特許 7465299出願番号 特願 2022-47000
荷電粒子線装置
公報発行日 2024年4月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7465299 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
荷電粒子線装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
電子プローブの照射位置を補正する頻度は、一般的に、ユーザーが過去の経験などに基づいて設定する。しかしながら、分析を開始する前に試料のドリフトや光学系の安定性を正確に予見することはできないため、ユーザーが電子プローブの照射位置を補正する頻度を適切に設定することは困難である。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
荷電粒子線でプローブを形成し、前記プローブで試料を走査して走査像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記プローブで前記試料を走査するための光学系と、
前記プローブで前記試料を走査することによって前記試料で発生した信号を検出する検出器と、
前記光学系を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記プローブで前記試料を走査して得・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
第１オージェ電子分光装置の構成を示す図。
【図2】
電子プローブの走査を説明するための図。
【図3】
第１オージェ電子分光装置の制御部の処理の一例を示すフローチャート。
【図4】
第２オージェ電子分光装置の制御部の処理の一例を示すフローチャート。
【図5】
第３オージェ電子分光装置の制御部の処理の一例を示すフローチャート。
代表図 図1本件の代表的な図
２０…光学系、２１…電子源、２２…集束レンズ、２４…偏向器、２５…走査偏向器、２６…対物レンズ、３０…試料ステージ、４０…インプットレンズ、５０…電子分光器、６
０…オージェ電子検出器、７０…二次電子検出器、８０…制御部、１００…オージェ電子分光装置
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります