拌パネル取付部品８１と、第２攪拌パネル取付部品８２と、第３攪拌パネル取付部品８３と、が順次に接続された構成になっている。図１に示す収容体Ｕ１は、揺動ユニット７を収容するものである。
【0028】
制御装置９は、めっき液供給装置６や往復動機構７１や揺動機構７２を所定に制御する装置である。制御装置９は、図示はしないが、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、各種インタフェース等の電子回路を含んで構成されている。そして、ＲＯＭに記憶されたプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、ＣＰＵが各種処理を実行するようになっている。なお、制御装置９が実行する処理については後記する。
【0029】
図２は、攪拌パネル５の攪拌範囲及び揺動範囲に関する説明図である。
なお、被めっき物Ｐ１については概略的な平面図（ｚ軸方向から見た図）を示し、攪拌パネル５についてはｙ軸方向から見た正面図を示している。図２の「攪拌範囲」は、往復動機構７１（図１参照）の駆動に伴って、攪拌パネル５がｘ軸方向に往復する際の範囲を示している。図２に示すように、攪拌範囲のｘ軸方向（幅方向）の長さは、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向（幅方向）の寸法よりも長くなっている。また、ｘ軸方向において、被めっき物Ｐ１の範囲が攪拌範囲に含まれている。往復動機構７１（図１参照）は、この攪拌範囲において攪拌パネル５を所定の往復動速度でｘ軸方向に往復させる。
なお、被めっき物Ｐ１については概略的な平面図（ｚ軸方向から見た図）を示し、攪拌パネル５についてはｙ軸方向から見た正面図を示している。図２の「攪拌範囲」は、往復動機構７１（図１参照）の駆動に伴って、攪拌パネル５がｘ軸方向に往復する際の範囲を示している。図２に示すように、攪拌範囲のｘ軸方向（幅方向）の長さは、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向（幅方向）の寸法よりも長くなっている。また、ｘ軸方向において、被めっき物Ｐ１の範囲が攪拌範囲に含まれている。往復動機構７１（図１参照）は、この攪拌範囲において攪拌パネル５を所定の往復動速度でｘ軸方向に往復させる。
【0030】
なお、攪拌範囲におけるｘ軸方向正側の端は、攪拌パネル５がｘ軸方向で往復する際の攪拌パネル５のｘ軸方向正側の端の限界位置を示している。同様に、攪拌範囲におけるｘ軸方向負側の端は、攪拌パネル５がｘ軸方向で往復する際の攪拌パネル５のｘ軸方向負側の端の限界位置を示している。
【0031】
図２の「揺動範囲」は、揺動機構７２（図１参照）の駆動に伴って、攪拌パネル５がｘ軸方向に揺動（ｘ方向の正側・負側に交互に移動）する際の１回当たりの揺動における移動範囲を示している。図２に示すように、攪拌パネル５の１回当たりの揺動における揺動範囲のｘ軸方向（幅方向）の長さは、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向（幅方向）の寸法よりも短くなっている。揺動機構７２（図１参照）は、この揺動範囲において攪拌パネル５を所定の揺動速度でｘ軸方向に揺動させる。
【0032】
すなわち、揺動ユニット７（図１参照）は、所定の揺動範囲で攪拌パネル５をｘ軸方向（幅方向）に揺動させつつ、所定の攪拌範囲で攪拌パネル５をｘ軸方向（幅方向）に往復させる。したがって、図２に示す揺動範囲の位置が固定されているわけでは特になく、攪拌範囲内での攪拌パネル５の往復移動に伴って、揺動範囲のｘ軸方向の位置も時々刻々と変化する。
【0033】
前記したように、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向の寸法よりも長い攪拌範囲で攪拌パネル５を往復させることで、被めっき物Ｐ１の全体に亘ってめっき（銅の析出等）を行うことができる。また、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向の寸法よりも短い揺動範囲で攪拌パネル５を揺動させることで、めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物Ｐ１に向けてめっき液を流動させることができる。これによって、被めっき物Ｐ１に微細な回路パターン（めっきパターン）が存在する場合でも、めっき皮膜の膜厚の均一化を図ることができる。
【0034】
なお、揺動ユニット７が所定の揺動範囲で攪拌パネル５を揺動させる際の単位時間当たりの揺動回数が、所定の攪拌範囲で攪拌パネル５を往復させる際の単位時間当たりの往復回数よりも多いことが好ましい。すなわち、揺動ユニット７が所定の揺動範囲で攪拌パネル５を揺動させる際の揺動速度が、所定の攪拌範囲で攪拌パネル５を往復させる際の往復動速度よりも速いことが好ましい。
【0035】
要するに、揺動ユニット７（図１参照）が、所定の揺動範囲で攪拌パネル５をｘ軸方向に細かく高速に揺動させつつ、所定の攪拌範囲で攪拌パネル５をｘ軸方向にゆっくりと大きく往復させるようにするとよい。これによって、めっき液の液はねを抑制しつつ、攪拌パネル５の揺動でめっき液の流動を促進させることができる。したがって、被めっき物Ｐ１の細かい回路パターン（めっきパターン）にもめっき液の流動が伝搬しやすくなるため、めっき被膜の膜厚の均一化が促進される。
このように、揺動ユニット７（図１参照）の往復動機構７１は、被めっき物Ｐ１のめっき面に平行な方向を示す水平方向（ｘ軸方向）において被めっき物Ｐ１より大きな範囲で設定した攪拌範囲で攪拌パネル５が所定の往復動速度で往復動するよう揺動機構７２を往復動させる。また、揺動ユニット７の揺動機構７２は、めっき槽１内において、ホルダ２に保持された被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、水平方向（ｘ軸方向）において被めっき物Ｐ１の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で攪拌パネル５を往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら往復動機構７１の動きに同期して攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌する。これによって、めっき液の液はねを抑制しつつ、めっき被膜の膜厚の均一化を図ることができる。
このように、揺動ユニット７（図１参照）の往復動機構７１は、被めっき物Ｐ１のめっき面に平行な方向を示す水平方向（ｘ軸方向）において被めっき物Ｐ１より大きな範囲で設定した攪拌範囲で攪拌パネル５が所定の往復動速度で往復動するよう揺動機構７２を往復動させる。また、揺動ユニット７の揺動機構７２は、めっき槽１内において、ホルダ２に保持された被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、水平方向（ｘ軸方向）において被めっき物Ｐ１の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で攪拌パネル５を往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら往復動機構７１の動きに同期して攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌する。これによって、めっき液の液はねを抑制しつつ、めっき被膜の膜厚の均一化を図ることができる。
【0036】
図２に示すように、攪拌パネル５のｘ軸方向の寸法は、揺動範囲よりも短くなっている。各寸法の一例を示すと、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向の寸法を３００［ｍｍ］とした場合、攪拌パネル５のｘ方向の長さを１５０［ｍｍ］とし、ｘ軸方向の攪拌範囲の長さを３１０［ｍｍ］とし、また、ｘ軸方向の揺動範囲の長さを２１０［ｍｍ］としてもよい。これらの各数値は、めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物に適切にめっきを施すという効果が奏される範囲内で適宜に設定される。
【0037】
図３Ａは、攪拌パネル５の斜視図である。
前記したように、攪拌パネル５は、矩形板状の部材から高さ方向に細長い矩形状の穿孔部Ｈ５１，Ｈ５２が横並びで穿孔された形状になっている。攪拌パネル５が備える３本の攪拌棒５ａは、それぞれ、高さ方向に延びる柱状を呈している。
前記したように、攪拌パネル５は、矩形板状の部材から高さ方向に細長い矩形状の穿孔部Ｈ５１，Ｈ５２が横並びで穿孔された形状になっている。攪拌パネル５が備える３本の攪拌棒５ａは、それぞれ、高さ方向に延びる柱状を呈している。
【0038】
図３Ｂは、図３ＡにおけるIII－III線矢視断面を含む説明図である。
なお、図３Ｂには攪拌棒５ａを図示している他、平面視での被めっき物Ｐ１も図示している。図３Ｂの例では、攪拌棒５ａは、水平断面の形状が三角形である柱状構造物として形成されている。この柱状構造物（つまり、攪拌棒５ａ）は、所定の傾斜角θ２，θ３で構成する二つの傾斜面５２ａ，５３ａを備えている。より具体的には、図３Ｂの例では、攪拌棒５ａの横断面の形状が二等辺三角形になっている。攪拌棒５ａにおいて、前記した二等辺三角形の底辺を形成している側面５１ａは、ｙ軸に対して垂直になっている。また、攪拌棒５ａにおいて、前記した二等辺三角形の一対の等辺を形成している傾斜面５２ａ，５３ａは、ｘｙ平面に対して所定に傾斜している。そして、攪拌パネル５（図３Ａ参照）が揺動するときに、二つの傾斜面５２ａ，５３ａが被めっき物Ｐ１に対向するように攪拌棒５ａが配設されている。
なお、図３Ｂには攪拌棒５ａを図示している他、平面視での被めっき物Ｐ１も図示している。図３Ｂの例では、攪拌棒５ａは、水平断面の形状が三角形である柱状構造物として形成されている。この柱状構造物（つまり、攪拌棒５ａ）は、所定の傾斜角θ２，θ３で構成する二つの傾斜面５２ａ，５３ａを備えている。より具体的には、図３Ｂの例では、攪拌棒５ａの横断面の形状が二等辺三角形になっている。攪拌棒５ａにおいて、前記した二等辺三角形の底辺を形成している側面５１ａは、ｙ軸に対して垂直になっている。また、攪拌棒５ａにおいて、前記した二等辺三角形の一対の等辺を形成している傾斜面５２ａ，５３ａは、ｘｙ平面に対して所定に傾斜している。そして、攪拌パネル５（図３Ａ参照）が揺動するときに、二つの傾斜面５２ａ，５３ａが被めっき物Ｐ１に対向するように攪拌棒５ａが配設されている。
【0039】
このように、柱状の攪拌棒５ａの側面を形成している複数の面には、板状の被めっき物Ｐ１の板面を含む平面（ｘｙ平面と平行な平面：図示せず）に対して所定に傾斜している傾斜面５２ａ，５３ａが含まれている。これらの傾斜面５２ａ，５３ａは、被めっき物Ｐ１に臨んでいる（被めっき物Ｐ１に対向している）。
【0040】
攪拌棒５ａにおける傾斜面５２ａの傾斜角θ２、及び、傾斜面５３ａの傾斜角θ３のそれぞれの大きさは、攪拌パネル５をｘ軸方向で細かく揺動させながらｘ軸方向に往復させた場合に、被めっき物Ｐ１に向けてめっき液の流動が適切に伝搬するように設計段階で適宜に調整される。攪拌棒５ａがｘ軸方向に揺動した場合、図３Ｂに矢印で示すように、攪拌棒５ａからｘ軸方向の正側に向かう抗力Ｆ１をめっき液が受けるとともに、攪拌棒５ａからｙ軸方向の正側に向かう揚力Ｆ２をめっき液が受ける。その結果、攪拌棒５ａの傾斜面５３ａから被めっき物Ｐ１に対して、斜め方向の合力Ｆ１２が作用する。また、他方の傾斜面５２ａからも被めっき物Ｐ１に対して所定の合力が作用する。これによって、攪拌棒５ａの断面形状が矩形状である場合に比べて、被めっき物Ｐ１に効率的にめっき液の流動を伝搬させることができる。
【0041】
なお、攪拌棒５ａの横断面の形状は二等辺三角形に限定されるものではなく、二等辺三角形以外の所定の三角形であってもよい。また、後記するように、攪拌棒５ａの横断面の形状を台形（図１０Ａ参照）や菱形（図１０Ｂ参照）といった他の形状にしてもよい。
図３Ｃは、比較例に係るめっき装置の攪拌棒５Ｄａに関する説明図である。
なお、図３Ｃでは、説明を分かりやすくするために、めっき液の粒子Ｍ１（所定のイオン）を図示している。また、図３Ｃの複数の白抜き矢印は、攪拌棒５Ｄａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を示している。図３Ｃに示すように、攪拌棒５Ｄａの横断面を矩形状にした場合、攪拌棒５Ｄａの移動に伴って、めっき液の粒子Ｍ１にｘ軸方向の力が作用するため、めっき液の流動が被めっき物Ｐ１の方に伝搬しにくくなる。なお、図３Ｃでは攪拌棒５Ｄａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を単純化しているが、実際には、攪拌棒５Ｄａの横断面が矩形状の場合でも、被めっき物Ｐ１に向けてめっき液の流動が多少は伝搬する。
図３Ｄは、実施形態に係るめっき装置の攪拌棒５ａに関する説明図である。
本実施形態では、前記したように、攪拌棒５ａの横断面の形状が三角形になっている。つまり、攪拌棒５ａが傾斜面５２，５３を有しているため、図３Ｄの複数の白抜き矢印（図３Ｂの合力Ｆ１２に対応）で示すように、めっき液の粒子Ｍ１に対して斜め方向の力が作用する。その結果、被めっき物Ｐ１に効率的にめっき液の流動を伝搬させることができる。
図３Ｃは、比較例に係るめっき装置の攪拌棒５Ｄａに関する説明図である。
なお、図３Ｃでは、説明を分かりやすくするために、めっき液の粒子Ｍ１（所定のイオン）を図示している。また、図３Ｃの複数の白抜き矢印は、攪拌棒５Ｄａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を示している。図３Ｃに示すように、攪拌棒５Ｄａの横断面を矩形状にした場合、攪拌棒５Ｄａの移動に伴って、めっき液の粒子Ｍ１にｘ軸方向の力が作用するため、めっき液の流動が被めっき物Ｐ１の方に伝搬しにくくなる。なお、図３Ｃでは攪拌棒５Ｄａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を単純化しているが、実際には、攪拌棒５Ｄａの横断面が矩形状の場合でも、被めっき物Ｐ１に向けてめっき液の流動が多少は伝搬する。
図３Ｄは、実施形態に係るめっき装置の攪拌棒５ａに関する説明図である。
本実施形態では、前記したように、攪拌棒５ａの横断面の形状が三角形になっている。つまり、攪拌棒５ａが傾斜面５２，５３を有しているため、図３Ｄの複数の白抜き矢印（図３Ｂの合力Ｆ１２に対応）で示すように、めっき液の粒子Ｍ１に対して斜め方向の力が作用する。その結果、被めっき物Ｐ１に効率的にめっき液の流動を伝搬させることができる。
【0042】
図４Ａは、往復動機構７１の概略的な側面図である。
図４Ａに示すように、往復動機構７１は、台座７１ａと、一対のガイドレール７１ｂ（ガイド）と、ベース部７１ｃと、部材取付部７１ｄと、エアシリンダ７１ｅと、連結部７１ｆ（図４Ｂ参照）と、を備えている。台座７１ａは、その上面に一対のガイドレール７１ｂが設置される台である。一対のガイドレール７１ｂは、ベース部７１ｃのｘ軸方向の移動を案内するためのレールであり、ｘ軸方向に細長く延びている。また、一対の（つまり、２本の）ガイドレール７１ｂは、台座７１ａ上の水平方向（ｙ軸方向）に所定の間隔で離間して配設されている。これら一対のガイドレール７１ｂにおけるｙ軸方向の位置は、次に説明する接続機構７１１ｃのｙ軸方向の位置に対応している（図４Ｂも参照）。
図４Ａに示すように、往復動機構７１は、台座７１ａと、一対のガイドレール７１ｂ（ガイド）と、ベース部７１ｃと、部材取付部７１ｄと、エアシリンダ７１ｅと、連結部７１ｆ（図４Ｂ参照）と、を備えている。台座７１ａは、その上面に一対のガイドレール７１ｂが設置される台である。一対のガイドレール７１ｂは、ベース部７１ｃのｘ軸方向の移動を案内するためのレールであり、ｘ軸方向に細長く延びている。また、一対の（つまり、２本の）ガイドレール７１ｂは、台座７１ａ上の水平方向（ｙ軸方向）に所定の間隔で離間して配設されている。これら一対のガイドレール７１ｂにおけるｙ軸方向の位置は、次に説明する接続機構７１１ｃのｙ軸方向の位置に対応している（図４Ｂも参照）。
【0043】
ベース部７１ｃは、エアシリンダ７１ｅの駆動に伴ってｘ軸方向に移動する板状部材であり、４つの接続機構７１１ｃを有している（図４Ｂも参照）。それぞれの接続機構７１１ｃは、エアシリンダ７１ｅの駆動に伴い、一対のガイドレール７１ｂに沿ってｘ軸方向に移動するものであり、ベース部７１ｃの下面に設置され、ガイドレール７１ｂ（ガイド）に沿って移動可能になっている。
【0044】
部材取付部７１ｄは、ベース部７１ｃと揺動機構７２との相対位置を固定するための部材であり、ベース部７１ｃにおけるめっき槽１側の端部に直立した状態でベース部７１ｃに固着接続される。具体的には、部材取付部７１ｄは、その下端がベース部７１ｃに固定され、側面視でｚ方向に細長く延びている。また、部材取付部７１ｄにおけるｙ軸方向の負側には、揺動機構７２が設置されている。エアシリンダ７１ｅは、空気圧でｘ軸方向（幅方向）に往復するロッド７１３ｅ（図４Ｂ参照）を備えている。
【0045】
図４Ｂは、往復動機構７１のベース部７１ｃを下から見た場合の下面図である。
図４Ｂに示すように、ベース部７１ｃは、下面視で矩形状を呈している。ベース部７１ｃの下面の四隅には、接続機構７１１ｃがひとつずつ設置されている。ｙ軸方向の位置が等しい一対の接続機構７１１ｃは、一方のガイドレール７１ｂに沿ってｘ軸方向に移動し、残り一対の接続機構７１１ｃは、他方のガイドレール７１ｂに沿ってｘ軸方向に移動するようになっている。
図４Ｂに示すように、ベース部７１ｃは、下面視で矩形状を呈している。ベース部７１ｃの下面の四隅には、接続機構７１１ｃがひとつずつ設置されている。ｙ軸方向の位置が等しい一対の接続機構７１１ｃは、一方のガイドレール７１ｂに沿ってｘ軸方向に移動し、残り一対の接続機構７１１ｃは、他方のガイドレール７１ｂに沿ってｘ軸方向に移動するようになっている。
【0046】
ベース部７１ｃの下面において、ｙ軸方向の中央部には連結部７１ｆが設置されている。連結部７１ｆは、ベース部７１ｃとエアシリンダ７１ｅのロッド７１３ｅを連結する部材であり、ベース部７１ｃの下面に設置され、ロッド７１３ｅの先端に固定されている。また、ベース部７１ｃが２本のガイドレール７１ｂ（ガイド）に沿って安定して移動するように、所定の離間距離を有する１対の接続機構７１１ｃがベース部７１ｃの下面に２組配設され、それぞれの１対の接続機構７１１ｃがそれぞれのガイドレール７１ｂ（ガイド）に沿って移動可能となるように接続されている。そして、ロッド７１３ｅが移動すると、連結部７１ｆを介して駆動力がベース部７１ｃに伝達され、２組の１対の接続機構７１１ｃが２本のガイドレール７１ｂ（ガイド）上をスライドすることで、ロッド７１３ｅの往復動運動に同期して揺動機構７２が往復動するようになっている。つまり、揺動機構７２（図４Ａ参照）の全体がｘ軸方向に往復移動し、また、揺動機構７２に攪拌パネル取付部品８（図１参照）を介して接続された攪拌パネル５（図１参照）もｘ軸方向に往復移動する。なお、ロッド７１３ｅの伸縮に伴って攪拌パネル５（図１参照）が往復する移動する際のｘ軸方向の移動範囲は、前記した攪拌範囲（図２参照）に対応している。
【0047】
図５は、エアシリンダ７１ｅを含む機構の説明図である。
図５に示すように、エアシリンダ７１ｅは、空気圧によって駆動するものであり、シリンダ本体７１１ｅと、ピストン７１２ｅと、ロッド７１３ｅと、第一の吸排気口Ｈ６と、第二の吸排気口Ｈ７と、を備えている。シリンダ本体７１１ｅは、その内部をピストン７１２ｅが摺動するように構成された中空円筒状の部材である。ピストン７１２ｅは、シリンダ本体７１１ｅの内部を空気圧でｘ軸方向に往復移動する円板状の部材である。ロッド７１３ｅは、ピストン７１２ｅと一体で移動する棒状部材である。ロッド７１３ｅは、その基端がピストン７１２ｅに固定され、先端が連結部７１ｆ（図４Ｂ参照）に固定されている。
図５に示すように、エアシリンダ７１ｅは、空気圧によって駆動するものであり、シリンダ本体７１１ｅと、ピストン７１２ｅと、ロッド７１３ｅと、第一の吸排気口Ｈ６と、第二の吸排気口Ｈ７と、を備えている。シリンダ本体７１１ｅは、その内部をピストン７１２ｅが摺動するように構成された中空円筒状の部材である。ピストン７１２ｅは、シリンダ本体７１１ｅの内部を空気圧でｘ軸方向に往復移動する円板状の部材である。ロッド７１３ｅは、ピストン７１２ｅと一体で移動する棒状部材である。ロッド７１３ｅは、その基端がピストン７１２ｅに固定され、先端が連結部７１ｆ（図４Ｂ参照）に固定されている。
【0048】
往復動機構７１（図４Ａ、図４Ｂ参照）は、前記したエアシリンダ７１ｅ等の他に、空気供給装置７１ｇと、吸排気切替機構７１ｈと、を備えている。空気供給装置７１ｇは、制御装置９からの指令に基づいて、吸排気切替機構７１ｈに通気管Ｇ１を介して圧縮空気を供給する。吸排気切替機構７１ｈは、通気管Ｇ１を介して空気供給装置７１ｇに接続されるとともに、２本の通気管Ｇ２，Ｇ３を介して、エアシリンダ７１ｅに接続されている。
【0049】
一方の通気管Ｇ２の下流端は、シリンダ本体７１１ｅの第一の吸排気口Ｈ６に接続されている。また、他方の通気管Ｇ３の下流端は、シリンダ本体７１１ｅの第二の吸排気口Ｈ７に接続されている。第一の吸排気口Ｈ６は、シリンダ本体７１１ｅにおいてピストン７１２ｅよりもｘ軸方向正側の空間に連通している。他方の第二の吸排気口Ｈ７は、シリンダ本体７１１ｅにおいてピストン７１２ｅよりもｘ軸方向負側の空間に連通している。このように、エアシリンダ７１ｅの第一の吸排気口Ｈ６と第二の吸排気口Ｈ７とは、それぞれ通気管Ｇ２，Ｇ３を介して吸排気切替機構７１ｈに接続されている。そして、制御装置９からの指令に基づいて、空気供給装置７１ｇからの圧縮空気の供給先が、吸排気切替機構７１ｈによって、第一の吸排気口Ｈ６と第二の吸排気口Ｈ７とに交互に切り替えられるようになっている。つまり、吸排気切替機構７１ｈの動作によって、空気供給装置７１ｇからの圧縮空気が、第一の吸排気口Ｈ６及び第二の吸排気口Ｈ７のうちの一方を介して吸気され、他方を介して排気される処理が交互に繰り返されることで、エアシリンダ７１ｅ内のロッド７１３ｅを往復動運動させる。
【0050】
例えば、第一の吸排気口Ｈ６に圧縮空気が供給されている間は、ピストン７１２ｅ及びロッド７１３ｅがｘ軸方向の負側に移動する。その結果、ベース部７１ｃ（図４Ａ参照）や部材取付部７１ｄ（図４Ａ参照）や揺動機構７２（図４Ａ参照）もｘ軸方向の負側に移動する。また、第二の吸排気口Ｈ７に圧縮空気が供給されている間は、ピストン７１２ｅ及びロッド７１３ｅがｘ方向の正側に移動する。その結果、ベース部７１ｃ（図４Ａ参照）や部材取付部７１ｄ（図４Ａ参照）や揺動機構７２（図４Ａ参照）もｘ方向の正側に移動する。このようにして、揺動機構７２（図４Ａ参照）の全体がｘ軸方向に往復移動し、それに伴って、攪拌パネル５（図１参照）もｘ軸方向に往復移動する。
【0051】
図６は、揺動機構７２の構成を示す説明図である。
揺動機構７２は、モータ７２ａの回転運動をｘ軸方向の揺動運動（往復運動）に変換する機構である。図６に示すように、揺動機構７２は、モータ７２ａと、モータ把持部７２ｂと、回転板７２ｃ（回転体）と、カムフォロア７２ｄと、平面プレート部７２ｅと、直立プレート部７２ｆと、スライド部７２ｇと、リニアガイド７２ｈと、を備えている。
揺動機構７２は、モータ７２ａの回転運動をｘ軸方向の揺動運動（往復運動）に変換する機構である。図６に示すように、揺動機構７２は、モータ７２ａと、モータ把持部７２ｂと、回転板７２ｃ（回転体）と、カムフォロア７２ｄと、平面プレート部７２ｅと、直立プレート部７２ｆと、スライド部７２ｇと、リニアガイド７２ｈと、を備えている。
【0052】
モータ７２ａは、回転駆動力を発生させる電動機であり、部材取付部７１ｄの所定の位置でモータ把持部７２ｂを介して設置されている。回転軸７２１ａは、モータ７２ａの回転駆動力を受ける軸であり、モータ７２ａの駆動軸にダイレクト接続されて、ｚ軸方向に延びている。モータ把持部７２ｂは、モータ７２ａと部材取付部７１ｄとの間の相対位置を固定するための部材であり、側面視でＬ字状を呈している。
【0053】
回転板７２ｃやカムフォロア７２ｄや平面プレート部７２ｅは、モータ７２ａの回転駆動力をｘ軸方向の揺動運動に変換する機構である。回転板７２ｃ（回転体）は、モータ７２ａの駆動軸に接続された回転軸７２１ａと一体で周方向に回転する円板状の部材であり、その板面がｚ軸に対して垂直になるように配置されている。このような回転板７２ｃは、回転軸７２１ａに固着接続された「回転体」として機能する。また、モータ７２ａの駆動軸に接続された回転軸７２１ａは、回転板７２ｃの下面の中心に固定されている。カムフォロア７２ｄは、回転板７２ｃと一体で円運動をする部材であり、回転板７２ｃの上面からｚ軸方向の正側に延びている。また、回転板７２ｃの中心から所定距離だけ離れた位置にカムフォロア７２ｄが設置されている。
【0054】
カムフォロア７２ｄは、その軸線がｚ軸に平行な円柱状の部材であり、回転板７２ｃの中心から所定量分外れた位置において回転板７２ｃの穿孔に挿入されている。また、カムフォロア７２ｄは、平面プレート部７２ｅの長孔Ｈ８に嵌挿されている。そして、モータ７２ａの駆動に伴って、カムフォロア７２ｄが長孔Ｈ８の範囲内でｙ軸方向に往復するようになっている。
【0055】
平面プレート部７２ｅは、ｙ軸方向に細長い長孔Ｈ８（図７Ａも参照）を有する矩形状の板であり、水平面上に延びている。平面プレート部７２ｅは、その板面がｚ軸に対して垂直になるように配置されている。直立プレート部７２ｆは、平面プレート部７２ｅやスライド部７２ｇや攪拌パネル取付部品８の相対位置を固定するための板状部材である。直立プレート部７２ｆは、その板面がｙ軸に対して垂直になるように配置され、平面プレート部７２ｅにおけるめっき槽１側の端部に鉛直に固着接続されている。なお、回転板７２ｃの円運動からの変換後の直線運動（揺動運動）が伝達される「リンクプレート」は、平面プレート部７２ｅと、直立プレート部７２ｆと、を含んで構成されている。
【0056】
図６に示すように、直立プレート部７２ｆは、平面プレート部７２ｅに設置されるとともに、攪拌パネル取付部品８を介して攪拌パネル５に接続されている。すなわち、直立プレート部７２ｆの一方側（ｙ軸方向の負側）の板面には平面プレート部７２ｅが固定され、他方側（ｙ軸方向の正側）の板面にはスライド部７２ｇが固定されている。また、直立プレート部７２ｆの上面は、攪拌パネル取付部品８の端部に固定されている。
【0057】
スライド部７２ｇは、前記した「リンクプレート」を介して伝達される直線運動（揺動運動）によって、攪拌パネル取付部品８や攪拌パネル５をｘ軸方向に揺動させる部材である。スライド部７２ｇは、部材取付部７１ｄの上部に配設されるとともに、直立プレート部７２ｆに接続されている。リニアガイド７２ｈは、スライド部７２ｇがｘ軸方向に移動するように案内するためのレールであり、ｘ軸方向に細長く延びている。そして、攪拌パネル５を所定の揺動速度で揺動させるように、モータ７２ａが所定の回転速度で回転板７２ｃを円運動させる。
【0058】
攪拌パネル取付部品８は、揺動機構７２の直立プレート部７２ｆと攪拌パネル５とを接続する部材である。すなわち、揺動機構７２が攪拌パネル取付部品８を介して攪拌パネル５に接続されている。図６の例では、攪拌パネル取付部品８は、第１攪拌パネル取付部品８１と、第２攪拌パネル取付部品８２と、第３攪拌パネル取付部品８３と、がｙ軸方向の正側に向かって順次に接続された構成になっている。第１攪拌パネル取付部品８１は、ｙ軸方向に延びる板状部材であり、その端部が直立プレート部７２ｆの上面に固定されている。また、第１攪拌パネル取付部品８１は、第２攪拌パネル取付部品８２を介して、第３攪拌パネル取付部品８３に接続されている。第３攪拌パネル取付部品８３は、攪拌パネル５の上部に固定されている。
【0059】
なお、攪拌パネル５と第３攪拌パネル取付部品８３との接続の他、モータ把持部７２ｂと部材取付部７１ｄとの接続や、リニアガイド７２ｈと部材取付部７１ｄとの接続が、それぞれ、ねじ止めで行われるようにするとよい。これによって、例えば、攪拌棒５ａ（図３Ａ、図３Ｂ）として、傾斜面５２ａ，５３ａの傾斜角が現状とは異なるものを使用する際、第３攪拌パネル取付部品８３にねじ止めされた攪拌パネル５を作業員が取り外し、傾斜角が異なる別の攪拌パネルをねじ止めして取り付ければよいため、攪拌パネル５の交換が容易になる。このように、被めっき物Ｐ１のパターンに応じて攪拌棒５ａの傾斜角が変更される場合は、所定の攪拌パネル取付部品８にねじ止めされた攪拌パネル５が取り外され、新たに準備された別の攪拌パネル（図示せず）が攪拌パネル取付部品８にねじ止めして取り付けられる。
【0060】
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃは、攪拌パネル５の揺動に関する説明図である。
モータ７２ａ（図６参照）の駆動に伴って回転板７２ｃが回転すると、この回転板７２ｃに設置されたカムフォロア７２ｄが円運動を行う。例えば、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃの順に、カムフォロア７２ｄが平面視で時計回りに円運動を行う。なお、カムフォロア７２ｄの円運動における円の半径は、モータ７２ａ（図６参照）の回転軸７２１ａと、カムフォロア７２ｄの軸線と、の間の平面視での距離に等しい。
モータ７２ａ（図６参照）の駆動に伴って回転板７２ｃが回転すると、この回転板７２ｃに設置されたカムフォロア７２ｄが円運動を行う。例えば、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃの順に、カムフォロア７２ｄが平面視で時計回りに円運動を行う。なお、カムフォロア７２ｄの円運動における円の半径は、モータ７２ａ（図６参照）の回転軸７２１ａと、カムフォロア７２ｄの軸線と、の間の平面視での距離に等しい。
【0061】
前記したように、平面プレート部７２ｅの長孔Ｈ８にカムフォロア７２ｄが嵌挿されている。したがって、カムフォロア７２ｄが円運動する過程で、このカムフォロア７２ｄが長孔Ｈ８をｙ軸方向に移動しつつ、長孔Ｈ８の壁面をｘ軸方向に押圧する。一方、リニアガイド７２ｈに対して、平面プレート部７２ｅがスライド部７２ｇ（図６参照）を介して、ｘ軸方向に移動可能になっている。したがって、カムフォロア７２ｄが長孔Ｈ８の壁面をｘ軸方向に押圧すると、これに伴って、平面プレート部７２ｅや攪拌パネル取付部品８や攪拌パネル５もｘ軸方向に移動する。
このように、回転板７２ｃは、回転軸７２１ａを介してモータ７２ａから回転駆動力を付与されて所定の回転速度で円運動する。そして、カムフォロア７２ｄは、回転板７２ｃの中心軸との離間距離を保持したまま回転板７２ｃに同期して円運動することによって偏心輪の移動軌跡を形成する。さらに、カムフォロア７２ｄを挿入した長孔Ｈ８がカムフォロア７２ｄの動きに応じて移動することで、回転板８２ｃの円運動を直線運動である揺動運動に変換してリンクプレート（平面プレート部７２ｅや直立プレート部７２ｆ）に伝達する。これによって、リンクプレートは、スライド部７２ｇを介して攪拌パネル５を所定の揺動速度で揺動させる。
このように、回転板７２ｃは、回転軸７２１ａを介してモータ７２ａから回転駆動力を付与されて所定の回転速度で円運動する。そして、カムフォロア７２ｄは、回転板７２ｃの中心軸との離間距離を保持したまま回転板７２ｃに同期して円運動することによって偏心輪の移動軌跡を形成する。さらに、カムフォロア７２ｄを挿入した長孔Ｈ８がカムフォロア７２ｄの動きに応じて移動することで、回転板８２ｃの円運動を直線運動である揺動運動に変換してリンクプレート（平面プレート部７２ｅや直立プレート部７２ｆ）に伝達する。これによって、リンクプレートは、スライド部７２ｇを介して攪拌パネル５を所定の揺動速度で揺動させる。
【0062】
図７Ａの状態では、モータ７２ａ（図６参照）の回転軸７２１ａを基準として、カムフォロア７２ｄがｘ軸方向の負側に位置している。また、図７Ｂの状態では、カムフォロア７２ｄがｘ軸方向の中央に位置している。また、図７Ｃの状態では、カムフォロア７２ｄがｘ軸方向の正側に位置している。このようなカムフォロア７２ｄの移動（円運動）に伴い、攪拌パネル５が所定の揺動範囲でｘ軸方向（幅方向）に揺動するようになっている。
【0063】
なお、モータ７２ａの回転速度と、攪拌パネル５の揺動速度と、の間の関係は、以下の式（１）で表される。ここで、式（１）に含まれるＲは、モータ７２ａ（図６参照）の回転軸７２１ａからカムフォロア７２ｄの軸線までの平面視での距離である。また、式（１）に含まれるπは、円周率である。
【0064】
（揺動速度）＝２πＲ×（回転速度） ・・・（１）
【0065】
例えば、Ｒ＝１５［ｍｍ］、（回転速度）＝３６０［ｍｉｎ－１］（単位として［ｒｐｍ］が用いられることもある。）とすると、攪拌パネル５の１分間当たりの揺動回数も３６０回となる。また、（揺動速度）＝２π×１５×３６０＝１０，８００π（ｍｍ／ｍｉｎ)となる。
【0066】
前記したように、攪拌パネル５が所定の揺動範囲でｘ軸方向に揺動している間も、エアシリンダ７１ｅ（図４Ａ、図４Ｂ参照）によって、揺動機構７２の全体が所定の攪拌範囲でｘ軸方向に往復する。例えば、６秒間に攪拌パネル５が一往復するように往復動速度が設定されるようにしてもよい。この場合には、攪拌パネル５の１分間当たりの往復回数は１０回となる。前記したように、攪拌パネル５のｘ軸方向の揺動速度は、ｘ軸方向の往復動速度（攪拌速度）よりも速い値に設定される。
なお、攪拌パネル５の揺動速度や往復動速度は、被めっき物Ｐ１にめっき液が均一に供給されるように、シミュレーションや実験に基づいて事前に設定され、制御装置９（図１参照）に記憶される。より具体的には、被めっき物Ｐ１のめっきパターンに応じて、被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、めっき装置１０を本運用する前段階のテスト運用において、往復動速度の値と、揺動速度の値と、攪拌棒５ａの傾斜角の値と、が設定される。
なお、攪拌パネル５の揺動速度や往復動速度は、被めっき物Ｐ１にめっき液が均一に供給されるように、シミュレーションや実験に基づいて事前に設定され、制御装置９（図１参照）に記憶される。より具体的には、被めっき物Ｐ１のめっきパターンに応じて、被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、めっき装置１０を本運用する前段階のテスト運用において、往復動速度の値と、揺動速度の値と、攪拌棒５ａの傾斜角の値と、が設定される。
【0067】
図８は、リニアガイド７２ｈの長さに関する説明図である。
図８に示すように、ｘ軸方向における揺動範囲の中央と、攪拌パネル５の中央と、の位置を合わせた状態で、ｘ軸方向の正側・負側のそれぞれにおける揺動範囲と攪拌パネル５との間の長さの差分をＬとする。攪拌パネル５の揺動では、中央の位置からｘ軸方向の正側に攪拌パネル５を長さＬだけ移動させた後、中央の位置に戻し、さらに、中央の位置からｘ軸方向の負側に長さＬだけ移動させるという処理が繰り返される。このような処理が行われるために、スライド部７２ｇの移動を案内するリニアガイド７２ｈの水平方向（ｘ軸方向）における長さは、少なくとも揺動範囲の長さと攪拌パネル５の長さとの差分以上の長さで設定されている。図８の例では、ｘ軸方向におけるリニアガイド７２ｈの長さが２Ｌになっているが、リニアガイド７２ｈの長さが２Ｌよりも長くなるようにしてもよい。
図８に示すように、ｘ軸方向における揺動範囲の中央と、攪拌パネル５の中央と、の位置を合わせた状態で、ｘ軸方向の正側・負側のそれぞれにおける揺動範囲と攪拌パネル５との間の長さの差分をＬとする。攪拌パネル５の揺動では、中央の位置からｘ軸方向の正側に攪拌パネル５を長さＬだけ移動させた後、中央の位置に戻し、さらに、中央の位置からｘ軸方向の負側に長さＬだけ移動させるという処理が繰り返される。このような処理が行われるために、スライド部７２ｇの移動を案内するリニアガイド７２ｈの水平方向（ｘ軸方向）における長さは、少なくとも揺動範囲の長さと攪拌パネル５の長さとの差分以上の長さで設定されている。図８の例では、ｘ軸方向におけるリニアガイド７２ｈの長さが２Ｌになっているが、リニアガイド７２ｈの長さが２Ｌよりも長くなるようにしてもよい。
【0068】
＜効果＞
本実施形態によれば、揺動ユニット７は、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向の長さよりも長い攪拌範囲で攪拌パネル５を往復させる。これによって、被めっき物Ｐ１の全域にめっき液の流動が伝搬するため、被めっき物Ｐ１の全域に電解めっきを施すことができる。また、揺動ユニット７は、被めっき物Ｐ１の長さよりも短い揺動範囲で攪拌パネル５を揺動させる。これによって、例えば、揺動機構７２を設けずに往復動機構７１で攪拌パネル５を高速で往復させる場合に比べて、めっき液の液跳ねを抑制できる他、めっき皮膜の膜厚の均一化を図ることができる。特に、攪拌パネル５の往復動速度（攪拌範囲での移動速度）よりも揺動速度を高く設定することで、めっき皮膜の膜厚の均一化が促進される。
本実施形態によれば、揺動ユニット７は、被めっき物Ｐ１のｘ軸方向の長さよりも長い攪拌範囲で攪拌パネル５を往復させる。これによって、被めっき物Ｐ１の全域にめっき液の流動が伝搬するため、被めっき物Ｐ１の全域に電解めっきを施すことができる。また、揺動ユニット７は、被めっき物Ｐ１の長さよりも短い揺動範囲で攪拌パネル５を揺動させる。これによって、例えば、揺動機構７２を設けずに往復動機構７１で攪拌パネル５を高速で往復させる場合に比べて、めっき液の液跳ねを抑制できる他、めっき皮膜の膜厚の均一化を図ることができる。特に、攪拌パネル５の往復動速度（攪拌範囲での移動速度）よりも揺動速度を高く設定することで、めっき皮膜の膜厚の均一化が促進される。
【0069】
また、本実施形態によれば、攪拌パネル５の複数の攪拌棒５ａが、それぞれ、傾斜面５２ａ，５３ａ（図３Ｂ参照）を有している。したがって、めっき液が被めっき物Ｐ１に向かうように流動しやすくなるため、電解めっきを効率的に行うことができる。
【0070】
≪変形例≫
以上、本開示に係るめっき装置１０やめっき方法について実施形態で説明したが、これらの記載に限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、実施形態では、回転板７２ｃにおいてカムフォロア７２ｄが設置される螺合穴の数が１つである場合について説明したが、これに限らない。すなわち、図９で説明するように、回転板７２ｃにおいてカムフォロア７２ｄの螺合穴が複数設けられるようにしてもよい。
以上、本開示に係るめっき装置１０やめっき方法について実施形態で説明したが、これらの記載に限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、実施形態では、回転板７２ｃにおいてカムフォロア７２ｄが設置される螺合穴の数が１つである場合について説明したが、これに限らない。すなわち、図９で説明するように、回転板７２ｃにおいてカムフォロア７２ｄの螺合穴が複数設けられるようにしてもよい。
【0071】
図９は、第１の変形例に係るめっき装置の攪拌パネルの揺動速度と揺動範囲の変更に関する説明図である。
図９の例では、カムフォロア７２ｄを螺合するための３つの螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３が回転板７２Ａｃに設けられている。これらの螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３は、回転板７２ｃの中心を通る所定の直線上に設けられている。また、螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３は、回転板７２ｃの中心（回転軸７２１ａの位置）からの距離がそれぞれ異なっている。すなわち、前記した距離は、螺合穴Ｈ１１よりも螺合穴Ｈ１２の方が回転板７２ｃの中心からの距離が長く、また、螺合穴Ｈ１２よりも螺合穴Ｈ１３の方が回転板７２ｃの中心からの距離がさらに長くなっている。
図９の例では、カムフォロア７２ｄを螺合するための３つの螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３が回転板７２Ａｃに設けられている。これらの螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３は、回転板７２ｃの中心を通る所定の直線上に設けられている。また、螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３は、回転板７２ｃの中心（回転軸７２１ａの位置）からの距離がそれぞれ異なっている。すなわち、前記した距離は、螺合穴Ｈ１１よりも螺合穴Ｈ１２の方が回転板７２ｃの中心からの距離が長く、また、螺合穴Ｈ１２よりも螺合穴Ｈ１３の方が回転板７２ｃの中心からの距離がさらに長くなっている。
【0072】
そして、カムフォロア７２ｄが螺合穴Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ１３のうちのいずれかに螺合されるようになっている。このように、カムフォロア７２ｄの取付位置を適宜に変更することで、攪拌パネル５（図１参照）の揺動速度や揺動範囲を変更できる。具体的には、回転板７２ｃの中心からカムフォロア７２ｄまでの距離が長いほど、揺動範囲が広くなり、また、モータ７２ａを所定の回転速度で駆動させた場合の揺動速度が速くなる。
【0073】
なお、螺合穴（図示せず）がひとつずつ設けられた回転板７２ｃが複数用意されるようにしてもよい。この場合において、複数の回転板７２ｃのそれぞれは、その中心から螺合穴までの距離が異なっているものとする。
【0074】
図１０Ａは、第２の変形例に係るめっき装置の攪拌棒５Ｂａの横断面を含む説明図である。
なお、図１０Ａには、説明を分かりやすくするために、めっき液の粒子Ｍ１（所定のイオン）を図示している。また、図１０Ａの複数の白抜き矢印は、攪拌棒５Ｂａの傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を示している。図１０Ａの例では、攪拌棒５Ｂａの横断面が台形状になっている。
なお、図１０Ａには、説明を分かりやすくするために、めっき液の粒子Ｍ１（所定のイオン）を図示している。また、図１０Ａの複数の白抜き矢印は、攪拌棒５Ｂａの傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａからめっき液の粒子Ｍ１に作用する力を示している。図１０Ａの例では、攪拌棒５Ｂａの横断面が台形状になっている。
【0075】
なお、攪拌棒５Ｂａの横断面の台形の上底・下底に対応する側面５１Ｂａ，５２Ｂａはｙ軸に対して垂直であり、また、台形の上底に対応する側面５１Ｂａが被めっき物Ｐ１に対向している。攪拌棒５Ｂａの横断面の台形における一対の脚は、被めっき物Ｐ１の板面を含む平面に対して所定に傾斜した傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａになっている。これらの傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａは、被めっき物Ｐ１に臨んでいる。すなわち、攪拌棒５Ｂａは、水平断面の形状が台形である柱状構造物であり、この柱状構造物は、所定の傾斜角θ３，θ４で構成する二つの傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａを備え、攪拌パネル（図示せず）が揺動するときに、二つの傾斜面５３Ｂａ，５４Ｂａが被めっき物Ｐ１に対向するように配設される。このように攪拌棒５Ｂａの横断面を台形状にした場合でも、攪拌棒５Ｂａがｘ軸方向に移動することで、被めっき物Ｐ１に対してめっき液を効率的に供給できる。
【0076】
図１０Ｂは、第３の変形例に係るめっき装置の攪拌棒５Ｃａの横断面を含む説明図である。
図１０Ｂに示すように、攪拌棒５Ｃａの横断面の形状が菱形であってもよい。この菱形の２本の対角線（図示せず）のうちの一方はｘ軸に平行であり、他方はｙ軸に平行になっている。前記した菱形の横断面において、被めっき物Ｐ１に臨む２本の辺が傾斜面５１Ｃａ，５２Ｃａを形成している。すなわち、攪拌棒５Ｃａは、水平断面の形状が菱形である柱状構造物であり、この柱状構造物は所定の傾斜角θ１，θ２で構成する二つの傾斜面５１Ｃａ，５２Ｃａを備えている。このように横断面を菱形にした場合でも、攪拌棒５Ｃａがｘ軸方向に移動することで、被めっき物Ｐ１に対してめっき液を効率的に供給できる。
図１０Ｂに示すように、攪拌棒５Ｃａの横断面の形状が菱形であってもよい。この菱形の２本の対角線（図示せず）のうちの一方はｘ軸に平行であり、他方はｙ軸に平行になっている。前記した菱形の横断面において、被めっき物Ｐ１に臨む２本の辺が傾斜面５１Ｃａ，５２Ｃａを形成している。すなわち、攪拌棒５Ｃａは、水平断面の形状が菱形である柱状構造物であり、この柱状構造物は所定の傾斜角θ１，θ２で構成する二つの傾斜面５１Ｃａ，５２Ｃａを備えている。このように横断面を菱形にした場合でも、攪拌棒５Ｃａがｘ軸方向に移動することで、被めっき物Ｐ１に対してめっき液を効率的に供給できる。
【0077】
なお、複数の攪拌棒のそれぞれの横断面の形状は、三角形（図３Ｂ参照）や台形（図１０Ａ参照）や菱形（図１０Ｂ参照）に限定されるものではなく、他の所定の形状であってもよい。前記したように、被めっき物Ｐ１の板面を含む平面に対して所定に傾斜している傾斜面を攪拌棒が有することで、被めっき物Ｐ１に向けてめっき液の流動を効率的に伝搬させることができる。
【0078】
また、実施形態では、攪拌パネル５（図３Ａ参照）が備える複数の攪拌棒５ａ（図３Ａ参照）の本数が３本である場合について説明したが、これに限らない。すなわち、攪拌棒５ａの本数は、２本であってもよく、また、４本以上であってもよい。
【0079】
また、実施形態では、往復動機構７１（図４Ａ参照）の駆動源としてエアシリンダ７１ｅ（図４Ａ参照）が用いられる場合について説明したが、これに限らない。すなわち、往復動機構７１の駆動源として、油圧シリンダやモータが用いられてもよい。
また、実施形態では、揺動機構７２が攪拌パネル５をｘ軸方向に直線往復運動させる場合について説明したが、これに限らない。例えば、所定の揺動軸（図示せず）を設けて、攪拌パネル５を振り子のように揺らすことで「揺動」させるようにしてもよい。
また、実施形態では、揺動機構７２が攪拌パネル５をｘ軸方向に直線往復運動させる場合について説明したが、これに限らない。例えば、所定の揺動軸（図示せず）を設けて、攪拌パネル５を振り子のように揺らすことで「揺動」させるようにしてもよい。
【0080】
また、各実施形態は本開示を分かりやすく説明するために詳細に記載したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
また、前記した機構や構成は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての機構や構成を示しているとは限らない。
また、前記した機構や構成は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての機構や構成を示しているとは限らない。
【符号の説明】
【0081】
１ めっき槽
２ ホルダ
３ アノード電極（電極板）
４ 遮蔽板
５ 攪拌パネル
５ａ，５Ｂａ，５Ｃａ 攪拌棒
６ めっき液供給装置
７ 揺動ユニット
８ 攪拌パネル取付部品
９ 制御装置
１０ めっき装置
５２ａ，５３ａ，５３Ｂａ，５４Ｂａ，５１Ｃａ，５２Ｃａ 傾斜面
７１ 往復動機構
７１ａ 台座
７１ｂ ガイドレール（ガイド）
７１ｃ ベース部
７１１ｃ 接続機構
７１ｄ 部材取付部
７１ｅ エアシリンダ
７１ｆ 連結部
７１３ｅ ロッド
７２ 揺動機構
７２ａ モータ
７２ｂ モータ把持部
７２ｃ，７２Ａｃ 回転板
７２ｄ カムフォロア
７２ｅ 平面プレート部（リンクプレート）
７２ｆ 直立プレート部（リンクプレート）
７２ｇ スライド部
７２ｈ リニアガイド
８１ 第１攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
８２ 第２攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
８３ 第３攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
Ｈ６ 第一の吸排気口
Ｈ７ 第二の吸排気口
Ｈ８ 長孔
Ｈ５１，Ｈ５２ 穿孔部
Ｐ１ 被めっき物
２ ホルダ
３ アノード電極（電極板）
４ 遮蔽板
５ 攪拌パネル
５ａ，５Ｂａ，５Ｃａ 攪拌棒
６ めっき液供給装置
７ 揺動ユニット
８ 攪拌パネル取付部品
９ 制御装置
１０ めっき装置
５２ａ，５３ａ，５３Ｂａ，５４Ｂａ，５１Ｃａ，５２Ｃａ 傾斜面
７１ 往復動機構
７１ａ 台座
７１ｂ ガイドレール（ガイド）
７１ｃ ベース部
７１１ｃ 接続機構
７１ｄ 部材取付部
７１ｅ エアシリンダ
７１ｆ 連結部
７１３ｅ ロッド
７２ 揺動機構
７２ａ モータ
７２ｂ モータ把持部
７２ｃ，７２Ａｃ 回転板
７２ｄ カムフォロア
７２ｅ 平面プレート部（リンクプレート）
７２ｆ 直立プレート部（リンクプレート）
７２ｇ スライド部
７２ｈ リニアガイド
８１ 第１攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
８２ 第２攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
８３ 第３攪拌パネル取付部品（攪拌パネル取付部品）
Ｈ６ 第一の吸排気口
Ｈ７ 第二の吸排気口
Ｈ８ 長孔
Ｈ５１，Ｈ５２ 穿孔部
Ｐ１ 被めっき物
【要約】
【課題】めっき液の液はねを抑制しつつ、被めっき物に適切にめっきを施すようにしためっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】被めっき物Ｐ１に電解めっきを行うめっき装置１０であって、めっき装置１０の揺動ユニット７は、往復動機構７１と、揺動機構７２と、を有し、往復動機構７１は、被めっき物Ｐ１のめっき面に平行な方向を示す水平方向において被めっき物Ｐ１より大きな範囲で設定した攪拌範囲で攪拌パネル５が所定の往復動速度で往復動するよう揺動機構７２を往復動させ、揺動機構７２は、めっき槽１内において、ホルダ２に保持された被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、水平方向において被めっき物Ｐ１の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で攪拌パネル５を往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら往復動機構７１の動きに同期して攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌する。
【選択図】図１
【解決手段】被めっき物Ｐ１に電解めっきを行うめっき装置１０であって、めっき装置１０の揺動ユニット７は、往復動機構７１と、揺動機構７２と、を有し、往復動機構７１は、被めっき物Ｐ１のめっき面に平行な方向を示す水平方向において被めっき物Ｐ１より大きな範囲で設定した攪拌範囲で攪拌パネル５が所定の往復動速度で往復動するよう揺動機構７２を往復動させ、揺動機構７２は、めっき槽１内において、ホルダ２に保持された被めっき物Ｐ１にめっき液を均一に供給するように、水平方向において被めっき物Ｐ１の大きさより小さな範囲で設定した揺動範囲で攪拌パネル５を往復動速度より速い揺動速度で揺動させながら往復動機構７１の動きに同期して攪拌範囲を往復動し、めっき液を攪拌する。
【選択図】図１
【図1】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
