特許7465377IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

以下は、研磨物品に関し、具体的には、摩耗検出センサを含む研磨物品

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 一実施形態に従う、研磨物品の側面図を含む。
【図2】 一実施形態に従う、研磨物品の断面図を含む。
【図3】 一実施形態に従う、研磨物品の側面図を含む。
【図4A】 一実施形態に従う、摩耗検出センサの部分を含む、使用前の研磨本体の断面図を含む。
【図4B】 一実施形態に従う、摩耗検出センサの部分を含む、材料除去操作中の研磨本体の断面図を含む。
【図5A】 一実施形態に従う、摩耗検出センサの1つのリードの図を含む。
【図5B】 別の実施形態に従う、摩耗検出センサの1つのリードの図を含む。
【図6】 一実施形態に従う、研磨本体の周りに螺旋状に巻き付けられた1つのリードの図を含む。
【図7】 ある実施形態に従う、摩耗検出センサを含む、研磨物品の平面図を含む。
【図8】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図9A】 ある実施形態に従う、摩耗検出センサの図を含む。
【図9B】 別の実施形態に従う、摩耗検出センサの図を含む。
【図9C】 ある実施形態に従う、装着プレートに取り付けられた摩耗センサの一部分の図を含む。
【図9D】 摩耗センサの時間対ループ状態のプロット図を含む。
【図9E】 摩耗センサの時間対ループ状態の別のプロット図を含む。
【図10】 ある実施形態に従う、研磨物品の一部分の断面図を含む。
【図11】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図12】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図13】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図14】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図15】 ある実施形態に従う、研磨本体の断面図を含む。
【図16A】 別の実施形態に従う、検出センサを含む研磨物品の平面図を含む。
【図16B】 直径対反射力のプロットを含む。
【図17A】 ある実施形態に従う、研磨本体の断面図を含む。
【図17B】 ある実施形態に従う、別の研磨本体の断面図を含む。
【図18】 ある実施形態に従う、摩耗検出システムの図を含む。
【図19A】 ある実施形態に従う、研磨物品の反射力対時間のプロットを含む。
【図19B】 ある実施形態に従う、別の研磨物品の反射力対時間のプロットを含む。
【図20】 例示的な摩耗センサの図を含む。
【図21】 例示的なリーダの構成要素の図を含む。

代表図 図1本件の代表的な図

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