特許 7465709 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-03

(45)【発行日】2024-04-11

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 13/08 20060101AFI20240404BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240404BHJP

【ＦＩ】

B25J13/08 A

H01L21/68 A

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020071210

(22)【出願日】2020-04-10

(65)【公開番号】P2021167044

(43)【公開日】2021-10-21

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】濱沖 孟

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

【審査官】樋口 幸太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－２０３４０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３１８９７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０２０３６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １３／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から前記搬送対象物を搬出する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記ハンドおよび前記アームを昇降させる昇降機構とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物が載置される複数本のフォークと、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサとを備え、
前記光学式センサは、複数本の前記フォークのうちの少なくとも２本の前記フォークの先端に取り付けられ、
前記収容部から前記搬送対象物を搬出する前に、前記フォークの先端が前記収容部側を向いている状態の前記ハンドを前記昇降機構によって昇降させて、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を前記光学式センサで検知することを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記光学式センサは、複数本の前記フォークの全ての前記フォークの先端に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記ハンドは、２本の前記フォークを備えることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の長方形状のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、収容カセットからワークを搬出して、所定の処理装置までワークを搬送する。収容カセットには、複数枚のワークが上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセットの内部には、ワークが載置される複数の棚が形成されている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットは、ワークが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、多関節アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。また、この産業用ロボットは、多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構と、ハンドおよびアームを昇降させる昇降機構と、基台を回動させる回動機構と、基台を水平方向に移動させる移動機構とを備えている。ハンドは、ワークが載置される２本のフォーク（載置部）を備えている。２本のフォークのうちの１本のフォークの先端には、収容カセットに収容されるワークの有無を検知するためのマッピングセンサが取り付けられている。マッピングセンサは、反射型の光学式センサである。

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに収容されるワークを搬出する前に、ハンドを収容カセットの前面で昇降させてマッピングセンサを収容カセットの前面に沿って走査させることで、収容カセットの内部に形成される複数の棚のうちのどの棚にワークが載置されているのかを特定している。また、この産業用ロボットでは、特定された棚に載置されたワークの下側に２本のフォークを差し込んで、フォークの上面側にワークを載置する。すなわち、この産業用ロボットでは、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばして、収容カセットに収容されるワークの下側にフォークを差し込んでいる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－２７２５２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年、長方形状または正方形状の大型のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法（パネルレベルパッケージング（ＰＬＰ））が普及し始めており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで産業用ロボットが使用され始めている。ＰＬＰには、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、大きな反りが生じやすい。

【0007】

本願発明者は、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルのように大きな反りが生じている搬送対象物を、たとえば、収容カセットから搬出して処理装置に搬入することを検討している。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットによって収容カセットから搬送対象物を搬出する場合、収容カセットに収容される搬送対象物に大きな反りが生じていると、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばしたときに、収容カセットに収容された搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉するおそれが高くなることが本願発明者の検討によって明らかになった。

【0008】

具体的には、特許文献１に記載の産業用ロボットによって収容カセットから搬送対象物を搬出する場合、収容カセットに収容される搬送対象物に大きな反りが生じていると、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばしたときに、搬出しようとしている搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉したり、搬出しようとしている搬送対象物の下側に配置される搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉したりするおそれが高くなることが本願発明者の検討によって明らかになった。

【0009】

そこで、本発明の課題は、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、ハンドおよびアームを昇降させる昇降機構とを備え、ハンドは、搬送対象物が載置される複数本のフォークと、収容部に収容される搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサとを備え、光学式センサは、複数本のフォークのうちの少なくとも２本のフォークの先端に取り付けられ、収容部から搬送対象物を搬出する前に、フォークの先端が収容部側を向いている状態のハンドを昇降機構によって昇降させて、収容部に収容される搬送対象物の端面を光学式センサで検知することを特徴とする。

【0011】

本発明の産業用ロボットでは、複数本のフォークのうちの少なくとも２本のフォークの先端に、収容部に収容される搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサが取り付けられている。また、本発明では、収容部から搬送対象物を搬出する前に、フォークの先端が収容部側を向いている状態のハンドを昇降機構によって昇降させて、収容部に収容される搬送対象物の端面を光学式センサで検知している。そのため、たとえば、水平方向のうちのフォークが差し込まれる方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、本発明では、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になる。

【0012】

したがって、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能になる。また、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部から搬出される搬送対象物に対する適切な高さで収容部にフォークを差し込むことが可能になる。

【0013】

また、本発明では、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になるため、光学式センサの検知結果に基づいて、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別しやすくなる。したがって、本発明では、収容部において上下方向に重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容部にフォークが差し込まれるおそれを低減することが可能になる。

【0014】

本発明において、光学式センサは、複数本のフォークの全てのフォークの先端に取り付けられていることが好ましい。この場合には、ハンドは、たとえば、２本のフォークを備えている。すなわち、この場合には、たとえば、ハンドが有する２本のフォークの先端に光学式センサが取り付けられている。

【0015】

このように構成すると、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になる。したがって、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとの干渉を防止することが可能になる。また、このように構成すると、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部から搬送される搬送対象物に対するより適切な高さで収容部にフォークを差し込むことが可能になる。

【0016】

さらに、このように構成すると、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になるため、光学式センサの検知結果に基づいて、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別することが可能になる。したがって、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容部にフォークが差し込まれるのを防止することが可能になる。

【発明の効果】

【0017】

以上のように、本発明では、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの背面図である。

【図3】図１に示す収容カセットの構成を説明するための正面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。

【図5】図１に示す産業用ロボットの効果を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0020】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図３は、図１に示す収容カセット３の構成を説明するための正面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。

【0021】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルである。搬送対象物２は、長方形または正方形の平板状に形成されている。ロボット１は、複数枚の搬送対象物２が収容される収容部としての収容カセット３から、搬送対象物２に対して所定の処理を行う処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。すなわち、ロボット１は、収容カセット３から搬送対象物２を１枚ずつ搬出するとともに、収容カセット３から搬出した搬送対象物２を処理装置４に搬入する。収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。

【0022】

ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド５、６と、ハンド５が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、ハンド６が先端側に連結されるアーム８と、アーム７、８の基端側が回動可能に連結される本体部９と、本体部９の下側部分が収容されるケース体１０と、本体部９およびケース体１０を水平方向に移動可能に支持するベース１１とを備えている。

【0023】

ハンド５、６は、アーム７、８の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１２と、上面側に搬送対象物２が載置される直線状の複数のフォーク１３とを備えている。本形態のハンド５、６は、２本のフォーク１３を備えている。２本のフォーク１３は、ハンド基部１２から水平方向の同方向へ突出している。また、２本のフォーク１３は、互いに間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは、同じ方向に突出している。また、ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは、上下方向でずれている。２本のフォーク１３は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３の中に差し込まれる。

【0024】

また、ハンド５、６は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面を検知するための反射型の光学式センサ１４、１５（以下、「センサ１４、１５」とする。）を備えている。センサ１４、１５は、発光部１８と受光部１９とを備えている。センサ１４、１５は、２本のフォーク１３の先端に取り付けられている。発光部１８は、フォーク１３の先端から水平方向に光を射出する。本形態では、センサ１４は、２本のフォーク１３のうちの一方のフォーク１３の先端に取り付けられ、センサ１５は、２本のフォーク１３のうちの他方のフォーク１３の先端に取り付けられている。すなわち、２本のフォーク１３の全てのフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられている。

【0025】

アーム７、８は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム７、８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１６の基端側は、本体部９に回動可能に連結されている。第１アーム部１６の先端側には、第２アーム部１７の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１７の先端側には、ハンド５、６が回動可能に連結されている。

【0026】

第１アーム部１６は、本体部９よりも上側に配置されている。第２アーム部１７は、第１アーム部１６よりも上側に配置されている。ハンド５、６は、第２アーム部１７よりも上側に配置されている。アーム７の第１アーム部１６の基端側とアーム８の第１アーム部１６の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態で本体部９に連結されている。また、アーム７とアーム８とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。

【0027】

水平方向において、本体部９に対する第１アーム部１６の回動中心と第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心との距離と、第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心と第２アーム部１７に対するハンド５、６の回動中心との距離とは等しくなっている。アーム７、８は、ハンド５、６の先端（フォーク１３の先端）が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。アーム７、８の伸縮量が等しいときに、ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは上下方向で重なっている。また、このときには、上下方向から見ると、アーム７とアーム８とは線対称に配置されている。

【0028】

本体部９は、ケース体１０に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。また、本体部９は、ケース体１０に対して昇降可能になっている。ケース体１０は、ベース１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。以下の説明では、ベース１１に対するケース体１０の移動方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とし、左右方向と上下方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。

【0029】

本形態では、たとえば、収容カセット３は、前後方向においてロボット１の一方側に配置され、処理装置４は、前後方向においてロボット１の他方側に配置されている。たとえば、収容カセット３は、ロボット１の前側に配置され、処理装置４は、ロボット１の後ろ側に配置されている。上述のように、収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセット３の内部には、図３に示すように、搬送対象物２の左右方向の両端部が載置される複数の載置部３ａが形成されている。

【0030】

収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。また、ハンド５、６に搭載される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。ハンド５、６が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るときには、２本のフォーク１３は、前後方向と略平行になっている。このときの２本のフォーク１３の左右方向の間隔は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の左右方向の幅よりも狭くなっている。

【0031】

すなわち、このときのセンサ１４とセンサ１５との左右方向の間隔は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の左右方向の幅よりも狭くなっている。また、このときの２本のフォーク１３の左右方向の間隔は、１枚の搬送対象物２が載置される２個の載置部３ａの左右方向の間隔よりも狭くなっている。すなわち、このときのセンサ１４とセンサ１５との左右方向の間隔は、１枚の搬送対象物２が載置される２個の載置部３ａの左右方向の間隔よりも狭くなっている。

【0032】

また、ロボット１は、アーム７を伸縮させるアーム駆動機構２０と、アーム８を伸縮させるアーム駆動機構２１と、本体部９を回動させる回動機構２２と、本体部９を昇降させる昇降機構２３と、ケース体１０と一緒に本体部９を水平方向に移動させる水平移動機構２４と、ロボット１を制御する制御部２５とを備えている。制御部２５には、センサ１４、１５が電気的に接続されている。

【0033】

アーム駆動機構２０は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム７およびハンド５に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アーム駆動機構２０と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム８およびハンド６に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。アーム駆動機構２０、２１は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２０、２１のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0034】

上述のように、アーム７、８は、ハンド５、６の先端が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本形態では、ロボット１が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るとき、および、ロボット１が処理装置４に搬送対象物２を引き渡すときに、アーム７、８は伸びている状態となっている。

【0035】

回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向としてケース体１０に対して本体部９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として本体部９と一緒にハンド５、６およびアーム７、８を回動させる。回動機構２２は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構２２は、ケース体１０に収容されている。回動機構２２は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２２のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0036】

昇降機構２３は、ケース体１０に対して本体部９を昇降させる。すなわち、昇降機構２３は、本体部９と一緒にハンド５、６およびアーム７、８を昇降させる。また、昇降機構２３は、本体部９と一緒に回動機構２２を昇降させる。昇降機構２３は、ケース体１０に収容されている。昇降機構２３は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。昇降機構２３は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２３のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0037】

水平移動機構２４は、ベース１１に対してケース体１０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、ケース体１０と一緒にハンド５、６、アーム７、８および本体部９を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構２４は、駆動源となるモータと、モータの動力をケース体１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。水平移動機構２４は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構２４のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

【0038】

本形態では、収容カセット３からの搬送対象物２の搬出を開始する前に、アーム駆動機構２０によってアーム７を前後方向に伸縮させて、フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド５を収容カセット３の前まで移動させる。あるいは、収容カセット３からの搬送対象物２の搬出を開始する前に、アーム駆動機構２１によってアーム８を前後方向に伸縮させて、フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド６を収容カセット３の前まで移動させる。

【0039】

また、その状態で、ハンド５またはハンド６を昇降させて、収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面（後端面）をセンサ１４、１５で検知する。すなわち、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前（より具体的には、収容カセット３に収容される搬送対象物２をハンド５、６に搭載するためにフォーク１３が収容カセット３に差し込まれる前）に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５またはハンド６を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の端面をセンサ１４、１５で検知する。

【0040】

フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド５またはハンド６が昇降すると、前後方向から見たときに、センサ１４は、載置部３ａよりも左右方向の内側の仮想通過線ＰＬ１（図３参照）に沿って上下方向に直線的に移動し、センサ１５は、載置部３ａよりも左右方向の内側の仮想通過線ＰＬ２（図３参照）に沿って上下方向に直線的に移動する。また、センサ１４によって、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの、左右方向の一端部の後端面の上下方向の位置が検知され、センサ１５によって、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの、左右方向の他端部の後端面の上下方向の位置が検知される。

【0041】

制御部２５には、センサ１４、１５の出力信号（具体的には、受光部１９の出力信号）が入力される。制御部２５は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込む。すなわち、制御部２５は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいて昇降機構２３を制御してハンド５、６の高さを補正してから、アーム７、８を伸縮させて収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込む。

【0042】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド５、６の２本のフォーク１３の先端に、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２の後端面を検知するためのセンサ１４、１５が取り付けられている。また、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５またはハンド６を昇降させて、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの後端面の上下方向の位置をセンサ１４、１５で検知している。

【0043】

すなわち、本形態では、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さをセンサ１４、１５によって検知している。また、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込んでいる。

【0044】

そのため、本形態では、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３との干渉を防止することが可能になる。

【0045】

たとえば、図５（Ａ）に示すように、搬送対象物２に大きな反りが生じていて、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてハンド５、６の２本のフォーク１３のうちの一方のフォーク１３が差し込まれる位置に配置される部分の高さと、搬送対象物２の後端面の、左右方向において他方のフォーク１３が差し込まれる位置に配置される部分の高さとに差Δｈが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３との干渉を防止することが可能になる。

【0046】

なお、たとえば、ハンド５、６がセンサ１４のみを備えていてセンサ１５を備えていない場合には、センサ１４の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込むと、図５（Ａ）の二点鎖線で示す位置に２本のフォーク１３が差し込まれて、一方のフォーク１３と搬送対象物２とが干渉する場合が生じうる。

【0047】

これに対して、本形態では、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、図５（Ａ）の実線で示す位置に２本のフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正することが可能になるため、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、２本のフォーク１３と搬送対象物２との干渉を防止することが可能になる。また、本形態では、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３から搬出される搬送対象物２に対するより適切な高さで収容カセット３にフォーク１３を差し込むことが可能になる。

【0048】

また、本形態では、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さをセンサ１４、１５によって検知しているため、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別することが可能になる。

【0049】

たとえば、図５（Ｂ）に示すように、収容カセット３に収容される搬送対象物２の上下の間隔が比較的狭くなっている場合に搬送対象物２に大きな反りが生じていると、二点鎖線で示す位置にフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正しても、また、実線で示す位置にフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正しても、収容カセット３に収容される搬送対象物２とフォーク１３とが干渉する場合があり、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていない場合があるが、本形態では、このような場合に、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないと判別することが可能になる。したがって、本形態では、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容カセット３にフォーク１３が差し込まれるのを防止することが可能になる。

【0050】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0051】

上述した形態において、ハンド５、６が備えるフォーク１３の数は、３本以上であっても良い。この場合には、３本以上のフォーク１３の全てのフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていることが好ましいが、３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば良い。３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さをセンサ１４、１５によって検知することが可能になる。

【0052】

したがって、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３にフォーク１３を差し込むことで、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３とが干渉するおそれを低減することが可能になる。また、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３にフォーク１３を差し込むことで、収容カセット３から搬出される搬送対象物２に対する適切な高さでフォーク１３を差し込むことが可能になる。

【0053】

また、３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別しやすくなる。したがって、収容カセット３において上下方向に重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容カセット３にフォーク１３が差し込まれるおそれを低減することが可能になる。

【0054】

上述した形態において、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の後端面をセンサ１４、１５で検知するとともに、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド６を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の後端面をセンサ１４、１５で検知しても良い。

【0055】

この場合には、たとえば、ハンド５によって収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、ハンド５のフォーク１３の先端に取り付けられたセンサ１４、１５での検知結果に基づいてハンド５の高さを補正し、ハンド６によって収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、ハンド６のフォーク１３の先端に取り付けられたセンサ１４、１５での検知結果に基づいてハンド６の高さを補正する。

【0056】

上述した形態では、アーム７とアーム８とは、上下方向において同じ位置に配置されており、水平方向において互いに隣接しているが、たとえば、特開２０１９－１０６９２号公報に記載されているように、アーム７とアーム８とが上下方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、アーム７、８は、３個以上のアーム部によって構成されていても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数は１個であっても良い。また、上述した形態において、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネル以外のものであっても良い。

【符号の説明】

【0057】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 搬送対象物
３ 収容カセット（収容部）
５、６ ハンド
７、８ アーム
１３ フォーク
１４、１５ センサ（光学式センサ）
２３ 昇降機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】