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特許7473892蒸着源
発明の名称 蒸着源
出願人 株式会社昭和真空 （識別番号 146009）
特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4007 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ブイ・テクノロジー （識別番号 500171707）
特許公開件数ランキング 4913 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2392 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7473892
公報発行日 2024年4月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7473892
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