特許 7466360 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-04

(45)【発行日】2024-04-12

(54)【発明の名称】産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20240405BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240405BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 D

H01L21/68 B

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020071207

(22)【出願日】2020-04-10

(65)【公開番号】P2021167041

(43)【公開日】2021-10-21

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】濱沖 孟

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

【審査官】樋口 幸太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１３５３８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０２６５３９４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】実開昭５６－１６８８２６（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １５／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上面側に前記搬送対象物が載置される直線状の複数のフォークと、前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物の下面を吸着するとともに前記フォークに取り付けられる吸着パッドと、複数の前記フォークの基端部が取り付けられるハンド基部とを備え、
前記フォークは、前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物の反りに追従して前記フォークの長手方向を回動の軸方向とする前記フォークの回動方向において前記ハンド基部に対して回動可能となるように、前記フォークの回動方向において前記ハンド基部に対して付勢されていない状態で前記フォークの回動方向において回動自在に前記ハンド基部に保持されていることを特徴とするハンド。

【請求項2】

前記フォークは、前記ハンド基部に取り付けられるフォーク基部を備え、
前記フォーク基部には、前記フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状または円形状となる外周面が形成され、
前記ハンド基部には、前記フォーク基部が挿入される挿入穴が形成され、
前記フォークの長手方向から見たときの前記挿入穴の形状は円形状となっており、
前記フォーク基部の前記外周面は、前記挿入穴の側面に接触し、
前記フォーク基部の前記外周面の曲率半径と前記挿入穴の曲率半径とが略等しくなっていることを特徴とする請求項１記載のハンド。

【請求項3】

前記フォークは、前記ハンド基部に取り付けられるフォーク基部を備え、
前記フォーク基部には、前記フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状となる外周面が形成され、
前記ハンド基部には、前記フォーク基部が挿入される挿入穴が形成され、
前記挿入穴の側面の一部は、前記フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状となる円弧面となっており、
前記フォーク基部の前記外周面は、前記挿入穴の前記円弧面に接触し、
前記フォーク基部の前記外周面の曲率半径と前記挿入穴の前記円弧面の曲率半径とが略等しくなっており、
前記フォークの長手方向から見たときに、円弧状をなす前記挿入穴の前記円弧面の中心角は、円弧状をなす前記フォーク基部の前記外周面の中心角よりも大きくなっていることを特徴とする請求項１記載のハンド。

【請求項4】

前記フォーク基部は、半円筒状に形成されていることを特徴とする請求項２または３記載のハンド。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、有機ＥＬディスプレイを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドは、上面側に有機ＥＬディスプレイが載置される直線状の４本のフォークと、４本のフォークの基端部が取り付けられるハンド基部（基部）と、フォークの上面側に載置される有機ＥＬディスプレイの下面を吸着する吸着パッドとを備えている。吸着パッドは、フローティング機構を介してフォークに取り付けられている。そのため、特許文献１に記載のハンドでは、フォークの上面側に載置される有機ＥＬディスプレイに反りが生じていても、有機ＥＬディスプレイの反りに吸着パッドを追従させて、吸着パッドによって有機ＥＬディスプレイの下面を吸着することが可能になっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１０６９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年、長方形状または正方形状の大型のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法（パネルレベルパッケージング（ＰＬＰ））が普及し始めており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで産業用ロボットが使用され始めている。ＰＬＰには、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、大きな反りが生じやすい。

【0005】

特許文献１に記載のハンドでは、吸着パッドがフローティング機構を介してフォークに取り付けられているため、ある程度の反りが搬送対象物に生じていても、搬送対象物の反りに吸着パッドを追従させて、吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することは可能である。しかしながら、特許文献１に記載のハンドの場合、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルのように、搬送対象物に大きな反りが生じていると、搬送対象物の反りに吸着パッドを追従させられなくなり、その結果、吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することができなくなるおそれがある。

【0006】

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が上面側に載置されるフォークを備える産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、フォークに取り付けられた吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、上面側に搬送対象物が載置される直線状の複数のフォークと、フォークの上面側に載置される搬送対象物の下面を吸着するとともにフォークに取り付けられる吸着パッドと、複数のフォークの基端部が取り付けられるハンド基部とを備え、フォークは、フォークの上面側に載置される搬送対象物の反りに追従してフォークの長手方向を回動の軸方向とするフォークの回動方向においてハンド基部に対して回動可能となるように、フォークの回動方向においてハンド基部に対して付勢されていない状態でフォークの回動方向において回動自在にハンド基部に保持されていることを特徴とする。

【0008】

本発明の産業用ロボットのハンドでは、フォークは、フォークの長手方向を回動の軸方向とするフォークの回動方向において回動自在にハンド基部に保持されている。

【0009】

そのため、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、フォークの全体を搬送対象物の反りに追従させることが可能になる。したがって、搬送対象物に大きな反りが生じていても、フォークに取り付けられた吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することが可能になる。

【0010】

また、本発明では、たとえば、複数の製造工程を有する製造ラインで産業用ロボットが使用される場合に、製造工程ごとに搬送対象物の反りの大きさが変わっても、ハンド基部に対して回動自在なフォークを、搬送対象物の反りの大きさに応じて回動させて、搬送対象物の反りに追従させることが可能になるため、全ての製造工程において同じハンドを用いて搬送対象物を搬送することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドの汎用性を高めることが可能になる。

【0011】

なお、本発明における「直線状のフォーク」とは、全体として直線状に形成されているフォークのことである。したがって、緩やかに曲がった部分が一部に含まれているフォークや、全体的に緩やかに曲がっているフォークであっても、全体として直線状に形成されていれば、これらのフォークも、本発明の「直線状のフォーク」に含まれる。

【0012】

本発明において、フォークは、ハンド基部に取り付けられるフォーク基部を備え、フォーク基部には、フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状または円形状となる外周面が形成され、ハンド基部には、フォーク基部が挿入される挿入穴が形成され、フォークの長手方向から見たときの挿入穴の形状は円形状となっており、フォーク基部の外周面は、挿入穴の側面に接触し、フォーク基部の外周面の曲率半径と挿入穴の曲率半径とが略等しくなっていることが好ましい。

【0013】

また、本発明において、フォークは、ハンド基部に取り付けられるフォーク基部を備え、フォーク基部には、フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状となる外周面が形成され、ハンド基部には、フォーク基部が挿入される挿入穴が形成され、挿入穴の側面の一部は、フォークの長手方向から見たときの形状が円弧状となる円弧面となっており、フォーク基部の外周面は、挿入穴の円弧面に接触し、フォーク基部の外周面の曲率半径と挿入穴の円弧面の曲率半径とが略等しくなっており、フォークの長手方向から見たときに、円弧状をなす挿入穴の円弧面の中心角は、円弧状をなすフォーク基部の外周面の中心角よりも大きくなっていても良い。

【0014】

このように構成すると、比較的簡易な構成で、フォークの長手方向を回動の軸方向とするフォークの回動方向においてハンド基部に対するフォークの回動が自在となるように、ハンド基部にフォークを保持させることが可能になる。

【0015】

本発明において、フォーク基部は、半円筒状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、フォーク基部が、半円柱状、円筒状または円柱状に形成されている場合と比較して、フォーク基部を軽量化することが可能になる。

【0017】

本発明のハンドは、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、搬送対象物に大きな反りが生じていても、フォークに取り付けられた吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することが可能になる。

【発明の効果】

【0018】

以上のように、本発明では、搬送対象物が上面側に載置されるフォークを備える産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、フォークに取り付けられた吸着パッドによって搬送対象物の下面を吸着することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの側面図である。

【図3】図１に示すハンドの平面図である。

【図4】図４（Ａ）は、図３のＥ－Ｅ断面の断面図であり、図４（Ｂ）は、図３に示すフォークの構成を説明するための図である。

【図5】本発明の他の実施の形態にかかるフォークの動きを説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0021】

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。

【0022】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルである。搬送対象物２は、長方形の平板状に形成されている。ロボット１は、複数枚の搬送対象物２が収容される収容部からの搬送対象物２の搬出や、収容部への搬送対象物２の搬入を行う。収容部には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。

【0023】

ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に支持する支持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。

【0024】

アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。すなわち、アーム４の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。２本のアーム４のうちの一方のアーム４の基端側は、アームサポート７の上端側に連結され、他方のアーム４の基端側は、アームサポート７の下端側に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。すなわち、アーム４の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。ロボット１は、２本のアーム４のそれぞれを伸縮させる２個のアーム駆動機構を備えている。

【0025】

支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。ロボット１は、支持フレーム８に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、アームサポート７を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。支持フレーム８の下端は、旋回フレーム１０に固定されている。旋回フレーム１０は、上述のように、基台９に対して回動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構を備えている。基台９は、上述のように、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構を備えている。

【0026】

（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の平面図である。図４（Ａ）は、図３のＥ－Ｅ断面の断面図であり、図４（Ｂ）は、図３に示すフォーク１８の構成を説明するための図である。

【0027】

ハンド３は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１７と、上面側に搬送対象物２が載置される複数のフォーク１８とを備えている。本形態のハンド３は、２本のフォーク１８を備えている。また、ハンド３は、フォーク１８の上面に固定されるとともに搬送対象物２が載置される複数の載置部材１９と、載置部材１９に載置される搬送対象物２（すなわち、フォーク１８の上面側に載置される搬送対象物２）の下面を吸着する複数の吸着パッド２０とを備えている。

【0028】

フォーク１８は、直線状に形成されている。２本のフォーク１８は、ハンド基部１７から水平方向の同方向へ突出している。また、２本のフォーク１８は、互いに平行に配置されている。以下の説明では、直線状に形成されるフォーク１８の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。２本のフォーク１８は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。

【0029】

ハンド基部１７は、たとえば、アルミニウム合金で形成されている。ハンド基部１７は、上下方向の厚さが薄い扁平な直方体状に形成されている。ハンド基部１７は、ハンド基部１７の左右の側面が左右方向に直交し、ハンド基部１７の前後の側面が前後方向と直交するように配置されている。ハンド基部１７には、２本のフォーク１８の基端部が取り付けられている。ハンド基部１７には、フォーク１８の基端部を構成する後述のフォーク基部２２が挿入される挿入穴１７ａが形成されている。

【0030】

挿入穴１７ａは、前後方向でハンド基部１７を貫通する丸穴であり、前後方向から見たときの挿入穴１７ａの形状は円形状となっている。挿入穴１７ａは、左右方向に間隔をあけた状態で２箇所に形成されている。なお、挿入穴１７ａは、ハンド基部１７の前後方向の一方の面から他方の面に向かって窪む丸穴であっても良い。すなわち、挿入穴１７ａは、前後方向でハンド基部１７を貫通していなくても良い。

【0031】

また、ハンド基部１７には、図４（Ａ）に示すように、ハンド基部１７の外側面から挿入穴１７ａに通じるネジ穴１７ｂが形成されている。具体的には、ハンド基部１７の下側面から挿入穴１７ａに通じるネジ穴１７ｂがハンド基部１７に形成されている。ネジ穴１７ｂは、たとえば、１個の挿入穴１７ａに対して複数箇所に形成されている。すなわち、ハンド基部１７には、挿入穴１７ａに沿って前後方向に間隔をあけた状態で配置される複数のネジ穴１７ｂが形成されている。

【0032】

フォーク１８は、フォーク１８の基端部を構成するフォーク基部２２と、ハンド基部１７から前後方向の一方側へ突出するフォーク本体部２３を備えている。フォーク基部２２とフォーク本体部２３とは、別体で形成されている。フォーク基部２２は、ハンド基部１７に取り付けられている。具体的には、フォーク基部２２は、挿入穴１７ａに挿入された状態でハンド基部１７に固定されている。

【0033】

図４（Ａ）に示すように、フォーク基部２２は、半円筒状に形成されている。すなわち、フォーク基部２２には、前後方向から見たときの形状が円弧状となる外周面２２ａが形成されている。具体的には、前後方向から見たときの形状が半円弧状となる外周面２２ａがフォーク基部２２に形成されており、前後方向から見たときの外周面２２ａの中心角は、１８０°となっている。フォーク基部２２は、外周面２２ａが下側に配置されるように挿入穴１７ａに挿入されている。挿入穴１７ａに挿入されるフォーク基部２２は、ネジ穴１７ｂに螺号する止めネジ２４によってハンド基部１７に固定されている。止めネジ２４の上端は、フォーク基部２２の外周面２２ａに所定の接触圧で接触している。

【0034】

外周面２２ａは、挿入穴１７ａの側面に接触している。外周面２２ａの曲率半径と挿入穴１７ａの曲率半径とは、略等しくなっている。挿入穴１７ａにフォーク基部２２が挿入された状態では、フォーク基部２２は、前後方向を回動の軸方向として回動可能となっている。具体的には、挿入穴１７ａにフォーク基部２２が挿入された状態では、フォーク基部２２は、外周面２２ａの曲率中心（挿入穴１７ａの曲率中心）を回動中心にして、挿入穴１７ａの側面に沿って回動可能となっている。本形態では、止めネジ２４を緩めた状態で、前後方向を回動の軸方向としてフォーク基部２２を手動で所定角度、回動させた後、止めネジ２４を締めることで、前後方向を回動の軸方向とするとともに外周面２２ａの曲率中心を回動中心にするフォーク１８の回動方向において、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整可能となっている。

【0035】

フォーク本体部２３は、前後方向に細長い直線状に形成されている。フォーク本体部２３の上面は、平面となっている。フォーク本体部２３の基端側は、外周面２２ａが下側に配置される半円筒状のフォーク基部２２の上端面に固定されている。フォーク基部２２の上端面に固定されるフォーク本体部２３の基端側は、挿入穴１７ａの中に配置されている。搬送対象物２は、フォーク本体部２３の、前後方向の中心から先端までの部分に載置される。上述のように、ロボット１は、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部からの搬送対象物２の搬出や、収容部への搬送対象物２の搬入を行う。収容部からの搬送対象物２の搬出時や、収容部への搬送対象物２の搬入時には、フォーク本体部２３が収容部の中に挿入される。

【0036】

載置部材１９は、フォーク１８に取り付けられている。具体的には、載置部材１９は、フォーク本体部２３の上面に固定されている。吸着パッド２０は、フォーク１８に取り付けられている。具体的には、吸着パッド２０は、フォーク本体部２３の上面側に取り付けられている。吸着パッド２０は、フローティング機構（図示省略）を介して、フォーク本体部２３に取り付けられており、フォーク本体部２３に対して傾動可能になっている。すなわち、フォーク本体部２３に対して吸着パッド２０を傾けることが可能になっている。また、吸着パッド２０は、フォーク本体部２３に対してわずかに上下動可能となっている。吸着パッド２０は、搬送対象物２の下面を真空吸着する。

【0037】

上述のように、ロボット１は、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部からの搬送対象物２の搬出や、収容部への搬送対象物２の搬入を行う。また、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルであり、収容部に収容される搬送対象物２には、比較的大きな反りが生じている（図４（Ｂ）参照）。また、上述のように、前後方向を回動の軸方向とするとともに外周面２２ａの曲率中心を回動中心にするフォーク１８の回動方向において、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整可能となっている。

【0038】

本形態では、搬送対象物２の反りに応じて、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整されており、図４（Ｂ）に示すように、フォーク１８は、各製造工程における搬送対象物２の反りに応じた取付角度でハンド基部１７に固定されている。たとえば、各製造工程において、搬送対象物２の下面を吸着する前の吸着パッド２０の上端が搬送対象物２の下面と略平行になるように、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整された後、フォーク１８がハンド基部１７に固定されている。ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度の調整は、各製造工程が開始される前に行われる。

【0039】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、前後方向を回動の軸方向とするとともにフォーク基部２２の外周面２２ａの曲率中心を回動中心にするフォーク１８の回動方向において、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整可能となっている。また、本形態では、搬送対象物２の反りに応じて、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整されており、フォーク１８は、各製造工程における搬送対象物２の反りに応じた取付角度でハンド基部１７に固定されている。そのため、本形態では、吸着パッド２０の傾動動作では吸収しきれない大きな反りが搬送対象物２に生じていても、収容部から搬送対象物２を搬出する際に、フォーク１８に取り付けられた吸着パッド２０によって搬送対象物２の下面を吸着することが可能になる。

【0040】

また、本形態では、搬送対象物２の反りに応じてハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整された後、ハンド基部１７にフォーク１８が固定されているため、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部の中の搬送対象物２の上下方向の間隔が狭くなっていても、収容部の中にフォーク本体部２３を挿入する際の、フォーク本体部２３および吸着パッド２０と、搬送対象物２との干渉を防止することが可能になる。さらに、本形態では、製造工程ごとにハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度が調整されており、製造工程ごとに搬送対象物２の反りの大きさが変わっても、全ての製造工程において同じハンド３を用いて搬送対象物２を搬送することが可能になる。そのため、本形態では、ハンド３の汎用性を高めることが可能になる。

【0041】

本形態では、フォーク基部２２の外周面２２ａの曲率半径と、フォーク基部２２が挿入される挿入穴１７ａの曲率半径とが略等しくなっており、フォーク基部２２は、外周面２２ａの曲率中心を回動中心にして、挿入穴１７ａの側面に沿って回動可能となっている。そのため、本形態では、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度を容易に調整することが可能になる。また、本形態では、前後方向を回動の軸方向とするフォーク１８の回動方向において、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度を連続的に調整することが可能になる。

【0042】

本形態では、フォーク基部２２は、半円筒状に形成されている。そのため、本形態では、フォーク基部２２が、半円柱状、円筒状または円柱状に形成されている場合と比較して、フォーク基部２２を軽量化することが可能になる。また、本形態では、挿入穴１７ａに挿入されるフォーク基部２２は、ネジ穴１７ｂに螺合する止めネジ２４によってハンド基部１７に固定されているため、ハンド基部１７に対する取付角度を調整した後のフォーク基部２２をハンド基部１７に容易に固定することが可能になる。

【0043】

（ハンドの変形例）
図５は、本発明の他の実施の形態にかかるフォーク１８の動きを説明するための図である。

【0044】

上述した形態では、挿入穴１７ａに挿入されるフォーク基部２２は、ネジ穴１７ｂに螺号する止めネジ２４によってハンド基部１７に固定されているが、挿入穴１７ａに挿入されるフォーク基部２２がハンド基部１７に固定されずに、ハンド基部１７に対して回動自在となっていても良い。すなわち、フォーク１８は、前後方向を回動の軸方向とするとともに外周面２２ａの曲率中心を回動中心にするフォーク１８の回動方向において回動自在にハンド基部１７に保持されていても良い。

【0045】

この変形例では、フォーク１８に外力が作用していないときに、吸着パッド２０の上端が真上を向いており、収容部から搬送対象物２を搬出するために、フォーク本体部２３が収容部の中に挿入されるときには、吸着パッド２０の上端が真上を向いている（図５（Ａ）参照）。また、収容部に収容される搬送対象物２をフォーク１８に載置するときには、吸着パッド２０の傾動動作では吸収しきれない大きな反りが搬送対象物２に生じていても、フォーク１８が搬送対象物２の反りに追従して回動する（図５（Ｂ））。

【0046】

このように、この変形例では、吸着パッド２０の傾動動作では吸収しきれない大きな反りが搬送対象物２に生じていても、フォーク１８の全体を搬送対象物２の反りに追従させることが可能になるため、フォーク１８に取り付けられた吸着パッド２０によって搬送対象物２の下面を吸着することが可能になる。また、この変形例では、ハンド基部１７に対するフォーク１８の取付角度の調整を事前に行わなくても、大きな反りが生じている搬送対象物２の下面を、フォーク１８に取り付けられた吸着パッド２０によって吸着することが可能になる。

【0047】

また、この変形例では、製造工程ごとに搬送対象物２の反りの大きさが変わっても、ハンド基部１７に対して回動自在なフォーク１８を、搬送対象物２の反りの大きさに応じて回動させて、搬送対象物２の反りに追従させることが可能になる。そのため、この変形例でも、全ての製造工程において同じハンド３を用いて搬送対象物２を搬送することが可能になる。したがって、ハンド３の汎用性を高めることが可能になる。

【0048】

また、この変形例では、フォーク基部２２の外周面２２ａの曲率半径と、フォーク基部２２が挿入される挿入穴１７ａの曲率半径とが略等しくなっており、フォーク基部２２は、外周面２２ａの曲率中心を回動中心にして、挿入穴１７ａの側面に沿って回動自在となっているため、比較的簡易な構成で、ハンド基部１７にフォーク１８を回動自在に保持させることが可能になる。

【0049】

ただし、この変形例では、フォーク本体部２３が収容部の中に挿入されるときに吸着パッド２０の上端が真上を向いているため、収容部に収容される搬送対象物２の上下方向の間隔が狭くなると、図５（Ｃ）に示すように、収容部の中にフォーク本体部２３を挿入する際に、フォーク本体部２３または吸着パッド２０と、搬送対象物２とが干渉するおそれがある。これに対して、上述した形態のように、ハンド基部１７に対する取付角度が調整された後のフォーク１８がハンド基部１７に固定されていれば、収容部に収容される搬送対象物２の上下方向の間隔が狭くなっていても、収容部の中にフォーク本体部２３を挿入する際の、フォーク本体部２３および吸着パッド２０と、搬送対象物２との干渉を防止することが可能になる。

【0050】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0051】

上述した形態において、フォーク基部２２は、半円柱状に形成されていても良い。また、フォーク基部２２は、円筒状または円柱状に形成されていても良い。フォーク基部２２が円筒状または円柱状に形成されている場合には、前後方向から見たときのフォーク基部２２の外周面２２ａは、円形状となっている。また、前後方向から見たときの外周面２２ａの形状が、中心角が１８０°を超え、かつ、３６０°未満となる円弧状をなすように、フォーク基部２２が形成されていても良い。たとえば、フォーク基部２２は、３／４円筒状に形成されていても良い。

【0052】

上述した形態において、挿入穴１７ａは、丸穴に形成されていなくても良い。すなわち、前後方向から見たときの挿入穴１７ａの形状は円形状となっていなくても良い。この場合には、挿入穴１７ａの側面の一部は、前後方向から見たときの形状が円弧状となる円弧面となっており、フォーク基部２２の外周面２２ａは、挿入穴１７ａの円弧面に接触している。また、この場合には、外周面２２ａの曲率半径と挿入穴１７ａの円弧面の曲率半径とが略等しくなっている。さらに、この場合には、前後方向から見たときに、円弧状をなす挿入穴１７ａの円弧面の中心角は、外周面２２ａの中心角よりも大きくなっている。たとえば、前後方向から見たときに、外周面２２ａの中心角が１８０°となっており、挿入穴１７ａの円弧面の中心角が２４０°となっている。

【0053】

上述した形態において、フォーク１８は、止めネジ２４以外の固定手段によってハンド基部１７に固定されていても良い。また、上述した形態において、ハンド３は、ハンド基部１７に対してフォーク１８を自動で回動させる回動機構を備えていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３が備えるフォーク１８の数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、吸着パッド２０は、フォーク本体部２３に対して傾動可能になっていなくても良い。

【0054】

上述した形態において、フォーク１８が全体として直線状に形成されているのであれば、緩やかに曲がった部分がフォーク１８に含まれていても良いし、フォーク１８が全体的に緩やかに曲がっていても良い。また、上述した形態において、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネル以外のものであっても良い。

【0055】

上述した形態では、２本のアーム４は、上下方向にずれた状態で配置されているが、たとえば、特開２０１６－２０７９３８号公報に記載されるように、２本のアーム４が同じ高さで、かつ、水平方向にずれた状態で配置されていても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、特開２０１７－１９０６１号公報に開示された産業用ロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0056】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 搬送対象物
３ ハンド
４ アーム
５ 本体部
１７ ハンド基部
１７ａ 挿入穴
１７ｂ ネジ穴
１８ フォーク
２０ 吸着パッド
２２ フォーク基部
２２ａ 外周面
２４ 止めネジ
Ｘ フォークの長手方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】