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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-17
(45)【発行日】2024-04-25
(54)【発明の名称】ワイヤソー
(51)【国際特許分類】
B24B 27/06 20060101AFI20240418BHJP
B28D 5/04 20060101ALI20240418BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20240418BHJP
【ＦＩ】
B24B27/06 Q
B24B27/06 R
B28D5/04 C
H01L21/304 611W
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020026681
(22)【出願日】2020-02-19
(65)【公開番号】P2021130164
(43)【公開日】2021-09-09
【審査請求日】2022-12-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000152675
【氏名又は名称】コマツＮＴＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】長谷川 靖夫
(72)【発明者】
【氏名】河津 知之
(72)【発明者】
【氏名】中村 哲也
(72)【発明者】
【氏名】阿部 克彦
【審査官】亀田 貴志
(56)【参考文献】
【文献】特開２０００－２１８５０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６０－１３７５０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－１５５８５８（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６３－０１１５８０（ＪＰ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２８Ｄ ５／０４
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の加工用ローラ間にワイヤを巻回し、加工用ローラの回転に伴ってワイヤを走行させて、ワイヤによりワークを切断するワイヤソーにおいて、前記加工用ローラを支持するスピンドルと、
前記スピンドルを回転可能に軸支する偏芯軸受と、
前記偏芯軸受が挿着される軸受設置孔を有する支持フレームと、を備え、
前記軸受設置孔の軸心と、前記スピンドルの軸心とは、偏芯しており、
前記偏芯軸受の外周面、及び、前記軸受設置孔の内壁面のうちの一方には、固定具がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部が複数形成されており、
他方には、前記固定具がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部が少なくとも一つ形成されており、
前記偏芯軸受を回動させることで、複数の前記加工用ローラの軸心間の距離を増減させて、
前記固定具を前記係合部に挿入することで、前記偏芯軸受を予め設定された所定位置に固定する
ことを特徴とするワイヤソー。
【請求項2】
前記偏芯軸受は、２つから成り、前記偏芯軸受は、一方の前記偏芯軸受を、時計回り方向に回動させて、他方の偏芯軸受を、反時計回り方向に回動させることによって、複数の前記加工用ローラの軸心間の距離を増減させる
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。
【請求項3】
前記係合部は、前記偏芯軸受の外周面と、前記軸受設置孔の内壁面とに、予め設定した所定の角度間隔で配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。
【請求項4】
複数の前記スピンドルの軸心間の距離は、前記偏芯軸受の取り付け角度を変えることによって増減できることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項5】
前記固定具は、キーから成り、前記係合部は、キー溝から成る
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項6】
前記偏芯軸受は、前記スピンドルを回転可能に軸装するスピンドル設置孔を有し、前記スピンドル設置孔の軸心は、前記偏芯軸受の中心線上の位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワイヤソーに関する。
【背景技術】
【0002】
図７は、従来のワイヤソー１００を示す要部概略図である。
図７に示すように、半導体材料や磁性材料等のワークＷをワイヤ４３０で切断する従来のワイヤソー１００は、複数の加工用ローラ４１０，４２０に所定間隔で巻き付けたワイヤ４３０を高速走行させて、加工部４００のワイヤ４３０にワークＷを押し当てることで切断している。
図７に示すように、半導体材料や磁性材料等のワークＷをワイヤ４３０で切断する従来のワイヤソー１００は、複数の加工用ローラ４１０，４２０に所定間隔で巻き付けたワイヤ４３０を高速走行させて、加工部４００のワイヤ４３０にワークＷを押し当てることで切断している。
【0003】
従来のワイヤソー１００では、ワークＷの幅Ｌ１００を変更した場合、ワイヤ４３０が弛んで加工精度が悪化するため、加工用ローラ４１０，４２０の主軸４４０，４５０の軸間距離Ｌ２００を、ワークＷの幅Ｌ１００に応じて変更する必要がある。その場合は、主軸４４０，４５０を支持している支持フレーム７００を、ワークＷの幅Ｌ１００に合った軸間距離Ｌ２００を有するものに取り替える必要があり、取り替えに時間がかかるという問題点があった。
【0004】
このほか、支持フレーム７００と加工室とが一体になっているワイヤソーの場合は、加工室全体を取り替える必要があり、主軸の軸間距離を変更するのに手間がかかるという問題点があった。
【0005】
それらの問題点を解消して軸間距離を容易に変更できるようにしたものとしては、例えば、特許文献１に記載されたワイヤソーが知られている。特許文献１に記載のワイヤソーでは、加工用ローラ（１６，１７）を回転自在に軸支している支持フレーム（２２）を、固定フレーム（１４）に脱着交換可能に装着して、所望の軸間距離を有する支持フレーム（２２）の取り替え可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかし、特許文献１に記載のワイヤソーは、加工用ローラ（１６，１７）の軸間距離を変更する際、ワークの幅に適合した所望の軸間距離を有する支持フレームに取り替える必要があった。このため、作業員は、多種類の支持フレームを用意しておいて、ワークの幅が変更された場合、ワークの幅に適合した支持フレームに交換する作業を行わなければならない。このようなことから、特許文献１に記載のワイヤソーは、支持フレームの種類が増加して、部品点数、部品管理工数、及び、支持フレームの交換作業工数が増加するという問題点があった。
【0008】
本発明は、前記した問題点を解消すべく創案されたものであって、支持フレームを取り替えずに、加工用ローラの軸間距離（軸心間の距離）を容易に変更することができるワイヤソーを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
前記課題を解決するために、本発明に係るワイヤソーは、複数の加工用ローラ間にワイヤを巻回し、加工用ローラの回転に伴ってワイヤを走行させて、ワイヤによりワークを切断するワイヤソーにおいて、前記加工用ローラを支持するスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に軸支する偏芯軸受と、前記偏芯軸受が挿着される軸受設置孔を有する支持フレームと、を備え、前記軸受設置孔の軸心と、前記スピンドルの軸心とは、偏芯しており、前記偏芯軸受の外周面、及び、前記軸受設置孔の内壁面のうちの一方には、固定具がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部が複数形成されており、他方には、前記固定具がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部が少なくとも一つ形成されており、前記偏芯軸受を回動させることで、複数の前記加工用ローラの軸心間の距離を増減させて、前記固定具を前記係合部に挿入することで、前記偏芯軸受を予め設定された所定位置に固定することを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明は、支持フレームを取り替えずに、加工用ローラの軸間距離（軸心間の距離）を容易に変更することができるワイヤソーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
本発明の実施形態に係るワイヤソー１を図１～図６を参照して説明する。
なお、本発明のワイヤソー１の実施形態を説明するのにあたり、便宜上、図１に示す加工用ローラ４１，４２を前側から見た状態の方向側を正面として説明する。
なお、本発明のワイヤソー１の実施形態を説明するのにあたり、便宜上、図１に示す加工用ローラ４１，４２を前側から見た状態の方向側を正面として説明する。
【0013】
＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置４のワイヤ４３に押し当てることで切削して切断される。
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置４のワイヤ４３に押し当てることで切削して切断される。
【0014】
≪ワイヤソー≫
ワイヤソー１は、加工装置４の加工用ローラ４１，４２間における加工部４０のワイヤ４３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、クランプ装置２と、昇降装置３と、加工装置４と、支持フレーム７と、を備えて構成されている。
ワイヤソー１は、加工装置４の加工用ローラ４１，４２間における加工部４０のワイヤ４３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、クランプ装置２と、昇降装置３と、加工装置４と、支持フレーム７と、を備えて構成されている。
【0015】
≪クランプ装置≫
クランプ装置２は、加工装置４でワークＷを加工する際に、ワークＷをクランプするための保持機構である。クランプ装置２は、加工室に搬入されたワークＷを、ワーク治具２１を介在して間接的にクランプしてから、そのワークＷを加工装置４の加工部４０のワイヤ４３に押し当てて加工する。
クランプ装置２は、加工装置４でワークＷを加工する際に、ワークＷをクランプするための保持機構である。クランプ装置２は、加工室に搬入されたワークＷを、ワーク治具２１を介在して間接的にクランプしてから、そのワークＷを加工装置４の加工部４０のワイヤ４３に押し当てて加工する。
【0016】
図１に示すように、ワークＷの上面には、ガラスプレート、金属プレート等の板状部材を介在してワーク治具２１が着脱可能に装着されている。ワーク治具２１の上面には、クランプ装置２のワーク保持部材（図示省略）に着脱可能に連結される複数の被クランプ部（図示省略）が設けられている。
【0017】
≪昇降装置≫
図１に示すように、昇降装置３は、下端部にワーク治具２１等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷを加工装置４のワイヤ４３に下降させて押し付けて加工したり、ワークＷを上昇させたりする。昇降装置３は、例えば、クランプ装置２を上下させるボールねじ等を備えて成る移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等から成る移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。
図１に示すように、昇降装置３は、下端部にワーク治具２１等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷを加工装置４のワイヤ４３に下降させて押し付けて加工したり、ワークＷを上昇させたりする。昇降装置３は、例えば、クランプ装置２を上下させるボールねじ等を備えて成る移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等から成る移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。
【0018】
≪加工装置≫
図１に示すように、加工装置４は、クランプ装置２にクランプされたワークＷを加工する切削機構である。図１または図２に示すように、加工装置４は、加工用ローラ４１，４２と、ワイヤ４３と、スピンドル４４，４５と、加工用ローラ４１，４２とスピンドル４４，４５を一体回転可能に回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、偏芯軸受４６，４７と、軸受４８，４８と、カラー４９，４９と、を備えて構成されている。加工装置４は、装置本体（図示省略）に取り付けられた支持フレーム７に設けられている。
図１に示すように、加工装置４は、クランプ装置２にクランプされたワークＷを加工する切削機構である。図１または図２に示すように、加工装置４は、加工用ローラ４１，４２と、ワイヤ４３と、スピンドル４４，４５と、加工用ローラ４１，４２とスピンドル４４，４５を一体回転可能に回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、偏芯軸受４６，４７と、軸受４８，４８と、カラー４９，４９と、を備えて構成されている。加工装置４は、装置本体（図示省略）に取り付けられた支持フレーム７に設けられている。
【0019】
図１に示すように、加工装置４の加工部４０の上方には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。加工装置４は、ワイヤソー１の運転時に、ワイヤ４３が加工用ローラ４１，４２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって下降されて加工部４０のワイヤ４３に押し付けられることで切断する。
【0020】
＜加工用ローラ＞
図１及び図２に示すように、加工用ローラ４１，４２は、ワイヤ４３が巻き掛けられた左右一対の円柱形状のローラである。加工用ローラ４１，４２の両端部は、スピンドル４４，４５によってスピンドル４４，４５と一体回転可能に挟着支持されている。加工用ローラ４１，４２は、ワークＷの幅Ｌ１０に対応した適宜な間隔（軸心間の距離Ｌ２，Ｌ３）で水平方向に対向配置されている。加工用ローラ４１，４２は、駆動モータ（図示省略）によってスピンドルと一体回転されることで、ワイヤ４３を加工用ローラ４１，４２間で走行させるように構成されている。加工用ローラ４１，４２は、少なくとも加工部４０の両側に一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。以下、加工用ローラ４１，４２が二つの場合を例に挙げて説明する。
図１及び図２に示すように、加工用ローラ４１，４２は、ワイヤ４３が巻き掛けられた左右一対の円柱形状のローラである。加工用ローラ４１，４２の両端部は、スピンドル４４，４５によってスピンドル４４，４５と一体回転可能に挟着支持されている。加工用ローラ４１，４２は、ワークＷの幅Ｌ１０に対応した適宜な間隔（軸心間の距離Ｌ２，Ｌ３）で水平方向に対向配置されている。加工用ローラ４１，４２は、駆動モータ（図示省略）によってスピンドルと一体回転されることで、ワイヤ４３を加工用ローラ４１，４２間で走行させるように構成されている。加工用ローラ４１，４２は、少なくとも加工部４０の両側に一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。以下、加工用ローラ４１，４２が二つの場合を例に挙げて説明する。
【0021】
＜ワイヤ＞
図１に示すように、ワイヤ４３は、加工用ローラ４１，４２が回転することで走行して、押し付けられたワークＷを切削して切断するための加工用ワイヤである。ワイヤ４３は、例えば、１本の線材によって構成されている。ワイヤ４３は、加工用ローラ４１，４２によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。
図１に示すように、ワイヤ４３は、加工用ローラ４１，４２が回転することで走行して、押し付けられたワークＷを切削して切断するための加工用ワイヤである。ワイヤ４３は、例えば、１本の線材によって構成されている。ワイヤ４３は、加工用ローラ４１，４２によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。
【0022】
＜スピンドル＞
スピンドル４４，４５は、加工部４０の両側の加工用ローラ４１，４２の両端部を挟着支持する丸棒形状の軸である（図２参照）。スピンドル４４，４５は、偏芯軸受４６，４７の偏芯した箇所に形成されたスピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃに挿入されている。スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａは、偏芯軸受４６，４７の軸心７ｃ，７ｄから中心線Ｏ３－Ｏ３の方向に距離ｄだけズレた位置にある。このため、複数のスピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａ間の距離Ｌ２，Ｌ３は、偏芯軸受４６，４７の取り付け角度を変えることによって増減させることができる。
スピンドル４４，４５は、加工部４０の両側の加工用ローラ４１，４２の両端部を挟着支持する丸棒形状の軸である（図２参照）。スピンドル４４，４５は、偏芯軸受４６，４７の偏芯した箇所に形成されたスピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃに挿入されている。スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａは、偏芯軸受４６，４７の軸心７ｃ，７ｄから中心線Ｏ３－Ｏ３の方向に距離ｄだけズレた位置にある。このため、複数のスピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａ間の距離Ｌ２，Ｌ３は、偏芯軸受４６，４７の取り付け角度を変えることによって増減させることができる。
【0023】
＜偏芯軸受＞
図１に示すように、偏芯軸受４６，４７は、スピンドル４４，４５を回転可能に軸支する軸受である。偏芯軸受４６，４７は、支持フレーム７の軸受設置孔７ａ，７ｂに回転可能に挿入されて、固定具７１，７２によって、所定の位置に固定されている。偏芯軸受４６，４７の軸心７ｃ，７ｄから距離ｄズレた位置には、スピンドル４４，４５が回転自在に挿入されるスピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃが形成されている。偏芯軸受４６，４７の外周面４６ａ，４７ａ、及び、軸受設置孔７ａ，７ｂの内壁面７ｅ，７ｆのうちの一方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部４６ｂ，４７ｂが複数形成されており、他方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部７ｇ，７ｈが少なくとも一つ形成されている。偏芯軸受４６，４７とスピンドル４４，４５との間には、複数のベアリングから成る軸受４８と、軸受４８と軸受４８との間に配置されたカラー４９と、が設けられている。
図１に示すように、偏芯軸受４６，４７は、スピンドル４４，４５を回転可能に軸支する軸受である。偏芯軸受４６，４７は、支持フレーム７の軸受設置孔７ａ，７ｂに回転可能に挿入されて、固定具７１，７２によって、所定の位置に固定されている。偏芯軸受４６，４７の軸心７ｃ，７ｄから距離ｄズレた位置には、スピンドル４４，４５が回転自在に挿入されるスピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃが形成されている。偏芯軸受４６，４７の外周面４６ａ，４７ａ、及び、軸受設置孔７ａ，７ｂの内壁面７ｅ，７ｆのうちの一方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部４６ｂ，４７ｂが複数形成されており、他方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部７ｇ，７ｈが少なくとも一つ形成されている。偏芯軸受４６，４７とスピンドル４４，４５との間には、複数のベアリングから成る軸受４８と、軸受４８と軸受４８との間に配置されたカラー４９と、が設けられている。
【0024】
係合部４６ｂ，４７ｂは、偏芯軸受４６，４７の回動を抑止する固定具７１，７２が挿入される凹状溝の穴から成る。以下、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂ及び固定具７１，７２の一例として、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂがキー溝、固定具７１，７２がキーの場合を例に挙げて、実施形態を説明する。
【0025】
係合部４６ｂ，４７ｂは、例えば、偏芯軸受４６，４７の上下左右方向の中心線Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３上の四か所に形成されている。つまり、係合部４６ｂ，４７ｂは、偏芯軸受４６，４７の軸心７ｃ，７ｄに対して９０度間隔の角度で、外周面４６ａ，４７ａに四つ形成されている。
【0026】
スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃは、スピンドル４４，４５を回転可能に軸装する軸孔である。スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃは、軸受設置孔７ａ，７ｂ（偏芯軸受４６，４７）の軸心７ｃ，７ｄから距離ｄズレた位置に形成されている。
【0027】
≪支持フレーム≫
図１及び図２に示すように、支持フレーム７は、偏芯軸受４６，４７が挿着される軸受設置孔７ａ，７ｂを有する一対のフレーム部材である。支持フレーム７は、ワイヤソー１の基台（図示省略）の上部に載設されたコラム（図示省略）に設けられている。
図１及び図２に示すように、支持フレーム７は、偏芯軸受４６，４７が挿着される軸受設置孔７ａ，７ｂを有する一対のフレーム部材である。支持フレーム７は、ワイヤソー１の基台（図示省略）の上部に載設されたコラム（図示省略）に設けられている。
【0028】
軸受設置孔７ａ，７ｂの軸心７ｃ，７ｄと、スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａとは、任意の距離ｄ偏芯してズレて配置されている。距離ｄは、例えば、２ｍｍ～４ｍｍ程度である。
【0029】
係合部７ｇ，７ｈは、固定具７１，７２が挿入配置される凹形状の溝穴である。係合部７ｇ，７ｈは、軸受設置孔７ａ，７ｂの内壁面７ｅ，７ｆに、予め設定した所定の角度の位置に配置された、一つの穴から成る。
【0030】
＜固定具＞
固定具７１，７２は、軸受設置孔７ａ，７ｂに回転自在に挿入された偏芯軸受４６，４７を予め設定された所定位置に固定するための部材である。固定具７１，７２は、四つあるうちの一つの係合部４６ｂ，４７ｂと、この係合部４６ｂ，４７ｂに合致させた係合部７ｇ，７ｈと、から成る挿入穴に挿入される。固定具７１，７２及び係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃの軸心４４ａ，４５ａが、少なくとも偏芯軸受４６，４７の中心線Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３上の位置に配置されている。
固定具７１，７２は、軸受設置孔７ａ，７ｂに回転自在に挿入された偏芯軸受４６，４７を予め設定された所定位置に固定するための部材である。固定具７１，７２は、四つあるうちの一つの係合部４６ｂ，４７ｂと、この係合部４６ｂ，４７ｂに合致させた係合部７ｇ，７ｈと、から成る挿入穴に挿入される。固定具７１，７２及び係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃの軸心４４ａ，４５ａが、少なくとも偏芯軸受４６，４７の中心線Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３上の位置に配置されている。
【0031】
【0032】
図１に示すように、ワークＷの幅Ｌ１０が比較的狭い場合は、スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａ間の距離Ｌ２をワークＷの幅Ｌ１０に合わせて狭くする。これにより、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を狭くすることができる。
【0033】
図１に示す幅Ｌ１０のワークＷよりも少し大ききものを加工する場合は、例えば、図１に示す状態の左側の偏芯軸受４６を、時計回り方向（矢印ａ方向）に９０度回動させると共に、右側の偏芯軸受４７を、反時計回り方向（矢印ｂ方向）に９０度回動させる。すると、図３に示すように、仮想線で示す左側のスピンドル４４（加工用ローラ４１）は、図３に実線で示すスピンドル４４のように、下方向に距離ｄ、左方向に距離ｄ変位する。仮想線で示す右側のスピンドル４５（加工用ローラ４２）は、図３に実線で示すスピンドル４５のように、下方向に距離ｄ、右方向に距離ｄ変位する。このため、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２は、距離Ｌ１と同じ長さに長くなる。
【0034】
さらに大きなワークＷを加工する場合は、図３の状態の左側の偏芯軸受４６を、時計回り方向（矢印ａ方向）にさらに９０度回動させると共に、図３の状態の右側の偏芯軸受４７を、反時計回り方向（矢印ｂ方向）にさらに９０度回動させる。すると、左側のスピンドル４４（加工用ローラ４１）は、図４に実線で示すスピンドル４４のように、上方向に距離ｄ、左方向に距離ｄ変位する。右側のスピンドル４５（加工用ローラ４２）は、図４に実線で示すスピンドル４５のように、上方向に距離ｄ、右方向に距離ｄ変位する。このため、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を、偏芯軸受４６，４７の軸心間の距離Ｌ１よりも距離ｄの二倍長い距離Ｌ３にすることができる。
【0035】
この図４の状態の左側の偏芯軸受４６を、時計回り方向（矢印ａ方向）にさらに９０度回動させると共に、図４の状態の右側の偏芯軸受４７を、反時計回り方向（矢印ｂ方向）にさらに９０度回動させる。すると、左側のスピンドル４４（加工用ローラ４１）は、図５に実線で示すスピンドル４４のように、上方向に距離ｄ、右方向に距離ｄ変位する。右側のスピンドル４５（加工用ローラ４２）は、図５に実線で示すスピンドル４５のように、上方向に距離ｄ、左方向に距離ｄ変位する。このため、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２は、距離Ｌ１になる。
【0036】
この図５の状態の左側の偏芯軸受４６を、時計回り方向（矢印ａ方向）にさらに９０度回動させると共に、図４の状態の右側の偏芯軸受４７を、反時計回り方向（矢印ｂ方向）にさらに９０度回動させる。すると、左側のスピンドル４４（加工用ローラ４１）は、図６に実線で示すスピンドル４４のように、下方向に距離ｄ、右方向に距離ｄ変位する。右側のスピンドル４５（加工用ローラ４２）は、図６に実線で示すスピンドル４５のように、上方向に距離ｄ、左方向に距離ｄ変位する。このため、偏芯軸受４６，４７は、図１に示す元の状態に戻り、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を、最も短い長さ（距離Ｌ２）に変更することができる。
【0037】
このようにスピンドル４４，４５は、偏芯軸受４６，４７を回動させると変位するように構成されている。加工用ローラ４１，４２は、偏芯軸受４６，４７を回動させると、スピンドル４４，４５に軸支されているので、一緒に変位して、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を増減させることができるように構成されている。
【0038】
このように、本発明のワイヤソー１は、図１に示すように、複数の加工用ローラ４１，４２間にワイヤ４３を巻回し、加工用ローラ４１，４２の回転に伴ってワイヤ４３を走行させて、ワイヤ４３によりワークＷを切断するワイヤソー１において、加工用ローラ４１，４２を支持するスピンドル４４，４５と、スピンドル４４，４５を回転可能に軸支する偏芯軸受４６，４７と、偏芯軸受４６，４７が挿着される軸受設置孔７ａ，７ｂを有する支持フレーム７，７と、を備え、軸受設置孔７ａ，７ｂの軸心７ｃ，７ｄと、スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａとは、偏芯している。
【0039】
かかる構成によれば、本発明のワイヤソー１は、軸受設置孔７ａ，７ｂの軸心７ｃ，７ｄと、スピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａと、が偏芯していることで、支持フレーム７を取り替えずに、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を容易に変更することができる。
このため、本発明のワイヤソー１は、支持フレーム７を変更することなく、一つの支持フレーム７をそのまま使用して、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を変えることができるので、異なる大きさのワークＷに対応できる。その結果、本発明のワイヤソー１は、部品点数、部品管理工数、及び、支持フレーム７の交換作業工数の増加を抑制してコストダウンを図ることができる。
このため、本発明のワイヤソー１は、支持フレーム７を変更することなく、一つの支持フレーム７をそのまま使用して、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２を変えることができるので、異なる大きさのワークＷに対応できる。その結果、本発明のワイヤソー１は、部品点数、部品管理工数、及び、支持フレーム７の交換作業工数の増加を抑制してコストダウンを図ることができる。
【0040】
また、図１に示すように、偏芯軸受４６，４７の外周面４６ａ，４７ａ、及び、軸受設置孔７ａ，７ｂの内壁面７ｅ，７ｆのうちの一方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部４６ｂ，４７ｂが複数形成されており、他方には、固定具７１，７２がそれぞれ着脱可能に挿入される係合部７ｇ，７ｈが少なくとも一つ形成されている。
【0041】
かかる構成によれば、偏芯軸受４６，４７と支持フレーム７，７には、固定具７１，７２が挿入される係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂが複数形成されていることで、固定具７１，７２を適合した位置にある係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂに挿入して位置決めすることができる。
【0042】
また、図１に示すように、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、偏芯軸受４６，４７の外周面４６ａ，４７ａと、軸受設置孔７ａ，７ｂの内壁面７ｅ，７ｆとに、予め設定した所定の角度間隔で配置されている。
【0043】
かかる構成によれば、固定具７１，７２は、偏芯軸受４６，４７を所定角度だけ回動させることで、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂに挿入して偏芯軸受４６，４７を支持フレーム７の所定位置に固定することができる。
【0044】
また、図１に示すように、複数のスピンドル４４，４５の軸心４４ａ，４５ａ間の距離Ｌ２，Ｌ３は、偏芯軸受４６，４７の取り付け角度を変えることによって増減できる。
【0045】
かかる構成によれば、スピンドル４４，４５の軸心間の距離Ｌ２，Ｌ３は、偏芯軸受４６，４７を回動させて、偏芯軸受４６，４７の取り付け角度を変えることで、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２，Ｌ３を調整することができる。これにより、加工用ローラ４１，４２の軸心間の距離Ｌ２，Ｌ３を、ワークＷの幅Ｌ１０に合った間隔に調整することが可能となる。
【0046】
また、固定具７１，７２は、キーから成り、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、キー溝から成る。
【0047】
かかる構成によれば、固定具７１，７２は、キーから成り、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、キー溝から成ることで、固定具７１，７２を係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂに容易に着脱して、キーを挿入するキー溝を変えることができる。
【0048】
また、偏芯軸受４６，４７は、スピンドル４４，４５を回転可能に軸装するスピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃを有し、固定具７１，７２及び係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃ（スピンドル４４，４５）の軸心４４ａ，４５ａが、少なくとも偏芯軸受４６，４７の中心線Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３上の位置に配置されている。
【0049】
かかる構成によれば、スピンドル設置孔４６ｃ，４７ｃ（スピンドル４４，４５）の軸心４４ａ，４５ａは、偏芯軸受４６，４７の中心線Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３上に配置されていることで、左右の偏芯軸受４６，４７を回動させることによって、最大偏芯距離ｄの二倍の距離だけ変位させることができる。このため、加工用ローラ４１，４２は、図１に示すスピンドル４４の軸心４４ａ１の位置を軸心４４ａ３に変位できるので、加工用ローラ４１，４２間の距離Ｌ２を、距離Ｌ３に広げることができる。
【0050】
このように、ワイヤソー１は、偏芯軸受４６，４７を回動させることで、加工用ローラ４１，４２間の距離Ｌ２を変えることができるので、支持フレーム７をワークＷの大きさに合わせて交換する必要が無い。このため、部品点数、取り替え作業の作業工数、取り替え作業の作業時間を削減してコストダウンを図ることができる。
【0051】
［変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。
【0052】
例えば、実施形態では、偏芯軸受４６，４７を支持フレーム７の軸受設置孔７ａ，７ｂに固定する手段として、支持フレーム７及び偏芯軸受４６，４７に形成した係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂとしてのキー溝と、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂに挿入される固定具７１，７２としてのキーと、を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。
固定具７１，７２は、ドローボルト、位置決めピン等の位置決め用固定具であってもよい。その場合、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、ドローボルトに合わせて雌ねじ状に形成したり、位置決めピンに合わせて位置決め穴を形成したりすればよい。
固定具７１，７２は、ドローボルト、位置決めピン等の位置決め用固定具であってもよい。その場合、係合部７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂは、ドローボルトに合わせて雌ねじ状に形成したり、位置決めピンに合わせて位置決め穴を形成したりすればよい。
【0053】
このように構成しても、前記実施形態と同様な作用効果が得られる。
【符号の説明】
【0054】
１ ワイヤソー
７ 支持フレーム
７ａ，７ｂ 軸受設置孔
７ｃ，７ｄ 軸受設置孔の軸心
７ｅ，７ｆ 軸受設置孔の内壁面
７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂ 係合部（キー溝）
４０ 加工部
４１，４２ 加工用ローラ
４３ ワイヤ
４４，４５ スピンドル
４４ａ，４４ａ１，４４ａ２，４４ａ３，４４ａ４，４５ａ スピンドルの軸心
４６，４７ 偏芯軸受
４６ａ，４７ａ 偏芯軸受の外周面
４６ｃ，４７ｃ スピンドル設置孔
７１，７２ 固定具（キー）
Ｌ２，Ｌ３ スピンドルの軸心間の距離
Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３ 偏芯軸受の中心線
Ｗ ワーク
７ 支持フレーム
７ａ，７ｂ 軸受設置孔
７ｃ，７ｄ 軸受設置孔の軸心
７ｅ，７ｆ 軸受設置孔の内壁面
７ｇ，７ｈ，４６ｂ，４７ｂ 係合部（キー溝）
４０ 加工部
４１，４２ 加工用ローラ
４３ ワイヤ
４４，４５ スピンドル
４４ａ，４４ａ１，４４ａ２，４４ａ３，４４ａ４，４５ａ スピンドルの軸心
４６，４７ 偏芯軸受
４６ａ，４７ａ 偏芯軸受の外周面
４６ｃ，４７ｃ スピンドル設置孔
７１，７２ 固定具（キー）
Ｌ２，Ｌ３ スピンドルの軸心間の距離
Ｏ１－Ｏ１，Ｏ２－Ｏ２，Ｏ３－Ｏ３ 偏芯軸受の中心線
Ｗ ワーク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】