特許7477424ＳｉＣの気相成長装置用部材及び気相成長装置用部材の再生方法

発明の名称　ＳｉＣの気相成長装置用部材及び気相成長装置用部材の再生方法

出願人　イビデン株式会社　（識別番号 158）

　　　　特許公開件数ランキング 156 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 308 位（29件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7477424

公報発行日　2024年5月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7477424

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