特許 7466106 マスククリーナ、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-04

(45)【発行日】2024-04-12

(54)【発明の名称】マスククリーナ、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 35/00 20060101AFI20240405BHJP

   B41F 15/12 20060101ALI20240405BHJP

【ＦＩ】

B41F35/00 C

B41F15/12 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020112209

(22)【出願日】2020-06-30

(65)【公開番号】P2022011218

(43)【公開日】2022-01-17

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】萬谷 正幸

(72)【発明者】

【氏名】村上 俊行

(72)【発明者】

【氏名】末安 祐介

(72)【発明者】

【氏名】山内 仁史

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１５５６７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２３８２４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０３６４９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２８００８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５８６７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｆ ３５／００

Ｂ４１Ｆ １５／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナであって、
前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、
前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、
前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、
前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた、マスククリーナ。

【請求項2】

前記ブレードは樹脂製である、請求項１に記載のマスククリーナ。

【請求項3】

前記ブレード固定具は、前記ブレードの前記長手方向の中間部に設けられたロッド挿通孔にロッド部を挿通して前記ブレードを前記ベース体に固定する、請求項１または２に記載のマスククリーナ。

【請求項4】

前記ブレードは上下方向に対向して位置する第１のエッジと第２のエッジのうちの任意の一方を前記ペースト掻取りエッジとして使用できるようになっており、前記ロッド挿通孔は前記第１のエッジと前記第２のエッジとの双方から等距離の位置に設けられている、請求項３に記載のマスククリーナ。

【請求項5】

前記ブレードは前記ペースト掻取り方向に複数枚平行に並んで前記ベース体に取り付けられており、前記ロッドは前記複数のブレードそれぞれに設けられた前記ロッド挿通孔を一括して挿通することで前記複数のブレードのそれぞれを前記ベース体に固定する、請求項３または４に記載のマスククリーナ。

【請求項6】

マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナとを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記マスククリーナは、
前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、
前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、
前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、
前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた、スクリーン印刷装置。

【請求項7】

マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷工程と、前記印刷工程で前記マスクの下面に付着したペーストをマスククリーナによって掻き取るマスククリーニング工程とを含むスクリーン印刷方法であって、
前記マスククリーナは、
前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、
前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、
前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、
前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた、スクリーン印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられるマスククリーナ、このマスククリーナを備えたスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

スクリーン印刷装置は、マスクを基板に接触させ、マスクに形成されたパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷装置では定期的にマスクの下面からペーストを掻き取ってクリーニングすることにより、後続の基板に対する印刷品質を低下させないようにしている。

【0003】

マスクのクリーニングに用いられるマスククリーナは、マスクの下方をマスクに平行な方向（ペースト掻取り方向と称する）に移動するベース体と、ベース体に取り付けられてマスクの下面に当接されるクリーニング部材とを備えている。クリーニング部材は従来、紙製の部材（クリーニングペーパー）が一般的であったが、樹脂製の「へら」状のブレードを用いたものも知られている（例えば、下記の特許文献１）。特許文献１に記載のマスククリーナでは、ブレードは、長手方向の両端部および下側のエッジがベース体によって支持されるとともに、ベース体に取り付けられた一対の押さえ部材によって両端部が上方から押さえられるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１５５６７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載のマスククリーナでは、マスクの下面に付着したペーストを除去した後、ブレードをマスクの下面から離間させるためにベース体をマスクの下方に移動させると、マスクの下面に残存しているペーストの粘着性によって樹脂製のブレードがベース体の上方に引っ張られて中間部が持ち上げられるように変形し、両端部が一対の押さえ部材から内側（押さえ部材同士が互いに向き合う側）に抜け出てブレードがベース体から分離してしまうおそれがあるという問題点があった。

【0006】

そこで本発明は、ブレードの下面に残存したペーストの粘着性によってブレードがベース体から分離してしまう事態を防止することができるマスククリーナ、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のマスククリーナは、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられ、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナであって、前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた。

【0008】

本発明のスクリーン印刷装置は、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた。

【0009】

本発明のスクリーン印刷方法は、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷工程と、前記印刷工程で前記マスクの下面に付着したペーストをマスククリーナによって掻き取るマスククリーニング工程とを含むスクリーン印刷方法であって、前記マスククリーナは、前記マスクの下方を前記マスクに平行なペースト掻取り方向に移動するベース体と、前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びて両端部および下側のエッジが前記ベース体によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジとして前記マスクの下面に当接されるブレードと、前記ベース体に取り付けられ、前記ブレードの前記長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材と、前記ベース体に装着され、前記ブレードの前記長手方向の中間部を前記ベース体に固定するブレード固定具とを備えた。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、マスクの下面に残存したペーストの粘着性によってブレードがベース体から分離してしまう事態を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図

【図2】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図

【図3】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナをマスクとともに示す側面図

【図4】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの斜視図

【図5】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの（ａ）平面図（ｂ）側面図（ｃ）下面図

【図6】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナおよび移動ベースの分解斜視図

【図7】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのベース体の斜視図

【図8】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのベース体を構成するブロック部材の平面図

【図9】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのベース体を構成するブロック部材の斜視図

【図10】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのベース体の一部の一部の斜視図

【図11】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのブレードの側面図

【図12】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの一部の平面図

【図13】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの一部の拡大断面図

【図14】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの断面図

【図15】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの断面図

【図16】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナが備えるブレード固定具の（ａ）斜視図（ｂ）分解斜視図

【図17】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの一部の分解斜視図

【図18】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの側端面図

【図19】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの（ａ）斜視図（ｂ）一部の拡大斜視図

【図20】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナのベース体にブレード固定具を取り付ける手順を説明するマスククリーナの側断面図

【図21】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナおよび移動ベースの側断面図

【図22】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する図

【図23】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図

【図24】本発明の一実施の形態におけるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１および図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から供給された基板ＫＢを搬入し、その基板ＫＢの表面に設けられた複数のランドＬＤのそれぞれに半田等のペーストＰｓｔを印刷して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の前後方向をＹ軸方向、作業者ＯＰから見た左右方向（基板ＫＢの搬送方向）をＸ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向のうち、作業者ＯＰから見た手前側を前方、作業者ＯＰから見た奥側を後方とする。

【0013】

図１および図２において、スクリーン印刷装置１は、基台１１、ステージ１２、マスク１３、印刷ヘッド１４、カメラ１５およびマスククリーナ１６を備えている。ステージ１２は基台１１上に設けられており、マスク１３はステージ１２の上方に設置されている。印刷ヘッド１４はマスク１３の上方を水平方向に移動自在に設けられている。カメラ１５とマスククリーナ１６は、ステージ１２とマスク１３の間の領域に対して水平方向に進退自在に設けられている。

【0014】

図２において、ステージ１２は基板保持部２１と保持部移動機構２２から構成されている。基板保持部２１はＹ軸方向に平行に並んで設けられた基板搬送用の一対の搬送コンベア３１と、搬送コンベア３１によって搬送されてきた基板ＫＢの下面を支持する下受け部３２と、一対の搬送コンベア３１の上部に設けられてＹ軸方向に開閉自在な一対のクランパ３３を備えている。

【0015】

基板保持部２１は搬送コンベア３１によって基板ＫＢを受け取り、所定の位置まで搬送する。下受け部３２は搬送コンベア３１が所定の位置に搬送した基板ＫＢを下方から支持する。一対のクランパ３３は、下受け部３２が支持した基板ＫＢの両端を側方から挟んでクランプする。保持部移動機構２２は直交座標テーブル機構等によって構成されており、基板ＫＢを保持した基板保持部２１をＸＹ面内方向、Ｚ軸方向およびＺ軸回り方向に移動させる。

【0016】

図１および図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がった矩形形状を有している。マスク１３は金属製の板状部材から構成されており、四辺が矩形の枠体１３Ｗによって支持されている。マスク１３の中央部には、基板ＫＢのランドＬＤの配置に対応して形成されたパターン孔１３Ｈが設けられている。

【0017】

図１および図２において、印刷ヘッド１４は、Ｘ軸方向に延びた形状のヘッドベース４１の下方に２つのスキージ４２を備えている。２つのスキージ４２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、Ｙ軸方向に対向して配置されている。ヘッドベース４１の上面には２つのスキージ４２を個別に昇降させるスキージ昇降駆動部４３が設けられている。ヘッドベース４１は印刷ヘッド移動機構４４（図２）の作動によってマスク１３の上方をＹ軸方向に往復移動する。

【0018】

図１において、マスク１３の下方にはＸ軸方向に延びた移動ビーム５１が配置されている。移動ビーム５１はビーム移動機構５２（図２）によってＹ軸方向に移動自在になっている。移動ビーム５１には、カメラ１５とマスククリーナ装着部５３が取り付けられている（図１および図２）。

【0019】

図３において、カメラ１５は上方領域を撮像する上方撮像部１５ａと下方領域を撮像する下方撮像部１５ｂを備えている。カメラ１５は、図示しないカメラ移動機構によって、移動ビーム５１に沿ってＸ軸方向に移動することができる。カメラ１５は、移動ビーム５１のＹ軸方向への移動と、カメラ１５自身の移動ビーム５１に沿ったＸ軸方向への移動とによって、マスク１３とステージ１２との間の領域を水平面内方向に移動しつつ、上方撮像部１５ａによってマスク１３を下方から撮像し、下方撮像部１５ｂによって基板ＫＢ（基板保持部２１に保持された基板ＫＢ）を上方から撮像する。

【0020】

図２および図３において、マスククリーナ装着部５３には昇降機構５４を介して移動ベース５５が設けられており、マスククリーナ１６は移動ベース５５に取り付けられている。移動ビーム５１によって移動ベース５５がＹ軸方向に移動することでマスククリーナ装着部５３がＹ軸方向に移動し、これによりマスククリーナ１６がマスク１３の下方領域をＹ軸方向に移動する。昇降機構５４が移動ベース５５を昇降させると、マスククリーナ１６は移動ビーム５１に対して昇降する（図３中に示す矢印Ａ）。

【0021】

図４、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）および図６において、マスククリーナ１６はベース体６１、複数（ここでは６枚）のブレード６２、一対の押さえ部材６３、整流板６４およびブレード固定具６５を備えている。

【0022】

ベース体６１は、図６および図７に示すように、マスククリーナ１６によるペーストＰｓｔの掻取り方向（ペースト掻取り方向）であるＹ軸方向と交差する水平方向（Ｘ軸方向）を長手方向として延びた形状を有している。ベース体６１は、長手方向に延びた形状のクリーナベース７１と、クリーナベース７１に取り付けられたブレード保持部７２を備えている。

【0023】

図６において、クリーナベース７１の中央部には上下方向に貫通した開口７１Ｓが設けられている。ブレード保持部７２はクリーナベース７１の上面に取り付けられており、その下方に開口７１Ｓが位置した状態となっている。

【0024】

図５（ａ）、図６および図７において、ブレード保持部７２はクリーナベース７１の長手方向（Ｘ軸方向）に並んで着脱自在に取り付けられる複数（ここでは７個）のブロック部材７２Ｂから構成されている。各ブロック部材７２Ｂは、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対して斜めに交差した方向に延びた２つの梁部７３を有している。これら２つの梁部７３は平面視においてＶ字状に配置されている。図８はブロック部材７２Ｂを上方から見た図を示しており、図９はブロック部材７２Ｂの単体を斜め上方から見た図を示している。

【0025】

図１０において、各ブロック部材７２Ｂは、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に延びてペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対向する平行な一対の縁部７４を有している。Ｖ字状に配置された２つの梁部７３はこれら一対の縁部７４の間に掛け渡されて延びている（図８および図９も参照）。

【0026】

各ブロック部材７２Ｂが有する２つの梁部７３それぞれには、図８、図９および図１０に示すように、複数のブレード６２を挿入するための複数列（ここでは６列）の溝部７５がＸ軸方向（ベース体６１の長手方向）に延びて設けられている。これら複数列（６列）の溝部７５は互いに平行であり、それぞれ上端側がペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向とは反対の方向（すなわち後方）に傾斜した状態となっている。

【0027】

図６および図１１に示すように、ブレード６２はベース体６１の長手方向に延びた形状を有している。各ブレード６２は樹脂製であり、ブレード６２の面内方向および面外方向に可撓性を有している。６枚のブレード６２は、複数（７つ）のブロック部材７２Ｂによって構成されるブレード保持部７２の６列の溝部７５のそれぞれに、長手方向（Ｘ軸方向）に延びた姿勢で上方から取り付けられている（図１２）。

【0028】

図１１において、各ブレード６２は上下方向に対称な形状を有しており、上下方向に対向する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａおよび第２のエッジ６２ｂ）を有している。このため各ブレード６２は任意の一方のエッジ（第１のエッジ６２ａまたは第２のエッジ６２ｂ）がペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるようにベース体６１に取り付けることができる（図１３（ａ），（ｂ））。

【0029】

図１１および図１３（ａ），（ｂ）に示すように、各ブレード６２の端部には、第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂを識別するための識別マーク６２Ｍ（識別表示）が付されている。識別マーク６２Ｍは、ブレード６２がベース体６１に取り付けられている状態で外部から視認することができる（図１２）。このため作業者は、ベース体６１からブレード６２を取り外すことなく、そのブレード６２の第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのどちらがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなっているかを知ることができる。

【0030】

図６および図１１において、各ブレード６２の長手方向の中間部には、そのブレード６２の厚さ方向に貫通したロッド挿通孔６２Ｋが設けられている。ロッド挿通孔６２Ｋは、上下方向に対向して位置する第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂとの双方から等距離の位置（ブレード６２の高さ方向の中央の位置）に設けられている。

【0031】

６枚のブレード６２は、ブレード保持部７２に設けられた６列の溝部７５に挿入されることによって、図１２、図１４および図１５に示すように、ベース体６１上において、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向に）に互いに平行に並んだ状態となっている。前述したように各溝部７５は上端側が後方に傾斜しているので、溝部７５に挿入された各ブレード６２は、開口７１Ｓ内で上端側を後方に傾斜させた姿勢となっている。ここで、図１４は図１２における矢視Ｖ１－Ｖ１から見た断面図（ひとつの梁部７３の全部を横断する断面図）であり、図１５は図１２における矢視Ｖ２－Ｖ２から見た断面図（梁部７３を横断しない断面図）である。

【0032】

図１４および図１５において、６枚のブレード６２のうちの２枚は、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向（図１４および図１５における紙面右方）の前後両端に位置する２列の溝部７５によって支持されており、６枚のブレード６２のうちの他の４枚は、ブレード保持部７２に設けられた４列の溝部７５によって支持されている。すなわち、進行方向から見て先頭と最後尾に位置する２枚のブレード６２は縁部７４に設けられた溝部７５によって長手方向のほぼ全領域が支持されており、それらの中間に位置する４枚は、梁部７３に設けられた溝部７５によって、長手方向の中間部が部分的に支持されている。

【0033】

図４、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）、図６および図７において、一対の押さえ部材６３はベース体６１の長手方向（Ｙ軸方向）の両端部に取り付けられている。各押さえ部材６３はそれぞれ樹脂製であり、ＸＹ方向に広がった平らな上面６３Ｆを備えている。

【0034】

各押さえ部材６３はペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に並んで形成された２つの螺子孔６３Ｈを有しており、これら２つの螺子孔６３Ｈに２つの螺子６３Ｓが挿通されている。２つの螺子６３Ｓがベース体６１の長手方向の両端部に設けられた螺子取付け穴６１Ｈ（図６）に螺入されることによって、各押さえ部材６３はベース体６１に着脱自在に装着されている。

【0035】

図１１において、各ブレード６２の長手方向の両端部には当接突起６２Ｈが形成されている。当接突起６２Ｈは、ブレード６２の長手方向の外側に突出しており、上下に対称な凸形状を有している。一対の押さえ部材６３がベース体６１の両端部に取り付けられると、複数のブレード６２それぞれの当接突起６２Ｈに押さえ部材６３の突起部６３Ｔが上方から当接し（図１３（ａ），（ｂ））、複数（６枚）のブレード６２が一括してクリーナベース７１に固定される。

【0036】

図１４、図１５および図１３（ａ），（ｂ）において、一対の押さえ部材６３によってクリーナベース７１に固定された複数のブレード６２それぞれの上縁は、各押さえ部材６３の上面よりも上方に突出した状態となる。このため、ベース体６１に取り付けられた各押さえ部材６３の上面は各ブレード６２の上縁よりも低い位置に位置しており、ベース体６１の上方に突出したブレード６２の上縁は、マスク１３のクリーニングの際、マスク１３の下面に当接されてペーストＰｓｔを掻き取るペースト掻取りエッジ６２Ｅとなる（図１１）。

【0037】

図５（ｃ）、図６、図１４および図１５に示すように、整流板６４は、ベース体６１の開口７１Ｓを下方から覆う位置に、複数の整流板装着螺子６４Ｓによってベース体６１に着脱自在に装着されている（図６、図１４および図１５）。整流板６４はベース体６１の長手方向に並んで設けられた複数の整流孔６４Ｈを有している。

【0038】

図６において、移動ベース５５の上面のベース体６１（クリーナベース７１）と接触する部分には、複数（ここでは２つ）の位置決め孔５５Ｈが設けられている。一方、クリーナベース７１の下面には、複数の位置決め孔５５Ｈに対応して配置された複数（ここでは２つ）の位置決めピン６１Ｐが下方に延びて設けられている（図５（ｂ），（ｃ））。

【0039】

図４および図５（ａ），（ｂ），（ｃ）において、ブレード固定具６５は、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）の中間部の側面に装着されている。ブレード固定具６５は、図１６（ａ），（ｂ）および図１７に示すように、固定具ベース８１、ブロック部８２およびロッド部８３を備えている。

【0040】

図１６（ａ），（ｂ）および図１７において、固定具ベース８１は板状の部材が曲げ成型されて成り、水平部９１と、水平部９１の縁から下方に延びた左右の垂直部９２を有している。垂直部９２の左右の一方側９２ａは下端側が水平に折り曲げられており、作業者が指で把持ことができる把持部９３となっている。垂直部９２の左右の他方側９２ｂには、下縁側から上方に延びた形状のスリット９４が形成されている。

【0041】

図１６（ａ），（ｂ）において、ブロック部８２は、固定具ベース８１の水平部９１の下面（把持部９３が形成されている側）に、複数のブロック固定螺子８２Ｓによって取り付けられている。ブロック部８２の上面側にはＹ軸方向（すなわち複数のブレード６２の並び方向）に延びた螺子挿入溝８２Ｍが形成されている。ロッド部８３は、一方側の端部（基端部８３ａ）が、ブロック部８２の螺子挿入溝８２Ｍと固定具ベース８１の水平部９１との間に挟まれて固定具ベース８１に固定されている。

【0042】

図１７において、ベース体６１の長手方向に中間部には、Ｙ軸方向に対向して配置されたロッド貫通孔６１Ｑとロッド先端部受容穴６１Ｒが設けられている。ベース体６１に取り付けられた複数（６枚）のブレード６２それぞれのロッド挿通孔６２Ｋは、ロッド貫通孔６１Ｑとロッド先端部受容穴６１Ｒとの間に（ロッド貫通孔６１Ｑとロッド先端部受容穴６１Ｒとを結ぶ線上に）一列に並んで位置している。

【0043】

ブレード固定具６５は、ロッド部８３の先端部８３ｂ（基端部８３ａとは反対側の端部）をロッド貫通孔６１Ｑ、複数のブレード６２それぞれのロッド挿通孔６２Ｋの順で貫通させた後、ロッド先端部受容穴６１Ｒに受容させるようにしてベース体６１に取り付けられる（図１８（ａ）→図１８（ｂ））。そして、スリット９４をＹ軸方向に挿通させた固定具装着螺子６５Ｓを、ベース体６１の側面に設けられた螺子穴６１Ｊに螺入させる（図１７および図１８（ｂ））。これによりブレード固定具６５がベース体６１に固定される。このためブレード固定具６５は、固定具装着螺子６５Ｓをベース体６１に取り付けることでベース体６１に装着することができ、固定具装着螺子６５Ｓをベース体６１から取り外すことでベース体６１から取り外すことができる。

【0044】

図４および図１９（ａ）に示すように、ブレード固定具６５はベース体６１の長手方向のほぼ中央部に装着される。このためブレード固定具６５のロッド部８３は、ベース体６１の長手方向のほぼ中央部をＹ軸方向に延びて複数のブレード６２を貫通して延び、これら複数のブレード６２を一括してベース体６１に固定した状態となっている（図１９（ａ）における領域ＡＲの拡大図である図１９（ｂ）参照）。

【0045】

このように、複数のブレード６２はそれぞれ、両端部が一対の押さえ部材６３によって上方からベース体６１に押さえられるだけでなく、長手方向の中間部がブレード固定具６５のロッド部８３に挿通されてベース体６１に固定されている。このため各ブレード６２はベース体６１に対する上下方向の変形が拘束され、上方への引っ張り力が作用したとしても、その力によってブレード６２の全体が上方に大きく撓むことが抑制される。よって各ブレード６２は、その両端部が押さえ部材６３の内側（押さえ部材同士が互いに向き合う側）に抜け出ることがなく、ベース体６１から分離してしまうおそれがない。

【0046】

上記構成のマスククリーナ１６を移動ベース５５に取り付けるときは、マスククリーナ１６のベース体６１に設けられた複数の位置決めピン６１Ｐを、移動ベース５５に設けられた複数の位置決め孔５５Ｈに上方から挿入させる（図２０（ａ）中に示す矢印Ｂ）。ここで、移動ベース５５は磁性体材料から構成されており、ベース体６１には、下面に表面を露出させた複数の磁石６１Ｍが埋設されている（図５（ｂ），（ｃ）、図１４および図１５）。このため、マスククリーナ１６が移動ベース５５上の規定の位置に取り付けられると、クリーナベース７１に埋設された複数の磁石６１Ｍそれぞれが移動ベース５５の上面を磁力で吸着し、マスククリーナ１６が移動ベース５５に固定された状態となる（図２０（ｂ））。

【0047】

図２１は、図２０（ｂ）における矢視Ｖ３－Ｖ３から見た断面図である。この図に示すように、マスククリーナ１６が移動ベース５５に取り付けられた状態では、マスククリーナ１６の開口７１Ｓが移動ベース５５に形成された内部空間５５Ｓ（図６も参照）と連通する。

【0048】

移動ベース５５には内部空間５５Ｓに設けられた空気通路５５Ｒ（図６および図２０（ａ），（ｂ）も参照）を通じて外部に延びる真空吸引管路５５Ｔが設けられている（図３および図２１）。この真空吸引管路５５Ｔには吸出し機構１００が接続されており（図３および図２１）、吸出し機構１００が真空吸引管路５５Ｔを介して空気を吸引すると、マスククリーナ１６の上方の空気が開口７１Ｓおよび整流板６４に設けられた整流孔６４Ｈを通じて内部空間５５Ｓ側に引き込まれ、マスク１３の下面やパターン孔１３Ｈ内に付着したペーストＰｓｔがマスククリーナ１６側に吸い出される。

【0049】

次に、スクリーン印刷装置１によってスクリーン印刷作業を行う手順、すなわちスクリーン印刷方法について説明する。ここで、スクリーン印刷装置１によって行うスクリーン印刷方法は、以下に述べるように、マスク１３を介して基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する印刷工程と、印刷工程でマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔをマスククリーナ１６によって掻き取るマスククリーニング工程とを含んでいる。

【0050】

スクリーン印刷装置１によってスクリーン印刷作業を行う場合には、先ず、印刷工程を実行する。印刷工程では、はじめに、スクリーン印刷装置１の外部から供給された基板ＫＢを搬送コンベア３１が受け取って所定の位置まで搬入する。そして、下受け部３２が上昇して基板ＫＢを下方から支持し、次いでクランパ３３が作動して基板ＫＢをＹ軸方向からクランプする。

【0051】

このようにして基板保持部２１が基板ＫＢを保持したら、カメラ１５がマスク１３と基板ＫＢとの間の領域に進出してマスク１３と基板ＫＢをそれぞれ撮像する。カメラ１５がマスク１３と基板ＫＢの双方を撮像することによってマスク１３に対する基板ＫＢの相対位置が求められたら、保持部移動機構２２は基板ＫＢのランドＬＤとマスク１３のパターン孔１３Ｈとが合致するように基板保持部２１を（すなわち基板ＫＢ）を移動させて、マスク１３の下面に基板ＫＢを接触させる。

【0052】

マスク１３の下面に基板ＫＢを接触させたら、マスク１３上にペーストＰｓｔが供給されている状態でスキージ昇降駆動部４３を作動させて、２つのスキージ４２のうちの一方をマスク１３の上面に当接させる。スキージ４２がマスク１３の上面に当接したら印刷ヘッド移動機構４４がヘッドベース４１をＹ軸方向に移動させる。これによりマスク１３上のペーストＰｓｔがスキージ４２によって掻き寄せられ（図２）、マスク１３のパターン孔１３Ｈを通じて基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布される。

【0053】

基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布されたら、保持部移動機構２２が基板保持部２１を下降させて基板ＫＢをマスク１３から分離（版離れ）させる。これにより基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了する。基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了したら搬送コンベア３１が作動し、基板ＫＢをスクリーン印刷装置１の外部に搬出する。

【0054】

搬送コンベア３１によって基板ＫＢがスクリーン印刷装置１の外部に搬出されたら、マスククリーナ１６によるマスククリーニング作業を実行する（マスククリーニング工程）。マスククリーニング作業では、ビーム移動機構５２が移動ビーム５１をＹ軸方向に移動させることで、マスククリーナ１６をマスク１３の後下方の領域に進出させる。そして、昇降機構５４が作動してマスククリーナ１６を上昇させ、マスククリーナ１６を（詳細には６枚のブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅを）マスク１３の下面に当接させる（図２２（ａ））。

【0055】

このときベース体６１に装着された一対の押さえ部材６３は、過剰な力でブレード６２をマスク１３に押し当てないようにするためのストッパとして機能する。すなわち、押さえ部材６３の上面６３Ｆがマスク１３の下面に当接することでブレード６２の変形が一定範囲に保たれ、ブレード６２の摩耗の進行が想定の範囲内にコントロールされる。

【0056】

マスククリーナ１６がマスク１３の下面に当接したら、ビーム移動機構５２が作動して移動ビーム５１を前方に移動させる。これによりマスククリーナ１６が備える６枚のブレード６２がマスク１３の下面を摺動し、各ブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅによってマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔが掻き取られていく（図２２（ｂ）および図２３）。そして、この間（６枚のブレード６２がマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取っている間）、吸出し機構１００は空気を吸引する。これによりマスク１３に付着しているペーストＰｓｔは隣接するブレード６２の間の空間（図２１）からマスククリーナ１６の開口７１Ｓを通じて強制的に吸い出され、マスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔは効率よく掻き取られる（図２４）。ここで、図２４は、図２３中に示す一点鎖線領域Ｒａの拡大図である。

【0057】

また、ブレード６２がマスク１３の下面を摺動してマスククリーニング作業が実行されているとき、一対の押さえ部材６３はマスク１３の下面に下方から当接するので、マスククリーニング中に、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方から開口７１Ｓにエアが流入するのが防止される。このためクリーニングに寄与しない箇所から流入するエアによってマスククリーナ１６の吸引力が損なわれることが防止される。

【0058】

このように本実施の形態のマスククリーナ１６は、マスク１３の下方をマスク１３に平行なペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に移動するベース体６１と、ペースト掻取り方向と交差する水平方向（Ｘ軸方向）を長手方向として延びて両端部および下側のエッジがベース体６１によって支持され、上側のエッジがペースト掻取りエッジ６２Ｅとしてマスク１３の下面に当接されるブレード６２と、ベース体６１に取り付けられ、ブレード６２の長手方向の両端部を上方から押さえる一対の押さえ部材６３とを備え、ブレード６２の上縁がマスク１３の下面に当接した状態でベース体６１がペースト掻取り方向に移動することで、ブレード６２の上縁がペースト掻取りエッジ６２Ｅとしてマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取る構成となっている。

【0059】

ここで、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、マスククリーナ１６のブレード６２は樹脂製であるため、ブレード６２を清掃する際、誤ってブレード６２を大きく曲げてしまったとしても塑性変形することがなく、ブレード６２の変形によってペースト掻取りエッジ６２Ｅがマスク１３の下面に面当りしなくなるような不都合が発生しない。このためブレード６２の変形等に起因するクリーニング品質の低下が起きにくい。

【0060】

また、各ブレード６２は上下方向に対向して位置する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａおよび第２のエッジ６２ｂ）のうちの任意の一方をペースト掻取りエッジ６２Ｅとして使用できるため、一方のエッジがペーストＰｓｔの掻取りの耐用限度に達したときはブレード６２をベース体６１から取り外し、上下を反転させてベース体６１に取り付けなおすことで、ブレード６２の耐用限度（寿命）を増大させることができる。従ってマスククリーニング作業にかかるコストを大きく低減することができる。

【0061】

上記のようにしてマスククリーナ１６によりマスク１３の下面のクリーニング作業が終了したら、マスククリーナ装着部５３の昇降機構５４が移動ベース５５を下降させる。これにより移動ベース５５に連結されたマスククリーナ１６が下降し、ベース体６１に取り付けられた一対の押さえ部材６３がマスク１３の下面より離れ、次いで各ブレード６２の上縁（ペースト掻取りエッジ６２Ｅ）がマスク１３の下面から離間する。このとき、マスク１３の下面に残留しているペーストＰｓｔがある場合には、そのペーストＰｓｔの粘着性によって、各ブレード６２はマスク１３の下面から離間するのが妨げられる。

【0062】

このため各ブレード６２は相対的にベース体６１の上方に引っ張られ、その中間部が上方に凸となる形状に撓もうとするところであるが、本実施の形態では、各ブレード６２の中間部にブレード固定具６５のロッド部８３が挿通されていて各ブレード６２の撓み変形は押さえられるので、両端部が一対の押さえ部材６３から内側（押さえ部材同士が互いに向き合う側）に抜け出てしまうことがなく、従ってブレード６２がベース体６１から分離してしまうおそれがない。

【0063】

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１が備えるマスククリーナ１６は、長手方向の両端部と中間部がベース体６１によって支持されるブレード６２が、ベース体６１に取り付けられた一対の押さえ部材６３によって両端部が上方から押さえられるだけでなく、ベース体６１に装着されたブレード固定具６５によって、長手方向の中間部がベース体６１に固定されるようになっている。このためマスク１３の下面に残存したペーストＰｓｔの粘着性によってブレード６２が上方に引っ張られたとしてもブレード６２の中間部が持ち上げられるように変形することはなく、ブレード６２の両端部が一対の押さえ部材６３から抜け出てしまってブレード６２がベース体６１から分離してしまう事態を防止することができる。

【0064】

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態では、各ブレード６２が第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのいずれがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるように取り付けられた場合であってもロッド部８３がブレード６２を挿通する箇所が共通となるようにするために第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂとの双方から等距離の位置にロッド挿通孔６２Ｋを設けていた。しかし、これは一例であり、第１のエッジ６２ａがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなる場合と第２のエッジ６２ｂがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなる場合とでロッド部８３が挿通する箇所が異なってもよいのであれば、第１のエッジ６２ａがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるように取り付けた場合にロッド部８３が挿通する第１のロッド挿通孔と、第２のエッジ６２ｂがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるように取り付けた場合にロッド部８３が挿通する第２のロッド挿通孔との２つのロッド挿通孔をブレード６２に設けるようにしてもよい。

【0065】

また、上述の実施の形態では、ベース体６１に取り付けられるブレード６２の数は６枚であったが、これは一例に過ぎず、何枚であっても（１枚であっても）構わない。また、上述の実施の形態では、ブレード６２の長手方向の中間部がベース体６１に固定される箇所の数は１つであり、従ってベース体６１に装着されるブレード固定具６５は１つであったが、ブレードの６２の長手方向の中間部がベース体６１に固定される数は２つ以上であってもよい。この場合はベース体６１に装着されるブレード固定具６５の数も２つ以上となる。

【産業上の利用可能性】

【0066】

ブレードの下面に残存したペーストの粘着性によってブレードがベース体から分離してしまう事態を防止することができるマスククリーナ、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。

【符号の説明】

【0067】

１ スクリーン印刷装置
１３ マスク
１４ 印刷ヘッド
１６ マスククリーナ
６１ ベース体
６２ ブレード
６２ａ 第１のエッジ
６２ｂ 第２のエッジ
６２Ｅ ペースト掻取りエッジ
６２Ｋ ロッド挿通孔
６３ 押さえ部材
６５ ブレード固定具
８３ ロッド部
Ｐｓｔ ペースト
ＫＢ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】