▶ メティスモーション ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングの特許一覧
特許7471689アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-12
(45)【発行日】2024-04-22
(54)【発明の名称】アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法
(51)【国際特許分類】
F15B 11/02 20060101AFI20240415BHJP
【ＦＩ】
F15B11/02 F
F15B11/02 A
【請求項の数】
15
(21)【出願番号】P 2022549036
(86)(22)【出願日】2020-02-14
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-04-14
(86)【国際出願番号】 EP2020053954
(87)【国際公開番号】W WO2021160289
(87)【国際公開日】2021-08-19
【審査請求日】2022-10-07
(73)【特許権者】
【識別番号】519205132
【氏名又は名称】メティスモーション ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
【氏名又は名称原語表記】ＭｅｔｉｓＭｏｔｉｏｎ ＧｍｂＨ
【住所又は居所原語表記】Ｐａｕｌｓｄｏｒｆｆｅｒｓｔｒ． ３６， Ｅｉｎｇａｎｇ Ｃ， ８１５４９ Ｍｕｅｎｃｈｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
(74)【代理人】
【識別番号】100114890
【弁理士】
【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト
(74)【代理人】
【識別番号】100098501
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 拓
(74)【代理人】
【識別番号】100116403
【弁理士】
【氏名又は名称】前川 純一
(74)【代理人】
【識別番号】100134315
【弁理士】
【氏名又は名称】永島 秀郎
(74)【代理人】
【識別番号】100162880
【弁理士】
【氏名又は名称】上島 類
(72)【発明者】
【氏名】ゲオアク バッハマイアー
(72)【発明者】
【氏名】ヴォルフガング ツェルス
(72)【発明者】
【氏名】クリストファー マクラナハン
(72)【発明者】
【氏名】パトリック フレーゼ
【審査官】北村 一
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２０１９／０３６８５１５（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開平０７－１１９６２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－０３２７２１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１５Ｂ １１／００－１１／２２；２１／１４
Ｆ０４Ｂ １／００－ ７／０６
Ｆ０４Ｂ ９／００－１５／０８
Ｆ０４Ｂ ２３／００－２３／１４；５３／００－５３／２２
Ｆ０４Ｂ ４３／００－４７／１４
Ｆ０４Ｂ ４９／００－５１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
アクチュエータ装置（１０）であって、－流体によって負荷可能であり、これにより少なくとも１つの保持位置へと移動可能である少なくとも１つの被駆動エレメント（１２）と、
－アクチュエータ（３４）であって、前記アクチュエータ（３４）の駆動制御によりポンプモードで動作可能であり、前記ポンプモードでは、前記アクチュエータ（３４）の少なくとも１つの部分（Ｔ）が、前記アクチュエータ（３４）の駆動制御により、第１の方向（３６）と、前記第１の方向（３６）とは逆向きの第２の方向（３８）とで交互に可動であり、これによって、前記被駆動エレメント（１２）を流体によって負荷するために、流体を前記被駆動エレメント（１２）に圧送可能である、アクチュエータ（３４）と、
－前記被駆動エレメント（１２）によって流体を導出することができる少なくとも１つの導出通路（３２）と、
－２つの弁エレメント（７８，８０）を有した弁装置（７６）であって、前記２つの弁エレメントは互いに対して可動であり、これにより前記弁装置（７６）は、前記導出通路（３２）を遮断する少なくとも１つの閉鎖状態（Ｓ）であって、前記導出通路（３２）の遮断状態で、前記被駆動エレメント（１２）を流体によって保持位置に保持することができる閉鎖状態（Ｓ）と、前記導出通路（３２）を解放する少なくとも１つの開放状態（Ｏ）との間で調節可能であり、前記開放状態（Ｏ）では、前記弁エレメント（７８，８０）が、前記導出通路（３２）を介した前記被駆動エレメント（１２）による流体の導出を許容し、これにより前記保持位置から少なくとも１つの回避位置への前記被駆動エレメント（１２）の移動を許容する、弁装置（７６）と、
を備えたアクチュエータ装置（１０）において、
・前記第１の方向（３６）への前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記弁エレメント（７８，８０）のうちの第１の弁エレメントが第１の操作方向（３６）へと移動可能であり、これにより、第２の弁エレメント（８０）に向かって移動可能であり、これにより前記弁装置（７６）は閉鎖状態（Ｓ）へと調節可能であり、
・前記第２の方向（３８）への前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記第１の弁エレメント（７８）を、前記第１の操作方向（３６）とは逆の第２の操作方向（３８）で、前記第２の弁エレメント（８０）から離れるように動かすことができ、これにより前記弁装置（７６）は開放状態（Ｏ）へと調節可能であり、
・前記アクチュエータ装置（１０）は、前記ポンプモードでは、前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）を、前記第１の方向（３６）と前記第２の方向（３８）とに交互に動かし、この場合、前記ポンプモードでは、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）へ調節された後、前記弁装置（７６）は、前記ポンプモードで生じる、前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）への交互の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の交互の運動にもかかわらず、前記閉鎖状態（Ｓ）に留まり、これにより前記ポンプモードでは流体を前記被駆動エレメント（１２）へと圧送可能であるように構成されており、
・前記アクチュエータ装置（１０）は、前記ポンプモードとは異なり、前記ポンプモードに続く開放モードで動作可能であり、前記開放モードでは、前記第２の方向（３８）で行われる前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記第２の操作方向（３８）で前記第２の弁エレメント（８０）から離れるように前記第１の弁エレメント（７８）が運動し、これにより、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）から前記開放状態（Ｏ）へと調節される、
アクチュエータ装置（１０）。
【請求項2】
減衰器装置（９２，９３）であって、該減衰器装置（９２，９３）は、前記ポンプモードの開始のために行われる、前記第１の方向（３６）での前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動時に、前記第１の弁エレメント（７８）の、前記第１の操作方向（３６）での前記第２の弁エレメント（８０）に向かう運動を許容し、これにより前記開放状態（Ｏ）から前記閉鎖状態（Ｓ）への前記弁装置（７６）の調節を許容し、次いで行われる、前記第２の方向（３８）での前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動時に、前記弁装置（７６）を前記開放状態（Ｏ）に調節する、前記第１の弁エレメント（７８）の、前記第２の弁エレメント（８０）から離れる前記第２の操作方向（３８）への運動を阻止し、これにより前記弁装置（７６）は前記閉鎖状態（Ｓ）に保持され、これにより前記ポンプモードでは、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）に留まる間に、前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）は交互に前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）に可動である、減衰器装置（９２，９３）が設けられていることを特徴とする、請求項１記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項3】
前記減衰器装置（９２，９３）は、前記ポンプモードで、前記弁装置（７６）の前記開放状態（Ｏ）への調節を生じさせる、前記第１の弁エレメント（７８）の、前記第２の弁エレメント（８０）から離れる前記第２の操作方向（３８）への運動を阻止し、これにより前記弁装置（７６）を前記閉鎖状態（Ｓ）に保持し、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）に留まる間に、前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）は、およびこれにより前記弁エレメント（７８，８０）は交互に前記第１の操作方向（３６）および前記第２の操作方向（３８）に可動であることを特徴とする、請求項２記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項4】
前記減衰器装置（９２，９３）は、前記開放モードで、前記第１の操作方向（３６）および／または前記第２の操作方向（３８）に沿って行われる、前記閉鎖状態（Ｓ）から前記開放状態（Ｏ）への前記弁装置（７６）の調節を生じさせる、前記弁エレメント（７８，８０）間の相対運動を許容するように構成されていることを特徴とする、請求項２または３記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項5】
少なくとも１つのストッパ（７２）が設けられており、前記弁エレメント（７８，８０）および前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）は、前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）に沿って、前記ストッパ（７２）に対して可動であることを特徴とする、請求項２から４までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項6】
前記減衰器装置（９２，９３）は、前記第１の弁エレメント（７８）と共に可動である第１の減衰器エレメント（９４）と、前記第１の減衰器エレメント（９４）に対して可動である第２の減衰器エレメント（９６）とを有しており、前記第１の減衰器エレメント（９４）および前記第２の減衰器エレメント（９６）は、前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の前記第１の方向（３６）への運動により生じる、前記弁装置（７６）の前記開放状態（Ｏ）から前記閉鎖状態（Ｓ）への調節のために、かつ前記ポンプモードの開始のために行われる、前記第１の弁エレメント（７８）の前記第１の操作方向（３６）での前記第２の弁エレメント（８０）に向かう運動の際に、互いに対して可動であることを特徴とする、請求項５記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項7】
前記第１の減衰器エレメント（９４）は、前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）で前記ストッパ（７２）に対して可動であり、前記ストッパ（７２）によって、前記第２の方向（３８）での前記第２の減衰器エレメント（９６）の運動を制限することができ、これにより、前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の前記第１の方向（３６）への運動により生じる、前記弁装置（７６）の前記開放状態（Ｏ）から前記閉鎖状態（Ｓ）への調節のために、かつ前記ポンプモードの開始のために行われる、前記第１の弁エレメント（７８）の前記第１の操作方向（３６）での前記第２の弁エレメント（８０）に向かう運動の際に、前記第１の方向（３６）での前記第２の減衰器エレメント（９６）の運動が行われない間に、前記第１の減衰器エレメント（９４）は前記第１の方向（３６）で前記第２の減衰器エレメント（９６）に対して可動であることを特徴とする、請求項６記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項8】
戻しエレメント（１１０）が設けられており、該戻しエレメントによって、前記第１の減衰器エレメント（９４）および前記第２の減衰器エレメント（９６）は、前記第１の方向（３６）および／または前記第２の方向（３８）に沿って互いに対して可動であり、これにより前記戻しエレメント（１１０）によって、前記第１の操作方向（３６）および／または前記第２の操作方向（３８）に沿って生じる、前記閉鎖状態（Ｓ）から前記開放状態（Ｏ）への前記弁装置（７６）の調節を行わせる前記弁エレメント（７８，８０）間の相対運動を生じさせることができることを特徴とする、請求項６または７記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項9】
前記戻しエレメント（１１０）は、一方では前記第１の減衰器エレメント（９４）に、他方では前記第２の減衰器エレメント（９６）に連結されていることを特徴とする、請求項８記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項10】
前記第１の減衰器エレメント（９４）および前記第２の減衰器エレメント（９６）は、２つの減衰器チャンバ（９８，１００）を画定しており、前記減衰器チャンバには、該減衰器チャンバ（９８，１００）内に導入可能であり、該減衰器チャンバ（９８，１００）から導出可能であるそれぞれ１種の減衰媒体が収容されていることを特徴とする、請求項６から９までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項11】
前記減衰媒体は流体であることを特徴とする、請求項１０記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項12】
駆動エレメント（４１）が設けられており、該駆動エレメントは、第１の駆動部分（４０）と、第２の駆動部分（４２）と、前記第１の駆動部分（４０）および前記第２の駆動部分（４２）によって画定された少なくとも１つの駆動チャンバ（４６）とを有しており、前記ポンプモードでは、前記第１の駆動部分（４０）は、交互に前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）で前記第２の駆動部分（４２）に対して、前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）によって、これにより前記駆動チャンバ（４６）から前記被駆動エレメント（１２）へと流体を圧送可能であり、前記駆動チャンバ（４６）内へと圧送可能であることを特徴とする、請求項１から１１までのいずれか１項記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項13】
流体を前記駆動チャンバ（４６）内へと導入可能である逆止弁（５８）が設けられていることを特徴とする、請求項１２記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項14】
戻し装置（７４）が設けられており、該戻し装置によって、前記第１の駆動部分（４０）は、前記第２の方向（３８）で前記第２の駆動部分（４２）に対して可動であることを特徴とする、請求項１２または１３記載のアクチュエータ装置（１０）。
【請求項15】
アクチュエータ装置（１０）を動作させるための方法であって、前記アクチュエータ装置（１０）は、－流体によって負荷可能であり、これにより少なくとも１つの保持位置へと移動可能である少なくとも１つの被駆動エレメント（１２）と、
－アクチュエータ（３４）であって、該アクチュエータ（３４）は駆動制御され、これによりポンプモードで動作され、前記ポンプモードでは、前記アクチュエータ（３４）の少なくとも１つの部分（Ｔ）が、前記アクチュエータ（３４）の駆動制御により、第１の方向（３６）と、前記第１の方向（３６）とは逆向きの第２の方向（３８）とに交互に動かされ、これによって、前記被駆動エレメント（１２）を流体によって負荷するために、流体が前記被駆動エレメント（１２）に圧送される、アクチュエータ（３４）と、
－前記被駆動エレメント（１２）によって流体を導出することができる少なくとも１つの導出通路（３２）と、
－２つの弁エレメント（７８，８０）を有した弁装置（７６）であって、前記２つの弁エレメントは互いに対して可動であり、これにより前記弁装置（７６）は、前記導出通路（３２）を遮断する少なくとも１つの閉鎖状態（Ｓ）であって、前記導出通路（３２）の遮断状態で、前記被駆動エレメント（１２）を流体によって保持位置に保持することができる閉鎖状態（Ｓ）と、前記導出通路（３２）を解放する少なくとも１つの開放状態（Ｏ）との間で調節可能であり、前記開放状態（Ｏ）では、前記弁エレメント（７８，８０）が、前記導出通路（３２）を介した前記被駆動エレメント（１２）による流体の導出を許容し、これにより前記保持位置から少なくとも１つの回避位置への前記被駆動エレメント（１２）の移動を許容する、弁装置（７６）と、
を有しており、
・前記第１の方向（３６）への前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記弁エレメント（７８，８０）のうちの第１の弁エレメントが、第１の操作方向（３６）へと移動可能であり、これにより、第２の弁エレメント（８０）に向かって移動可能であり、これにより前記弁装置（７６）は前記閉鎖状態（Ｓ）へと調節可能であり、
・前記第２の方向（３８）への前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記第１の弁エレメント（７８）を、前記第１の操作方向（３６）とは逆の第２の操作方向（３８）で、前記第２の弁エレメント（８０）から離れるように動かすことができ、これにより前記弁装置（７６）は開放状態（Ｏ）へと調節可能であり、
・前記アクチュエータ装置（１０）は、前記ポンプモードでは、前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）を、前記第１の方向（３６）と前記第２の方向（３８）とに交互に動かし、この場合、前記ポンプモードでは、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）へ調節された後、前記弁装置（７６）は、前記ポンプモードで生じる、前記第１の方向（３６）および前記第２の方向（３８）への前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の交互の運動にもかかわらず、前記閉鎖状態（Ｓ）に留まり、これにより前記ポンプモードでは流体は前記被駆動エレメント（１２）へと圧送され、
・前記アクチュエータ装置（１０）は、前記ポンプモードとは異なり、前記ポンプモードに続く開放モードで動作され、前記開放モードでは、前記第２の方向（３８）で行われる前記アクチュエータ（３４）の前記少なくとも１つの部分（Ｔ）の運動により、前記第２の操作方向（３８）で前記第２の弁エレメント（８０）から離れるように前記第１の弁エレメント（７８）が運動し、これにより、前記弁装置（７６）が前記閉鎖状態（Ｓ）から前記開放状態（Ｏ）へと調節される、
アクチュエータ装置（１０）を動作させる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法に関する。
【背景技術】
【0002】
アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法は、一般的な従来技術により既に十分に知られている。このようなアクチュエータ装置は、駆動エレメントと被駆動エレメントとを含み得る。駆動エレメントの運動により、例えば、被駆動エレメントの運動を生じさせることができ、これにより例えば、被駆動エレメントの運動により、駆動エレメントに対して付加的に、かつ被駆動エレメントに対して付加的に設けられた少なくとも１つの別の構成エレメントを動かすことができる。駆動エレメントと被駆動エレメントとの間には、特に流体的な、極めて特に液圧的な変速部を設けることができる。例えば、駆動エレメントを動かすために、第１の力を駆動エレメントに加え、その結果として、被駆動エレメントが、第１の力よりも小さなまたは大きな第２の力を、構成エレメントを動かすために提供するということが、変速部により可能である。代替的にまたは付加的に、被駆動エレメントを動かすために駆動エレメントが動かされると、被駆動エレメントは、駆動エレメントよりも速くまたは遅く動かされるということが考えられる。これにより、アクチュエータ装置は、必要に応じて様々な使用例のために利用することができる。
【0003】
被駆動エレメントの運動により、およびその結果生じる構成エレメントの運動により、被駆動エレメントまたは構成エレメントを、第１の位置から、第１の位置とは異なる第２の位置へと動かすことができ、特に第２の位置に保持することができる。被駆動エレメントまたは構成エレメントを第２の位置に保持するために、例えば被駆動エレメントに保持力が加えられるか、または被駆動エレメントが構成エレメントに保持力を加える。この場合、第２の位置から第１の位置へのまたは第１の位置の方向への構成エレメントまたは被駆動エレメントの迅速な運動を許容することが望ましいと考えられる。このためには、保持力の付与または提供をできるだけ迅速に、つまり短時間で終了することが望ましい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
したがって、本発明の課題は、アクチュエータ装置ならびにこのようなアクチュエータ装置を動作させる方法を提供し、これにより、アクチュエータ装置によって少なくとも１つの構成エレメントを特に有利に動かすことができるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
この課題は、請求項１の特徴を有するアクチュエータ装置ならびに請求項１５の特徴を有する方法によって解決される。本発明の好適なさらなる構成を有する有利な構成は、その他の請求項に記載されている。
【0006】
本発明の第１の態様は、少なくとも１つの被駆動エレメントを有するアクチュエータ装置に関する。被駆動エレメントは、流体、特に気体または液体、特にできるだけまたは少なくとも実質的に非圧縮性の液体によって負荷可能であり、かつこれにより少なくとも１つの保持位置へと移動可能である。換言すると、被駆動エレメントを流体で負荷することにより、例えば被駆動エレメントを、出発位置から、出発位置とは異なる保持位置へと、特に並進的にかつ／または所定の運動方向で移動させることができる。被駆動エレメントは、例えば被駆動ピストンであってよく、この被駆動ピストンは、例えば並進運動可能に被駆動ケーシング、特に被駆動シリンダ内に収容されている。被駆動ピストンを流体で負荷することにより、被駆動ピストンを、特に並進的にかつ／または所定の運動方向で、被駆動シリンダに対して、特に出発位置から保持位置へ移動させることができる。そのために、例えば流体が、被駆動シリンダ内に、特に部分的に被駆動シリンダによってかつ部分的に被駆動ピストンによって画定される被駆動チャンバ内に導入される。さらに、被駆動エレメントが、ベローズまたは空気ばねベローズの壁、特に底面であることが考えられる。例えば、流体はベローズに導入され、これにより、被駆動エレメントは、特に並進的にかつ／または所定の運動方向で、特にベローズの別の壁、特に別の側壁に対して移動する。これにより、ベローズが例えば変位する。
【0007】
アクチュエータ装置は、好適には電気的に動作可能な少なくとも１つのアクチュエータをさらに有している。アクチュエータは、アクチュエータの駆動制御によりポンプモードで動作可能である。アクチュエータの駆動制御とは、特に、アクチュエータが電気的に動作可能である場合に、電気エネルギ、特に電流または電圧がアクチュエータに印加されることであると理解されてよい。これは、特に、アクチュエータに電気エネルギまたは電圧が供給されることであると理解されてよい。アクチュエータは例えば線形のアクチュエータである。特に、アクチュエータは、例えばピエゾアクチュエータのように固体アクチュエータであってよい。さらにアクチュエータが、別の固体アクチュエータとして、例えばソレノイドまたはポリマーアクチュエータとして構成されていることも考えられる。ポンプモードでは、アクチュエータの少なくとも１つの部分が、アクチュエータの駆動制御により、第１の方向と、この第１の方向とは逆向きの第２の方向とで交互に、特に並進的に可動であり、これによって、被駆動エレメントを流体で負荷するために、流体を被駆動エレメントに圧送可能であり、特に被駆動チャンバ内に圧送可能である。アクチュエータの部分は、例えば、ランナとも称される可動子であってよく、この可動子は、例えば、アクチュエータの駆動制御によって往復運動する。アクチュエータが例えば固体アクチュエータ、特にピエゾアクチュエータであるならば、例えば、アクチュエータの駆動制御によって、アクチュエータが交互に膨張または伸長、および圧縮または短縮する。アクチュエータが膨張または伸長すると、例えば少なくともアクチュエータの部分が第１の方向に移動し、アクチュエータの長さが短縮されると、例えば少なくともアクチュエータの部分が第２の方向に移動する。
【0008】
さらに、アクチュエータ装置は、少なくとも１つの導出通路を有しており、この導出通路を介して流体が、特に被駆動エレメントが流体で負荷された後に、被駆動エレメントによって導出可能となる。例えば、特に流体が被駆動チャンバ内に導入され、ひいては被駆動エレメントが流体で負荷された後に、流体を、導出通路により被駆動チャンバから導出し、ひいては被駆動エレメントによって導出することができる。このために、例えば導出通路は、被駆動チャンバに流体接続されている。
【0009】
アクチュエータ装置は弁装置をさらに有しており、弁装置は、互いに対して可動である２つの弁エレメントを有し、これにより、弁装置は、少なくとも１つの閉鎖状態と少なくとも１つの開放状態との間で調節可能または切替え可能である。特に、弁エレメントは、例えば並進的に互いに対して動くことができ、これにより、弁装置を閉鎖状態と開放状態との間で調節しまたは切り替えることができる。閉鎖状態において、導出通路は弁装置により、特に流体的に遮断されており、これにより、閉鎖状態では、流体が導出管路を通って流れることができなくなるか、または閉鎖状態において流体は、特に導出通路によって、被駆動チャンバからまたは被駆動エレメントによって導出不可能であるかまたは導出されない。したがって、閉鎖状態では、導出通路の遮断状態で、被駆動エレメントを流体によって保持位置に保持することができる。換言すれば、例えばポンプモードでは、弁装置がその閉鎖状態にある間に、流体がアクチュエータにより、特に被駆動チャンバ内にポンピングされ、これにより弁装置が閉鎖状態にある間に、被駆動エレメントに流体が負荷され、これにより、アクチュエータによって生じる流体の進行するポンピングにより、被駆動エレメントは、特に漸次、保持位置へと動かされる。これに続いて、弁装置がまだ閉鎖状態にあるときに、例えばポンピングが終了されると、被駆動エレメントは、アクチュエータにより事前にポンピングされた、被駆動チャンバ内にあるか、または被駆動エレメントを負荷する流体により保持位置に保持される。なぜならば、例えば導出通路が弁装置により遮断され、これにより被駆動チャンバからのまたは被駆動エレメントによる流体の導出が阻止されるからである。再び換言すれば、例えば、被駆動エレメントが流体によって負荷されるように、流体をアクチュエータによりポンピングすることによって、流体が駆動力を被駆動エレメントに加え、この被駆動エレメントは、特に、例えば被駆動エレメントに作用する、移動力とは逆向きの反力に抗して、被駆動力により保持位置へと移動可能であるかまたは移動する。このとき導出通路は弁装置によって閉鎖されているので、ポンピングが終了した後で、ポンピングが行われない間、被駆動エレメントは流体によって、反力に抗して保持位置に保持される。再び換言すると、反力によっては、被駆動エレメントが保持位置から出発位置へと、または出発位置の方向へと移動することはなく、反力によって、流体が被駆動チャンバから流出するか、または導出通路を介して被駆動エレメントによって導出されることはない。
【0010】
しかしながら、開放状態では弁装置は導出通路を解放するので、開放状態では導出通路は解放されている。つまり、弁エレメントひいては弁装置は、開放状態において、導出通路を介した被駆動エレメントによるまたは被駆動チャンバからの流体の導出を許容し、これにより開放状態において、弁エレメントは、保持位置から、保持位置とは異なる少なくとも１つの回避位置への被駆動エレメントの運動を許容する。保持位置から回避位置への被駆動エレメントの運動中に、被駆動エレメントは、例えば出発位置へまたは出発位置の方向に移動するので、例えば回避位置は出発位置であるか、または回避位置は保持位置と出発位置との間にある。
【0011】
したがって、例えばポンピングが終了し、弁装置が特に所定の期間にわたりまだ閉鎖状態に保持されるならば、この期間中、被駆動エレメントの運動は行われないか、またはこの期間中、被駆動エレメントは保持位置に位置していて、この保持位置で、所定の期間中、流体により被駆動エレメントが保持される。例えば、この期間後に、弁装置が閉鎖状態から開放状態へと調節されると、流体は導出通路を介して被駆動エレメントによって導出可能となるので、例えば反力によって、被駆動エレメントが保持位置から回避位置へと移動する。例えば、最初に被駆動チャンバ内に収容される流体の少なくとも一部は、保持位置から回避位置に移動する被駆動エレメントによって、導出通路を介して作業チャンバから外に出され、特に押し出される。
【0012】
したがって、閉鎖状態への調整により、被駆動エレメントを保持位置に移動させ、保持位置に保持することができる。開放状態への調整により、保持位置から回避位置への被駆動エレメントの運動を許容することができる。それというのも、これにより例えば流体が導出通路を介して被駆動チャンバから導出されるか、または被駆動エレメントによって導出されて、もはや被駆動エレメントを反力に抗して保持位置で保持することができないからである。
【0013】
この場合、アクチュエータ装置は、第１の方向でのアクチュエータの部分の運動により、弁エレメントのうちの第１の弁エレメントが第１の操作方向へと、特に並進的に移動可能であり、これにより、第２の弁エレメントに向かって移動可能であり、これにより弁装置は、特に開放状態から閉鎖状態へと調節可能であるように形成されている。例えば、第１の操作方向は第１の方向に一致し、または第１の操作方向は、第１の方向に対して平行に延在している。さらに、第１の操作方向が、第１の方向に対して傾斜してまたは垂直に延在していることも、または第１の操作方向が第１の方向とは逆であることも考えられる。
【0014】
例えば、アクチュエータの部分は、第１の弁エレメントと少なくとも間接的に、特に直接的に、かつ少なくとも一時的に、特に常時、運動連結されており、その結果、アクチュエータの部分が第１の方向に移動すると、第１の弁エレメントは第１の操作方向に動かされる。さらに、アクチュエータの部分が、第１の方向への運動中、少なくとも一時的に第１の弁エレメントに、第１の方向で少なくとも間接的に支持されているまたは支持可能であり、これにより、アクチュエータの部分が第１の方向へ移動すると、第１の弁エレメントが第１の操作方向に、特に第１の方向に移動することが考えられる。これにより、例えば開放状態から出発して、第１の弁エレメントを第２の弁エレメントに向かって動かすことができ、これにより、弁装置は開放状態から閉鎖状態へ調節可能であるまたは調節される。例えば、開放状態では、弁エレメントは互いに離間しており、これにより、例えば流体が弁エレメントの間を通って流れることができ、またはこれにより、例えば弁装置もしくは弁エレメントを配置することができる導出通路が解放されている。閉鎖状態では、弁エレメントは例えば、特に直接に互いに当接しているので、弁エレメントは互いにシールされており、その結果、導出通路を遮断している。換言すると、例えば閉鎖状態では、流体が弁エレメント間を通流することはできず、これにより例えば閉鎖状態では、弁エレメントにより導出通路が流体的に遮断されている。
【0015】
アクチュエータ装置はさらに、第２の方向でのアクチュエータの部分の運動により、第１の操作方向とは逆の第２の操作方向への、第２の弁エレメントから離れるような第１の弁エレメントの運動が生じ、これにより弁装置は、特に閉鎖状態から開放状態へと調節可能であるように形成されている。第２の操作方向は、例えば第２の方向に一致するか、または第２の方向に対して平行に延在している。さらに、第２の操作方向が、第２の方向に対して傾斜してまたは垂直に延在している、または第２の戻し方向とは逆であることも考えられる。特に操作方向は、互いに平行にかつ互いに逆向きに延在している。換言すると、アクチュエータの部分が第２の方向に移動すると、これにより、第２の操作方向への第２の弁エレメントの運動が生ぜしめられるかまたは許容され、これにより、第２の弁エレメントは、第１の弁エレメントから離れる方向に移動する。これにより、弁装置が開放される。第２の方向へのアクチュエータ部分の運動により、第２の操作方向への第１の弁エレメントの運動を第２の弁エレメントから離れる方向で生じさせることができるという特徴は、特に、例えば第２の方向へのアクチュエータの部分の運動により、第２の操作方向および第２の弁エレメントから離れる方向への第１の弁エレメントの運動が許容されることを、または特に第１の操作方向および／または第２の操作方向へ第１の弁エレメントがアクチュエータの部分と共に一緒に動くことができるように、第２の操作方向への第２の弁エレメントから離れる方向への第１の弁エレメントの運動が作動させられることを意味する。特に操作装置は、例えばばねのように設けられていてよく、このばねによって、例えば、第２の方向で行われる、アクチュエータの部分の運動の結果、第１の弁エレメントは第２の運動方向で可動である。例えば、第１の弁エレメントがアクチュエータの部分と特に堅固に運動連結されており、これにより例えば、アクチュエータの部分が第１の速度でかつ／または第１の距離を第１の方向でまたは第２の方向で動かされる場合、これにより第１の弁エレメントは第２の速度でかつ／または第２の距離を第１の操作方向でもしくは第２の操作方向で一緒に動かされ、この場合、第２の速度は第１の速度に相当し、かつ／またはこの場合第２の距離は第１の距離に相当することが考えられる。
【0016】
アクチュエータ装置は、ポンプモードでは、アクチュエータの部分を、第１の方向と第２の方向とに交互に動かし、この場合、ポンプモードでは、弁装置が閉鎖状態へ特に最初に調節された後、弁装置は、ポンプモードで生じる、第１の方向および第２の方向への交互の第１の部分の運動にもかかわらず、閉鎖状態に留まり、これによりポンプモードでは、流体が、被駆動エレメントへ圧送可能であるかまたは圧送されるように構成されている。換言すると、少なくともアクチュエータの部分は、ポンプモードにおいて、第１の方向と第２の方向とに交互に動かされ、この場合、ポンプモードでは、特に開放状態から閉鎖状態へ弁装置が最初に調節された後、この弁装置は、ポンプモードで生じる第１の部分の交互の運動にもかかわらず、例えば上述したように、第１の弁エレメントがアクチュエータの部分に運動連結されていても、留まる。したがって、例えば、第１の弁エレメントがアクチュエータの部分と共に交互に第１の方向および第２の方向に往復運動するにもかかわらず、弁装置は閉鎖状態に留まり、または例えば弁エレメントが互いに当接した状態に留まるので、導出通路は遮断され、遮断状態に留まり、これによりポンプモードでは、流体は被駆動エレメントへ、特に被駆動チャンバ内に圧送可能であり、特に被駆動エレメントはポンプモードでは、かつポンプモードによって、特に出発位置から保持位置へと可動であり、または動かされる。
【0017】
アクチュエータ装置は、この場合、ポンプモードとは異なる、例えばポンプモードに続く開放モードで動作可能であって、開放モードでは、第２の方向で行われるアクチュエータの部分の運動により、第２の操作方向で第２の弁エレメントから離れるように第１の弁エレメントを運動させ、これにより、弁装置は閉鎖状態から開放状態へと調節される。換言すると、開放モードにより、弁装置は開放し、ひいては、被駆動エレメントは、例えば反力を回避し、その結果、保持位置から回避位置へと移動することができるかまたは移動する。特に、ポンプモードでは、弁エレメント間の相対運動は行われないので、ポンプモードでは、弁装置は閉鎖状態に留まる。
【0018】
アクチュエータ装置によって、一方では、ポンプモードにおいて、被駆動エレメントを、特に出発位置から保持位置へと、特に、例えば流体によって発生させることができるかまたは発生する、アクチュエータの部分と被駆動エレメントとの間の変速を介して、移動させることができる。ポンピングまたはポンプモードが終了すると、弁装置が閉鎖状態に維持される間に、流体によって被駆動エレメントを保持位置に保持することができる。他方では、アクチュエータ装置は、弁装置を閉鎖状態から開放状態へと特に迅速に、特にアクチュエータの相応の駆動制御のみによって、またはアクチュエータの駆動制御の変更によって、調節することができる。したがって、例えばアクチュエータが第１の形式で駆動制御されると、ポンプモードが生じる。次いでアクチュエータが、例えば第１の形式とは異なる第２の形式で駆動制御されると、ポンプモードから開放モードへと変更され、弁装置の開放を特に迅速に生じさせることができる。したがって、例えば最初に弁装置が閉じられると、これに基づきまず、被駆動エレメントが流体によって保持位置に保持され、次いで、例えば、これにより特に迅速に、保持位置から回避位置へのアクチュエータの移動が行われるべきである状況に到り、これにより特に迅速に、閉鎖状態から開放状態への弁装置の調節を行うことができる。例えば、弁装置は、少なくとも実質的に一定の電圧がアクチュエータにかけられるように、またはアクチュエータに少なくとも実質的に一定にもしくは継続的に特に十分高い電圧が供給されるように、閉鎖状態に保持される。ポンプモードは、例えば、第１の電圧、および第１の電圧よりも低い、ゼロであってもよい第２の電圧が交互にアクチュエータにかけられるように、アクチュエータを駆動制御するように、生ぜしめられる。第１の電圧と第２の電圧とが十分高速で切り替えられるならば、弁装置が閉鎖状態に留まる間、または保持される間に、ポンプモードを生じさせることができる。例えば、保持位置で被駆動エレメントを保持するためにアクチュエータに少なくとも実質的に継続的に加えられる電圧が減じられ、これに続いてアクチュエータが再び、ポンプモードが生じるように駆動制御されることがなければ、これにより弁装置を特に迅速に開放することができる。
【0019】
例えばポンプモードおよび開放モードを特に有利に実現することができるようにするために、１つの有利な構成では、アクチュエータ装置は、例えば少なくとも第１の弁エレメントに連結されていて、かつ好適には非線形の減衰器として形成されている減衰器装置を有している。非線形の減衰器とは、例えば以下のように理解されてよい。すなわち、例えば減衰器に第１の操作力が加えられると、これにより、例えば減衰器は、長さが短縮され、または圧潰されもしくは圧縮される。例えば減衰器に、第１の操作力とは逆向きの第２の操作力が加えられると、これにより例えば減衰器は、延長され、すなわち伸長されまたは膨張する。減衰器装置は例えば特に、例えば第１の操作力が第２の操作力に数値的に相当している場合に、減衰器が第１の速度で短縮され、第１の速度とは異なる第２の速度で膨張することによって非線形の減衰器となり、またはこの非線形の減衰器は、特に例えば第１の操作力が第２の操作力に数値的に相当している場合に、減衰器が第１の速度で短縮され、第１の速度とは異なる第２の速度で膨張する点において優れている。換言すると、操作力は、数値的には同じであっても、減衰器を短縮または膨張させる速度は異なってくる。これとは異なり、例えば減衰器が同じ速度で膨張して短縮されるべき場合には、第２の操作力が第１の操作力とは異なっており、したがって第１の操作力よりも大きくまたは小さくなければならない。減衰器は、その膨張時に引っ張られ、つまり引張り力が加えられ、この場合、減衰器は、短縮時に圧縮されまたは圧縮力が加えられることが認められる。膨張時にも短縮時にも減衰器は減衰作用を生じさせ、この場合、膨張時における減衰は伸張段階と呼び、かつ短縮時における減衰は圧縮段階と呼ぶ。減衰器は、例えば非線形の減衰器であるので、伸張段階は圧縮段階よりも硬く、または軟らかくなる。換言すると、減衰器の膨張時の減衰は、減衰器の短縮時の減衰よりも強力であるかまたは僅かである。再び換言すると、減衰器は、その非線形性に基づいて、減衰器の膨張時に第１の減衰または第１の減衰作用を提供し、減衰器の短縮時に、第１の減衰とは異なる第２の減衰または第２の減衰作用を提供する。再び換言すると、例えば非線形の減衰器が第１の速度で膨張すると、これは第１の減衰力をもたらす。減衰器が第２の速度で短縮されると、つまり圧縮されると、これは例えば第２の減衰力を生じさせる。減衰器は、この場合、非線形であるので、第１の速度が第２の速度にまたは第２の速度が第１の速度に相当する場合に、第１の減衰力は、特に十分に公知の式
Ｆｄ＝ｄｖ
に関連して、第２の減衰力よりも大きくまたは小さくなる。
Ｆｄ＝ｄｖ
に関連して、第２の減衰力よりも大きくまたは小さくなる。
【0020】
この場合、Ｆｄはそれぞれの減衰力を表し、ｖは減衰器が膨張または圧縮されるそれぞれの速度を表し、ｄは減衰器の減衰定数を表す。したがって、減衰器は、例えばその伸張段階のために第１の減衰定数を有しており、かつその圧縮段階のために、第１の減衰定数とは異なる第２の減衰定数を有しており、この第２の減衰定数は、例えば第１の減衰定数よりも大きいかまたは小さい。
【0021】
減衰器装置は、ポンプモードを開始するために行われる、特に最初の第１の方向へのアクチュエータの部分の第１の運動時に、第１の弁エレメントの、第１の操作方向への、第２の弁エレメントに向かう運動を許容し、これにより、減衰器装置は、開放状態から閉鎖状態への弁装置の調節を許容する。これに続く第２の方向へのアクチュエータの部分の運動時に、減衰器装置は、弁装置を開放状態へと調節する、第２の弁エレメントから離れる方向の、第２の操作方向への第１の弁エレメントの運動を、特に少なくとも一時的に阻止し、これにより、減衰器装置は、弁装置を閉鎖状態に保持する。これにより、ポンプモードでは、アクチュエータの部分は、交互に第１の方向と第２の方向とに可動である一方、弁装置は、閉鎖状態に留まる。この実施形態により、弁装置を、特に簡単にかつ、特にアクチュエータの相応の駆動制御によってのみまたはアクチュエータの駆動制御の相応の変更によってのみ、開閉することができ、すなわち開放状態と閉鎖状態との間で切り替えることができる。
【0022】
この場合、減衰器装置は、ポンプモードで、弁装置の開放状態への調節を生じさせる、第１の弁エレメントの、第２の弁エレメントから離れる第２の操作方向への運動を阻止し、これにより弁装置を閉鎖状態に保持し、弁装置が閉鎖状態に留まる間に、かつ好ましくは、弁エレメント間の相対運動が行われない間に、アクチュエータの部分は、これにより弁エレメントは特に一緒に、交互に第１の方向および第２の方向に可動であるならば、特に有利であることが示された。換言すると、減衰器装置は、特に非線形の減衰器の形態であり、この場合、特に伸長段階に関して、圧縮段階に関するよりも例えば剛性が高いので、例えばポンプモードでは、減衰器装置と弁エレメントとは、アクチュエータの部分と共にブロックとして往復運動し、この場合に弁エレメント間の相対運動が行われることはなく、つまり弁装置は、閉鎖状態から開放状態へ調節されることがない。
【0023】
さらなる実施形態は、減衰器装置が、開放モードで、第１の操作方向および／または第２の操作方向に沿って行われる、閉鎖状態から開放状態への弁装置の調節を生じさせる、弁エレメント間の相対運動を許容するように構成されている点において優れている。例えば、被駆動エレメントを保持位置に保持するためにアクチュエータに印加される電圧が、十分に緩慢に降下されると、またはポンプモードを生じさせるアクチュエータの駆動制御が行われないように降下されると、例えば非線形の減衰器には、その硬いまたは剛性の高い伸張段階にもかかわらず弛緩し、その結果、弁エレメント同士が互いに離れるように運動するような弁エレメント間の相対運動が生じるために十分な時間が与えられるか、またはこれにより弁装置が開放される。このことは、例えば、アクチュエータの駆動制御が、またはアクチュエータへの電気エネルギ、特に電圧または電流の供給が行われないことにより、または長期間行われない場合に生じる。
【0024】
本発明の特に有利なさらなる実施形態では、アクチュエータはストッパを有しており、弁エレメントおよびアクチュエータの部分は、第１の方向および第２の方向に沿って、ストッパに対して可動である。ストッパによって、弁装置の特に迅速な開放を特に簡単に生じさせることができる。
【0025】
さらなる実施形態は、減衰器装置が、第１の弁エレメントと共に可動である、特に弁エレメントに堅固に連結された第１の減衰器エレメントと、第１の減衰器エレメントに対して、特に並進的に可動である第２の減衰器エレメントとを有している点において優れている。減衰器の膨張および圧縮の際には、減衰器エレメントは、例えば互いに対して、特に並進的に、特に減衰器エレメントの一方が他方の減衰器エレメント内に入るように、またはその逆であるように、動かされる。減衰器エレメントは、好ましくは、アクチュエータの部分の第１の方向への運動により生じる、弁装置の開放状態から閉鎖状態への調節のために、かつポンプモードの開始のために行われる、第１の弁エレメントの第１の操作方向での第２の弁エレメントに向かう運動の際に、互いに対して可動であり、特に互いに内外に可動である。
【0026】
さらなる実施形態は、減衰器エレメントが、第１の方向および第２の方向でストッパに対して、特に並進的に可動であり、ストッパによって、第２の方向での第２の減衰器エレメントの運動を制限することができ、これにより、アクチュエータの部分の第１の方向への運動により生じる、弁装置の開放状態から閉鎖状態への調節のために、かつポンプモードの開始のために行われる、第１の弁エレメントの第１の操作方向での第２の弁エレメントに向かう運動の際に、第１の方向での第２の減衰器エレメントの運動が行われない間に、第１の減衰器エレメントは第１の方向で第２の減衰器エレメントに対して、特に並進的に可動である点において優れている。これにより、減衰器エレメントは、ポンプモードと開放モードとを、特に簡単かつ有利に迅速に切替えできるようにするために、その運動に関して有利に影響を受けることができる。
【0027】
本発明の特に有利なさらなる実施形態では、アクチュエータ装置は、特に少なくとも間接的に減衰器エレメントに連結された戻しエレメントを有しており、この戻しエレメントは例えば特に機械的なばねとして形成されていてよい。戻しエレメントによって、減衰器エレメントは、第１の方向および／または第２の方向に沿って互いに対して可動であり、これにより戻しエレメントによって、第１の操作方向および／または第２の操作方向に沿って生じる、閉鎖状態から開放状態への弁装置の調節を行わせる、弁エレメント間の上述した相対運動を生じさせることができる。
【0028】
この場合、戻しエレメントは一方では第１の減衰器エレメントに、他方では第２の減衰器エレメントに、特に堅固にかつ／または直接に連結されているならば特に有利であることが示された。
【0029】
本発明のさらなる構成では、減衰器エレメントが、特に互いに対向する２つの減衰器チャンバを画定しており、この減衰器チャンバには、減衰チャンバ内に導入可能であり減衰チャンバから導出可能である減衰媒体が、特に減衰流体が収容されていることが想定されている。特に減衰流体は、減衰器チャンバ間で溢流することができ、したがって、一方の減衰器チャンバから他方の減衰器チャンバへと、またはその逆に流れることができる。
【0030】
この場合、特に有利には、開放モードとポンプモードとの間で切り替えることができるように、本発明のさらなる構成では、減衰器媒体が流体であることが想定されている。
【0031】
さらなる実施形態は、第１の駆動部分と、第２の駆動部分と、これらの駆動部分によって画定された駆動チャンバとを有している駆動エレメントの点で優れている。被駆動エレメントについての前述のおよび後述の説明は、問題なく駆動エレメントにも当てはめることができる。したがって、例えば駆動部分は、駆動ピストン、またはベローズもしくは空気ばねベローズの壁、特に底面であってよく、この場合、例えば第２の駆動部分は、駆動ケーシング、特に駆動シリンダ、またはベローズもしくは空気ばねベローズの別の壁、特に側壁であってよい。ポンプモードでは、第１の駆動部分は、交互に第１の方向および第２の方向で第２の駆動部分に対して、第２の弁エレメントと共に、可動であってまたは動かされ、これにより駆動チャンバから被駆動エレメントへと流体を圧送可能であり、駆動チャンバ内へと圧送可能である。
【0032】
さらなる実施形態は、例えば特に機械的なばねとして形成されていてよい戻し装置の点で優れている。この戻し装置によって、第１の駆動部分、および第２の弁エレメントは、第２の方向で第２の駆動部分に対して可動である。
【0033】
戻し装置が、第１の駆動部分および第２の弁エレメントと共に可動であるストッパエレメントに連結されており、このストッパエレメントは第２の方向で少なくとも間接的に第２の減衰器エレメントと、戻しエレメントとに支持可能であり、特にこれにより、第２の方向で第２の減衰器エレメントに対して、かつ戻しエレメントに対して行われる、第２の弁エレメントおよび第１の駆動部分の運動が、ストッパエレメントによって制限可能であり、または阻止可能であるならばさらに特に有利であることが示された。
【0034】
アクチュエータ装置が、減衰媒体によって貫流可能な通路と、この通路内に配置された逆止弁とを有しており、この逆止弁は、第１の流れ方向で通路を通る、減衰器チャンバ内に延びる減衰媒体の流れを許容し、第１の流れ方向とは逆の第２の流れ方向で、減衰器チャンバから出る減衰媒体の流れのための通路を遮断するならば、さらに特に有利であることが示された。
【0035】
本発明の第２の態様は、アクチュエータ装置を、特に本発明の第１の態様によるアクチュエータ装置を動作させる方法に関する。本発明の第１の態様の利点および有利な構成は、本発明の第２の態様の利点および有利な構成とみなすことができ、逆も同様である。本発明の第２の態様では、アクチュエータ装置は、流体によって負荷可能であり、これにより少なくとも１つの保持位置へと移動可能である少なくとも１つの被駆動エレメントを有している。
【0036】
アクチュエータ装置は、アクチュエータであって、駆動制御され、これによりポンプモードで動作され、ポンプモードでは、アクチュエータの少なくとも１つの部分が、アクチュエータの駆動制御により、第１の方向と、第１の方向とは逆向きの第２の方向とに交互に動かされ、これによって、被駆動エレメントを流体によって負荷するために流体が被駆動エレメントに圧送される、アクチュエータをさらに有している。
【0037】
アクチュエータ装置は、被駆動エレメントによって流体を導出することができる少なくとも１つの導出通路をさらに有している。
【0038】
アクチュエータ装置は、２つの弁エレメントを有した弁装置であって、２つの弁エレメントは互いに対して可動であり、これにより弁装置は、導出通路を遮断する少なくとも１つの閉鎖位置であって、導出通路の遮断状態で、被駆動エレメントを流体によって保持位置に保持することができる閉鎖位置と、導出通路を解放する少なくとも１つの開放位置との間で調節可能であり、開放位置では、弁エレメントが、導出通路を介した被駆動エレメントによる流体の導出を許容し、これにより保持位置から、保持位置とは異なる少なくとも１つの回避位置への被駆動エレメントの移動を許容する、弁装置をさらに有している。
【0039】
第１の方向へのアクチュエータの部分の運動により、弁エレメントのうちの第１の弁エレメントが、第１の操作方向へと移動可能であり、これにより、第２の弁エレメントに向かって移動可能であり、これにより弁装置は閉鎖状態へと調節可能である。第２の方向へのアクチュエータの部分の運動により、第１の弁エレメントを、第１の操作方向とは逆の第２の操作方向で、第２の弁エレメントから離れるように動かすことができ、これにより弁装置は開放状態へと調節可能である。ポンプモードでは、アクチュエータ装置は、アクチュエータの部分を、第１の方向と第２の方向とに交互に動かし、この場合、ポンプモードでは、弁装置が閉鎖状態へ特に最初に調節された後、弁装置は、ポンプモードで生じる、第１の方向および第２の方向へのアクチュエータの部分の交互の運動にもかかわらず、閉鎖状態に留まり、これによりポンプモードでは流体は被駆動エレメントへと圧送される。さらに、アクチュエータ装置は、ポンプモードとは異なる、ポンプモードに続く開放モードで動作され、開放モードでは、第２の方向で行われるアクチュエータの部分の運動により、第２の操作方向で第２の弁エレメントから離れるように第１の弁エレメントが運動し、これにより、弁装置は閉鎖状態から開放状態へと調節される。
【0040】
本発明のさらなる利点、特徴、および詳細は、以下の好ましい実施例の説明および図面から明らかである。詳細な説明において上述した特徴および特徴の組合せ、ならびに以下に図面の説明において述べられる特徴および／または図面においてのみ示された特徴および特徴の組合せは、それぞれ提供された組合せにおいてのみならず、本発明の範囲を逸脱することなく、他の組合せにおいてまたは単独でも使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0041】
【図1】本発明によるアクチュエータ装置の第１の実施形態を示す概略図である。
【図8】アクチュエータ装置の第２の実施形態の概略的な部分断面図である。
【図9】アクチュエータ装置の第３の実施形態の概略的な断面図である。
【図10】アクチュエータ装置の第３の実施形態の別の概略図である。
【図11】アクチュエータ装置の第３の実施形態の別の概略図である。
【図12】アクチュエータ装置の第３の実施形態の別の概略図である。
【図13】アクチュエータ装置の第３の実施形態の別の概略図である。
【図14】アクチュエータ装置の第４の実施形態の概略的な部分断面図である。
【図15】アクチュエータ装置のアクチュエータの駆動制御を示すグラフである。
【図16】アクチュエータ装置の第５の実施形態の概略図である。
【図17】アクチュエータの別の駆動制御を示すグラフである。
【図18】アクチュエータの別の駆動制御を示すグラフである。
【図19】アクチュエータの別の駆動制御を示すグラフである。
【図20】アクチュエータ装置の第６の実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0042】
図中、同じエレメントまたは機能が同じエレメントには同じ参照符号が付されている。
【0043】
図１は、液圧式のアクチュエータ、特にピエゾ液圧式のアクチュエータとして形成されたアクチュエータ装置１０の第１の実施形態を概略図で示している。アクチュエータ装置１０は被駆動エレメント１２を有しており、この被駆動エレメントは、第１の実施形態では、第１のピストンとして構成されている。第１のピストンは、被駆動ピストンとも呼ばれる。被駆動エレメント１２は、例えばシリンダとして形成されたケーシング１４内に並進運動可能に収容されており、この場合、ケーシング１４は被駆動ケーシングとも呼ばれ、したがって被駆動シリンダとして形成されていてよい。例えば、ピストンとして、または空気ばねベローズまたはベローズの底面として形成された被駆動エレメント１２は、図１に双方向矢印１６により示した運動方向に沿ってケーシング１４に対して並進的に可動である。この場合、被駆動エレメント１２およびケーシング１４は、それぞれ部分的に被駆動チャンバ１８を画定し、被駆動チャンバ１８は、被駆動エレメント１２によって直接に画定されている。そこで、例えばガスとしてまたは液体として形成された流体が、特に通路２０を介して被駆動チャンバ１８内に導入されると、これにより被駆動エレメント１２は、特に直接に、被駆動チャンバ１８内に導入された流体によって負荷される。
【0044】
被駆動エレメント１２はピストンロッド２２に結合されているので、ピストンロッド２２と被駆動エレメント１２とは共に、運動方向に沿ってケーシング１４に対して並進運動可能である。例えば被駆動エレメント１２が、運動方向と一致するかまたは運動方向に対して平行に延びていてかつ図１に矢印２４により示された第１の被駆動方向に動かされると、これによりピストンロッド２２がケーシング１４に対して第１の被駆動方向に動かされ、ケーシング１４から少なくとも部分的に外に出るように動かされる。被駆動エレメント１２が、図１に矢印２６により示された、第１の被駆動方向とは反対方向で、運動方向と一致するかまたは運動方向に対して平行に延びる第２の被駆動方向で、ケーシング１４に対して特に並進的に動かされると、これによりピストンロッド２２は、ケーシング１４に対して第２の被駆動方向に、特に並進的に動かされ、この場合、ピストンロッド２２は、少なくとも部分的にケーシング１４内に動かされる。
【0045】
この場合、アクチュエータ装置１０は、ここでは機械的なばねとして構成されているばねエレメント２８を有している。ばねエレメント２８は、特に運動方向に沿って、一方では少なくとも間接的に、特に直接的に、ケーシング１４に支持され、他方では少なくとも間接的に、特に直接的に、被駆動エレメント１２に支持されている。この場合、ばねエレメント２８は、第１の実施形態では、被駆動チャンバ１８とは反対の側のばねチャンバ３０内に配置されており、ばねチャンバは、ケーシング１４と被駆動エレメント１２とによってそれぞれ部分的に画定されている。被駆動エレメント１２が第１の被駆動方向に動かされると、これにより、ばねエレメント２８は緊張する。その結果、ばねエレメント２８は、反力とも呼ばれるばね力を提供し、特に被駆動チャンバ１８からの、特に導出通路３２を介した流体の流出が許容される場合に、このばね力により、被駆動エレメント１２は、第２の被駆動方向に移動可能であるかまたは動かされる。
【0046】
被駆動エレメント１２は、少なくとも間接的に、特にピストンロッド２２を介して、図には示されていない構成エレメントに連結されており、特に運動連結されている。例えば、被駆動エレメント１２を移動させることにより、構成エレメントを運動させることができる。被駆動チャンバ１８への流体のポンピングまたは圧送によって、被駆動エレメント１２は、被駆動チャンバ１８内にポンピングまたは圧送された流体によって、特に直接に負荷される。これにより、被駆動エレメント１２は、例えば図１に示された出発位置から、出発位置とは異なる保持位置へと移動可能であり、または移動される。例えば、保持位置への被駆動エレメント１２の運動後に、さらなる流体がもはや被駆動チャンバ１８内に圧送されないならば、または保持位置への被駆動エレメント１２の移動後に被駆動チャンバ１８内への流体のさらなる圧送が行われず、保持位置への被駆動エレメント１２の移動後に、被駆動チャンバ１８内に収容された流体の導出が、特に導出通路３２が遮断されているかまたは遮断されることによって阻止されるならば、被駆動エレメント１２は、被駆動チャンバ１８内に収容された流体によって、特にばねエレメント２８によって提供されるばね力または反力に抗して、保持位置に保持される。保持位置では、例えばばねエレメント２８は緊張しているので、ばねエレメント２８は、保持位置において上述のばね力または反力を提供する。
【0047】
しかし、次いで例えば導出通路３２が解放され、これにより導出通路３２を介して、まず被駆動チャンバ１８内に収容された流体の少なくとも一部が被駆動チャンバ１８から流出して、導出通路３２内に流入することが可能であれば、被駆動エレメント１２はばね力を回避することができ、これにより被駆動エレメント１２は、ばね力により保持位置から、保持位置とは異なる回避位置へと移動可能であるか、または移動する。この回避位置は、例えば出発位置または、特に運動方向に沿って、出発位置と保持位置との間に配置されている回避位置であるので、例えば導出通路３２が開放されると、被駆動エレメント１２は、反力によって保持位置から出発位置へと、または出発位置の方向に、かつこの場合、例えば回避位置へと移動可能であるかまたは移動する。
【0048】
アクチュエータ装置１０は、例えば固体アクチュエータとして、特にピエゾアクチュエータとして形成することができるアクチュエータ３４を有している。アクチュエータ３４は、特に電気的に駆動制御可能である。換言すると、アクチュエータ３４は電気的に動作可能である。アクチュエータ３４の電気的な動作または電気的な駆動制御とは、アクチュエータ３４に電圧Ｕｐｉｅｚｏが供給可能であるかまたは供給されることを意味する。換言すると、アクチュエータ３４に電圧を加え、これによりアクチュエータ３４を駆動制御する。特に、アクチュエータ３４の駆動制御とは、アクチュエータ３４への電圧の印加が変化されることと理解されてよい。これは特に、電圧Ｕｐｉｅｚｏが、第１の値と第２の値との間で変化することであると理解されてよい。第１の値は、好ましくはゼロではない値であり、第２の値は、好ましくは第１の値とは異なる値である。第２の値がゼロではない値であってもよく、または第２の値がゼロであってもよい。アクチュエータ３４の駆動制御の終了とは特に、アクチュエータ３４に対する電圧の印加が行われないことであると、すなわち、アクチュエータ３４への電気エネルギまたは電圧の供給が中断されることであると理解されてよい。
【0049】
アクチュエータ３４は、アクチュエータ３４の駆動制御によりポンプモードで動作可能であり、ポンプモードでは、アクチュエータ３４の少なくとも１つの部分Ｔが、アクチュエータ３４の駆動制御により、矢印３６によって示された第１の方向と、この第１の方向とは逆向きの、矢印３８によって示された第２の方向とで交互に、特に並進的に可動であり、これによって、被駆動エレメント１２を流体によって負荷するために、流体を被駆動エレメント１２に圧送可能であり、特に被駆動チャンバ１８内に圧送可能である。電圧をアクチュエータ３４に印加することにより、例えば、アクチュエータ３４の長さが増加し、これにより例えば部分Ｔが第１の方向に、特に距離Ｓｐｉｅｚｏだけ移動する。例えば、アクチュエータ３４への電圧の印加が終了すると、または電圧が減じられると、これによりアクチュエータ３４の長さが短縮し、これにより例えば少なくとも部分Ｔは第２の方向に、特に上述した距離だけ戻る。第１の方向への部分Ｔの移動により、流体を被駆動チャンバ１８内に圧送することができる。アクチュエータ装置１０はさらに導出通路３２を有しており、この導出通路を介して、被駆動チャンバ１８内に最初は収容された流体が少なくとも部分的に被駆動チャンバ１８から、したがって被駆動エレメント１２によって導出可能である。
【0050】
図１からわかるように、第１の実施形態では、アクチュエータ装置１０は圧送装置とも称される駆動エレメント４１を有しており、この駆動エレメントは、圧送エレメント４０とも称される第１の駆動部分と、第２の駆動部分とも称される圧送ケーシング４２とを有している。圧送エレメント４０は、図１に矢印４４により示した第２の運動方向に沿って圧送ケーシング４２に対して並進運動可能である。第１の実施形態では、圧送エレメント４０はピストンであり、圧送ケーシング４２はケーシング、特にシリンダである。さらに、被駆動エレメント１２または圧送エレメント４０は、ベローズの第１の壁、特に底面であり、この場合、例えばケーシング１４または圧送ケーシング４２は、ベローズの第２の壁、特に側壁であると考えることができる。例えば流体がベローズ内に圧送されると、これにより例えば底面は側壁に対して並進的に、特に第１の被駆動方向で動かされる。次いで、例えば流体がベローズから、特に被駆動チャンバ１８から導出されると、これにより例えば、側壁に対する底面の運動が第２の被駆動方向で生じる。圧送エレメント４０がベローズの第１の壁として、圧送ケーシング４２が第２の壁として形成されている場合には特に、同様のことが圧送エレメント４０および圧送ケーシング４２に対しても当てはまる。
【0051】
圧送エレメント４０と圧送ケーシング４２とは、それぞれ部分的に、駆動チャンバとも称される圧送チャンバ４６を画定しており、この場合、圧送チャンバは、圧送エレメント４０によって直接に画定されている。圧送ケーシング４２に対する圧送エレメント４０の運動により圧送チャンバ４６の容積は変化する。例えば、圧送エレメント４０が圧送ケーシング４２に対して、図１に矢印４８によって示された、第２の運動方向に一致するかまたは第２の運動方向に対して平行に延在する第１の圧送方向で、特に並進的に動かされると、これにより圧送チャンバ４６の容積は縮小する。例えば圧送エレメント４０が、第１の圧送方向とは逆の、図１に矢印５０によって示された、第２の運動方向に一致するかまたは第２の運動方向に対して平行に延在する第２の圧送方向で、圧送ケーシング４２に対して、特に並進的に動かされると、これにより圧送チャンバ４６の容積は増大する。
【0052】
アクチュエータ装置１０はさらにリザーバ５２を有しており、このリザーバはリザーバチャンバ５４を含む。この場合、流体または流体の少なくとも一部は、リザーバチャンバ５４内に配置されている。圧送エレメント４０が第２の圧送方向で圧送ケーシング４２に対して、特に並進的に動かされると、これにより、供給通路とも称される通路５６を介して、最初にリザーバチャンバ５４内に、ひいてはリザーバ５２内に収容された流体の少なくとも一部が、リザーバチャンバ５４から吸い出されまたは圧送され、通路５６を通って吸い込まれるかまたは圧送され、圧送チャンバ４６内に吸い込まれるかまたは圧送される。この場合、通路５６内には、リザーバチャンバ５４の方向では遮断し、逆方向、ひいては、供給チャンバとも称される圧送チャンバ４６の方向では開放する逆止弁５８が配置されている。これにより、流体が、不都合にもリザーバチャンバ５４の方向で通路５６内に流れること、ひいては例えば圧送チャンバ４６からリザーバチャンバ５４内へと流れることを、逆止弁５８によって阻止することができる。
【0053】
第１の実施形態では、リザーバ５２は、流体シリンダまたは液圧シリンダとして形成されている。代替的には、リザーバ５２が、空気ばねベローズまたはベローズとして形成されていることも考えられる。第１の実施形態では、リザーバ５２は、それぞれ部分的にリザーバチャンバ５４を画定するリザーバケーシング６０とリザーバピストン６２とを有している。リザーバピストン６２は、図１に双方向矢印６４により示したリザーバ方向に沿ってリザーバケーシング６０に対して並進運動可能である。リザーバ５２はこの場合、ばねエレメント６６を有しており、このばねエレメントは、例えば機械的なばねとして構成されている。ばねエレメント６６は、例えば収容チャンバ６８内に配置されており、この収容チャンバは例えば、特にリザーバ方向に沿ってリザーバチャンバ５４の反対側に位置している。この場合、例えば、収容チャンバ６８も、リザーバピストン６２とリザーバケーシング６０とによってそれぞれ部分的に画定されている。ばねエレメント６６は、リザーバ方向に沿って、一方では少なくとも間接的に、特に直接的に、リザーバケーシング６０に、他方では少なくとも間接的に、特に直接的に、リザーバピストン６２に支持されている。ばねエレメント６６が緊張していると、ばねエレメント６６は、リザーバピストン６２にばね力を加え、これにより例えばリザーバチャンバ５４内に流体を圧力下で貯蔵することができる。したがって、リザーバ５２は例えば圧力アキュムレータであり、この圧力アキュムレータによって、またはこの圧力アキュムレータ内に、流体を圧力下で貯えることができる。
【0054】
流体がリザーバチャンバ５４から導出されると、ばねエレメント６６は例えば少なくとも部分的に弛緩することができ、これによりリザーバチャンバ５４の容積が縮小する。リザーバチャンバ５４内に流体が導入されると、リザーバチャンバ５４の容積が拡大し、したがってばねエレメント６６は緊縮する。
【0055】
圧送エレメント４０が、圧送ケーシング４２に対して、特に並進的に、第１の圧送方向で動かされると、これにより圧送チャンバ４６の容積が縮小し、圧送チャンバ４６内に配置されている流体の少なくとも一部が、圧送エレメント４０によって圧送チャンバ４６から外へ圧送される。逆止弁５８が圧送チャンバ４６からリザーバチャンバ５４への流体の流れを阻止するので、圧送エレメント４０によって圧送チャンバ４６から外へ圧送される流体は、通路２０を通って、通路２０によって被駆動チャンバ１８内へと案内され、導入される。この場合、通路２０内には、圧送チャンバ４６の方向では遮断し、逆方向、ひいては被駆動チャンバ１８の方向では開放する逆止弁７０が配置されている。全体として、例えば通路５６は一方では圧送チャンバ４６に、他方ではリザーバチャンバ５４に流体接続されていることがわかる。通路２０は例えば一方では被駆動チャンバ１８に、他方では圧送チャンバ４６に流体接続されている。圧送エレメント４０が第２の圧送方向動かされた場合に、流体が通路２０を介して被駆動チャンバ１８から外へ圧送されること、特に吸い出されることが逆止弁７０によって阻止されるので、圧送エレメント４０が第２の圧送方向で動かされた場合には、リザーバチャンバ５４から流体の少なくとも一部が外へ圧送されて、圧送チャンバ４６内へと圧送される。
【0056】
以下でさらに詳しく説明するように、第１の圧送方向への圧送エレメント４０の運動は、第１の方向で行われるアクチュエータ３４の部分Ｔの運動により生じ、第２の圧送方向での圧送エレメント４０の運動は、第２の方向で行われるアクチュエータ３４の部分Ｔの運動により生じる。圧送ケーシング４２は、例えばベースエレメント７２に、特に少なくとも圧送方向に沿って固定されているので、圧送ケーシング４２とベースエレメント７２との間の相対運動は少なくとも圧送方向に沿って阻止されているか、または行われない。ベースエレメントは、例えばストッパであるかまたはストッパとして機能し、このストッパによって、特に第１および／または第２の方向でのアクチュエータ装置の他の構成部分の運動を少なくとも制限可能または阻止可能である。特にベースエレメントは、例えば特に、アクチュエータ装置１０の、ケーシングに対して可動なエレメント、例えば圧送エレメント４０を配置することができるケーシングであってよい。
【0057】
この場合、圧送方向に沿って一方ではベースエレメント７２に、他方では圧送エレメント４０に支持されているばねエレメント７４が設けられている。換言すると、例えば、好ましくは機械的なばねであるばねエレメント７４は、一方ではベースエレメント７２と例えば圧送ケーシング４２とに、他方では圧送エレメント４０に連結されている。特に、ばねエレメント７４の第１の個所Ｓ１はベースエレメント７２に固定され、ばねエレメント７４の第２の個所Ｓ２は圧送エレメント４０に連結されており、したがって圧送エレメント４０と共に圧送方向に沿ってベースエレメント７２に対して、かつ圧送ケーシング４２に対して、特に並進的に共に可動である。個所Ｓ１と個所Ｓ２とは、例えばそれぞれ、ばねエレメント７４の端部である。したがって例えば、圧送エレメント４０が圧送ケーシング４２に対して第１の圧送方向で動かされると、ばねエレメント７４は緊張し、特に圧縮される。例えば、圧送エレメント４０が第２の圧送方向で圧送ケーシング４２に対してかつベースエレメント７２に対して動かされると、これによりばねエレメント７４は少なくとも部分的に弛緩し、特に長くなる。ばねエレメント７４の緊張により、ばねエレメント７４は例えばばね力を提供し、このばね力によって、例えば圧送エレメント４０は、第２の圧送方向で、圧送ケーシング４２に対して、ひいてはベースエレメント７２に対して可動となる。
【0058】
アクチュエータ装置１０は、弁装置７６を有していて、この弁は２つの弁エレメント７８および８０を含む。弁エレメント７８および８０は、図１に双方向矢印８２により示した弁方向に沿って、特に並進的に、互いに対して可動である。この弁方向は、第１の実施形態では、第１の方向および第２の方向と一致し、または第１の方向に対して平行に、かつ第１の方向に対して平行に延びかつ第１の方向とは逆向きの第２の方向に対して平行に、延びている。
【0059】
弁エレメント７８および８０が互いに対して動くことにより、弁装置７６は、図１に示した開放位置Ｏと、例えば図４に示した閉鎖位置Ｓとの間で調節可能または切替え可能である。さらに、図１により、導出通路３２は、一方では被駆動チャンバ１８に、特に通路２０の少なくとも一部を介して流体的に接続され、他方ではリザーバチャンバ５４に流体接続されていることがわかる。したがって、導出通路３２を介して、まずは被駆動チャンバ１８内に配置された流体の少なくとも一部が、被駆動チャンバ１８から導出すると、被駆動チャンバ１８から導出した流体が導出通路３２を通って流れ、これにより、被駆動チャンバ１８から、ひいては被駆動エレメント１２により導出された流体が、導出通路３２によって被駆動チャンバ１８からリザーバチャンバ５４へと、特にリザーバチャンバ５４内へと案内される。この場合、弁装置７６が導出通路３２内に配置されているので、弁装置７６は閉鎖状態Ｓで導出通路３２を流体的に遮断する。これにより被駆動エレメント１２は、記載したように保持位置へと動かされた後、特に反力に抗して保持位置に保持されることができる。換言すると、状態Ｓでは、被駆動チャンバ１８からの流体の導出は遮断されている。しかしながら、開放状態Ｏでは、弁装置７６が導出通路３２を解放するので、導出通路３２は開放位置Ｏで開かれており、被駆動チャンバ１８からの流体の少なくとも一部が貫流可能である。換言すると、開放状態Ｏでは、弁エレメント７８および８０が、ひいては弁装置７６が、導出通路３２を介した被駆動チャンバ１８からの、ひいては被駆動エレメント１２による流体の導出を許容し、これにより弁エレメント７８および８０は、ひいては弁装置７６は、保持位置から回避位置への、被駆動エレメント１２の上述した運動を許容する。
【0060】
さらに、アクチュエータ装置１０は、例えば開放状態Ｏを起点として、第１の方向（矢印３６）でアクチュエータ３４の部分Ｔが運動することにより、第１の弁エレメント７８が、矢印３６によって示された第１の操作方向へと移動可能であり、これにより、第２の弁エレメント８０に向かって移動可能であり、これにより弁装置７６は開放状態Ｏから閉鎖状態Ｓへと調節可能であるように形成されている。換言すると、第１の実施形態では、第１の方向は第１の操作方向に一致し、第１の操作方向は第１の方向に一致する。したがって、例えば、弁装置７６が最初に開放状態Ｏにあり、次いでアクチュエータ３４の相応の駆動制御により部分Ｔが第１の方向に動かされると、これにより弁エレメント７８は第１の方向で、弁エレメント８０に対して動かされ、この場合、弁エレメント８０に向かって動かされ、特に、弁エレメント７８が弁エレメント８０に接触し、したがって弁装置７６が閉じられるように、すなわち閉鎖状態Ｓに移行するように、動かされる。
【0061】
図１により、例えば、弁エレメント８０が、例えば弁球として形成された弁エレメント７８のための弁座を形成していることがわかる。開放状態Ｏでは、弁エレメント７８および８０は互いに離間しているので、弁エレメント７８は弁座から離間しており、ひいては弁座上に載着されていない。しかしながら、閉鎖状態Ｓでは、弁エレメント７８および８０は、少なくとも間接的に、特に直接に互いに当接しているので、例えば弁エレメント７８はその対応する弁座上に載着されている。第１の実施形態では、弁エレメント７８は例えば、部分Ｔが、アクチュエータ３４の相応の駆動制御により、第１の距離をかつ／または第１の速度で動かされると、その結果として弁エレメント７８が第２の距離をかつ／または第２の速度で動かされ、この場合、第２の距離は第１の距離に相応し、第２の速度は第１の速度に相応するように、部分Ｔに、特に堅固に連結されている。さらに、第２の弁エレメント８０は、特に堅固に圧送エレメント４０に連結されているかまたは運動連結されているので、例えば弁エレメント８０は、圧送エレメント４０と一緒に圧送方向に沿って共に可動である。したがって、例えば第１の方向は第１の圧送方向に一致し、第２の方向は第２の圧送方向に一致する。特に、弁エレメント８０と圧送エレメント４０とは、例えば、圧送エレメント４０が第３の距離をかつ／または第３の速度で動かされると、その結果として弁エレメント８０が第４の距離をかつ／または第４の速度で、特に圧送エレメント４０と共に動かされ、この場合、第３の速度が第４の速度に相応し、第３の距離が第４の距離に相応するように、互いに連結され、特に運動連結されている。さらに図１からは、リザーバケーシング６０とケーシング１４とがベースエレメント７２に固定されていることがわかる。この場合、部分Ｔは、第１の方向に沿って、かつ第２の方向に沿って、ベースエレメント７２に対して、特に並進的に可動である。さらに図１からは、ばねエレメント７４、特に個所Ｓ２が、弁エレメント８０に特に堅固に連結されており、これにより特に、例えば圧送エレメント４０が動かされると、例えば個所Ｓ２、圧送エレメント４０、および弁エレメント８０は共に、同じ速度で同じ距離を動くことができるかまたは動かされることがわかる。アクチュエータ３４の部分Ｔが第２の方向に動かされることにより、第１の弁エレメント７８を、第１の操作方向とは逆の、ひいては第１の方向とは逆の第２の操作方向で、第２の弁エレメント８０から離れるように動かすことができ、これにより弁装置７６は閉鎖状態Ｓから開放状態Ｏへと調節可能である。
【0062】
したがって、第２の操作方向は、第２の方向に一致する。換言すると、アクチュエータ３４は、アクチュエータ３４の長さが短縮され、これにより部分Ｔがベースエレメント７２に対して第２の方向に動かされるように駆動制御され、これにより例えば、弁エレメント８０に対する、第２の方向での、ひいては弁エレメント８０から離れるような、弁エレメント７８の運動を生じさせることができ、これにより例えば、閉鎖状態Ｓを起点として、弁装置７６は開放される、すなわち閉鎖状態Ｓから開放状態Ｏへと移行することができる。
【0063】
アクチュエータ装置１０は、ポンプモードでは、アクチュエータ３４の部分Ｔを、第１の方向（矢印３６）と第２の方向（矢印３８）とに交互に動かし、この場合、ポンプモードでは、弁装置７６が閉鎖状態Ｓへ最初に調節された後、弁装置７６は、ポンプモードで生じる、第１の方向および第２の方向への交互の部分Ｔの運動にもかかわらず、閉鎖状態Ｓに留まり、これによりポンプモードでは、流体は、被駆動チャンバ１８へ、ひいては被駆動エレメント１２へ圧送可能であるかまたは圧送されるように構成されている。換言すると、弁装置７６が閉鎖状態Ｓにあり、閉鎖状態Ｓに留まり、特に弁エレメント７８および８０の間の相対運動が行われない間は、ポンプモードにおいて、部分Ｔ、弁エレメント７８および８０、および圧送エレメント４０は一緒にまたは同時に、交互に第１の方向および第２の方向に、ベースエレメント７２に対して、ひいては圧送ケーシング４２に対して動かされ、これにより、流体は交互にリザーバチャンバ５４から通路５６を介して圧送チャンバ４６内に圧送され、これに続いて圧送チャンバ４６から圧送され、これにより圧送チャンバ４６から通路２０を介して被駆動チャンバ１８内に圧送され、ひいては、被駆動エレメント１２へと圧送される。そして、（導出通路３２内の弁装置７６が閉鎖されているので）導出通路３２を介した被駆動チャンバ１８からの流体の導出は行われない。特に、図１からは、例えば被駆動チャンバ１８から導出通路３２を通ってリザーバチャンバ５４内に流れる流体の流れ方向で、弁装置７６は導出通路３２内に、この場合、被駆動チャンバ１８とリザーバチャンバ５４との間に配置されていることがわかる。
【0064】
アクチュエータ装置１０は、さらに、ポンプモードとは異なる、例えばポンプモードに続く開放モードで動作可能である。開放モードでは、または開放モードを実現するために、例えば、アクチュエータ３４は、第２の方向でベースエレメント７２に対して行われる、アクチュエータ３４の部分Ｔの運動が行われるように駆動制御され、これにより、第２の方向で、第２の弁エレメント８０から離れるように延びる、第１の弁エレメント７８の運動が行われ、これにより、弁装置７６は、閉鎖状態Ｓから開放状態Ｏへと調節される。したがってポンプモードでは、またはポンプモードにより、弁装置７６は開放されて、これにより例えば、被駆動チャンバ１８から流体が放出され、その結果、被駆動エレメント１２は、反力を回避することができる。
【0065】
アクチュエータ装置１０は、例えば、保持モードで動作可能であり、保持モードでは、被駆動チャンバ１８への流体の圧送が行われず、弁装置７６は閉じられており、これにより保持モードでは、被駆動エレメント１２は、被駆動チャンバ１８内に収容された流体によって保持位置で保持される。特に、保持モードでは、アクチュエータ３４には、少なくとも実質的に継続的に、特に少なくとも実質的に一定の電圧が供給され、これにより弁装置７６は、保持モードで、特にアクチュエータ３４によって、アクチュエータの部分Ｔを介してまたはアクチュエータ３４への給電によって閉鎖状態に保持される。この場合特に、アクチュエータ装置１０によって、特に迅速に、すなわち特に短時間で、保持モードから、リリースモードとも称される開放モードに切り替えることができるので、弁装置７６を特に迅速に開くことができ、その結果、被駆動エレメント１２は特に迅速に反力を回避することができる。このために、例えば、アクチュエータ３４に加えられるまたは加えられた電圧がゼロまで減らされる。これにより、例えば、保持モードで、被駆動エレメント１２によって実現される、上述した構成エレメントの保持を解消することができるので、例えばこの構成エレメントは、相応の力を回避することができる。第１の実施形態では、アクチュエータ装置１０は、図２に拡大して示された、ハードストップユニットとも称されるストッパユニット８４を有している。ストッパユニット８４は、第１のストッパ８６を有しており、この第１のストッパは、圧送エレメント４０と共に、個所Ｓ２と共に、特に弁エレメント８０と共に、特に第１の方向および第２の方向で、特に直接、すなわち好ましくは変速されることなく、一緒に動くことができる。したがって、例えば弁エレメント８０が、第５の速度でかつ／または第５の距離を、第１または第２の方向でベースエレメント７２に対して動かされると、これによりストッパ８６は、例えば第６の速度でかつ／または第６の距離を第１または第２の方向で、ベースエレメント７２に対して動かされるか、または弁エレメント８０と共に動かされる。この場合、第５の速度は第６の速度に相当し、かつ／または第５の距離は第６の距離に相当する。ストッパユニット８４は、さらに第２のストッパ８８と第３のストッパ９０とを有しており、これらのストッパは、ストッパ８６と同様に、第１の方向および第２の方向で、ベースエレメント７２に対して、特に並進的に可動である。ストッパ８６，８８および９０は、当接エレメントとも称される。
【0066】
さらに、第１の実施形態によるアクチュエータ装置１０は、非線形の減衰器９２の形態の減衰器装置を有している。非線形の減衰器９２は、減衰器ピストン９４の形の第１の減衰器エレメントと、例えばシリンダとして形成されている減衰器ケーシング９６の形の第２の減衰器エレメントとを有している。減衰器ピストン９４は、第１の方向および第２の方向で減衰器ケーシング９６に対して並進運動可能である。この場合、減衰器エレメントは、それぞれ部分的に、減衰器９２の、特に互いに反対の側に位置する２つの減衰器チャンバ９８および１００を画定しており、減衰器チャンバ９８および１００は、２つの接続路１０２および１０４を介して互いに流体接続されているか、または接続可能である。接続路１０２と１０４とは、例えば少なくとも部分的に互いに分離されている。
【0067】
減衰器ピストン９４は、第１の弁エレメント７８と運動連結されており、ひいては弁エレメント７８と共に、特にベースエレメント７２に対して第１の方向および第２の方向で、特に並進的に可動である。減衰器ケーシング９６は、例えば第１の方向および第２の方向で、ベースエレメント７２に対して、特に並進的に共に可動である。さらに、減衰器ケーシング９６は、ストッパ８８および９０に連結されているので、減衰器ケーシング９６、ストッパ８８、およびストッパ９０は、一緒にまたは同時に第１の方向および第２の方向で、ベースエレメント７２に対して可動である。この場合、例えば弁エレメント７８と部分Ｔとの共通の可動性に対する前述および後述の詳説を、減衰器ピストン９４と弁エレメント７８とに、または減衰器ケーシング９６とストッパ８８および９０とにも問題なく当てはめることができ、逆も同様である。例えば、減衰器ピストン９４が減衰器ケーシング９６に対して第１の方向で並進的に動かされると、これにより、減衰器チャンバ１００の容積が縮小され、減衰器チャンバ９８の容積は、特に減衰器チャンバ１００が縮小される量だけ拡大される。減衰器ピストン９４が第２の方向で減衰器ケーシング９６に対して並進的に動かされると、これにより、減衰器チャンバ１００の容積が拡大され、減衰器チャンバ９８の容積は、特に、減衰器チャンバ１００の容積が拡大される量だけ縮小される。
【0068】
接続路１０２内には絞り１０６が配置されており、この絞りは、例えば調節可能な、またはしかしながら剛性的な絞りとして構成されていてよい。接続路１０４内には、減衰器チャンバ１００の方向で遮断し、減衰器チャンバ９８の方向で開放する逆止弁１０８が配置されている。したがって、逆止弁１０８は、減衰器チャンバ１００から接続路１０４と逆止弁１０８とを介して減衰器チャンバ９８に到る減衰媒体の流れを可能にする。しかしながら、これとは逆の減衰器チャンバ９８から接続路１０４および逆止弁１０８を介して減衰器チャンバ１００へ向かう、減衰媒体の流れは、逆止弁１０８によって阻止される。減衰器媒体とも呼ばれる減衰媒体は、例えばガスであり、またはしかしながら、好適には液体、特にオイルである。したがって、例えば減衰器ピストン９４が第１の方向で減衰器ケーシング９６に対して動かされると、減衰器ピストン９４によって、まず減衰器チャンバ１００内に収容された減衰器流体が減衰器チャンバ１００から圧送され、この場合、減衰媒体は、減衰器チャンバ１００から少なくとも大部分または完全に、例えば逆止弁１０８を開いて、これにより減衰媒体にとっては絞り１０６よりも小さな流れ抵抗である流れ横断面を解放することにより、接続路１０４と逆止弁１０８とを介して減衰器チャンバ９８内に流入する。したがって、例えば減衰媒体の第１の量が、接続路１０４を介して減衰器チャンバ９８内に流入し、その間、例えば接続路１０２を介した減衰器チャンバ９８内への減衰媒体の流れは生じず、または第１の量よりも少ない第２の量の減衰媒体が、接続路１０２を介して、ひいては絞り１０６を介して減衰器チャンバ９８内に流入する。
【0069】
例えば、減衰器ピストン９４が第２の方向で減衰器ケーシング９６に対して、特に並進的に動かされると、これにより、まず減衰器チャンバ９８内に収容された減衰媒体が、減衰器ピストン９４により減衰器チャンバ９８から圧送され、これにより、減衰器チャンバ９８から圧送された減衰媒体は、逆止弁１０８が、減衰器チャンバ９８から減衰器チャンバ１００内へ行われる減衰媒体の流れのための接続路１０４を遮断するので、特にこれに基づいて、特に完全に、接続路１０２を介して、ひいては絞り１０６を介して減衰器チャンバ１００内に流入する。減衰器ケーシング９６に対して行われる第１の方向への減衰器ピストン９４の移動により、非線形の減衰器９２は圧縮され、すなわち長さが短縮されるかまたは押し潰される。減衰器ケーシング９６に対して行われる第２の方向への減衰器ピストン９４の移動により、非線形の減衰器９２は長さが伸ばされ、すなわち膨張される。減衰器９２の圧縮および膨張時に、減衰器チャンバ９８と１００との間で減衰媒体が溢流することができるので、減衰器９２の膨張または圧縮時に行われる減衰器エレメント間のそれぞれの相対運動が、特に減衰媒体によって減衰される。減衰器９２の膨張時の減衰は「伸張段階」とも呼ばれ、減衰器９２の圧縮時の減衰は「圧縮段階」とも呼ばれる。この場合、圧縮段階が、伸張段階よりも軟らかくまたは剛性が低いことが想定されている。したがって圧縮段階は、第１の減衰定数を有しており、伸張段階は、第２の減衰定数を有している。この場合、第１の減衰定数は、第２の減衰定数よりも小さい。したがって、圧縮段階は、減衰器エレメント間の相対速度が同じ場合に、伸張段階よりも小さな減衰力を提供する。したがって、第１の力によって減衰器９２を圧縮するために、例えば第１の力、特に第１の圧縮力が減衰器９２に加えられると、これにより、減衰器９２の圧縮時に減衰器エレメントが互いに対して並進運動する第１の相対速度が結果として生じる。次いで、第２の力によって減衰器９２を膨張させるために、例えば第２の力、特に第２の伸張力が減衰器９２に加えられると、これにより、減衰器９２の膨張時に減衰器エレメントが互いに相対運動する第２の相対速度が結果として生じる。いまや圧縮段階は、減衰器９２の伸張段階よりも強度が弱く、剛性が低く、または軟らかいので、つまり圧縮段階の減衰定数が伸張段階の減衰定数よりも低いので、第２の力が、その数学的値に関して第１の力に相当する場合は、第１の相対速度は、第２の相対速度よりも高い。したがって、減衰器９２の圧縮は、減衰器９２の膨張よりも強くは減衰されない。ベースエレメント７２に対する第１の方向での部分Ｔの運動は、例えば部分Ｔの正の変位とも呼ばれる。ベースエレメント７２に対する第２の方向での部分Ｔの運動は、例えばアクチュエータ３４または部分Ｔの負の変位とも呼ばれる。図１から判るように、減衰器ピストン９４は、弁エレメント７８および部分Ｔに運動連結されており、これにより例えば、部分Ｔと弁エレメント７８とがベースエレメント７２に対して第１の方向で、第７の速度でかつ／または第７の距離を、特に並進的に動かされる場合、減衰器ピストン９４は、第１の方向または第２の方向で、ベースエレメント７２に対して第８の速度でかつ／または第８の距離を、特に並進的に動かされ、この場合、第７の速度は第８の速度に、第７の距離は第８の距離に相当する。
【0070】
減衰器９２には、一方では減衰器ピストン９４に、他方では減衰器ケーシング９６に連結されているばねエレメント１１０が配属されている。ばねエレメント１１０は、例えば機械的なばねとして構成されている。例えば、減衰器ピストン９４が第１の方向で減衰器ケーシング９６に対して動かされると、減衰器９２は圧縮され、これによりばねエレメント１１０は緊張し、特に圧縮される。減衰器ピストン９４が第２の方向で減衰器ケーシング９６に対して動かされると、減衰器９２は膨張し、これによりばねエレメント１１０は弛緩し、特に膨張する。特に、ばねエレメント１１０が緊張すると、ばねエレメント１１０はばね力を提供し、ばねエレメント１１０に十分に長い時間が与えられているならば特に、このばね力によって減衰器９２は膨張することができる。
【0071】
図２には、３つの間隔ｓ１，ｓ２，ｓ３が示されている。間隔ｓ１は、第１または第２の方向に対して平行に延在しており、ストッパ８６と８８との間の間隔である。間隔ｓ２も、第１または第２の方向に対して平行に、ひいては間隔ｓ１に対して平行に延在しており、ストッパ８６と９０との間の間隔である。間隔ｓ３も、第１または第２の方向に対して平行に、ひいては間隔ｓ１およびｓ２に対して平行に延在しており、ストッパ９０とベースエレメント７２との間の間隔である。間隔ｓ１が０よりも大きいならば、ストッパ８６と８８とは、第１または第２の方向に沿って互いに離間していて、すなわち開かれている。しかしながら、間隔ｓ１が０であるならば、ストッパ８６と８８とは相互に接触しており、これによりストッパ８６と８８とは閉じられている。同じことは間隔ｓ２にも当てはまる。間隔ｓ２が０よりも大きいならば、ストッパ８６と９０とは、互いに離間していて、したがって開かれている。間隔ｓ２が０であるならば、ストッパ８６と８８とは相互に接触しており、これによりこれらのストッパは閉じられている。間隔ｓ３が０よりも大きいならば、ストッパ９０は、第４のストッパを成すベースエレメント７２から離間していて、これによりストッパ９０と、第４のストッパとして機能するベースエレメント７２とは開かれている。しかしながら、間隔ｓ３が０であるならば、ストッパ９０はベースエレメント７２に接触しており、ストッパ９０と、第４のストッパとして機能するベースエレメント７２とは閉じられている。ストッパ８８と９０とは、一緒にまたは同時に第１または第２の方向で、ベースエレメント７２に対して可動であり、この場合、例えば減衰器ケーシング９６と共に可動である。さらに、ストッパ８６は、第１または第２の方向でベースエレメント７２に対して、かつストッパ８８および９０に対して可動であり、特に個所Ｓ２、弁エレメント８０および／または圧送エレメント４０と共に可動である。これにより、間隔ｓ１，ｓ２，ｓ３は変化することができるので、間隔ｓ１，ｓ２，ｓ３はそれぞれ値０および０よりも大きい値をとることができる。好ましくは、ばねエレメント１１０はばねエレメント７４よりも強力であるので、例えば、ばねエレメント１１０は第１のばね定数を、ばねエレメント７４は第２のばね定数を有しており、この場合、第１のばね定数は第２のばね定数よりも大きい。
【0072】
図３は、アクチュエータ装置１０を、またはアクチュエータ３４の作動前の周辺条件を示している。図３によれば、例えばアクチュエータ３４の駆動制御またはアクチュエータ３４への電圧の供給は行われておらず、弁装置７６は例えば開かれている。さらに、好ましくは、間隔ｓ１およびｓ３は０であるので、ストッパ８６と８８とは相互に接触しており、ストッパ９０とベースエレメント７２とは相互に接触している。図３には、アクチュエータ装置１０が例えば、第１の時点ｔ０で示されており、この時点では、例えばばねエレメント１１０および／または減衰器９２は、図３にＳＦ２＿ｔ０で示されている第１の長さまたは第１の変位を有している。時点ｔ０で、ばねエレメント７４はストッパ８６をストッパ８８に向かって押圧し、これによってストッパ８６と８８とは互いに接触し、ばねエレメント１１０がストッパ９０をベースエレメント７２に向かって押圧するので、間隔ｓ３は０である。ばねエレメント１１０はばねエレメント７４よりも強力であるので、ストッパ９０は、ベースエレメント７２に接触したままであるか、または間隔ｓ３は０のままである。時点ｔ０では、例えば機械的に制御される弁として構成された弁装置７６が開かれており、部分Ｔは、例えば最大行程の半分だけ変位し、これにより、部分Ｔは、アクチュエータ３４に電圧を供給することによって最大に変位することができる。したがって、例えば、時点ｔ０では、特に部分Ｔがその最大行程の半分だけ変位するように、アクチュエータ３４に電圧が供給されることが想定されている。例えば、アクチュエータ３４は、弁装置７６の開放よりも最小限だけ大きく、または弁装置７６を開くために必要であるよりも最小限だけ大きく、すなわち、特にそれぞれの運動方向に沿って見て弁エレメント７８と８０との間の距離よりも最小限だけ大きい変位を必要とするかまたは変位を行い、またはアクチュエータ３４のこのような変位が行われる。したがって、アクチュエータ３４の必要な変位は、論理的には、特に最大行程の少なくとも４０％または６０％である。これは、開放状態の弁装置７６の設定された間隔にのみ依存している。しかしながら有利には、弁装置７６の必要な開放は、アクチュエータ３４の最大変位のまたはアクチュエータ３４の最大行程の少なくとも５０％である。何故ならば、さもないと、被駆動チャンバ１８から流体が放出される際の弁装置７６の開放横断面が小さく、ひいては流出に時間がかかってしまうからである。
【0073】
これは、例えば、部分Ｔが最小変位と最大変位との間で可動であることを意味しており、この場合、最大変位は最大行程とも呼ばれる。電気エネルギまたは電圧をアクチュエータ３４に供給することにより、例えば、部分Ｔは、最小変位から出発して最大まで変位されてよく、したがって、部分Ｔの最大変位ぶんだけ変位されてよい。例えば、アクチュエータ３４への電圧の供給が遮断されると、部分Ｔは、ゼロ位置または出発位置とも称されるその最小変位をとることができる。部分Ｔが、最小変位から出発して最大変位だけ変位する場合、部分Ｔは、例えば最小変位のところで始まり、最大変位のところで終端する区間を進む。部分Ｔが最大変位の５０％パーセントだけ変位した場合、部分Ｔは前述した区間の半分のところに位置している。これは例えば、時点ｔ０の場合である。例えば、特に部分Ｔの、最小の変位から出発した変位は、アクチュエータ３４に供給される電圧が大きくなるにつれて大きくなる。例えば、部分Ｔの最小の変位にするためには、アクチュエータ３４に供給される電圧は０である。例えば、部分Ｔの最大の変位を生じさせるために、電圧はその最大値を有している。部分Ｔを最大に変位した状態に保持するためには、アクチュエータ３４には、少なくとも実質的に継続的に、その変位値を有する電圧が供給される。例えば、部分Ｔを最大変位の５０パーセントだけ変位させるために、例えば、アクチュエータ３４に供給される電圧の別の変位値が調節され、この場合、別の変位値は、例えば、好ましくは０よりも大きな第１の変位値の５０パーセントである。
【0074】
図４は、時間的に第１の時点ｔ０に続く第２の時点ｔ１におけるアクチュエータ装置１０を示している。アクチュエータ３４に供給される電圧は、例えば、ＤＣまたはＤＣ電圧とも称される直流電圧である。例えば、アクチュエータ３４に例えば時点ｔ０で供給される電圧の、その値または変位値が増加すると、これにより、部分Ｔは、第１の時点ｔ０を起点としてさらに変位し、これによりアクチュエータ３４の所定の長さまたは長さの増大が生じる。換言すると、これにより、部分Ｔは、第１の方向でベースエレメント７２に対して動かされる。これにより、図３および図４を共に参照してわかるように、弁装置７６が閉じられ、これにより、弁装置７６は、第２の時点ｔ１において閉鎖状態Ｓとなる。この場合、ばねエレメント１１０または減衰器９２は、時点ｔ０における長さもしくは変位ＳＦ２＿ｔ０よりも短い第２の変位または第２の長さＳＦ２＿ｔ１を有している。換言すると、ＳＦ２＿ｔ１＜ＳＦ２＿ｔ０である。
【0075】
減衰器９２の圧縮段階は、伸張段階よりも軟らかく、または硬さが小さくまたは剛性が低い。換言すると、減衰器９２の伸張段階は、圧縮段階よりも硬いか剛性が高い。なぜならば、減衰器９２の圧縮時に逆止弁１０８が開き、減衰器９２の膨張時に逆止弁１０８が閉じられるからである。時点ｔ０から出発して、ベースエレメント７２に対して行われる、第１の方向での部分Ｔの運動により、減衰器９２は圧縮され、これにより弁エレメント７８は第１の方向でベースエレメント７２に対して動かされ、弁エレメント８０に向かって動かされ、これにより弁装置７６は閉じられる。この間、減衰器９２は、圧縮された状態で十分に軟らかく、特にその膨張時よりも軟らかいので、間隔ｓ１およびｓ３はゼロのままである。
【0076】
図５および図６は、弁装置７６が閉じられ、閉鎖状態を維持している間の、被駆動チャンバ１８内への流体のポンピングを示している。第２の時点ｔ１における弁装置７６の上述した閉鎖後、特にアクチュエータ３４へのＤＣ電圧の印加後、ポンプ過程とも称されるポンプモードを開始するために、すなわち生じさせるために、例えば交流電圧（ＡＣ電圧）としての電圧がアクチュエータ３４に加えられる。すなわち、時点ｔ１から出発して、アクチュエータ３４に供給される電圧が、特に、上述した交流電圧の範囲でさらに高められると、部分Ｔはさらに変位されて、すなわち第１の方向でベースエレメント７２に対して動かされる。この場合、弁装置７６は閉じられているので、ベースエレメント７２に対して行われる、部分Ｔおよび弁エレメント７８の、第１の方向での運動によって、圧送エレメント４０、および例えば第２の個所Ｓ２も、第１の方向で、特にベースエレメント７２に対して動かされる。これにより、圧送チャンバ４６の容積は縮小され、または圧送エレメント４０によって圧送チャンバ４６から流体が圧送されて被駆動チャンバ１８内へとポンピングされる。圧送チャンバ４６の容積は、駆動容積または圧送容積とも称され、弁装置７６を介した部分Ｔの上述した変位によって縮小される。ベースエレメント７２に対して行われる、部分Ｔおよび弁エレメント７８の第１の方向での運動の際に、非線形の減衰器９２は特にさらに圧縮される。なぜならばこの減衰器の圧縮段階が軟らかく、ストッパ９０が第１の方向に沿ってベースエレメント７２に接触しているかまたはベースエレメント７２に支持されていることにより、ベースエレメント７２に対して第１の方向で行われる減衰器ケーシング９６の運動が中断されるかまたは阻止されるからである。その結果、時間的に時点ｔ１に続く、図５に示された第３の時点ｔ２では、ＳＦ２＿ｔ２で示された、ばねエレメント１１０または減衰器９２のこのような変位または長さが生じ、これはＳＦ２＿ｔ２＜ＳＦ２＿ｔ１に当てはまる。この場合、圧送エレメント４０は第１の方向でベースエレメント７２に対して、かつ減衰器ケーシング９６に対して、特に並進的に動かされるので、ストッパ８６はストッパ８８から離れるように動かされ、これにより、間隔ｓ１は０よりも大きくなり、または時点ｔ２で０よりも大きくなる。換言すると、ストッパ８６と８８とは時点ｔ２で互いに離間している。
【0077】
アクチュエータ３４は、ポンプモードの間、またはポンプモードを実現するために、上述した電圧により、好ましくは交流電圧として形成された電圧により動作され、これにより例えば、アクチュエータ３４に供給される電圧の異なる大きさの値が交互に生じ、この場合、好ましくは、値のうちの少なくとも一方は０より大きく、他方の値も０より大きくかつ一方の値とは異なっており、この場合、他方の値は０であってもよいことが想定されるので、部分Ｔはポンプモード中、ベースエレメント７２に対して交互に第１の方向および第２の方向に動かされる。すなわち、流体を被駆動チャンバ１８内へと圧送した圧送エレメント４０を、第２の方向でまたは第２の圧送方向でベースエレメント７２に対して、特に圧送ケーシング４２に対して動かして、これにより新たな流体を圧送チャンバ４６内に圧送することができるように、特に吸い込むことができるようにするために、アクチュエータ３４に供給される電圧が減じられる。これにより、部分Ｔは、ベースエレメント７２に対して第２の方向で動かされる。これはアクチュエータ３４の引戻しまたは長さの短縮とも称される。交流電圧によるアクチュエータ３４の駆動制御に基づき、アクチュエータ３４または部分Ｔが次に電圧が増大するまでに引き戻されることができる位相は極めて短い。非線形の減衰器は、その膨張時に、ひいては短時間の間のアクチュエータ３４の引戻しの際に、極めて剛性が高いので、ばねエレメント１１０は、この短時間の間に、減衰器９２の膨張を全くまたは極めて僅かしか発生させず、これにより、図６に、時点ｔ２に続く時点ｔ３について示したように、弁装置７６は閉じられたままであり、かつストッパ９０は、特に第２の方向で、ベースエレメント７２から離れる方向に動かされ、したがって間隔ｓ３は、０よりも大きくなるかまたは０よりも大きい。このとき、間隔ｓ１は０より大きく、またはストッパ８６はストッパ８８から離間しており、これにより、ばねエレメント７４またはそのばね力が解放され、したがって一方では、流体が、吸込弁として構成されたまたは吸込弁として機能する逆止弁５８を介して圧送チャンバ４６内に吸い込まれ、他方ではその間、弁装置７６は閉じられたままである。特に、図４および図５は、アクチュエータ装置１０のそれぞれの状態または位置を示しており、この場合、ポンプモードでは、図５および図６に示した状態または位置は、複数回連続して交互に生じる。これにより、流体は交互に、圧送チャンバ４６から被駆動チャンバ１８へと圧送され、リザーバチャンバ５４から圧送チャンバ４６へと圧送される。換言すると、ポンプモードでは、交流電圧として形成された電圧によってアクチュエータ３４が駆動制御されることにより、図５および図６に示されたアクチュエータ装置１０の状態が交互にかつ相前後して切り替えられ、これにより流体が被駆動チャンバ１８内へと圧送される。このために、弁エレメント７８および８０と、これらと共に圧送エレメント４０とが、第１の方向および第２の方向に交互に動かされ、ひいては往復運動し、この場合、減衰器９２は、ひいては減衰器エレメントならびにストッパ８６，８８および９０は、少なくとも実質的にブロックとして第１の方向および第２方向でベースエレメント７２に対して共に動かされる。非線形の減衰器９２の伸張段階は、圧縮段階よりも強力または剛性が高いため、アクチュエータ３４の引戻しの際には、減衰器９２の膨張は全く生じないかまたは極めて僅かにしか生じないので、弁エレメント７８および８０は互いに離されないか、または弁装置７６が開放されるほどは互いに離されない。したがって、弁装置７６は、圧送エレメント４０および弁エレメント７８および８０の往復運動の際には閉じられたままである。この場合、ばねエレメント１１０または減衰器９２は、時点ｔ３において、ＳＦ２＿ｔ３と示されている長さまたは変位を有している。減衰器９２の伸張段階は、圧縮段階よりも剛性が高いかまたは硬いので、アクチュエータ３４の引戻しの際には減衰器９２の実質的な膨張には到らないので、第３の時点ｔ３については、ＳＦ２＿ｔ２＝ＳＦ２＿ｔ３またはＳＦ２＿ｔ２≒ＳＦ２＿ｔ３が当てはまる。被駆動チャンバ１８への流体の圧送により、被駆動エレメント１２は保持位置へと動かされる。例えば被駆動エレメント１２のさらなる運動は行われるべきではなく、被駆動エレメント１２を保持位置に保持すべき場合には、アクチュエータ３４は例えば再び直流電圧によって駆動制御され、これにより弁装置７６は閉鎖状態に保持される。
【0078】
例えば、保持位置から回避位置への被駆動エレメント１２の運動を可能にするために、そしてこのために弁装置７６を開放させるために、例えば、事前に調節された、特に直流電圧として形成された電圧が、特にゆっくりと、特に０になるまで降下される。次いで、ばねエレメント１１０またはそのばね力により、非線形の減衰器９２の引き抜きが可能であるので、減衰器９２またはばねエレメント１１０は、図７に示した、時点ｔ３に続く第５の時点ｔ４で、長さまたは変位ＳＦ２＿ｔ４を有している。この場合、例えば、ＳＦ２＿ｔ４＞ＳＦ２＿ｔ３が当てはまる。その結果、流体は、被駆動チャンバ１８からリザーバチャンバ５４内へと流れることができる。電圧の降下は、代替的に迅速に行われてよい。この場合、ストッパ９０は、ベースエレメント７２から持ち上げられるが、この場合、弁装置を開放するためには、最初にばねエレメント１１０は減衰器を引き抜かなければならない（ポンプ周波数よりも「やや」長くかかる）。
【0079】
弁装置７６の開放の時間特性は、この場合、特に伸張方向でのまたは伸張段階に関する、非線形の減衰器９２の時間特性または減衰特性に依存する。この時間特性または減衰特性は、ポンプモードにおいて、圧送エレメント４０および圧送エレメントと共に例えば弁エレメント７８および８０が交互に第１の方向および第２の方向に動かされる、すなわち往復運動する周波数に合わせられていることが望ましい。これにより流体がポンピングされるので、周波数は、ポンプ周波数とも称される。時間特性は、ポンプ周波数に合わせて調整されていることが望ましい。なぜならば、過度に緩慢なポンピングの場合に、すなわち、ポンプモードにおいて、電圧降下とそれに続く電圧上昇との間に過度に長い時間が存在する場合に、減衰器９２が過度に迅速に互いに引き離されるかまたは膨張すると、弁装置７６が開放される場合があるからである。図８は、アクチュエータ装置１０の第２の実施形態を示している。特に図８からは、アクチュエータ装置１０の機械的な実現性が看取可能である。
【0080】
図９～図１３は、アクチュエータ装置１０の第３の実施形態を概略的に示している。第３の実施形態では、駆動ピストンまたは圧送ピストンとも称される圧送エレメント４０が、弁装置７６を迂回してアクチュエータ３４の部分Ｔに運動結合されており、特に直接に、または、部分Ｔが第９の速度でかつ／または第９の距離をベースエレメント７２に対して第１または第２の方向へ動かされると、これにより圧送エレメント４０が第１または第２の方向でベースエレメント７２に対して第１０の速度でかつ／または第１０の距離を動かされ、この第９の距離は第１０の距離に、または第９の速度は第１０の速度に相当するように、運動結合されている。例えば、第１および第２の実施形態において圧送エレメント４０を部分Ｔによって動かすために、部分Ｔは、伝達経路を介して部分Ｔから圧送エレメント４０へと伝達される操作力を提供して、特にこれにより圧送エレメント４０を第１の圧送方向または第１の方向でベースエレメント７２に対して特に並進的に動かす。第１および第２の実施形態では、弁装置７６は伝達経路に配置されている。第３の実施形態では、弁装置７６は伝達経路の外側に配置されているので、部分Ｔによって提供される、圧送エレメント４０を動かすための操作力は、弁装置７６を、すなわち、弁エレメント７８および８０を迂回し、ひいては、部分Ｔから圧送エレメント４０に到る操作力の経路において、弁エレメント７８および８０を介してまたはこれらを通過して延在してはいない。
【0081】
さらに、第３の実施形態では、吸込弁として形成されたまたは機能する逆止弁５８は、圧送ピストンとして形成された圧送エレメント４０内に収容されており、ひいては圧送エレメント４０内に組み込まれている。したがって例えば、逆止弁５８は、圧送エレメント４０と共に、第１または第２の圧送方向で、特にベースエレメント７２に対してかつ／または並進的に共に可動である。さらに、通路５６の少なくとも一部は、圧送エレメント４０を通って、かつ特に、圧送チャンバ４６の反対側に位置するかつ／またはそれぞれ部分的に圧送エレメント４０と圧送ケーシング４２とによって画定されている別のチャンバ１１２を通って延在している。したがって、流体は、リザーバチャンバ５４から圧送チャンバ４６へのまたは圧送チャンバ４６内へのその経路において、チャンバ１１２を通り、通路５６内に配置された逆止弁５８が配置されている圧送エレメント４０を通って流れる。さらに、第３の実施形態では、弁エレメント８０は、少なくとも第１の方向および第２方向でベースエレメント７２に固定されているので、第１の方向および第２方向でベースエレメント７２に対して行われる、特に並進的な、弁エレメント８０とベースエレメント７２との間の相対運動が阻止されることが想定されている。さらに、接続路１０２および１０４ひいては絞り１０６および逆止弁１０８は、減衰器ピストン９４内に配置されており、ひいては減衰器ピストン９４と共に、特に減衰器ケーシング９６に対して、特に並進的に一緒に可動である。
【0082】
第１の実施形態では、例えばストッパ８６と８８とは、第１のコンタクトとも称される第１のストッパ対１１４を形成する。この場合、ストッパ８６と８８とが互いに離間しているという特徴、または間隔ｓ１が０より大きいという特徴は、ストッパ対１１４または第１のコンタクトが開放されていることを意味している。第３の実施形態では、ストッパ対１１４は同じくストッパ８６と８８とを含む。さらに、第１の実施形態では、ストッパ９０とベースエレメント７２とが、第２のコンタクトとも称される第２のストッパ対１１６を形成する。間隔ｓ３が０よりも大きいという特徴、またはストッパ９０とベースエレメント７２とが互いに離間しているという特徴は、特に、ストッパ対１１６または第２のコンタクトが開放されていることと理解されてよい。第３の実施形態では、ストッパ対１１６は、ストッパ９０と、当接エレメントとも称されるストッパ１１８とを含む。ストッパ８８と１１８とは、特に一緒にまたは同時に、ベースエレメント７２に対して第１の方向および第２方向で、特に減衰器ピストン９４と共に、ひいては例えば減衰器ケーシング９６に対して、特に並進的に可動である。第３の実施形態では、減衰器ケーシング９６は少なくとも第１の方向および第２方向でベースエレメント７２に固定されている。ストッパ９０は弁エレメント７８に連結されており、この場合、例えば弁エレメント７８と一緒にまたは同時に第１の方向および第２方向でベースエレメント７２に対して可動である。ストッパ８６は、部分Ｔと圧送エレメント４０とに特に運動連結されているので、例えば部分Ｔ、圧送エレメント４０、およびストッパ８６は、第１の方向および第２の方向で、ベースエレメント７２に対して特に並進的に可動である。第１の実施形態では、例えばストッパ８６と９０とは、第３の実施形態では省かれる第３のストッパ対を形成する。特にストッパ８８は、プランジャによって形成されており、このプランジャは、弁装置７６および非線形の減衰器９２を、特にその圧縮に関して操作するために利用され、このために特に、ストッパ８８を介して部分Ｔによって、第１の方向に、特にベースエレメント７２に対してかつ／または並進的に可動であり、または動かされる。
【0083】
図１０は、アクチュエータ装置１０を開放状態で示しているので、例えば図１０は、図１または図３に相当する。図１０では、例えばアクチュエータ３４には電圧をかけられておらず、部分Ｔは変位しないかまたは最小の変位を行う。さらに、特にばねエレメント１１０がばねエレメント７４よりも強力であるので、第１のコンタクト（ストッパ対１１４）および第２のコンタクト（ストッパ対１１６）は閉じられ、放出弁とも称される、または放出弁としても機能する弁装置７６は開かれている。これにより、ばねエレメント１１０はストッパ１１８をストッパ９０に対して押し付け、さらにばねエレメント１１０はストッパ８８をストッパ８６に対して押し付ける。その結果、弁エレメント７８は、ストッパ９０および１１８を介して、弁エレメント８０から離れるように動かされるので、ばねエレメント１１０は弁装置７６を開放状態に保持する。
【0084】
図１１は、保持状態とも称される保持モードを示しており、したがって図１１では、例えば弁装置７６は閉じられていて、特に、部分Ｔが、その最大行程またはその最大変位の少なくとも実質的に５０パーセントとなるように、または弁装置が閉鎖されるかもしくは閉鎖状態に維持されるように、アクチュエータ３４に直流電圧としての電圧を供給することにより、アクチュエータ３４によって閉鎖状態に保持されている。保持状態または保持モードでは、同様に第１のコンタクトおよび第２のコンタクトが閉じられており、例えば、部分Ｔの変位により、ばねエレメント１１０は、図１０と比較して幾分圧縮されているので、弁装置７６が閉鎖されている間に、ばねエレメント１１０は第２のコンタクトを閉鎖状態に保持する。
【0085】
図１２には、圧送チャンバ４６から被駆動チャンバ１８への流体のポンピングが示されており、この場合、このために、アクチュエータ３４は、交流電圧として形成された電圧によって特に動的に駆動制御され、特に、アクチュエータ３４を駆動制御する電圧が交互に相前後して増減されるように駆動制御される。圧送チャンバ４６から被駆動チャンバ１８への流体の圧送の際にはまたは圧送のためには、第１のコンタクトは閉じられ、第２のコンタクトは開かれている。なぜならば、ばねエレメント１１０は、非線形の減衰器９２により、または、非線形の減衰器９２の伸張段階が極めて硬く、特に圧縮段階よりも硬いことにより、動的なモードで第２のコンタクトを閉鎖することができないからであり、または電圧の降下もしくは減少の開始とそれに続く電圧上昇の開始との間の時間が、ばねエレメント１１０が減衰器９２を、弁装置７６の開放に到るほどに膨張させることができ、その結果第２のコンタクトを閉鎖することができる時間よりも短いからである。
【0086】
最後に、図１３は、リザーバ５２から圧送チャンバ４６への流体の圧送を示している。このために、動的なポンプモードでは、流体を被駆動チャンバ１８へと圧送するために増加された、交流電圧として形成された電圧が減じられ、これにより部分Ｔと、これと共に圧送エレメント４０とが、第２の方向で圧送ケーシング４２に対して動かされる。この運動は、ばねエレメント１１０によって行われるかまたは行うことができる、第２のコンタクトの閉鎖のためにまたは閉鎖保持のために必要な、減衰器９２の膨張よりも迅速に行われるので、減衰器９２は、弁装置７６を閉鎖状態に保持し、第１のコンタクトが開放されるかまたは開放されており、第２のコンタクトも開放されるかまたは開放されている。したがってポンプモードでは、圧送エレメント４０とストッパ８６とは、部分Ｔによって、弁装置７６の開放が行われないように迅速に、交互に第１の方向および第２方向に動かされ、したがって往復運動する。被駆動チャンバ１８に流体を圧送する際には、第１のコンタクトは閉じられ、他方で第２のコンタクトは開放状態に留まり、流体を圧送チャンバ４６に圧送する際には、第１のコンタクトおよび第２のコンタクトが開かれ、これにより両コンタクトは同時に開かれている。非線形の減衰器９２は、特に、その非線形性または深い嵌合特性により、放出弁が閉鎖され閉鎖が維持されるように、ばねエレメント７４および１１０の過剰な変位を阻止する。
【0087】
図１４は、アクチュエータ装置１０の第４の実施形態を示している。特に図１４は、アクチュエータ装置１０の機械的な実現性を示している。流体的にリザーバ５２に接続される接続部は、図１４では符号１２０で示されており、流体的に被駆動チャンバ１８に接続される接続部は、図１４では符号１２２で示されている。
【0088】
図１５は、横軸１２４に時間が示されているグラフである。図１５に示したグラフの縦軸１２６には、アクチュエータ３４に印加される電圧がプロットされている。図１５に示したグラフには、アクチュエータ３４に供給される電圧を時間に関して示した経過１２８が記入されている。したがって、経過１２８は、アクチュエータ３４に印加される電圧の時間的推移である。図１５には、ポンプモードが行われる第１の期間がＰ１で表されている。さらに図１５には、第１の期間Ｐ１に続く第２の期間Ｐ２が示されており、この第２の期間では、アクチュエータ装置１０が保持モードまたは保持状態にある。さらに図１５には、第２の期間Ｐ２に続く第３の期間Ｐ３が示されており、この第３の期間では、アクチュエータ装置１０が開放モードにある。図１５からわかるように、流体を被駆動チャンバ１８内にポンピングするために、交流電圧としての電圧が迅速に連続して交互に増減される。これに続いて、被駆動エレメント１２を保持位置において保持するために、電圧が少なくともほぼ一定に保持される。保持位置から回避位置への被駆動エレメント１２の運動を許容するためにまたは引き起こすために、アクチュエータ３４に供給される電圧が、期間Ｐ３の間、特にゆっくりと減じられ、これにより弁装置７６の開放が生じる。
【0089】
図１６は、アクチュエータ装置１０の第５の実施形態を概略図で示している。第５の実施形態では、減衰器装置は、非線形の減衰器ではなく、線形の減衰器９３として形成されている。このことは、減衰器９３の圧縮段階と伸張段階とが同じ強度または同じ剛性を有しており、その結果、例えば減衰器９３の圧縮段階と伸張段階とが同じ減衰定数を有していることを意味している。なお、第５の実施形態は、第４の実施形態に相当している。
【0090】
図１７は、図１５に示したグラフを示しているが、この場合、図１５または第４の実施形態とは異なり、経過１２８により認められるように、アクチュエータ３４は別の形式で駆動制御される。図１７に示したアクチュエータ３４の駆動制御により、ポンプモード、保持モード、および開放モードを、非線形の減衰器９２を使用せずに、特に線形の減衰器９３を使用して実現することができる。このために、図１７の経過１２８からわかるように、動的なポンプモードの間、電圧を、降下させるよりもゆっくりと上昇させ、または上昇させるよりも著しく急速に降下させる。これにより、弁装置７６の開放を生じさせるのに十分な時間は、ばねエレメント１１０に残されていない。したがって、第５の実施の形態でも、特にただ駆動制御のみによって、弁装置７６を、特に線形の減衰器９３によって閉鎖状態に保持する一方で、ポンプモードの範囲内では、新たな流体を圧送チャンバ４６内へ圧送し、特に吸い込むためにアクチュエータ３４に供給される電圧が減じられる。駆動制御が、特に第１の実施形態では、少なくとも実質的に正弦波状に行われることが見て取れる。特に第５の実施形態では、駆動制御は、例えば鋸歯状に実施されるが、代替的にパルス幅変調または正弦波状に行われてもよい。
【0091】
図１８および図１９は、同様に図１７のグラフを示しているが、ここでは、経過１２８によって示されるアクチュエータ３４の別の駆動制御が示されている。第１の期間Ｚ１中、弁装置７６は開放されており、アクチュエータ３４には電圧が供給されず、これにより例えば部分Ｔはその最小変位をとる。第１の期間Ｚ１に続く第２の期間Ｚ２の間、アクチュエータ３４に供給される電圧を、まずは、特にゆっくりと上昇させ、その後、少なくとも実質的に一定に保持され、これにより、部分Ｔは、ベースエレメント７２に対して、第１の方向で、特に所定の位置へと動かされ、弁装置７６は閉じられ、部分Ｔは上述の位置に保持され、弁装置７６は閉弁状態に保持される。期間Ｚ２に続く第３の期間Ｚ３の間、上述したポンプモードが行われ、このポンプモードの範囲内では、部分Ｔと、部分Ｔと共に圧送エレメント４０とが、第１の方向および第２の方向でベースエレメント７２に対して動かされる。期間Ｚ３に続く期間Ｚ４の間には、保持モードが行われ、この間、アクチュエータ３４に少なくとも実質的に一定の電圧が供給される。これにより、弁装置７６は閉鎖状態に保持され、被駆動エレメント１２は保持位置に保持される。期間Ｚ４に時間的に続く期間Ｚ５の間に、開放モードが行われ、この開放モードではまたは開放モードの間に、アクチュエータ３４に供給される電圧を、特に十分にゆっくりと降下させるかまたは減少させ、これにより、弁装置７６の開放が、特にばね部材１１０によって許容されるかまたは引き起こされる。期間Ｚ５には期間Ｚ６が続いており、この期間Ｚ６の間、例えば期間Ｚ１の間と同様に、弁装置７６が再び開放されている。同じことは図１９にも当てはまる。
【0092】
最後に、図２０は、アクチュエータ装置１０の第６の実施形態を示している。この場合、アクチュエータ装置１０は、特に弁装置７６に対して付加的に設けられたサーボ弁１３０を有しており、このサーボ弁１３０は、サーボ放出弁とも称され、例えば電気的に動作可能である。例えばサーボ弁１３０は、導出通路３２内で弁装置７６に直列に配置または接続されており、この場合、例えばサーボ弁１３０は、被駆動チャンバ１８からサーボ弁１３０と弁装置７６とを介してリザーバチャンバ５４に流入する流体の流れ方向で、弁装置７６の上流に配置されている。サーボ弁１３０は、例えばそれ自体で、第２の開放状態と第２の閉鎖状態との間で電気的に切り替えることができる。特に、例えばサーボ弁１３０は、少なくとも第２の閉鎖状態から第２の開放状態へ切り替えることができる。これにより、例えば導出通路３２を特に迅速に解放することができる。特にこれにより、例えば特に迅速に、特にサーボ弁１３０の前室１３２を開放または解放することができるので、被駆動チャンバ１８に収容された流体の少なくとも一部を、サーボ弁１３０の第２の開放位置への切替えにより、前室１３２内に放出し、ひいては被駆動チャンバ１８から導出することができ、または被駆動エレメント１２によって導出することができる。弁装置７６は、第６の実施形態でも、他の全ての実施形態と同様に、アクチュエータ３４により作動され、特に開ループ制御または閉ループ制御される。
【0093】
サーボ弁１３０は、弁エレメント１３４と、例えば１ｂａｒの低い開放圧を例えば有する弁ばね１３６とを有している。例えば、導出通路３２を介して弁エレメント１３４に作用する流体が、開放圧よりも低い圧力を有している場合は、弁エレメント１３４は弁ばね１３６によって閉鎖状態に保持される。弁エレメント１３４に作用する流体の圧力が開弁圧に相当する場合には、または弁エレメント１３４に作用する流体の圧力が開弁圧よりも大きい場合には、その結果、弁エレメント１３４が弁ばね１３６に抗して開かれ、これによってサーボ弁１３０は導出通路３２または前室１３２を解放する。換言すると、導出通路３２は、被駆動チャンバ１８から弁装置７６またはサーボ弁１３０へ流れる流体の流れ方向で、被駆動チャンバ１８の下流側かつ前室１３２の上流側に配置された通路部分Ｔ２を有している。第２の閉鎖状態では、弁エレメント１３４によって通路部分Ｔ２が前室１３２から流体的に分離されているので、流体は被駆動チャンバ１８から前室１３２内へ流入することができない。サーボ弁１３０が第２の閉鎖状態から第２の開放状態へと調節されることにより、弁エレメント１３４は、通路部分Ｔ２と前室１３２との間の流体的な接続を解放する。換言すると、前室１３２が、解放されるかまたは通路部分Ｔ２に流体的に接続されるので、通路部分Ｔ２を介して、最初に被駆動チャンバ１８内に収容された流体の少なくとも一部が被駆動チャンバ１８から流出して、前室１３２内に流入することができる。これは特に、通路部分Ｔ２内に収容された特に直接に、弁エレメント１３４に作用する流体の圧力が、開放圧に相当する場合、または開放圧よりも大きい場合に行われる。
【0094】
サーボ弁１３０には、サーボ弁１３０に対して、特に前室１３２および弁エレメント１３４に対して平行に配置されているかまたは接続されている絞り１３８が配属されている。絞り１３８は、短絡通路１４０に配置されており、この短絡通路は、各接続個所Ｖ１で通路部分Ｔ２に流体接続され、接続個所Ｖ２で導出通路３２の別の通路部分Ｔ３に流体接続されている。この場合、例えば、短絡通路１４０は、導出通路３２の構成部分であってよい。接続個所Ｖ１は、被駆動チャンバ１８から通路部分Ｔ２を通ってサーボ弁１３０へ到り、サーボ弁１３０を介して弁装置７６へと流れる流体の流れ方向で、弁エレメント１３４の上流側に配置されており、この場合、接続個所Ｖ２は、上述した流れ方向に関してサーボ弁１３０の下流側、特に弁エレメント１３４の下流側、かつ弁装置７６の上流側に配置されている。短絡通路１４０を通って流れる流体は、サーボ弁１３０を迂回し、したがってサーボ弁１３０を通って流れるのではなく、短絡通路１４０を通ってサーボ弁１３０を迂回して弁装置７６へと流れる。被駆動チャンバ１８からリザーバチャンバ５４に流れる流体の流れ方向で、弁装置７６の下流には、導出通路３２の第３の通路部分Ｔ４が配置されているので、弁装置７６から到来する流体は、通路部分Ｔ４を介してリザーバチャンバ５４へと案内される。
【0095】
この場合、サーボ弁１３０は弁ケーシング１４２を有しており、この弁ケーシング内に、サーボ弁１３０の弁ピストン１４４が並進運動可能に収容されている。この場合、弁ピストン１４４は、図２０に双方向矢印１４６により示したピストン方向に沿って、弁ケーシング１４２に対して並進運動することができる。この場合、弁ばね１３６は、ピストン方向に沿って、一方では少なくとも間接的に、特に直接的に、弁ピストン１４４に支持され、他方では少なくとも間接的に、特に直接的に、弁エレメント１３４に支持されている。この場合、前室１３２は、部分的に弁ケーシング１４２によって、かつ部分的に弁ピストン１４４によって形成されているかまたは画定されている。さらに、サーボ弁１３０は、例えば特にピストン方向に沿って前室１３２の反対側に位置する別の弁チャンバ１４８を有している。この場合、一方では弁装置７６に、他方ではリザーバチャンバ５４に流体接続された通路部分Ｔ４は、接続個所Ｖ３で前室１３２に流体接続されており、この場合、接続個所Ｖ３は、弁装置７６から到来してリザーバチャンバ５４に向かって流れる流体の流れ方向で、弁装置７６の下流側に、かつリザーバチャンバ５４の上流側に配置されている。弁ピストン１４４が相応して弁ケーシング１４２に対して動かされ、これにより前室１３２の容積縮小が生じると、同じサイズで弁チャンバ１４８の容積拡大が生じ、その逆も同様である。
【0096】
全体として、弁装置７６は、第６の実施形態でも他の実施形態と同様に、アクチュエータ３４により作動され、特に、弁装置７６の開閉に関して、特に開ループ制御または閉ループ制御されることがわかる。弁エレメント１３４は特に、特に通路部分Ｔ２における弁エレメント１３４に作用する流体の圧力が、開放圧よりも小さい場合に、軽く閉じられた状態で保持される。弁装置７６が、上述したように、アクチュエータ３４により、またはアクチュエータ３４の相応の駆動制御により閉じられ、引き続きポンプモードが実施されるならば、絞りに基づき、被駆動側で、例えば前室１３０と弁チャンバ１４８との間の小さい圧力差が生じるが、弁エレメント１３４は、弁ばね１３６に基づき、特に弁ばね１３６によって提供される、弁エレメント１３４に作用するばね力に基づき、閉じられたままである。このことは、様々な液圧横断面を介して実現されてもよい。
【0097】
アクチュエータ３４の相応の駆動制御によって弁装置７６が開かれると、弁チャンバ１４８内の圧力は、弁装置７６を介して、特に絞り１３８が短絡通路１４０内に配置されていることに基づき、通路部分Ｔ２内よりも迅速に低下する。その結果、弁エレメント１３４が開放されるか、またはサーボ弁１３０が、第２の閉鎖状態から第２の開放状態へと調節される。弁装置７６とは対照的に、または弁装置７６自体と比較して、サーボ弁１３０または弁エレメント１３４は著しく大きな変位を実現することができるので、高い粘度を有する流体が特に迅速に流出することができ、すなわち被駆動チャンバ１８から導出することができる。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】