特許 7465191 磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-02

(45)【発行日】2024-04-10

(54)【発明の名称】磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/31 20060101AFI20240403BHJP

   G11B 5/02 20060101ALI20240403BHJP

【ＦＩ】

G11B5/31 A

G11B5/31 E

G11B5/31 Z

G11B5/02 R

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020175804

(22)【出願日】2020-10-20

(65)【公開番号】P2022067214

(43)【公開日】2022-05-06

【審査請求日】2023-02-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(73)【特許権者】

【識別番号】317011920

【氏名又は名称】東芝デバイス＆ストレージ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110004026

【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ

(72)【発明者】

【氏名】首藤 浩文

(72)【発明者】

【氏名】永澤 鶴美

(72)【発明者】

【氏名】高岸 雅幸

(72)【発明者】

【氏名】成田 直幸

(72)【発明者】

【氏名】前田 知幸

【審査官】川中 龍太

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１２０１９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０５７３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０３０８７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０８１５５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１１Ｂ ５／３１

Ｇ１１Ｂ ５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに第１交流電流を供給し前記磁気素子に第２電流を供給したときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得し、前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含み、
前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出し、
前記第１交流電流は、第１周波数を有し、
前記電気信号は、前記第１周波数の２倍の第２周波数を有する、磁気ヘッドの評価方法。

【請求項2】

前記変化に要する前記時間の前記検出は、
前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算することと、
前記積算された前記電気信号の前記第２周波数の成分を取り出すことと、
を含む、請求項１に記載の磁気ヘッドの評価方法。

【請求項3】

前記磁気素子は、
前記第１磁極と前記第１磁性層との間に設けられた第１磁極側非磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁極との間に設けられた第２磁極側非磁性層と、
をさらに含む、請求項１または２に記載の磁気ヘッドの評価方法。

【請求項4】

前記第１磁極側非磁性層が第１材料を含み前記第２磁極側非磁性層が第２材料を含む場合、前記第２電流が前記第１磁極から前記第２磁極への第１向きを有し、前記第１材料は、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、前記第２材料は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、
前記第１磁極側非磁性層が前記第２材料を含み前記第２磁極側非磁性層が前記第１材料を含む場合、前記第２電流が前記第２磁極から前記第１磁極への第２向きを有する、請求項３に記載の磁気ヘッドの評価方法。

【請求項5】

第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに、第１交流電流を供給可能な第１回路であって、前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含む、前記第１回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給されたときに前記磁気素子に第２電流を供給可能な第２回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給され前記磁気素子に前記第２電流が供給されたときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得し、前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出可能な第３回路と、
を備え、
前記第１交流電流は、第１周波数を有し、
前記電気信号は、前記第１周波数の２倍の第２周波数を有する、磁気ヘッドの評価装置。

【請求項6】

前記第３回路は、積算部を含み、
前記積算部は、前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算し、前記積算された前記電気信号の前記第２周波数の成分を取り出すことが可能である、請求項５に記載の磁気ヘッドの評価装置。

【請求項7】

前記第３回路は、積算部を含み、
前記積算部は、前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算する、請求項５に記載の磁気ヘッドの評価装置。

【請求項8】

第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに、第１交流電流を供給可能な第１回路であって、前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含む、前記第１回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給されたときに前記磁気素子に第２電流を供給可能な第２回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給され前記磁気素子に前記第２電流が供給されたときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得し、前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出可能な第３回路と、
を備え、
前記第３回路は、積算部を含み、
前記積算部は、前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算する、磁気ヘッドの評価装置。

【請求項9】

前記第３回路は、直流交流重畳回路を含み、
前記直流交流重畳回路は、
前記磁気素子と電気的に接続された直流交流ポートと、
前記第２回路と電気的に接続された直流ポートと、
前記積算部に向けて前記電気信号の高周波成分を出力可能な交流ポートと、
を含む、請求項７または８に記載の磁気ヘッドの評価装置。

【請求項10】

前記第３回路は、増幅器を含み、
前記増幅器は、前記交流ポートから前記高周波成分を取得して、
前記高周波成分を増幅した信号を前記積算部に出力可能である、請求項９に記載の磁気ヘッドの評価装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置に関する。

【背景技術】

【0002】

磁気ヘッドを用いて、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの磁気記録媒体に情報が記録される。磁気ヘッドの特性を評価する方法及び装置が望まれる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１４７５４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の実施形態は、磁気ヘッドの特性を評価可能な磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の実施形態によれば、磁気ヘッドの評価方法は、第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに第１交流電流を供給し前記磁気素子に第２電流を供給したときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得することを含む。前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含む。前記評価方法は、前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出することを含む。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置で評価される磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置を例示する模式図である。

【図3】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置における特性を例示するグラフ図である。

【図4】図４は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。

【図5】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、磁気ヘッドの評価装置または評価方法により評価される磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。

【図6】図６は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。

【図7】図７は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。

【図8】図８は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。

【図9】図９（ａ）及び図９（ｂ）は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0008】

（第１実施形態）
第１実施形態は、磁気ヘッドの評価装置に係る。
図１は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置で評価される磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図１に示すように、磁気ヘッド１１０は、第１磁極３１、第２磁極３２、磁気素子２０及びコイル３０ｃを含む。この例では、シールド３３がさらに設けられている。第１磁極３１、第２磁極３２、磁気素子２０、コイル３０ｃ及びシールド３３は、記録部６０に含まれる。後述するように、磁気ヘッド１１０に再生部が設けられても良い。磁気ヘッド１１０は、磁気記録装置２１０に含まれる。

【0009】

シールド３３と第２磁極３２との間に、第１磁極３１が設けられる。例えば、コイル３０ｃの少なくとも一部は、第１磁極３１と第２磁極３２との間に設けられる。この例では、コイル３０ｃの一部は、シールド３３と第１磁極３１との間に設けられる。

【0010】

コイル３０ｃに記録用電気回路３０Ｄが電気的に接続される。記録用電気回路３０Ｄからコイル３０ｃに記録電流Ｉｗが供給される。第１磁極３１から記録電流Ｉｗに応じた磁界（記録磁界）が生じる。記録磁界が磁気記録媒体８０に加わり、磁気記録媒体８０に情報が記録される。このように、記録用電気回路３０Ｄは、記録される情報に対応した電流（記録電流Ｉｗ）をコイル３０ｃに供給可能である。例えば、磁気記録媒体８０は、垂直磁気記録媒体である。

【0011】

図１に示すように、第１コイル端子Ｃ１及び第２コイル端子Ｃ２が設けられても良い。これらの端子は、コイル３０ｃと電気的に接続される。例えば、記録用電気回路３０Ｄは、これらの端子を介して、コイル３０ｃに記録電流Ｉｗを供給する。

【0012】

図１に示すように、磁気素子２０は、第１磁極３１と第２磁極３２との間に設けられる。磁気素子２０は、第１磁性層２１を含む。

【0013】

図１に示すように、例えば、第１磁極３１、第２磁極３２、シールド３３、コイル３０ｃ、及び、磁気素子２０の周りに、絶縁部３０ｉが設けられる。

【0014】

第１磁極３１は、例えば、主磁極である。第１磁極３１の端部に、磁極面３０Ｆが設けられる。磁極面３０Ｆは、例えば、磁気ヘッド１１０のＡＢＳ（Air Bearing Surface）に沿う。磁極面３０Ｆが、磁気記録媒体８０に対向する。

【0015】

磁極面３０Ｆに対して垂直な方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。

【0016】

Ｚ軸方向は、例えば、ハイト方向である。Ｘ軸方向は、例えば、ダウントラック方向である。Ｙ軸方向は、クロストラック方向である。

【0017】

例えば、磁極面３０Ｆの近傍において、第２磁極３２は、Ｘ軸方向に沿って、第１磁極３１から離れる。Ｘ軸方向に実質的に沿って、磁気ヘッド１１０と磁気記録媒体８０とが、相対的に移動する。これにより、磁気記録媒体８０の任意の位置に、情報が記録される。

【0018】

第２磁極３２は、例えば、「trailing shield」に対応する。シールド３３は、例えば、「leading shield」に対応する。第２磁極３２は、例えば、補助磁極である。第２磁極３２は、第１磁極３１とともに、磁気コアを形成可能である。例えば、サイドシールド（図示しない）などの追加のシールドが設けられても良い。

【0019】

図１に示すように、素子電流Ｉｄが、磁気素子２０に流れる。図１に示す例においては、素子電流Ｉｄは、第１磁極３１から第２磁極３２への向きを有する。

【0020】

例えば、磁気素子２０は、第１磁極３１及び第２磁極３２と電気的に接続されても良い。この場合、第１磁極３１及び第２磁極３２を介して、素子電流Ｉｄが磁気素子２０に供給されても良い。

【0021】

図１に示すように、第１配線Ｗ１及び第２配線Ｗ２が設けられても良い。第１配線Ｗ１は、第１磁極３１と電気的に接続される。第２配線Ｗ２は、第２磁極３２と電気的に接続される。第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２が設けられても良い。第１端子Ｔ１は、第１配線Ｗ１を介して、第１磁極３１と電気的に接続される。第２端子Ｔ２は、第２配線Ｗ２を介して第２磁極３２と電気的に接続される。

【0022】

上記の素子電流Ｉｄは、例えば、素子用電気回路２０Ｄから供給される。例えば、第１端子Ｔ１、第１配線Ｗ１、第２配線Ｗ２及び第２端子Ｔ２を介して、素子用電気回路２０Ｄから素子電流Ｉｄが、第１磁極３１及び第２磁極３２に供給可能である。

【0023】

実施形態においては、磁気素子２０に素子電流Ｉｄが流れることで、第１磁極３１から出る磁界を磁気記録媒体８０に効率良く向かわせることができる。これは、素子電流Ｉｄにより、第１磁性層２１の磁化の向きが、第１磁極３１から出る磁界に対して反転し、その結果、第１磁極３１から出る磁界が第１磁性層２１を通り難くなり、磁気記録媒体８０に向かい易くなるためであると考えられる。このような動作により、記録密度を向上できる。

【0024】

後述するように、磁気素子２０は、第２磁性層を含んでも良い。この場合、素子電流Ｉｄが磁気素子２０に供給されることで、例えば、磁気素子２０が発振する。磁気素子２０は、ＳＴＯ（Spin Torque Oscillator）として機能する。発振に伴い、磁気素子２０から交流磁界（例えば高周波磁界）が発生する。磁気素子２０で発生した交流磁界が磁気記録媒体８０に印加され、磁気記録媒体８０への記録がアシストされる。例えば、ＭＡＭＲ（Microwave Assisted Magnetic Recording）が実施可能である。この場合も、記録密度を向上できる。

【0025】

このような磁気ヘッド１１０において、磁気素子２０の動作の立ち上がり特性を評価することが望まれる。例えば、磁性層の磁化が高速で反転することで、より効果的な記録が実施できる。例えば、発振状態に高速で移行できることで、より効果的な記録が実施できる。これより、記録密度をより効果的に向上できる。

【0026】

例えば、磁気素子２０において、第１磁性層２１の磁化が反転すると、磁気素子２０の電気抵抗は、磁化が反転する前の磁気素子２０の電気抵抗よりも高くなる。例えば、磁気素子２０が発振すると、磁気素子２０の電気抵抗は、磁気素子２０が発振する前の電気抵抗とは異なる値となる。このような電気抵抗の変化に要する時間が、磁気素子２０の動作（磁化の反転、または発振）の立ち上がり時間に対応する。

【0027】

実施形態は、磁気ヘッド１１０の評価装置を提供する。実施形態においては、例えば、コイル３０ｃに供給される電流の極性反転を基準にした、磁気素子２０の動作の立ち上がり時間を評価できる。動作の立ち上がり時間は、磁気素子２０の電気抵抗の変化の時間に対応する。

【0028】

図２は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置を例示する模式図である。
図２に示すように、実施形態に係る評価装置３１０は、第１回路５１、第２回路５２及び第３回路５３を含む。第１回路５１は、磁気ヘッド１１０のコイル３０ｃに、第１交流電流Ｉ１を供給可能である。既に説明したように、磁気ヘッド１１０は、第１磁極３１、第２磁極３２、磁気素子２０及びコイル３０ｃを含む。既に説明したように、磁気素子２０は、第１磁極３１と第２磁極３２との間に設けられる。磁気素子２０は、第１磁性層２１を含む。

【0029】

第２回路５２は、コイル３０ｃに第１交流電流Ｉ１が供給されたときに磁気素子２０に第２電流Ｉ２を供給可能である。第２回路５２は、磁気素子２０と電気的に接続される。例えば、第２回路５２は、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２を介して、磁気素子２０と電気的に接続される。この例では、第２回路５２は、後述する第３回路５３に含まれる直流交流重畳回路５５を介して、磁気素子２０と電気的に接続されている。第２回路５２は、磁気素子２０の電気抵抗の時間的な平均値を検出可能でも良い。

【0030】

第３回路５３は、コイル３０ｃに第１交流電流Ｉ１が供給され磁気素子２０に第２電流Ｉ２が供給されたときに磁気素子２０の抵抗変化から得られる電気信号Ｓｉｇ１を取得可能である。第３回路５３は、電気信号Ｓｉｇ１に基づいて、第１交流電流Ｉ１の極性が反転する時刻を基準にした、磁気素子２０の電気抵抗の変化の時間を検出可能である。コイル３０ｃに第１交流電流Ｉ１が供給され磁気素子２０に第２電流Ｉ２が供給されたときに磁気素子２０から得られる電気信号Ｓｉｇ１は、磁気素子２０の電気抵抗の変化に応じている。電気抵抗の変化は、磁気素子２０における磁化の反転、または、磁気素子２０における発振状態への移行に対応している。

【0031】

実施形態によれば、例えば、第１交流電流Ｉ１の極性が反転する時刻を基準にした、磁気素子２０の電気抵抗の変化の遅れを検出できる。例えば、磁化の反転に要する遷移時間を検出できる。例えば、発振状態への移行に要する遷移時間を検出できる。実施形態によれば、磁気ヘッドの特性を評価可能な評価装置が提供できる。

【0032】

この例では、第３回路５３は、積算部５４を含む。積算部５４は、第１交流電流Ｉ１に同期して、電気信号Ｓｉｇ１を積算する。例えば、第１回路５１からトリガ信号ＳｉｇＴが積算部５４に供給される。トリガ信号ＳｉｇＴは、例えば、第１交流電流Ｉ１の極性反転の時刻に対応した信号である。トリガ信号ＳｉｇＴが積算部５４に供給されることで、積算部５４は、第１交流電流Ｉ１に同期して、電気信号Ｓｉｇ１を積算する。積算部５４は、例えばオシロスコープでも良い。積算部５４は、例えばデジタル積算器でも良い。

【0033】

この例では、第３回路５３は、直流交流重畳回路５５を含む。直流交流重畳回路５５は、直流交流ポート５５ＤＲと、直流交流ポート５５ＤＳと、直流ポート５５ＤＣと、交流ポート５５ＲＦと、を含む。直流交流ポート５５ＤＲは、磁気素子２０の一端（例えば第１端子Ｔ１）と電気的に接続される。直流交流ポート５５ＤＳは、磁気素子２０の他端（例えば第２端子Ｔ２）と電気的に接続される。直流ポート５５ＤＣは、第２回路５２と電気的に接続される。交流ポート５５ＲＦは、積算部５４に向けて、電気信号Ｓｉｇ１の高周波成分を出力可能である。

【0034】

この例では、第３回路５３は、増幅器５６を含む。増幅器５６は、交流ポート５５ＲＦから電気信号Ｓｉｇ１の高周波成分を取得する。増幅器５６は、高周波成分を増幅した信号を積算部５４に出力可能である。増幅器５６は、例えば、高周波増幅器である。

【0035】

図２に示すように、制御部５８が設けられても良い。制御部５８は、第１回路５３、第２回路５２及び第３回路５３の動作を制御可能である。

【0036】

以下、第１交流電流Ｉ１及び電気信号Ｓｉｇ１の例について説明する。
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置における特性を例示するグラフ図である。
これらの図の横軸は、時間ｔｍである。時間ｔｍの単位は、「ｎｓ」などで良い。図３（ａ）の縦軸は、第１交流電流Ｉ１である。図３（ｂ）の縦軸は、磁気素子２０から得られる電気信号Ｓｉｇ１を積算して得られる積算信号Ｒｘである。積算信号Ｒｘは、第３回路５３の出力である。積算信号Ｒｘの変化は、磁気素子２０の電気抵抗の変化に応じている。この例では、第１磁性層２１の磁化が反転する動作が行われる。

【0037】

図３（ａ）に示すように、第１交流電流Ｉ１は、第１周波数ｆ１を有する。第１交流電流Ｉ１の第１周期ｔ１は、１／ｆ１である。

【0038】

図３（ｂ）に示すように、積算信号Ｒｘは、第１周波数ｆ１の２倍の第２周波数を有する。積算信号Ｒｘの第２周期ｔ２は、１／（２×ｆ１）である。積算信号Ｒｘが第１周波数ｆ１の２倍であり、このとき、積算される前の電気信号Ｓｉｇ１も第１周波数ｆ１の２倍の第２周波数を有する。例えば、第１交流電流Ｉ１の極性の負から正への反転において、磁気素子２０の磁化の反転が生じ、第１交流電流Ｉ１の極性の正から負への反転において、磁気素子２０の磁化の反転が生じる。このため、磁気素子２０から得られる電気信号Ｓｉｇ１の変化の周波数は、第１交流電流Ｉ１の周波数の２倍となる。

【0039】

この例では、図３（ｂ）に示すように、積算信号Ｒｘは、第１交流電流Ｉ１の極性反転の後、短い時間のピーク（ノイズに相当）を経て、低い値を経て、高い値に変化する。積算信号Ｒｘの低い値の状態は、第１磁性層２１の磁化が反転する前の状態に対応する。積算信号Ｒｘが高い値の状態は、第１磁性層２１の磁化が反転した後の状態に対応する。例えば、積算信号Ｒｘについて、高い値に対応する第１値ＳＬ１と、低い値に対応する第２値ＳＬ２と、が設定されても良い。例えば、第１交流電流Ｉ１の反転の時刻を規準にして、積算信号Ｒｘが第２値ＳＬ２から第１値ＳＬ１に向けて上昇して、積算信号Ｒｘが第１値ＳＬ１に到達するまでの時間を立ち上がり時間ｔｒとする。実施形態においては、立ち上がり時間ｔｒを検出可能である。

【0040】

このように、実施形態においては、第３回路５３は、電気信号Ｓｉｇ１に基づいて、立ち上がり時間ｔｒを検出可能である。立ち上がり時間ｔｒは、第１交流電流Ｉ１の極性が反転する時刻を基準にした、磁気素子２０の電気抵抗の変化に要する時間に対応する。

【0041】

例えば、磁気ヘッド１１０における磁気素子２０の構成が変わると、立ち上がり時間ｔｒが変化する。例えば、磁気素子２０に供給する第２電流Ｉ２の大きさまたはタイミングを変化させると、立ち上がり時間ｔｒが変化する。実施形態に係る評価装置３１０により、磁気ヘッド１１０の特性を評価することで、磁気ヘッド１１０における適切な条件を効率的に設定できる。

【0042】

実施形態において、例えば、第３回路５３の積算部５４は、第１交流電流Ｉ１に同期して、電気信号Ｓｉｇ１を積算し、積算された電気信号Ｓｉｇ１（すなわち積算信号Ｒｘ）の上記の第２周波数の成分を取り出すことが可能でも良い。第１交流電流Ｉ１の第１周波数ｆ１の２倍の第２周波数の成分を取り出すことで、積算信号Ｒｘから立ち上がり時間ｔｒを効率的に導出できる。

【0043】

実施形態において、第１周波数ｆ１は、１００ＭＨｚ以上５ＧＨｚ以下であることが好ましい。第１周波数ｆ１は、磁気ヘッド１１０の動作条件における「１Ｔ」に対応する周波数よりも低くても良い。「１Ｔ」に対応する周波数とは異なる第１周波数ｆ１を用いても、磁気ヘッド１１０における特性を評価できる。第１周波数ｆ１が１００ＭＨｚ以上５ＧＨｚ以下であることで、例えば、記録動作において重要な、ナノ秒またはサブナノ秒の立ち上がり時間の見積もりが容易になる。

【0044】

（第２実施形態）
第２実施形態は、磁気ヘッドの評価方法に係る。
図４は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。
図４に示すように、実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法においては、磁気素子２０から得られる電気信号Ｓｉｇ１を取得する（ステップＳ１１０）。既に説明したように、磁気ヘッド１１０は、第１磁極３１と、第２磁極３２と、磁気素子２０と、コイル３０ｃと、を含む（図１参照）。ステップＳ１１０では、コイル２０ｃに第１交流電流Ｉ１を供給し磁気素子２０に第２電流Ｉ２を供給したときに磁気素子２０から得られる電気信号Ｓｉｇ１を取得する（図２参照）。既に説明したように、磁気素子２０は、第１磁極３１と第２磁極３２との間に設けられる。磁気素子２０は、第１磁性層２１を含む。

【0045】

図４に示すように、評価方法においては、電気信号Ｓｉｇ１に基づいて、第１交流電流Ｉ１の極性が反転する時刻を基準にした、磁気素子２０の電気抵抗の変化に要する時間（立ち上がり時間ｔｒ：図３（ｂ）参照））を検出する（ステップＳ１２０）。実施形態によれば、磁気ヘッド１１０の動作特性の評価可能である。

【0046】

既に説明したように、第１交流電流Ｉ１は、第１周波数ｆ１を有する。電気信号Ｓｉｇ１（または積算信号Ｒｘ）は、第１周波数ｆ１の２倍の第２周波数を有する。例えば、上記の変化に要する時間の検出（ステップＳ１２０）は、第１交流電流Ｉ１に同期して、電気信号Ｓｉｇ１を積算することを含んでも良い。ステップＳ１２０は、積算された電気信号Ｓｉｇ１（すなわち、積算信号Ｒｘ）の上記の第２周波数の成分を取り出すことを含んでも良い。第１周波数ｆ１は、例えば、１ＭＨｚ以上５ＧＨｚ以下である。例えば、上記の変化に要する時間の検出（ステップＳ１２０）は、第１交流電流Ｉ１に同期して電気信号Ｓｉｇ１を積算することを含んでも良い。

【0047】

以下、実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置３１０または評価方法で評価される磁気ヘッド１１０の例について説明する。

【0048】

図５（ａ）及び図５（ｂ）は、磁気ヘッドの評価装置または評価方法により評価される磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図５（ａ）に示すように、磁気ヘッド１１０において、磁気素子２０は、第１磁性層２１に加えて、第１磁極側非磁性層２５ａ及び第２磁極側非磁性層２５ｂを含んでも良い。第１磁極側非磁性層２５ａは、第１磁極３１と第１磁性層２１との間に設けられる。第２磁極側非磁性層２５ｂは、第１磁性層２１と第２磁極３２との間に設けられる。

【0049】

１つの例において、第１磁極側非磁性層２５ａは第１材料を含み、第２磁極側非磁性層２５ｂは第２材料を含む。第１材料は、例えば、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。第２材料は、例えば、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。この場合、第２電流Ｉ２は、第１磁極３１から第２磁極３２への第１向きを有する。適切な磁化反転が得られる。

【0050】

別の例において、第１磁極側非磁性層２５ａが上記の第２材料を含み、第２磁極側非磁性層２５ｂが上記の第１材料を含んでも良い。この場合、第２電流Ｉ２は、第２磁極３２から第１磁極３１への第２向きを有する。適切な磁化反転が得られる。

【0051】

図５（ｂ）に示すように、磁気ヘッド１１１において、磁気素子２０は、第１磁性層２１に加えて、第２磁性層２２と、第１非磁性層２５ｎと、をさらに含む。第２磁性層２２は、第１磁性層２１と第１磁極３１との間に設けられる。第１非磁性層２５ｎは、第１磁性層２１と第２磁性層２２との間に設けられる。この場合、磁気素子２０は、例えば、ＳＴＯ素子として機能する。

【0052】

図５（ｂ）に示すように、磁気ヘッド１１１において、磁気素子２０は、第１磁極側非磁性層２５ａ及び第２磁極側非磁性層２５ｂをさらに含んでも良い。第１磁極側非磁性層２５ａは、第１磁極３１と第２磁性層２２との間に設けられる。第２磁極側非磁性層２５ｂは、第１磁性層２１と第２磁極３２との間に設けられる。

【0053】

磁気ヘッド１１１において、１つの例において、第１磁極側非磁性層２５ａ及び第２磁極側非磁性層２５ｂは第１材料を含み、第１非磁性層２５ｎは第２材料を含む。第１材料は、例えば、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。第２材料は、例えば、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。この場合、第２電流Ｉ２の向きは、第１磁極３１から第２磁極３２への第１向き、及び、第２磁極３２から第１磁極３１への第２向きのいずれでも良い。適切な磁化発振が得られる。

【0054】

磁気ヘッド１１１における別に例において、第１磁極側非磁性層２５ａは上記の第２材料を含み、第２磁極側非磁性層２５ｂは、上記の第１材料を含む。この場合、第２電流Ｉ２は、第２磁極３２から第１磁極３１への第２向きを有する。

【0055】

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、第１磁極３１から第２磁極３２への方向Ｄ１は、Ｘ軸方向に対して傾斜しても良い。方向Ｄ１は、磁気素子２０の積層方向に対応する。Ｘ軸方向は、第１磁極３１の磁極面３０Ｆに沿う。方向Ｄ１と磁極面３０Ｆとの間の角度を角度θ１とする。角度θ１は、例えば、１５度以上３０度以下である。角度θ１は、０度でも良い。

【0056】

実施形態に係る評価装置３１０または評価方法により評価される磁気ヘッド（磁気ヘッド１１０または磁気ヘッド１１１）は、磁気記録装置２１０に含まれてよい。磁気記録装置は、上記の磁気ヘッドと、磁気記録媒体８０（例えば、後述する記録用媒体ディスク１８０）と、素子用電気回路２０Ｄ（図１参照）と、記録用電気回路３０Ｄと、を含む。

【0057】

図６は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図６に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド（例えば、磁気ヘッド１１０）は、磁気記録媒体８０と共に用いられる。この例では、磁気ヘッド１１０は、記録部６０及び再生部７０を含む。磁気ヘッド１１０の記録部６０により、磁気記録媒体８０に情報が記録される。再生部７０により、磁気記録媒体８０に記録された情報が再生される。

【0058】

磁気記録媒体８０は、例えば、媒体基板８２と、媒体基板８２の上に設けられた磁気記録層８１と、を含む。磁気記録層８１の磁化８３が記録部６０により制御される。

【0059】

再生部７０は、例えば、第１再生磁気シールド７２ａ、第２再生磁気シールド７２ｂ、及び磁気再生素子７１を含む。磁気再生素子７１は、第１再生磁気シールド７２ａと第２再生磁気シールド７２ｂとの間に設けられる。磁気再生素子７１は、磁気記録層８１の磁化８３に応じた信号を出力可能である。

【0060】

図６に示すように、磁気記録媒体８０は、媒体移動方向８５の方向に、磁気ヘッド１１０に対して相対的に移動する。磁気ヘッド１１０により、任意の位置において、磁気記録層８１の磁化８３に対応する情報が制御される。磁気ヘッド１１０により、任意の位置において、磁気記録層８１の磁化８３に対応する情報が再生される。

【0061】

以下、本実施形態に係る磁気記録装置の例について説明する。
図７は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図７は、ヘッドスライダを例示している。
磁気ヘッド１１０は、ヘッドスライダ１５９に設けられる。ヘッドスライダ１５９は、例えばＡｌ_２Ｏ_３／ＴｉＣなどを含む。ヘッドスライダ１５９は、磁気記録媒体の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体に対して相対的に運動する。

【0062】

ヘッドスライダ１５９は、例えば、空気流入側１５９Ａ及び空気流出側１５９Ｂを含む。磁気ヘッド１１０は、ヘッドスライダ１５９の空気流出側１５９Ｂの側面などに配置される。これにより、磁気ヘッド１１０は、磁気記録媒体の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体に対して相対的に運動する。

【0063】

図８は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図８に示すように、実施形態に係る磁気記録装置１５０においては、ロータリーアクチュエータが用いられる。記録用媒体ディスク１８０は、スピンドルモータ１８０Ｍに設けられる。記録用媒体ディスク１８０は、スピンドルモータ１８０Ｍにより矢印ＡＲの方向に回転する。スピンドルモータ１８０Ｍは、駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録装置１５０は、複数の記録用媒体ディスク１８０を含んでも良い。磁気記録装置１５０は、記録媒体１８１を含んでもよい。記録媒体１８１は、例えば、ＳＳＤ（Solid State Drive）である。記録媒体１８１には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。例えば、磁気記録装置１５０は、ハイブリッドＨＤＤ（Hard Disk Drive）でも良い。

【0064】

ヘッドスライダ１５９は、記録用媒体ディスク１８０に記録する情報の、記録及び再生を行う。ヘッドスライダ１５９は、薄膜状のサスペンション１５４の先端に設けられる。ヘッドスライダ１５９の先端付近に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。

【0065】

記録用媒体ディスク１８０が回転すると、サスペンション１５４による押し付け圧力と、ヘッドスライダ１５９の媒体対向面（ＡＢＳ）で発生する圧力と、がバランスする。ヘッドスライダ１５９の媒体対向面と、記録用媒体ディスク１８０の表面と、の間の距離が、所定の浮上量となる。実施形態において、ヘッドスライダ１５９は、記録用媒体ディスク１８０と接触しても良い。例えば、接触走行型が適用されても良い。

【0066】

サスペンション１５４は、アーム１５５（例えばアクチュエータアーム）の一端に接続されている。アーム１５５は、例えば、ボビン部などを含む。ボビン部は、駆動コイルを保持する。アーム１５５の他端には、ボイスコイルモータ１５６が設けられる。ボイスコイルモータ１５６は、リニアモータの一種である。ボイスコイルモータ１５６は、例えば、駆動コイル及び磁気回路を含む。駆動コイルは、アーム１５５のボビン部に巻かれる。磁気回路は、永久磁石及び対向ヨークを含む。永久磁石と対向ヨークとの間に、駆動コイルが設けられる。サスペンション１５４は、一端と他端とを含む。磁気ヘッドは、サスペンション１５４の一端に設けられる。アーム１５５は、サスペンション１５４の他端に接続される。

【0067】

アーム１５５は、ボールベアリングによって保持される。ボールベアリングは、軸受部１５７の上下の２箇所に設けられる。アーム１５５は、ボイスコイルモータ１５６により回転及びスライドが可能である。磁気ヘッドは、記録用媒体ディスク１８０の任意の位置に移動可能である。

【0068】

図９（ａ）及び図９（ｂ）は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図９（ａ）は、磁気記録装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ１６０の拡大斜視図である。図９（ｂ）は、ヘッドスタックアセンブリ１６０の一部となる磁気ヘッドアセンブリ（ヘッドジンバルアセンブリ：ＨＧＡ）１５８を例示する斜視図である。

【0069】

図９（ａ）に示すように、ヘッドスタックアセンブリ１６０は、軸受部１５７と、ヘッドジンバルアセンブリ１５８と、支持フレーム１６１と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ１５８は、軸受部１５７から延びる。支持フレーム１６１は、軸受部１５７から延びる。支持フレーム１６１の延びる方向は、ヘッドジンバルアセンブリ１５８の延びる方向とは逆である。支持フレーム１６１は、ボイスコイルモータ１５６のコイル１６２を支持する。

【0070】

図９（ｂ）に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ１５８は、軸受部１５７から延びたアーム１５５と、アーム１５５から延びたサスペンション１５４と、を含む。

【0071】

サスペンション１５４の先端には、ヘッドスライダ１５９が設けられる。ヘッドスライダ１５９に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。

【0072】

実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリ（ヘッドジンバルアセンブリ）１５８は、実施形態に係る磁気ヘッドと、磁気ヘッドが設けられたヘッドスライダ１５９と、サスペンション１５４と、アーム１５５と、を含む。ヘッドスライダ１５９は、サスペンション１５４の一端に設けられる。アーム１５５は、サスペンション１５４の他端と接続される。

【0073】

サスペンション１５４は、例えば、信号の記録及び再生用のリード線（図示しない）を含む。サスペンション１５４は、例えば、浮上量調整のためのヒーター用のリード線（図示しない）を含んでも良い。サスペンション１５４は、例えばスピントルク発振子用などのためのリード線（図示しない）を含んでも良い。これらのリード線と、磁気ヘッドに設けられた複数の電極と、が電気的に接続される。

【0074】

磁気記録装置１５０において、信号処理部１９０が設けられる。信号処理部１９０は、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。信号処理部１９０は、信号処理部１９０の入出力線は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ１５８の電極パッドに接続され、磁気ヘッドと電気的に接続される。

【0075】

本実施形態に係る磁気記録装置１５０は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドと、可動部と、位置制御部と、信号処理部と、を含む。可動部は、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを離間させ、または、接触させた状態で相対的に移動可能とする。位置制御部は、磁気ヘッドを磁気記録媒体の所定記録位置に位置合わせする。信号処理部は、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。

【0076】

例えば、上記の磁気記録媒体として、記録用媒体ディスク１８０が用いられる。上記の可動部は、例えば、ヘッドスライダ１５９を含む。上記の位置制御部は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ１５８を含む。

【0077】

本実施形態に係る磁気記録装置１５０は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリと、磁気ヘッドアセンブリに設けられた磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部と、を含む。

【0078】

実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んで良い。
（構成１）
第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに第１交流電流を供給し前記磁気素子に第２電流を供給したときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得し、前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含み、
前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出する、磁気ヘッドの評価方法。

【0079】

（構成２）
前記第１交流電流は、第１周波数を有し、
前記電気信号は、前記第１周波数の２倍の第２周波数を有する、構成１記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0080】

（構成３）
前記変化に要する前記時間の前記検出は、
前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算することと、
前記積算された前記電気信号の前記第２周波数の成分を取り出すことと、
を含む、構成２記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0081】

（構成４）
前記第１周波数は、１ＭＨｚ以上５ＧＨｚ以下である、構成２または３に記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0082】

（構成５）
前記変化に要する前記時間の前記検出は、前記第１交流電流に同期して前記電気信号を積算することを含む、構成１記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0083】

（構成６）
前記磁気素子は、
前記第１磁極と前記第１磁性層との間に設けられた第１磁極側非磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁極との間に設けられた第２磁極側非磁性層と、
をさらに含む、構成１～５のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0084】

（構成７）
前記第１磁極側非磁性層が第１材料を含み前記第２磁極側非磁性層が第２材料を含む場合、前記第２電流が前記第１磁極から前記第２磁極への第１向きを有し、前記第１材料は、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、前記第２材料は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、
前記第１磁極側非磁性層が前記第２材料を含み前記第２磁極側非磁性層が前記第１材料を含む場合、前記第２電流が前記第２磁極から前記第１磁極への第２向きを有する、構成６記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0085】

（構成８）
前記磁気素子は、
前記第１磁性層と前記第１磁極との間に設けられた第２磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁性層との間に設けられた第１非磁性層と、
を含む、構成１～５のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0086】

（構成９）
前記磁気素子は、
前記第１磁極と前記第２磁性層との間に設けられた第１磁極側非磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁極との間に設けられた第２磁極側非磁性層と、
をさらに含む、構成８記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0087】

（構成１０）
前記第１磁極側非磁性層及び前記第２磁極側非磁性層は、第１材料を含み、
前記第１非磁性層は、第２材料を含み、
前記第１材料は、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、
前記第２材料は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、構成９記載の磁気ヘッドの評価方法。

【0088】

（構成１１）
第１磁極と、第２磁極と、磁気素子と、コイルと、を含む磁気ヘッドの前記コイルに、第１交流電流を供給可能な第１回路であって、前記磁気素子は、前記第１磁極と前記第２磁極との間に設けられ、第１磁性層を含む、前記第１回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給されたときに前記磁気素子に第２電流を供給可能な第２回路と、
前記コイルに前記第１交流電流が供給され前記磁気素子に前記第２電流が供給されたときに前記磁気素子から得られる電気信号を取得し、前記電気信号に基づいて、前記第１交流電流の極性が反転する時刻を基準にした、前記磁気素子の電気抵抗の変化に要する時間を検出可能な第３回路と、
を備えた磁気ヘッドの評価装置。

【0089】

（構成１２）
前記第１交流電流は、第１周波数を有し、
前記電気信号は、前記第１周波数の２倍の第２周波数を有する、構成１１記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0090】

（構成１３）
前記第３回路は、積算部を含み、
前記積算部は、前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算し、前記積算された前記電気信号の前記第２周波数の成分を取り出すことが可能である、構成１２記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0091】

（構成１４）
前記第１周波数は、１００ＭＨｚ以上５ＧＨｚ以下である、構成１２または１３に記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0092】

（構成１５）
前記第３回路は、積算部を含み、
前記積算部は、前記第１交流電流に同期して、前記電気信号を積算する、構成１１～１４のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0093】

（構成１６）
前記第３回路は、直流交流重畳回路を含み、
前記直流交流重畳回路は、
前記磁気素子と電気的に接続された直流交流ポートと、
前記第２回路と電気的に接続された直流ポートと、
前記積算部に向けて前記電気信号の高周波成分を出力可能な交流ポートと、
を含む、構成１５記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0094】

（構成１７）
前記第３回路は、増幅器を含み、
前記増幅器は、前記交流ポートから前記高周波成分を取得して、
前記高周波成分を増幅した信号を前記積算部に出力可能である、構成１６記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0095】

（構成１８）
前記磁気素子は、
前記第１磁極と前記第１磁性層との間に設けられた第１磁極側非磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁極との間に設けられた第２磁極側非磁性層と、
をさらに含む、構成１１～１７のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0096】

（構成１９）
前記第１磁極側非磁性層が第１材料を含み前記第２磁極側非磁性層が第２材料を含む場合、前記第２電流が前記第１磁極から前記第２磁極への第１向きを有し、前記第１材料は、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、前記第２材料は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、
前記第１磁極側非磁性層が前記第２材料を含み前記第２磁極側非磁性層が前記第１材料を含む場合、前記第２電流が前記第２磁極から前記第１磁極への第２向きを有する、構成１８記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0097】

（構成２０）
前記磁気素子は、
前記第１磁性層と前記第１磁極との間に設けられた第２磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁性層との間に設けられた第１非磁性層と、
を含む、構成１１～１７のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0098】

（構成２１）
前記磁気素子は、
前記第１磁極と前記第２磁性層との間に設けられた第１磁極側非磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁極との間に設けられた第２磁極側非磁性層と、
をさらに含む、構成２０記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0099】

（構成２２）
前記第１磁極側非磁性層及び前記第２磁極側非磁性層は、第１材料を含み、
前記第１非磁性層は、第２材料を含み、
前記第１材料は、Ｔａ、Ｐｔ、Ｗ、Ｉｒ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｂ、Ｍｎ及びＮｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含み、
前記第２材料は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ及びＲｕよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、構成２１記載の磁気ヘッドの評価装置。

【0100】

実施形態によれば、磁気ヘッドの特性を評価可能な磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置が提供できる。

【0101】

本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。

【0102】

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気ヘッドの評価装置に含まれる回路、積算部、増幅器及び制御部、並びに、磁気ヘッドに含まれる磁極、シールド、磁気素子、磁性層、非磁性層及び配線などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

【0103】

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

【0104】

その他、本発明の実施の形態として上述した磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

【0105】

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

【0106】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0107】

２０…磁気素子、 ２０Ｄ…素子用電気回路、 ２１、２２…第１、第２磁性層、 ２５ａ…第１磁極側非磁性層、 ２５ｂ…第２磁極側非磁性層、 ２５ｎ…第１非磁性層、 ３０Ｄ…記録用電気回路、 ３０Ｆ…磁極面、 ３０ｃ…コイル、 ３０ｉ…絶縁部、 ３１…第１磁極、 ３２…第２磁極、 ３３…シールド、 ５１～５３…第１～第３回路、 ５４…積算部、 ５５…直流交流重畳回路、 ５５ＤＣ…直流ポート、 ５５ＤＲ、５５ＤＳ…直流交流ポート、 ５５ＲＦ…交流ポート、 ５５ａ…キャパシタ、 ５５ｂ…インダクタ、 ５６…増幅器、 ５８…制御部、 ６０…記録部、 ７０…再生部、 ７１…磁気再生素子、 ７２ａ、７２ｂ…第１、第２再生磁気シールド、 ８０…磁気記録媒体、 ８１…磁気記録層、 ８２…媒体基板、 ８３…磁化、 ８５…媒体移動方向、 θ１…角度、 １１０、１１１…磁気ヘッド、 １５０…磁気記録装置、 １５４…サスペンション、 １５５…アーム、 １５６…ボイスコイルモータ、 １５７…軸受部、 １５８…ヘッドジンバルアセンブリ、 １５９…ヘッドスライダ、 １５９Ａ…空気流入側、 １５９Ｂ…空気流出側、 １６０…ヘッドスタックアセンブリ、 １６１…支持フレーム、 １６２…コイル、 １８０…記録用媒体ディスク、 １８０Ｍ…スピンドルモータ、 １８１…記録媒体、 １９０…信号処理部、 ２１０…磁気記録装置、 ３１０…評価装置、 ＡＲ…矢印、 Ｃ１、Ｃ２…第１、第２コイル端子、 Ｄ１…方向、 Ｉ１…第１交流電流、 Ｉ２…第２電流、 Ｉｄ…素子電流、 Ｉｗ…記録電流、 Ｒｘ…積算信号、 ＳＬ１、ＳＬ２…第１、第２値、 Ｓｉｇ１…電気信号、 ＳｉｇＴ…トリガ信号、 Ｔ１、Ｔ２…第１、第２端子、 Ｗ１、Ｗ２…第１、第２配線、 ｆ１…第１周波数、 ｔ１、ｔ２…第１、第２周期、 ｔｍ…時間、 ｔｒ…立ち上がり時間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】