(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-02
(45)【発行日】2024-04-10
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H01F 7/16 20060101AFI20240403BHJP
H01F 7/126 20060101ALI20240403BHJP
H02K 33/02 20060101ALI20240403BHJP
【ＦＩ】
H01F7/16 D
H01F7/16 K
H02K33/02 A
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020165547
(22)【出願日】2020-09-30
(65)【公開番号】P2022057343
(43)【公開日】2022-04-11
【審査請求日】2023-08-01
(73)【特許権者】
【識別番号】000005197
【氏名又は名称】株式会社不二越
(74)【代理人】
【識別番号】100120400
【弁理士】
【氏名又は名称】飛田 高介
(74)【代理人】
【識別番号】100124110
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 大介
(72)【発明者】
【氏名】入井 俊紀
(72)【発明者】
【氏名】中川 雄介
(72)【発明者】
【氏名】松井 健志
【審査官】木下 直哉
(56)【参考文献】
【文献】特許第６６１０８４３（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特開２０１８－３９９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６３－１９９４０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭５３－４４７５６（ＪＰ，Ｕ）
【文献】国際公開第２０２１／１８１８１６（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｆ ７／１２１－ ７／１２６
Ｈ０１Ｆ ７／１６
Ｈ０２Ｋ ３３／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ハウジングと、前記ハウジングの内側に配置された円筒状のコイルと、
前記コイルの内側に配置された可動鉄心と、
前記可動鉄心に挿通されたシャフトと、
前記コイルが励磁されたときに該可動鉄心と前記シャフトとを係合するロック機構とを備え、
前記ロック機構は、
前記シャフトの外周を転動して楔となる複数の転動体と、
前記可動鉄心に固定され、前記転動体が接触する二つの内向する傾斜面を含んだ係合部材とを含み、
前記シャフトは、該シャフトがストローク端近傍にあるときに前記転動体がはまる外周溝を有していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
前記シャフトはストローク範囲を規制する衝止部を備え、前記外周溝は、前記シャフトがストローク端にあるとき、前記転動体よりもストローク範囲の外側の位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記ハウジングの内側に、一対の前記可動鉄心、ロック機構、および外周溝を対向して備えていて、前記シャフトを双方向に移動可能であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はアクチュエータに関し、特に、非励磁時のシャフトの保持力が高いアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来のアクチュエータとして、例えば特許文献１および特許文献２には、シャフトのストローク端の状態を内蔵の磁石によって保持することが可能な小型のラッチングソレノイドが開示されている。一方、ハイパワーかつロングストロークのソレノイドとして、可動鉄心の動きに合わせて可動鉄心とシャフトとの係合と解除を繰り返し、これによってシャフトを少しずつ繰り出すことで大きな移動距離を得る、いわゆるステップ送りの構成も提案されている。
【0003】
上記ステップ送りのアクチュエータとして、例えば本出願人による特許文献３では、ロック機構を採用したアクチュエータが提案されている。当該アクチュエータのロック機構は、主に転動体と係合部材とを利用した簡潔な構成でありつつも、可動鉄心の位置に合わせてシャフトの規制方向を切り替えることができ、これによって電磁部を含めた全体構成の小型化および低廉化を可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】実開平０２－０８６１０６号公報
【文献】特許３５４２９３３号公報
【文献】特願２０２０－０４４３３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、ストローク端状態のシャフトの保持力は、部品精度や経年変化、さらには使用状況などによって影響を受ける。例えば、アクチュエータの内部に採用されるコイルばね等の弾性体にも僅かながら寸法のばらつきは存在し、経年によって付勢力にも変化が現れ得る。
【0006】
また、当該アクチュエータを自動車に採用した場合、走行中における路面からの振動や他の機械部品の可動時の振動を受けることになる。振動のような動的な荷重がアクチュエータに作用した場合、シャフトが微小な回動運動や往復運動を繰り返し、結果としてシャフトを支える部材の保持力に影響が出ることも考えられる。
【0007】
本発明は、このような課題に鑑み、非励磁時のシャフトの保持力を高めたアクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明にかかるアクチュエータの代表的な構成は、ハウジングと、ハウジングの内側に配置された円筒状のコイルと、コイルの内側に配置された可動鉄心と、可動鉄心に挿通されたシャフトと、コイルが励磁されたときに可動鉄心とシャフトとを係合するロック機構とを備え、ロック機構は、シャフトの外周を転動して楔となる複数の転動体と、可動鉄心に固定され、転動体が接触する二つの内向する傾斜面を含んだ係合部材とを含み、シャフトは、シャフトがストローク端近傍にあるときに転動体がはまる外周溝を有していることを特徴とする。
【0009】
上記構成では、ストローク端状態のシャフトが外力によって押し戻されようとしたとき、シャフトの外周溝にロック機構の転動体が嵌合するため、シャフトとロック機構との係合力が高まり、非励磁時のシャフトの保持力を飛躍的に高めることができる。
【0010】
シャフトはストローク範囲を規制する衝止部を備え、外周溝は、シャフトがストローク端にあるとき、転動体よりもストローク範囲の外側の位置に形成されていてもよい。
【0011】
上記構成によれば、確実に転動体を外周溝に係止させることができる。外力によってシャフトがストローク範囲の外方向に移動させられようとしたときは、衝止部によってその移動が規制される。一方、外力によってシャフトがストロークの内方向に移動させられようとしたときは、転動体が外周溝に係止して移動が規制される。すなわち、いずれの方向にも確実にシャフトの移動を規制し、その位置を保持することができる。
【0012】
ハウジングの内側に、一対の可動鉄心、ロック機構、および外周溝を対向して備えていて、シャフトを双方向に移動可能であることが好ましい。これにより、双方向に能動的にシャフトを移動させることが可能となる。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、非励磁時のシャフトの保持力を高めたアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】本実施形態にかかるアクチュエータの全体構成図である。
【図2】ロック機構について説明する図である。
【図3】ロック機構の動作を説明する図である。
【図4】ロック機構の動作を説明する図である。
【図5】シャフトに大きな外力が働いた場合について説明する図である。
【図6】転動体と外周溝との嵌合が解除される過程の図である。
【図7】転動体と外周溝との嵌合が解除される過程の図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、発明の理解を容易とするための例示に過ぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【0016】
図１は、本実施形態にかかるアクチュエータ１００の全体構成図である。図１では、２つの電磁部（第１電磁部１０６ａ、第２電磁部１０６ｂ）が両方非励磁の状態を示している。本実施形態にかかるアクチュエータ１００には左右の区別はなく、以下に「左右」の言葉を用いて説明するときは単に図面上の左右である。
【0017】
アクチュエータ１００は、第１電磁部１０６ａおよび第２電磁部１０６ｂを利用して、シャフト１０を双方向に能動的に移動させることが可能になっている。詳しくは、アクチュエータ１００は、ハウジング１０２の内部の中央に固定鉄心１０４が配置されていて、固定鉄心１０４の左右にそれぞれ第１電磁部１０６ａおよび第２電磁部１０６ｂが配置されている。このとき、中央の固定鉄心１０４は電磁部１０６ａ、１０６ｂで共有している。電磁部１０６ａ、１０６ｂは対向して配置されていて、後述する可動鉄心２１０やロック機構３００ａ、３００ｂの配置や動作方向も逆向きになっている。
【0018】
第１電磁部１０６ａおよび第２電磁部１０６ｂは同じ構造をしているため、代表して第１電磁部１０６ａの構造について説明する。なお、以下の説明において各要素を左右で呼び分ける必要がある場合には、第１電磁部１０６ａ側の部材については符号にａの枝番を付し、第２電磁部１０６ｂ側の部材については符号にｂの枝番を付す。
【0019】
第１電磁部１０６ａは、主な要素として、ハウジング１０２の内側にてシャフト１０を巻回するように配置された円筒状のコイル２００と、コイル２００の内側に配置された可動鉄心２１０とを備えている。可動鉄心２１０は、円筒状の磁性体であって、内側にシャフト１０が挿通されている。可動鉄心２１０は、コイル２００が励磁されると磁束が通り、シャフト１０と共に中央の固定鉄心１０４側に吸引されるように移動する。
【0020】
中央の固定鉄心１０４の内部には、可動鉄心２１０を初期位置へと付勢するリターンスプリング２１２が配置されている。上記コイル２００が励磁されたとき、可動鉄心２１０はリターンスプリング２１２の付勢力に抗して固定鉄心１０４側に移動する。そして、コイル２００が非励磁となると、可動鉄心２１０はリターンスプリング２１２によって初期位置へと押し戻され、ストッパ２１４に当接する。ストッパ２１４の裏側には永久磁石２０４が配置されていて、磁力によって初期位置の可動鉄心２１０をストッパ２１４に密着させた状態に保持することが可能になっている。
【0021】
シャフト１０は、長手方向の中央に、固定鉄心１０４の狭隘部１０８を通過可能な小径部１２が設けられている。小径部１２以外の範囲は、狭隘部１０８を通過不能な太さの大径部１４ａ、１４ｂになっている。そして、これら小径部１２と大径部１４ａ、１４ｂの段差の部分が、シャフト１０のストローク範囲を規制する衝止部１６ａ、１６ｂとなっている。衝止部１６ａ、１６ｂが固定鉄心１０４の狭隘部１０８に干渉したとき、シャフト１０は片側に突出してそれ以上移動することのできない状態、いわゆるストローク端の状態となる。
【0022】
図２は、ロック機構３００ａについて説明する図である。上述した可動鉄心２１０とシャフト１０との間には、ロック機構３００ａが備えられている。ロック機構３００ａは、コイル２００が励磁されたときに可動鉄心２１０とシャフト１０とを係合する機構であり、シャフト１０の上を転動して楔となる２以上の転動体３０２（ローラ）と、転動体３０２の姿勢を保持する保持器３０４と、可動鉄心２１０に固定された係合部材３１０とを備えている。
【0023】
係合部材３１０は、可動鉄心２１０の内側にはめ込まれたリング状の部材であり、内面に転動体３０２を収容するくぼみが形成されている。このくぼみは、二つの内向する傾斜面を備えている。二つの内向する傾斜面のうち、可動鉄心２１０の初期位置側（移動元側）を元側傾斜面３１４、可動鉄心２１０が励磁されて移動する側（移動先側）を先側傾斜面３１２と称する。転動体３０２は、先側傾斜面３１２または元側傾斜面３１４に当接してシャフト１０との間に挟まることによって楔として機能し、可動鉄心２１０とシャフト１０を係合させる。
【0024】
可動鉄心２１０内には、保持器３０４を介して転動体３０２を元側傾斜面３１４に付勢する内部弾性体２１６が備えられている。また可動鉄心２１０の外には、コイル２００が非励磁であって可動鉄心２１０が初期位置にあるときに転動体３０２を先側傾斜面３１２に付勢する外部弾性体２１８が備えられている。一例として、内部弾性体２１６および外部弾性体２１８は、共にコイルスプリングで構成することができる。外部弾性体２１８は必要なストロークが短いため、例えば内部弾性体２１６よりも短い寸法に設定することができる。
【0025】
外部弾性体２１８の付勢力は、内部弾性体２１６よりも大きく設定されている。この構成によって、可動鉄心２１０がストッパ２１４に接触した初期位置にいるとき、転動体３０２は外部弾性体２１８によって係合部材３１０の先側傾斜面３１２とシャフト１０とに押し付けられる。これにより、シャフト１０が第２電磁部１０６ｂに向かって移動しようとしたときにロックし、シャフト１０の移動を規制することができる。
【0026】
図２中の白矢印は、ロック機構３００ａに対してシャフト１０が相対的に移動可能であることを示していて、白矢印にバツがついている方向は相対的に移動不可能であることを示している。上記の通り、ロック機構３００ａは、コイル２００が非励磁で可動鉄心２１０が初期位置にいるとき、シャフト１０が第２電磁部１０６ｂに向かって移動する方向に係合する（規制する）ワンウェイクラッチとして機能する。すなわちロック機構３００ａ、３００ｂは、他方の電磁部の可動鉄心２１０が初期位置に戻ろうとするときには、シャフト１０が戻らないようにロックする。特に、外部弾性体２１８が転動体３０２を先側傾斜面３１２に付勢することから、ロック機構３００ａは可動鉄心２１０とシャフト１０とをより確実に係合することが可能になっている。
【0027】
図１に示したように、第１電磁部１０６ａと第２電磁部１０６ｂは対向して配置されていることから、ロック機構３００ａ、３００ｂは非励磁のときにはいずれも内側方向（相手方の電磁部に向かう方向）へのシャフト１０の移動を規制する。したがって、当該アクチュエータ１００は、電力や制御を必要とすることなく、何もしていないときはシャフト１０の移動をロックすることが可能になっている。
【0028】
図３および図４は、ロック機構３００ａの動作を説明する図である。図３（ａ）は、シャフト１０が第１電磁部１０６ａ側にストローク端（初期位置）になった状態を示している。このとき、ストローク端のシャフト１０に外力が作用し、シャフト１０が第２電磁部１０６ｂ側に押し戻されそうになると、上述したロック機構３００ａが作用し、シャフト１０の移動が規制される。
【0029】
図３（ｂ）は、ロック機構３００ａの拡大図である。可動鉄心２１０が初期位置にあるとき、上記したようにロック機構３００ａはシャフト１０が移動する方向には係合する。すなわち、白矢印の大きさで示すように、外部弾性体２１８による付勢力のほうが内部弾性体２１６の付勢力よりも大きいため、上記初期位置では転動体３０２が先側傾斜面３１２に押し付けられていて、シャフト１０を第２電磁部１０６ｂ側に送ろうとすると可動鉄心２１０とシャフト１０が係合する。反対に、転動体３０２は、シャフト１０が第２電磁部１０６ｂから第１電磁部１０６ａに向かって移動してくる方向には係合しない。
【0030】
しかしながら図３（ｃ）に示すように、コイル２００が励磁されて可動鉄心２１０が図中右側に若干移動すると、外部弾性体２１８のストロークが届かなくなるためその付勢力が弱まり、内部弾性体２１６から受ける付勢力が相対的に大きくなる。すると内部弾性体２１６が保持器３０４を介して転動体３０２を元側傾斜面３１４に付勢する。したがってロック機構３００ａはシャフト１０と係合し、可動鉄心２１０と共にシャフト１０が移動する。
【0031】
すなわち、当該アクチュエータ１００では、可動鉄心２１０の位置によって、ロック機構３００ａの係合方向を切り替えることが可能になっている。このときの切り替わる位置は、内部弾性体２１６と外部弾性体２１８の付勢力が拮抗する位置である。これによって、当該アクチュエータ１００は、より簡潔な構成でシャフト１０の移動規制を達成していて、全体構成の小型化と低廉化を図ることが可能になっている。
【0032】
そして、図４（ａ）に示すように、コイル２００を励磁させて可動鉄心２１０を移動させると、第１電磁部１０６ａのロック機構３００ａはシャフト１０と係合する一方（実線の白矢印にバツをつけて示している）、第２電磁部１０６ｂのロック機構３００ｂはシャフト１０と係合しない（破線の白矢印にバツをつけて示している）。これにより、可動鉄心２１０が第２電磁部１０６ｂに向かって移動するにしたがってシャフト１０を送ることができる。
【0033】
図４（ｂ）に示すようにコイル２００を非励磁とすると、第１電磁部１０６ａの可動鉄心２１０の初期位置への戻り方向に対して、ロック機構３００ａはシャフト１０と係合しない（破線の白矢印にバツをつけて示している）。一方、第２電磁部１０６ｂのロック機構３００ｂは、コイル２００が非励磁であって可動鉄心２１０が初期位置にあるため、第１電磁部１０６ａの可動鉄心２１０が戻る方向にシャフト１０と係合する（実線の白矢印にバツをつけて示している）。これによって、可動鉄心２１０は、シャフト１０を送った位置に残したまま、初期位置まで戻ることができる。したがって第１電磁部１０６ａのコイル２００の励磁と非励磁を繰り返すことによって、シャフト１０を図示右方向に徐々に送る、ステップ送りをすることが可能となる。
【0034】
当該アクチュエータ１００の重要な動作として、対向配置された２つの電磁部１０６ａ、１０６ｂのうち、励磁／非励磁を繰り返した方はシャフト１０を送り出し、非励磁を維持した方はシャフト１０の戻りを規制する。これによって、双方向に能動的にシャフト１０を移動させることが可能となっている。したがって、当該アクチュエータ１０であれば、従来のアクチュエータにあったシャフト１０が初期位置まで一度に戻る動作が生じないため、衝撃緩和の構成が必要なく、シャフト１０のストロークに応じてサイズアップすることもなく、全体構成の小型化と低廉化を図ることができる。
【0035】
図５は、シャフト１０に外力Ｆが働いた場合について説明する図である。図５（ａ）は、ストローク端状態のシャフト１０に外力が働いたときの概要を示している。上記したように、ロック機構３００ａ、３００ｂは非励磁のときにはいずれも内側方向へのシャフト１０の移動を規制する。したがってシャフト１０の移動がロックされるのであるが、シャフト１０に回動運動や往復運動のような振動が働いたとき、ロック機構３００ａの転動体３０２に滑りが生じて、外力Ｆによって動いてしまう可能性がある。
【0036】
そこで本実施形態では、シャフト１０に、ストローク端近傍にあるときに転動体３０２がはまる外周溝１８ａ、１８ｂを設けている。図３（ａ）に示したように、外周溝１８ａは、シャフト１０がストローク端にあるとき、転動体３０２よりもストローク範囲の外側に位置するよう形成されている。
【0037】
図５（ｂ）は、外周溝１８ａの付近の拡大図である。転動体３０２と外周溝１８ａが嵌合したとき、転動体３０２には、外部弾性体２１８からの付勢力と、先側傾斜面３１２からのラジアルおよびアキシャル方向の反力、および外周溝１８ａからの反力が生じる。このように、当該アクチュエータ１００では、ストローク端状態のシャフト１０が外力Ｆによって戻り方向に滑ったとき、シャフト１０の外周溝１８にロック機構３００ａの転動体３０２が嵌合することで、シャフト１０とロック機構３００ａとの係合力、すなわち非励磁時のシャフト１０の保持力を飛躍的に高めることが可能になっている。
【0038】
上述したように、外周溝１８ａは、シャフト１０がストローク端にあるとき、転動体３０２よりもストローク範囲の外側に位置するよう形成されている（図３（ａ）参照）。この構成によって、外力Ｆが作用したときに、確実に転動体３０２を外周溝１８ａに係止させることが可能になっている。特に、外周溝１８ａが転動体３０２と嵌合するまで、シャフト１０はわずかに滑る程度の遊びがあるため、ロック機構３００ａの構成部材等の寸法のばらつきを許容でき、これら構成部材に過度な精度を求めることなく機能できる。
【0039】
当該アクチュエータでは、外力Ｆによってシャフト１０がストロークの内方向に移動させられようとしたときは、転動体３０２が外周溝１８ａに係止して移動が規制される。一方、反対方向の外力によってシャフト１０がストローク範囲の外方向に移動させられようとしたときは、衝止部１６ｂによってその移動が規制される。すなわち、当該アクチュエータ１００の構成であれば、いずれの方向にも確実にシャフト１０の移動を規制し、その位置を保持することができる。
【0040】
図６および図７は、転動体３０２と外周溝１８ａとの嵌合が解除される過程の図である。図６（ａ）は、第１電磁部１６ａのコイル２００が励磁した状態を示している。コイル２００が励磁すると、ロック機構３００ａの転動体３０２とシャフト１０の外周溝１８ａが嵌合したまま、可動鉄心２１０はシャフト１０と共に右の固定鉄心１０４側へ移動する。
【0041】
図６（ｂ）は、外周溝１８ａの付近の拡大図である。可動鉄心２１０が図中右側に移動する場合、転動体３０２には、内部弾性体２１６からの付勢力と、元側傾斜面３１４からのラジアルおよびアキシャル方向の反力、および外周溝１８ａからの反力が生じる。
【0042】
図６（ｃ）は、コイル２００が非励磁になった状態を示している。コイル２００が非励磁になると、可動鉄心２１０はリターンスプリング２１２の付勢力によって、初期位置に戻ろうとする。
【0043】
図７（ａ）は図６（ｃ）の外周溝１８ａの付近の拡大図である。可動鉄心２１０が図中左側に移動しようとするとき、係合部材３１０にも左側へ向かう力が作用しているため、転動体３０２には元側傾斜面３１４からの反力は作用しない。図７（ｂ）は、第１電磁部１６ａの可動鉄心２１０が左に動き始めた状態を示している。可動鉄心２１０がリターンスプリング２１２の付勢力によって左に動くことで、転動体３０２と係合部材３１０の接触が外れ、転動体３０２の上方に空間が生じる。このとき、保持器３０４を介して内部弾性体２１６からの付勢力が転動体３０２に対してアキシャル方向に加えられることで、転動体３０２には外周溝１８ａからラジアル方向の反力が生まれる。
【0044】
図７（ｃ）は、図７（ｂ）の係合部材３１０がさらに左に動いた状態を示している。このとき、転動体３０２と係合部材３１０との間に空間が生まれたことと、保持器３０４を介しての内部弾性体２１６からのアキシャル方向の力によって、破線の矢印に示すように転動体３０２は外周溝１８ａの肩を乗り越えることが可能になる。
【0045】
図７（ｄ）は、係合部材３１０がさらに左に動いた状態を示している。転動体３０２が外周溝１８ａから外れた後は、転動体３０２が内部弾性体２１６からの付勢力によって係合部材の元側傾斜面３１４に接触しつつ、ロック機構３００ａおよび可動鉄心２１０は初期位置へと戻る。
【0046】
これらのように、当該アクチュエータ１００であれば、部品点数の増加を抑えつつ、ロック機構によっていずれの方向にもシャフト１０の移動を規制してその位置を保持しつつ、さらに外周溝１８ａ、１８ｂによってストローク端近傍にある非励磁時のシャフト１０をより確実に保持することができる。
【0047】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【0048】
本発明は、アクチュエータに関し、特に、非励磁時のシャフトの保持力が高いアクチュエータに利用することができる。
【符号の説明】
【0049】
１０…シャフト、１２…小径部、１４ａ、１４ｂ…大径部、１６ａ、１６ｂ…衝止部、１８ａ、１８ｂ…外周溝、１００…アクチュエータ、１０２…ハウジング、１０４…固定鉄心、１０６ａ…第１電磁部、１０６ｂ…第２電磁部、１０８…狭隘部、２００…コイル、２０４…永久磁石、２１０…可動鉄心、２１２…リターンスプリング、２１４…ストッパ、２１６…内部弾性体、２１８…外部弾性体、３００ａ、３００ｂ…ロック機構、３０２…転動体、３０４…保持器、３１０…係合部材、３１２…先側傾斜面、３１４…元側傾斜面、Ｆ…外力
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】