特許 7468704 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-08

(45)【発行日】2024-04-16

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20240409BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240409BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551Z

H01L21/68 A

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2022569733

(86)(22)【出願日】2021-10-13

(86)【国際出願番号】 JP2021037889

(87)【国際公開番号】W WO2022130758

(87)【国際公開日】2022-06-23

【審査請求日】2023-06-07

(31)【優先権主張番号】P 2020208274

(32)【優先日】2020-12-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(72)【発明者】

【氏名】本告 陽一

【審査官】中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／０８７５７１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１７／０２９８７１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１９／２１１９３３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－０６６９３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１９４１８１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１棟に設けられた第１軌道と、
前記第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、
前記第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、前記被搬送物を移載する第１天井搬送車と、
前記第２軌道を走行して前記被搬送物を搬送すると共に、前記被搬送物を移載する第２天井搬送車と、
前記第１天井搬送車と前記第２天井搬送車との間で前記被搬送物を受け渡すための中継部と、を備え、
前記中継部は、
前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車のそれぞれから移載される前記被搬送物を一時的に保管する複数の保管部と、
前記第１軌道から延長して設けられ、前記第１天井搬送車が前記被搬送物を前記保管部に載置すると共に前記保管部から前記被搬送物を取得する第１移載軌道と、
前記第２軌道から延長して設けられ、前記第２天井搬送車が前記被搬送物を前記保管部に載置すると共に前記保管部から前記被搬送物を取得する第２移載軌道と、を有し、
前記第１移載軌道は、直線状に延在している第１往路部分と、前記第１往路部分に続く第１折返し部分と、前記第１折返し部分に続き、直線状に延在している第１復路部分と、を有し、
前記第２移載軌道は、直線状に延在している第２往路部分と、前記第２往路部分に続く第２折返し部分と、前記第２折返し部分に続き、直線状に延在している第２復路部分と、を有し、
前記第１往路部分と前記第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、前記第１復路部分と前記第２往路部分とが前記鉛直方向から見て重なっており、
前記第１往路部分を走行する前記第１天井搬送車の走行方向と前記第２復路部分を走行する前記第２天井搬送車の走行方向とが一致すると共に、前記第１復路部分を走行する前記第１天井搬送車の走行方向と前記第２往路部分を走行する前記第２天井搬送車の走行方向とが一致し、
複数の前記保管部のそれぞれは、前記第１往路部分、前記第１復路部分、前記第２往路部分及び前記第２復路部分の下方に位置し、且つ前記鉛直方向から見て前記第１往路部分及び前記第２復路部分の両側方に設けられていると共に、前記第１復路部分及び前記第２往路部分の両側方に設けられており、
前記第１往路部分を走行する前記第１天井搬送車及び前記第２復路部分を走行する前記第２天井搬送車が同一の前記保管部に前記被搬送物を移載可能であると共に、前記第１復路部分を走行する前記第１天井搬送車及び前記第２往路部分を走行する前記第２天井搬送車が同一の前記保管部に前記被搬送物を移載可能であり、
前記第１軌道は、前記第１移載軌道の前記第１往路部分に続き前記第１折返し部分と分岐すると共に前記第１復路部分と合流する、前記第２棟に設けられた第１延長軌道を有し、
前記第２軌道は、前記第２移載軌道の前記第２往路部分に続き前記第２折返し部分と分岐すると共に前記第２復路部分と合流する、前記第１棟に設けられた第２延長軌道を有し、
前記第１天井搬送車は、前記第１棟及び前記第２棟において前記被搬送物の移載が可能であり、
前記第２天井搬送車は、前記第１棟及び前記第２棟において前記被搬送物の移載が可能である、搬送システム。

【請求項2】

前記中継部は、前記第１棟、前記第２棟、又は、前記第１棟と前記第２棟との中間部のいずれかに配置されている、請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

前記第１天井搬送車は、
前記第１移載軌道において、前記第１往路部分、前記第１折返し部分及び前記第１復路部分の順に走行し、
前記第１往路部分において前記保管部に対して前記被搬送物を載置し、前記第１復路部分において前記被搬送物を前記保管部から取得し、
前記第２天井搬送車は、
前記第２移載軌道において、前記第２往路部分、前記第２折返し部分及び前記第２復路部分の順に走行し、
前記第２往路部分において前記保管部に対して前記被搬送物を載置し、前記第２復路部分において前記被搬送物を前記保管部から取得する、請求項１又は２に記載の搬送システム。

【請求項4】

前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の動作を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記第１棟での前記第１天井搬送車の稼動状況及び前記第２棟での前記第２天井搬送車の稼動状況に応じて、前記第１移載軌道又は前記第２移載軌道での前記被搬送物の移載、又は、前記第１棟又は前記第２棟への前記被搬送物の搬送を制御する、請求項１～３のいずれか一項に記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、第１棟に設けられた第１軌道と、第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第１天井搬送車と、第２軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第２天井搬送車と、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれから移載される被搬送物を中継する中継部と、を備える搬送システムが開示されている。

【0003】

上記搬送システムでは、中継部を介して、第１棟と第２棟との間で被搬送物を搬送する。中継部は、第１軌道と第２軌道との間に配置され、被搬送物を載置する載置部が第１軌道及び第２軌道に沿って２つ設けられている。第１天井搬送車と第２天井搬送車とは、中継部において、走行方向が逆向きとなっている。この構成により、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれは、走行方向の上流側において中継部に被搬送物を載置し、走行方向の下流側において中継部から被搬送物を取得する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１２－６６９３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従来の搬送システムでは、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれが中継部において被搬送物を載置できる載置部が１つであるため、載置部に被搬送物が載置されている場合には、被搬送物を載置することができない。そこで、第１軌道と第２軌道との間において、軌道が延在する方向に沿って複数の載置部を配置することも考えられる。しかし、軌道が延在する方向におけるスペースに限りがあるため、必要な数の載置部を配置することができない場合がある。

【0006】

本発明の一側面は、棟間搬送で利用される複数の保管部を適切に配置することができる搬送システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面に係る搬送システムは、第１棟に設けられた第１軌道と、第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第１天井搬送車と、第２軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第２天井搬送車と、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間で被搬送物を受け渡すための中継部と、を備え、中継部は、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれから移載される被搬送物を一時的に保管する複数の保管部と、第１軌道から延長して設けられ、第１天井搬送車が被搬送物を保管部に載置すると共に保管部から被搬送物を取得する第１移載軌道と、第２軌道から延長して設けられ、第２天井搬送車が被搬送物を保管部に載置すると共に保管部から被搬送物を取得する第２移載軌道と、を有し、第１移載軌道は、直線状に延在している第１往路部分と、第１往路部分に続く第１折返し部分と、第１折返し部分に続き、直線状に延在している第１復路部分と、を有し、第２移載軌道は、直線状に延在している第２往路部分と、第２往路部分に続く第２折返し部分と、第２折返し部分に続き、直線状に延在している第２復路部分と、を有し、第１往路部分と第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分と第２往路部分とが鉛直方向から見て重なっており、第１往路部分を走行する第１天井搬送車の走行方向と第２復路部分を走行する第２天井搬送車の走行方向とが一致すると共に、第１復路部分を走行する第１天井搬送車の走行方向と第２往路部分を走行する第２天井搬送車の走行方向とが一致し、複数の保管部のそれぞれは、第１往路部分、第１復路部分、第２往路部分及び第２復路部分の下方に位置し、且つ鉛直方向から見て第１往路部分及び第２復路部分の両側方に設けられていると共に、第１復路部分及び第２往路部分の両側方に設けられており、第１往路部分を走行する第１天井搬送車及び第２復路部分を走行する第２天井搬送車が同一の保管部に被搬送物を移載可能であると共に、第１復路部分を走行する第１天井搬送車及び第２往路部分を走行する第２天井搬送車が同一の保管部に被搬送物を移載可能である。

【0008】

本発明の一側面に係る搬送システムでは、第１往路部分と第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分と第２往路部分とが鉛直方向から見て重なっており、複数の保管部のそれぞれは、鉛直方向から見て第１往路部分及び第２復路部分の両側方に設けられていると共に、第１復路部分及び第２往路部分の両側方に設けられている。つまり、２つの軌道が鉛直方向から見て重なっているため、軌道の片側だけではなく、両側に保管部を配置することができる。そのため、搬送システムでは、軌道（第１往路部分、第２往路部分、第１復路部分、及び第２復路部分）が延在する方向に保管部を配置するスペースが少ない場合でも、軌道に直交する方向でのスペースを活用して必要な数の保管部を適切に配置することができる。

【0009】

一実施形態においては、中継部は、第１棟、第２棟、又は、第１棟と第２棟との中間部のいずれかに配置されていてもよい。この構成では、第１棟、第２棟、又は、第１棟と第２棟との中間部のいずれかにおいて、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間で被搬送物の受け渡しを行うことができる。

【0010】

一実施形態においては、第１天井搬送車は、第１移載軌道において、第１往路部分、第１折返し部分及び第１復路部分の順に走行し、第１往路部分において保管部に対して被搬送物を載置し、第１復路部分において被搬送物を保管部から取得し、第２天井搬送車は、第２移載軌道において、第２往路部分、第２折返し部分及び第２復路部分の順に走行し、第２往路部分において保管部に対して被搬送物を載置し、第２復路部分において被搬送物を保管部から取得してもよい。この構成では、第１天井搬送車が第１移載軌道を走行する過程で被搬送物を載置及び取得することができると共に、第２天井搬送車が第２移載軌道を走行する過程で被搬送物を載置及び取得することができる。

【0011】

一実施形態においては、第１軌道は、第１移載軌道の第１往路部分に続き第１折返し部分と分岐すると共に第１復路部分と合流する、第２棟に設けられた第１延長軌道を有し、第２軌道は、第２移載軌道の第２往路部分に続き第２折返し部分と分岐すると共に第２復路部分と合流する、第１棟に設けられた第２延長軌道を有し、第１天井搬送車は、第１棟及び第２棟において被搬送物の移載が可能であり、第２天井搬送車は、第１棟及び第２棟において被搬送物の移載が可能であってもよい。この構成では、例えば、保管部に被搬送物を移載することができない場合には、天井搬送車が他の棟に直接被搬送物を搬送することができる。したがって、搬送システムでは、棟間搬送の効率向上を図ることができる。

【0012】

一実施形態においては、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の動作を制御する制御装置を備え、制御装置は、第１棟での第１天井搬送車の稼動状況及び第２棟での第２天井搬送車の稼動状況に応じて、第１移載軌道又は第２移載軌道での被搬送物の移載、又は、第１棟又は第２棟への被搬送物の搬送を制御してもよい。この構成では、例えば、第１棟における第１天井搬送車の稼動率が高い場合には、第２天井搬送車が第１棟まで被搬送物を搬送することにより、第１天井搬送車が第１移載軌道まで移動する必要がない。そのため、より効率的な搬送が可能となる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一側面によれば、棟間搬送で利用される複数の保管部を適切に配置することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、第１実施形態に係る搬送システムを示す図である。

【図2】図２は、図１に示す搬送システムの第１移載軌道及び第２折移載部の平面図である。

【図3】図３は、第１移載軌道及び第２移載軌道の一部の正面図である。

【図4】図４は、第２実施形態に係る搬送システムを示す図である。

【図5】図５は、図４に示す搬送システムの第１移載軌道及び第２移載軌道の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0016】

［第１実施形態］
図１に示されるように、搬送システム１は、ＦＯＵＰ（被搬送物）３００を搬送するためのシステムである。搬送システム１は、第１軌道１０と、第２軌道２０と、中継部３０と、天井搬送車（第１天井搬送車）４０Ａ及び天井搬送車（第２天井搬送車）４０Ｂ（図２参照）と、制御装置５０（図３参照）と、を備える。

【0017】

搬送システム１は、例えば、複数の半導体処理装置（図示省略）を備える半導体製造工場に設置される。搬送システム１は、半導体製造工場において、第１棟１００と、第２棟２００と、に設置されている。第１棟１００及び第２棟２００は、半導体処理装置が設置されている建物である。搬送システム１では、第１棟１００及び第２棟２００のそれぞれにおいて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂによって半導体処理装置の装置ポートにＦＯＵＰ３００を移載する。

【0018】

第１軌道１０は、第１棟１００に設けられている。第１軌道１０は、天井搬送車４０Ａを走行させる部材であり、天井から吊り下げられている。本実施形態では、搬送システム１は、複数の系統（ベイ）を含む。搬送システム１は、ベイ内の走行路である複数のイントラベイルートと、異なるベイ間を接続する走行路であるインターベイルートと、を含む。第１軌道１０は、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道１１と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道１２と、を含む。イントラベイ軌道１１は、天井搬送車４０Ａが右回りに一方通行するように設定されている。インターベイ軌道１２も、イントラベイ軌道１１と同様に、天井搬送車４０Ａが右回りに一方通行するように設定されている。なお、第１軌道１０において、天井搬送車４０Ａが左回りに一方通行するように設定されていてもよい。

【0019】

第２軌道２０は、第２棟２００に設けられている。第２軌道２０は、天井搬送車４０Ｂを走行させる部材であり、天井から吊り下げられている。第２軌道２０は、複数のイントラベイルートのうちの一部に配置されているイントラベイ軌道２１と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道２２と、を含む。イントラベイ軌道２１は、天井搬送車４０Ｂが右回りに一方通行するように設定されている。インターベイ軌道２２も、イントラベイ軌道２１と同様に、天井搬送車４０Ｂが右回りに一方通行するように設定されている。なお、第２軌道２０において、天井搬送車４０Ｂが左回りに一方通行するように設定されていてもよい。

【0020】

図２に示されるように、中継部３０では、天井搬送車４０Ａと天井搬送車４０Ｂとの間でＦＯＵＰ３００の受け渡しが行われる。中継部３０は、第１棟１００と第２棟２００との中間部に設けられている。中継部３０は、保管棚（保管部）３１と、第１移載軌道３２と、第２移載軌道３３と、を有している。図２では、第１移載軌道３２を破線で示し、第２移載軌道３３を実線で示している。

【0021】

第１移載軌道３２は、天井搬送車４０Ａが保管棚３１にＦＯＵＰ３００を載置すると共に天井搬送車４０Ａが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する。本実施形態では、第１移載軌道３２は、２つ設けられている。第１移載軌道３２は、第１軌道１０から延長して設けられている。第１移載軌道３２は、インターベイ軌道１２に続く（接続されている）。

【0022】

図２に示されるように、第１移載軌道３２は、第１往路部分３２ａと、第１復路部分３２ｂと、第１折返し部分３２ｃと、を有している。第１往路部分３２ａは、直線状に延在している。本実施形態では、第１往路部分３２ａは、第１棟１００側から第２棟２００側に向かって延在している。第１往路部分３２ａは、天井搬送車４０Ａを第１方向Ｄ１に沿って走行させる。第１方向Ｄ１は、天井搬送車４０Ａが第１棟１００側から第２棟２００側に向かう方向である。

【0023】

第１復路部分３２ｂは、直線状に延在している。本実施形態では、第１復路部分３２ｂは、第１棟１００側から第２棟２００側に向かって延在している。第１復路部分３２ｂは、第１往路部分３２ａと平行を成している。第１復路部分３２ｂは、天井搬送車４０Ａを第１方向Ｄ１と反対の第２方向Ｄ２に沿って走行させる。第２方向Ｄ２は、天井搬送車４０Ａが第２棟２００側から第１棟１００側へ向かう方向である。

【0024】

第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに続く（接続されている）。第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａの第２棟２００側の端部と第１復路部分３２ｂの第２棟２００側の端部とを接続する。第１折返し部分３２ｃは、天井搬送車４０Ａの走行方向を折り返させる（方向転換させる）。本実施形態では、第１折返し部分３２ｃは、天井搬送車４０Ａの走行方向を第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に折り返させる。第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに直交するように延在している直線部分と、直線部分と第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂのそれぞれとを接続する湾曲形状の接続部分とを含む。なお、第１折返し部分３２ｃは、全体的に湾曲形状であってもよい。

【0025】

第２移載軌道３３は、天井搬送車４０Ｂが保管棚３１にＦＯＵＰ３００を載置すると共に天井搬送車４０Ｂが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する。本実施形態では、第２移載軌道３３は、２つ設けられている。第２移載軌道３３は、第２軌道２０から延長して設けられている。第２移載軌道３３は、インターベイ軌道２２に続く（接続されている）。

【0026】

第２移載軌道３３は、第２往路部分３３ａと、第２復路部分３３ｂと、第２折返し部分３３ｃと、を有している。第２往路部分３３ａは、直線状に延在している。本実施形態では、第２往路部分３３ａは、第２棟２００側から第１棟１００側に向かって延在している。第２往路部分３３ａは、天井搬送車４０Ｂを第２方向Ｄ２に沿って走行させる。

【0027】

第２復路部分３３ｂは、直線状に延在している。本実施形態では、第２復路部分３３ｂは、第２棟２００側から第１棟１００側に向かって延在している。第２復路部分３３ｂは、第２往路部分３３ａと平行を成している。第２復路部分３３ｂは、天井搬送車４０Ｂを第１方向Ｄ１に沿って走行させる。

【0028】

第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに続く（接続されている）。第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａの第１棟１００側の端部と第２復路部分３３ｂの第１棟１００側の端部とを接続する。第２折返し部分３３ｃは、天井搬送車４０Ｂの走行方向を折り返させる。本実施形態では、第２折返し部分３３ｃは、天井搬送車４０Ｂの走行方向を第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１に折り返させる。第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに直交するように延在している直線部分と、直線部分と第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂのそれぞれとを接続する湾曲形状の接続部分とを含む。なお、第２折返し部分３３ｃは、全体的に湾曲形状であってもよい。

【0029】

第１往路部分３２ａと第２復路部分３３ｂとは、鉛直方向から見て、重なっている。第１復路部分３２ｂと第２往路部分３３ａとは、鉛直方向から見て、重なっている。第１移載軌道３２と第２移載軌道３３とは、鉛直方向から見て閉じた領域を形成するように配置されている。第１移載軌道３２の第１折返し部分３２ｃ（直線部分）と第２移載軌道３３の第２折返し部分３３ｃ（直線部分）とは、鉛直方向から見て対向して配置されている。

【0030】

図３に示されるように、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂと、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂとは、上下方向において異なる高さ位置に配置されている。第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂは、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂの下方に位置している。言い換えれば、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂは、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂの上方に位置している。

【0031】

保管棚３１には、ＦＯＵＰ３００が載置される。複数の保管棚３１は、ＦＯＵＰ３００を支持する。保管棚３１は、例えば、天井から吊り下げられている。保管棚３１は、ＯＨＢ（Overhead Buffer）であり得る。保管棚３１上の領域は、その上にＦＯＵＰ３００を載置可能である。保管棚３１の当該領域は、第１軌道１０及び第２軌道２０において停止した天井搬送車４０Ａ，４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な一時保管領域である。保管棚３１は、１つのＦＯＵＰ３００が載置される構成であってもよいし、複数のＦＯＵＰ３００が載置される構成であってもよい。

【0032】

複数の保管棚３１は、複数の保管棚３１ａ，３１ｂを含む。図２又は図３に示されるように、複数の保管棚３１ａは、第１往路部分３２ａを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２復路部分３３ｂを走行する天井搬送車４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な位置に配置されている。複数の保管棚３１ｂは、第１復路部分３２ｂを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２往路部分３３ａを走行する天井搬送車４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な位置に配置されている。

【0033】

具体的には、複数の保管棚３１のそれぞれは、第１往路部分３２ａ、第１復路部分３２ｂ、第２復路部分３３ｂ及び第２復路部分３３ｂの下方に位置し、且つ鉛直方向から見て第１往路部分３２ａ分及び第２復路部分３３ｂの両側方に設けられていると共に、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａの両側方に設けられている。すなわち、保管棚３１ａは、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、鉛直方向から見て、第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂを挟む位置に一対配置されている。同様に、保管棚３１ｂは、鉛直方向から見て、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａを挟む位置に一対配置されている。

【0034】

図２に示されるように、複数の保管棚３１は、第１往路部分３２ａ、第１復路部分３２ｂ、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに沿って配置されている。本実施形態では、６個の保管棚３１が配置されている。複数の保管棚３１では、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの走行方向に対するＦＯＵＰ３００の方向が一定である。

【0035】

天井搬送車４０Ａ，４０Ｂには、例えば、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）等が含まれる。ＦＯＵＰ３００は、半導体ウェハを格納する容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）である。

【0036】

図３に示されるように、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、把持部４１と、昇降機構４２と、移動機構４３と、を有している。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、制御装置５０と通信可能である送受信部４４を有している。

【0037】

把持部４１は、ＦＯＵＰ３００を把持及び解放する装置である。把持部４１は、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持可能である。把持部４１は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する際に、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持する。把持部４１は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが保管棚３１へＦＯＵＰ３００を載置する際に、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を解放する。

【0038】

昇降機構４２は、把持部４１を鉛直方向に昇降させる装置である。昇降機構４２は、把持部４１を鉛直方向に昇降可能である。昇降機構４２は、巻上機構４２ａと、ベルト４２ｂと、を有している。巻上機構４２ａは、移動機構４３によって保持されている。巻上機構４２ａは、ベルト４２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろす装置である。巻上機構４２ａは、ベルト４２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろし可能である。ベルト４２ｂは、巻上機構４２ａから垂下され、その下端において把持部４１を保持している。昇降機構４２は、把持部４１によって把持されたＦＯＵＰ３００が保管棚３１に達するだけの距離を巻上げ及び巻下ろし可能である。

【0039】

移動機構４３は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂから両方の側方に対して把持部４１及び昇降機構４２を移動させる装置である。すなわち、移動機構４３は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂから、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの進行方向に対し垂直な水平方向に対して把持部４１及び昇降機構４２を移動可能である。移動機構４３は、把持部４１及び昇降機構４２を、保管棚３１のそれぞれの上方に移動可能である。把持部４１によってＦＯＵＰ３００が把持されている場合、移動機構４３は、当該ＦＯＵＰ３００を保管棚３１の鉛直方向上方に対して移動可能である。

【0040】

図２に示されるように、第１往路部分３２ａを走行する天井搬送車４０Ａと第２復路部分３３ｂを走行する天井搬送車４０Ｂとは、走行方向が第１方向Ｄ１で一致する。第１復路部分３２ｂを走行する天井搬送車４０Ａと第２往路部分３３ａを走行する天井搬送車４０Ｂとは、走行方向が第２方向Ｄ２で一致する。

【0041】

第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３のそれぞれにおいて停止した天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１に対して、ＦＯＵＰ３００を移載することができる。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、同一の保管棚３１に対してＦＯＵＰ３００を移載可能である。すなわち、第１移載軌道３２における天井搬送車４０Ａ及び第２移載軌道３３における天井搬送車４０Ｂのいずれにおいても、保管棚３１との間でＦＯＵＰ３００の受け渡し（移載）が可能とされている。

【0042】

天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、把持部４１がＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持している状態から、移動機構４３を動作させてＦＯＵＰ３００を保管棚３１のそれぞれの上方に移動させる。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、巻上機構４２ａを動作させてベルト４２ｂを巻下ろし、ＦＯＵＰ３００を降下させ保管棚３１上に載置する。以上により、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１へＦＯＵＰ３００を移載（載置）する。

【0043】

また、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１上に載置された状態のＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持部４１により把持する。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、巻上機構４２ａを動作させてベルト４２ｂを巻上げ、ＦＯＵＰ３００を上昇させる。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、移動機構４３を動作させてＦＯＵＰ３００を移動させる。以上により、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１からＦＯＵＰ３００を移載（取得）する。

【0044】

送受信部４４は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの所定位置に配置されている。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの送受信部４４は、制御装置５０と通信可能である。送受信部４４と制御装置５０とは、例えば、第１軌道１０又は第２軌道に沿って敷設されたフィーダー線（図示省略）を介して互いに通信する。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、送受信部４４で受信した搬送指令に基づいてＦＯＵＰ３００を搬送する。

【0045】

制御装置５０は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの動作を制御する。制御装置５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ(Random Access Memory)等によって構成された電子制御ユニットである。制御装置５０は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂに搬送指令を送信する。

【0046】

続いて、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂの動作について説明する。図２に示されるように、天井搬送車４０Ａは、第１棟１００のイントラベイルートにおいて取得したＦＯＵＰ３００を第１移載軌道３２まで搬送すると、第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に第１移載軌道３２を走行する。天井搬送車４０Ａは、第１往路部分３２ａにおいて、空いている保管棚３１ａの位置で停止し、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａに載置する。天井搬送車４０Ａは、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａに載置した後、第１折返し部分３２ｃを走行して走行方向を第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に方向転換する。天井搬送車４０Ａは、第１復路部分３２ｂまで走行して所定位置で停止し、保管棚３１ｂからＦＯＵＰ３００を取得する。天井搬送車４０Ａは、取得したＦＯＵＰ３００を第１棟１００に搬送する。

【0047】

天井搬送車４０Ｂは、第２棟２００のイントラベイルートにおいて取得したＦＯＵＰ３００を第２移載軌道３３まで搬送すると、第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に第２移載軌道３３を走行する。天井搬送車４０Ｂは、第２往路部分３３ａにおいて、空いている保管棚３１ｂの位置で停止し、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂに載置する。天井搬送車４０Ｂは、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂに載置した後、第２折返し部分３３ｃを走行して走行方向を第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１に方向転換する。天井搬送車４０Ｂは、第２復路部分３３ｂまで走行して所定位置で停止し、保管棚３１ａからＦＯＵＰ３００を取得する。天井搬送車４０Ｂは、取得したＦＯＵＰ３００を第２棟２００に搬送する。

【0048】

以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１では、中継部３０において、第１往路部分３２ａと第２復路部分３３ｂとが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分３２ｂと第２往路部分３３ａとが鉛直方向から見て重なっている。複数の保管棚３１のそれぞれは、鉛直方向から見て第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂの両側方に設けられていると共に、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａの両側方に設けられている。つまり、２つの軌道が鉛直方向から見て重なっているため、軌道の片側だけではなく、両側に保管棚３１を配置することができる。そのため、搬送システム１では、軌道（第１往路部分３２ａ、第２往路部分３３ａ、第１復路部分３３ｂ、及び第２復路部分３３ｂ）が延在する方向に保管棚３１を配置するスペースが少ない場合でも、軌道に直交する方向でのスペースを活用して必要な数の保管棚３１を適切に配置することができる。

【0049】

本実施形態に係る搬送システム１では、中継部３０は、第１棟１００と第２棟２００トの中間部に設けられている。この構成では、第１棟１００内及び第２棟２００内のそれぞれにおいて中継部３０を設置するスペースを設ける必要がない。したがって、第１棟１００内及び第２棟２００内のスペースを有効に活用することができる。

【0050】

本実施形態に係る搬送システム１では、天井搬送車４０Ａは、第１移載軌道３２において、第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ａは、第１往路部分３２ａにおいて保管棚３１ａに対してＦＯＵＰ３００を載置し、第１復路部分３２ｂにおいてＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂから取得する。天井搬送車４０Ｂは、第２移載軌道３３において、第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ｂは、第２往路部分３３ａにおいて保管棚３１ｂに対してＦＯＵＰ３００を載置し、第２復路部分３３ｂにおいてＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａから取得する。この構成では、天井搬送車４０Ａが第１移載軌道３２を走行する過程でＦＯＵＰ３００を載置及び取得することができると共に、天井搬送車４０Ｂが第２移載軌道３３を走行する過程でＦＯＵＰ３００を載置及び取得することができる。

【0051】

［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図４及び図５に示されるように、搬送システム１Ａは、第１軌道１０Ａと、第２軌道２０Ａと、中継部３０と、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂと、制御装置５０（図３参照）と、を備える。

【0052】

第１軌道１０Ａは、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａに続き（接続されて）第１折返し部分３２ｃと分岐すると共に第１復路部分３２ｂと合流する、第２棟２００に設けられた第１延長軌道１３を有している。第１延長軌道１３は、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに続き（接続されて）第１棟１００側から第２棟２００側に向かって直線状に延在し、第２棟２００内に設けられている。第１延長軌道１３は、第２棟２００内において、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道と、を含む。天井搬送車４０Ａは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。天井搬送車４０Ａは、基本的に、第１棟１００においてＦＯＵＰ３００を搬送する。

【0053】

第２軌道２０Ａは、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａに続き（接続されて）第２折返し部分３３ｃと分岐すると共に第２復路部分３３ｂと合流する、第１棟１００に設けられた第２延長軌道２３を有している。第２延長軌道２３は、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに続き（接続されて）第２棟２００側から第１棟１００側に向かって直線状に延在し、第１棟１００内に設けられている。第２延長軌道２３は、第１棟１００内において、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道と、を含む。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。天井搬送車４０Ｂは、基本的に、第２棟２００においてＦＯＵＰ３００を搬送する。

【0054】

搬送システム１Ａでは、中継部３０において、保管棚３１を介して、天井搬送車４０Ａと天井搬送車４０Ｂとの間においてＦＯＵＰ３００の受け渡しができる。

【0055】

続いて、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂの動作について説明する。天井搬送車４０Ａは、中継部３０の保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載する際には、第１移載軌道３２を第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ａは、第２棟２００にＦＯＵＰ３００を搬送する際には、第２棟２００に向かうときに第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａを通過して第１延長軌道１３に乗り入れる。天井搬送車４０Ａは、第２棟２００から第１棟１００に戻るときには、第１延長軌道１３から第１移載軌道３２の第１復路部分３２ｂに乗り入れる。

【0056】

天井搬送車４０Ｂは、保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載する際には、第２移載軌道３３を第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００にＦＯＵＰ３００を搬送する際には、第１棟１００に向かうときに第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａを通過して第２延長軌道２３に乗り入れる。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００から第２棟２００に戻るときには、第２延長軌道２３から第２移載軌道３３の第２復路部分３３ｂに乗り入れる。

【0057】

搬送システム１Ａでは、制御装置５０は、第１棟１００での天井搬送車４０Ａの稼動状況及び第２棟２００での天井搬送車４０Ｂの稼動状況に応じて、第１移載軌道３２又は第２移載軌道３３でのＦＯＵＰ３００の移載、又は、第１棟１００又は第２棟２００へのＦＯＵＰ３００の搬送を制御する。稼動状況とは、第１棟１００及び第２棟２００における天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの稼動台数、稼動率、稼動台数の比率等である。

【0058】

制御装置５０は、例えば、第１棟１００において、天井搬送車４０Ａの稼動台数が規定数に達している場合には、天井搬送車４０Ｂに対して、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１に移載する搬送要求を送信する。制御装置５０は、例えば、第１棟１００において、天井搬送車４０Ａの稼動台数が規定数に達していない場合には、天井搬送車４０Ｂに対して、第１棟１００までＦＯＵＰ３００を搬送する搬送要求を送信する。

【0059】

以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１Ａでは、天井搬送車４０Ａは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能であり、天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。これにより、搬送システム１Ａでは、例えば、保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載することができない場合には、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが他の棟に直接ＦＯＵＰ３００を搬送することができる。したがって、搬送システム１Ａでは、棟間搬送の効率向上を図ることができる。

【0060】

本実施形態に係る搬送システム１Ａでは、制御装置５０は、第１棟１００での天井搬送車４０Ａの稼動状況及び第２棟２００での天井搬送車４０Ｂの稼動状況に応じて、第１移載軌道３２又は第２移載軌道３３でのＦＯＵＰ３００の移載、又は、第１棟１００又は第２棟２００へのＦＯＵＰ３００の搬送を制御する。この構成では、例えば、第１棟１００における天井搬送車４０Ａの稼動率が高い場合には、天井搬送車４０Ｂが第１棟１００までＦＯＵＰ３００を搬送することにより、第１棟１００内の天井搬送車の台数が増える。そのため、第１棟１００において、より効率的な搬送が可能となる。

【0061】

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0062】

上記実施形態では、第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３が第１棟１００と第２棟２００との間に設けられている形態を一例に説明した。しかし、第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３は、第１棟１００内又は第２棟２００内に設けられていてもよい。

【0063】

上記実施形態では、保管棚３１が、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂ、及び、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａを挟んで対向して一対配置されている形態を一例に説明した。しかし、保管棚３１は、例えば、千鳥状に配置されていてもよい。

【0064】

上記実施形態では、保管棚３１が、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、対向して配置されている複数の保管棚３１の個数が同じである形態を一例に説明した。しかし、保管棚３１の個数は一致していなくてもよく、設計に応じて適宜設定されればよい。

【0065】

上記実施形態では、被搬送物がＦＯＵＰ３００である形態を一例に説明した。しかし、被搬送物は、例えば、ガラス基板を格納する容器、レチクルポッド、ＦＯＳＢ，ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、一般部品等であってもよい。

【0066】

上記実施形態では、搬送システム１が半導体製造工場に設置される形態を一例に説明した。しかし、搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。

【符号の説明】

【0067】

１，１Ａ…搬送システム、１０，１０Ａ…第１軌道、１３…第１延長軌道、２０，２０Ａ…第２軌道、２３…第２延長軌道、３０…中継部、３１，３１ａ，３１ｂ…保管棚（保管部）、３２…第１移載軌道、３２ａ…第１往路部分、３２ｂ…第１復路部分、３２ｃ…第１折返し部分、３３…第２移載軌道、３３ａ…第２往路部分、３３ｂ…第２復路部分、３３ｃ…第２折返し部分、４０Ａ…天井搬送車（第１天井搬送車）、４０Ｂ…天井搬送車（第２天井搬送車）、５０…制御装置、１００…第１棟、２００…第２棟、３００…ＦＯＵＰ（被搬送物）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】