特許 7468216 ツール置台システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-08

(45)【発行日】2024-04-16

(54)【発明の名称】ツール置台システム

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/04 20060101AFI20240409BHJP

【ＦＩ】

B25J15/04 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020124936

(22)【出願日】2020-07-22

(65)【公開番号】P2022021404

(43)【公開日】2022-02-03

【審査請求日】2023-03-31

(73)【特許権者】

【識別番号】308036402

【氏名又は名称】株式会社ＪＶＣケンウッド

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100101247

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 俊一

(72)【発明者】

【氏名】森 英樹

【審査官】神山 貴行

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－１５０５４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２２０１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－００６２４４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００－２１／０２

Ｂ２３Ｑ １／７２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ツールが載置されるツール置台と、
前記ツールを把持して前記ツール置台に載置するロボットハンド装置と、
前記ロボットハンド装置の動作を制御する制御装置と、を含み構成され、
前記ツールは、突出した脚部を有し、
前記ツール置台は、
前記ツールが載置される際に前記脚部と係合し、前記ツールが正規状態で載置される際には移動せず、前記ツールが非正規状態で載置される際に移動する柱部及び前記柱部との距離を測定するセンサを有するフィンガー部を備え、
前記制御装置は、前記センサの測定結果に基づいて前記柱部の変位を求め、前記ロボットハンド装置による前記ツールの前記ツール置台への次の載置動作において、前記変位を打ち消すように前記ロボットハンド装置の動作を制御するツール置台システム。

【請求項2】

前記ツールは、前記脚部として、棒状であって中心軸線が互いに平行な第１脚部及び第２脚部を有し、
前記ツール置台は、前記フィンガー部として、前記第１脚部と係合する第１フィンガー部及び前記第２脚部と係合する第２フィンガー部とを備え、
前記制御装置は、前記第１フィンガー部及び前記第２フィンガー部それぞれの前記センサの測定結果に基づいて、前記ツールの前記第１脚部の軸線まわりの傾きを求め、前記ロボットハンド装置による前記ツールの前記ツール置台への次の載置動作において、前記傾きを打ち消すように前記ロボットハンド装置の動作を制御する請求項１記載のツール置台システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ツール置台システムに関する。

【背景技術】

【0002】

ツールチェンジャに備えられ、ロボットハンドによって運ばれたツールが載置されるツール置台が知られている。
特許文献１には、ロボットがツールを載置するツール置台に、イコライジング機構を介し前後左右及び上下に微動可能な可動枠体を備えたものが記載されている。
特許文献１に記載されたツール置台は、ロボットが保持したツールに多少の位置ズレ及び傾きが生じていても、イコライジング機構を介して良好にそれらを吸収し、ツールの可動枠体への載置不良を無くすことができる、とされる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平９－７６１３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたツール置台は、ロボットがツールをツール置台へ載置する際に、ツールが正規の位置及び姿勢に対して位置ずれ及び傾きを生じている場合にこれらを吸収することができる。
しかしながら、特許文献１に記載されたツール置台は、ロボットで行う次のツールの載置動作において、今回の載置動作で生じたツールの位置ずれ及び姿勢の傾きは考慮しない。

【0005】

そのため、何らかの理由で位置ずれ及び傾きが生じ、それらが徐々に大きくなると、ずれの吸収可能範囲を超えてツールとツール置台とが干渉し、いずれかが破損するなどの不具合が生じる虞がある。そのため、ツールは、ツール置台への載置が、できるだけ正規の位置及び姿勢で実行されることが望まれている。

【0006】

そこで、本発明が解決しようとする課題は、ツール及びツール置台が破損しにくいツール置台システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明は次の１）の構成を有する。
１） ツールが載置されるツール置台と、
前記ツールを把持して前記ツール置台に載置するロボットハンド装置と、
前記ロボットハンド装置の動作を制御する制御装置と、を含み構成され、
前記ツールは、突出した脚部を有し、
前記ツール置台は、
前記ツールが載置される際に前記脚部と係合し、前記ツールが正規状態で載置される際には移動せず、前記ツールが非正規状態で載置される際に移動する柱部及び前記柱部との距離を測定するセンサを有するフィンガー部を備え、
前記制御装置は、前記センサの測定結果に基づいて前記柱部の変位を求め、前記ロボットハンド装置による前記ツールの前記ツール置台への次の載置動作において、前記変位を打ち消すように前記ロボットハンド装置の動作を制御するツール置台システムである。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、ツール及びツール置台が破損しにくい、という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本発明の実施の形態に係るツール置台システムの実施例であるツール置台システム９１ＳＴを示す構成図である。

【図2】図２は、ツール置台システム９１ＳＴが含むツール置台９１と、ツール置台９１に載置するツール８１とを示す斜視図である。

【図3】図３は、ツール置台９１に設けられた第１フィンガー部２Ｌの上面図である。

【図4】図４は、第１フィンガー部２Ｌの一部を示す部分斜視図である。

【図5】図５は、柱部５４２が基準位置にあるフィンガーユニット２Ｌ２を示す上面図である。

【図6】図６は、柱部５４２が移動した位置にあるフィンガーユニット２Ｌ２を示す上面図である。

【図7】図７は、ツール置台システム９１ＳＴのブロック図である。

【図8】図８は、ツール８１が基準状態にある場合の柱部５４１～５４４，５４５～５４８の位置を示す模式的水平断面図である。

【図9】図９は、ツール８１が基準状態にない場合の柱部５４１～５４４，５４５～５４８の位置を示す模式的水平断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

（実施例１）
本発明の実施の形態に係るツール置台及びツール置台システムを、実施例のツール置台９１及びツール置台システム９１ＳＴにより説明する。

【0011】

図１は、ツール置台システム９１ＳＴを示す構成図である。
図２は、ツール置台システム９１ＳＴを構成するツール置台９１の一部と、ツール８１とを示す斜視図である。
説明の便宜上、上下左右前後の各方向を図１及び図２の矢印の方向に規定する。上下方向は鉛直方向である。左右方向をＸ軸方向とし、前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。

【0012】

図１に示されるように、ツール置台システム９１ＳＴは、ツール置台９１，ロボットハンド装置９２，及び制御装置９３を含んで構成されている。
ツール置台９１は、設置面ＦＬに設置された台座部３と、台座部３の上に取り付けられたベース１とを有する。
ベース１には、第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒが設けられている。

【0013】

ロボットハンド装置９２は、先端にクランパ９２２を有する６自由度の多関節アーム群と駆動部９２１とを備えている。アーム群の姿勢及びクランパ９２２の把持動作は、駆動部９２１によって実行される。駆動部９２１の動作は、制御装置９３によって閉ループ制御される。

【0014】

ツール８１は、平板状のツールベース８２１と、ツールベース８２１の下面８２１ａに、左右方向に離隔し下方に突出した棒状の第１脚部８２２及び第２脚部８２３を有する。この例において、第１脚部８２２及び第２脚部８２３は円柱状である。第１脚部８２２及び第２脚部８２３それぞれの中心軸線ＣＬ８Ｌ及び中心軸線ＣＬ８Ｒは、互いに平行でピッチＬｐだけ離隔している。

【0015】

ロボットハンド装置９２は、把持したツール８１を、ツール置台９１の第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒに対し上方から載置する。
詳しくは、ロボットハンド装置９２は、クランパ９２２によってツール８１を把持し、ツールベース８２１を、上方から矢印Ｄ１（図１参照）に示されるように下降させる。
ロボットハンド装置９２は、ツール８１を、第１脚部８２２及び第２脚部８２３がそれぞれ第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒに係合するように載置する。第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒに載置されたツールベース８２１は、図１に２点鎖線で示されている。

【0016】

図３は、ベース１における第１フィンガー部２Ｌの上面図である。
図２及び図３に示されるように第１フィンガー部２Ｌは、４つのフィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４を有し、第２フィンガー部２Ｒは、４つのフィンガーユニット２Ｒ１～２Ｒ４を有する。

【0017】

ベース１には、Ｘ軸方向にピッチＬｐで離隔してＺ軸方向に平行に延びる仮想軸線ＣＬ１Ｌ，ＣＬ１Ｒが設定されている。
フィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４は、ベース１の上面１ａにおいて、仮想軸線ＣＬ１Ｌのまわりに、９０°間隔で対向配置されている。
詳しくは、フィンガーユニット２Ｌ１とフィンガーユニット２Ｌ２とが左右方向に対向し、フィンガーユニット２Ｌ３とフィンガーユニット２Ｌ４とが上下方向に対向している。
フィンガーユニット２Ｒ１～２Ｒ４は、ベース１の上面１ａにおいて、仮想軸線ＣＬ１Ｒのまわりに９０°間隔で配置されている。
詳しくは、フィンガーユニット２Ｒ１とフィンガーユニット２Ｒ２とが左右方向に対向し、フィンガーユニット２Ｒ３とフィンガーユニット２Ｒ４とが上下方向に対向している。

【0018】

図２及び図３に示されるように、フィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４は、それぞれ、リニア移動体５１～５４，付勢部５５１～５５４，及びセンサ６１～６４を有する。また、フィンガーユニット２Ｒ１～２Ｒ４は、それぞれ、リニア移動体５５～５８，付勢部５５５～５５８，及びセンサ６５～６８を有する。
リニア移動体５１～５４は、それぞれレール５２１～５２８及びスライダ５３１～５３８を有する。スライダ５３１～５３８にはそれぞれ柱部５４１～５４８が取り付けられている。

【0019】

ベース１の上面１ａには、仮想軸線ＣＬ１Ｌ，ＣＬ１Ｒそれぞれと同芯に、所定外径の円柱状の基準柱１１Ｌ，１１Ｒが取り付けられている。
図２において、ツール８１のツールベース８２１から下方に突出している円柱状の第１脚部８２２及び第２脚部８２３は、外径が基準柱１１Ｌ，１１Ｒとほぼ同じとされている。第１脚部８２２及び第２脚部８２３の先端部は、先端に向かうに従って外径が小さくなるガイド部８２２ａ，８２３ａとされている。

【0020】

８個のフィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４，２Ｒ１～２Ｒ４の構造は共通である。そこで、フィンガーユニット２Ｌ２を代表として、図４も参照して詳述する。図４は、センサ６２を除くフィンガーユニット２Ｌ２，ベース１，及び基準柱１１Ｌのみを示した斜視図である。

【0021】

図２～図４に示されるように、リニア移動体５２は、ベース１の上面１ａに固定されたレール５２２と、レール５２２に係合しＸ軸方向に移動可能なスライダ５３２を有する。
スライダ５３２の右端には、仮想軸線ＣＬ１Ｌと平行に上方に延びる細板状の柱部５４２が取り付けられている。
また、スライダ５３２には、後方に延びる腕部５３２ａが取り付けられている。
ベース１の上面１ａにおいて、付勢部５５２は、リニア移動体５２の後方側に隣接して設置されている。

【0022】

付勢部５５２は、右方向に出入りするプッシュバー５５２ａと、プッシュバー５５２ａを右方に付勢する圧縮ばねなどの付勢部材とを有する。プッシュバー５５２ａは、付勢部材によって右方向に付勢され、スライダ５３２の腕部５３２ａを右方に押している。
スライダ５３２は、付勢部５５２の付勢力によって常に基準柱１１Ｌに向けて付勢されており、柱部５４２が基準柱１１Ｌに当接してそれ以上の右方への移動が規制されている。

【0023】

各フィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４，２Ｒ１～２Ｒ４において、柱部５４１～５４４，５４５～５４８が基準柱１１Ｌ，１１Ｒに当接した状態を、それぞれのフィンガーユニットにおける基準状態と称する。
また、４つのフィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４において、すべての柱部５４１～５４４が基準柱１１Ｌに当接した状態を、第１フィンガー部２Ｌにおける全基準状態と称する。同様に、４つのフィンガーユニット２Ｒ１～２Ｒ４において、すべての柱部５４５～５４８が基準柱１１Ｒに当接した状態と、第２フィンガー部２Ｒにおける全基準状態と称する。

【0024】

この構成により、図２に示されるように、第１フィンガー部２Ｌにおける４つの柱部５４１～５４４と基準柱１１Ｌとで囲まれた概ね角柱状の空間を、空間ＶＬと称する。また、第２フィンガー部２Ｒにおける４つの柱部５４５～５４８と基準柱１１Ｒとで囲まれた概ね角柱状の空間を、空間ＶＲと称する。
空間ＶＬ，ＶＲは、ロボットハンド装置９２によってツール８１が第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒに載せられる際に、第１脚部８２２，第２脚部８２３が進入する空間である。

【0025】

上述の構成に加え、図３に示されるように、センサ６２がブラケットを介してベース１の上面１ａに取り付けられている。
センサ６２は、光測距センサであって、太実線で示される光ビームＬｓ２を柱部５４２に照射して柱部５４２とセンサ６２との間のＸ軸方向の距離を測定し、測定した距離を、測定信号Ｓ２（図７参照）として制御装置９３に向け出力する。

【0026】

これにより、センサ６２から出力される測定信号Ｓ２に基づいて、柱部５４２及びスライダ５３２のＸ軸方向の移動有無と、移動距離を把握できるようになっている。

【0027】

上述の構成及び機能を有するフィンガーユニット２Ｌ１～２Ｌ４のセンサ６１～６４は、センサ６１～６４それぞれと柱部５４１～５４４との距離を測定信号Ｓ１～Ｓ４として出力する。測定信号Ｓ１～Ｓ４は、基準柱１１Ｌに対するそれぞれ右方，左方，上方,下方のセンサ６１～６４と柱部５４１～５４４との間の距離を示す。
同様に、フィンガーユニット２Ｒ１～２Ｒ４のセンサ６５～６８は、センサ６５～６８それぞれと柱部５４５～５４８との距離を測定信号Ｓ５～Ｓ８として出力する。測定信号Ｓ５～Ｓ８は、基準柱１１Ｒに対するそれぞれ右方，左方，上方，下方のセンサ６５～６８と柱部５４５～５４８との間の距離を示す。

【0028】

柱部５４１～５４８が移動した場合の移動距離の取得について、フィンガーユニット２Ｌ２を例に、図５及び図６を参照して詳述する。
図５は、柱部５４２が基準位置にある状態を示す上面図である。基準位置は、柱部５４２が基準柱１１Ｌに当接した位置である。
図６は、柱部５４２がＸ軸方向の左方に移動した状態を示す上面図である。

【0029】

図５に示されるように、柱部５４２が基準位置にあるときのセンサ６２と柱部５４２との距離を距離Ｌａとする。
また、図６に示されるように、柱部５４２が矢印Ｄ２のように左方に移動した状態でのセンサ６２と柱部５４２との距離を距離Ｌｂとする。すなわち、距離Ｌｂ＜距離Ｌａであり、柱部５４２の変位としての差分ΔＬ２は、Ｘ軸方向の左方を（－）、右方を（＋）とすると、距離Ｌｂ－距離Ｌａである。

【0030】

図７は、ツール置台システム９１ＳＴのブロック図である。
制御装置９３は、変位取得部９３１，補正情報生成部９３２，載置動作制御部９３３，及び記憶部９３４を有する。
ツール置台９１のセンサ６１～６８それぞれから出力された測定信号Ｓ１～Ｓ８は、変位取得部９３１に入力される。

【0031】

変位取得部９３１は、センサ６１～６８から入来する測定信号Ｓ１～Ｓ８それぞれから、ツール８１がツール置台９１に載置される前と載置途中とにおける、各センサ６１～６８と柱部５４１～５４８との距離をそれぞれ取得する。
例えば、変位取得部９３１は、ツール８１がツール置台９１に載置される前の時刻ｔ１に、フィンガーユニット２Ｌ２のセンサ６２からの測定信号Ｓ２から、センサ６２と柱部５４２との間の距離Ｌａ２１を把握する。
また、ロボットハンド装置９２がツール８１をツール置台９１に載置する動作中の時刻ｔ２において、変位取得部９３１は、フィンガーユニット２Ｌ２のセンサ６２からの測定信号Ｓ２から、センサ６２と柱部５４２との間の距離Ｌａ２２を把握する。
時刻ｔ２は、第１脚部８２２及び第２脚部８２３が、それぞれ第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒの空間ＶＬ及び空間ＶＲに進入して下降中の時刻である。

【0032】

次いで、変位取得部９３１は、時刻ｔ１と時刻ｔ２とにおける距離Ｌａ２１と距離Ｌａ２２との差分ΔＬ２を、（距離Ｌａ２２－距離Ｌａ２１）により求める。
差分ΔＬ２は、ツール８１をツール置台９１に載置する動作中の柱部５４２のＸ軸方向の左方への変位を示す。

【0033】

同様に、変位取得部９３１は、センサ６２以外のセンサ６１，６３～６８から入来する測定信号Ｓ１，Ｓ３～Ｓ８に基づいて、柱部５４１，５４３～５４８それぞれの変位である差分ΔＬ１，ΔＬ３～ΔＬ８を取得する。

【0034】

上述の差分ΔＬ１～ΔＬ８について、ツール８１の第１脚部８２２及び第２脚部８２３の水平方向の位置に対応した図８及び図９を参照して詳述する。
図８は、ツール８１が、その中心軸線ＣＬ８Ｌ，ＣＬ８Ｒが、それぞれツール置台の仮想軸線ＣＬ１Ｌ，ＣＬ１Ｒとほぼ合致して、第１脚部８２２及び第２脚部８２３がそれぞれ空間ＶＬ及び空間ＶＲを下降している状態を示した水平断面図である。中心軸線ＣＬ８Ｌと交わるＹ軸をＹ１軸、中心軸線ＣＬ８Ｒと交わるＹ軸を便宜的にＹ２軸としてある。

【0035】

図８に示されるように、ツール８１の中心軸線ＣＬ８Ｌ，ＣＬ８Ｒと仮想軸線ＣＬ１Ｌ，ＣＬ１Ｒとがほぼ合致している状態を、ツール８１の正規状態と称する。ツール８１が正規状態で上方からツール置台９１に載置されるとき、第１フィンガー部２Ｌ及び第２フィンガー部２Ｒは、全基準状態となっている。

【0036】

図９は、図８に示されるツール８１の正規状態に対し、ツール８１が上面視で右後方にずれた状態で第１脚部８２２及び第２脚部８２３がそれぞれ空間ＶＬ及び空間ＶＲを下降している状態を示した水平断面図である。

【0037】

図９に示されるように、変位取得部９３１は、柱部５４１～５４８の変位である差分ΔＬ１～差分ΔＬ８を、それぞれ次のように取得する。すなわち、
差分ΔＬ１＝ａ１，差分ΔＬ２＝ｂ１，差分ΔＬ３＝ｃ１，差分ΔＬ４＝ｄ１
差分ΔＬ５＝ａ２，差分ΔＬ６＝ｂ２，差分ΔＬ７＝ｃ２，差分ΔＬ８＝ｄ２
である。

【0038】

図９では、ツール８１が正規状態に対し右後方にずれていることから、第１脚部８２２は、柱部５４１，５４３を付勢部５５１，５５３（図２参照）の付勢力に抗して押して移動させる。一方、第１脚部８２２は、柱部５４２，５４４に接触せず、柱部５４２，５４４を移動させない。そのため、ｂ１及びｄ１は０（ゼロ）となる。
一方、第２脚部８２３は、柱部５４５，５４７を、付勢部５５５，５５７（図２参照）の付勢力に抗して押して移動させる。一方、第２脚部８２３は、柱部５４６，５４８に接触せず、柱部５４６，５４８を移動させない。そのため、ｂ２及びｄ２は０（ゼロ）となる。

【0039】

ツール８１において、Ｘ軸方向の変位量は第１脚部８２２の変位量Ｘａ及び第２脚部８２３の変位量Ｘｂで示され、Ｙ軸方向の変位量は、第１脚部８２２の変位量Ｙａ及び第２脚部８２３の変位量Ｙｂで示される。
Ｘａ＝ΔＬ１＋ΔＬ２、Ｘｂ＝ΔＬ５＋ΔＬ６
Ｙａ＝ΔＬ３＋ΔＬ４、Ｙｂ＝ΔＬ７＋ΔＬ８

【0040】

図９に示されるように、ツール８１において中心軸線ＣＬ８Ｌと中心軸線ＣＬ８Ｒとを直交して繋ぐ線分を線分ＬＮ８とすると、「Ｘａ＝Ｘｂ，かつＹａ＝Ｙｂ」の場合、ツール８１は、Ｘ軸に対し線分ＬＮ８は平行な状態で水平方向に変位している。
また、「Ｘａ＝Ｘｂ，かつＹａ＝Ｙｂ」ではない場合、ツール８１は、Ｘ軸に対し線分ＬＮ８が傾いて水平方向に変位している。

【0041】

図７に示される変位取得部９３１は、Ｘ軸に対する線分ＬＮ８の傾きθｙを、次式から求める。
θｙ＝ａｒｃｔａｎ〔（Ｙｂ－Ｙａ）／Ｌｐ〕
変位取得部９３１は、取得した差分ΔＬ１～差分ΔＬ８及び変位量Ｘａ，Ｘｂ，Ｙａ，Ｙｂ、並びに、傾きθｙを含む変位情報Ｊ１を出力する。

【0042】

制御装置９３の補正情報生成部９３２は、変位取得部９３１から出力された変位情報Ｊ１から、差分ΔＬ１～差分ΔＬ８で示される変位を打ち消す補正情報Ｊ２を生成する。
具体的には、Ｘ軸方向の第１脚部８２２の変位量Ｘａを打ち消す補正変位量Ｘｈと、線分ＬＮ８のＸ軸に対する傾き角度θｙを打ち消してＸ軸と平行にする傾きの補正角度θｈとを、次の（式１）（式２）によって生成し、補正情報Ｊ２として出力する。
Ｘｈ＝－Ｘａ ・・・ （式１）
θｈ＝－θｙ ・・・ （式２）

【0043】

制御装置９３の載置動作制御部９３３は、ロボットハンド装置９２の駆動部９２１の動作を制御する。
この制御は、記憶部９３４に予め記憶された、ツール８１をツール置台９１へ載置する載置プログラムによって実行される。
載置プログラムにおいて、ツール８１の正規状態における中心軸線ＣＬ８Ｌ，ＣＬ８Ｒの位置はＸＹ座標で示される。また、ツール８１を正規状態で把持するクランパ９２２の鉛直線まわりの回動角度は、中心軸線ＣＬ８ＬまわりのＸ軸に対する回動角度で示される。

【0044】

例えば、ツール８１の正規状態における第１フィンガー部２Ｌの中心軸線ＣＬ８Ｌの位置のＸＹ座標は（Ｘｋ,Ｙｋ）で設定され、クランパ９２２の（Ｘｋ，Ｙｋ）位置でのＸ軸に対する回動角度は角度θｋと設定される。
この場合、載置動作制御部９３３は、クランパ９２２が把持したツール８１を正規状態に位置させる際の座標を、補正情報生成部９３２から出力された補正情報Ｊ２に基づいて補正する。
詳しくは、補正前の正規状態のＸＹ座標（Ｘｋ，Ｙｋ）を、Ｘ座標に補正変位量Ｘｈを加算して〔（Ｘｋ＋Ｘｈ），Ｙｋ〕とする。すなわち、上記例において、正規状態の中心軸線ＣＬ８Ｌの位置のＸＹ座標（Ｘｋ，Ｙｋ）は、補正によって（式１）から、座標〔（Ｘｋ－Ｘａ），Ｙｋ〕となる。

【0045】

また、載置動作制御部９３３は、クランパ９２２が把持したツール８１を正規状態の傾きとする角度θｋを、補正情報生成部９３２から出力された補正情報Ｊ２に基づいて補正する。
詳しくは、補正前の正規状態の角度θｋを、補正角度θｈを加算して角度（θｋ＋θｈ）とする。すなわち、上記のθｈ＝－θｙとなる例において、正規状態の回動角度である角度θｋは、補正によって（式２）から、角度（θｋ－θｙ）となる。

【0046】

これにより、載置動作制御部９３３の制御によってロボットハンド装置９２が実行するツール８１のツール置台９１への載置動作において、今回の動作で生じたツール８１の水平方向のずれ（変位）及びＸ軸方向に対する傾きが、次回の載置動作で補正される。すなわち、ツール置台システム９１ＳＴは、制御装置９３が、ツール８１が載置される際のセンサ６１～６８の測定結果に基づき、ツール８１の次の載置動作において、測定結果で得られた変位或いは傾きを打ち消すようにロボットハンド装置９２の動作を制御する。同様に、次回の載置動作で生じたずれ（変位）或いはＸ軸方向に対する傾きは、次々回の載置動作で補正される。
そのため、ツール置台システム９１ＳＴにおいて、ツール８１は、常に正規状態でツール置台９１に載置される可能性が高く、ツール８１及びツール置台９１は破損しにくい。

【0047】

以上詳述した実施例は、上述の構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形した変形例としてもよい。

【0048】

柱部５４１～５４８との距離を測定するセンサ６１～６８は、非接触型について説明したが接触型であってもよい。
付勢部５５１～５５８のスライダ５３１～５３８を付勢する付勢力は、ツール８１がロボットハンド装置９２で把持されている場合の、正規状態ではない非正規状態のツール８１には抗することなく柱部５４１～５４８が押される程度に設定される。
また、付勢部５５１～５５８のスライダ５３１～５３８を付勢する付勢力は、ロボットハンド装置９２の把持が解除した状態で、非正規状態のツール８１を正規状態に移動させる力を有するように設定されていてもよい。

【0049】

ツール８１として第１脚部８２２及び第２脚部８２３を有するものを説明したが、ツール８１が一方の第１脚部８２２のみを有し、ツール置台９１及びツール置台システム９１ＳＴが、第１脚部８２２と係合する第１フィンガー部２Ｌのみを備えたものであってもよい。
この場合、制御装置９３は、ツール８１がツール置台９１に載置される際の傾きを求めるものではなく、変位量のみを求め、その変位量を打ち消すようにロボットハンド装置９２の次の載置動作を制御する。
この構成は、ツール８１の形状が傾きによらず一定の場合、或いはツール８１の傾きが載置に影響を与えない場合、などに用いることができる。

【0050】

ツール置台９１として、第１フィンガー部２Ｌが、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ対向配置された合計４つの柱部５４１～５４８を備えるものを説明したが、ツール置台９１はこの構成に限定されない。
例えば、第１脚部８２２を第１フィンガー部２Ｌへ係合させる構成において、第１脚部８２２のＸ軸方向の左方（－側）への移動のみを許容し、Ｘ軸方向の右方及びＹ軸方向の移動を例えば機械的に拘束させるようにする場合がある。この構成においては、第１フィンガー部２Ｌは、一つの柱部５４２及び柱部５４２の変位を測定するセンサ６２を有する一つのフィンガーユニット２Ｌ２のみを備えていればよい。

【符号の説明】

【0051】

１ ベース
１ａ 上面
１１Ｌ，１１Ｒ 基準柱
２Ｌ 第１フィンガー部
２Ｌ１～２Ｌ４ フィンガーユニット
２Ｒ 第２フィンガー部
２Ｒ１～２Ｒ４ フィンガーユニット
３ 台座部
５１～５８ リニア移動体
５２１～５２８ レール
５３１～５３８ スライダ
５３１ａ～５３８ａ 腕部
５４１～５４８ 柱部
５５１～５５８ 付勢部
５５１ａ～５５８ａ プッシュバー
６１～６８ センサ
８１ ツール
８２１ ツールベース
８２１ａ 下面
８２２ 第１脚部
８２２ａ ガイド部
８２３ 第２脚部
８２３ａ ガイド部
９１ ツール置台
９１ＳＴ ツール置台システム
９２ ロボットハンド装置
９２１ 駆動部
９２２ クランパ
９３ 制御装置
９３１ 変位取得部
９３２ 補正情報生成部
９３３ 載置動作制御部
９３４ 記憶部
ＣＬ１Ｌ，ＣＬ１Ｒ 仮想軸線
ＣＬ８Ｌ，ＣＬ８Ｒ 中心軸線
ＦＬ 設置面
Ｊ１ 変位情報
Ｊ２ 補正情報
Ｌａ，Ｌｂ，Ｌａ２１，Ｌａ２２ 距離
ＬＮ８ 線分
Ｌｐ ピッチ
Ｌｓ２ 光ビーム
Ｓ１～Ｓ８ 測定信号
Ｘａ，Ｘｂ，Ｙａ，Ｙｂ 変位量
Ｘｈ 補正変位量
Ｘｋ，Ｙｋ 座標
ＶＬ，ＶＲ 空間
ΔＬ１～ΔＬ８ 差分(変位)
θｈ 補正角度
θｋ 角度
θｙ 傾き角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】