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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-16
(45)【発行日】2024-04-24
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
F16H 25/20 20060101AFI20240417BHJP
F16H 25/22 20060101ALI20240417BHJP
【ＦＩ】
F16H25/20 F
F16H25/20 E
F16H25/22 Z
F16H25/20 B
【請求項の数】
16
(21)【出願番号】P 2020157184
(22)【出願日】2020-09-18
(65)【公開番号】P2022050968
(43)【公開日】2022-03-31
【審査請求日】2023-06-05
(73)【特許権者】
【識別番号】391008515
【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(74)【代理人】
【識別番号】100147924
【弁理士】
【氏名又は名称】美恵 英樹
(74)【代理人】
【識別番号】100165489
【弁理士】
【氏名又は名称】榊原 靖
(72)【発明者】
【氏名】加藤 悠記
【審査官】木原 裕二
(56)【参考文献】
【文献】特開平１１－２４７９６１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－２４９１２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特許第５５０３０１４（ＪＰ，Ｂ２）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１６Ｈ ２５／２０
Ｆ１６Ｈ ２５／２２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられる第２中間サポートユニットと、
前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結する連結部材と、
を備え、
前記第１中間サポートユニットは、前記スライド部の直線運動に伴って、前記スライド部が前記第１中間サポートユニット及び前記第２中間サポートユニットのいずれかに当接することにより、前記スライド部と共に直線運動可能に設けられている、アクチュエータ。
【請求項2】
前記連結部材は、前記スライド部の外部において、前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結する、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記スライド部には、前記ボールねじ軸の軸方向に貫通する連結部材用孔が形成され、前記連結部材は、前記連結部材用孔に挿通されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記第２中間サポートユニットは、前記作業軸の外周面を摺動する摺動部を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記摺動部は、潤滑性を有する素材からなるとともに、前記作業軸が挿通される貫通孔を有する円筒形状部分を有する、請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第２中間サポートユニットは、前記連結部材の延びた先端に設けられ、前記スライド部の前記先端部側の面に当接する当接部を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
前記第２中間サポートユニットの前記当接部には、前記連結部材の先端から、その延びる方向に直交する方向に張り出され、前記スライド部の前記先端部側の面に当接するフランジ状部分が形成されている、請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項8】
前記連結部材の先端には、ねじが形成され、前記当接部は、前記ねじに捻じ込まれている留め具の一部によって形成されている、請求項６又は７に記載のアクチュエータ。
【請求項9】
前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結するとともに、前記連結部材の延びる方向に平行に延びる第２の連結部材を備え、前記第２中間サポートユニットの前記当接部は、前記連結部材の延びた先端と、前記第２の連結部材の延びた先端とを連結して設けられている、請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項10】
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記作業軸の外周との間に配置され、前記作業軸の外周面を摺動する摺動部を有する、請求項９に記載のアクチュエータ。
【請求項11】
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記作業軸の外周との間に配置され、前記当接部と前記作業軸の外周との間で転動する第１転動部を有する、請求項９に記載のアクチュエータ。
【請求項12】
前記作業軸を覆うカバーを備え、前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記カバーとの間に配置され、前記当接部と前記カバーとの間で転動する第２転動部を有する、請求項１０又は１１に記載のアクチュエータ。
【請求項13】
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記第１中間サポートユニットよりも前記基端部寄りに設けられ、前記ボールねじ軸を支持する第３中間サポートユニットを備える、請求項１から１２のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項14】
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記第１中間サポートユニットよりも前記基端部寄りに設けられ、前記ボールねじ軸を支持する第３中間サポートユニットと、前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられると共に、前記第２中間サポートユニットよりも前記先端部寄りに設けられている第４中間サポートユニットと、
前記第３中間サポートユニットと前記第４中間サポートユニットとを連結する第３の連結部材と、
を備える、請求項１から１２のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項15】
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記基端部を支持する基端部支持部と、
前記第１中間サポートユニットと前記基端部支持部との間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第１弾性部材と、
前記スライド部と前記第１中間サポートユニットとの間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第２弾性部材と、
を備え、
前記第１弾性部材及び前記第２弾性部材は、前記スライド部が直線運動する際に弾性変形することにより、前記基端部支持部が前記第１弾性部材に接続されている第１位置と、前記スライド部が前記第２弾性部材に接続されている第２位置との間の中間位置に、前記第１中間サポートユニットを移動させるように設けられている、アクチュエータ。
【請求項16】
前記ボールねじ軸の前記先端部に設置され、前記作業軸の前記孔の内周面に接触して、前記ボールねじ軸の前記先端部を支持する振れ止め部材を備える、請求項１から１５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、モータの回転軸の回転に伴ってボールねじ軸が回転し、そのボールねじ軸の回転に伴って、ボールねじ軸に螺合されたボールねじナットが、ロッド（作業軸）と共に進退移動するロッドタイプのアクチュエータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１３－３６６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、その使用方法や設置場所によって、作業軸の進退移動可能な範囲であるストロークを長くすることがユーザから望まれる。しかしながら、特許文献１に記載のものにおいては、ボールねじ軸の長さを伸ばすことで、作業軸の長ストローク化を実現できるが、この場合、ボールねじ軸が撓む現象、いわゆる「縄跳び現象」を起こすおそれがある。そうすると、ボールねじ軸を破損させるような危険な状態になる回転速度であるアクチュエータの「危険速度」が低下してしまい、アクチュエータを高速駆動させることが困難となるおそれがある。
【0005】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、作業軸の移動可能なストロークを長くした場合においても、作業軸を高速移動させることが可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられる第２中間サポートユニットと、
前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結する連結部材と、
を備え、
前記第１中間サポートユニットは、前記スライド部の直線運動に伴って、前記スライド部が前記第１中間サポートユニット及び前記第２中間サポートユニットのいずれかに当接することにより、前記スライド部と共に直線運動可能に設けられている。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられる第２中間サポートユニットと、
前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結する連結部材と、
を備え、
前記第１中間サポートユニットは、前記スライド部の直線運動に伴って、前記スライド部が前記第１中間サポートユニット及び前記第２中間サポートユニットのいずれかに当接することにより、前記スライド部と共に直線運動可能に設けられている。
【0008】
前記連結部材は、前記スライド部の外部において、前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結していてもよい。
【0009】
前記スライド部には、前記ボールねじ軸の軸方向に貫通する連結部材用孔が形成され、
前記連結部材は、前記連結部材用孔に挿通されていてもよい。
前記連結部材は、前記連結部材用孔に挿通されていてもよい。
【0010】
前記第２中間サポートユニットは、前記作業軸の外周面を摺動する摺動部を有していてもよい。
【0011】
前記摺動部は、潤滑性を有する素材からなるとともに、前記作業軸が挿通される貫通孔を有する円筒形状部分を有していてもよい。
【0012】
前記第２中間サポートユニットは、前記連結部材の延びた先端に設けられ、前記スライド部の前記先端部側の面に当接する当接部を有していてもよい。
【0013】
前記第２中間サポートユニットの前記当接部には、前記連結部材の先端から、その延びる方向に直交する方向に張り出され、前記スライド部の前記先端部側の面に当接するフランジ状部分が形成されていてもよい。
【0014】
前記連結部材の先端には、ねじが形成され、
前記当接部は、前記ねじに捻じ込まれている留め具の一部によって形成されていてもよい。
前記当接部は、前記ねじに捻じ込まれている留め具の一部によって形成されていてもよい。
【0015】
前記第１中間サポートユニットと前記第２中間サポートユニットとを連結するとともに、前記連結部材の延びる方向に平行に延びる第２の連結部材を備え、
前記第２中間サポートユニットの前記当接部は、前記連結部材の延びた先端と、前記第２の連結部材の延びた先端とを連結して設けられていてもよい。
前記第２中間サポートユニットの前記当接部は、前記連結部材の延びた先端と、前記第２の連結部材の延びた先端とを連結して設けられていてもよい。
【0016】
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記作業軸の外周との間に配置され、前記作業軸の外周面を摺動する摺動部を有していてもよい。
【0017】
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記作業軸の外周との間に配置され、前記当接部と前記作業軸の外周との間で転動する第１転動部を有していてもよい。
【0018】
前記作業軸を覆うカバーを備え、
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記カバーとの間に配置され、前記当接部と前記カバーとの間で転動する第２転動部を有していてもよい。
前記第２中間サポートユニットは、前記当接部と前記カバーとの間に配置され、前記当接部と前記カバーとの間で転動する第２転動部を有していてもよい。
【0020】
上述の目的を達成するために、本発明の第２の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記基端部を支持する基端部支持部と、
前記第１中間サポートユニットと前記基端部支持部との間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第１弾性部材と、
前記スライド部と前記第１中間サポートユニットとの間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第２弾性部材と、
を備え、
前記第１弾性部材及び前記第２弾性部材は、前記スライド部が直線運動する際に弾性変形することにより、前記基端部支持部が前記第１弾性部材に接続されている第１位置と、前記スライド部が前記第２弾性部材に接続されている第２位置との間の中間位置に、前記第１中間サポートユニットを移動させるように設けられている。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライド部と、
前記スライド部と共に直線運動するように前記スライド部に接続され、前記ボールねじ軸の一方の先端部が挿入されるための孔が形成された作業軸と、
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記ボールねじ軸を支持する第１中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記基端部を支持する基端部支持部と、
前記第１中間サポートユニットと前記基端部支持部との間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第１弾性部材と、
前記スライド部と前記第１中間サポートユニットとの間に設置されていると共に、弾性の素材からなる第２弾性部材と、
を備え、
前記第１弾性部材及び前記第２弾性部材は、前記スライド部が直線運動する際に弾性変形することにより、前記基端部支持部が前記第１弾性部材に接続されている第１位置と、前記スライド部が前記第２弾性部材に接続されている第２位置との間の中間位置に、前記第１中間サポートユニットを移動させるように設けられている。
【0021】
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記第１中間サポートユニットよりも前記基端部寄りに設けられ、前記ボールねじ軸を支持する第３中間サポートユニットを備えていてもよい。
【0022】
前記ボールねじ軸の他方の基端部と前記スライド部との間で、前記ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、前記第１中間サポートユニットよりも前記基端部寄りに設けられ、前記ボールねじ軸を支持する第３中間サポートユニットと、
前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられると共に、前記第２中間サポートユニットよりも前記先端部寄りに設けられている第４中間サポートユニットと、
前記第３中間サポートユニットと前記第４中間サポートユニットとを連結する第３の連結部材と、
を備えていてもよい。
前記ボールねじ軸の前記先端部と前記スライド部との間において、前記作業軸の外周に設けられると共に、前記第２中間サポートユニットよりも前記先端部寄りに設けられている第４中間サポートユニットと、
前記第３中間サポートユニットと前記第４中間サポートユニットとを連結する第３の連結部材と、
を備えていてもよい。
【0023】
前記ボールねじ軸の前記先端部に設置され、前記作業軸の前記孔の内周面に接触して、前記ボールねじ軸の前記先端部を支持する振れ止め部材を備えていてもよい。
【発明の効果】
【0024】
本発明に係るアクチュエータは、ボールねじ軸の他方の基端部とスライド部との間で、ボールねじ軸に摺動可能に設けられる第１中間サポートユニットを備える。第１中間サポートユニットは、ボールねじ軸を支持する。このため、ボールねじ軸が撓むことを抑制する。これにより、本発明においては、アクチュエータの作業軸の移動可能なストロークを長くした場合においても、作業軸を高速移動させることが可能なアクチュエータを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図である。
【図2】実施の形態１に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図3】実施の形態１に係るアクチュエータの分解断面図である。
【図4】実施の形態１に係るアクチュエータの要部を拡大して示した斜視図である。
【図5】実施の形態１に係るアクチュエータの一部を簡略化して示した分解断面図である。
【図6】第１中間サポートユニット及び第２中間サポートユニットの斜視図（その１）である。
【図7】第１中間サポートユニットの正面図である。
【図8】第１中間サポートユニット及び第２中間サポートユニットの斜視図（その２）である。
【図9】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための断面図（その１）である。
【図10】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための断面図（その２）である。
【図11】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための断面図（その３）である。
【図12】実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業を説明するための斜視図（その１）である。
【図13】実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業を説明するための斜視図（その２）である。
【図14】比較例に係るアクチュエータの断面図である。
【図15】実施の形態２に係るアクチュエータの斜視図である。
【図16】実施の形態３に係るアクチュエータの斜視図である。
【図17】実施の形態４に係るアクチュエータの斜視図である。
【図18】実施の形態４に係るアクチュエータのスライド部及び当接部の正面図である。
【図19】実施の形態５に係るアクチュエータのスライド部及び当接部の正面図である。
【図20】実施の形態６に係るアクチュエータのスライド部及び当接部の正面図である。
【図21】実施の形態７に係るアクチュエータの断面図である。
【図22】変形例１に係るアクチュエータの断面図である。
【図23】変形例２に係る第１～第４中間サポートユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0026】
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１に示すように、ロッド１１が進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１０が設置される面に平行な水平面である。
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１に示すように、ロッド１１が進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１０が設置される面に平行な水平面である。
【0027】
アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１（作業軸）を有するロッドタイプのリニアアクチュエータである。アクチュエータ１０は、ロッド１１の移動距離であるストローク（Ｙ軸方向の長さ）が比較的長いアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１（作業軸）と、モータユニット２０と、フロントブラケット９０と、リアブラケット１００（基端部支持部）と、カバー１８とを備える。
【0028】
カバー１８は、図２及び図３に示すように、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成されるフレームカバーである。ただし、カバー１８の素材や形成方法は、これに限られない。カバー１８は、アルミニウムを押出成形することによって形成されるもの以外のものであってもよい。カバー１８には、ネジ、ボルトなどの留め具１９によって、＋Ｚ側からフロントブラケット９０及びリアブラケット１００に取り付けられて固定されている。
【0029】
アクチュエータ１０は、図４及び図５に示すように、上述のロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するガイド装置３０と、ボールねじ４０と、振れ止め部材５０と、第１中間サポートユニット６０と、第２中間サポートユニット７０と、連結部材８１と、連結部材８２（第２の連結部材）とを備える。
【0030】
ロッド１１（作業軸）は、図５に示すように、内部に孔１１ａが形成された円筒形状の部材である。ロッド１１は、例えば、ステンレス鋼からなる。ただし、ロッド１１の素材は、これに限られない。ロッド１１の素材は、ステンレス鋼以外のものであってもよい。ロッド１１の孔１１ａは、ＸＺ断面が概ね真円の円孔となるように形成されている。ロッド１１は、その－Ｙ側の先端部にねじ込まれて固定されている先端金具１２を有する。ロッド１１の先端金具１２は、例えば、外周にねじ面が形成されている。この先端金具１２には、アクチュエータ１０の用途に応じて、様々な工具が螺合されて取り付けられる。また、ロッド１１の＋Ｙ側の基端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。なお、図５は簡略化された図であり、当該図においては、アクチュエータ１０は、例えば、連結部材８１、８２など、部材の一部が割愛されたり、簡略化されたりして示されている。
【0031】
モータユニット２０は、図３に示すように、モータ２１と、モータハウジング２２と、アクチュエータケーブルとを有する。
【0032】
モータ２１は、例えば、出力軸２３（回転軸）、ロータ、ステータ、エンコーダ、等を有している。このモータ２１には、アクチュエータケーブルを介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。ロータの回転運動は、出力軸２３に出力される。この出力軸２３には、カップリング２３ａが取り付けられている（図５参照）。
【0033】
モータハウジング２２は、略直方体のケースである。モータハウジング２２には、出力軸２３の先端が突出した状態で、モータ２１が収容されている。
【0034】
ガイド装置３０は、図４及び図５に示すように、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、スライド部３１と、レール部３２と、球形状に形成されている転動体とを有する。転動体は、剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。転動体は、スライド部３１とレール部３２との間に複数配置され、レール部３２に対して、スライド部３１を円滑に移動させるために用いられる。
【0035】
スライド部３１は、転動体を介して、レール部３２にＹ軸方向に移動可能に支持されている。スライド部３１は、金属からなる本体部と、この本体部の－Ｙ側の前端面に留め具等で固定された前側のリターン部材と、本体部の＋Ｙ側の後端面に留め具等で固定された後ろ側のリターン部材とを有する。一対のリターン部材には、その内部に、転動体を通過させる転動体循環路が形成されている。
【0036】
スライド部３１の本体部は、Ｙ方向に貫通する貫通孔３１ａが形成された略直方体の部材である。スライド部３１の本体部は、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔３１ａの内周面の少なくとも一部には、雌ねじ面３１ｂが形成されている。この雌ねじ面３１ｂには、ロッド１１の雄ねじ部１１ｂが螺合されて固定される。また、スライド部３１の本体部の＋Ｘ側の側面及び－Ｘ側の側面には、転動体が転動するための溝部が形成されている。溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。
【0037】
レール部３２は、Ｙ軸方向を長手方向とする板状の底板部と、一対の側壁部とを有する。レール部３２は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。側壁部の互いに対応する対向面には、転動体が転動するための溝部がそれぞれ形成されている。溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。このレール部３２には、複数の転動体を介して、スライド部３１が取り付けられる。レール部３２にスライド部３１が取り付けられると、レール部３２の側壁の溝部と、スライド部３１の側面の溝部とに転動体が挟まれる。これにより、スライド部３１は、転動体の転動に基づいて、レール部３２に対して、Ｙ軸方向に円滑に移動可能になる。
【0038】
ボールねじ４０は、図３及び図５に示すように、モータユニット２０の出力軸２３の回転運動を直線運動に変換することで、スライド部３１を直線運動させるために用いられる。ボールねじ４０は、ボールねじ軸４１と、ボールねじナット４２とを有する。
【0039】
ボールねじ軸４１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されているボールねじ軸本体と、ボールねじ軸本体よりも小径に形成されているボールねじ軸４１の－Ｙ側の先端部４１ａ及び＋Ｙ側の基端部４１ｂとを有する。
【0040】
先端部４１ａには、振れ止め部材５０が嵌め込まれている。この振れ止め部材５０は、抜け止め部材４３によって、先端部４１ａから抜け止めされている。先端部４１ａは、ロッド１１の孔１１ａに＋Ｙ側から挿入される。これにより、先端部４１ａは、振れ止め部材５０とともに、ロッド１１の孔１１ａ内に配置される。
【0041】
基端部４１ｂには、カップリング４４が取り付けられている。基端部４１ｂは、モータユニット２０の出力軸２３に取り付けられているカップリング２３ａに、出力軸２３とともに回転するように接続される。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸４１に伝達される。
【0042】
ボールねじナット４２は、ボールねじ軸４１の外周面に螺合されて配置されている。ボールねじナット４２は、ボールねじ軸４１に剛性の球体を介して嵌め込まれる。ボールねじナット４２は、ボールねじ軸４１の回転運動に基づいて、直線運動に変換される。
【0043】
振れ止め部材５０は、図５に示すように、ボールねじ軸４１の先端部４１ａに設置されている。振れ止め部材５０は、ボールねじ軸４１の先端部４１ａの振れ回りを抑制するための部材である。振れ止め部材５０は、樹脂からなる略円筒形状の振れ止め部材本体と、振れ止め部材本体の外周に嵌め込まれた弾性部材５１とを有する。
【0044】
弾性部材５１は、本実施の形態１では、Ｏリングである。弾性部材５１の素材は、例えば、フッ素ゴムである。弾性部材５１は、その外径が、ロッド１１の孔１１ａの内径よりもやや大きいものが用いられている。これにより、ボールねじ軸４１の先端部４１ａを、ロッド１１の孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材５１が、孔１１ａの内周面に摺動可能に接触する。弾性部材５１が、孔１１ａの内周面に摺動可能に接触することにより、振れ止め部材５０は、モータ２１の出力軸２３の回転に起因して生じるボールねじ軸４１の先端部４１ａの振れ回りを抑制する。
【0045】
なお、本実施の形態１では、振れ止め部材５０は、樹脂からなる振れ止め部材本体と、Ｏリングである弾性部材５１とからなるものが用いられている。しかしながら、これに限られない。ボールねじ軸４１の先端部４１ａの振れ回りを抑制可能なものであれば、振れ止め部材５０は、これらの構成以外のものであってもよい。例えば、振れ止め部材５０は、樹脂のみからなる単一の素材からなるものであってもよいし、さらには別の構造を有するものであってもよい。
【0046】
第１中間サポートユニット６０は、図３に示すように、ボールねじ軸４１の基端部４１ｂとスライド部３１との間に設けられている。また、第１中間サポートユニット６０は、ボールねじ軸４１に摺動可能に設けられていることで、移動方向Ｄ１に沿って、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に移動可能に設けられている。第１中間サポートユニット６０は、ボールねじ軸４１の基端部４１ｂとスライド部３１との間において、ボールねじ軸４１を支持することにより、ボールねじ軸４１が撓むことを抑制する。第１中間サポートユニット６０は、図５及び図６に示すように、本体部６１と、ブッシュ６２（摺動部）と、ローラ６３ａ～６３ｃと、アジャストプレート６４と、ストッパ６５、６６と、パイプクランプ部６７Ｒ、６７Ｌとを有する。
【0047】
本体部６１は、例えば、金属より形成されている。本体部６１は、図５及び図７に示すように、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ボールねじ軸４１及びブッシュ６２が挿通される貫通孔６１ａが形成されている。貫通孔６１ａは、円孔ではなく、本体部６１の外部に一部が切り欠かれて形成されている。この切り欠かれている部分に、ボールねじ軸４１に嵌め込まれているブッシュ６２を通過させることにより、本体部６１は、ボールねじ軸４１の外周に嵌め込まれたままのブッシュ６２から脱着可能に形成される。
【0048】
ブッシュ６２は、図５、図６及び図８に示すように、本体部６１の貫通孔６１ａの孔内に嵌め込まれて配置されている。ブッシュ６２は、ねじ、ボルトなどの留め具６２ａによって、本体部６１に固定されている。このブッシュ６２は、円筒形状に形成されている円筒形状部分と、円筒形状部分の＋Ｙ側の端部に形成されているフランジ部分とから構成されている。ブッシュ６２は、潤滑性のある素材より形成され、ボールねじ軸４１の外周上を摺動するすべり軸受として機能する摺動部である。なお、本実施の形態１では、ブッシュ６２は、本体部６１の貫通孔６１ａの孔内に直接嵌め込まれて配置されている。しかしながら、これに限られない。ブッシュ６２は、金属より形成されているブッシュホルダを介して、貫通孔６１ａの孔内に嵌め込まれて配置されていてもよい。すなわち、本体部６１の貫通孔６１ａの孔内には、円筒形状のブッシュホルダが嵌め込まれて、このブッシュホルダに形成されている貫通孔に、ブッシュ６２が、嵌め込まれて配置されていてもよい。
【0049】
ローラ６３ａは、図７に示すように、アジャストプレート６４を介して、Ｚ軸を中心軸として回転方向Ｒ１回りに回転可能に本体部６１に取り付けられている。ローラ６３ｂ及びローラ６３ｃは、図６及び図７に示すように、Ｚ軸を中心軸として回転可能に本体部６１に直接取り付けられている。ローラ６３ａ～６３ｃは、レール部３２の一対の側壁部の溝部を転動する。これにより、第１中間サポートユニット６０は、スライド部３１と同様に、移動方向Ｄ１に沿って移動可能にレール部３２に支持される。
【0050】
アジャストプレート６４は、ローラ６３ａを、レール部３２の一対の側壁部の溝部に嵌る第１位置と、当該溝部から外れる第２位置とに変更するための部材である。アジャストプレート６４は、直方形の板形状に形成されている。アジャストプレート６４は、ボルトなどの２本の留め具６４ａによって、本体部６１に固定されている。アジャストプレート６４において、ローラ６３ａを第１位置から第２位置に変更する場合には、ユーザは、２本の留め具６４ａのうち、一方の留め具６４ａを緩めてから、他方の留め具６４ａを回転軸として、Ｚ軸を中心軸として回転方向Ｒ１回りに回動させる。これにより、図７の矢印Ｘ１に示すように、ローラ６３ａをレール部３２の溝部から外れる第２位置に移動させる。
【0051】
ストッパ６５は、図４に示すように、本体部６１の－Ｙ側の側面に設けられている。ストッパ６５は、弾性の素材、例えば、ニトリルゴムからなる。しかしながら、これに限られず、ストッパ６５は、ニトリルゴム以外の素材からなっていてもよい。ストッパ６５は、第１中間サポートユニット６０がスライド部３１に当接した時の衝撃を吸収するために設けられている。ストッパ６５は、ねじ、ボルトなどの留め具によって本体部６１に固定されている。
【0052】
ストッパ６６は、本体部６１の＋Ｙ側の側面に設けられている。ストッパ６６は、弾性の素材、例えば、ニトリルゴムからなる。しかしながら、これに限られず、ストッパ６６は、ニトリルゴム以外の素材からなっていてもよい。ストッパ６６は、第１中間サポートユニット６０がリアブラケット１００に当接した時の衝撃を吸収するために設けられている。ストッパ６６は、ねじ、ボルトなどの留め具によって本体部６１に固定されている。
【0053】
パイプクランプ部６７Ｒは、本体部６１の＋Ｘ側の側部に形成されている。パイプクランプ部６７Ｒには、連結部材８１の＋Ｙ側の端部が、例えば、ねじやボルト等の留め具の締結によって固定されている。
【0054】
パイプクランプ部６７Ｌは、本体部６１の－Ｘ側の側部に形成されている。パイプクランプ部６７Ｌには、連結部材８２の＋Ｙ側の端部が、例えば、ねじやボルト等の留め具の締結によって固定されている。
【0055】
第２中間サポートユニット７０は、図３に示すように、ボールねじ軸４１の先端部４１ａとスライド部３１との間において、ロッド１１の外周に設けられている。また、第２中間サポートユニット７０は、ロッド１１の外周を摺動可能に設けられていることで、移動方向Ｄ１に沿って、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向に移動可能に設けられている。第２中間サポートユニット７０は、図５及び図６に示すように、本体部７１と、ブッシュ７２（摺動部）と、ストッパ７３、７４と、パイプクランプ部７５Ｒ、７５Ｌとを有する。
【0056】
本体部７１は、例えば、金属より形成されている。本体部７１は、図５に示すように、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ＹＺ断面が半円状の半円溝７１ａが形成されている。
【0057】
ブッシュ７２は、図５、図６、及び図８に示すように、ロッド１１の外周を摺動可能に設けられている。ブッシュ７２は、本体部７１の半円溝７１ａに配置されている。ブッシュ７２は、貫通孔を有すると共に円筒形状に形成されている円筒形状部分と、円筒形状部分の＋Ｙ側の端部に形成されているフランジ部分７２ａとから構成されている。ブッシュ７２は、その円筒部分の外径が、本体部７１の半円溝７１ａの内径と概ね同じに形成されている。ブッシュ７２は、潤滑性のある素材より形成され、円筒形状部分の貫通孔にロッド１１が挿通されることにより、ロッド１１の外周面を摺動するすべり軸受として機能する摺動部である。
【0058】
ストッパ７３は、図４に示すように、本体部７１の＋Ｙ側の側面に設けられている。ストッパ７３は、弾性の素材、例えば、ニトリルゴムからなる。しかしながら、これに限られず、ストッパ７３は、ニトリルゴム以外の素材からなっていてもよい。ストッパ７３は、第２中間サポートユニット７０がスライド部３１に当接した時の衝撃を吸収するために設けられている。ストッパ７３は、ねじ、ボルトなどの留め具によって本体部７１に固定されている。
【0059】
ストッパ７４は、本体部７１の－Ｙ側の側面に設けられている。ストッパ７４は、弾性の素材、例えば、ニトリルゴムからなる。しかしながら、これに限られず、ストッパ７４は、ニトリルゴム以外の素材からなっていてもよい。ストッパ７４は、第２中間サポートユニット７０がフロントブラケット９０（図３参照）に当接した時の衝撃を吸収するために設けられている。ストッパ７４は、ねじ、ボルトなどの留め具７４ａによって、ブッシュ７２のフランジ部分７２ａの一部を挟みつつ、本体部７１に固定されている。
【0060】
パイプクランプ部７５Ｒは、本体部７１の＋Ｘ側の側部に形成されている。パイプクランプ部７５Ｒには、連結部材８１の－Ｙ側の端部が、例えば、ねじやボルト等の留め具の締結によって固定されている。
【0061】
パイプクランプ部７５Ｌは、本体部７１の－Ｘ側の側部に形成されている。パイプクランプ部６７Ｌには、連結部材８２の＋Ｙ側の端部が、例えば、ねじやボルト等の留め具の締結によって固定されている。
【0062】
連結部材８１は、スライド部３１を貫通したりせずに、スライド部３１の外部において、第１中間サポートユニット６０と第２中間サポートユニット７０とを連結する。
【0063】
連結部材８２（第２の連結部材）は、連結部材８１と同様に、スライド部３１を貫通したりせずに、スライド部３１の外部において、第１中間サポートユニット６０と第２中間サポートユニット７０とを連結する。
【0064】
連結部材８１、８２が、第１中間サポートユニット６０と第２中間サポートユニット７０との双方のユニットを連結することにより、第１中間サポートユニット６０は、第２中間サポートユニット７０と共に、移動方向Ｄ１に沿って移動する。また、連結部材８１、８２が、第１中間サポートユニット６０と第２中間サポートユニット７０との双方のユニットを連結することにより、第１中間サポートユニット６０は、スライド部３１の直線運動に伴って、スライド部３１が第１、第２中間サポートユニット６０、７０のいずれかに当接することにより、スライド部３１と共に直線運動可能に設けられる。
【0065】
フロントブラケット９０は、図３に示すように、ガイド装置３０の－Ｙ側に、例えば、ボルト等の留め具によって固定されている。フロントブラケット９０は、ブラケット本体９１と、ブラケット本体９１を覆うフロントカバー９２とを有する。ブラケット本体９１は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、ブラケット本体９１には、ロッド１１を通すための貫通孔９１ａが形成されており、この貫通孔９１ａの内周面には、オイルレスベアリングが配置されている。オイルレスベアリングは、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、フロントカバー９２は、例えば、樹脂成形により形成されている。なお、ブラケット本体９１及びフロントカバー９２は、上記以外の素材や成型方法から形成されていてもよい。
【0066】
リアブラケット１００（基端部支持部）は、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、例えば、ボルト等の留め具によって固定されている。リアブラケット１００は、ブラケット本体１０１と、ブラケット本体１０１を覆うリアカバー１０２とを有する。ブラケット本体１０１は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、ブラケット本体１０１には、ボールねじ軸４１を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、ベアリング１０３が配置されている。このベアリング１０３によって、ボールねじ軸４１は回転可能に支持される。また、リアカバー１０２は、例えば、樹脂成形により形成されている。なお、ブラケット本体１０１及びリアカバー１０２は、上記以外の素材や成型方法から形成されていてもよい。
【0067】
上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図を参照しつつ説明する。
【0068】
先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図９に示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が回転（正転）すると、カップリング２３ａ、４４が互いに接続されているため、出力軸２３に接続されているボールねじ軸４１が、図９の矢印Ａ１に示すように、出力軸２３と共に回転する。
【0069】
ボールねじ軸４１が回転（正転）すると、ボールねじナット４２が、図９の矢印Ａ２に示すように、－Ｙ方向に直線運動をする。この結果、スライド部３１及びロッド１１が、例えば、－Ｙ方向に直線運動をする。このとき、スライド部３１は、レール部３２に転動体を介して支持されているため、転動体の転動によって円滑に移動する。
【0070】
スライド部３１が、－Ｙ方向に直線運動をしていくと、図１０に示すように、やがて、スライド部３１は、第２中間サポートユニット７０に当接する。このとき、第２中間サポートユニット７０のストッパ７３が、第２中間サポートユニット７０とスライド部３１との当接によって生じる衝撃を吸収する。
【0071】
さらに、スライド部３１が、－Ｙ方向に直線運動をしていくと、第２中間サポートユニット７０は、スライド部３１と共に、矢印Ａ３に示すように、－Ｙ方向に直線運動をする。また、第１中間サポートユニット６０は連結部材８１、８２によって第２中間サポートユニット７０に連結されているため、第２中間サポートユニット７０に引っ張られて、第１中間サポートユニット６０も、第２中間サポートユニット７０及びスライド部３１と共に、－Ｙ方向に直線運動をする。このとき、第１中間サポートユニット６０は、ブッシュ６２が、ボールねじ軸４１の外周上を摺動することで、ボールねじ軸４１に対して円滑に移動する。第２中間サポートユニット７０が、－Ｙ方向に直線運動をしていくと、やがて、スライド部３１は、フロントブラケット９０に最も接近した位置（ロッド終端位置）に移動し、フロントブラケット９０に当接する。このとき、第２中間サポートユニット７０のストッパ７４が、第２中間サポートユニット７０とフロントブラケット９０との当接によって生じる衝撃を吸収する。
【0072】
以上により、ロッド１１の－Ｙ方向への移動が完了する。
【0073】
次に、図１１の矢印Ａ４に示すように、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転（逆転）すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸４１は、出力軸２３とともに逆転する。
【0074】
ボールねじ軸４１が回転（逆転）すると、ボールねじナット４２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。この結果、スライド部３１及びロッド１１が、矢印Ａ５に示すように、例えば、＋Ｙ方向に直線運動をする。このとき、スライド部３１は、レール部３２に転動体を介して支持されているため、転動体の転動によって円滑に移動する。
【0075】
スライド部３１が、＋Ｙ方向に直線運動をしていくと、やがて、スライド部３１は、第１中間サポートユニット６０に当接する。このとき、第１中間サポートユニット６０のストッパ６５が、第１中間サポートユニット６０とスライド部３１との当接によって生じる衝撃を吸収する。
【0076】
さらに、スライド部３１が、＋Ｙ方向に直線運動をしていくと、第１中間サポートユニット６０は、スライド部３１と共に、矢印Ａ６に示すように、＋Ｙ方向に直線運動をする。第２中間サポートユニット７０は連結部材８１、８２によって第１中間サポートユニット６０に連結されているため、第１中間サポートユニット６０に引っ張られて、第２中間サポートユニット７０も、第１中間サポートユニット６０及びスライド部３１と共に、＋Ｙ方向に直線運動をする。このとき、第１中間サポートユニット６０は、ブッシュ６２が、ボールねじ軸４１の外周上を摺動することで、ボールねじ軸４１に対して円滑に移動する。第１中間サポートユニット６０が、＋Ｙ方向に直線運動をしていくと、やがて、スライド部３１は、リアブラケット１００に最も接近した位置（ロッド原点位置）に移動し、リアブラケット１００に当接する。このとき、第１中間サポートユニット６０のストッパ６６が、第１中間サポートユニット６０とリアブラケット１００との当接によって生じる衝撃を吸収する。
【0077】
以上により、ロッド１１の＋Ｙ方向への移動が完了する。
【0078】
次に、アクチュエータ１０における第１中間サポートユニット６０近傍のメンテナンスの作業方法について図７及び図１２を用いて説明する。メンテナンスを行う作業者は、図７を参照するとわかるように、アジャストプレート６４を本体部６１に固定している２本の留め具６４ａのうち、一方の留め具６４ａを取り外す。続いて、作業者は、他方の留め具６４ａを中心軸として回転方向Ｒ１回りに、アジャストプレート６４を回動させる。これにより、作業者は、ローラ６３ａを、レール部３２の溝部から外れる第２位置に移動させる。続いて、作業者は、図１２に示すように、本体部６１とブッシュ６２とを固定する留め具６２ａを外す。そして、作業者は、ボールねじ軸４１の外周に嵌め込まれたままのブッシュ６２から、本体部６１等を取り外す。この後、必要に応じて、アクチュエータ１０の部品の取り換えを行ったり、清掃を行ったりする。
【0079】
続いて、第２中間サポートユニット７０近傍のメンテナンスの作業方法について説明する。作業者は、図１３に示すように、本体部７１に対して、ブッシュ７２及びストッパ７４を固定する留め具７４ａを外す。そして、作業者は、ロッド１１の外周に嵌め込まれたままのブッシュ７２から、本体部７１等を取り外す。この後、必要に応じて、アクチュエータ１０の部品の取り換えを行ったり、清掃を行ったりする。
【0080】
以上、説明したように、本実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、図３に示すように、ボールねじ軸４１の基端部４１ｂとスライド部３１との間で、ボールねじ軸４１に摺動可能に設けられる第１中間サポートユニット６０を備える。第１中間サポートユニット６０は、ボールねじ軸４１を支持するため、ボールねじ軸４１が撓むことを抑制する。これにより、本実施の形態１においては、アクチュエータ１０のロッド１１の移動可能なストロークを長くした場合においても、ロッド１１を高速移動させることができる。
【0081】
例えば、図１４に示す比較例に係るアクチュエータ１０００は、ボールねじ軸４１の基端部４１ｂとスライド部３１との間で、ボールねじ軸４１に摺動可能に設けられる第１中間サポートユニット６０を備えない。このため、アクチュエータ１０００では、ボールねじ軸４１が撓みやすい。特に、ボールねじ軸４１の長さを伸ばすことで、作業軸の長ストローク化を実現した場合、ボールねじ軸４１の撓みが大きくなり、いわゆる「縄跳び現象」が生じやすくなる。そうすると、ボールねじ軸を破損させるような危険な状態になる回転速度であるアクチュエータ１０００の「危険速度」が低下してしまい、アクチュエータ１０００を高速駆動させることが困難となるおそれがある。
【0082】
これに対して、本実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、図３に示すように、ボールねじ軸４１を支持する第１中間サポートユニット６０を備えるため、ボールねじ軸４１が撓むことを抑制する。これにより、本実施の形態１においては、アクチュエータ１０のロッド１１の移動可能なストロークを長くした場合においても、ロッド１１を高速移動させることができる。
【0083】
また、アクチュエータ１０は、図３及び図４に示すように、第１中間サポートユニット６０に加えて、第２中間サポートユニット７０と、連結部材８１、８２とをさらに備える。そして、第１中間サポートユニット６０は、スライド部３１の直線運動に伴って、スライド部３１が第１、第２中間サポートユニット６０、７０のいずれかに当接することにより、スライド部３１と共に直線運動可能に設けられている。このため、第１中間サポートユニット６０は、スライド部３１との間の距離が所定の距離以下となる位置に配置される。これにより、アクチュエータ１０は、ボールねじ軸４１の撓みを抑制する効果をさらに向上させることができる。ひいては、本実施の形態１においては、アクチュエータ１０のロッド１１の移動可能なストロークを長くした場合においても、ロッド１１を高速移動させることができる。
【0084】
（実施の形態１の変形例）
なお、本実施の形態１において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０は、２本の連結部材８１、８２によって連結されている。しかしながら、これに限られない。第１、第２中間サポートユニット６０、７０は、１本の連結部材８１によって連結されていてもよいし、３本以上の連結部材によって連結されていてもよい。
なお、本実施の形態１において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０は、２本の連結部材８１、８２によって連結されている。しかしながら、これに限られない。第１、第２中間サポートユニット６０、７０は、１本の連結部材８１によって連結されていてもよいし、３本以上の連結部材によって連結されていてもよい。
【0085】
実施の形態２．
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１０の第２中間サポートユニット７０は、ロッド１１の外周面を摺動するブッシュ７２を有する。しかしながら、第２中間サポートユニット７０は、この構造のものに限られない。以下、第２中間サポートユニット７０が異なる構造を有する実施の形態２に係るアクチュエータ１０Ａについて図１５を用いて説明する。なお、アクチュエータ１０Ａにおいて、アクチュエータ１０と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。なお、アクチュエータ１０Ａは、第２中間サポートユニット７０がロッド１１の外周に設けられている点では、実施の形態１に係るアクチュエータ１０と同じである。しかしながら、アクチュエータ１０Ａは、第２中間サポートユニット７０がロッド１１の外周面に密着せずに離間しており、ロッド１１の外周面を摺動する摺動部を有さない点で、実施の形態１に係るアクチュエータ１０と相違する。
上記実施の形態１に係るアクチュエータ１０の第２中間サポートユニット７０は、ロッド１１の外周面を摺動するブッシュ７２を有する。しかしながら、第２中間サポートユニット７０は、この構造のものに限られない。以下、第２中間サポートユニット７０が異なる構造を有する実施の形態２に係るアクチュエータ１０Ａについて図１５を用いて説明する。なお、アクチュエータ１０Ａにおいて、アクチュエータ１０と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。なお、アクチュエータ１０Ａは、第２中間サポートユニット７０がロッド１１の外周に設けられている点では、実施の形態１に係るアクチュエータ１０と同じである。しかしながら、アクチュエータ１０Ａは、第２中間サポートユニット７０がロッド１１の外周面に密着せずに離間しており、ロッド１１の外周面を摺動する摺動部を有さない点で、実施の形態１に係るアクチュエータ１０と相違する。
【0086】
第２中間サポートユニット７０は、図１５に示すように、連結部材８１、８２の－Ｙ方向に延びた先端に設けられている。この第２中間サポートユニット７０は、連結部材８１の－Ｙ側の先端に設けられた当接部７６Ｒと、連結部材８２の－Ｙ側の先端に設けられた当接部７６Ｌとを有する。
【0087】
当接部７６Ｒは、スライド部３１の－Ｙ方向への移動に伴って、スライド部３１の－Ｙ側（ボールねじ軸の先端部側）の面に当接するように形成されている。具体的には、当接部７６Ｒには、連結部材８１の先端から、その延びる方向（Ｙ軸方向）に直交する方向に張り出され、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接するフランジ状部分が形成されている。このフランジ状部分には、スライド部３１の－Ｙ側の面に平行な面は形成され、これにより、当接部７６Ｒは、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接し易くなるように設けられている。本実施の形態２においては、当接部７６Ｒは、連結部材８１の先端に形成されている雄ねじ（ねじ）に捻じ込まれているナット等の留め具の頭部である。この頭部が、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接するフランジ状部分として形成されている。なお、当接部７６Ｒは、この構造に限られない。当接部７６Ｒは、連結部材８１の先端に形成されているねじ穴（ねじ）に捻じ込まれているボルト（留め具）の頭部であってもよい。
【0088】
当接部７６Ｌは、スライド部３１の－Ｙ方向への移動に伴って、スライド部３１の－Ｙ側（ボールねじ軸の先端部側）の面に当接するように形成されている。具体的には、当接部７６Ｌには、連結部材８２の先端から、その延びる方向（Ｙ軸方向）に直交する方向に張り出され、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接するフランジ状部分が形成されている。このフランジ状部分には、スライド部３１の－Ｙ側の面に平行な面は形成され、これにより、当接部７６Ｌは、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接し易くなるように設けられている。本実施の形態２においては、当接部７６Ｌは、当接部７６Ｒと同様に、連結部材８２の先端に形成されている雄ねじに捻じ込まれているナット等の留め具の頭部である。この頭部が、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接するフランジ状部分として形成されている。なお、当接部７６Ｌは、この構造に限られない。当接部７６Ｌは、連結部材８２の先端に形成されているねじ穴（ねじ）に捻じ込まれているボルト（留め具）の頭部であってもよい。
【0089】
スライド部３１には、ボールねじ軸４１の軸方向（Ｙ軸方向）に貫通する孔３１ｃ（連結部材用孔）が形成されている。実施の形態２において、スライド部３１は、孔３１ｃが形成されている点のみで、実施の形態１のものと相違する。
【0090】
連結部材８１、８２は、このスライド部３１の孔３１ｃに挿通されて、第１中間サポートユニット６０と第２中間サポートユニット７０とを連結する。連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔３１ｃの内面にすべり軸受けなどを配置し、スライド部３１の孔３１ｃの内面に対して摺動可能に挿通されていてもよいし、スライド部３１の孔３１ｃの内面から隙間が設けられている状態で挿通されていてもよい。
【0091】
以上、説明したように、本実施の形態２に係るアクチュエータ１０Ａにおいては、第２中間サポートユニット７０を簡素な構造にしつつ、実施の形態１に係るアクチュエータ１０と同等の効果を奏することができる。
【0092】
また、実施の形態２においては、連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔３１ｃに挿通されている。このため、連結部材８１、８２が、スライド部３１の外部において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０を連結する実施の形態１に比べて、アクチュエータ１０Ａの内部に連結部材８１、８２を配置する空間を余分に設ける必要がない。結果として、アクチュエータ１０Ａの小型化を図ることができる。
【0093】
また、実施の形態２においては、連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔３１ｃに挿通されている。このため、アクチュエータ１０Ａにおいては、第２中間サポートユニット７０がロッド１１の外周面を摺動する摺動部を有さなくとも、連結部材８１、８２自身の撓みを抑制することができる。
【0094】
（実施の形態２の変形例）
なお、本実施の形態２において、第２中間サポートユニット７０は、２つの当接部７６Ｒ、７６Ｌを有している。しかしながら、これに限られない。第２中間サポートユニット７０は、１つの当接部７６Ｒを有していてもよいし、３つ以上の当接部を有していてもよい。
なお、本実施の形態２において、第２中間サポートユニット７０は、２つの当接部７６Ｒ、７６Ｌを有している。しかしながら、これに限られない。第２中間サポートユニット７０は、１つの当接部７６Ｒを有していてもよいし、３つ以上の当接部を有していてもよい。
【0095】
また、実施の形態２においては、連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔３１ｃに挿通されているが、これに限られない。当接部７６Ｒ、７６Ｌが、スライド部３１の－Ｙ方向への移動に伴って、スライド部３１の－Ｙ側の面に当接するように形成されていれば、連結部材８１、８２は、スライド部３１の外部において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０を連結していてもよい。
【0096】
実施の形態３．
上記実施の形態２に係る第２中間サポートユニット７０において、当接部７６Ｒは、当接部７６Ｌに対して離れて配置されている。しかしながら、これに限られない。以下、当接部７７の形状が異なる実施の形態３に係るアクチュエータ１０Ｂについて図１６を用いて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｂにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態２に係る第２中間サポートユニット７０において、当接部７６Ｒは、当接部７６Ｌに対して離れて配置されている。しかしながら、これに限られない。以下、当接部７７の形状が異なる実施の形態３に係るアクチュエータ１０Ｂについて図１６を用いて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｂにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0097】
第２中間サポートユニット７０は、図１６に示すように、連結部材８１の延びた－Ｙ側の先端と、連結部材８２の延びた－Ｙ側の先端とを連結して設けられている当接部７７を有する。
【0098】
当接部７７は、Ｘ軸方向を長手方向とする直方体板状に形成されている。なお、当接部７７の形状は、これに限られず、直方体板状以外のものであってもよい。当接部７７は、ナット等の留め具７７ａによって、連結部材８１、８２の先端に固定されている。
【0099】
以上、説明したように、本実施の形態３に係るアクチュエータ１０Ａにおいても、第２中間サポートユニット７０を簡素な構造にしつつ、実施の形態１、２に係るアクチュエータ１０、１０Ａと同等の効果を奏することができる。
【0100】
（実施の形態３の変形例）
なお、実施の形態３においては、連結部材８１、８２は、スライド部３１の外部において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０を連結していている。しかしながら、これに限られない。スライド部３１に、Ｙ軸方向に貫通する孔が形成され、連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔に挿通されていてもよい。
なお、実施の形態３においては、連結部材８１、８２は、スライド部３１の外部において、第１、第２中間サポートユニット６０、７０を連結していている。しかしながら、これに限られない。スライド部３１に、Ｙ軸方向に貫通する孔が形成され、連結部材８１、８２は、スライド部３１の孔に挿通されていてもよい。
【0101】
実施の形態４．
上記実施の形態３に係る第２中間サポートユニット７０において、当接部７７とロッド１１との間には部材は配置されておらず、第２中間サポートユニット７０は、ロッド１１から離間している。しかしながら、これに限られない。図１７及び図１８に示す実施の形態４に係るアクチュエータ１０Ｃのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とロッド１１の外周との間に配置され、ロッド１１の外周面を摺動する摺動部７８を有していてもよい。摺動部７８は、例えば、ＸＺ断面が半円状のすべり軸受けから構成されている。なお、アクチュエータ１０Ｃにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ、１０Ｂと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態３に係る第２中間サポートユニット７０において、当接部７７とロッド１１との間には部材は配置されておらず、第２中間サポートユニット７０は、ロッド１１から離間している。しかしながら、これに限られない。図１７及び図１８に示す実施の形態４に係るアクチュエータ１０Ｃのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とロッド１１の外周との間に配置され、ロッド１１の外周面を摺動する摺動部７８を有していてもよい。摺動部７８は、例えば、ＸＺ断面が半円状のすべり軸受けから構成されている。なお、アクチュエータ１０Ｃにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ、１０Ｂと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0102】
本実施の形態４に係るアクチュエータ１０Ｃにおいても、上記各実施の形態に係るアクチュエータ１０、１０Ａ、１０Ｂと同等の効果を奏することができる。
【0103】
実施の形態５．
上記実施の形態４に係る第２中間サポートユニット７０においては、当接部７７とロッド１１との間には、すべり軸受けから構成されている摺動部７８が配置されている。しかしながら、これに限られない。図１９に示す実施の形態５に係るアクチュエータ１０Ｄのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とロッド１１の外周との間に配置され、当接部７７とロッド１１の外周との間で転動する転動体７９－１（第１転動部）を有していてもよい。転動体７９－１は、例えば、回転軸Ａ７を中心軸として、回転方向Ｒ２回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。なお、アクチュエータ１０Ｄにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｃと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態４に係る第２中間サポートユニット７０においては、当接部７７とロッド１１との間には、すべり軸受けから構成されている摺動部７８が配置されている。しかしながら、これに限られない。図１９に示す実施の形態５に係るアクチュエータ１０Ｄのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とロッド１１の外周との間に配置され、当接部７７とロッド１１の外周との間で転動する転動体７９－１（第１転動部）を有していてもよい。転動体７９－１は、例えば、回転軸Ａ７を中心軸として、回転方向Ｒ２回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。なお、アクチュエータ１０Ｄにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｃと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0104】
本実施の形態５に係るアクチュエータ１０Ｄにおいても、上記各実施の形態に係るアクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｃと同等の効果を奏することができる。
【0105】
なお、実施の形態５においては、転動体７９－１は、回転軸Ａ７を中心軸として、回転方向Ｒ２回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。しかしながら、これに限られない。転動体７９－１は、球体であってもよい。
【0106】
実施の形態６．
上記実施の形態４、５に係る第２中間サポートユニット７０においては、当接部７７とカバーとの間には部材は配置されていない。しかしながら、これに限られない。図２０に示す実施の形態６に係るアクチュエータ１０Ｅのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とカバー１８との間に配置され、当接部７７とカバー１８との間で転動する転動体７９－２（第２転動部）を有していてもよい。転動体７９－２は、例えば、回転軸Ａ８を中心軸として、回転方向Ｒ３回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。なお、アクチュエータ１０Ｅにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｄと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態４、５に係る第２中間サポートユニット７０においては、当接部７７とカバーとの間には部材は配置されていない。しかしながら、これに限られない。図２０に示す実施の形態６に係るアクチュエータ１０Ｅのように、第２中間サポートユニット７０は、当接部７７とカバー１８との間に配置され、当接部７７とカバー１８との間で転動する転動体７９－２（第２転動部）を有していてもよい。転動体７９－２は、例えば、回転軸Ａ８を中心軸として、回転方向Ｒ３回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。なお、アクチュエータ１０Ｅにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｄと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0107】
本実施の形態６に係るアクチュエータ１０Ｅにおいても、上記各実施の形態に係るアクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｄと同等の効果を奏することができる。また、アクチュエータ１０Ｅは、転動体７９－２を有しているため、第２中間サポートユニット７０がロッド１１から浮き上がり離間することを抑制することができる。
【0108】
なお、実施の形態６においては、転動体７９－２は、回転軸Ａ８を中心軸として、回転方向Ｒ３回りに転動可能に設けられている円板状のコロである。しかしながら、これに限られない。転動体７９－２は、球体であってもよい。
【0109】
実施の形態７．
以下、本発明の実施の形態７に係るアクチュエータ１０Ｆについて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｆにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｅと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。また、アクチュエータ１０Ｆは、第２中間サポートユニット７０及び連結部材８１、８２に代えて、コイルスプリングから構成される第１弾性部材１１０及び第２弾性部材１２０を備える点以外は、アクチュエータ１０と同等の構造を備える。
以下、本発明の実施の形態７に係るアクチュエータ１０Ｆについて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｆにおいて、アクチュエータ１０、１０Ａ～１０Ｅと同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。また、アクチュエータ１０Ｆは、第２中間サポートユニット７０及び連結部材８１、８２に代えて、コイルスプリングから構成される第１弾性部材１１０及び第２弾性部材１２０を備える点以外は、アクチュエータ１０と同等の構造を備える。
【0110】
第１弾性部材１１０は、弾性の素材からなり、具体的には、コイルスプリングから構成される。第１弾性部材１１０は、第１中間サポートユニット６０とリアブラケット１００との間に設置されている。なお、本実施の形態７では、第１弾性部材１１０は、ボールねじ軸４１を包囲するコイルスプリングから構成される。しかしながら、これに限られない。第１弾性部材１１０は、弾性の素材からなるものであれば、コイルスプリング以外のものから構成されていてもよい。また、コイルスプリングから構成される第１弾性部材１１０は、ボールねじ軸４１を包囲しないように、第１中間サポートユニット６０とリアブラケット１００との間に設置されていてもよい。ただし、アクチュエータ１０Ｆの小型化を図る観点から、第１弾性部材１１０は、ボールねじ軸４１を包囲するように配置されている方が好ましい。
【0111】
第２弾性部材１２０は、弾性の素材からなり、具体的には、第１弾性部材１１０と同様に、コイルスプリングから構成される。第２弾性部材１２０は、スライド部３１と前記第１中間サポートユニット６０との間に設置されている。本実施の形態７においては、第２弾性部材１２０は、そのＹ軸方向の長さが、第１弾性部材１１０のＹ軸方向の長さとは等しくなるように形成されている。なお、本実施の形態７では、第２弾性部材１２０は、ボールねじ軸４１を包囲するコイルスプリングから構成される。しかしながら、これに限られない。第２弾性部材１２０は、弾性の素材からなるものであれば、コイルスプリング以外のものから構成されていてもよい。また、コイルスプリングから構成される第２弾性部材１２０は、ボールねじ軸４１を包囲しないように、スライド部３１と前記第１中間サポートユニット６０との間に設置されていてもよい。ただし、アクチュエータ１０Ｆの小型化を図る観点から、第２弾性部材１２０は、ボールねじ軸４１を包囲するように配置されている方が好ましい。
【0112】
第１弾性部材１１０及び第２弾性部材１２０は、スライド部３１がＹ軸方向に直線運動して弾性変形することにより、リアブラケット１００が第１弾性部材１１０に接続されている第１位置Ｐ１と、スライド部３１が第２弾性部材１２０に接続されている第２位置Ｐ２との間の中間位置Ｐ３に、第１中間サポートユニット６０を移動させるように設けられている。したがって、スライド部３１が＋Ｙ方向に移動しても－Ｙ方向に移動しても、第１中間サポートユニット６０は、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とのＹ軸方向における中間位置Ｐ３に配置される。
【0113】
本実施の形態７に係るアクチュエータ１０Ｆにおいては、第１弾性部材１１０及び第２弾性部材１２０が、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間の中間位置Ｐ３に、第１中間サポートユニット６０を移動させる。このため、ボールねじ軸４１の撓みを抑制する効果を高めることができる。これにより、アクチュエータ１０Ｆのロッド１１の移動可能なストロークを長くした場合においても、ロッド１１を高速移動させることができる。
【0114】
本実施の形態７に係るアクチュエータ１０Ｆにおいては、第２中間サポートユニット７０及び連結部材８１、８２を割愛することができる。しかしながら、これに限られない。アクチュエータ１０Ｆは、第２中間サポートユニット７０及び連結部材８１、８２をさらに備えていてもよい。
【0115】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。
【0116】
変形例１．
例えば、上記の実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、第１中間サポートユニット６０を一つ備える。しかしながら、これに限られない。図２２に示す変形例１のように、アクチュエータ１０Ｇは、第１中間サポートユニット６０に加えて、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有する第３中間サポートユニット１３０をさらに備えていてもよい。
例えば、上記の実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、第１中間サポートユニット６０を一つ備える。しかしながら、これに限られない。図２２に示す変形例１のように、アクチュエータ１０Ｇは、第１中間サポートユニット６０に加えて、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有する第３中間サポートユニット１３０をさらに備えていてもよい。
【0117】
第３中間サポートユニット１３０は、ボールねじ軸４１の他方の基端部４１ｂとスライド部３１との間で、ボールねじ軸４１に摺動可能に設けられると共に、第１中間サポートユニット６０よりも基端部４１ｂ寄りに設けられ、ボールねじ軸４１を支持する。
【0118】
変形例１においても、上記各実施の形態に係るものと同等の効果を奏することができる。
【0119】
アクチュエータ１０Ｇは、第１中間サポートユニット６０と、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有する第３中間サポートユニット１３０との２つのユニットを備える。しかしながら、これに限られない。アクチュエータ１０Ｇは、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有するユニットを３つ以上備えていてもよい。
【0120】
また、アクチュエータ１０Ｇにおいて、第１中間サポートユニット６０と第３中間サポートユニット１３０との間に、コイルスプリングから構成される弾性部材を設置するようにしてもよい。
【0121】
変形例２．
また、上記の実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、図４及び図６に示すように、第１中間サポートユニット６０及び第２中間サポートユニット７０をそれぞれ一つ備える。しかしながら、これに限られない。図２３に示す変形例２のように、アクチュエータ１０Ｈは、第１、第２中間サポートユニット６０、７０に加えて、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有する第３中間サポートユニット１３０と、第２中間サポートユニット７０と同等の構造を有する第４中間サポートユニット１４０とをさらに備えていてもよい。この場合、アクチュエータ１０Ｈは、第３中間サポートユニット１３０と第４中間サポートユニット１４０とを連結する第３の連結部材８３及び第４の連結部材８４を備える。
また、上記の実施の形態１に係るアクチュエータ１０は、図４及び図６に示すように、第１中間サポートユニット６０及び第２中間サポートユニット７０をそれぞれ一つ備える。しかしながら、これに限られない。図２３に示す変形例２のように、アクチュエータ１０Ｈは、第１、第２中間サポートユニット６０、７０に加えて、第１中間サポートユニット６０と同等の構造を有する第３中間サポートユニット１３０と、第２中間サポートユニット７０と同等の構造を有する第４中間サポートユニット１４０とをさらに備えていてもよい。この場合、アクチュエータ１０Ｈは、第３中間サポートユニット１３０と第４中間サポートユニット１４０とを連結する第３の連結部材８３及び第４の連結部材８４を備える。
【0122】
第３中間サポートユニット１３０は、ボールねじ軸の他方の基端部とスライド部との間で、ボールねじ軸に摺動可能に設けられると共に、第１中間サポートユニット６０よりも基端部寄り（＋Ｙ側寄り）に設けられ、ボールねじ軸を支持する。
【0123】
第４中間サポートユニット１４０は、ボールねじ軸の先端部とスライド部との間において、ロッド１１の外周に設けられると共に、第２中間サポートユニット７０よりも先端部寄り（－Ｙ側寄り）に設けられている。
【0124】
第３の連結部材８３及び第４の連結部材８４は、第３中間サポートユニット１３０と第４中間サポートユニット１４０とを連結する。
【0125】
変形例２においても、上記各実施の形態に係るものと同等の効果を奏することができる。
【0126】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【0127】
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ，１０Ｈ，１０００：アクチュエータ
１１：ロッド（作業軸）
１１ａ：孔
１１ｂ：雄ねじ部
１２：先端金具
１８：カバー
１９：留め具
２０：モータユニット
２１：モータ
２２：モータハウジング
２３：出力軸（回転軸）
２３ａ：カップリング
３０：ガイド装置
３１：スライド部
３１ａ：貫通孔
３１ｂ：雌ねじ面
３１ｃ：孔（連結部材用孔）
３２：レール部
４０：ボールねじ
４１：ボールねじ軸
４１ａ：先端部
４１ｂ：基端部
４２：ボールねじナット
４３：抜け止め部材
４４：カップリング
５０：振れ止め部材
５１：弾性部材
６０：第１中間サポートユニット
６１：本体部
６１ａ：貫通孔
６２：ブッシュ（摺動部）
６２ａ：留め具
６３ａ，６３ｂ，６３ｃ：ローラ
６４：アジャストプレート
６４ａ：留め具
６５，６６：ストッパ
６７Ｒ，６７Ｌ：パイプクランプ部
７０：第２中間サポートユニット
７１：本体部
７１ａ：半円溝
７２：ブッシュ（摺動部）
７２ａ：フランジ部分
７３，７４：ストッパ
７４ａ：留め具
７５Ｒ，７５Ｌ：パイプクランプ部
７６Ｒ，７６Ｌ，７７：当接部
７７ａ：留め具
７８：摺動部
７９－１：転動体（第１転動体）
７９－２：転動体（第２転動体）
８１：連結部材
８２：連結部材（第２の連結部材）
８３：第３の連結部材
８４：第４の連結部材
９０：フロントブラケット
９１：ブラケット本体
９１ａ：貫通孔
９２：フロントカバー
１００：リアブラケット（基端部支持部）
１０１：ブラケット本体
１０２：リアカバー
１０３：ベアリング
１１０：第１弾性部材
１２０：第２弾性部材
１３０：第３中間サポートユニット
１４０：第４中間サポートユニット
Ｄ１：移動方向
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｘ１：矢印
Ａ７，Ａ８：回転軸
Ｐ１：第１位置
Ｐ２：第２位置
Ｐ３：中間位置
１１：ロッド（作業軸）
１１ａ：孔
１１ｂ：雄ねじ部
１２：先端金具
１８：カバー
１９：留め具
２０：モータユニット
２１：モータ
２２：モータハウジング
２３：出力軸（回転軸）
２３ａ：カップリング
３０：ガイド装置
３１：スライド部
３１ａ：貫通孔
３１ｂ：雌ねじ面
３１ｃ：孔（連結部材用孔）
３２：レール部
４０：ボールねじ
４１：ボールねじ軸
４１ａ：先端部
４１ｂ：基端部
４２：ボールねじナット
４３：抜け止め部材
４４：カップリング
５０：振れ止め部材
５１：弾性部材
６０：第１中間サポートユニット
６１：本体部
６１ａ：貫通孔
６２：ブッシュ（摺動部）
６２ａ：留め具
６３ａ，６３ｂ，６３ｃ：ローラ
６４：アジャストプレート
６４ａ：留め具
６５，６６：ストッパ
６７Ｒ，６７Ｌ：パイプクランプ部
７０：第２中間サポートユニット
７１：本体部
７１ａ：半円溝
７２：ブッシュ（摺動部）
７２ａ：フランジ部分
７３，７４：ストッパ
７４ａ：留め具
７５Ｒ，７５Ｌ：パイプクランプ部
７６Ｒ，７６Ｌ，７７：当接部
７７ａ：留め具
７８：摺動部
７９－１：転動体（第１転動体）
７９－２：転動体（第２転動体）
８１：連結部材
８２：連結部材（第２の連結部材）
８３：第３の連結部材
８４：第４の連結部材
９０：フロントブラケット
９１：ブラケット本体
９１ａ：貫通孔
９２：フロントカバー
１００：リアブラケット（基端部支持部）
１０１：ブラケット本体
１０２：リアカバー
１０３：ベアリング
１１０：第１弾性部材
１２０：第２弾性部材
１３０：第３中間サポートユニット
１４０：第４中間サポートユニット
Ｄ１：移動方向
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｘ１：矢印
Ａ７，Ａ８：回転軸
Ｐ１：第１位置
Ｐ２：第２位置
Ｐ３：中間位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】