(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-01
(45)【発行日】2024-04-09
(54)【発明の名称】樹脂組成物
(51)【国際特許分類】
H01F 1/34 20060101AFI20240402BHJP
H01F 1/37 20060101ALI20240402BHJP
H01F 17/04 20060101ALI20240402BHJP
H05K 1/16 20060101ALI20240402BHJP
H05K 3/46 20060101ALI20240402BHJP
C08K 3/22 20060101ALI20240402BHJP
C08L 101/00 20060101ALI20240402BHJP
C08L 63/00 20060101ALI20240402BHJP
【ＦＩ】
H01F1/34 140
H01F1/37
H01F17/04 F
H05K1/16 B
H05K3/46 B
H05K3/46 Q
C08K3/22
C08L101/00
C08L63/00 C
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2020009727
(22)【出願日】2020-01-24
(65)【公開番号】P2021118241
(43)【公開日】2021-08-10
【審査請求日】2022-11-07
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000000066
【氏名又は名称】味の素株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】大山 秀樹
(72)【発明者】
【氏名】田中 孝幸
(72)【発明者】
【氏名】大浦 一郎
【審査官】久保田 昌晴
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－１７８７１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０６７９６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／１８１４６３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１９／１８８３４４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００１－０９３７１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－０６６３６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特許第６９６２４８０（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】国際公開第２０２１／１４９７９４（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｆ １／３４－１／３７５、３／０８、１７／００－１９／０８
Ｈ０１Ｆ ２７／２５５
Ｈ０５Ｋ １／１６、３／４６
Ｃ０１Ｇ ４９／００－４９／０８
Ｃ０８Ｋ ３／２２
Ｃ０８Ｌ ６３／００、１０１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
（Ａ）フェライト、及び（Ｂ）熱硬化性樹脂、を含有する樹脂組成物であって、
（Ａ）成分に含まれるカーボン量が、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、
（Ａ）成分の体積基準の粒径分布における１０％径が、０．２μｍ以上２．０μｍ以下であり、
（Ａ）成分の体積基準の粒径分布における５０％径が、２．０μｍ以上４．３μｍ以下であり、
（Ａ）成分の体積基準の粒径分布における９０％径が、４．３μｍ以上８．５μｍ以下であり、
（Ａ）成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、８５．４質量％以上であり、
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の比透磁率（１０ＭＨｚ）が８以上であり、
樹脂組成物１９０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の最大点強度（２３℃）が４０ＭＰａ以上である、樹脂組成物。
【請求項2】
（Ａ）成分が、球状フェライトである、請求項１に記載の樹脂組成物。
【請求項3】
球状フェライトのアスペクト比が２以下である、請求項２に記載の樹脂組成物。
【請求項4】
（Ａ）成分が、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎ、及びＺｎから選ばれる少なくとも１種の元素を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
【請求項5】
（Ａ）成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、９８質量％以下である、請求項１～４のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
【請求項6】
（Ｂ）成分が、エポキシ樹脂を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
【請求項7】
ペースト状である、請求項１～６のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
【請求項8】
スルーホール充填用である、請求項１～７のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
【請求項9】
支持体と、該支持体上に設けられた、請求項１～８のいずれか１項に記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、磁性シート。
【請求項10】
スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、請求項１～８のいずれか１項に記載の樹脂組成物の硬化物と、を有する回路基板。
【請求項11】
請求項１～８のいずれか１項に記載の樹脂組成物の硬化物である磁性層を含む、回路基板。
【請求項12】
請求項１０又は１１に記載の回路基板を含む、インダクタ基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、樹脂組成物、及び樹脂組成物を用いて得られる磁性シート、回路基板、インダクタ基板に関する。
【背景技術】
【0002】
近年の電子機器の小型化、薄型化の要求に伴い、電子機器に使用される回路基板にも小型化、配線の高密度化が求められている。このような回路基板にはスルーホールが設けられる。また、このスルーホール中に、磁性粉体を含む樹脂組成物を充填し、磁性層を形成して、インダクタ基板を作製することがある。
【0003】
例えば、特許文献１には、インダクタ基板のスルーホール内部の磁性層を形成するための材料として、酸化鉄（ＩＩＩ）やコバルト酸化鉄等の磁性粉体と熱硬化性樹脂とを含む樹脂組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１６－１９７６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、インダクタの性能の向上のため、磁性粉体を含む樹脂組成物の硬化物の比透磁率を高くするには、樹脂組成物に磁性粉体を多く含有させる方法が考えられる。しかし、本発明者は、磁性粉体としてフェライトを多く含有させると、樹脂組成物の粘度が上昇し、また樹脂組成物の硬化物の機械強度および伸び性が低下することを見いだした。樹脂組成物の粘度上昇は取り扱い性の低下や印刷性の低下を引き起こす要因となり、また機械強度および伸び性の低下は、応力等によるクラックが発生する要因となる。
【0006】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、硬化物の比透磁率に優れ、かつ低粘度で、硬化物の機械強度および伸び性にも優れる樹脂組成物、及び樹脂組成物を用いて得られる磁性シート；回路基板；並びにインダクタ基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物中のフェライトに含まれるカーボン量を所定量以下とすることで、硬化物の比透磁率に優れるとともに、低粘度で硬化物の機械強度および伸び性にも優れるようになることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【0008】
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
［１］ （Ａ）フェライト、及び
（Ｂ）熱硬化性樹脂、を含有する樹脂組成物であって、
（Ａ）成分に含まれるカーボン量が、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の比透磁率（１０ＭＨｚ）が８以上であり、
樹脂組成物１９０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の最大点強度（２３℃）が４０ＭＰａ以上である、樹脂組成物。
［２］ （Ａ）成分が、球状フェライトである、［１］に記載の樹脂組成物。
［３］ 球状フェライトのアスペクト比が２以下である、［２］に記載の樹脂組成物。
［４］ （Ａ）成分が、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎ、及びＺｎから選ばれる少なくとも１種の元素を含む、［１］～［３］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［５］ （Ａ）成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、７０質量％以上９８質量％以下である、［１］～［４］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［６］ （Ｂ）成分が、エポキシ樹脂を含む、［１］～［５］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［７］ ペースト状である、［１］～［６］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［８］ スルーホール充填用である、［１］～［７］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［９］ 支持体と、該支持体上に設けられた、［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、磁性シート。
［１０］ スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物と、を有する回路基板。
［１１］ ［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物である磁性層を含む、回路基板。
［１２］ ［１０］又は［１１］に記載の回路基板を含む、インダクタ基板。
［１］ （Ａ）フェライト、及び
（Ｂ）熱硬化性樹脂、を含有する樹脂組成物であって、
（Ａ）成分に含まれるカーボン量が、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の比透磁率（１０ＭＨｚ）が８以上であり、
樹脂組成物１９０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の最大点強度（２３℃）が４０ＭＰａ以上である、樹脂組成物。
［２］ （Ａ）成分が、球状フェライトである、［１］に記載の樹脂組成物。
［３］ 球状フェライトのアスペクト比が２以下である、［２］に記載の樹脂組成物。
［４］ （Ａ）成分が、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎ、及びＺｎから選ばれる少なくとも１種の元素を含む、［１］～［３］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［５］ （Ａ）成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、７０質量％以上９８質量％以下である、［１］～［４］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［６］ （Ｂ）成分が、エポキシ樹脂を含む、［１］～［５］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［７］ ペースト状である、［１］～［６］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［８］ スルーホール充填用である、［１］～［７］のいずれかに記載の樹脂組成物。
［９］ 支持体と、該支持体上に設けられた、［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、磁性シート。
［１０］ スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物と、を有する回路基板。
［１１］ ［１］～［８］のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物である磁性層を含む、回路基板。
［１２］ ［１０］又は［１１］に記載の回路基板を含む、インダクタ基板。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、硬化物の比透磁率に優れるとともに、低粘度で硬化物の機械強度および伸び性にも優れる樹脂組成物、及び樹脂組成物を用いて得られる磁性シート；回路基板；並びにインダクタ基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、各図面は、発明が理解できる程度に、構成要素の形状、大きさおよび配置が概略的に示されているに過ぎない。本発明は以下の記述によって限定されるものではなく、各構成要素は本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、本発明の実施形態にかかる構成は、必ずしも図示例の配置により、製造されたり、使用されたりするとは限らない。
【0012】
［樹脂組成物］
本発明の樹脂組成物は、（Ａ）フェライト及び（Ｂ）熱硬化性樹脂を含有する樹脂組成物であって、（Ａ）成分に含まれるカーボン量が、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の比透磁率（１０ＭＨｚ）が８以上であり、樹脂組成物１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の最大点強度（２３℃）が４０ＭＰａ以上である。本発明では、カーボン量を所定量以下にしたフェライトを樹脂組成物に含有させることで、硬化物の比透磁率に優れるとともに、低粘度で硬化物の機械強度および伸び性にも優れる樹脂組成物を得ることも可能となる。
本発明の樹脂組成物は、（Ａ）フェライト及び（Ｂ）熱硬化性樹脂を含有する樹脂組成物であって、（Ａ）成分に含まれるカーボン量が、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の比透磁率（１０ＭＨｚ）が８以上であり、樹脂組成物１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物の最大点強度（２３℃）が４０ＭＰａ以上である。本発明では、カーボン量を所定量以下にしたフェライトを樹脂組成物に含有させることで、硬化物の比透磁率に優れるとともに、低粘度で硬化物の機械強度および伸び性にも優れる樹脂組成物を得ることも可能となる。
【0013】
樹脂組成物は、（Ａ）～（Ｂ）成分に組み合わせて、さらに任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、（Ｃ）分散剤、（Ｄ）硬化促進剤、及び（Ｅ）その他の添加剤等が挙げられる。以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。
【0014】
＜（Ａ）フェライト＞
樹脂組成物は、（Ａ）成分として、（Ａ）フェライトを含有する。この（Ａ）成分に含まれるカーボン量は、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下である。（Ａ）成分に含まれるカーボン量を（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下とすることで、粘度が低く、印刷性及び取扱い性に優れるようになる。一般に、フェライトは、原料の造粒物に焼結助剤を混合し、焼結を行うことで作製する。本発明者らは、焼結後もその焼結助剤に由来するカーボンがフェライト中に残留し、そのカーボンが樹脂組成物の粘度を高くすることを見いだした。フェライト中に含まれるカーボンの量を所定値以下とすることで、樹脂組成物の粘度を低くするという技術的思想は、本発明者らが知る限り、従来なんら提案されていなかったといえる。ここで、カーボン量とは、表面処理剤におけるカーボン量は含めない。（Ａ）成分に含まれるカーボン量の調整は、例えば、ラウリン酸等の焼結助剤の量を調整すること等により行うことができる。
樹脂組成物は、（Ａ）成分として、（Ａ）フェライトを含有する。この（Ａ）成分に含まれるカーボン量は、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下である。（Ａ）成分に含まれるカーボン量を（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下とすることで、粘度が低く、印刷性及び取扱い性に優れるようになる。一般に、フェライトは、原料の造粒物に焼結助剤を混合し、焼結を行うことで作製する。本発明者らは、焼結後もその焼結助剤に由来するカーボンがフェライト中に残留し、そのカーボンが樹脂組成物の粘度を高くすることを見いだした。フェライト中に含まれるカーボンの量を所定値以下とすることで、樹脂組成物の粘度を低くするという技術的思想は、本発明者らが知る限り、従来なんら提案されていなかったといえる。ここで、カーボン量とは、表面処理剤におけるカーボン量は含めない。（Ａ）成分に含まれるカーボン量の調整は、例えば、ラウリン酸等の焼結助剤の量を調整すること等により行うことができる。
【0015】
（Ａ）成分に含まれるカーボン量としては、（Ａ）成分１００質量％に対して、０．１質量％以下であり、好ましくは０．０９質量％以下、より好ましくは０．０８質量％以下である。カーボン量の下限は特に制限されないが、（Ａ）成分１００質量％に対して、０質量％以上、又は０．００１質量％以上等とし得る。
【0016】
（Ａ）成分に含まれるカーボン量は、炭素分析装置を用いて測定することができる。炭素分析装置においては、例えば、高周波誘導炉で測定対象のフェライトを燃焼させ、生成した一酸化炭素および二酸化炭素を赤外線吸収法によりカーボン量を測定することができる。具体的には、炭素分析装置の酸素ガス圧を２．５ｋｇ／ｃｍ２とし、窒素ガス圧を２．８ｋｇ／ｃｍ２とする。まず、測定対象のフェライトと同程度のカーボン量であって、カーボン量が明らかな標準試料のカーボン量を測定する。次に、フェライトを用いずに測定する空試験を行い、以下の式から換算係数を算出する。
換算係数＝標準試料のはかり取り量（ｇ）／｛（標準試料の測定値）－（空試験での測定値）｝×標準試料のカーボン量（質量％）／１００
続いて、測定対象のフェライトについて前記の炭素分析装置を用いて測定し、下記式によってカーボン量を算出する。
カーボン量（質量％）＝｛（測定対象のフェライトの測定値）－（空試験での測定値）｝×換算係数／測定対象のフェライトのはかり取り量（ｇ）×１００
換算係数＝標準試料のはかり取り量（ｇ）／｛（標準試料の測定値）－（空試験での測定値）｝×標準試料のカーボン量（質量％）／１００
続いて、測定対象のフェライトについて前記の炭素分析装置を用いて測定し、下記式によってカーボン量を算出する。
カーボン量（質量％）＝｛（測定対象のフェライトの測定値）－（空試験での測定値）｝×換算係数／測定対象のフェライトのはかり取り量（ｇ）×１００
【0017】
（Ａ）成分に、後述する表面処理剤による表面処理がなされている場合、測定するフェライトを、１００ｍＬ／分の流量で窒素をフローしながら電気炉にて５００℃で６時間加熱して、フェライト表面の表面処理剤を除去した後に、上記した方法にてカーボン量を算出する。なお、焼結助剤に由来するカーボンは１０００℃程度の温度であっても除去することはできないが、表面処理剤は、通常、５００℃～６００℃の温度で加熱することで完全に除去することが可能である。
【0018】
フェライトとしては、例えば、Ｍｇ－Ｚｎ系フェライト、Ｆｅ－Ｍｎ系フェライト、Ｍｎ－Ｚｎ系フェライト、Ｍｎ－Ｍｇ系フェライト、Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト、Ｍｇ－Ｍｎ－Ｓｒ系フェライト、Ｎｉ－Ｚｎ系フェライト、Ｂａ－Ｚｎ系フェライト、Ｂａ－Ｍｇ系フェライト、Ｂａ－Ｎｉ系フェライト、Ｂａ－Ｃｏ系フェライト、Ｂａ－Ｎｉ－Ｃｏ系フェライト、Ｙ系フェライト、酸化鉄粉（ＩＩＩ）、四酸化三鉄等が挙げられる。中でも、フェライトとしては、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎ、及びＺｎから選ばれる少なくとも１種の元素を含むことが好ましく、Ｆｅ－Ｍｎ系フェライトがより好ましい。（Ａ）成分は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0019】
フェライトとしては、市販のフェライトを用いることができる。用いられ得る市販のフェライトの具体例としては、パウダーテック社製「Ｍ０５Ｓ」（カーボン量０．０１質量未満）、「Ｅ１０ｓ」（カーボン量０．０１質量％未満）等が挙げられる。
【0020】
フェライトは、球状フェライトであることが好ましい。フェライトの長軸の長さを短軸の長さで除した値（アスペクト比）としては、好ましくは２以下、より好ましくは１．５以下、さらに好ましくは１．２以下であり、さらに好ましくは１．１であり、特に好ましくは１．０である。一般に、フェライトは球状ではない扁平な形状であるほうが、比透磁率を向上させやすい。しかし、特に球状のフェライトを用いる方が、通常、磁気損失を低くでき、また好ましい粘度を有する樹脂組成物を得る観点から好ましい。アスペクト比は、後述する方法にて測定することができる。
【0021】
（Ａ）成分の平均粒径は、ミー（Ｍｉｅ）散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、磁性粉体の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、磁性粉体を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒径分布測定装置としては、堀場製作所社製「ＬＡ－５００」、島津製作所社製「ＳＡＬＤ－７５００ｎａｎｏ」、「ＳＡＬＤ－２２００」等を使用することができる。
【0022】
粒径分布における１０％径（Ｄ１０）とは、上記の方法により粒径分布を測定した結果、粒径分布曲線において、粒径の小さい側から累積した体積の積算量が１０％となるときの体積平均粒径をいう。５０％粒径（Ｄ５０）とは、上記の方法により粒径分布を測定した結果、粒径分布曲線において、粒径の小さい側から累積した体積の積算量が５０％となるときの体積平均粒径をいう。また、９０％粒径（Ｄ９０）とは、上記の方法により粒径分布を測定した結果、粒径分布曲線において、粒径の小さい側から累積した体積の積算量が９０％となるときの体積平均粒径をいう。
【0023】
粒径分布における１０％径（Ｄ１０）としては、比透磁率に優れる硬化物を得る観点から、好ましくは０．２μｍ以上、より好ましくは０．２５μｍ以上、さらに好ましくは０．３μｍ以上である。上限は好ましくは２．０μｍ以下、好ましくは２．０μｍ未満、より好ましくは１．９μｍ以下、さらに好ましくは１．８μｍ以下である。
【0024】
粒径分布における５０％粒径（Ｄ５０）としては、比透磁率に優れる硬化物を得る観点から、好ましくは２．０μｍ以上、より好ましくは２．１μｍ以上、さらに好ましくは２．２μｍ以上である。上限は好ましくは４．３μｍ以下、好ましくは４．３μｍ未満、より好ましくは４．２μｍ以下、さらに好ましくは４．１μｍ以下である。
【0025】
粒径分布における９０％粒径（Ｄ９０）としては、比透磁率に優れる硬化物を得る観点から、好ましくは４．３μｍ以上、より好ましくは４．４μｍ以上、さらに好ましくは４．５μｍ以上である。上限は好ましくは８．５μｍ以下、より好ましくは８．４μｍ以下、さらに好ましくは８．３μｍ以下である。
【0026】
（Ａ）成分の比表面積は、磁気特性に優れる硬化物を得る観点から、好ましくは０．０５ｍ２／ｇ以上、より好ましくは０．１ｍ２／ｇ以上、さらに好ましくは０．３ｍ２／ｇ以上である。また、好ましくは１０ｍ２／ｇ以下、より好ましくは８ｍ２／ｇ以下、さらに好ましくは５ｍ２／ｇ以下である。（Ａ）成分の比表面積は、ＢＥＴ法によって測定できる。
【0027】
（Ａ）成分は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていてもよい。表面処理剤としては、例えば、ビニルシラン系カップリング剤、（メタ）アクリル系カップリング剤、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。表面処理剤は、１種類単独で用いてもよく、２種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。
【0028】
表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「ＫＢＭ１００３」（ビニルトリエトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ５０３」（３－メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ４０３」（３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ８０３」（３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＥ９０３」（３－アミノプロピルトリエトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ５７３」（Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン）、信越化学工業社製「ＳＺ－３１」（ヘキサメチルジシラザン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ１０３」（フェニルトリメトキシシラン）、信越化学工業社製「ＫＢＭ－４８０３」（長鎖エポキシ型シランカップリング剤）、信越化学工業社製「ＫＢＭ－７１０３」（３，３，３－トリフルオロプロピルトリメトキシシラン）等が挙げられる。
【0029】
表面処理剤による表面処理の程度は、（Ａ）成分の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、（Ａ）成分１００質量部は、０．２質量部～５質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、０．２質量部～３質量部で表面処理されていることが好ましく、０．３質量部～２質量部で表面処理されていることが好ましい。
【0030】
（Ａ）成分の含有量（体積％）は、磁気特性に優れる硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を１００体積％とした場合、好ましくは１０体積％以上、より好ましくは２０体積％以上、さらに好ましくは３０体積％以上である。また、好ましくは８５体積％以下、より好ましくは８０体積％以下、さらに好ましくは７５体積％以下である。
【0031】
（Ａ）成分の含有量（質量％）は、磁気特性に優れる硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、好ましくは７０質量％以上、より好ましくは７５質量％以上、さらに好ましくは８０質量％以上である。また、好ましくは９８質量％以下、より好ましくは９５質量％以下、さらに好ましくは９０質量％以下である。なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％としたときの値である。
【0032】
＜（Ｂ）熱硬化性樹脂＞
樹脂組成物は、（Ｂ）成分として熱硬化性樹脂を含有する。（Ｂ）熱硬化性樹脂としては、例えば、配線板の絶縁層を形成する際に使用される熱硬化性樹脂を用いることができる。このような熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール系樹脂、ナフトール系樹脂、ベンゾオキサジン系樹脂、活性エステル系樹脂、シアネートエステル系樹脂、カルボジイミド系樹脂、アミン系樹脂、酸無水物系樹脂等が挙げられ、中でもエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
樹脂組成物は、（Ｂ）成分として熱硬化性樹脂を含有する。（Ｂ）熱硬化性樹脂としては、例えば、配線板の絶縁層を形成する際に使用される熱硬化性樹脂を用いることができる。このような熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール系樹脂、ナフトール系樹脂、ベンゾオキサジン系樹脂、活性エステル系樹脂、シアネートエステル系樹脂、カルボジイミド系樹脂、アミン系樹脂、酸無水物系樹脂等が挙げられ、中でもエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
【0033】
（Ｂ）熱硬化性樹脂は１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。ここで、フェノール系樹脂、ナフトール系樹脂、ベンゾオキサジン系樹脂、活性エステル系樹脂、シアネートエステル系樹脂、カルボジイミド系樹脂、アミン系樹脂、及び酸無水物系樹脂のように、エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させられる成分をまとめて「硬化剤」ということがある。
【0034】
エポキシ樹脂は、例えば、グリシロール型エポキシ樹脂；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＡＦ型エポキシ樹脂；ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂；トリスフェノール型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂；ｔｅｒｔ－ブチル－カテコール型エポキシ樹脂；ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂等の縮合環構造を有するエポキシ樹脂；グリシジルアミン型エポキシ樹脂；グリシジルエステル型エポキシ樹脂；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂；ビフェニル型エポキシ樹脂；線状脂肪族エポキシ樹脂；ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂；脂環式エポキシ樹脂；複素環式エポキシ樹脂；スピロ環含有エポキシ樹脂；シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂；トリメチロール型エポキシ樹脂；テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。エポキシ樹脂は、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、及びビスフェノールＦ型エポキシ樹脂から選ばれる１種以上であることが好ましい。
【0035】
エポキシ樹脂は、１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。また、エポキシ樹脂は、芳香族構造を有することが好ましく、２種以上のエポキシ樹脂を用いる場合は少なくとも１種が芳香族構造を有することがより好ましい。芳香族構造とは、一般に芳香族と定義される化学構造であり、多環芳香族及び芳香族複素環をも含む。エポキシ樹脂の不揮発成分１００質量％に対して、１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは６０質量％以上、特に好ましくは７０質量％以上である。
【0036】
エポキシ樹脂には、温度２５℃で液状のエポキシ樹脂（以下「液状エポキシ樹脂」とい
うことがある。）と、温度２５℃で固体状のエポキシ樹脂（以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。）とがある。（Ｂ）成分としてエポキシ樹脂を含有する場合、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂及び固体状エポキシ樹脂を組み合わせて含んでいてもよいが、樹脂組成物の粘度を低下させる観点から、液状エポキシ樹脂のみを含むことが好ましい。
うことがある。）と、温度２５℃で固体状のエポキシ樹脂（以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。）とがある。（Ｂ）成分としてエポキシ樹脂を含有する場合、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂及び固体状エポキシ樹脂を組み合わせて含んでいてもよいが、樹脂組成物の粘度を低下させる観点から、液状エポキシ樹脂のみを含むことが好ましい。
【0037】
液状エポキシ樹脂としては、グリシロール型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＦ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、グリシロール型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、及びビスフェノールＦ型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、ＤＩＣ社製の「ＨＰ４０３２」、「ＨＰ４０３２Ｄ」、「ＨＰ４０３２ＳＳ」（ナフタレン型エポキシ樹脂）；三菱ケミカル社製の「８２８ＵＳ」、「ｊＥＲ８２８ＥＬ」（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂）、「ｊＥＲ８０７」（ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂）、「ｊＥＲ１５２」（フェノールノボラック型エポキシ樹脂）；三菱ケミカル社製の「６３０」、「６３０ＬＳＤ」、ＡＤＥＫＡ社製の「ＥＤ－５２３Ｔ」（グリシロール型エポキシ樹脂（アデカグリシロール））、「ＥＰ－３９８０Ｓ」（グリシジルアミン型エポキシ樹脂）、「ＥＰ－４０８８Ｓ」（ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂）；日鉄ケミカル＆マテリアル社製の「ＺＸ１０５９」（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂の混合品）；ナガセケムテックス社製の「ＥＸ－７２１」（グリシジルエステル型エポキシ樹脂）；ダイセル社製の「セロキサイド２０２１Ｐ」（エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂）、「ＰＢ－３６００」（ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂）；新日鉄化学社製の「ＺＸ１６５８」、「ＺＸ１６５８ＧＳ」（液状１，４－グリシジルシクロヘキサン）等が挙げられる。これらは１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0038】
固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型４官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型４官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、ＤＩＣ社製の「ＨＰ４０３２Ｈ」（ナフタレン型エポキシ樹脂）、「ＨＰ－４７００」、「ＨＰ－４７１０」（ナフタレン型４官能エポキシ樹脂）、「Ｎ－６９０」（クレゾールノボラック型エポキシ樹脂）、「Ｎ－６９５」（クレゾールノボラック型エポキシ樹脂）、「ＨＰ－７２００」、「ＨＰ－７２００ＨＨ」、「ＨＰ－７２００Ｈ」（ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂）、「ＥＸＡ－７３１１」、「ＥＸＡ－７３１１－Ｇ３」、「ＥＸＡ－７３１１－Ｇ４」、「ＥＸＡ－７３１１－Ｇ４Ｓ」、「ＨＰ６０００」（ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂）；日本化薬社製の「ＥＰＰＮ－５０２Ｈ」（トリスフェノール型エポキシ樹脂）、「ＮＣ７０００Ｌ」（ナフトールノボラック型エポキシ樹脂）、「ＮＣ３０００Ｈ」、「ＮＣ３０００」、「ＮＣ３０００Ｌ」、「ＮＣ３１００」（ビフェニル型エポキシ樹脂）；日鉄ケミカル＆マテリアル社製の「ＥＳＮ４７５Ｖ」（ナフタレン型エポキシ樹脂）、「ＥＳＮ４８５」（ナフトールノボラック型エポキシ樹脂）；三菱ケミカル社製の「ＹＸ４０００Ｈ」、「ＹＬ６１２１」（ビフェニル型エポキシ樹脂）、「ＹＸ４０００ＨＫ」（ビキシレノール型エポキシ樹脂）、「ＹＸ８８００」（アントラセン型エポキシ樹脂）；大阪ガスケミカル社製の「ＰＧ－１００」、「ＣＧ－５００」、三菱ケミカル社製の「ＹＬ７７６０」（ビスフェノールＡＦ型エポキシ樹脂）、「ＹＬ７８００」（フルオレン型エポキシ樹脂）、「ｊＥＲ１０１０」（固体状ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂）、「ｊＥＲ１０３１Ｓ」（テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂）等が挙げられる。これらは１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0039】
（Ｂ）成分として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比（液状エポキシ樹脂：固体状エポキシ樹脂）は、質量比で、好ましくは１：０．１～１：４、より好ましくは１：０．３～１：３．５、さらに好ましくは１：０．６～１：３である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比が斯かる範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。
【0040】
（Ｂ）成分としてのエポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは５０ｇ／ｅｑ．～５０００ｇ／ｅｑ．、より好ましくは５０ｇ／ｅｑ．～３０００ｇ／ｅｑ．、さらに好ましくは８０ｇ／ｅｑ．～２０００ｇ／ｅｑ．、さらにより好ましくは１１０ｇ／ｅｑ．～１０００ｇ／ｅｑ．である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい磁性層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、ＪＩＳ Ｋ７２３６に従って測定することができ、１当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。
【0041】
（Ｂ）成分としてのエポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは１００～５０００、より好ましくは２５０～３０００、さらに好ましくは４００～１５００である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
【0042】
活性エステル系樹脂としては、１分子中に１個以上の活性エステル基を有する樹脂を用いることができる。中でも、活性エステル系樹脂としては、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、Ｎ－ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を１分子中に２個以上有する樹脂が好ましい。当該活性エステル系樹脂は、カルボン酸化合物及び／又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び／又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に、耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系樹脂が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び／又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系樹脂がより好ましい。
【0043】
カルボン酸化合物としては、例えば、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。
【0044】
フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールＡ、メチル化ビスフェノールＦ、メチル化ビスフェノールＳ、フェノール、ｏ－クレゾール、ｍ－クレゾール、ｐ－クレゾール、カテコール、α－ナフトール、β－ナフトール、１，５－ジヒドロキシナフタレン、１，６－ジヒドロキシナフタレン、２，６－ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン１分子にフェノール２分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。
【0045】
活性エステル系樹脂の好ましい具体例としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル系樹脂、ナフタレン構造を含む活性エステル系樹脂、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル系樹脂、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル系樹脂が挙げられる。中でも、ナフタレン構造を含む活性エステル系樹脂、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル系樹脂がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン－ジシクロペンチレン－フェニレンからなる２価の構造単位を表す。
【0046】
活性エステル系樹脂の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル系樹脂として、「ＥＸＢ９４５１」、「ＥＸＢ９４６０」、「ＥＸＢ９４６０Ｓ」、「ＨＰＣ－８０００－６５Ｔ」、「ＨＰＣ－８０００Ｈ－６５ＴＭ」、「ＥＸＢ－８０００Ｌ－６５ＴＭ」（ＤＩＣ社製）；ナフタレン構造を含む活性エステル系樹脂として「ＥＸＢ９４１６－７０ＢＫ」、「ＥＸＢ－８１００Ｌ－６５Ｔ」、「ＥＸＢ－８１５０Ｌ－６５Ｔ」、「ＥＸＢ－８１５０－６２Ｔ」（ＤＩＣ社製）；フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル系樹脂として「ＤＣ８０８」（三菱ケミカル社製）；フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル系樹脂として「ＹＬＨ１０２６」（三菱ケミカル社製）；フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系樹脂として「ＤＣ８０８」（三菱ケミカル社製）；フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系樹脂として「ＹＬＨ１０２６」（三菱ケミカル社製）、「ＹＬＨ１０３０」（三菱ケミカル社製）、「ＹＬＨ１０４８」（三菱ケミカル社製）；等が挙げられる。
【0047】
フェノール系樹脂及びナフトール系樹脂としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するものが好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系樹脂がより好ましい。
【0048】
フェノール系樹脂及びナフトール系樹脂の具体例としては、例えば、明和化成社製の「ＭＥＨ－７７００」、「ＭＥＨ－７８１０」、「ＭＥＨ－７８５１」、日本化薬社製の「ＮＨＮ」、「ＣＢＮ」、「ＧＰＨ」、日鉄ケミカル＆マテリアル社製の「ＳＮ１７０」、「ＳＮ１８０」、「ＳＮ１９０」、「ＳＮ４７５」、「ＳＮ４８５」、「ＳＮ４９５」、「ＳＮ－４９５Ｖ」「ＳＮ３７５」、「ＳＮ３９５」、ＤＩＣ社製の「ＴＤ－２０９０」、「ＬＡ－７０５２」、「ＬＡ－７０５４」、「ＬＡ－１３５６」、「ＬＡ－３０１８－５０Ｐ」、「ＥＸＢ－９５００」等が挙げられる。
【0049】
ベンゾオキサジン系樹脂の具体例としては、ＪＦＥケミカル社製の「ＪＢＺ－ＯＤ１００」（ベンゾオキサジン環当量２１８ｇ／ｅｑ．）、「ＪＢＺ－ＯＰ１００Ｄ」（ベンゾオキサジン環当量２１８ｇ／ｅｑ．）、「ＯＤＡ－ＢＯＺ」（ベンゾオキサジン環当量２１８ｇ／ｅｑ．）；四国化成工業社製の「Ｐ－ｄ」（ベンゾオキサジン環当量２１７ｇ／ｅｑ．）、「Ｆ－ａ」（ベンゾオキサジン環当量２１７ｇ／ｅｑ．）；昭和高分子社製の「ＨＦＢ２００６Ｍ」（ベンゾオキサジン環当量４３２ｇ／ｅｑ．）等が挙げられる。
【0050】
シアネートエステル系樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ（３－メチレン－１，５－フェニレンシアネート）、４，４’－メチレンビス（２，６－ジメチルフェニルシアネート）、４，４’－エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールＡジシアネート、２，２－ビス（４－シアネート）フェニルプロパン、１，１－ビス（４－シアネートフェニルメタン）、ビス（４－シアネート－３，５－ジメチルフェニル）メタン、１，３－ビス（４－シアネートフェニル－１－（メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４－シアネートフェニル）チオエーテル、及びビス（４－シアネートフェニル）エーテル、等の２官能シアネート樹脂；フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂；これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマー；などが挙げられる。シアネートエステル系樹脂の具体例としては、ロンザジャパン社製の「ＰＴ３０」及び「ＰＴ６０」（フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂）、「ＵＬＬ－９５０Ｓ」（多官能シアネートエステル樹脂）、「ＢＡ２３０」、「ＢＡ２３０Ｓ７５」（ビスフェノールＡジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー）等が挙げられる。
【0051】
カルボジイミド系樹脂の具体例としては、日清紡ケミカル社製のカルボジライト（登録商標）Ｖ－０３（カルボジイミド基当量：２１６ｇ／ｅｑ．）、Ｖ－０５（カルボジイミド基当量：２６２ｇ／ｅｑ．）、Ｖ－０７（カルボジイミド基当量：２００ｇ／ｅｑ．）、Ｖ－０９（カルボジイミド基当量：２００ｇ／ｅｑ．）；ラインケミー社製のスタバクゾール（登録商標）Ｐ（カルボジイミド基当量：３０２ｇ／ｅｑ．）が挙げられる。
【0052】
アミン系樹脂としては、１分子内中に１個以上のアミノ基を有する樹脂が挙げられ、例えば、脂肪族アミン類、ポリエーテルアミン類、脂環式アミン類、芳香族アミン類等が挙げられ、中でも、本発明の所望の効果を奏する観点から、芳香族アミン類が好ましい。アミン系樹脂は、第１級アミン又は第２級アミンが好ましく、第１級アミンがより好ましい。アミン系硬化剤の具体例としては、４，４’－メチレンビス（２，６－ジメチルアニリン）、ジフェニルジアミノスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、ｍ－フェニレンジアミン、ｍ－キシリレンジアミン、ジエチルトルエンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，３’－ジメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、２，２’－ジメチル－４，４’－ジアミノビフェニル、３，３’－ジヒドロキシベンジジン、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、３，３－ジメチル－５，５－ジエチル－４，４－ジフェニルメタンジアミン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、ビス（４－（３－アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、等が挙げられる。アミン系樹脂は市販品を用いてもよく、例えば、日本化薬社製の「ＫＡＹＡＢＯＮＤ Ｃ－２００Ｓ」、「ＫＡＹＡＢＯＮＤ Ｃ－１００」、「カヤハードＡ－Ａ」、「カヤハードＡ－Ｂ」、「カヤハードＡ－Ｓ」、三菱ケミカル社製の「エピキュアＷ」等が挙げられる。
【0053】
酸無水物系樹脂としては、１分子内中に１個以上の酸無水物基を有する樹脂が挙げられる。酸無水物系樹脂の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、５－（２，５－ジオキソテトラヒドロ－３－フラニル）－３－メチル－３－シクロヘキセン－１，２－ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、３，３’－４，４’－ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、１，３，３ａ，４，５，９ｂ－ヘキサヒドロ－５－（テトラヒドロ－２，５－ジオキソ－３－フラニル）－ナフト［１，２－Ｃ］フラン－１，３－ジオン、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメリテート）、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。
【0054】
（Ｂ）成分としてエポキシ樹脂及び硬化剤を含有する場合、エポキシ樹脂とすべての硬化剤との量比は、［エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数］：［硬化剤の反応基の合計数］の比率で、１：０．０１～１：５の範囲が好ましく、１：０．５～１：３がより好ましく、１：１～１：２がさらに好ましい。ここで、「エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂の不揮発成分の質量をエポキシ当量で除した値を全て合計した値である。また、「硬化剤の活性基数」とは、樹脂組成物中に存在する硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で除した値を全て合計した値である。
【0055】
（Ｂ）熱硬化性樹脂の含有量は、機械特性及び磁気特性に優れる硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、好ましくは１質量％以上、より好ましくは５質量％以上、さらに好ましくは１０質量％以上である。上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは３０質量％以下、より好ましくは２５質量％以下、さらに好ましくは２０質量％以下である。
【0056】
（Ｂ）熱硬化性樹脂のうち、固形の熱硬化性樹脂の含有量が、樹脂組成物中の（Ｂ）熱硬化性樹脂を１００質量％とした場合、好ましくは２５質量％以下、より好ましくは２０質量％以下、さらに好ましくは１５質量％以下、１０質量％以下、又は８質量％以下であり、好ましくは０．１質量％以上であり、より好ましくは０．５質量％以上であり、さらに好ましくは１質量％以上である。「固形の熱硬化性樹脂」とは、２５℃で粘度が２０Ｐａ・ｓ以上の固形状の熱硬化性樹脂をいう。固形の熱硬化性樹脂の含有量を斯かる範囲内となるように調整することにより、樹脂組成物の粘度を低下させることが可能となる。
【0057】
＜（Ｃ）分散剤＞
樹脂組成物は、さらに任意成分として、（Ｃ）分散剤を含んでいてもよい。
樹脂組成物は、さらに任意成分として、（Ｃ）分散剤を含んでいてもよい。
【0058】
（Ｃ）分散剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸等のリン酸エステル系分散剤；ドデシルベンゼルスルホン酸ナトリウム、ラウリル酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテルサルフェートのアンモニウム塩等のアニオン性分散剤；オルガノシロキサン系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレングリコール、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミド等の非イオン性分散剤等が挙げられる。これらの中でも、非イオン性分散剤が好ましい。（Ｃ）分散剤は１種単独で用いてもよく、又は２種以上を併用してもよい。
【0059】
リン酸エステル系分散剤は、市販品を用いることができる。市販品として、例えば東邦化学工業社製「フォスファノール」シリーズの「ＲＳ－４１０」、「ＲＳ－６１０」、「ＲＳ－７１０」等が挙げられる。
【0060】
オルガノシロキサン系分散剤としては、市販品として、ビックケミー社製「ＢＹＫ３４７」、「ＢＹＫ３４８」等が挙げられる。
【0061】
ポリオキシアルキレン系分散剤としては、市販品として、日油株式会社製「マリアリム」シリーズの「ＡＫＭ－０５３１」、「ＡＦＢ－１５２１」、「ＳＣ－０５０５Ｋ」、「ＳＣ－１０１５Ｆ」及び「ＳＣ－０７０８Ａ」、並びに「ＨＫＭ－５０Ａ」等が挙げられる。ポリオキシアルキレン系分散剤とは、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミド等をまとめた総称である。
【0062】
アセチレングリコールとしては、市販品として、Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｉｎｃ．製「サーフィノール」シリーズの「８２」、「１０４」、「４４０」、「４６５」及び「４８５」、並びに「オレフィンＹ」等が挙げられる。
【0063】
（Ｃ）分散剤を含む場合、（Ｃ）分散剤の含有量は、本発明の効果を顕著に発揮させる観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．３質量％以上、さらに好ましくは０．５質量％以上であり、上限は、好ましくは５質量％以下、より好ましくは３質量％以下、さらに好ましくは１質量％以下である。
【0064】
＜（Ｄ）硬化促進剤＞
樹脂組成物は、さらに任意成分として、（Ｄ）硬化促進剤を含んでいてもよい。（Ｄ）硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤がより好ましく、イミダゾール系硬化促進剤がさらに好ましい。（Ｄ）硬化促進剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
樹脂組成物は、さらに任意成分として、（Ｄ）硬化促進剤を含んでいてもよい。（Ｄ）硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤がより好ましく、イミダゾール系硬化促進剤がさらに好ましい。（Ｄ）硬化促進剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0065】
リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、ｎ－ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、（４－メチルフェニル）トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。
【0066】
アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、４－ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、２，４，６，－トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）－ウンデセン等が挙げられ、４－ジメチルアミノピリジン、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）－ウンデセンが好ましい。
【0067】
イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、２－メチルイミダゾール、２－ウンデシルイミダゾール、２－ヘプタデシルイミダゾール、１，２－ジメチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、１，２－ジメチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－メチルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾール、１－シアノエチル－２－エチル－４－メチルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－ウンデシルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－エチル－４’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加物、２－フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾール、２，３－ジヒドロ－１Ｈ－ピロロ［１，２－ａ］ベンズイミダゾール、１－ドデシル－２－メチル－３－ベンジルイミダゾリウムクロライド、２－メチルイミダゾリン、２－フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、２－エチル－４－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－フェニルイミダゾールが好ましい。
【0068】
イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、四国化成社製の「２Ｐ４ＭＺ」、三菱ケミカル社製の「Ｐ２００－Ｈ５０」等が挙げられる。
【0069】
グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、１－メチルグアニジン、１－エチルグアニジン、１－シクロヘキシルグアニジン、１－フェニルグアニジン、１－（ｏ－トリル）グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、１，５，７－トリアザビシクロ［４．４．０］デカ－５－エン、７－メチル－１，５，７－トリアザビシクロ［４．４．０］デカ－５－エン、１－メチルビグアニド、１－エチルビグアニド、１－ｎ－ブチルビグアニド、１－ｎ－オクタデシルビグアニド、１，１－ジメチルビグアニド、１，１－ジエチルビグアニド、１－シクロヘキシルビグアニド、１－アリルビグアニド、１－フェニルビグアニド、１－（ｏ－トリル）ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、１，５，７－トリアザビシクロ［４．４．０］デカ－５－エンが好ましい。
【0070】
金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト（ＩＩ）アセチルアセトナート、コバルト（ＩＩＩ）アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅（ＩＩ）アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛（ＩＩ）アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄（ＩＩＩ）アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル（ＩＩ）アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン（ＩＩ）アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。
【0071】
（Ｄ）硬化促進剤を含む場合、（Ｄ）硬化促進剤の含有量は、機械特性により優れる硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を１００質量％とした場合、好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．３質量％以上、さらに好ましくは０．５質量％以上であり、好ましくは５質量％以下、より好ましくは３質量％以下、さらに好ましくは１質量％以下である。
【0072】
＜（Ｅ）任意の添加剤＞
樹脂組成物は、さらに必要に応じて、任意の添加剤を含んでいてもよい。斯かる他の添加剤としては、例えば、フェノキシ樹脂等の熱可塑性樹脂、難燃剤、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。
樹脂組成物は、さらに必要に応じて、任意の添加剤を含んでいてもよい。斯かる他の添加剤としては、例えば、フェノキシ樹脂等の熱可塑性樹脂、難燃剤、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。
【0073】
＜樹脂組成物の製造方法＞
樹脂組成物は、例えば、配合成分を、３本ロール、回転ミキサーなどの撹拌装置を用いて撹拌する方法によって製造できる。
樹脂組成物は、例えば、配合成分を、３本ロール、回転ミキサーなどの撹拌装置を用いて撹拌する方法によって製造できる。
【0074】
＜樹脂組成物の物性等＞
樹脂組成物は、粘度が低いという特性を示す。よって、樹脂組成物は、ペースト状（ペースト状の樹脂組成物）であるという特性をもたらし、スルーホール充填用の樹脂組成物として好適に使用することができる。樹脂組成物の粘度は、具体的には、２５℃で、好ましくは２００Ｐａ・ｓ以下、より好ましくは１５０Ｐａ・ｓ以下、さらに好ましくは１４０Ｐａ・ｓ以下である。下限は特に限定されないが、好ましくは２０Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは３０Ｐａ・ｓ以上である。粘度は、樹脂組成物の温度を２５±２℃に保ち、Ｅ型粘度計を用いて測定することができ、詳細は後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
樹脂組成物は、粘度が低いという特性を示す。よって、樹脂組成物は、ペースト状（ペースト状の樹脂組成物）であるという特性をもたらし、スルーホール充填用の樹脂組成物として好適に使用することができる。樹脂組成物の粘度は、具体的には、２５℃で、好ましくは２００Ｐａ・ｓ以下、より好ましくは１５０Ｐａ・ｓ以下、さらに好ましくは１４０Ｐａ・ｓ以下である。下限は特に限定されないが、好ましくは２０Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは３０Ｐａ・ｓ以上である。粘度は、樹脂組成物の温度を２５±２℃に保ち、Ｅ型粘度計を用いて測定することができ、詳細は後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0075】
樹脂組成物は、通常溶剤を含まなくても粘度が低いという特性を示すペースト状の組成物であり得る。よって、樹脂組成物中に含まれる溶剤の含有量は、樹脂組成物の全質量に対して、好ましくは１．０質量％未満、より好ましくは０．８質量％以下、さらに好ましくは０．５質量％以下、特に好ましくは０．１質量％以下である。下限は、特に制限はないが０．００１質量％以上、又は含有しないことである。樹脂組成物は、通常液状の熱硬化性樹脂等を使用することにより、溶剤を含まなくてもその粘度を低くすることができる。樹脂組成物中の溶剤の量が少ないことにより、溶剤の揮発によるボイドの発生を抑制することができるうえに、真空印刷への適応も可能となる。
【0076】
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、周波数１０ＭＨｚにおける比透磁率が高いという特性を示す。周波数１０ＭＨｚにおける比透磁率は、８以上であり、好ましくは９以上、より好ましくは１０以上である。上限は特に限定されないが、５０以下等とし得る。比透磁率は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0077】
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、好ましくは、周波数１００ＭＨｚにおける比透磁率が高いことが好ましい。周波数１００ＭＨｚにおける比透磁率は、好ましくは５以上、より好ましくは６以上、さらに好ましくは７以上である。上限は特に限定されないが、３０以下等とし得る。比透磁率は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0078】
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、周波数１０ＭＨｚにおける磁気損失が低いという特性を示す。周波数１０ＭＨｚにおける磁気損失は、好ましくは０．３以下、より好ましくは０．２以下、さらに好ましくは０．１以下である。下限は特に限定されないが、０．００１以上等とし得る。磁気損失は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0079】
樹脂組成物を１８０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、好ましくは、周波数１００ＭＨｚにおける磁気損失が低いことが好ましい。周波数１００ＭＨｚにおける磁気損失は、好ましくは０．３以下、より好ましくは０．２以下、さらに好ましくは０．１以下である。下限は特に限定されないが、０．００１以上等とし得る。磁気損失は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0080】
樹脂組成物を１９０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、最大点強度が高いという特性を示す。２３℃における最大点強度は、４０ＭＰａ以上であり、好ましくは５０ＭＰａ以上、より好ましくは５５ＭＰａ以上である。上限は特に限定されないが、２００ＭＰａ以下等とし得る。最大点強度は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0081】
樹脂組成物を１９０℃で９０分間熱硬化させた硬化物は、好ましくは、伸びが高いことが好ましい。２３℃における伸びは、好ましくは０．４％以上、より好ましくは０．５％以上、さらに好ましくは０．６％以上である。上限は特に限定されないが、５％以下等とし得る。伸びは、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
【0082】
［磁性シート］
磁性シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む。
磁性シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む。
【0083】
樹脂組成物層の厚さは、薄型化の観点から、好ましくは２５０μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、５μｍ以上、１０μｍ以上等とし得る。
【0084】
支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。
【0085】
支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（以下「ＰＥＴ」と略称することがある。）、ポリエチレンナフタレート（以下「ＰＥＮ」と略称することがある。）等のポリエステル、ポリカーボネート（以下「ＰＣ」と略称することがある。）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリエーテルサルファイド（ＰＥＳ）、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。
【0086】
支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属（例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等）との合金からなる箔を用いてもよい。
【0087】
支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。
【0088】
また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される１種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するＰＥＴフィルムである、リンテック社製の「ＰＥＴ５０１０１０」、「ＳＫ－１」、「ＡＬ－５」、「ＡＬ－７」；東レ社製の「ルミラーＴ６０」；帝人社製の「ピューレックス」；ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。
【0089】
支持体の厚みとしては、特に限定されないが、５μｍ～７５μｍの範囲が好ましく、１０μｍ～６０μｍの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。
【0090】
磁性シートにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面（即ち、支持体とは反対側の面）には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、１μｍ～４０μｍである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。磁性シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。磁性シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。
【0091】
［回路基板及びその製造方法］
第１実施形態の回路基板は、スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、本発明の樹脂組成物の硬化物とを含む。また、第２実施形態の回路基板は、磁性シートの樹脂組成物層の硬化物により形成された磁性層を含む。以下、回路基板の製造方法の第１実施形態及び第２実施形態について説明する。但し、本発明に係る回路基板の製造方法は、以下に例示する第１及び第２実施形態に限定されない。
第１実施形態の回路基板は、スルーホールを有する基板と、前記スルーホールに充填した、本発明の樹脂組成物の硬化物とを含む。また、第２実施形態の回路基板は、磁性シートの樹脂組成物層の硬化物により形成された磁性層を含む。以下、回路基板の製造方法の第１実施形態及び第２実施形態について説明する。但し、本発明に係る回路基板の製造方法は、以下に例示する第１及び第２実施形態に限定されない。
【0092】
＜第１実施形態＞
第１実施形態の回路基板は、例えば、下記の工程（１）～（４）を含む製造方法によって製造する。第１実施形態では、樹脂組成物を用いて磁性層を形成することが好ましく、ペースト状の樹脂組成物を用いて磁性層を形成することがより好ましい。
（１）スルーホールを有する基板のスルーホールに樹脂組成物を充填する工程、
（２）該樹脂組成物を熱硬化させ、硬化物を得る工程、
（３）硬化物又は樹脂組成物の表面を研磨する工程、及び
（４）硬化物を研磨した面に導体層を形成する工程、を含む。
本発明の回路基板の製造方法は、工程（１）～（４）の順で行ってもよく、工程（３）の後に工程（２）を行ってもよい。
第１実施形態の回路基板は、例えば、下記の工程（１）～（４）を含む製造方法によって製造する。第１実施形態では、樹脂組成物を用いて磁性層を形成することが好ましく、ペースト状の樹脂組成物を用いて磁性層を形成することがより好ましい。
（１）スルーホールを有する基板のスルーホールに樹脂組成物を充填する工程、
（２）該樹脂組成物を熱硬化させ、硬化物を得る工程、
（３）硬化物又は樹脂組成物の表面を研磨する工程、及び
（４）硬化物を研磨した面に導体層を形成する工程、を含む。
本発明の回路基板の製造方法は、工程（１）～（４）の順で行ってもよく、工程（３）の後に工程（２）を行ってもよい。
【0093】
以下、回路基板を製造するにあたっての上記の工程（１）～（４）について詳細に説明する。
【0094】
＜工程（１）＞
工程（１）を行うにあたって、樹脂組成物を準備する工程を含んでいてもよい。樹脂組成物は、上記において説明したとおりである。
工程（１）を行うにあたって、樹脂組成物を準備する工程を含んでいてもよい。樹脂組成物は、上記において説明したとおりである。
【0095】
また、工程（１）を行うにあたって、図１に一例を示すように、支持基板１１、並びに該支持基板１１の両表面に設けられた銅箔等の金属からなる第１金属層１２、及び第２金属層１３を備えるコア基板１０を準備する工程を含んでいてもよい。支持基板１１の材料の例としては、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、ＢＴレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の絶縁性基材が挙げられる。第１及び第２金属層の材料の例としては、キャリア付銅箔、後述する導体層の材料等が挙げられる。
【0096】
また、図２に一例を示すように、コア基板１０にスルーホール１４を形成する工程を含んでいてもよい。スルーホール１４は、例えば、ドリル、レーザー照射、プラズマ照射等により形成することができる。具体的には、ドリル等を用いてコア基板１０に貫通穴を形成することにより、スルーホール１４を形成することができる。
【0097】
スルーホール１４の形成は、市販されているドリル装置を用いて実施することができる。市販されているドリル装置としては、例えば、日立ビアメカニクス社製「ＮＤ－１Ｓ２１１」等が挙げられる。
【0098】
コア基板１０にスルーホール１４を形成した後、図３に一例を示すように、コア基板１０の粗化処理を行い、スルーホール１４内、第１金属層１２の表面上、及び第２金属層１３の表面上にめっき層２０を形成する工程を含んでいてもよい。
【0099】
前記の粗化処理としては、乾式及び湿式のいずれの粗化処理を行ってもよい。乾式の粗化処理の例としては、プラズマ処理等が挙げられる。また、湿式の粗化処理の例としては、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、及び、中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。
【0100】
めっき層２０は、めっき法により形成され、めっき法によりめっき層２０が形成される手順は、後述する工程（４）における導体層の形成と同様である。
【0101】
スルーホール１４内にめっき層２０を形成されたコア基板１０を用意した後で、図４に一例を示すように、樹脂組成物３０ａをスルーホール１４へ充填する。充填は、例えば印刷法で行い得る。印刷法としては、例えば、スキージを介してスルーホール１４へ樹脂組成物３０ａを印刷する方法、カートリッジを介して樹脂組成物３０ａを印刷する方法、マスク印刷して樹脂組成物３０ａを印刷する方法、ロールコート法、インクジェット法等が挙げられる。
【0102】
＜工程（２）＞
工程（２）では、スルーホール１４内に樹脂組成物３０ａを充填後、樹脂組成物３０ａを熱硬化して、図５に一例を示すように、スルーホール１４内に硬化物層（磁性層）３０を形成する。樹脂組成物３０ａの熱硬化条件は、樹脂組成物３０ａの組成や種類によっても異なるが、硬化温度は好ましくは１２０℃以上、より好ましくは１３０℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上であり、好ましくは２４０℃以下、より好ましくは２２０℃以下、さらに好ましくは２００℃以下である。樹脂組成物３０ａの硬化時間は、好ましくは５分以上、より好ましくは１０分以上、さらに好ましくは１５分以上であり、好ましくは１２０分以下、より好ましくは１００分以下、さらに好ましくは９０分以下である。
工程（２）では、スルーホール１４内に樹脂組成物３０ａを充填後、樹脂組成物３０ａを熱硬化して、図５に一例を示すように、スルーホール１４内に硬化物層（磁性層）３０を形成する。樹脂組成物３０ａの熱硬化条件は、樹脂組成物３０ａの組成や種類によっても異なるが、硬化温度は好ましくは１２０℃以上、より好ましくは１３０℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上であり、好ましくは２４０℃以下、より好ましくは２２０℃以下、さらに好ましくは２００℃以下である。樹脂組成物３０ａの硬化時間は、好ましくは５分以上、より好ましくは１０分以上、さらに好ましくは１５分以上であり、好ましくは１２０分以下、より好ましくは１００分以下、さらに好ましくは９０分以下である。
【0103】
工程（２）における磁性層３０の硬化度としては、好ましくは８０％以上、より好ましくは８５％以上、さらに好ましくは９０％以上である。硬化度は、例えば示差走査熱量測定装置を用いて測定することができる。
【0104】
樹脂組成物３０ａを熱硬化させる前に、樹脂組成物３０ａに対して、硬化温度よりも低い温度で加熱する予備加熱処理を施してもよい。例えば、樹脂組成物３０ａを熱硬化させるのに先立ち、通常５０℃以上１２０℃未満（好ましくは６０℃以上１１０℃以下、より好ましくは７０℃以上１００℃以下）の温度にて、樹脂組成物３０ａを、通常５分間以上（好ましくは５分間～１５０分間、より好ましくは１５分間～１２０分間）、予備加熱してもよい。
【0105】
＜工程（３）＞
工程（３）では、図６に一例を示すように、コア基板１０から突出又は付着している余剰の磁性層３０を研磨することにより除去し、平坦化する。研磨方法としては、コア基板１０から突出又は付着している余剰の磁性層３０を研磨することができる方法を用いることができる。このような研磨方法としては、例えば、バフ研磨、ベルト研磨等が挙げられる。市販されているバフ研磨装置としては石井表記社製「ＮＴ－７００ＩＭ」等が挙げられる。
工程（３）では、図６に一例を示すように、コア基板１０から突出又は付着している余剰の磁性層３０を研磨することにより除去し、平坦化する。研磨方法としては、コア基板１０から突出又は付着している余剰の磁性層３０を研磨することができる方法を用いることができる。このような研磨方法としては、例えば、バフ研磨、ベルト研磨等が挙げられる。市販されているバフ研磨装置としては石井表記社製「ＮＴ－７００ＩＭ」等が挙げられる。
【0106】
磁性層の研磨面の算術平均粗さ（Ｒａ）としては、めっき密着性を向上させる観点から、好ましくは３００ｎｍ以上、より好ましくは３５０ｎｍ以上、さらに好ましくは４００ｎｍ以上である。上限は、好ましくは１０００ｎｍ以下、より好ましくは９００ｎｍ以下、さらに好ましくは８００ｎｍ以下である。表面粗さ（Ｒａ）は、例えば、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。
【0107】
工程（２）の後に工程（３）を行う場合、工程（２）後工程（３）前に、磁性層の硬化度をさらに高める等の目的で、必要により熱処理を施してもよい。前記熱処理における温度は上記した硬化温度に準じて行えばよく、好ましくは１２０℃以上、より好ましくは１３０℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上であり、好ましくは２４０℃以下、より好ましくは２２０℃以下、さらに好ましくは２００℃以下である。熱処理時間は、好ましくは５分以上、より好ましくは１０分以上、さらに好ましくは１５分以上であり、好ましくは９０分以下、より好ましくは７０分以下、さらに好ましくは６０分以下である。
【0108】
また、工程（２）の前に工程（３）を行う場合、工程（３）の前に、樹脂組成物の硬化温度よりも低い温度で加熱する予備加熱処理を施してもよい。前記予備加熱処理における温度は、好ましくは１００℃以上、より好ましくは１１０℃以上、さらに好ましくは１２０℃以上であり、好ましくは２４０℃以下、より好ましくは２２０℃以下、さらに好ましくは２００℃以下である。熱処理時間は、好ましくは５分以上、より好ましくは１０分以上、さらに好ましくは１５分以上であり、好ましくは９０分以下、より好ましくは７０分以下、さらに好ましくは６０分以下である。
【0109】
＜工程（４）＞
工程（４）では、図７に一例を示すように、磁性層３０の研磨面、及びめっき層２０上に導体層４０を形成する。さらに、導体層４０を形成後、図８に一例を示すように、エッチング等の処理により導体層４０、第１金属層１２、第２金属層１３、及びめっき層２０の一部を除去してパターン導体層４１を形成してもよい。ここで示す例では、工程（３）にて硬化物を研磨しているので、磁性層を粗化処理する工程を含まない。図７では、導体層４０はコア基板１０の両面に形成されているが、導体層４０は、コア基板１０の一方の面のみに形成してもよい。
工程（４）では、図７に一例を示すように、磁性層３０の研磨面、及びめっき層２０上に導体層４０を形成する。さらに、導体層４０を形成後、図８に一例を示すように、エッチング等の処理により導体層４０、第１金属層１２、第２金属層１３、及びめっき層２０の一部を除去してパターン導体層４１を形成してもよい。ここで示す例では、工程（３）にて硬化物を研磨しているので、磁性層を粗化処理する工程を含まない。図７では、導体層４０はコア基板１０の両面に形成されているが、導体層４０は、コア基板１０の一方の面のみに形成してもよい。
【0110】
導体層の形成方法は、例えば、めっき法、スパッタ法、蒸着法などが挙げられ、中でもめっき法が好ましい。好適な実施形態では、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の適切な方法によって硬化物の表面にめっきして、所望の配線パターンを有するパターン導体層を形成する。導体層の材料としては、例えば、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ、インジウム等の単金属；金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムの群から選択される２種以上の金属の合金が挙げられる。中でも、汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅、又はニッケルクロム合金、銅ニッケル合金、銅チタン合金を用いることが好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅、又はニッケルクロム合金を用いることがより好ましく、銅を用いることがさらに好ましい。
【0111】
ここで、硬化物を研磨した面上にパターン導体層を形成する実施形態の例を、詳細に説明する。硬化物を研磨した面に、無電解めっきにより、めっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、電解めっきにより電解めっき層を形成し、必要に応じて、不要なめっきシード層をエッチング等の処理により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成できる。導体層形成後、導体層のピール強度を向上させる等の目的で、必要によりアニール処理を行ってもよい。アニール処理は、例えば、回路基板を１５０～２００℃で２０～９０分間加熱することにより行うことができる。
【0112】
パターン導体層の厚さは、薄型化の観点から、好ましくは７０μｍ以下であり、より好ましくは６０μｍ以下であり、さらに好ましくは５０μｍ以下、さらにより好ましくは４０μｍ以下、特に好ましくは３０μｍ以下、２０μｍ以下、１５μｍ以下又は１０μｍ以下である。下限は好ましくは１μｍ以上、より好ましくは３μｍ以上、さらに好ましくは５μｍ以上である。
【0113】
＜第２実施形態＞
第２実施形態の回路基板は、樹脂組成物の硬化物により形成された磁性層を含む。第２実施形態では、磁性シートを用いて磁性層を形成することが好ましい。以下、製品基板の製造方法の第２実施形態について説明する。第１実施形態と説明が重複する箇所は適宜説明を省略する。
第２実施形態の回路基板は、樹脂組成物の硬化物により形成された磁性層を含む。第２実施形態では、磁性シートを用いて磁性層を形成することが好ましい。以下、製品基板の製造方法の第２実施形態について説明する。第１実施形態と説明が重複する箇所は適宜説明を省略する。
【0114】
第２実施形態の回路基板は、例えば、下記の工程（Ａ）～（Ｄ）を含む製造方法によって製造する。
（Ａ）磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、磁性層を形成する工程、
（Ｂ）磁性層に穴あけ加工を行う工程、
（Ｃ）磁性層の表面を研磨する工程、及び
（Ｄ）磁性層の研磨した面に導体層を形成する工程、を含む。
（Ａ）磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、磁性層を形成する工程、
（Ｂ）磁性層に穴あけ加工を行う工程、
（Ｃ）磁性層の表面を研磨する工程、及び
（Ｄ）磁性層の研磨した面に導体層を形成する工程、を含む。
【0115】
以下、回路基板を製造するにあたっての上記の工程（Ａ）～（Ｄ）について詳細に説明する。
【0116】
＜（Ａ）工程＞
（Ａ）工程は、磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、磁性層を形成する工程である。（Ａ）工程の一実施形態として、磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、樹脂組成物層を熱硬化して磁性層を形成する。
（Ａ）工程は、磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、磁性層を形成する工程である。（Ａ）工程の一実施形態として、磁性シートを、樹脂組成物層が内層基板と接合するように内層基板に積層し、樹脂組成物層を熱硬化して磁性層を形成する。
【0117】
（Ａ）工程において、図９に一例を示すように、支持体３３０と、該支持体３３０上に設けられた樹脂組成物層３２０ａとを含む磁性シート３１０を、樹脂組成物層３２０ａが内層基板２００と接合するように、内層基板２００に積層させる。
【0118】
内層基板２００は、絶縁性の基板である。内層基板２００の材料としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、ＢＴレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の絶縁性基材が挙げられる。内層基板２００は、その厚さ内に配線等が作り込まれた内層回路基板であってもよい。
【0119】
図９に一例を示すように、内層基板２００は、第１主表面２００ａ上に設けられる第１導体層４２０と、第２主表面２００ｂ上に設けられる外部端子２４０とを有している。第１導体層４２０は、複数の配線を含んでいてもよい。図示例ではインダクタ素子のコイル状導電性構造体４００を構成する配線のみが示されている。外部端子２４０は図示されていない外部の装置等と電気的に接続するための端子である。外部端子２４０は、第２主表面２００ｂに設けられる導体層の一部として構成することができる。
【0120】
第１導体層４２０、及び外部端子２４０を構成し得る導体材料としては、第１実施形態の「＜工程（４）＞」欄において説明した導体層の材料と同様である。
【0121】
第１導体層４２０、及び外部端子２４０は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が２層以上積層した複層構造であってもよい。また、第１導体層４２０、外部端子２４０の厚さは、後述する第２導体層４４０と同様である。
【0122】
第１導体層４２０及び外部端子２４０のライン（Ｌ）／スペース（Ｓ）比は特に制限されないが、表面の凹凸を減少させて平滑性に優れる磁性層を得る観点から、通常、９００／９００μｍ以下、好ましくは７００／７００μｍ以下、より好ましくは５００／５００μｍ以下、さらに好ましくは３００／３００μｍ以下、さらにより好ましくは２００／２００μｍ以下である。ライン／スペース比の下限は特に制限されないが、スペースへの樹脂組成物層の埋め込みを良好にする観点から、好ましくは１／１μｍ以上である。
【0123】
内層基板２００は第１主表面２００ａから第２主表面２００ｂに至るように内層基板２００を貫通する複数のスルーホール２２０を有していてもよい。スルーホール２２０にはスルーホール内配線２２０ａが設けられている。スルーホール内配線２２０ａは、第１導体層４２０と外部端子２４０とを電気的に接続している。
【0124】
樹脂組成物層３２０ａと内層基板２００との接合は、例えば、支持体３３０側から、磁性シート３１０を内層基板２００に加熱圧着することにより行うことができる。磁性シート３１０を内層基板２００に加熱圧着する部材（以下、「加熱圧着部材」ともいう。）としては、例えば、加熱された金属板（ステンレス（ＳＵＳ）鏡板等）又は金属ロール（ＳＵＳロール）等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を磁性シート３１０に直接的に接触させてプレスするのではなく、内層基板２００の表面の凹凸に磁性シート３１０が十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材からなるシート等を介してプレスするのが好ましい。
【0125】
加熱圧着する際の温度は、好ましくは８０℃～１６０℃、より好ましくは９０℃～１４０℃、さらに好ましくは１００℃～１２０℃の範囲であり、加熱圧着する際の圧力は、好ましくは０．０９８ＭＰａ～１．７７ＭＰａ、より好ましくは０．２９ＭＰａ～１．４７ＭＰａの範囲であり、加熱圧着する際の時間は、好ましくは２０秒間～４００秒間、より好ましくは３０秒間～３００秒間の範囲である。磁性シートと内層基板との接合は、圧力２６．７ｈＰａ以下の減圧条件下で実施することが好ましい。
【0126】
磁性シート３１０の樹脂組成物層３２０ａと内層基板２００との接合は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアプリケーター等が挙げられる。
【0127】
磁性シート３１０と内層基板２００との接合の後に、常圧下（大気圧下）、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された磁性シート３１０の平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理とは、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。
【0128】
磁性シートを内層基板に積層した後、樹脂組成物層を熱硬化して磁性層を形成する。図１０に一例を示すように、内層基板２００に接合させた樹脂組成物層３２０ａを熱硬化し第１磁性層３２０を形成する。
【0129】
樹脂組成物層３２０ａの熱硬化条件は、樹脂組成物の組成や種類によっても異なるが、硬化温度は好ましくは１２０℃以上、より好ましくは１３０℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上であり、好ましくは２４０℃以下、より好ましくは２２０℃以下、さらに好ましくは２００℃以下である。樹脂組成物層３２０ａの硬化時間は、好ましくは５分以上、より好ましくは１０分以上、さらに好ましくは１５分以上であり、好ましくは１２０分以下、より好ましくは１００分以下、さらに好ましくは９０分以下である。
【0130】
支持体３３０は、（Ａ）工程の熱硬化後と（Ｂ）工程との間に除去してもよく、（Ｂ）工程の後に剥離してもよい。
【0131】
＜（Ｂ）工程＞
（Ｂ）工程において、図１１に一例を示すように、第１磁性層３２０に穴あけ加工をし、ビアホール３６０を形成する。ビアホール３６０は、第１導体層４２０と、後述する第２導体層４４０とを電気的に接続するための経路となる。ビアホール３６０の形成は、磁性層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。
（Ｂ）工程において、図１１に一例を示すように、第１磁性層３２０に穴あけ加工をし、ビアホール３６０を形成する。ビアホール３６０は、第１導体層４２０と、後述する第２導体層４４０とを電気的に接続するための経路となる。ビアホール３６０の形成は、磁性層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。
【0132】
＜（Ｃ）工程＞
（Ｃ）工程において、ビアホールを形成した磁性層の表面を研磨する。（Ｃ）工程における研磨方法としては、第１実施形態の「＜工程（３）＞」欄において説明したものと同様の研磨により行うことができる。
（Ｃ）工程において、ビアホールを形成した磁性層の表面を研磨する。（Ｃ）工程における研磨方法としては、第１実施形態の「＜工程（３）＞」欄において説明したものと同様の研磨により行うことができる。
【0133】
磁性層の研磨面の算術平均粗さ（Ｒａ）としては、めっき密着性を向上させる観点から、好ましくは３００ｎｍ以上、より好ましくは３５０ｎｍ以上、さらに好ましくは４００ｎｍ以上である。上限は、好ましくは１０００ｎｍ以下、より好ましくは９００ｎｍ以下、さらに好ましくは８００ｎｍ以下である。表面粗さ（Ｒａ）は、例えば、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。
【0134】
＜（Ｄ）工程＞
（Ｄ）工程では、図１２に一例を示すように、第１磁性層３２０上に、第２導体層４４０を形成する。
（Ｄ）工程では、図１２に一例を示すように、第１磁性層３２０上に、第２導体層４４０を形成する。
【0135】
第２導体層４４０を構成し得る導体材料としては、第１実施形態の「＜工程（４）＞」欄において説明した導体層の材料と同様である。
【0136】
第２導体層４４０の厚さは、薄型化の観点から、好ましくは７０μｍ以下であり、より好ましくは６０μｍ以下であり、さらに好ましくは５０μｍ以下、さらにより好ましくは４０μｍ以下、特に好ましくは３０μｍ以下、２０μｍ以下、１５μｍ以下又は１０μｍ以下である。下限は好ましくは１μｍ以上、より好ましくは３μｍ以上、さらに好ましくは５μｍ以上である。
【0137】
第２導体層４４０は、めっきにより形成することができる。第２導体層４４０は、例えば、無電解めっき工程、マスクパターン形成工程、電解めっき工程、フラッシュエッチング工程を含むセミアディティブ法、フルアディティブ法等の湿式めっき法により形成されることが好ましい。湿式めっき法を用いて第２導体層４４０を形成することにより、所望の配線パターンを含む第２導体層４４０として形成することができる。なお、この工程により、ビアホール３６０内にビアホール内配線３６０ａが併せて形成される。
【0138】
第１導体層４２０及び第２導体層４４０は、例えば後述する図１３～１５に一例を示すように、渦巻状に設けられていてもよい。一例において、第２導体層４４０の渦巻状の配線部のうちの中心側の一端はビアホール内配線３６０ａにより第１導体層４２０の渦巻状の配線部のうちの中心側の一端に電気的に接続されている。第２導体層４４０の渦巻状の配線部のうちの外周側の他端はビアホール内配線３６０ａにより第１導体層４２のランド４２０ａに電気的に接続されている。よって第２導体層４４０の渦巻状の配線部のうちの外周側の他端はビアホール内配線３６０ａ、ランド４２０ａ、スルーホール内配線２２０ａを経て外部端子２４０に電気的に接続される。
【0139】
コイル状導電性構造体４００は、第１導体層４２０の一部分である渦巻状の配線部、第２導体層４４０の一部分である渦巻状の配線部、第１導体層４２０の渦巻状の配線部と第２導体層４４０の渦巻状の配線部とを電気的に接続しているビアホール内配線３６０ａにより構成されている。
【0140】
（Ｄ）工程後、さらに導体層上に磁性層を形成する工程を行ってもよい。詳細は、図１４に一例を示すように、第２導体層４４０及びビアホール内配線３６０ａが形成された第１磁性層３２０上に第２磁性層３４０を形成する。第２磁性層は既に説明した工程と同様の工程により形成してもよい。
【0141】
［インダクタ基板］
インダクタ基板は、本発明の回路基板を含む。このようなインダクタ基板は、第１実施形態の回路基板の製造方法により得られた回路基板を含む場合、前記の樹脂組成物の硬化物の周囲の少なくとも一部に導体によって形成されたインダクタパターンを有する。このようなインダクタ基板は、例えば特開２０１６－１９７６２４号公報に記載のものを適用できる。
インダクタ基板は、本発明の回路基板を含む。このようなインダクタ基板は、第１実施形態の回路基板の製造方法により得られた回路基板を含む場合、前記の樹脂組成物の硬化物の周囲の少なくとも一部に導体によって形成されたインダクタパターンを有する。このようなインダクタ基板は、例えば特開２０１６－１９７６２４号公報に記載のものを適用できる。
【0142】
また、第２実施形態の回路基板の製造方法により得られた回路基板を含む場合、インダクタ基板は、磁性層と、この磁性層に少なくとも一部分が埋め込まれた導電性構造体とを有しており、この導電性構造体と、磁性層の厚さ方向に延在し、かつ導電性構造体に囲まれた磁性層のうちの一部分によって構成されるインダクタ素子を含んでいる。ここで図１３は、インダクタ素子を内蔵するインダクタ基板をその厚さ方向の一方からみた模式的な平面図である。図１４は、図１３に示すＩＩ－ＩＩ一点鎖線で示した位置で切断したインダクタ基板の切断端面を示す模式的な図である。図１５は、インダクタ基板のうちの第１導体層の構成を説明するための模式的な平面図である。
【0143】
回路基板１００は、図１３及び図１４に一例として示されるように、複数の磁性層（第１磁性層３２０、第２磁性層３４０）及び複数の導体層（第１導体層４２０、第２導体層４４０）を有する、即ちビルドアップ磁性層及びビルドアップ導体層を有するビルドアップ配線板である。また、インダクタ基板１００は、内層基板２００を備えている。
【0144】
図１４より、第１磁性層３２０及び第２磁性層３４０は一体的な磁性層としてみることができる磁性部３００を構成している。よってコイル状導電性構造体４００は、磁性部３００に少なくとも一部分が埋め込まれるように設けられている。すなわち、本実施形態のインダクタ基板１００において、インダクタ素子はコイル状導電性構造体４００と、磁性部３００の厚さ方向に延在し、かつコイル状導電性構造体４００に囲まれた磁性部３００のうちの一部分である芯部によって構成されている。
【0145】
図１５に一例として示されるように、第１導体層４２０はコイル状導電性構造体４００を構成するための渦巻状の配線部と、スルーホール内配線２２０ａと電気的に接続される矩形状のランド４２０ａとを含んでいる。図示例では渦巻状の配線部は直線状部と直角に屈曲する屈曲部とランド４２０ａを迂回する迂回部を含んでいる。図示例では第１導体層４２０の渦巻状の配線部は全体の輪郭が略矩形状であって、中心側からその外側に向かうにあたり反時計回りに巻いている形状を有している。
【0146】
同様に、第１磁性層３２０上には第２導体層４４０が設けられている。第２導体層４４０はコイル状導電性構造体４００を構成するための渦巻状の配線部を含んでいる。図１３又は図１４では渦巻状の配線部は直線状部と直角に屈曲する屈曲部とを含んでいる。図１３又は図１４では第２導体層４４の渦巻状の配線部は全体の輪郭が略矩形状であって、中心側からその外側に向かうにあたり時計回りに巻いている形状を有している。
【0147】
このようなインダクタ基板は、半導体チップ等の電子部品を搭載するための配線板として用いることができ、かかる配線板を内層基板として使用した（多層）プリント配線板として用いることもできる。また、かかる配線板を個片化したチップインダクタ基板として用いることもでき、該チップインダクタ基板を表面実装したプリント配線板として用いることもできる。
【0148】
またかかる配線板を用いて、種々の態様の半導体装置を製造することができる。かかる配線板を含む半導体装置は、電気製品（例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラおよびテレビ等）および乗物（例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶および航空機等）等に好適に用いることができる。
【実施例】
【0149】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、量を表す「部」及び「％」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量％」を意味する。
【0150】
＜実施例１＞
鉄及びマンガンがモル比で８：１の割合になるように酸化鉄、及び酸化マンガンを計量し、水を加えて混合・粉砕することで固形分５０質量％のスラリーを調製した。この時の粉砕平均粒径（原料１次粒径）は５μｍであった。調製したスラリーをスプレードライヤーで造粒し、造粒物を分級して平均粒径約５０μｍの造粒物を作製した。さらに得られた造粒物に粉末状のラウリン酸を造粒物１００質量部に対して５質量部混合し、溶射用の原料とした。
鉄及びマンガンがモル比で８：１の割合になるように酸化鉄、及び酸化マンガンを計量し、水を加えて混合・粉砕することで固形分５０質量％のスラリーを調製した。この時の粉砕平均粒径（原料１次粒径）は５μｍであった。調製したスラリーをスプレードライヤーで造粒し、造粒物を分級して平均粒径約５０μｍの造粒物を作製した。さらに得られた造粒物に粉末状のラウリン酸を造粒物１００質量部に対して５質量部混合し、溶射用の原料とした。
【0151】
次に、得られた溶射用の原料を体積比でプロパン：酸素＝１：７の可燃性ガス燃焼炎中に供給することで溶射装置にて溶射（フェライト化）し、続いて空気給気による気流に乗せて搬送することによって大気中で急冷しながら、溶射装置の下流側に設置した気流分級装置（サイクロン）を用いてフェライトを捕集し、その後、所望の粒径分布となるようにフェライトを分級し球状フェライト粒子Ａ（アスペクト比１．０）を得た。
【0152】
フェライト粒子Ａを１００質量部に対して、エポキシ樹脂（「ＺＸ－１０５９」、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂の混合品、新日鉄住金化学社製）を１５質量部、硬化促進剤（「２Ｐ４ＭＺ」、イミダゾール系硬化促進剤、四国化成社製）を１質量部、分散剤（「ＳＣ－１０１５Ｆ」、ポリオキシアルキレン系分散剤、日油社製）を１質量部加え、高速回転ミキサーで均一に分散しペースト状の樹脂組成物１を得た。
【0153】
＜実施例２＞
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から３質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｂを作製し、ペースト状の樹脂組成物２を得た。球状フェライト粒子Ｂのアスペクト比は１．０であった。
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から３質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｂを作製し、ペースト状の樹脂組成物２を得た。球状フェライト粒子Ｂのアスペクト比は１．０であった。
【0154】
＜実施例３＞
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から１．５質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｃを作製し、ペースト状の樹脂組成物３を得た。球状フェライト粒子Ｃのアスペクト比は１．０であった。
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から１．５質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｃを作製し、ペースト状の樹脂組成物３を得た。球状フェライト粒子Ｃのアスペクト比は１．０であった。
【0155】
＜実施例４＞
実施例１において、ラウリン酸を用いなかった。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｄを作製し、ペースト状の樹脂組成物４を得た。球状フェライト粒子Ｄのアスペクト比は１．０であった。
実施例１において、ラウリン酸を用いなかった。以上の事項以外は実施例１と同様にして球状フェライト粒子Ｄを作製し、ペースト状の樹脂組成物４を得た。球状フェライト粒子Ｄのアスペクト比は１．０であった。
【0156】
＜実施例５＞
実施例４において、フェライト粒子Ｄを以下の方法にてシランカップリング剤で表面処理し、球状フェライト粒子Ｅを作製した。以上の事項以外は実施例４と同様にしてフェライト粒子Ｅを作製し、ペースト状の樹脂組成物５を得た。
実施例４において、フェライト粒子Ｄを以下の方法にてシランカップリング剤で表面処理し、球状フェライト粒子Ｅを作製した。以上の事項以外は実施例４と同様にしてフェライト粒子Ｅを作製し、ペースト状の樹脂組成物５を得た。
【0157】
フェライト粒子Ｄ１００質量部を、シランカップリング剤（「ＫＢＭ－４０３」、信越シリコーン社製）０．５質量部で処理して、フェライト粒子Ｅを作製した。球状フェライト粒子Ｅのアスペクト比は１．０であった。
【0158】
＜実施例６＞
実施例４において、球状フェライト粒子Ｄの量を１００質量部から１５０質量部に変えた。以上の事項以外は実施例４と同様にして、ペースト状の樹脂組成物６を得た。
実施例４において、球状フェライト粒子Ｄの量を１００質量部から１５０質量部に変えた。以上の事項以外は実施例４と同様にして、ペースト状の樹脂組成物６を得た。
【0159】
＜比較例１＞
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から１５質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にしてフェライト粒子Ｆを作製し、ペースト状の樹脂組成物６を得た。球状フェライト粒子Ｆのアスペクト比は１．０であった。
実施例１において、ラウリン酸の量を５質量部から１５質量部に変えた。以上の事項以外は実施例１と同様にしてフェライト粒子Ｆを作製し、ペースト状の樹脂組成物６を得た。球状フェライト粒子Ｆのアスペクト比は１．０であった。
【0160】
＜フェライト粒子のアスペクト比の測定＞
フェライト粒子の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の影像を画像解析ソフトウェアにより測長した。１０ｋＶ、１０００倍の撮影条件にて。各粒子のＳＥＭ映像写真を取得し、最大長径を最大長径に直交する幅で除した値をアスペクト比とした。各粒子のアスペクト比は、３０個の粒子の平均値で求めた。
フェライト粒子の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の影像を画像解析ソフトウェアにより測長した。１０ｋＶ、１０００倍の撮影条件にて。各粒子のＳＥＭ映像写真を取得し、最大長径を最大長径に直交する幅で除した値をアスペクト比とした。各粒子のアスペクト比は、３０個の粒子の平均値で求めた。
【0161】
＜フェライト粒子の粒径分布の測定＞
フェライト粒子０．０５ｇ及び水２０ｍｌを３０ｍｌのビーカーに入れ、分散剤としてヘキサメタリン酸ナトリウムを０．０１ｇ添加した。次いで、超音波ホモジナイザー（エスエムテー社製、ＵＨ－１５０型）を用いて分散を行った。このとき、超音波ホモジナイザーの出力レベルを４に設定し、２０秒間の分散を行った。その後、ピーカー表面にできた泡を取り除き、レーザー回折式粒径分布測定装置（島津製作所社製、ＳＡＬＤ－７５００ｎａｎｏ）に導入して測定を行った。この測定により、体積粒径分布における１０％径（Ｄ１０）、５０％径（Ｄ５０）及び９０％径（Ｄ９０）を求めた。ここで、測定条件は、ポンプスピード７、内蔵超音波照射時間３０、屈折率１．７０－０５０ｉとした。
フェライト粒子０．０５ｇ及び水２０ｍｌを３０ｍｌのビーカーに入れ、分散剤としてヘキサメタリン酸ナトリウムを０．０１ｇ添加した。次いで、超音波ホモジナイザー（エスエムテー社製、ＵＨ－１５０型）を用いて分散を行った。このとき、超音波ホモジナイザーの出力レベルを４に設定し、２０秒間の分散を行った。その後、ピーカー表面にできた泡を取り除き、レーザー回折式粒径分布測定装置（島津製作所社製、ＳＡＬＤ－７５００ｎａｎｏ）に導入して測定を行った。この測定により、体積粒径分布における１０％径（Ｄ１０）、５０％径（Ｄ５０）及び９０％径（Ｄ９０）を求めた。ここで、測定条件は、ポンプスピード７、内蔵超音波照射時間３０、屈折率１．７０－０５０ｉとした。
【0162】
＜表面処理がなされていないフェライト粒子のカーボン量の測定＞
フェライト粒子Ａ～Ｄ、及びＦのカーボン量の測定は、炭素分析装置（Ｃ－２００、ＬＥＣＯ社製）を用いて行った。酸素ガス圧は２．５ｋｇ／ｃｍ２とし、窒素ガス圧は２．８ｋｇ／ｃｍ２とした。まず、フェライト粒子と同程度のカーボン含有率であってカーボン含有率が明らかな標準試料について、上記装置によって測定した。また、試料自体を全く用いずに測定した（空試験）。そして、得られた測定値から下記式によって換算係数を算出した。
換算係数＝標準試料のはかり取り量（ｇ）／｛（標準試料の測定値）－（空試験での測定値）｝×標準試料の炭素含有率（質量％）／１００
続いて、フェライト粒子について上記装置によって測定し、下記式によってカーボン含有量を算出した。
カーボン量（質量％）＝｛（フェライト粒子の測定値）－（空試験での測定値）｝×換算係数／フェライト粒子のはかり取り量（ｇ）×１００
フェライト粒子Ａ～Ｄ、及びＦのカーボン量の測定は、炭素分析装置（Ｃ－２００、ＬＥＣＯ社製）を用いて行った。酸素ガス圧は２．５ｋｇ／ｃｍ２とし、窒素ガス圧は２．８ｋｇ／ｃｍ２とした。まず、フェライト粒子と同程度のカーボン含有率であってカーボン含有率が明らかな標準試料について、上記装置によって測定した。また、試料自体を全く用いずに測定した（空試験）。そして、得られた測定値から下記式によって換算係数を算出した。
換算係数＝標準試料のはかり取り量（ｇ）／｛（標準試料の測定値）－（空試験での測定値）｝×標準試料の炭素含有率（質量％）／１００
続いて、フェライト粒子について上記装置によって測定し、下記式によってカーボン含有量を算出した。
カーボン量（質量％）＝｛（フェライト粒子の測定値）－（空試験での測定値）｝×換算係数／フェライト粒子のはかり取り量（ｇ）×１００
【0163】
＜表面処理がなされているフェライト粒子のカーボン量の測定＞
フェライト粒子Ｅ ２ｇを、１００ｍＬ／分の流量で窒素をフローしながら電気炉（ヤマト科学社製、「ＦＰ１０２」）にて５００℃で６時間加熱して、フェライト粒子表面のシランカップリング剤の除去を行った。シランカップリング剤を除去した後、表面処理がなされていないフェライト粒子と同様の方法にてカーボン量を測定した。
フェライト粒子Ｅ ２ｇを、１００ｍＬ／分の流量で窒素をフローしながら電気炉（ヤマト科学社製、「ＦＰ１０２」）にて５００℃で６時間加熱して、フェライト粒子表面のシランカップリング剤の除去を行った。シランカップリング剤を除去した後、表面処理がなされていないフェライト粒子と同様の方法にてカーボン量を測定した。
【0164】
上記のように測定したフェライト粒子Ａ～Ｆの粒径分布、及びカーボン量を下記表にまとめた。
【0165】
【表1】
【0166】
＜粘度の測定＞
各実施例及び各比較例の樹脂組成物の温度を２５±２℃に保ち、Ｅ型粘度計（東機産業社製「ＲＥ－８０Ｕ」、３°×Ｒ９．７ロータ）を用いて、測定サンプル０．２２ｍｌ、回転数５ｒｐｍの測定条件にて粘度測定を行った。
各実施例及び各比較例の樹脂組成物の温度を２５±２℃に保ち、Ｅ型粘度計（東機産業社製「ＲＥ－８０Ｕ」、３°×Ｒ９．７ロータ）を用いて、測定サンプル０．２２ｍｌ、回転数５ｒｐｍの測定条件にて粘度測定を行った。
【0167】
＜比透磁率の測定＞
支持体として、シリコーン系離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（リンテック社製「ＰＥＴ５０１０１０」、厚さ５０μｍ）を用意した。各樹脂組成物１～６を上記ＰＥＴフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが１００μｍとなるよう、ドクターブレードにて均一に塗布し、磁性シートを得た。得られた磁性シートを１８０℃で９０分間加熱することにより樹脂組成物層を熱硬化し、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。得られたシート状の硬化物を、幅５ｍｍ、長さ１８ｍｍの試験片に切断し、評価サンプルとした。この評価サンプルを、アジレントテクノロジーズ（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製、「ＨＰ８３６２Ｂ」）を用いて、３ターンコイル法にて測定周波数を１０ＭＨｚとし、室温２３℃にて比透磁率（μ’）、及び磁気損失（ｔａｎδ（＝μ”/μ’）を測定した。また、同様の方法で、測定周波数を１００ＭＨｚとし、室温２３℃にて比透磁率（μ’）、磁気損失（ｔａｎδ（＝μ”/μ’）を測定した。
支持体として、シリコーン系離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（リンテック社製「ＰＥＴ５０１０１０」、厚さ５０μｍ）を用意した。各樹脂組成物１～６を上記ＰＥＴフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが１００μｍとなるよう、ドクターブレードにて均一に塗布し、磁性シートを得た。得られた磁性シートを１８０℃で９０分間加熱することにより樹脂組成物層を熱硬化し、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。得られたシート状の硬化物を、幅５ｍｍ、長さ１８ｍｍの試験片に切断し、評価サンプルとした。この評価サンプルを、アジレントテクノロジーズ（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製、「ＨＰ８３６２Ｂ」）を用いて、３ターンコイル法にて測定周波数を１０ＭＨｚとし、室温２３℃にて比透磁率（μ’）、及び磁気損失（ｔａｎδ（＝μ”/μ’）を測定した。また、同様の方法で、測定周波数を１００ＭＨｚとし、室温２３℃にて比透磁率（μ’）、磁気損失（ｔａｎδ（＝μ”/μ’）を測定した。
【0168】
＜最大点強度、伸びの測定＞
支持体として、シリコーン系離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（リンテック社製「ＰＥＴ５０１０１０」、厚さ５０μｍ）を用意した。各樹脂組成物１～６を上記ＰＥＴフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが１００μｍとなるよう、ドクターブレードにて均一に塗布し、磁性シートを得た。得られた磁性シートを１９０℃で９０分間加熱することにより樹脂組成物層を熱硬化し、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。得られたシート状の硬化物を、日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ７１２７）に準拠し、テンシロン万能試験機（エー・アンド・デイ社製）を用いて引っ張り試験を行い、２３℃での最大点強度、及び伸びを測定した。
支持体として、シリコーン系離型剤処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（リンテック社製「ＰＥＴ５０１０１０」、厚さ５０μｍ）を用意した。各樹脂組成物１～６を上記ＰＥＴフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが１００μｍとなるよう、ドクターブレードにて均一に塗布し、磁性シートを得た。得られた磁性シートを１９０℃で９０分間加熱することにより樹脂組成物層を熱硬化し、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。得られたシート状の硬化物を、日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ７１２７）に準拠し、テンシロン万能試験機（エー・アンド・デイ社製）を用いて引っ張り試験を行い、２３℃での最大点強度、及び伸びを測定した。
【0169】
【表2】
【0170】
表からわかるように、実施例１～６は、比透磁率に優れるとともに低粘度化が達成され、比較例１よりも比透磁率が高く、かつ低粘度となっていることがわかる。また、実施例１～５は、比較例１よりも最大点強度及び伸びにも優れることがわかる。
【符号の説明】
【0171】
１０ コア基板
１１ 支持基板
１２ 第１金属層
１３ 第２金属層
１４ スルーホール
２０ めっき層
３０ａ 樹脂組成物
３０ 磁性層
４０ 導体層
４１ パターン導体層
１００ 回路基板
２００ 内層基板
２００ａ 第１主表面
２００ｂ 第２主表面
２２０ スルーホール
２２０ａ スルーホール内配線
２４０ 外部端子
３００ 磁性部
３１０ 磁性シート
３２０ａ 樹脂組成物層
３２０ 第１絶縁層
３３０ 支持体
３４０ 第２絶縁層
３６０ ビアホール
３６０ａ ビアホール内配線
４００ コイル状導電性構造体
４２０ 第１導体層
４２０ａ ランド
４４０ 第２導体層
１１ 支持基板
１２ 第１金属層
１３ 第２金属層
１４ スルーホール
２０ めっき層
３０ａ 樹脂組成物
３０ 磁性層
４０ 導体層
４１ パターン導体層
１００ 回路基板
２００ 内層基板
２００ａ 第１主表面
２００ｂ 第２主表面
２２０ スルーホール
２２０ａ スルーホール内配線
２４０ 外部端子
３００ 磁性部
３１０ 磁性シート
３２０ａ 樹脂組成物層
３２０ 第１絶縁層
３３０ 支持体
３４０ 第２絶縁層
３６０ ビアホール
３６０ａ ビアホール内配線
４００ コイル状導電性構造体
４２０ 第１導体層
４２０ａ ランド
４４０ 第２導体層
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】