特許 7469089 マスフローコントローラおよび流量制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-08

(45)【発行日】2024-04-16

(54)【発明の名称】マスフローコントローラおよび流量制御方法

(51)【国際特許分類】

   G05D 7/06 20060101AFI20240409BHJP

【ＦＩ】

G05D7/06 Z

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020048718

(22)【出願日】2020-03-19

(65)【公開番号】P2021149502

(43)【公開日】2021-09-27

【審査請求日】2022-12-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100064621

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 政樹

(72)【発明者】

【氏名】柳川 雄成

(72)【発明者】

【氏名】長谷部 亘

【審査官】影山 直洋

(56)【参考文献】

【文献】特表２００９－５４３２２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０１３４６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０４１１４９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｄ ７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流路を流れる流体の流量を計測するように構成されたフローセンサと、
前記流体の流量を制御するためのバルブと、
操作量に応じた駆動電流を前記バルブに出力するように構成されたバルブ駆動回路と、
流量設定値と前記フローセンサによって得られた流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出するように構成されたＰＩＤ制御部と、
前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出するように構成された操作量生成部と、
１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記操作量生成部によって算出された第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記ＰＩＤ制御部によって算出された第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力するように構成された操作量出力部とを備えることを特徴とするマスフローコントローラ。

【請求項2】

流路を流れる流体の流量を計測するように構成されたフローセンサと、
前記流体の流量を制御するためのバルブと、
操作量に応じた駆動電流を前記バルブに出力するように構成されたバルブ駆動回路と、
流量設定値と前記フローセンサによって得られた流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出するように構成されたＰＩＤ制御部と、
前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出するように構成された操作量生成部と、
前記ＰＩＤ制御部によって算出された第１の操作量および前記操作量生成部によって算出された第２の操作量のうちいずれかを選択的に前記バルブ駆動回路に出力するように構成された操作量出力部とを備え、
前記操作量出力部は、予め設定された第１のモードの場合は、前記流量計測値が所定の流量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値が前記流量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された第２のモードの場合は、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された通常モードの場合は、前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力することを特徴とするマスフローコントローラ。

【請求項3】

流量設定値と制御対象の流体の流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出する第１のステップと、
前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出する第２のステップと、
１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに、前記流体の流量を制御するためのバルブを駆動するバルブ駆動回路に前記第２の操作量を出力する第３のステップと、
前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力する第４のステップとを含むことを特徴とする流量制御方法。

【請求項4】

流量設定値と制御対象の流体の流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出する第１のステップと、
前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出する第２のステップと、
前記第１の操作量および前記第２の操作量のうちいずれかを、前記流体の流量を制御するためのバルブを駆動するバルブ駆動回路に出力する第３のステップとを含み、
前記第３のステップは、予め設定された第１のモードの場合は、前記流量計測値が所定の流量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値が前記流量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された第２のモードの場合は、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された通常モードの場合は、前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力するステップを含むことを特徴とする流量制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マスフローコントローラに関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来より、流体の流量を制御するマスフローコントローラが製品化されている（例えば特許文献１参照）。マスフローコントローラは、フローセンサによって検出した流体の流量と設定流量とを比較演算して、その結果に基づいてバルブに駆動電流を出力することにより、流量制御を行う。このようなマスフローコントローラでは、バルブを制御して流量を制御する場合に、低流量を目標値とした場合の立ち上がり時間がバルブの特性の個体差により大きくばらつくことがある（バルブの駆動電流Ｉと流量Ｑとの関係を示すＩ－Ｑ特性のばらつき）。

【0003】

低流量域での応答性を改善する方法として、以下の（I）、（II）の２とおりの方法が知られている。

【0004】

（I）一般に低流量域ではＩ－Ｑ特性の比例幅が大きく、中流量域および高流量域ではＩ－Ｑ特性の比例幅が小さくなる。そこで、一部のマスフローコントローラでは、低流量域でＰＩＤ制御を行う場合に３つのＰＩＤ定数（比例係数Ｋｐ、積分時間Ｔｉ、微分時間Ｔｄ）のうち比例係数Ｋｐを大きくし積分時間Ｔｉを小さくして流量Ｑの立ち上がり時間を短くし、流量Ｑが一定値に達すると、通常のＰＩＤ定数での制御を行うようにしていた。

【0005】

（II）特許文献１に開示されたマスフローコントローラでは、制御モデルを用いて動的に制御パラメータを調節するようにしていた。

【0006】

上記の（I）の方法では、低流量域で用いるＰＩＤ定数をあらかじめ与えておく必要があり、バルブの個体差により低流量域での応答性を改善できない可能性があった。
上記の（II）の方法では、モデルを用いて最適な制御パラメータを求めているため、処理が複雑で、処理時間やプログラムサイズが増大するという課題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特表２０１８－５２８５５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、簡単な実装でバルブの個体差による低流量域での応答性を改善することができるマスフローコントローラおよび流量制御方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

また、本発明のマスフローコントローラは、流路を流れる流体の流量を計測するように構成されたフローセンサと、前記流体の流量を制御するためのバルブと、操作量に応じた駆動電流を前記バルブに出力するように構成されたバルブ駆動回路と、流量設定値と前記フローセンサによって得られた流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出するように構成されたＰＩＤ制御部と、前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出するように構成された操作量生成部と、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記操作量生成部によって算出された第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記ＰＩＤ制御部によって算出された第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力するように構成された操作量出力部とを備えることを特徴とするものである。

【0011】

また、本発明のマスフローコントローラは、流路を流れる流体の流量を計測するように構成されたフローセンサと、前記流体の流量を制御するためのバルブと、操作量に応じた駆動電流を前記バルブに出力するように構成されたバルブ駆動回路と、流量設定値と前記フローセンサによって得られた流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出するように構成されたＰＩＤ制御部と、前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出するように構成された操作量生成部と、前記ＰＩＤ制御部によって算出された第１の操作量および前記操作量生成部によって算出された第２の操作量のうちいずれかを選択的に前記バルブ駆動回路に出力するように構成された操作量出力部とを備え、前記操作量出力部は、予め設定された第１のモードの場合は、前記流量計測値が所定の流量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値が前記流量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された第２のモードの場合は、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された通常モードの場合は、前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力することを特徴とするものである。

【0013】

また、本発明の流量制御方法は、流量設定値と制御対象の流体の流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出する第１のステップと、前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出する第２のステップと、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに、前記流体の流量を制御するためのバルブを駆動するバルブ駆動回路に前記第２の操作量を出力する第３のステップと、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力する第４のステップとを含むことを特徴とするものである。

【0014】

また、本発明の流量制御方法は、流量設定値と制御対象の流体の流量計測値とを入力として第１の操作量を制御周期毎に算出する第１のステップと、前記流量設定値が０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する第２の操作量を制御周期毎に算出する第２のステップと、前記第１の操作量および前記第２の操作量のうちいずれかを、前記流体の流量を制御するためのバルブを駆動するバルブ駆動回路に出力する第３のステップとを含み、前記第３のステップは、予め設定された第１のモードの場合は、前記流量計測値が所定の流量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値が前記流量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された第２のモードの場合は、１制御周期あたりの前記流量計測値の変化量が所定の変化量閾値以下のときに前記第２の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、前記流量計測値の変化量が前記変化量閾値を超えた時点以降において前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力し、予め設定された通常モードの場合は、前記第１の操作量を前記バルブ駆動回路に出力するステップを含むことを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、操作量生成部と操作量出力部とを設けることにより、バルブの全閉状態からの流量計測値の立ち上がり時間を短くすることができ、簡単な実装でバルブの個体差による低流量域での応答性を改善することができる。

【0016】

また、本発明では、動作モードと流量計測値に応じて第１の操作量および第２の操作量のうちいずれかを選択的にバルブ駆動回路に出力することにより、バルブの特性に適した動作モードを選択することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、マスフローコントローラのＩ－Ｑ特性の１例を示す図である。

【図2】図２は、流量の時間変化のシミュレーション結果の１例を示す図である。

【図3】図３は、本発明の実施例に係るマスフローコントローラの構成を示すブロック図である。

【図4】図４は、本発明の実施例に係るマスフローコントローラのＰＩＤ制御部と操作量生成部と操作量出力部の動作を説明するフローチャートである。

【図5】図５は、本発明の実施例の第１の迅速モードにおける流量計測値の時間変化の１例を示す図である。

【図6】図６は、本発明の実施例の第２の迅速モードにおける流量計測値の時間変化の１例を示す図である。

【図7】図７は、本発明の実施例に係るマスフローコントローラを実現するコンピュータの構成例を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

［マスフローコントローラの低流量域での応答性］
マスフローコントローラの低流量域での応答性の問題は、バルブの個体差により低流量域でのＩ－Ｑ特性（Ｉはバルブの駆動電流、Ｑは流量）がバルブ個体により大きく異なることに由来する。この問題について更に詳細に説明する。

【0019】

図１はマスフローコントローラのＩ－Ｑ特性の１例を示す図である。図１のＡ，Ｂはそれぞれ異なるバルブのＩ－Ｑ特性を示している。図１に示すように、バルブの駆動電流Ｉに対して流量Ｑが緩い立ち上がりを示すが、この立ち上がり時間がバルブの個体差により大きくばらつく。例えば図１のＢの特性で示すバルブを用いた場合、低流量域（１０％ＦＳ以下）でのＩ－Ｑの感度が低い（Ｉ－Ｑ特性の傾きが緩い）ため、図１のＡの特性で示すバルブを用いた場合よりも流量Ｑの立ち上がり時間が長くなる。バルブの個体差は、バルブの機構部のばらつきによるものと推測される。

【0020】

低流量域での応答性が仕様を満たせない場合には、バルブの選別を行うか、低流量域での応答性の仕様を変更する必要があるが、本発明では、このようなバルブの選別や仕様の変更を行うことなく、低流量域での応答性を改善する。

【0021】

なお、低流量域での流量Ｑの立ち上がり特性が規定を満足するようなバルブ特性はＰＩＤシミュレーションにより求めることができる。ＰＩＤシミュレーションにより求めた流量Ｑの変化は例えば図２のようになる。図２の横軸のＴは時間である。低流量域での流量Ｑの立ち上がり特性が規定を満足すること、すなわち流量Ｑの立ち上がり時間がΔＴ以内となることの条件は、時刻０からΔＴ経過したときの流量Ｑの変化がΔＱ以上であることである。

【0022】

［実施例］
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図３は本発明の実施例に係るマスフローコントローラの構成を示すブロック図である。マスフローコントローラは、例えば樹脂製の流路ボディ１と、流路ボディ１に装着されたセンサパッケージ２と、流体の流量を制御するための比例ソレノイドバルブ３と、流量設定値ＳＰと流量計測値Ｑとを入力として操作量ＭＶ（第１の操作量）を制御周期毎に算出するＰＩＤ制御部４と、流量設定値ＳＰが０から変更された場合に変更時点からの経過時間に比例して増加する操作量ＭＶ（第２の操作量）を制御周期毎に算出する操作量生成部５と、ＰＩＤ制御部４によって算出された操作量ＭＶおよび操作量生成部５によって算出された操作量ＭＶのうちいずれかを選択的に出力する操作量出力部６と、比例ソレノイドバルブ３を駆動するバルブ駆動回路７とを備えている。

【0023】

図１において、１０は流路ボディ１の内部に形成された流路、１１は流路１０の入口側の開口、１２は流路１０の出口側の開口、１３はセンサパッケージ２に搭載されたフローセンサである。

【0024】

流体は、開口１１から流路１０に流入して比例ソレノイドバルブ３を通過し、開口１２から排出される。このとき、フローセンサ１３は流体の流量Ｑを計測する。フローセンサ１３は、センサパッケージ２に搭載され、計測対象の流体に晒されるように流路ボディ１に装着される。

【0025】

以下、本実施例の特徴的な動作について説明する。図４はＰＩＤ制御部４と操作量生成部５と操作量出力部６の動作を説明するフローチャートである。

【0026】

ＰＩＤ制御部４は、流量計測値Ｑをフローセンサ１３から取得する（図４ステップＳ１００）。そして、ＰＩＤ制御部４は、例えばオペレータによって設定された流量設定値ＳＰとステップＳ１００で取得した流量計測値Ｑとを入力として、流量計測値Ｑが流量設定値ＳＰと一致するようにＰＩＤ演算を行って操作量ＭＶを算出する（図４ステップＳ１０１）。

【0027】

操作量出力部６は、後述する第１の迅速モード、第２の迅速モードのいずれでもなく、通常モードの場合（図４ステップＳ１０２，Ｓ１０３においてＮＯ）、ＰＩＤ制御部４によって算出された操作量ＭＶをバルブ駆動回路７に出力する（図４ステップＳ１０４）。
バルブ駆動回路７は、操作量出力部６から出力された操作量ＭＶに応じて比例ソレノイドバルブ３にバルブ駆動電流（ソレノイド電流）Ｉを出力する。こうして、比例ソレノイドバルブ３は、操作量ＭＶに応じた開度となるように制御される。

【0028】

マスフローコントローラは、例えばオペレータによって装置の動作終了が指示されるまで（図４ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、ステップＳ１００～Ｓ１０４の処理を制御周期毎に実行する。

【0029】

以上の通常モードは一般的なＰＩＤ制御を常時行う動作モードである。これに対して、本実施例では、流量Ｑの立ち上がり特性を改善するために、通常モードとは別に２つの動作モードを備えている。

【0030】

操作量生成部５は、例えばオペレータによって第１の迅速モードに設定され（図４ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、流量設定値ＳＰが０（比例ソレノイドバルブ３が全閉）から変更された場合、流量設定値ＳＰの変更時点からの経過時間に比例して増加する操作量ＭＶを算出する（図４ステップＳ１０６）。このとき、操作量ＭＶの増加率は、ＰＩＤ制御の場合よりも流量Ｑの立ち上がりが早くなるように設定されている。

【0031】

操作量出力部６は、第１の迅速モードに設定されている場合で、かつ流量計測値Ｑが所定の流量閾値Ｑｔｈ（例えば０．１ＦＳ）以下のとき（図４ステップＳ１０７においてＹＥＳ）、操作量生成部５によって算出された操作量ＭＶをバルブ駆動回路７に出力する（図４ステップＳ１０８）。
こうして、第１の迅速モードでは、流量計測値Ｑが流量閾値Ｑｔｈを超えるまでステップＳ１００～Ｓ１０２，Ｓ１０６～Ｓ１０８の処理が制御周期毎に実行される。

【0032】

操作量出力部６は、流量計測値Ｑが流量閾値Ｑｔｈを超えると（ステップＳ１０７においてＮＯ）、ＰＩＤ制御部４によって算出された操作量ＭＶをバルブ駆動回路７に出力する（図４ステップＳ１０９）。
こうして、第１の迅速モードでは、流量計測値Ｑが流量閾値Ｑｔｈを超えると通常のＰＩＤ制御が開始される。

【0033】

比例ソレノイドバルブ３の全閉状態から流量設定値ＳＰが変更され流量制御が開始された場合、比例ソレノイドバルブ３が開となるためには、ある値以上のバルブ駆動電流（このときの値をバルブ開電流と呼ぶ）が流れる必要がある。したがって、通常のＰＩＤ制御を全閉状態から始めるとバルブ開電流に達するまでに時間がかかる。

【0034】

一方、本実施例の第１の迅速モードでは、ＰＩＤ制御による無駄時間を削減するためにバルブ駆動電流（操作量ＭＶ）を急速に立ち上げて、流量計測値Ｑが流量閾値Ｑｔｈを超えた時点以降にＰＩＤ制御を開始する。図５は第１の迅速モードにおける流量計測値Ｑの時間変化の１例を示す図である。図５の例では、時刻０において流量設定値ＳＰが０より大きい値に変更され、時刻０からの経過時間に比例して増加する操作量ＭＶの出力によって流量計測値Ｑが増加する。そして、流量計測値Ｑが流量閾値Ｑｔｈを超えたＴ１の時点でＰＩＤ制御が開始される。

【0035】

次に、操作量生成部５は、例えばオペレータによって第２の迅速モードに設定され（図４ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、流量設定値ＳＰが０から変更された場合、流量設定値ＳＰの変更時点からの経過時間に比例して増加する操作量ＭＶを算出する（図４ステップＳ１１０）。このステップＳ１１０の処理は、ステップＳ１０６と同じである。

【0036】

操作量出力部６は、第２の迅速モードに設定されている場合で、かつ１制御周期あたりの流量計測値Ｑの変化量ΔＱが所定の変化量閾値ΔＱｔｈ（例えば０．２ＦＳ）以下のとき（図４ステップＳ１１１においてＹＥＳ）、操作量生成部５によって算出された操作量ＭＶをバルブ駆動回路７に出力する（図４ステップＳ１１２）。
こうして、第２の迅速モードでは、流量計測値Ｑの変化量ΔＱが変化量閾値ΔＱｔｈを超えるまでステップＳ１００～Ｓ１０３，Ｓ１１０～Ｓ１１２の処理が制御周期毎に実行される。

【0037】

操作量出力部６は、流量計測値Ｑの変化量ΔＱが変化量閾値ΔＱｔｈを超えると（ステップＳ１１１においてＮＯ）、ＰＩＤ制御部４によって算出された操作量ＭＶをバルブ駆動回路７に出力する（ステップＳ１０９）。
こうして、第２の迅速モードでは、流量計測値Ｑの変化量ΔＱが変化量閾値ΔＱｔｈを超えると通常のＰＩＤ制御が開始される。

【0038】

図６は第２の迅速モードにおける流量計測値Ｑの時間変化の１例を示す図である。図６の例では、時刻０において流量設定値ＳＰが０より大きい値に変更され、時刻０からの経過時間に比例して増加する操作量ＭＶの出力によって流量計測値Ｑが増加する。そして、１制御周期あたりの流量計測値Ｑの変化量ΔＱが変化量閾値ΔＱｔｈを超えたＴ２の時点でＰＩＤ制御が開始される。

【0039】

以上のように、本実施例のマスフローコントローラは、第１の迅速モードと第２の迅速モードの２つを備えることにより、流量計測値Ｑの立ち上がり時間を短くすることができ、低流量域での応答性を改善することができる。
また、２つのモードを備えることにより、搭載されている比例ソレノイドバルブ３の特性に適した方のモードを選択することが可能である。

【0040】

本実施例のマスフローコントローラのうち少なくともＰＩＤ制御部４と操作量生成部５と操作量出力部６とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と記憶装置とインタフェースとを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータの構成例を図７に示す。

【0041】

コンピュータは、ＣＰＵ２００と、記憶装置２０１と、インタフェース装置（Ｉ／Ｆ）２０２とを備えている。Ｉ／Ｆ２０２には、フローセンサ１３とバルブ駆動回路７などが接続される。このようなコンピュータにおいて、本発明の流量制御方法を実現させるためのプログラムは記憶装置２０１に格納される。ＣＰＵ２００は、記憶装置２０１に格納されたプログラムに従って本実施例で説明した処理を実行する。

【産業上の利用可能性】

【0042】

本発明は、流量制御系に適用することができる。

【符号の説明】

【0043】

１…流路ボディ、２…センサパッケージ、３…比例ソレノイドバルブ、４…ＰＩＤ制御部、５…操作量生成部、６…操作量出力部、７…バルブ駆動回路、１０…流路、１３…フローセンサ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】