特許 7469810 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-09

(45)【発行日】2024-04-17

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 3/02 20060101AFI20240410BHJP

【ＦＩ】

B08B3/02 F

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2021083196

(22)【出願日】2021-05-17

(65)【公開番号】P2022176657

(43)【公開日】2022-11-30

【審査請求日】2023-01-06

(73)【特許権者】

【識別番号】517062713

【氏名又は名称】有限会社コネクト電機

(74)【代理人】

【識別番号】110000534

【氏名又は名称】弁理士法人真明センチュリー

(72)【発明者】

【氏名】小林 和俊

【審査官】新井 浩士

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０８１２４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－０６６６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５９－１４３５０６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１８－１４２６４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２２１１７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－１７１４４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／０３９６１２（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０８Ｂ ３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端から洗浄液を噴射可能に形成され、レーザー加工機に固定されたレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域に前記洗浄液を噴射するノズルを備える洗浄装置において、
前記ノズルと、前記ノズルの先端と反対側の基端側が接続されるベース部材と、前記ノズルの周囲を覆う筒状に形成されると共に、基端側が前記ベース部材に覆われるカバー手段とを有した洗浄部ユニットを備え、
前記カバー手段は、その先端が前記レンズ又はレンズ保護ガラスに当接された状態において前記レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を取り囲み、
前記洗浄装置は、前記洗浄液を貯留可能な第１容器と、その第１容器に圧縮気体を供給可能な供給手段と、その供給手段から供給される圧縮気体により前記第１容器に貯留された前記洗浄液を前記ノズルに供給する供給パイプと、前記ノズルから噴射された前記洗浄液を前記洗浄部ユニットの外部に排出する排出パイプとを備え、
前記ノズルから前記洗浄液が噴射された後、前記ノズルから圧縮気体のみが噴射され、
前記供給パイプ及び前記排出パイプを弾性変形させて前記洗浄部ユニットの向き変更することにより、前記ノズルから噴射される前記洗浄液の噴射方向が変更可能であることを特徴とする洗浄装置。

【請求項2】

前記カバー手段、又は、前記ベース部材の少なくとも一方には、前記カバー手段およびベース部材により囲まれる空間を前記排出パイプに連通する排出口が形成され、
前記排出口は、前記ノズルの先端よりも基端側に形成されることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。

【請求項3】

前記カバー手段は、先端側から基端側に向かうにつれて内径が大きく形成され、
前記排出口は、前記ベース部材に形成されると共に、前記カバー手段の基端側の内周面に沿う位置に形成されることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。

【請求項4】

前記カバー手段は、前記ベース部材に対して着脱可能に配設され、
前記ノズルが固定された状態の前記ベース部材から前記カバー手段を取り外し可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置。

【請求項5】

前記カバー手段は、前記ベース部材側に配設される基端部材と、その基端部材の先端側に着脱可能に配設される先端部材と、から構成され、
前記先端部材は、その先端が前記レンズ又はレンズ保護ガラスに当接された状態において前記レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を取り囲むことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の洗浄装置。

【請求項6】

前記先端部材は、弾性変形可能な弾性体から形成されることを特徴とする請求項５記載の洗浄装置。

【請求項7】

前記先端部材は、先端側に向かうにつれて内径が大きく形成され、先端側に向かって厚みが薄くされることを特徴とする請求項６記載の洗浄装置。

【請求項8】

前記先端部材の基端には、前記基端部材の筒状の先端部分が挿入される凹部が形成され、
前記基端部材に取り付けられる前記先端部材を、先端の内径が異なる前記先端部材に交換可能であることを特徴とする請求項６記載の洗浄装置。

【請求項9】

前記カバー手段、又は、前記ベース部材の少なくとも一方には、前記カバー手段およびベース部材により囲まれる空間を前記排出パイプに連通する排出口が形成され、
前記洗浄装置は、前記排出パイプと連通され、前記排出口から排出される前記洗浄液を貯留可能な第２容器を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の洗浄装置。

【請求項10】

前記第１容器は、少なくとも一部が内部を透視可能な透過性の材料から形成されることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の洗浄装置。

【請求項11】

前記カバー手段は、前記レーザー加工機に保持される保持部を備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、洗浄装置に関し、特に、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に洗浄液が飛散することを抑制できる洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、洗浄液の噴射位置をレンズに対して適正な位置に調整したノズルから洗浄液を噴射してレンズを洗浄する洗浄装置がある（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－１１２４９５号公報（段落００１１～００２０及び図１など）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述した従来の洗浄装置では、レンズの洗浄領域以外に洗浄液が飛散するという問題点があった。

【0005】

本発明は、上記した問題点を解決するためになされたものであり、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に洗浄液が飛散することを抑制できる洗浄装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この目的を達成するために本発明の洗浄装置は、先端から洗浄液を噴射可能に形成され、レーザー加工機に固定されたレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域に前記洗浄液を噴射するノズルを備えるものであり、前記ノズルと、前記ノズルの先端と反対側の基端側が接続されるベース部材と、前記ノズルの周囲を覆う筒状に形成されると共に、基端側が前記ベース部材に覆われるカバー手段とを有した洗浄部ユニットを備え、前記カバー手段は、その先端が前記レンズ又はレンズ保護ガラスに当接された状態において前記レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を取り囲み、前記洗浄装置は、前記洗浄液を貯留可能な第１容器と、その第１容器に圧縮気体を供給可能な供給手段と、その供給手段から供給される圧縮気体により前記第１容器に貯留された前記洗浄液を前記ノズルに供給する供給パイプと、前記ノズルから噴射された前記洗浄液を前記洗浄部ユニットの外部に排出する排出パイプとを備え、前記ノズルから前記洗浄液が噴射された後、前記ノズルから圧縮気体のみが噴射され、前記供給パイプ及び前記排出パイプを弾性変形させて前記洗浄部ユニットの向き変更することにより、前記ノズルから噴射される前記洗浄液の噴射方向が変更可能である。

【発明の効果】

【0007】

請求項１記載の洗浄装置によれば、ノズルの先端と反対側の基端側が接続されるベース部材と、ノズルの周囲を覆う筒状に形成されると共に、基端側がベース部材に覆われるカバー手段とを備え、カバー手段は、その先端がレンズ又はレンズ保護ガラスに当接された状態においてレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を取り囲むので、ノズルから噴射された洗浄液がレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に飛散することを抑制できる。
また、請求項１記載の洗浄装置によれば、洗浄液を貯留可能な第１容器と、その第１容器に圧縮気体を供給可能な供給手段と、その供給手段から供給される圧縮気体により第１容器に貯留された洗浄液をノズルに供給する供給パイプと、ノズルから噴射された洗浄液を洗浄部ユニットの外部に排出する排出パイプとを備え、ノズルから洗浄液が噴射された後、ノズルから圧縮気体のみが噴射される。これにより、レンズ又はレンズ保護ガラスに付着した洗浄液と、カバー手段の内側に付着した洗浄液と、ノズル及びベース部材に付着した洗浄液とを圧縮気体により流動させて排出パイプから排出できる。
また、請求項１記載の洗浄装置によれば、供給パイプ及び排出パイプを弾性変形させて洗浄部ユニットの向き変更することにより、ノズルから噴射される洗浄液の噴射方向が変更可能であるので、重力方向や水平方向に向けて洗浄液を噴射できる。

【0008】

請求項２記載の洗浄装置によれば、請求項１記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段、又は、ベース部材の少なくとも一方には、カバー手段およびベース部材により囲まれる空間を排出パイプに連通する排出口が形成され、排出口は、ノズルの先端よりも基端側に形成されるので、ノズルから洗浄液を上向きに噴射して使用する場合に、レンズ又はレンズ保護ガラスを洗浄した後の洗浄済みの洗浄液を、ノズルの基端側に流下させて排出口から排出できる。従って、洗浄済みの洗浄液が、ノズルから噴射される洗浄前の洗浄液と共にレンズ又はレンズ保護ガラスに噴射されることを抑制できる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄効果が低下することを抑制できる。

【0009】

また、ノズルの先端よりも基端側に排出口が形成されるので、ノズルから噴射される洗浄液が排出口から直接排出されることを抑制できる。

【0010】

請求項３記載の洗浄装置によれば、請求項２記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段は、先端側から基端側に向かうにつれて内径が大きく形成され、排出口は、ベース部材に形成されると共に、カバー手段の基端側の内周面に沿う位置に形成されるので、ノズルから洗浄液を水平方向に噴射して使用する場合に、洗浄済みの洗浄液をカバー手段の内周面に沿って排出口に向かって流下させやすくでき、カバー手段の内側に洗浄済みの洗浄液が溜まることを抑制できる。よって、洗浄済みの洗浄液が、ノズルから噴射される洗浄前の洗浄液と共にレンズ又はレンズ保護ガラスに噴射されることを抑制できる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄効果が低下することを抑制できる。

【0011】

請求項４記載の洗浄装置によれば、請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段は、ベース部材に対して着脱可能に配設され、ノズルが固定された状態のベース部材からカバー手段を取り外し可能であるので、先端の内径が異なるカバー手段に交換することでレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を変更できる。よって、洗浄領域の大きさが異なるレンズ又はレンズ保護ガラスを洗浄する際に、ベース部材およびノズルを交換する必要がなくなる。即ち、ベース部材およびノズルを共用化できる。その結果、洗浄装置の部品の種類が多くなることを抑制できる。

【0012】

また、ベース部材からカバー手段を取り外すことができるので、カバー手段の内部、ノズル及びベース部材を清掃しやすくできる。

【0013】

請求項５記載の洗浄装置によれば、請求項１から４のいずれかに記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段は、ベース部材側に配設される基端部材と、その基端部材の先端側に着脱可能に配設される先端部材と、から構成され、先端部材は、その先端がレンズ又はレンズ保護ガラスに当接された状態においてレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を取り囲むので、先端部材のみを交換できる。

【0014】

請求項６記載の洗浄装置によれば、請求項５記載の洗浄装置の奏する効果に加え、先端部材は、弾性変形可能な弾性体から形成されるので、先端部材の先端をレンズ又はレンズ保護ガラスに当接させた際に、先端部材とレンズ又はレンズ保護ガラスとの密着性を高めることができる。そのため、先端部材とレンズ又はレンズ保護ガラスとの間からレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に洗浄液が飛散することを抑制できる。

【0015】

請求項７記載の洗浄装置によれば、請求項６記載の洗浄装置の奏する効果に加え、先端部材は、先端側に向かうにつれて内径が大きく形成され、先端側に向かって厚みが薄くされるので、先端部材の先端をレンズ又はレンズ保護ガラスに当接させた際の先端部材とレンズ又はレンズ保護ガラスとの当接圧を高めやすくできる。そのため、先端部材とレンズ又はレンズ保護ガラスとの間からレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に洗浄液が飛散することを抑制できる。

【0016】

請求項８記載の洗浄装置によれば、請求項６記載の洗浄装置の奏する効果に加え、先端部材の基端には、基端部材の筒状の先端部分が挿入される凹部が形成され、基端部材に取り付けられる先端部材を、先端の内径が異なる先端部材に交換することでレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域を変更できる。よって、洗浄領域の大きさが異なるレンズ又はレンズ保護ガラスを洗浄する際にカバー手段の全体を交換する必要がなくなる。従って、カバー手段の全体を交換する場合に比べて、洗浄領域の大きさが異なるレンズ又はレンズ保護ガラスを洗浄する際に必要な交換部品（先端部材）を小型化できる。その結果、交換部品の保管に必要なスペースを小さくできる。

【0017】

請求項９の洗浄装置によれば、請求項１から８のいずれかに記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段、又は、ベース部材の少なくとも一方には、カバー手段およびベース部材により囲まれる空間を排出パイプに連通する排出口が形成され、洗浄装置は、排出パイプと連通され、排出口から排出される洗浄液を貯留可能な第２容器を備えるので、洗浄済みの洗浄液を第２容器に回収することができる。そのため、引火性の洗浄液が洗浄装置の外部に排出され、その外部に排出された洗浄液に引火することを抑制できる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業の安全性を向上できる。

【0018】

また、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄後に圧縮気体のみをレンズ又はレンズ保護ガラスに噴射して、レンズ又はレンズ保護ガラスに付着した洗浄液と、カバー手段の内側に付着した洗浄液と、ノズル及びベース部材に付着した洗浄液とを圧縮気体により流動させて排出口から排出できる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0019】

請求項１０記載の洗浄装置によれば、請求項１から９のいずれかに記載の洗浄装置の奏する効果に加え、第１容器は、少なくとも一部が内部を透視可能な透過性の材料から形成されるので、第１容器内の洗浄液の残量を確認できる。そのため、レンズ又はレンズ保護ガラスを直接視認しなくてもレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄が終わったか否かを確認できる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0020】

請求項１１記載の洗浄装置によれば、請求項１から１０のいずれかに記載の洗浄装置の奏する効果に加え、カバー手段は、レーザー加工機に保持される保持部を備えるので、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業中にカバー手段またはベース部材を手で保持する必要がなくなる。その結果、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0021】

また、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業中にカバー手段をレンズ又はレンズ保護ガラスに押し当てる力が弱まることを抑制できる。そのため、レンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄作業中にカバー手段とレンズ又はレンズ保護ガラスとの間に隙間が空いて、カバー手段とレンズ又はレンズ保護ガラスとの間からレンズ又はレンズ保護ガラスの洗浄領域以外に洗浄液が飛散することを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】第１実施形態における洗浄装置の正面図である。

【図2】（ａ）は、洗浄部ユニットの正面図であり、（ｂ）は、基端部材および先端部材の正面図であり、（ｃ）は、ベース部材および噴射ノズルの正面図である。

【図3】（ａ）は、レーザー加工機および洗浄部ユニットの模式断面図であり、（ｂ）は、第２実施形態におけるレーザー加工機および洗浄部ユニットの模式断面図である。

【図4】（ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態におけるレーザー加工機および洗浄部ユニットの模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の好ましい実施の形態について、添付図面を参照して説明する。まず、図１から図３（ａ）を参照して、本発明の第１実施形態における洗浄装置１について説明する。

【0024】

初めに、図１を参照して、洗浄装置１の全体構成について説明する。図１は、第１実施形態における洗浄装置１の正面図である。なお、図１では、噴射ノズル６２、第４パイプ７４の一部および土台５１の凹部５１ａ１が鎖線で図示されると共に、レーザー加工機５の断面が模式的に図示される。

【0025】

図１に示すように、第１実施形態における洗浄装置１は、レーザー加工機５のレンズ２を洗浄するための装置である。洗浄装置１により洗浄されるレンズ２は、レーザー加工機５のレーザー光（ＣＯ２レーザー）を集光する、又は、レーザー光の収差を抑えるためのレンズであり、レーザー加工機５のレーザー装置本体３に配設される。また、レンズ２は、全体がセレン化亜鉛で構成されると共に、レーザー光の透過率を向上させる（レンズ２の表面での光の反射を減少させる）ためにセレン化亜鉛の表面にセレン化亜鉛と異なる屈折率の透明な被膜（ＡＲコーテイング）が形成される。

【0026】

ここで、ＡＲコーティングは、セレン化亜鉛に対して薄く形成されるため、損傷しやすい。そのため、レンズ２に直接触れてレンズ２の洗浄領域を洗浄した場合にセレン化亜鉛の表面からＡＲコーティングが剥離したり、ＡＲコーティングが損傷する可能性が高い。また、セレン化亜鉛は、人体にとって有毒である。従って、ＡＲコーティングが剥離したり、損傷したりすると危険であった。そのため、洗浄装置１では、ＡＲコーティングが剥離したり、損傷しないように、洗浄液をレンズ２に噴射して洗浄する構成とされる。

【0027】

洗浄装置１は、圧縮気体を受け入れ可能に構成されると共にその受け入れた圧縮気体を所定の圧力に調整する調整装置３０と、その調整装置３０により所定の圧力に調整した圧縮気体の供給を許容する許容状態、又は、規制する規制状態に切り替え可能なボタン装置４０と、レンズ２を洗浄前の洗浄液を貯留可能とされ、ボタン装置４０が許容状態とされることで貯留された洗浄液を圧縮気体と共に供給可能に構成される第１容器１０と、その第１容器１０から供給される洗浄液および圧縮気体をレンズ２に向けて噴射可能な洗浄部ユニット６０と、洗浄部ユニット６０からレンズ２に向けて噴射された後のレンズ洗浄後の洗浄液が貯留される第２容器２０と、それら第１容器１０、第２容器２０、調整装置３０、及び、ボタン装置４０が載置される載置台５０と、を主に備えて構成される。なお、圧縮気体には、空気、又は、非可燃性の窒素や炭酸ガスを圧縮した気体が用いられる。

【0028】

また、洗浄装置１には、第１容器１０、第２容器２０、調整装置３０、ボタン装置４０、及び、洗浄部ユニット６０を繋ぐ中空状の第１～第６パイプ７１～７６が配設され、第１～第６パイプ７１～７６により、圧縮気体または洗浄液が第１容器１０から洗浄部ユニット６０を介して第２容器２０まで供給される。

【0029】

載置台５０は、土台５１と、その土台５１の上面側の２箇所に設けられる把持部５２と、第５パイプ７５に第３パイプ７３を連通するための第１カプラ５３と、第６パイプ７６に第４パイプを連通するための第２カプラ５４と、それら第１カプラ５３及び第２カプラ５４を土台５１に設けるためのブラケット５５と、を主に備える。

【0030】

土台５１の上面には、第１容器１０、第２容器２０、調整装置３０、及び、ボタン装置４０が固定され、土台５１の上面に凹設される凹部５１ａ１に第２容器２０が収容される。

【0031】

把持部５２は、洗浄装置１を持ち運ぶ際の持ち手となる部分であり、水平方向に離れた位置に一対配設される。これにより、洗浄装置１の持ち運びを簡易にできる。

【0032】

第１カプラ５３及び第２カプラ５４は、後述する洗浄部ユニット６０の第３カプラ６４及び第４カプラ６５に一端が接続される第５パイプ７５及び第６パイプ７６の他端が着脱可能に接続される。

【0033】

調整装置３０は、土台５１に配設されるブラケット５５の側面に固定される。また、調整装置３０は、コンプレッサー（図示しない）から供給される圧縮気体を受け入れ可能な受入口３１と、その受入口３１から受け入れた圧縮気体を所定の圧力に調整可能な圧力調整器３２と、圧力調整器３２により所定の圧力に調整された圧縮気体を所定の流量で供給するための流量調整器３３と、を主に備え、圧力調整器３２により所定の圧力に調整した圧縮気体を流量調整器３３を介して第１パイプ７１に供給可能とされる。

【0034】

ボタン装置４０は、レンズ２を洗浄する作業者が押し込み操作可能な押し釦４１と、その押し釦４１が配設されると共に、第１パイプ７１及び第２パイプ７２が連通される切替部４２と、を主に備え、第１パイプ７１と第２パイプ７２との連通状態を切替部４２により切り替え可能に構成される。また、切替部４２による連通状態の切り替えは、押し釦４１の押し込み操作に連動されており、押し釦４１の押し込み操作に伴って第１パイプ７１と第２パイプ７２とが連通する状態とされ、第２パイプ７２を通過する圧縮気体が第１容器１０に上方側から供給される。

【0035】

第１容器１０は、内部に洗浄液を貯留可能な空間を有する貯留部１１と、その貯留部１１の上端側に連通され貯留部１１に洗浄液を投入可能とする投入部１２と、それら貯留部１１と投入部１２との連通部分に配設され、貯留部１１と投入部１２との連通を遮断するための遮断コック１３と、貯留部１１に配設され貯留部１１内の圧力が所定よりも高くなる場合に貯留部１１内の圧力を逃がす圧力逃がし弁（図示しない）と、を主に備える。

【0036】

貯留部１１は、その貯留部１１の側面側を構成する筒状部材１１ａと、その筒状部材１１ａの両端を覆う一対の板部材１１ｂとから構成される。また、貯留部１１は、筒状部材１１ａが光透過性の材料から形成されており、貯留部１１に貯留された洗浄液の残量を筒状部材１１ａを介して視認可能とされる。

【0037】

また、貯留部１１の内部上方側には、貯留部１１の内側面に沿う外形に形成される分散板（図示しない）が、貯留部１１の内側面と所定の隙間を空けて配置される。よって、第２パイプ７２を介して貯留部１１の上方側から貯留部１１の内部に圧縮気体が供給されると、その圧縮気体が分散板にぶつかり貯留部１１の内側面に沿って下方に流れる。この貯留部１１の内側面に沿って下方に流れる圧縮気体により、貯留部１１の内側面に付着する洗浄液の水滴が下方に流される。その結果、貯留部１１に貯留された洗浄液の残量を筒状部材１１ａを介して視認しやすくできる。

【0038】

投入部１２は、下方側の内径に比べて上方側の内径が大きくされる筒状に形成される。これにより、投入部１２の上方から洗浄液を投入しやすくされる。また、投入部１２に投入される洗浄液は、遮断コック１３の遮断が解除された際に投入部１２から貯留部１１への流入が可能とされる。

【0039】

また、遮断コック１３の下流側（貯留部１１側）に第２パイプ７２が連通されており、洗浄液を貯留部１１に投入する位置と、圧縮気体を貯留部１１に供給する位置とが同一の位置とされる。これにより、洗浄液と圧縮気体との流下経路（上述した分散板にぶつかり貯留部１１の内側面に沿って下方に流れる経路）を同一とできるので、貯留部１１の内側面に付着する洗浄液の水滴を圧縮気体で下方に流しやすくできる。その結果、貯留部１１に貯留された洗浄液の残量を筒状部材１１ａを介して視認しやすくできる。

【0040】

なお、第１容器１０には、下方側に第３パイプ７３が連通されており、第２パイプ７２から第１容器１０の上方側に圧縮気体が供給されることで、第３パイプ７３及びその第３パイプ７３が連通される第５パイプ７５を介して洗浄部ユニット６０に洗浄液および圧縮気体を供給できる。

【0041】

よって、洗浄装置１では、第１容器１０に貯留される洗浄液が圧縮気体により洗浄部ユニット６０に供給されるので、第１容器１０と洗浄部ユニット６０との間（即ち、第３パイプ７３の供給路上）に電気で稼働する電動ポンプを配設して、第１容器１０に貯留される洗浄液を洗浄部ユニット６０に供給するものに比べて、アセトンや無水アルコールといった引火性の洗浄液に引火することを抑制できる。その結果、レンズの洗浄作業の安全性を向上できる。

【0042】

さらに、洗浄装置１では、第１容器１０に貯留される洗浄液が圧縮気体により洗浄部ユニット６０に供給されるので、レンズ洗浄後に圧縮気体のみをレンズ２に噴射して、レンズ２に付着した洗浄液と、洗浄部ユニット６０の内部（後述するカバー手段６３の内側、噴射ノズル６２及びベース部材６１）に付着した洗浄液とを圧縮気体により流動させて洗浄部ユニット６０（後述する第２開口部６１ｂ）から排出できる。その結果、レンズ２の洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0043】

また、洗浄装置１では、第１容器１０の洗浄液の最大貯留量がレンズ２を１回洗浄する分量に設定される。これにより、レンズ２を必要以上に洗浄することを抑制できる。また、第１容器１０は、筒状部材１１ａが光透過性の材料から形成され、内部に貯留される洗浄液の量を視認可能とされるので、レンズ２を直接視認したり、第１容器１０を空けたりすることなく、レンズ２の洗浄が終わったか否かを確認できる。その結果、レンズ２の洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0044】

洗浄部ユニット６０は、第５パイプ７５から供給される洗浄液および圧縮気体を噴射ノズル６２からレンズ２に向かって噴射可能に構成されると共に、レンズ２に噴射された後の洗浄液を第６パイプ７６から排出して、第６パイプ７６に連通される第４パイプ７４を介して第２容器２０に供給可能に構成される。なお、洗浄部ユニット６０についての詳しい説明は後述する。

【0045】

また、第５パイプ７５及び第６パイプ７６は、弾性変形可能なナイロン又はテフロン（登録商標）系のホースから形成される。これにより、洗浄部ユニット６０は、第５パイプ７５及び第６パイプ７６を弾性変形させて移動可能とされる。そのため、レンズ２がレーザー装置本体３に配設された状態で洗浄部ユニット６０をレンズ２に近づけてレンズ２を洗浄することができる。

【0046】

また、レンズ２に対して洗浄部ユニット６０を移動可能とされるので、レーザー光が重力方向、又は、水平方向のどちらに向けて照射されるレーザー加工機５であっても、洗浄部ユニット６０の姿勢を変更して洗浄液をレンズ２に向けて噴射することが可能となる。

【0047】

第２容器２０は、内部に洗浄液を貯留可能な空間を有する貯留部２１と、貯留部２１の上方に設けられ、貯留部２１内の空気を抜く空気抜き２２と、を主に備える。また、第２容器２０には、弾性変形可能なナイロン又はテフロン（登録商標）系のホースから形成される第４パイプ７４が上方から挿入される。

【0048】

従って、洗浄装置１では、洗浄部ユニット６０に形成される第２開口部６１ｂ（図２（ａ）参照）を介して排出される洗浄液を第２容器２０に貯留することができるので、アセトンや無水アルコールといった引火性の洗浄液が洗浄装置１の外部に排出されて引火することを抑制できる。その結果、レンズ２の洗浄作業の安全性を向上できる。

【0049】

なお、第４パイプ７４は、貯留部２１の上蓋の脱落防止器（図示せず）により貯留部２１から抜け出る方向の変位が規制される。これにより、第４パイプ７４を介して貯留部２１に洗浄液や圧縮気体が供給された際の圧力上昇で、貯留部２１から第４パイプ７４が抜け出ることを抑制できる。

【0050】

また、第２容器２０の洗浄液を排出する際には、貯留部２１の上蓋に配設された第４パイプ７４と共に貯留部２１の上蓋を取り外し、凹部５１ａから第２容器２０を上方に引き抜くことで、第２容器２０を載置台５０から取り外して、第２容器２０のみを所定の排出場所に持ち運ぶことが可能とされる。なお、第２容器２０の運搬中は、上蓋とは異なる蓋で洗浄液が第２容器２０から漏れ出ないようにすれば良い。

【0051】

次に、図２及び図３（ａ）を参照して、洗浄部ユニット６０の詳細構成について説明する。図２（ａ）は、洗浄部ユニット６０の正面図であり、図２（ｂ）は、筒状部材６８及びパッキン６９の正面図であり、図２（ｃ）は、ベース部材６１及び噴射ノズル６２の正面図である。図３（ａ）は、レーザー加工機５及び洗浄部ユニット６０の模式断面図である。

【0052】

また、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、カバー手段６３の内側の一部が鎖線で図示され、図２（ｃ）では、第３カプラ６４、第４カプラ６５及びノズル部材６７の一部が鎖線で図示される。さらに、図２（ａ）では、噴射ノズル６２の先端から噴射される洗浄液および圧縮気体の噴射方向と、レンズ２を洗浄後の洗浄液の流下方向とが矢印で図示され、図２（ａ）～（ｃ）では、ベース部材６１の中心を通過する軸Ｏが１点鎖線で図示され、図３（ａ）では、軸Ｏを通る平面で切断した際の断面が模式的に図示される。

【0053】

図２及び図３（ａ）に示すように、洗浄部ユニット６０は、円盤状のベース部材６１と、そのベース部材６１の一面側に配設される噴射ノズル６２と、噴射ノズル６２を取り囲む筒状に形成され基端側がベース部材６１に覆われるカバー手段６３と、ベース部材６１の一面側と反対側の他面側に配設される第３カプラ６４及び第４カプラ６５と、を主に備え、第３カプラ６４を介して噴射ノズル６２に供給される洗浄液および圧縮気体を噴射ノズル６２の先端から噴射可能とされ、噴射ノズル６２の先端から噴射された洗浄液を第４カプラ６５を介して排出可能とされる。

【0054】

ベース部材６１は、円盤状の中心部に開口され第３カプラ６４の一端側が挿入される第１開口部６１ａと、その第１開口部６１ａよりもベース部材６１の径方向外側に開口される第２開口部６１ｂと、を主に備える。

【0055】

第２開口部６１ｂは、カバー手段６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通するための開口であり、内周面がカバー手段６３の内周面に沿う位置に形成される。また、ベース部材６１の他面側には、第２開口部６１ｂを取り囲む筒状の筒部６１ｃが配設され、その筒部６１ｃの内周面に螺設される雌ねじに第４カプラ６５が締結固定される。

【0056】

噴射ノズル６２は、軸Ｏ方向に長い柱状に形成される延長部材６６と、その延長部材６６の先端側に締結固定されるノズル部材６７と、を主に備え、軸Ｏに沿って延長部材６６及びノズル部材６７に貫通形成される貫通孔（図２（ａ）参照）を通して、第３カプラ６４から供給される洗浄液および圧縮気体をノズル部材６７の先端から噴射可能に構成される。

【0057】

延長部材６６は、軸Ｏ方向における両端部にノズル部材６７及び第３カプラ６４を締結固定するための雌ねじが設けられる。ここで上記したように第３カプラ６４は、一端側がベース部材６１の第１開口部６１ａに挿入される。そのため、第３カプラ６４の一端側に延長部材６６を締結固定することで、第３カプラ６４と共に延長部材６６（噴射ノズル６２）をベース部材６１に配設することができる。よって、第３カプラ６４と延長部材６６（噴射ノズル６２）との２部材を締結固定するためのそれぞれの雌ねじをベース部材６１に設ける場合に比べて、ベース部材６１の軸Ｏ方向における厚みを薄くできる。

【0058】

なお、洗浄装置１は、軸Ｏ方向の長さが異なる延長部材６６に交換することで、噴射ノズル６２の基端から先端までの長さを変更することが可能となっている。

【0059】

ノズル部材６７は、洗浄液および圧縮気体をレンズ２の洗浄領域に噴射するためのノズルであり、軸Ｏに沿って貫通形成される貫通孔（図２（ａ）参照）が先端側で縮径される。これにより、ノズル部材６７の先端から噴射される洗浄液および圧縮気体の勢いを高めることができる。

【0060】

カバー手段６３は、ノズル部材６７から噴射される洗浄液が周囲に飛散することを抑制するものであり、軸Ｏ方向において基端から先端までの長さが、噴射ノズル６２の基端から先端までの長さよりも長く形成される。

【0061】

なお、カバー手段６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通する第２開口部６１ｂは、噴射ノズル６２の先端よりも基端側に形成される。そのため、噴射ノズル６２の先端から洗浄液および圧縮気体を上向きに噴射して使用する場合（即ち、軸Ｏ方向を重力方向に向けて使用する場合）に、レンズ２を洗浄した後のレンズ洗浄済みの洗浄液を、噴射ノズル６２の基端側に流下させて、第２開口部６１ｂから排出できる。従って、レンズ洗浄済みの洗浄液が、噴射ノズル６２から噴射されるレンズ洗浄前の洗浄液と共にレンズに噴射されることを抑制できる。その結果、レンズ２の洗浄効果が低下することを抑制できる。

【0062】

さらに、洗浄部ユニット６０は、第２開口部６１ｂが、噴射ノズル６２の先端よりも基端側に形成されるので、噴射ノズル６２から噴射される洗浄液が第２開口部６１ｂから直接排出されることを抑制できる。

【0063】

また、レンズ２の洗浄中は、カバー手段６３の先端がレンズ２により覆われる。よって、噴射ノズル６２から洗浄液および圧縮気体を噴射すると、カバー手段６３及びベース部材６１により囲まれる空間の内圧が高まるので、その内圧の高まりにより、レンズ２を洗浄した後のレンズ洗浄済みの洗浄液を第２開口部６１ｂから排出しやすくできる。

【0064】

また、カバー手段６３は、基端側に配設される筒状部材６８と、その筒状部材６８の先端側に配設されるパッキン６９との２部材から形成される。これにより、パッキン６９が劣化した場合には、パッキン６９のみを交換可能とされる。

【0065】

筒状部材６８は、略一定の厚みの円筒状に形成されるカバー部６８ａと、そのカバー部６８ａの基端から径方向外側に広がる板状に形成される保持部６８ｂと、を主に備え、図示しないクランプ（例えば、サニタリークランプ）により、ベース部材６１の一面側に保持部６８ｂ（カバー手段６３）が着脱可能に配設される。カバー手段６３がベース部材６１に着脱可能に配設されるので、ベース部材６１からカバー手段６３を取り外して、カバー手段６３の内部、噴射ノズル６２及びベース部材６１をレンズ洗浄後に清掃しやすくできる。なお、保持部６８ｂとベース部材６１との間には、洗浄液に対し耐溶剤性を有する材料から形成されるパッキン（図示しない）が介設される。これにより、筒状部材６８とベース部材６１との間から洗浄液が洗浄部ユニット６０の外部に漏れ出ることが抑制される。

【0066】

また、筒状部材６８のカバー部６８ａには、先端側から基端側に向かうにつれて内径が大きく形成される拡径部６８ａ１が形成され、軸Ｏと直交する方向において拡径部６８ａ１がノズル部材６７の先端と重なる位置に配置される。これにより、レンズ２に向かって噴射された後、レンズ２によりベース部材６１側に跳ね返る洗浄液（レンズ洗浄済みの洗浄液）及び圧縮気体をベース部材６１側に回り込みやすくできる（図２（ａ）の矢印を参照）。よって、レンズ２の洗浄後の洗浄液が、ノズル部材６７から噴射される洗浄液と共にレンズ２に向かって噴射されることを抑制できる。その結果、レンズ２の洗浄効果を向上できる。

【0067】

さらに、拡径部６８ａ１を備えた上で、カバー手段６３の内周面に沿う位置に第２開口部６１ｂが形成されるので、ノズルから洗浄液を水平方向に噴射して使用する場合（即ち、軸Ｏ方向を水平方向に向けて使用する場合）には、第２開口部６１ｂを第１開口部６１ａの下方側に配置した状態とすることで、レンズ洗浄済みの洗浄液をカバー手段６３の内周面に沿って第２開口部６１ｂに向かって流下させやすくでき、カバー手段６３の内側にレンズ洗浄済みの洗浄液が留まることを抑制できる。よって、レンズ洗浄済みの洗浄液が、噴射ノズル６２から噴射されるレンズ洗浄前の洗浄液と共に、レンズ２に噴射されることを抑制できる。その結果、レンズ２の洗浄効果が低下することを抑制できる。

【0068】

また、レンズ洗浄済みの洗浄液がカバー手段６３の内側に留まることを抑制できるので、レンズ洗浄後にカバー手段６３の内側に留まる洗浄液を排出する作業を不要とできる。その結果、レンズの洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0069】

パッキン６９は、先端をレンズ２に当接させる部材であり、弾性変形可能なシリコーン系の弾性部材から形成される。これにより、パッキン６９を先端をレンズ２に当接させた際に、レンズ２の被膜が取れたり、レンズ２の表面に傷ができることを抑制できる。

【0070】

また、洗浄部ユニット６０のパッキン６９の先端をレンズ２に当接させた場合には、パッキン６９の先端がレンズ２の洗浄領域を取り囲んだ状態とされる（図３（ａ）参照）。この状態（洗浄部ユニット６０を手で保持し、パッキン６９の先端をレンズ２に当接した状態）で、ボタン装置４０の押し釦４１（図１参照）を押し込むことで、噴射ノズル６２の先端から洗浄液および圧縮気体を噴射してレンズ２の洗浄領域を洗浄することができる。

【0071】

ここで、レーザー加工機５のレーザー照射によってレーザー加工した際には、レーザー加工する対象物の一部が蒸発、燃焼、気化し細かい粉となってレンズ２に付着する。それらレンズ２に付着した粉をレンズ２から除去（レンズ２を洗浄）するためには、レンズ２のＡＲコーティングを損傷しないアセトンや無水アルコールでの洗浄が必要となる。しかしながら、アセトンや無水アルコールは、一般的な樹脂を溶かす可能性が有る。そのため、レンズ２が配設されるレーザー装置本体３にアセトンや無水アルコールの洗浄液を付着させると、レンズ２を固定するためにレンズ２の周囲に配設される金属製の固定部材の表面塗装やレーザー装置本体３の樹脂製の筐体（レーザー加工機５を構成する部材）が洗浄液により溶解される恐れがあった。

【0072】

これに対し、第１実施形態における洗浄装置１では、パッキン６９の先端がレンズ２の洗浄領域を取り囲んだ状態とされるので、洗浄液がレンズ２の洗浄領域の外に漏れ出ることを抑制できる。その結果、レンズ２が配設されるレーザー装置本体３に洗浄液が付着することを抑制できる。

【0073】

また、パッキン６９は、その基端に筒状部材６８の先端側の形状に凹設される凹部６９ａを備え、その凹部６９ａに筒状部材６８の先端側が挿入されることで筒状部材６８に取着される。なお、凹部６９ａの凹設方向は、パッキン６９の先端をレンズ２に当接させた際に、パッキン６９に対して筒状部材６８が押し込まれる方向（図３（ａ）上方向）と一致する。そのため、レンズ２の洗浄中に筒状部材６８からパッキン６９が外れることを抑制できる。

【0074】

さらに、パッキン６９は、円環状に形成され、先端から軸Ｏ方向に突出する当接部６９ｂを備える。当接部６９ｂは、レンズ２を固定するレーザー装置本体３の固定部材の内径と略同一又は若干小さい外径に形成されると共に、軸Ｏ方向における突出距離が、レーザー装置本体３の固定部材の端部からレンズ２の端部までの距離よりも大きくされる。これにより、レンズ２を洗浄する際に、当接部６９ｂの先端をレーザー装置本体３の固定部材の内側に挿入してレンズ２に当接させることができる。

【0075】

この場合、パッキン６９をレンズ２に当接させる際の押圧力により、パッキン６９の当接部６９ｂの先端を弾性変形させた状態にできる（図３（ａ）の拡大部分参照）。これにより、レンズ２とパッキン６９との密着性を高めることができる。そのため、パッキン６９とレンズ２との間からレンズ２の洗浄領域の外に洗浄液が漏れ出ることを抑制できる。その結果、レンズ２が配設されるレーザー装置本体３に洗浄液が付着することを抑制できる。

【0076】

また、パッキン６９の当接部６９ｂは、先端側に向かうにつれて内径が大きく形成され、先端側に向かって軸Ｏと直交する方向における厚みが薄く形成されるので、パッキン６９の先端をレンズ２に当接させた際のパッキン６９とレンズ２との当接圧を高めやすくできる。そのため、パッキン６９とレンズ２との間からレンズの洗浄領域の外に洗浄液が漏れ出ることを抑制できる。その結果、レンズ２が配設されるレーザー装置本体３に洗浄液が付着することを抑制できる。

【0077】

また、パッキン６９の当接部６９ｂは、先端側に向かうにつれて内径が大きく形成されるので、先端側に向かうにつれて外径が小さく形成される場合に比べて、レンズ２の洗浄領域を確保しやすくできる。

【0078】

次いで、図３（ｂ）を参照して、第２実施形態における洗浄部ユニット２６０について説明する。上記第１実施形態では、レンズ２の直径が寸法Ａ（図３（ａ）参照）に設定される場合について説明したが、第２実施形態では、レンズ２０２の直径が寸法Ａよりも大きい寸法Ｂ（図３（ｂ）参照）に設定される場合について説明する。なお、上記した第１実施形態と同一の部分については、同一の符号を付してその説明は省略する。

【0079】

図３（ｂ）は、第２実施形態におけるレーザー加工機２０５及び洗浄部ユニット２６０の模式断面図である。なお、図３（ｂ）では、図３（ａ）に示す第１実施形態のレーザー加工機５及び洗浄部ユニット６０の断面と対応する位置の断面が模式的に図示される。

【0080】

図３（ｂ）に示すように、第２実施形態におけるレーザー加工機２０５は、直径の寸法Ｂに形成されるレンズ２０１と、そのレンズ２０１が配設されるレーザー装置本体２０３と、から主に構成される。

【0081】

第２実施形態における洗浄部ユニット２６０は、カバー手段２６３のパッキン２６９の内径が異なる点を除き第１実施形態における洗浄部ユニット６０と同一であるので、パッキン２６９以外の説明は省略する。

【0082】

パッキン２６９は、第１実施形態におけるパッキン６９とその内径が異なる大きさに形成されており、先端の内径が、レンズ２０２の洗浄領域に対応する大きさに設定される。よって、直径の寸法が異なるレンズ２０２を洗浄する際には、先端の内径が異なるパッキン２６９に交換することでレンズ２０２の洗浄領域を変更できる。そのため、洗浄領域の大きさが異なるレンズ２０２を洗浄する際に、カバー手段２６３の全体を交換する必要がなくなる。従って、カバー手段２６３の全体を交換する場合に比べて、洗浄領域の異なるレンズ２０２を洗浄する際に必要な交換部品（パッキン２６９）を小型化できる。その結果、交換部品の保管に必要なスペースを小さくできる。

【0083】

また、先端の内径が異なるパッキン２６９に交換することでレンズ２０２の洗浄領域を変更できるので、洗浄領域の大きさが異なるレンズ２０２を洗浄する際に、筒状部材６８、ベース部材６１及び噴射ノズル６２を交換する必要がなくなる。即ち、筒状部材６８、ベース部材６１及び噴射ノズル６２を共用化できる。その結果、洗浄装置１の部品の種類が多くなることを抑制できる。

【0084】

次いで、図４を参照して第３実施形態における洗浄部ユニット３６０について説明する。第１実施形態では、洗浄部ユニット６０を手で保持する場合について説明したが、第３実施形態では、洗浄部ユニット３６０を保持部３６８ｄにより保持する場合について説明する。なお、上記各実施形態と同一の部分については、同一の符号を付してその説明は省略する。

【0085】

図４（ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態におけるレーザー加工機５及び洗浄部ユニット３６０の模式断面図である。なお、図４（ａ）及び（ｂ）では、図３（ａ）に示す第１実施形態のレーザー加工機５及び洗浄部ユニット６０の断面と対応する位置の断面が模式的に図示される。また、図４（ａ）では、パッキン６９をレンズ２に当接する前の状態が図示され、図４（ｂ）では、パッキン６９をレンズ２に当接させた後の状態が図示される。

【0086】

図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、第３実施形態における洗浄部ユニット３６０は、カバー手段３６２の筒状部材３６８がブラケット３６８ｃ及び保持部３６８ｄを備える点を除き第１実施形態における洗浄部ユニット６０と同一であるので、ブラケット３６８ｃ及び保持部３６８ｄ以外の説明は省略する。

【0087】

ブラケット３６８ｃは、後述する保持部３６８ｄを筒状部材３６８に配設するための部材であり、拡径部６８ｃ１の外周面に配設される。ブラケット３６８ｃは、拡径部６８ｃ１の外周面に沿う内径の円筒状に形成される取付部３６８ｃ１と、その取付部３６８ｃ１の先端から径方向外側に広がるフランジ部３６８ｃ２とを備え、取付部３６８ｃ１が拡径部６８ｃ１に固定され、フランジ部３６８ｃ２に保持部３６８ｄが固定される。

【0088】

保持部３６８ｄは、磁石を備えるマグネットクランプであり、ブラケット３６８ｃのフランジ部３６８ｃ２に締結固定される。また、保持部３６８ｄは、軸Ｏ方向（図２（ａ）参照）において、レーザー装置本体３が配設される設置プレートＰの一部と重なる位置に配設される。設置プレートＰは、レーザー装置本体３を所定位置に配設するための金属製の板部材であり、レーザー装置本体３の下面（レーザー加工機５のレーザー光の照射方向と直交する方向）に沿って配設される。これにより、パッキン６９の先端をレンズ２に当接させた際に、保持部３６８ｄをレーザー加工機５の設置プレートＰに吸着させることができる。そのため、レンズ２の洗浄作業中に洗浄部ユニット３６０を手で保持する必要がなくなる。その結果、レンズ２の洗浄作業の作業効率を向上できる。

【0089】

また、保持部３６８ｄを設置プレートＰに吸着させるので、レンズ２の洗浄作業中にカバー手段３６３の先端をレンズ２に当接させる力が弱まることを抑制できる。そのため、レンズ２の洗浄作業中にカバー手段３６３とレンズ２との間に隙間が空いて、カバー手段３６３とレンズ２との間からレンズ２の洗浄領域の外に洗浄液が漏れ出ることを抑制できる。その結果、レンズ２が配設されるレーザー装置本体３に洗浄液が付着することを抑制できる。

【0090】

さらに、第３実施形態では、保持部３６８ｄが磁性体のマグネットクランプから構成されるので、保持部３６８ｄを保持するための被保持部（例えば、突起などの係合部材を係合させるための凹部）をレーザー装置本体３や設置プレートＰに形成する必要がない。

【0091】

以上、上記実施形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変形改良が可能であることは容易に推察できるものである。

【0092】

上記第１から第３実施形態では、レーザー加工機５，２０５のレーザー光がＣＯ２レーザとされる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、他のレーザー光（例えば、ファイバーレーザーやＹＡＧレーザー）のレーザー加工機であっても良い。

【0093】

上記第１から第３実施形態では、洗浄装置１によりレーザー加工機５，２０５のレンズ２，２０２を洗浄する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、レンズ２，２０２よりもレーザー光の照射側にレンズ保護ガラス（図示せず）をレーザー加工機５，２０５が備える場合には、レンズ保護ガラスを洗浄装置１により洗浄するようにしても良い。なお、この場合には、上記第１から第３実施形態における洗浄装置１の洗浄対象がレンズ２，２０２からレンズ保護ガラスに変わるだけであるので、その洗浄についての詳しい説明は省略する。

【0094】

上記第１から第３実施形態では、レンズ２，２０２にＡＲコーティングの被膜が形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、ＡＲコーティングの被膜が形成されないセレン化亜鉛のレンズ２，２０２であっても良い。また、上記第１から第３実施形態では、セレン化亜鉛のレンズ２，２０２を洗浄する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、他の材料から形成されるレンズを洗浄するものであっても良い。

【0095】

上記第１から第３実施形態では、ボタン装置４０に押し込み式の押し釦４１が配設される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、ボタン装置４０の押し釦４１を開閉切替式のレバーやセレクタスイッチに置き換えても良い。なお、この場合には、レバーを開放側に傾けることで噴射ノズル６２からの洗浄液および圧縮気体の噴射が許容され、レバーを閉鎖側に傾けることで、噴射ノズル６２からの洗浄液および圧縮気体の噴射が規制される。

【0096】

上記第１から第３実施形態では、カバー手段６３，２６３，３６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通するための第２開口部６１ｂを備える場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第２開口部６１ｂを備えないものであっても良い。なお、この場合には、カバー手段６３，２６３，３６３及びベース部材６１により囲まれる空間に噴射ノズル６２から噴射される洗浄液を貯留可能とすることが好ましい。

【0097】

上記第１から第３実施形態では、カバー手段６３，２６３，３６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通するための第２開口部６１ｂがベース部材６１に形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。

【0098】

例えば、カバー手段６３，２６３，３６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通するための開口をカバー手段６３，２６３，３６３の側面に形成して、ノズルから洗浄液を水平方向に噴射して使用する場合（即ち、軸Ｏ方向を水平方向に向けて使用する場合）に、カバー手段６３，２６３，３６３の側面から洗浄液を排出するようにしても良い。

【0099】

また、上記第１から第３実施形態では、カバー手段６３，２６３，３６３及びベース部材６１により囲まれる空間を外部に連通するための第２開口部６１ｂがカバー手段６３，２６３，３６３の内周面に沿う位置に形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、カバー手段６３，２６３，３６３の内周面よりも内側に第２開口部６１ｂが形成されるものであっても良い。

【0100】

上記第１から第３実施形態では、パッキン６９，２６９が弾性部材から形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、パッキン６９，２６９を金属材料から形成すると共に、パッキン６９，２６９の先端に布を配設してレンズ２，２０２にパッキン６９，２６９の先端を当接させた際にレンズ２，２０２に傷がつかないようにするものであっても良い。なお、この場合には、カバー手段６３，２６３，３６３を２部材から形成する必要はなく１部材で形成しても良い。

【0101】

上記第１から第３実施形態では、アセトン又は無水アルコールの洗浄液を使用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、水、メタノール、フッ素系洗浄剤などレンズを洗浄可能な洗浄液であれば他の種類の洗浄液を使用しても良い。

【0102】

上記第１から第３実施形態では、カバー手段６３，２６３，３６３の内径が先端側から基端側に向かうにつれて大きくされる場合について説明したが必ずしもこれに限られるものではなく、同径に形成されるものであっても、階段状に内径が大きくされるものであっても良い。

【0103】

上記第１から第３実施形態では、第１容器１０に貯留された洗浄液を圧縮気体により洗浄部ユニット６０，２６０，３６０に供給する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第１容器１０と洗浄部ユニット６０，２６０，３６０との間に配設した電動ポンプにより第１容器１０に貯留された洗浄液を洗浄部ユニット６０，２６０，３６０に供給するものであっても良い。

【0104】

上記第１から第３実施形態では、カバー手段６３，２６３，３６３がベース部材６１に着脱可能に配設される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、カバー手段６３，２６３，３６３をベース部材６１に固定する、又は、カバー手段６３，２６３，３６３とベース部材６１とを一体の部材から形成するものであっても良い。

【0105】

上記第１から第３実施形態では、パッキン６９，２６９の内周面が円形に形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものでなく、レンズ２，２０２の洗浄領域に合わせてパッキン６９，２６９の内縁の形状を四角や五角などの多角形状に形成しても良い。

【0106】

上記第１から第３実施形態では、パッキン６９の当接部６９ｂの内径が先端側に向かうにつれて大きく形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、パッキン６９の当接部６９ｂの外径が先端側に向かうにつれて小さく形成されるものであっても良い。

【0107】

上記第１から第３実施形態では、第１容器１０の筒状部材１１ａが光透過性の材料から形成されて貯留部１１の内部が視認可能とされる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、貯留部１１の全体が非透過性の材料から形成され貯留部１１の内部が不可視とされるものであっても良い。

【0108】

上記第１から第３実施形態では、第１容器１０の貯留部１１に洗浄液と圧縮気体とが同じ位置から供給される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、洗浄液と圧縮気体とを異なる位置から貯留部１１に供給しても良い。なお、この場合には、洗浄液と圧縮気体との供給口は共に貯留部１１の上方側に形成されることが好ましい。洗浄液と圧縮気体との経路を近づけて、貯留部１１に供給された洗浄液を圧縮気体により下流側に流しやすくできるからである。

【0109】

上記第２実施形態では、大きさの異なるレンズ２０２を洗浄する際に、内径の異なるパッキン２６９に交換する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、先端の内径の異なるカバー手段２６３に交換することでレンズ２０２の洗浄領域を変更するものであっても良い。即ち、ベース部材６１に対してカバー手段２６３の全体を交換するものであっても良い。この場合も、ベース部材６１及び噴射ノズル６２を共用化できるので、洗浄装置１の部品の種類が多くなることを抑制できる。

【0110】

上記第３実施形態では、保持部３６８ｄがマグネットクランプから形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、レーザー装置本体３又は設置プレートＰに被保持部を形成して、その被保持部に係合する係合部材をカバー手段３６３に配設することで、レーザー装置本体３（レーザー加工機５）に洗浄部ユニット３６０が保持されるものであっても良い。また、例えば、カバー手段３６３とレーザー装置本体３又は設置プレートＰとの間に配設したバネの復元力によりレーザー装置本体３（レーザー加工機５）に洗浄部ユニット３６０が保持されるものであっても良い。

【0111】

なお、これら係合部材やバネによりレーザー装置本体３（レーザー加工機５）に洗浄部ユニット３６０が保持される場合には、保持部３６８ｄがマグネットクランプから形成される場合（上記第３実施形態）に比べて、レーザー加工機５が磁力の影響を受けることを抑制できる。

【符号の説明】

【0112】

１ 洗浄装置
２，２０２ レンズ
５，２０５ レーザー加工機
１０ 第１容器
２０ 第２容器
３０ 調整装置（供給手段）
６１ ベース部材
６１ｂ 第２開口部（排出口）
６２ 噴射ノズル（ノズル）
６３，２６３，３６３ カバー手段
６８，３６８ 筒状部材（基端部材）
６９，２６９ パッキン（先端部材）
７５ 第５パイプ（供給パイプ）
７６ 第６パイプ（排出パイプ）
３６８ｄ 保持部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】