(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-24
(45)【発行日】2024-05-07
(54)【発明の名称】搬送システム
(51)【国際特許分類】
H02K 41/03 20060101AFI20240425BHJP
【ＦＩ】
H02K41/03 A
【請求項の数】
23
(21)【出願番号】P 2022095205
(22)【出願日】2022-06-13
(65)【公開番号】P2023181841
(43)【公開日】2023-12-25
【審査請求日】2023-03-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000006622
【氏名又は名称】株式会社安川電機
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100145012
【弁理士】
【氏名又は名称】石坂 泰紀
(74)【代理人】
【識別番号】100171099
【弁理士】
【氏名又は名称】松尾 茂樹
(72)【発明者】
【氏名】山口 剛
(72)【発明者】
【氏名】久保田 義昭
(72)【発明者】
【氏名】東中 佑太
(72)【発明者】
【氏名】折井 未奈
(72)【発明者】
【氏名】清水 大
【審査官】佐藤 彰洋
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－２１７９５７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１４８７６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１５／１４５５５０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特許第６９８５５３１（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特開２００３－１９７７０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－１８４４２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０７－２２８３４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１８８０１０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０２Ｋ ４１／０３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを保持可能なワーク保持部と、少なくとも重力方向で前記ワーク保持部と対向し、前記重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記ワーク保持部に配置され、前記移動方向に配列された複数の永久磁石を有する磁石アレイと、
前記磁石アレイと共にリニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含むコイルアレイを有し、前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記コイルアレイに供給する電力を制御して前記力発生部の非接触力を制御する制御部と、
を備える搬送システム。
【請求項2】
前記磁石アレイが含む複数の永久磁石の数は、前記コイルアレイが含む複数のコイルの数よりも多い、請求項１記載の搬送システム。
【請求項3】
前記移動体は、前記重力方向において前記ワーク保持部の上に配置され、前記重量軽減部は、前記移動体に配置され、前記ワーク保持部との間で引力を発生させる、
請求項１記載の搬送システム。
【請求項4】
前記重量軽減部は、前記ワーク保持部に配置された永久磁石との間で引力を発生させる永久磁石又は軟質磁性部材と、
前記ワーク保持部に配置された軟質磁性部材との間で引力を発生させる永久磁石と、
の少なくとも一方を有する、
請求項３記載の搬送システム。
【請求項5】
前記力発生部は、前記ワーク保持部に配置された永久磁石に対して非接触力を作用させる１以上のコイルを有し、前記重量軽減部は、軟質磁性部材であり、前記１以上のコイルのバックヨークである、
請求項４記載の搬送システム。
【請求項6】
前記移動体に対する前記ワーク保持部の相対位置を検出するセンサを更に備え、前記制御部は、少なくとも前記相対位置に基づいて、前記ワークの絶対位置を制御するように、前記力発生部の非接触力を制御する、
請求項１記載の搬送システム。
【請求項7】
前記移動体は、前記移動方向及び前記重力方向に交差する幅方向の両側で前記ワーク保持部とそれぞれ対向する第１側方対向部及び第２側方対向部を有し、前記搬送システムは、
前記第１側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第１側部力発生部と、
前記第２側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第２側部力発生部と、
を更に備え、
前記制御部は、前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、更に前記第１側部力発生部及び前記第２側部力発生部の非接触力を制御する、
請求項１～６のいずれか一項記載の搬送システム。
【請求項8】
前記第１側部力発生部と前記第２側部力発生部とは、前記重力方向で相異なる位置に配置される、請求項７記載の搬送システム。
【請求項9】
前記ワーク保持部の重心位置は、前記重力方向において、前記第１側部力発生部が作用させる非接触力の作用範囲と、前記第２側部力発生部が作用させる非接触力の作用範囲との間に位置している、請求項８記載の搬送システム。
【請求項10】
前記ワーク保持部において、前記幅方向の両側にそれぞれ配置され、前記移動方向に配列された複数の永久磁石をそれぞれが有する第１側部磁石アレイ及び第２側部磁石アレイを更に備え、前記第１側部力発生部は、前記第１側部磁石アレイとともにリニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含む第１側部コイルアレイを有し、
前記第２側部力発生部は、前記第２側部磁石アレイとともに前記リニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含む第２側部コイルアレイを有し、
前記制御部は、非接触力を制御するように、前記第１側部コイルアレイ及び前記第２側部コイルアレイに供給する電力を制御する、
請求項７記載の搬送システム。
【請求項11】
前記移動体は、前記ワーク保持部の上方に配置され、前記重量軽減部は、前記移動体に配置されて、前記ワーク保持部との間で引力を発生させ、
前記搬送システムは、前記第１側方対向部と前記ワーク保持部との間に第１隔壁を備え、
前記第１隔壁は、
前記第１側部磁石アレイと対向する第１窓部と、
前記第１窓部を支持し、前記第１側部磁石アレイの下方に位置する第１支持壁と、
を有する、
請求項１０記載の搬送システム。
【請求項12】
前記搬送システムは、前記第２側方対向部と前記ワーク保持部との間に第２隔壁を備え、前記第２隔壁は、
前記第２側部磁石アレイと対向する第２窓部と、
前記第２窓部を支持し、前記第２側部磁石アレイの下方に位置する第２支持壁と、
を有し、
前記第１側部磁石アレイと前記第２側部磁石アレイとは、前記重力方向で相異なる位置に配置され、
前記第１窓部と前記第２窓部とは、前記重力方向で同じ位置に配置される、
請求項１１記載の搬送システム。
【請求項13】
前記ワーク保持部は、前記重力方向において前記移動体に対向する上部と、
前記上部から下方に延びて前記第１側部磁石アレイを支持する第１側部と、
前記上部から下方に延びて前記第２側部磁石アレイを支持する第２側部と、
を有し、
前記上部と、前記第１側部と、前記第２側部とが互いに分離可能である、
請求項１１記載の搬送システム。
【請求項14】
前記ワーク保持部は、前記第１側部磁石アレイの下に設けられた第１ローラを有し、前記ワーク保持部が第１支持壁により支持される際に、前記第１ローラは第１支持壁に接し、前記ワーク保持部の移動に応じて転がる、
請求項１１記載の搬送システム。
【請求項15】
前記ワーク保持部と前記移動体との組み合わせの前記重力方向における重心位置にて、前記移動体に駆動力を伝達し、前記移動体を移動させる駆動部を更に備える、請求項１記載の搬送システム。
【請求項16】
前記移動方向において相異なる位置に配置された第１ロボット及び第２ロボットを更に備え、前記移動体は、前記第１ロボットと前記ワーク保持部との間で前記ワークの受け渡しを可能にする第１位置と、前記第２ロボットと前記ワーク保持部との間で前記ワークの受け渡しを可能にする第２位置との間を移動する、
請求項１記載の搬送システム。
【請求項17】
前記ワーク保持部の重心位置は、前記重力方向及び前記移動方向に交差する幅方向において、重量軽減部が発生させる引力又は斥力の発生範囲内に位置している、請求項１記載の搬送システム。
【請求項18】
ワークを保持可能なワーク保持部と、少なくとも重力方向で前記ワーク保持部と対向し、前記重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、
前記ワーク保持部に配置され、前記移動方向に配列された複数の永久磁石を含む磁石アレイと、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記磁石アレイと共にリニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含むコイルアレイと、
前記ワーク保持部を浮上させつつ前記移動体の移動に追従させる非接触力を前記コイルアレイから前記磁石アレイに作用させるように、前記コイルアレイに供給する電力を制御する制御部と、
を備える搬送システム。
【請求項19】
ワークを保持可能なワーク保持部と、
少なくとも重力方向で前記ワーク保持部と対向し、前記重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記力発生部の非接触力を制御する制御部と、
を備え、
前記移動体は、前記重力方向において前記ワーク保持部の上に配置され、
前記重量軽減部は、前記移動体に配置され、前記ワーク保持部との間で引力を発生させる、搬送システム。
【請求項20】
ワークを保持可能なワーク保持部と、
重力方向に交差する移動方向で移動可能であり、
前記重力方向で前記ワーク保持部と対向する対向部と、
前記移動方向及び前記重力方向に交差する幅方向の両側で前記ワーク保持部とそれぞれ対向する第１側方対向部及び第２側方対向部と、
を有する移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記第１側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第１側部力発生部と、
前記第２側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第２側部力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記力発生部の非接触力と、前記第１側部力発生部及び前記第２側部力発生部の非接触力と、を制御する制御部と、
を備え、
前記第１側部力発生部と前記第２側部力発生部とは、前記重力方向で相異なる位置に配置され、
前記ワーク保持部の重心位置は、前記重力方向において、前記第１側部力発生部が作用させる非接触力の作用範囲と、前記第２側部力発生部が作用させる非接触力の作用範囲との間に位置している、搬送システム。
【請求項21】
ワークを保持可能なワーク保持部と、
重力方向に交差する移動方向で移動可能であり、
前記重力方向で前記ワーク保持部と対向する対向部と、
前記移動方向及び前記重力方向に交差する幅方向の両側で前記ワーク保持部とそれぞれ対向する第１側方対向部及び第２側方対向部と、
を有する移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記ワーク保持部において、前記幅方向の両側にそれぞれ配置され、前記移動方向に配列された複数の永久磁石をそれぞれが有する第１側部磁石アレイ及び第２側部磁石アレイと、
前記第１側部磁石アレイとともにリニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含む第１側部コイルアレイを有し、前記第１側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第１側部力発生部と、
前記第２側部磁石アレイとともに前記リニアアクチュエータを構成するように、前記移動方向に配列された複数のコイルを含む第２側部コイルアレイを有し、前記第２側方対向部に配置され、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる第２側部力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記力発生部の非接触力を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記第１側部コイルアレイ及び前記第２側部コイルアレイに供給する電力を制御して、更に前記第１側部力発生部及び前記第２側部力発生部の非接触力を制御する、搬送システム。
【請求項22】
ワークを保持可能なワーク保持部と、
少なくとも重力方向で前記ワーク保持部と対向し、前記重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記力発生部の非接触力を制御する制御部と、
を備え、
前記ワーク保持部と前記移動体との組み合わせの前記重力方向における重心位置にて、前記移動体に駆動力を伝達し、前記移動体を移動させる駆動部を更に備える、搬送システム。
【請求項23】
ワークを保持可能なワーク保持部と、
少なくとも重力方向で前記ワーク保持部と対向し、前記重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、
前記ワーク保持部の重量を軽減するように、前記ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、
前記重力方向で前記ワーク保持部に対向するように前記移動体に配置され、前記重量が軽減された前記ワーク保持部を浮上させつつ、前記移動体の移動に追従させるように、前記ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、
前記移動体に対する前記ワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、前記力発生部の非接触力を制御する制御部と、
を備え、
前記ワーク保持部の重心位置は、前記重力方向及び前記移動方向に交差する幅方向において、重量軽減部が発生させる引力又は斥力の発生範囲内に位置している、搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、真空内搬送機が開示されている。この搬送機は、真空搬送路の内部を上部真空室と下部真空室とに仕切る非磁性、非導電性材の隔壁と、上部真空室内に収容された導電性材の浮上テーブルと、下部真空室に収容されリニアモータにより移動する台車と、台車の４隅において、電磁誘導による反発力で浮上テーブルを磁気浮上させ、励磁電流又は励磁周波数を独立に変化させ浮上テーブルの姿勢及び浮上高さを制御する４個の浮上用コイルとを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開平０４－３３８０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示は、エネルギー消費の抑制に有効な搬送システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の一側面に係る搬送システムは、ワークを保持可能なワーク保持部と、少なくとも重力方向でワーク保持部と対向し、重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、ワーク保持部の重量を軽減するように、ワーク保持部との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部と、重力方向でワーク保持部に対向するように移動体に配置され、重量が軽減されたワーク保持部を浮上させつつ、移動体の移動に追従させるように、ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、移動体に対するワーク保持部の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部の非接触力を制御する制御部と、を備える。
【0006】
本開示の他の側面に係る搬送システムは、ワークを保持可能なワーク保持部と、ワーク保持部の上方に配置され、重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、重力方向でワーク保持部に対向するように移動体に配置され、ワーク保持部を浮上させつつ、移動体の移動に追従させるように、ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、を備える。
【0007】
本開示の更に他の側面に係る搬送システムは、ワークを保持可能なワーク保持部と、少なくとも重力方向でワーク保持部と対向し、重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、重力方向でワーク保持部に対向するように移動体に配置され、ワーク保持部を浮上させつつ、移動体の移動に追従させるように、ワーク保持部に非接触力を作用させる力発生部と、移動体に対するワーク保持部の相対位置を検出するセンサと、少なくとも相対位置に基づいて、ワーク保持部の絶対位置を制御するように、力発生部の非接触力を制御する制御部と、を備える。
【0008】
本開示の更に他の側面に係る搬送システムは、ワークを保持可能なワーク保持部と、少なくとも重力方向でワーク保持部と対向し、重力方向に交差する移動方向で移動可能な移動体と、ワーク保持部に配置され、移動方向に配列された複数の永久磁石を含む磁石アレイと、重力方向でワーク保持部に対向するように移動体に配置され、磁石アレイと共にリニアアクチュエータを構成するように、移動方向に配列された複数のコイルを含むコイルアレイと、ワーク保持部を浮上させつつ移動体の移動に追従させるように、コイルアレイに供給する電力を制御する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【0009】
本開示によれば、エネルギー消費の抑制に有効な搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】搬送システムを例示する模式図である。
【図11】制御部のハードウェア構成を例示するブロック図である。
【図14】搬送装置において側部ユニットが取り外された状態を示す模式図である。
【図15】搬送装置において側部ユニットが取り外された状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0012】
〔搬送システム〕
図１に示す搬送システム１は、ワークＷを搬送するシステムである。ワークＷの例としては、基板が挙げられる。ワークＷとなり得る基板の例としては、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等が挙げられる。例えば搬送システム１は、基板処理システムにおいて、ワークＷに対する処理を行う複数の処理ユニット２間でワークＷを搬送する。処理は、ワークＷに対する各種処理（成膜、エッチング等）の他、所定の環境にてワークＷを一時的に収容すること等も含む。
図１に示す搬送システム１は、ワークＷを搬送するシステムである。ワークＷの例としては、基板が挙げられる。ワークＷとなり得る基板の例としては、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等が挙げられる。例えば搬送システム１は、基板処理システムにおいて、ワークＷに対する処理を行う複数の処理ユニット２間でワークＷを搬送する。処理は、ワークＷに対する各種処理（成膜、エッチング等）の他、所定の環境にてワークＷを一時的に収容すること等も含む。
【0013】
図１に示すように、搬送システム１は、搬送筐体１０と、搬送装置３０と、１以上のロボット４０とを備える。搬送筐体１０は、複数の処理ユニット２間で搬送されるワークＷを収容する。例えば搬送筐体１０は、重力方向Ｄ１（鉛直方向）に交差（例えば直交）する移動方向Ｄ２に沿って延びている。図２に示すように、搬送筐体１０は、搬送室１１と、ベースプレート１２と、トッププレート１３と、側壁１４，１５とを有する。搬送室１１は、ワークＷを収容する。ベースプレート１２は、搬送室１１の下方の空間と、搬送室１１とを仕切る。トッププレート１３は、搬送室１１の上方の空間と、搬送室１１とを仕切る。側壁１４，１５は、重力方向Ｄ１及び移動方向Ｄ２に交差（例えば直交）する幅方向Ｄ３において、搬送室１１の両方に隣接する空間と、搬送室１１とをそれぞれ仕切る。側壁１４には、移動方向Ｄ２に沿って並ぶ複数の処理ユニット２が隣接している。側壁１４には、複数の処理ユニット２にそれぞれ対応する複数の搬入・搬出口２２が形成されている。側壁１４に隣接する複数の処理ユニット２とは別の複数の処理ユニット２が移動方向Ｄ２に沿って並び、側壁１５に隣接していてもよい（図３参照）。側壁１５には、複数の処理ユニット２にそれぞれ対応する複数の搬入・搬出口２３が形成されている。
【0014】
搬送装置３０は、搬送室１１内において、移動方向Ｄ２に沿ってワークＷを搬送する。例えば搬送装置３０は、搬送筐体１０のトッププレート１３に取り付けられる。搬送筐体１０のトッププレート１３には、移動方向Ｄ２に沿って延びた連通口２１が形成されている。搬送装置３０は、トッププレート１３の上に取り付けられ、連通口２１を介して搬送室１１内のワークＷを保持し、移動方向Ｄ２に沿って搬送する。幅方向Ｄ３において、連通口２１及び搬送装置３０は、側壁１４寄り又は側壁１５寄りに配置されていてもよい。一例として、図示の連通口２１及び搬送装置３０は、側壁１４寄りに配置されている。
【0015】
搬送装置３０は、ロボット４０と協働して、複数の処理ユニット２間におけるワークＷの搬送を行う。搬送装置３０との協働において、ロボット４０は、搬送装置３０からワークＷを受け取って複数の処理ユニット２のいずれかに搬入し、複数の処理ユニット２のいずれかからワークＷを搬出して搬送装置３０に引き渡す。例えばロボット４０は、ベースプレート１２に取り付けられ、ベースプレート１２の上においてワークＷを搬送する。
【0016】
図３に示すように、搬送システム１は、移動方向Ｄ２において相異なる位置に配置された二以上のロボット４０を備えていてもよい。図３に示す一例において、搬送システム１は、移動方向Ｄ２に沿って順に並ぶロボット４０Ａ、ロボット４０Ｂ、及びロボット４０Ｃを備える。搬送装置３０は、ロボット４０Ａ（第１ロボット）とロボット４０Ｂ（第２ロボット）との間でワークＷを搬送してもよく、ロボット４０Ｂ（第１ロボット）とロボット４０Ｃ（第２ロボット）との間でワークＷを搬送してもよく、ロボット４０Ａ（第１ロボット）とロボット４０Ｃ（第２ロボット）との間でワークＷを搬送してもよい。
【0017】
図４に示すように、ロボット４０は、フランジ５０と、アーム４１と、アーム４２と、アーム４３と、基板支持部４４とを備える。フランジ５０は、ベースプレート１２に取り付けられる。例えばベースプレート１２には、ロボット４０を取り付けるためのロボット取付口２４が形成されており、フランジ５０はロボット取付口２４を塞ぐようにベースプレート１２に取り付けられる。
【0018】
アーム４１は、重力方向Ｄ１に沿った第１軸線６１まわりに旋回するようにフランジ５０上に取り付けられ、第１軸線６１から離れる方向に延びている。アーム４２は、重力方向Ｄ１に沿った第２軸線６２まわりに旋回するように、アーム４１の端部上に取り付けられ、第２軸線６２から離れる方向に延びている。アーム４３は、重力方向Ｄ１に沿った第３軸線６３まわりに旋回するように、アーム４２の端部上に取り付けられ、第２軸線６２から離れる方向に延びている。基板支持部４４は、アーム４３の端部に形成され、ワークＷを保持する。「保持」は、単に下方から指示することも含む。以下においても同様である。
【0019】
アクチュエータユニット７０は、１以上の電動モータによって、第１軸線６１まわりにアーム４１を回転させ、第２軸線６２まわりにアーム４２を回転させ、第３軸線６３まわりにアーム４３を回転させる。これにより、水平面内における基板支持部４４の位置・姿勢が、ロボット４０の可動範囲内において自在に変更される。例えばアクチュエータユニット７０は、フランジ５０の下に取り付けられている。フランジ５０がベースプレート１２に取り付けられた状態において、アクチュエータユニット７０は搬送室１１の外（例えばベースプレート１２の下）に配置されることとなる。
【0020】
ロボット４０は、メンテナンス開口５１と、閉塞部材５２とを更に有していてもよい。メンテナンス開口５１は、重力方向Ｄ１に沿ってフランジ５０を貫通する。閉塞部材５２は、メンテナンス開口５１を塞ぐ。閉塞部材５２を取り外すことによって、メンテナンス開口５１を介してアーム４１、アーム４２、アーム４３、及び基板支持部４４等の点検・補修を容易に行うことができる。
【0021】
この例のように、搬送装置３０が搬送筐体１０の上に設けられる場合、搬送装置３０が妨げとなり、上方からアーム４１、アーム４２、アーム４３、及び基板支持部４４の点検・補修を行うことが困難になる可能性がある。このような場合に、メンテナンス開口５１を介してアーム４１、アーム４２、アーム４３、及び基板支持部４４等の点検・補修を行い得る構成がより有益である。
【0022】
なお、以上に例示した搬送システム１の構成はあくまで一例であり、適宜変更可能である。例えば搬送装置３０がベースプレート１２に取り付けられ、ロボット４０がトッププレート１３に取り付けられていてもよい。搬送装置３０及びロボット４０の両方がベースプレート１２に取り付けられていてもよく、搬送装置３０及びロボット４０の両方がトッププレート１３に取り付けられていてもよい。
【0023】
〔搬送装置〕
以下、搬送装置の構成をより詳細に説明する。搬送システム１には、搬送室１１内におけるパーティクルの発生を抑制することが求められる場合がある。そこで、搬送装置３０は、ワーク保持部２００と、移動体３００と、力発生部５１０と、制御部９００とを備える。ワーク保持部２００は、搬送室１１内においてワークＷを保持可能である。移動体３００は、搬送室１１外に配置され、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、移動方向Ｄ２で移動可能である。力発生部５１０は、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。制御部９００は、移動体３００に対するワーク保持部２００の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する。
以下、搬送装置の構成をより詳細に説明する。搬送システム１には、搬送室１１内におけるパーティクルの発生を抑制することが求められる場合がある。そこで、搬送装置３０は、ワーク保持部２００と、移動体３００と、力発生部５１０と、制御部９００とを備える。ワーク保持部２００は、搬送室１１内においてワークＷを保持可能である。移動体３００は、搬送室１１外に配置され、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、移動方向Ｄ２で移動可能である。力発生部５１０は、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。制御部９００は、移動体３００に対するワーク保持部２００の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する。
【0024】
浮上とは、重力に抗し、下方の物体に接しないように保たれた状態を意味する。また、移動体３００の移動に追従するとは、移動体３００に対する相対位置を所定範囲内に維持するように、移動体３００と共に移動することを意味する。
【0025】
以上の構成によれば、ワーク保持部２００を搬送室１１内に配置しつつ、移動体３００を搬送室１１外に配置し、パーティクルの発生要因となる駆動源を搬送室１１内に配置することなく、搬送室１１内においてワーク保持部２００を移動させることができる。また、ワーク保持部２００を浮上させているため、下方の物体（例えばベースプレート１２）とワーク保持部２００との接触によるパーティクルの発生も抑制される。
【0026】
ワーク保持部２００を浮上させる非接触力の全てを力発生部５１０により発生させる場合 、力発生部５１０における消費エネルギーが大きくなる。そこで、搬送システム１は、重量軽減部４００を更に備える。重量軽減部４００は、ワーク保持部２００の重量を軽減するように、ワーク保持部２００との間で引力又は斥力を発生させる。
【0027】
これにより、ワーク保持部２００の浮上のために発生させる非接触力を小さくすることができる。このため、非接触力を発生させるための消費エネルギーを小さくすることができる。従って、消費電力の抑制に有効である。
【0028】
力発生部５１０が発生する非接触力は、例えば、電力等のエネルギー供給によって変更可能な能動的な非接触力である。重量軽減部４００が発生する引力又は斥力は、例えば、電力等のエネルギーの供給によっては変更されず、ワーク保持部２００と移動体３００との配置関係に応じて定まる受動的な非接触力である。なお、エネルギーの供給に伴う発熱によって、永久磁石の磁力が微小に変化すること等は、能動的な力の変更に含まれない。
【0029】
重量軽減部４００が発生する引力の例としては、永久磁石同士の間で発生する引力、又は永久磁石と軟質磁性部材（例えば鉄等）との間で発生する引力が挙げられる。重量軽減部４００が発生する斥力の例としては、永久磁石同士の間で発生する斥力が挙げられる。
【0030】
ワーク保持部２００に対し受動的な引力を作用させる場合、重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に対し上方から引力を発生させるように構成される。ワーク保持部２００に対し受動的な斥力を作用させる場合、重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に対し下方から斥力を発生させるように構成される。
【0031】
重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された磁性材料との間で引力又は斥力を発生させる。ワーク保持部２００に配置された磁性材料は、永久磁石であってもよく、軟質磁性部材であってもよい。ワーク保持部２００に永久磁石が配置される場合、重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された永久磁石との間で引力を発生させる永久磁石又は軟質磁性部材を有する。ワーク保持部２００に軟質磁性部材が配置される場合、重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された軟質磁性部材との間で引力を発生させる永久磁石を有する。ワーク保持部２００及び重量軽減部４００の少なくとも一方が、永久磁石と軟質磁性部材の両方を有していてもよい。
【0032】
このように、永久磁石同士、又は永久磁石と軟質磁性部材との間で引力又は斥力を発生させる構成によれば、電力を消費せずに重力を軽減することができる。また、電力を供給せずに行うメンテンナンス作業においても、移動体３００の移動にワーク保持部２００を追従させ、ワーク保持部２００の位置を移動体３００の近傍に維持することができる。これにより、メンテナンス後における復帰作業が容易になる。
【0033】
重量軽減部４００は、移動体３００に配置されて、ワーク保持部２００との間で引力又は斥力を発生させるように構成されていてもよい。ワーク保持部２００に対する相対変位の小さい移動体３００に重量軽減部４００を設けることで、重量軽減部４００のコンパクト化を図ることができる。重量軽減部４００は、必ずしも移動体３００に配置されなくてよく、移動体３００とは異なる位置からワーク保持部２００に引力又は斥力を作用させてもよい。例えば重量軽減部４００は、移動体３００と共に移動しなくてもワーク保持部２００に継続的に引力又は斥力を作用させ得るように、移動方向Ｄ２に沿ったワーク保持部２００の移動範囲の全域に亘って延びていてもよい。
【0034】
移動体３００は、上方からワーク保持部２００に対向するように配置されてもよく、下方からワーク保持部２００に対向するように配置されてもよい。例えば、上述したように、搬送装置３０が搬送筐体１０のトッププレート１３に取り付けられる構成において、移動体３００は、上方からワーク保持部２００に対向するように配置される。搬送装置３０が搬送筐体１０のベースプレート１２に取り付けられる構成において、移動体３００は、下方からワーク保持部２００に対向するように配置される。
【0035】
移動体３００がワーク保持部２００の上に配置される場合、移動体３００に配置される重量軽減部４００は、ワーク保持部２００との間で引力を発生させる。重量軽減部４００がワーク保持部２００との間で引力を発生させる構成によれば、例えば永久磁石による引力の作用対象を軟質磁性材料にて構成し、磁石の使用を削減することができる。移動体３００がワーク保持部２００の下に配置される場合、移動体３００に配置される重量軽減部４００は、ワーク保持部２００との間で斥力を発生させる。
【0036】
以下、上述のように、搬送筐体１０のトッププレート１３に搬送装置３０が取り付けられる場合について、搬送装置３０の構成を例示する。図５に示すように、搬送システム１は、サブ筐体１００と、ワーク保持部２００と、移動体３００と、力発生部５１０と、重量軽減部４００と、側部力発生部５２０，５３０と、駆動部６００と、センサ７００と、相対センサ８００と、制御部９００とを備える。以下、各構成を例示する。
【0037】
（サブ筐体）
サブ筐体１００は、ワーク保持部２００の少なくとも一部を収容しつつ、トッププレート１３の連通口２１を塞ぎ、搬送室１１内と搬送室１１外とを仕切る。サブ筐体１００は、例えばアルミニウム系の金属材料等、実質的に非磁性の材料により構成されており、ベースプレート１１０と、突出部１２０と、上部隔壁１３０と、側部隔壁１４０，１５０とを有する。ベースプレート１１０は、連通口２１を塞ぐように、トッププレート１３の上面に取り付けられる。突出部１２０は、トッププレート１３から上方に突出しており、移動方向Ｄ２に沿って延びている。
サブ筐体１００は、ワーク保持部２００の少なくとも一部を収容しつつ、トッププレート１３の連通口２１を塞ぎ、搬送室１１内と搬送室１１外とを仕切る。サブ筐体１００は、例えばアルミニウム系の金属材料等、実質的に非磁性の材料により構成されており、ベースプレート１１０と、突出部１２０と、上部隔壁１３０と、側部隔壁１４０，１５０とを有する。ベースプレート１１０は、連通口２１を塞ぐように、トッププレート１３の上面に取り付けられる。突出部１２０は、トッププレート１３から上方に突出しており、移動方向Ｄ２に沿って延びている。
【0038】
突出部１２０は、収容室１２１と、上部隔壁１３０と、側部隔壁１４０と、側部隔壁１５０とを有する。収容室１２１は、搬送室１１内に向かって開口し、ワーク保持部２００の上部を収容する。以下においては、収容室１２１内も、搬送室１１内に含まれるものとする。
【0039】
図６に示すように、上部隔壁１３０は、収容室１２１の上方の空間と、収容室１２１とを仕切る。上部隔壁１３０は、壁本体１３１と、窓部１３２とを有する。壁本体１３１は、重力方向Ｄ１に交差する（例えば直交する）平面に沿って広がっている。窓部１３２は、非接触力の伝達性を向上させるために、壁本体１３１に形成された薄肉部分である。窓部１３２は、窓開口１３３と、カバー１３４とを含む。窓開口１３３は、移動方向Ｄ２に沿って延び、壁本体１３１を上下に貫通する。カバー１３４は、樹脂材料等の板材により構成されており、窓開口１３３を塞ぐように壁本体１３１の外面に固定されている。カバー１３４の厚さは、壁本体１３１の厚さよりも小さい。
【0040】
側部隔壁１４０，１５０は、幅方向Ｄ３において収容室１２１の両方に隣接する空間と、収容室１２１とをそれぞれ仕切る。側部隔壁１４０は、後述する側方対向部３２０とワーク保持部２００との間に位置する。側部隔壁１４０は、壁本体１４１と、窓部１４２とを有する。壁本体１４１は、幅方向Ｄ３に交差する（例えば直交する）平面に沿って広がっている。窓部１４２は、側部非接触力（後述）の伝達性を向上させるために、壁本体１４１に形成された薄肉部分である。窓部１４２は、窓開口１４３と、カバー１４４とを含む。窓開口１４３は、移動方向Ｄ２に沿って延び、壁本体１４１を幅方向Ｄ３に沿う方向に貫通する。カバー１４４は、樹脂材料等の板材により構成されており、窓開口１４３を塞ぐように壁本体１４１の外面に固定されている。カバー１４４の厚さは、壁本体１４１の厚さよりも小さい。壁本体１４１のうち、窓開口１４３よりも下の部分（支持壁１４７）は、窓部１４２を支持し、後述する側部磁石アレイ２２３の下方に位置する。
【0041】
側部隔壁１５０は、壁本体１５１と、窓部１５２とを有する。壁本体１５１は、幅方向Ｄ３に交差する（例えば直交する）平面に沿って広がっている。窓部１５２は、側部非接触力（後述）の伝達性を向上させるために、壁本体１５１に形成された薄肉部分である。窓部１５２は、窓開口１５３と、カバー１５４とを含む。窓開口１５３は、移動方向Ｄ２に沿って延び、壁本体１５１を幅方向Ｄ３に沿う方向に貫通する。カバー１５４は、樹脂材料等の板材により構成されており、窓開口１５３を塞ぐように壁本体１５１の外面に固定されている。カバー１５４の厚さは、壁本体１５１の厚さよりも小さい。壁本体１５１のうち、窓開口１５３よりも下の部分（支持壁１５７）は、窓部１５２を支持し、後述する側部磁石アレイ２３３の下方に位置する。側部隔壁１５０は、後述する側方対向部３３０とワーク保持部２００との間に位置する。
【0042】
（ワーク保持部）
ワーク保持部２００は、搬送室１１内に配置され、ワークＷを保持可能である。ワーク保持部２００は、例えばアルミニウム系の金属材料等、実質的に非磁性の材料により構成されており、上部ユニット２１０と、側部ユニット２２０，２３０と、保持ユニット２４０とを有する。上部ユニット２１０は、重力方向Ｄ１において移動体３００に対向する。上部ユニット２１０は、上部磁石ベース２１１を有する。上部磁石ベース２１１は、収容室１２１内の上部において移動方向Ｄ２に沿って延びており、上部隔壁１３０と対向する。上部磁石ベース２１１の上には、後述する磁石アレイ２１２が配置される。磁石アレイ２１２は、上部磁石ベース２１１の上に設けられ、窓部１３２と対向する。例えば、上部ユニット２１０の少なくとも一部は窓部１３２の窓開口１３３に入り込んでおり、窓開口１３３内において、磁石アレイ２１２がカバー１３４に対向している。
ワーク保持部２００は、搬送室１１内に配置され、ワークＷを保持可能である。ワーク保持部２００は、例えばアルミニウム系の金属材料等、実質的に非磁性の材料により構成されており、上部ユニット２１０と、側部ユニット２２０，２３０と、保持ユニット２４０とを有する。上部ユニット２１０は、重力方向Ｄ１において移動体３００に対向する。上部ユニット２１０は、上部磁石ベース２１１を有する。上部磁石ベース２１１は、収容室１２１内の上部において移動方向Ｄ２に沿って延びており、上部隔壁１３０と対向する。上部磁石ベース２１１の上には、後述する磁石アレイ２１２が配置される。磁石アレイ２１２は、上部磁石ベース２１１の上に設けられ、窓部１３２と対向する。例えば、上部ユニット２１０の少なくとも一部は窓部１３２の窓開口１３３に入り込んでおり、窓開口１３３内において、磁石アレイ２１２がカバー１３４に対向している。
【0043】
窓開口１３３は、幅方向Ｄ３において互いに対向する横内面１３５，１３６を有する。幅方向Ｄ３において、上部ユニット２１０の幅は、窓開口１３３の開口幅（横内面１３５と横内面１３６との間隔）よりも小さい。このため、幅方向Ｄ３において上部ユニット２１０が窓開口１３３の中央に配置される場合、上部ユニット２１０は横内面１３５，１３６のいずれにも接しない。
【0044】
ローラ２１３，２１４は、幅方向Ｄ３における上部磁石ベース２１１の両側にそれぞれ設けられており、ローラ２１３は横内面１３５と上部磁石ベース２１１との間に位置し、ローラ２１４は横内面１３６と上部磁石ベース２１１との間に位置する。ローラ２１３，２１４のそれぞれは、重力方向Ｄ１に平行な軸線まわりに回転するように上部磁石ベース２１１に設けられている。窓開口１３３内において上部ユニット２１０が横内面１３５に寄ると、ローラ２１３が横内面１３５に接し、移動方向Ｄ２に沿った上部ユニット２１０の移動に応じて転がる。窓開口１３３内において上部ユニット２１０が横内面１３６に寄ると、ローラ２１４が横内面１３６に接し、移動方向Ｄ２に沿った上部ユニット２１０の移動に応じて転がる。上部ユニット２１０は、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２１３を横内面１３５との間に有してもよく、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２１４を横内面１３６との間に有してもよい。
【0045】
側部ユニット２２０，２３０は、ワーク保持部２００において、幅方向Ｄ３の両側にそれぞれ配置され、上部ユニット２１０に取り付けられている。側部ユニット２２０は、側部フレーム２２１と、側部磁石ベース２２２と、ローラ２２４と、ローラ２２５とを有する。側部フレーム２２１は、上部ユニット２１０から下方に延びて側部隔壁１４０と対向する。側部磁石ベース２２２は、側部フレーム２２１から側部隔壁１４０に向かって突出しており、移動方向Ｄ２に沿って延びている。側部磁石ベース２２２は、後述する側部磁石アレイ２２３を支持する。
【0046】
側部磁石アレイ２２３は、側部磁石ベース２２２の側面（側部隔壁１４０に対向する面）に配置され、窓部１４２と対向する。例えば、側部磁石ベース２２２の少なくとも一部は窓部１４２の窓開口１４３に入り込んでおり、窓開口１４３内において側部磁石アレイ２２３がカバー１４４に対向している。
【0047】
窓開口１４３は、重力方向Ｄ１において互いに対向する下内面１４５と上内面１４６とを有する。重力方向Ｄ１において、側部ユニット２２０の高さは、窓開口１４３の開口高さ（下内面１４５と上内面１４６との間隔）よりも小さい。このため、重力方向Ｄ１において側部ユニット２２０が窓開口１４３の中央に配置される場合、側部ユニット２２０は下内面１４５と上内面１４６とのいずれにも接しない。
【0048】
ローラ２２４は、側部磁石ベース２２２の下（側部磁石アレイ２２３の下）に設けられ、下内面１４５と側部磁石ベース２２２との間に位置する。ローラ２２５は、側部磁石ベース２２２の上（側部磁石アレイ２２３の上）に設けられ、上内面１４６と側部磁石ベース２２２との間に位置する。ローラ２２４，２２５のそれぞれは、幅方向Ｄ３に平行な軸線まわりに回転するように側部磁石ベース２２２に設けられている。側部ユニット２２０が支持壁１４７に支持される際に、ローラ２２４は支持壁１４７に接し、側部ユニット２２０の移動に応じて転がる。例えば、窓開口１４３内において、側部ユニット２２０が下内面１４５に寄る（下がる）と、ローラ２２４が下内面１４５に接し、移動方向Ｄ２に沿った側部ユニット２２０の移動に応じて転がる。窓開口１４３内において、側部ユニット２２０が上内面１４６に寄る（上がる）と、ローラ２２５が上内面１４６に接し、移動方向Ｄ２に沿った側部磁石ベース２２２の移動に応じて転がる。側部ユニット２２０は、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２２４を下内面１４５との間に有してもよく、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２２５を上内面１４６との間に有してもよい。
【0049】
側部ユニット２３０は、側部フレーム２３１と、側部磁石ベース２３２と、ローラ２３４，２３５とを有する。側部フレーム２３１は、上部ユニット２１０から下方に延びて側部隔壁１５０と対向する。側部磁石ベース２３２は、側部フレーム２３１から側部隔壁１５０に向かって突出しており、移動方向Ｄ２に沿って延びている。側部磁石ベース２３２は、後述する側部磁石アレイ２３３を支持する。
【0050】
側部磁石アレイ２３３は、側部磁石アレイ２３３の側面（側部隔壁１５０に対向する面）に配置され、窓部１５２と対向する。例えば、側部磁石ベース２３２の少なくとも一部は窓部１５２の窓開口１５３に入り込んでおり、窓開口１５３内において側部磁石アレイ２３３がカバー１５４に対向している。
【0051】
窓開口１５３は、重力方向Ｄ１において互いに対向する下内面１５５と上内面１５６とを有する。重力方向Ｄ１において、側部ユニット２３０の高さは、窓開口１５３の開口高さ（下内面１５５と上内面１５６との間隔）よりも小さい。このため、重力方向Ｄ１において側部ユニット２３０が窓開口１５３の中央に配置される場合、側部ユニット２３０は下内面１５５と上内面１５６とのいずれにも接しない。
【0052】
ローラ２３４は、側部磁石ベース２３２の下（側部磁石アレイ２３３の下）に設けられ、下内面１５５と側部磁石ベース２３２との間に位置する。ローラ２３５は、側部磁石ベース２３２の上（側部磁石アレイ２３３の上）に設けられ、上内面１５６と側部磁石ベース２３２との間に位置する。ローラ２３４，２３５のそれぞれは、幅方向Ｄ３に平行な軸線まわりに回転するように側部磁石ベース２３２に設けられている。側部ユニット２３０が支持壁１５７に支持される際に、ローラ２３４は支持壁１５７に接し、側部ユニット２３０の移動に応じて転がる。例えば、窓開口１５３内において、側部ユニット２３０が下内面１５５に寄る（下がる）と、ローラ２３４が下内面１５５に接し、移動方向Ｄ２に沿った側部ユニット２３０の移動に応じて転がる。窓開口１５３内において、側部ユニット２３０が上内面１５６に寄る（上がる）と、ローラ２３５が上内面１５６に接し、移動方向Ｄ２に沿った側部磁石ベース２３２の移動に応じて転がる。側部ユニット２３０は、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２３４を下内面１５５との間に有してもよく、移動方向Ｄ２に並ぶ複数のローラ２３５を上内面１５６との間に有してもよい。
【0053】
上部磁石ベース２１１と、側部フレーム２２１と、側部フレーム２３１とは互いに分離可能であってもよい。例えば、側部フレーム２２１，２３１のそれぞれは、上部磁石ベース２１１に対して、ボルト締結等の分解可能な手法により取り付けられていてもよい。この場合、メンテナンスに際し、ワーク保持部２００を収容室１２１から容易に取り出すことが可能である。例えば、側部フレーム２２１を上部磁石ベース２１１から取り外し、壁本体１４１から遠ざけることで側部磁石アレイ２２３を窓開口１４３内から出し、側部フレーム２２１を下方に容易に取り出すことができる（図１４参照）。同様に、側部フレーム２３１を上部磁石ベース２１１から取外し、壁本体１５１から遠ざけることで側部磁石アレイ２３３を窓開口１５３内から出し、側部フレーム２３１を下方に容易に取り出すことができる（図１５参照）。
【0054】
図６に戻り、保持ユニット２４０は、搬送室１１内においてワークＷを支持する。例えば保持ユニット２４０は、上フレーム２４１と、支柱２４２と、基板支持部２４３とを有する。上フレーム２４１は、側部フレーム２２１及び側部フレーム２３１の少なくともいずれかの下端に固定されており、搬送室１１内の上部に位置する。上フレーム２４１は、側部フレーム２２１の下端から側壁１４に向かって張り出してる。支柱２４２は、上フレーム２４１における側壁１４の近傍部分から下方に延びている。基板支持部２４３は、側壁１４から遠ざかる方向に向かって支柱２４２の下端から張り出し、ワークＷを下方から支持する。
【0055】
一例として、基板支持部２４３は、移動方向Ｄ２に沿って並べられた複数のワークＷを支持し得るように構成されている。例えば基板支持部２４３は、図３に示すように、移動方向Ｄ２に順に並ぶ支持部２４４，２４５，２４６を有しており、支持部２４４，２４５により１のワークＷを支持し、支持部２４５，２４６により１のワークＷを支持する。
【0056】
基板支持部２４３は、重力方向Ｄ１に多段に並ぶ複数のワークＷを支持し得るように構成されていてもよい。また、基板支持部２４３は、必ずしも複数のワークＷを支持するように構成されていなくてよく、１のワークＷを単独で支持するように構成されていてもよい。
【0057】
ワーク保持部２００の構成は、搬送室１１内でワークＷを支持し得る限りにおいていかようにも変更可能である。例えば、ワーク保持部２００自体が、ロボット４０と同様のアーム４１、アーム４２、アーム４３、及び基板支持部４４を備えていてもよい。この場合、ワーク保持部２００自体によって、処理ユニット２に対するワークＷの搬入・搬出を行い得るので、搬送装置３０とは別にロボット４０が設けられていなくてもよい。
【0058】
（移動体）
図７に示すように、移動体３００は、搬送室１１外に配置され、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、移動方向Ｄ２で移動可能である。例えば移動体３００は、移動方向Ｄ２に沿って移動可能となるように、サブ筐体１００のベースプレート１１０に支持されており、突出部１２０を介してワーク保持部２００と対向する。一例として、ベースプレート１１０上には、幅方向Ｄ３において突出部１２０の両側にリニアガイド１１１，１１２がそれぞれ設けられている。リニアガイド１１１，１１２は、移動方向Ｄ２に沿って移動可能な可動部１１３，１１４をそれぞれ有する。移動体３００は、可動部１１３，１１４に固定されている。
図７に示すように、移動体３００は、搬送室１１外に配置され、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、移動方向Ｄ２で移動可能である。例えば移動体３００は、移動方向Ｄ２に沿って移動可能となるように、サブ筐体１００のベースプレート１１０に支持されており、突出部１２０を介してワーク保持部２００と対向する。一例として、ベースプレート１１０上には、幅方向Ｄ３において突出部１２０の両側にリニアガイド１１１，１１２がそれぞれ設けられている。リニアガイド１１１，１１２は、移動方向Ｄ２に沿って移動可能な可動部１１３，１１４をそれぞれ有する。移動体３００は、可動部１１３，１１４に固定されている。
【0059】
移動体３００は、ロボット４０Ａ（第１ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第１位置）と、ロボット４０Ｂ（第２ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第２位置）との間を移動する。また、移動体３００は、ロボット４０Ｂ（第１ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第１位置）と、ロボット４０Ｃ（第２ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第２位置）との間を移動する。更に、移動体３００は、ロボット４０Ａ（第１ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第１位置）と、ロボット４０Ｃ（第２ロボット）とワーク保持部２００との間でワークＷの受け渡しを可能にする位置（第２位置）との間を移動する。
【0060】
移動体３００は、例えばアルミニウム系の金属材料等、実質的に非磁性の材料により構成されており、上方対向部３１０と、側方対向部３２０と、側方対向部３３０と、ケース３４０と、被駆動アーム３５０と、センサ保持部３６０とを有する。図７に示すように、上方対向部３１０は、上方から上部隔壁１３０に対向し、上部隔壁１３０を介して突出部１２０内の上部ユニット２１０と対向する。側方対向部３２０、側方対向部３３０は、幅方向Ｄ３の両側でワーク保持部２００とそれぞれ対向する。
【0061】
側方対向部３２０は、上方対向部３１０から下方に延び、幅方向Ｄ３において側部隔壁１４０に対向し、側部隔壁１４０を介して突出部１２０内の側部ユニット２２０と対向する。側方対向部３３０は、上方対向部３１０から下方に延び、幅方向Ｄ３において側部隔壁１５０に対向し、側部隔壁１５０を介して突出部１２０内の側部ユニット２３０と対向する。側方対向部３２０の下端は、リニアガイド１１１の可動部１１３上に固定され、側方対向部３３０の下端は、リニアガイド１１２の可動部１１４上に固定されている。これにより、移動体３００が、移動方向Ｄ２に沿って移動可能となっている。
【0062】
ケース３４０は、上方対向部３１０上に設けられており、制御部９００の少なくとも一部を構成する回路等を収容する。被駆動アーム３５０は、幅方向Ｄ３に沿って側方対向部３３０から突出し、後述する駆動部６００に接続されている。被駆動アーム３５０は、移動体３００を移動方向Ｄ２に沿って移動させるための駆動力を駆動部６００から側方対向部３３０に伝達する。センサ保持部３６０は、被駆動アーム３５０よりも下方において、幅方向Ｄ３に沿って側方対向部３３０から突出し、後述するセンサ７００のリーダ７２０を支持する。
【0063】
（力発生部）
力発生部５１０は、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。例えば力発生部５１０は、上方対向部３１０の下に配置されている。力発生部５１０は、上方から窓部１３２に対向し、窓部１３２を介して突出部１２０内の磁石アレイ２１２に対向する。
力発生部５１０は、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。例えば力発生部５１０は、上方対向部３１０の下に配置されている。力発生部５１０は、上方から窓部１３２に対向し、窓部１３２を介して突出部１２０内の磁石アレイ２１２に対向する。
【0064】
図８に示すように、力発生部５１０は、バックヨーク５１１と、コイルアレイ５１２とを有する。コイルアレイ５１２は、ワーク保持部２００に配置された磁石アレイ２１２と共に、リニアアクチュエータ５０１を構成する。磁石アレイ２１２は、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石２１５を含む。コイルアレイ５１２は、複数のコイル５１３を含む。複数のコイル５１３は、複数の永久磁石２１５と共にリニアアクチュエータ５０１を構成するように、移動方向Ｄ２に配列されている。コイルアレイ５１２は、電力の供給に応じて、移動方向Ｄ２に沿った力を磁石アレイ２１２に付与する。このように、リニアアクチュエータは、磁石アレイにおける複数の永久磁石、及びコイルアレイにおける複数のコイルの配列方向に沿った力を非接触で発生させるアクチュエータである。コイルアレイ５１２は、電力の供給に応じて、重力方向Ｄ１に沿った力を更に磁石アレイ２１２に付与する。
【0065】
バックヨーク５１１は、上方対向部３１０の下に固定され、磁石アレイ２１２を上から支持する。バックヨーク５１１は、電磁鋼板等の磁性材料により構成され、磁石アレイ２１２が発生する磁束の磁路を構成する。
【0066】
複数の永久磁石２１５においては、互いに極性が逆向きの永久磁石２１５が交互に並んでいる。例えば、複数の永久磁石２１５においては、コイルアレイ５１２に対してＮ極を向けた永久磁石２１５と、コイルアレイ５１２に対してＳ極を向けた永久磁石２１５とが交互に並んでいる。
【0067】
磁石アレイ２１２の極数（磁石アレイ２１２が含む複数の永久磁石２１５の数）は、コイルアレイ５１２のコイル数（コイルアレイ５１２が含む複数のコイル５１３の数）に対応する極数よりも多くてもよい。コイルアレイ５１２のコイル数に対応する極数とは、移動方向Ｄ２において、所望の推力特性を得るために必要な極数である。一例として、図８には、６コイルに対し８極が必要とされる場合の構成が例示されている。６コイルに対し８極が必要とされるのに対し、更に１極が追加され、６コイルに対し９極が配列されている。
【0068】
側部力発生部５２０は、側方対向部３２０に配置され、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。例えば側部力発生部５２０は、側方から窓部１４２に対向し、窓部１４２を介して突出部１２０内の側部磁石アレイ２２３に対向する。
【0069】
図９に示すように、側部力発生部５２０は、側部コイルベース５２１と、側部コイルアレイ５２２とを有する。側部コイルアレイ５２２は、ワーク保持部２００に配置された側部磁石アレイ２２３と共に、リニアアクチュエータ５０２を構成する。側部磁石アレイ２２３は、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石２２６を含む。側部コイルアレイ５２２は、複数のコイル５２３を含む。複数のコイル５２３は、複数の永久磁石２２６と共にリニアアクチュエータ５０２を構成するように、移動方向Ｄ２に配列されている。側部コイルアレイ５２２は、電力の供給に応じて、移動方向Ｄ２に沿った力を側部磁石アレイ２２３に付与する。また、側部コイルアレイ５２２は、電力の供給に応じて、幅方向Ｄ３に沿った力を更に側部磁石アレイ２２３に付与する。
【0070】
側部コイルベース５２１は、側方対向部３２０の側面に固定され、側部コイルアレイ５２２を横から支持する。側部コイルベース５２１は、例えばアルミニウム系の金属等の実質的に非磁性の材料により構成されている。
【0071】
複数の永久磁石２２６においても、複数の永久磁石２１５と同様に、互いに極性が逆向きの永久磁石２２６が交互に並んでいる。永久磁石２２６の極数は、側部コイルアレイ５２２のコイル数に対応する極数よりも多くてもよい。
【0072】
側部力発生部５３０は、側方対向部３３０に配置され、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる。例えば側部力発生部５３０は、側方から窓部１５２に対向し、窓部１５２を介して突出部１２０内の側部磁石アレイ２３３に対向する。
【0073】
図１０に示すように、側部力発生部５３０は、側部コイルベース５３１と、側部コイルアレイ５３２とを有する。側部コイルアレイ５３２は、ワーク保持部２００に配置された側部磁石アレイ２３３と共に、リニアアクチュエータ５０３を構成する。側部磁石アレイ２３３は、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石２３６を含む。側部コイルアレイ５３２は、複数のコイル５３３を含む。複数のコイル５３３は、複数の永久磁石２３６と共にリニアアクチュエータ５０３を構成するように、移動方向Ｄ２に配列されている。側部コイルアレイ５３２は、電力の供給に応じて、移動方向Ｄ２に沿った力を側部磁石アレイ２３３に付与する。また、側部コイルアレイ５３２は、電力の供給に応じて、幅方向Ｄ３に沿った力を更に側部磁石アレイ２３３に付与する。
【0074】
側部コイルベース５３１は、側方対向部３３０の側面に固定され、側部コイルアレイ５３２を横から支持する。側部コイルベース５３１は、例えばアルミニウム系の金属等の実質的に非磁性の材料により構成されている。
【0075】
複数の永久磁石２３６においても、複数の永久磁石２１５と同様に、互いに極性が逆向きの永久磁石２３６が交互に並んでいる。永久磁石２３６の極数は、側部コイルアレイ５３２のコイル数に対応する極数よりも多くてもよい。
【0076】
図７に示すように、側部力発生部５２０と側部力発生部５３０とは、重力方向Ｄ１で相異なる位置（高さ）においてワーク保持部２００に力を作用させるように、重力方向Ｄ１で相異なる位置（高さ）に配置されていていもよい。このような構成によれば、リニアアクチュエータ５０１、リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３によって、移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置及び相対姿勢を高い自由度で調節することができる。以下、移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置を単に「相対位置」といい、移動体３００に対するワーク保持部２００の相対姿勢を単に「相対姿勢」という。
【0077】
例えば、リニアアクチュエータ５０１、リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力によって、移動方向Ｄ２における相対位置を調節することができる。リニアアクチュエータ５０１が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力と、リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３の少なくともいずれかが移動方向Ｄ２に沿って作用させる力との関係によって、幅方向Ｄ３に沿った軸線まわりの相対姿勢（以下、「幅方向Ｄ３まわりの相対姿勢」という。）を調節することができる。リニアアクチュエータ５０２が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力と、リニアアクチュエータ５０３が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力との関係によって、重力方向Ｄ１に沿った軸線まわりの相対姿勢（以下、「重力方向Ｄ１まわりの相対姿勢」という。）を調節することができる。リニアアクチュエータ５０１が重力方向Ｄ１に沿って作用させる力によって、重力方向Ｄ１における相対位置を調節することができる。リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３が幅方向Ｄ３に沿って作用させる力によって、幅方向Ｄ３における相対位置を調節することができる。
【0078】
リニアアクチュエータ５０２がワーク保持部２００に力を作用させる位置と、リニアアクチュエータ５０３がワーク保持部２００に力を作用させる位置とが、重力方向Ｄ１で相異なっているので、リニアアクチュエータ５０２及が幅方向Ｄ３に沿って作用させる力と、リニアアクチュエータ５０３が幅方向Ｄ３に沿って作用させる力との関係によって、移動方向Ｄ２に沿った軸線まわりの相対姿勢（以下、「移動方向Ｄ２まわりの相対姿勢」という。）を調節することができる。更に、リニアアクチュエータ５０１が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力とリニアアクチュエータ５０２，５０３が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力との関係に加えて、リニアアクチュエータ５０２が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力と、リニアアクチュエータ５０３が移動方向Ｄ２に沿って作用させる力との関係によっても、幅方向Ｄ３まわりの相対姿勢を調節することができる。
【0079】
ワーク保持部２００の重心位置Ｐ１は、重力方向Ｄ１において、側部力発生部５２０が作用させる非接触力の作用範囲Ｒ１と、側部力発生部５３０が作用させる非接触力の作用範囲Ｒ２との間に位置していてもよい。相対姿勢の安定性を更に向上させることができる。なお、ワーク保持部２００は、互いに離れて配置された２以上の側部磁石アレイ２２３を有し、これに対応して側部力発生部５２０が互いに離れて配置された２以上の側部コイルアレイ５２３を有してもよい。この場合、２以上の側部コイルアレイ５２３同士の間は、上記作用範囲Ｒ１に含まれる。同様に、ワーク保持部２００は、互いに離れて配置された２以上の側部磁石アレイ２３３を有し、これに対応して側部力発生部５３０が互いに離れて配置された２以上の側部コイルアレイ５３３を有してもよい。この場合、２以上の側部コイルアレイ５３３同士の間は、上記作用範囲Ｒ２に含まれる。
【0080】
図７においては、側部磁石アレイ２２３と側部磁石アレイ２３３とが重力方向Ｄ１で相異なる位置に配置されるのに合わせ、壁本体１３１と壁本体１４１とが重力方向Ｄ１で相異なる位置に配置されている場合を例示している。側部磁石アレイ２２３と側部磁石アレイ２３３とが重力方向Ｄ１で相異なる位置に配置される場合であっても、壁本体１３１と壁本体１４１とは重力方向Ｄ１で同じ位置に配置されていてもよい。壁本体１３１及び壁本体１４１の高さを合わせることで、形状の非対称性に起因する上部隔壁１３０及び側部隔壁１４０の変形等を抑制することができる。
【0081】
重力方向Ｄ１における相対位置、移動方向Ｄ２における相対位置、幅方向Ｄ３における相対位置、重力方向Ｄ１まわりの相対姿勢、移動方向Ｄ２まわりの相対姿勢、及び幅方向Ｄ３まわりの相対姿勢を調節可能なアクチュエータの配置は、以上に示した例に限られず、適宜変更可能である。以上においては、リニアアクチュエータ５０１が上方から力を作用させ、リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３が幅方向Ｄ３における両方から力を作用させる例を示したが、リニアアクチュエータ５０１が下方から力を作用させてもよい。また、リニアアクチュエータ５０２及びリニアアクチュエータ５０３の両方が、幅方向Ｄ３における同じ方向から力を作用させてもよい。更に、リニアアクチュエータ５０１及びリニアアクチュエータ５０２が下方から力を作用させ、リニアアクチュエータ５０３が幅方向Ｄ３における一方向から力を作用させてもよい。いずれにおいても、上述した３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢を調節することが可能である。
【0082】
（重量軽減部）
図８に示すように、この搬送システム１においては、重量軽減部４００がリニアアクチュエータ５０１の一部によって構成される。例えば重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された複数の永久磁石２１５と、力発生部５１０のバックヨーク５１１とによって構成される。複数の永久磁石２１５と、バックヨーク５１１とは、上述した受動的な非接触力として引力を発生させる。このように、移動体３００をワーク保持部２００に上方から対向させ、移動体３００に配置された力発生部５１０からワーク保持部２００に非接触力を発生させる構成によれば、リニアアクチュエータ５０１のうち受動的な引力を発生する要素を重量軽減部４００として活用し、省スペース化を図ることができる。
図８に示すように、この搬送システム１においては、重量軽減部４００がリニアアクチュエータ５０１の一部によって構成される。例えば重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された複数の永久磁石２１５と、力発生部５１０のバックヨーク５１１とによって構成される。複数の永久磁石２１５と、バックヨーク５１１とは、上述した受動的な非接触力として引力を発生させる。このように、移動体３００をワーク保持部２００に上方から対向させ、移動体３００に配置された力発生部５１０からワーク保持部２００に非接触力を発生させる構成によれば、リニアアクチュエータ５０１のうち受動的な引力を発生する要素を重量軽減部４００として活用し、省スペース化を図ることができる。
【0083】
ワーク保持部２００の重心位置Ｐ１は、幅方向Ｄ３において、重量軽減部４００が発生させる引力又は斥力の発生範囲Ｒ３内に位置していてもよい。ワーク保持部２００の姿勢の安定性を向上させることができる。例えばワーク保持部２００の重心位置Ｐ１は、幅方向Ｄ３において、複数の永久磁石２１５の幅と、バックヨーク５１１の幅とが重複する範囲内に位置していてもよい。保持ユニット２４０は、幅方向Ｄ３における重心位置Ｐ１の位置を調節するためのバランスウェイト２４７を更に有していてもよい。なお、ワーク保持部２００は、互いに離れて配置された２以上の磁石アレイ２１２を有し、これに対応して力発生部５１０が互いに離れて配置された２組以上のコイルアレイ５１２及びバックヨーク５１１を有してもよい。この場合、２組以上のコイルアレイ５１２及びバックヨーク５１１同士の間は、上記発生範囲Ｒ３に含まれる。
【0084】
（駆動部）
図７に戻り、駆動部６００は、移動方向Ｄ２で移動体３００を移動させる。例えば駆動部６００は、移動方向Ｄ２に沿って延びる固定子６２０と、可動子６３０とを有し、永久磁石等の磁極と、コイルが発生させる移動磁界とによって、固定子６２０に対し可動子６３０を移動させる。駆動部６００は、可動子６３０に永久磁石が設けられるムービングマグネット型であってもよく、可動子６３０にコイルが設けられるムービングコイル型であってもよい。可動子６３０は、上述した移動体３００の被駆動アーム３５０に固定される。
図７に戻り、駆動部６００は、移動方向Ｄ２で移動体３００を移動させる。例えば駆動部６００は、移動方向Ｄ２に沿って延びる固定子６２０と、可動子６３０とを有し、永久磁石等の磁極と、コイルが発生させる移動磁界とによって、固定子６２０に対し可動子６３０を移動させる。駆動部６００は、可動子６３０に永久磁石が設けられるムービングマグネット型であってもよく、可動子６３０にコイルが設けられるムービングコイル型であってもよい。可動子６３０は、上述した移動体３００の被駆動アーム３５０に固定される。
【0085】
駆動部６００は、ワーク保持部２００と移動体３００との組み合わせ体の重力方向Ｄ１における重心位置にて、移動体３００に駆動力を伝達してもよい。ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。上述のように、可動子６３０は移動体３００の被駆動アーム３５０に固定されるので、移動体３００に対して駆動力が作用する位置は、可動子６３０に対して駆動力が作用する位置である。上記組み合わせ体の重心位置は、重力方向Ｄ１において、可動子６３０に対して駆動力が作用する範囲Ｒ４内に位置している。なお、駆動部６００は、互いに高さが異なる２以上の箇所で可動子６３０に駆動力を作用させるように構成されていてもよい。この場合、当該２以上の箇所同士の間は上記範囲Ｒ４に含まれる。
【0086】
（センサ）
センサ７００は、移動方向Ｄ２における移動体３００の位置を検出する。「移動体３００の位置」は、搬送筐体１０を基準とする位置である。搬送筐体１０においては、全ての機器が搬送筐体１０に対して動作するので、搬送筐体１０を基準とする位置を、以下においては便宜上「絶対位置」という。
センサ７００は、移動方向Ｄ２における移動体３００の位置を検出する。「移動体３００の位置」は、搬送筐体１０を基準とする位置である。搬送筐体１０においては、全ての機器が搬送筐体１０に対して動作するので、搬送筐体１０を基準とする位置を、以下においては便宜上「絶対位置」という。
【0087】
センサ７００は、リニアスケール７１０と、リーダ７２０とを有する。リニアスケール７１０は、ベースプレート１１０上に固定され、移動方向Ｄ２に沿って延びており、磁気式又は光学式の目盛り情報を有している。リーダ７２０は、リニアスケール７１０と対向するように、上述した移動体３００のセンサ保持部３６０に固定されており、移動体３００と共に移動しながらリニアスケール７１０の目盛り情報を読み取り、移動体３００の絶対位置を検出する。
【0088】
相対センサ８００は、移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置及び相対姿勢の少なくとも一方を検出する。一例として、相対センサ８００は、上述した３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢の全てを非接触で搬送室１１外から検出し得るように構成されている。図８に示すように、相対センサ８００は、変位センサ８６０と、ギャップセンサ８１０，８２０とを有する。変位センサ８６０は、移動体３００の上方対向部３１０に固定されており、ワーク保持部２００の上部ユニット２１０に固定されたターゲット８６１の移動方向Ｄ２における変位を検出する。一例として、変位センサ８６０は、磁歪式センサであり、移動方向Ｄ２に沿った磁歪線を含む。変位センサ８６０は、ターゲット８６１の磁石が磁歪線に発生させるねじり歪みに基づいてターゲット８６１の変位を検出する。変位センサ８６０によれば、移動方向Ｄ２における相対位置を検出することができる。
【0089】
ギャップセンサ８１０，８２０は、移動方向Ｄ２における相異なる位置にて上方対向部３１０に固定されており、ワーク保持部２００の上部ユニット２１０に固定されたターゲット８１１，８２１までの距離をそれぞれ検出する。ギャップセンサ８１０，８２０によれば、重力方向Ｄ１における相対位置と、幅方向Ｄ３まわりの相対姿勢とを検出することができる。
【0090】
図９に示すように、相対センサ８００は、ギャップセンサ８３０，８４０を更に有する。ギャップセンサ８３０，８４０は、移動方向Ｄ２における相異なる位置にて側方対向部３２０に固定されており、ワーク保持部２００の側部ユニット２２０に固定されたターゲット８３１，８４１までの距離をそれぞれ検出する。図１０に示すように、相対センサ８００は、ギャップセンサ８５０を更に有する。ギャップセンサ８５０は、側方対向部３３０に固定されており、ワーク保持部２００の側部ユニット２３０に固定されたターゲット８５１までの距離を検出する。ギャップセンサ８３０，８４０と、ギャップセンサ８５０とは、重力方向Ｄ１において相異なる位置（高さ）に設けられている。ギャップセンサ８３０，８４０，８５０によれば、幅方向Ｄ３における相対位置を検出し、ギャップセンサ８３０による検出結果とギャップセンサ８４０による検出結果との関係に基づいて重力方向Ｄ１まわりの相対姿勢を検出し、ギャップセンサ８３０，８４０による検出結果とギャップセンサ８５０による検出結果との関係に基づいて移動方向Ｄ２まわりの相対姿勢を検出することができる。
【0091】
一例として、ギャップセンサ８１０，８２０，８３０，８４０，８５０は、渦電流式センサである。渦電流式センサは、高周波で磁束を生じるコイルを含み、測位ターゲットの導電部材に生じる渦電流に応じたコイルのインピーダンス変化に基づいて、測位ターゲットまでの距離を検出する。
【0092】
以上に示した相対センサ８００の構成は一例であり、様々な変更が可能である。上述の相対センサ８００は、互いに独立した６本の測位ラインに沿ったワーク保持部２００の変位を検出するように構成されている。３本以上の測位ラインが互いに独立であるとは、当該３本以上の測位ラインにおいて、各測位ラインに沿ったベクトルを残りの２本以上の測位ラインに沿ったベクトルでは合成し得ない関係を意味する。なお、測位ラインに沿ったベクトルとは、測位ラインに沿い、且つ測位ライン上に位置するベクトルを意味する。
【0093】
３本以上の測位ラインが互いに独立でない場合の具体例として、３本の測位ラインが同一面内で互いに平行である場合が挙げられる。この場合、３本の測位ラインのうち、２本の測位ラインに沿ったベクトルの大きさを調整することで、残りの１本の測位ラインに沿ったベクトルを合成することが可能である。
【0094】
上述の相対センサ８００おいて、変位センサ８６０による測位ラインに沿ったベクトルを、ギャップセンサ８１０，８２０，８３０，８４０，８５０による測位ラインに沿ったベクトルによって合成することはできない。これは、ギャップセンサ８１０の測位ラインに沿ったベクトル、ギャップセンサ８２０の測位ラインに沿ったベクトル、ギャップセンサ８３０の測位ラインに沿ったベクトル、ギャップセンサ８４０の測位ラインに沿ったベクトル、ギャップセンサ８５０の測位ラインに沿ったベクトルについても同様である。
【0095】
このように、互いに独立した６本の測位ラインに沿ったワーク保持部２００の変位を検出するように構成されていれば、いかなる構成であっても、３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢を検出することができる。例えば、変位センサ８６０は、ギャップセンサ８１０等と同様のギャップセンサにより構成されていてもよい。また、側方対向部３２０に搬送システム１のギャップセンサが配置され、側方対向部３３０に処理ユニット２のギャップセンサが配置されていてもよい。
【0096】
（制御部）
図５に戻り、制御部９００は、ワーク保持部２００の相対位置及び相対姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する。例えば制御部９００は、上述した３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢を制御するように、力発生部５１０の非接触力と、側部力発生部５２０，５３０の非接触力とを制御する。例えば制御部９００は、３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢のそれぞれを、所定の目標範囲内に維持するように、力発生部５１０のコイルアレイ５１２に供給する電力と、側部力発生部５２０の側部コイルアレイ５２２に供給する電力と、側部力発生部５３０の側部コイルアレイ５３２に供給する電力とを制御する。
図５に戻り、制御部９００は、ワーク保持部２００の相対位置及び相対姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する。例えば制御部９００は、上述した３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢を制御するように、力発生部５１０の非接触力と、側部力発生部５２０，５３０の非接触力とを制御する。例えば制御部９００は、３種類の相対位置及び３種類の相対姿勢のそれぞれを、所定の目標範囲内に維持するように、力発生部５１０のコイルアレイ５１２に供給する電力と、側部力発生部５２０の側部コイルアレイ５２２に供給する電力と、側部力発生部５３０の側部コイルアレイ５３２に供給する電力とを制御する。
【0097】
所定の目標範囲は、少なくとも、上述したローラ２１３，２１４が横内面１３５，１３６に接触せず、ローラ２２４，２２５が下内面１４５及び上内面１４６に接触せず、ローラ２３４，２３５が下内面１５５及び上内面１５６に接触しないように定められる。
【0098】
制御部９００は、相対センサ８００により検出された相対位置及び相対姿勢に基づいて、力発生部５１０、及び側部力発生部５２０，５３０を制御してもよい。例えば制御部９００は、相対センサ８００により検出された移動方向Ｄ２における相対位置と、重力方向Ｄ１における相対位置と、幅方向Ｄ３まわりの相対姿勢とを目標範囲に維持するように、力発生部５１０、及び側部力発生部５２０，５３０を制御する。相対センサ８００により検出された幅方向Ｄ３における相対位置と、重力方向Ｄ１まわりの相対姿勢と、移動方向Ｄ２まわりの相対姿勢とを目標範囲に維持するように、側部力発生部５２０及び側部力発生部５３０を制御する。
【0099】
制御部９００は、相対センサ８００により検出された相対位置及び相対姿勢に基づいて、ワーク保持部２００の絶対位置を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御してもよい。例えば制御部９００は、センサ７００により検出された移動体３００の絶対位置と、ワーク保持部２００の絶対位置及び絶対姿勢の目標値とに基づいて、相対位置及び相対姿勢の目標値を算出し、相対位置及び相対姿勢を目標値に近付けるように、力発生部５１０、及び側部力発生部５２０，５３０を制御する。
【0100】
相対センサ８００による検出結果に基づく相対位置の制御を、ワーク保持部の絶対位置の制御に利用することで、移動体による粗い位置決めと、力発生部による精密な位置決めとを組み合わせ、ワーク保持部の絶対位置を高い効率で精度よく調節することができる。
【0101】
図１１は、制御部９００のハードウェア構成を例示する図である。図１１に示すように、制御部９００は、回路９９０を有する。回路９９０は、一つ又は複数のプロセッサ９９１と、メモリ９９２と、ストレージ９９３と、入出力回路９９４と、ドライバ回路９９５とを有する。ストレージ９９３は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ９９３は、搬送装置３０の制御プログラムを記憶する。この制御プログラムは、センサ７００による検出結果及び相対センサ８００による検出結果に基づいて、力発生部５１０、及び側部力発生部５２０，５３０を制御することを制御部９００に実行させるプログラムを含む。
【0102】
メモリ９９２は、ストレージ９９３の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ９９１による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ９９１は、メモリ９９２と協働して上記プログラムを実行する。入出力回路９９４は、プロセッサ９９１からの指令に従って、相対センサ８００との間で電気信号の入出力を行う。ドライバ回路９９５は、プロセッサ９９１からの指令に従って、リニアアクチュエータ５０１，５０２，５０３及び駆動部６００に駆動電力を出力する。
【0103】
（冷却構造）
搬送システム１は、図１２に示すように、冷却システム３０２を更に備えていてもよい。例えば冷却システム３０２は、側方対向部３２０及び側方対向部３３０をそれぞれ冷却する冷却部３２１及び冷却部３３１を有する。冷却部３２１は、側方対向部３２０を冷却することによって、側方対向部３２０に配置された側部力発生部５２０を冷却する。冷却部３３１は、側方対向部３３０を冷却することによって、側方対向部３３０に配置された側部力発生部５３０を冷却する。側方対向部３２０及び側方対向部３３０を放熱媒体として利用することで、側部力発生部５２０及び側部力発生部５３０を効率よく冷却することができる。
搬送システム１は、図１２に示すように、冷却システム３０２を更に備えていてもよい。例えば冷却システム３０２は、側方対向部３２０及び側方対向部３３０をそれぞれ冷却する冷却部３２１及び冷却部３３１を有する。冷却部３２１は、側方対向部３２０を冷却することによって、側方対向部３２０に配置された側部力発生部５２０を冷却する。冷却部３３１は、側方対向部３３０を冷却することによって、側方対向部３３０に配置された側部力発生部５３０を冷却する。側方対向部３２０及び側方対向部３３０を放熱媒体として利用することで、側部力発生部５２０及び側部力発生部５３０を効率よく冷却することができる。
【0104】
例えば冷却部３２１は、側方対向部３２０に沿って流れる気流を発生させることによって側方対向部３２０を冷却する。冷却部３２１は、冷却ダクト３２２とファン３２３とを有する。冷却ダクト３２２は、側方対向部３２０と共に、移動方向Ｄ２に沿ったエア流路を構成する。ファン３２３は、冷却ダクト３２２内にエアを吹き込むか、冷却ダクト３２２内からエアを吸い出すことで、冷却ダクト３２２内に強制的に気流を発生させる。
【0105】
冷却部３３１も同様に、側方対向部３３０に沿って流れる気流を発生させることによって側方対向部３３０を冷却する。冷却部３３１は、冷却ダクト３３２とファン３３３とを有する。冷却ダクト３３２は、側方対向部３３０と共に、移動方向Ｄ２に沿ったエア流路を構成する。ファン３３３は、冷却ダクト３３２内にエアを吹き込むか、冷却ダクト３３２内からエアを吸い出すことで、冷却ダクト３３２内に強制的に気流を発生させる。
【0106】
冷却システム３０２は、被駆動アーム３５０を冷却する冷却部３５１を更に有してもよい。冷却部３５１は、被駆動アーム３５０を冷却することによって、駆動部６００から移動体３００への伝熱、及び移動体３００から駆動部６００への伝熱をそれぞれ抑制する。例えば冷却部３５１は、被駆動アーム３５０に沿って流れる気流を発生させることによって、被駆動アーム３５０を冷却する。冷却部３５１は、冷却ダクト３５２と、ファン３５３とを有する。冷却ダクト３５２は、被駆動アーム３５０と共に、移動方向Ｄ２に沿ったエア流路を構成する。ファン３５３は、冷却ダクト３５２内にエアを吹き込むか、冷却ダクト３５２内からエアを吸い出すことで、冷却ダクト３５２内に強制的に気流を発生させる。
【0107】
冷却システム３０２は、センサ保持部３６０を冷却する冷却部３６１を更に有してもよい。冷却部３６１は、センサ保持部３６０を冷却することによって、移動体３００からセンサ７００のリーダ７２０への伝熱を抑制する。リーダ７２０への伝熱抑制によって、移動体３００の位置の検出精度を向上させることができる。例えば冷却部３６１は、センサ保持部３６０に沿って流れる気流を発生させることによって、センサ保持部３６０を冷却する。冷却部３６１は、冷却ダクト３６２と、ブロワ接続部３６３とを有する。冷却ダクト３６２は、センサ保持部３６０と共に、移動方向Ｄ２に沿ったエア流路を構成する。ブロワ接続部３６３は、エアコンプレッサ等の加圧源からのエアを冷却ダクト３６２内に導入することで、冷却ダクト３６２内に強制的に気流を発生させる。
【0108】
冷却システム３０２は、上方対向部３１０を冷却する冷却部３４５を更に有してもよい。冷却部３４５は、上方対向部３１０を冷却することによって、上方対向部３１０に配置された力発生部５１０を冷却する。例えば冷却部３４５は、上方対向部３１０に沿って流れる気流を発生させることによって上方対向部３１０を冷却する。図１３に示すように、冷却部３４５は、ファン３４６とファン３４７とを有する。ファン３４６及びファン３４７は、ケース３４０内に、移動方向Ｄ２に沿った気流を発生させる。この構成によって、ケース３４０を、上方対向部３１０の冷却に有効活用することができる。以上に例示した冷却部３２１、冷却部３３１、冷却部３４５、冷却部３５１、及び冷却部３６１はいずれも空冷式であったが、冷却方式は空冷方式に限られず、水冷方式であってもよい。また、ペルチェ素子又はヒートパイプ等を各部の冷却に活用してもよい。
【0109】
〔まとめ〕
以上の開示は、以下の構成を含む。
（１） ワークを保持可能なワーク保持部２００と、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、重力方向Ｄ１に交差する移動方向Ｄ２で移動可能な移動体３００と、ワーク保持部２００の重量を軽減するように、ワーク保持部２００との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部４００と、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、重量が軽減されたワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる力発生部５１０と、移動体３００に対するワーク保持部２００の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する制御部９００と、を備える搬送システム１。
この搬送システム１は、重量軽減部４００を有するので、ワーク保持部２００の浮上のために発生させる非接触力を小さくすることができる。このため、非接触力を発生させるための消費エネルギーを小さくすることができる。従って、消費電力の抑制に有効である。
以上の開示は、以下の構成を含む。
（１） ワークを保持可能なワーク保持部２００と、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、重力方向Ｄ１に交差する移動方向Ｄ２で移動可能な移動体３００と、ワーク保持部２００の重量を軽減するように、ワーク保持部２００との間で引力又は斥力を発生させる重量軽減部４００と、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、重量が軽減されたワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる力発生部５１０と、移動体３００に対するワーク保持部２００の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する制御部９００と、を備える搬送システム１。
この搬送システム１は、重量軽減部４００を有するので、ワーク保持部２００の浮上のために発生させる非接触力を小さくすることができる。このため、非接触力を発生させるための消費エネルギーを小さくすることができる。従って、消費電力の抑制に有効である。
【0110】
（２） ワーク保持部２００に配置され、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石を有する磁石アレイ２１２を更に備え、力発生部５１０は、磁石アレイ２１２と共にリニアアクチュエータを構成するように、移動方向Ｄ２に配列された複数のコイル５１３を含むコイルアレイ５１２を有し、制御部９００は、非接触力を制御するように、コイルアレイ５１２に供給する電力を制御する、（１）の搬送システム１。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能なリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能なリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
【0111】
（３） 磁石アレイ２１２が含む複数の永久磁石の数は、コイルアレイ５１２が含む複数のコイル５１３の数よりも多い、（２）の搬送システム１。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
【0112】
（４） 移動体３００は、重力方向Ｄ１においてワーク保持部２００の上に配置され、重量軽減部４００は、移動体３００に配置され、ワーク保持部２００との間で引力を発生させる、（１）～（３）のいずれかの搬送システム１。
磁力の作用対象を軟質磁性材料にて構成し、磁石の使用を削減することができる。ワーク保持部２００に対する相対変位の小さい移動体３００に重量軽減部４００を設けることで、重量軽減部４００のコンパクト化を図ることができる。
磁力の作用対象を軟質磁性材料にて構成し、磁石の使用を削減することができる。ワーク保持部２００に対する相対変位の小さい移動体３００に重量軽減部４００を設けることで、重量軽減部４００のコンパクト化を図ることができる。
【0113】
（５） 重量軽減部４００は、ワーク保持部２００に配置された永久磁石との間で引力を発生させる永久磁石又は軟質磁性部材と、ワーク保持部２００に配置された軟質磁性部材との間で引力を発生させる永久磁石と、の少なくとも一方を有する、（４）の搬送システム１。
電力を消費せずに重力を軽減することができる。また、電力を供給せずに行うメンテンナンス作業においても、移動体３００の移動にワーク保持部２００を追従させ、ワーク保持部２００の位置を移動体３００の近傍に維持することができる。これにより、メンテナンス後における復帰作業が容易になる。
電力を消費せずに重力を軽減することができる。また、電力を供給せずに行うメンテンナンス作業においても、移動体３００の移動にワーク保持部２００を追従させ、ワーク保持部２００の位置を移動体３００の近傍に維持することができる。これにより、メンテナンス後における復帰作業が容易になる。
【0114】
（６） 力発生部５１０は、ワーク保持部２００に配置された永久磁石に対して非接触力を作用させる１以上のコイル５１３を有し、重量軽減部４００は、軟質磁性部材であり、１以上のコイル５１３のバックヨークである、（５）の搬送システム１。
軟質磁性部材を、力発生部５１０のヨークとしても利用することで、省スペース化を図ることができる。
軟質磁性部材を、力発生部５１０のヨークとしても利用することで、省スペース化を図ることができる。
【0115】
（７） 移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置を検出するセンサ８００を更に備え、制御部９００は、少なくとも相対位置に基づいて、ワークの絶対位置を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する、（１）～（６）のいずれかの搬送システム１。
センサ８００による検出結果に基づく相対位置の制御を、ワークの絶対値の制御に利用することで、移動体３００による粗い位置決めと、力発生部５１０による精密な位置決めとを組み合わせ、ワークの絶対値を高い効率で精度よく調節することができる。
センサ８００による検出結果に基づく相対位置の制御を、ワークの絶対値の制御に利用することで、移動体３００による粗い位置決めと、力発生部５１０による精密な位置決めとを組み合わせ、ワークの絶対値を高い効率で精度よく調節することができる。
【0116】
（８） 移動体３００は、移動方向Ｄ２及び重力方向Ｄ１に交差する幅方向Ｄ３の両側でワーク保持部２００とそれぞれ対向する第１側方対向部３２０及び第２側方対向部３３０を有し、搬送システム１は、第１側方対向部３２０に配置され、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる第１側部力発生部５２０と、第２側方対向部３３０に配置され、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる第２側部力発生部５３０と、を更に備え、制御部９００は、移動体３００に対するワーク保持部２００の位置及び姿勢の少なくとも一方を制御するように、更に第１側部力発生部５２０及び第２側部力発生部５３０の非接触力を制御する、（１）～（７）のいずれかの搬送システム１。
【0117】
（９） 第１側部力発生部５２０と第２側部力発生部５３０とは、重力方向Ｄ１で相異なる位置に配置される、（８）の搬送システム１。
第１側部力発生部５２０及び第２側部力発生部５３０により、移動方向Ｄ２に沿った軸線まわりのワーク保持部２００の姿勢を容易に調節することができる。従って、ワーク保持部２００の姿勢を更に容易に調節することができる。
第１側部力発生部５２０及び第２側部力発生部５３０により、移動方向Ｄ２に沿った軸線まわりのワーク保持部２００の姿勢を容易に調節することができる。従って、ワーク保持部２００の姿勢を更に容易に調節することができる。
【0118】
（１０） ワーク保持部２００の重心位置は、重力方向Ｄ１において、第１側部力発生部５２０が作用させる非接触力の作用範囲と、第２側部力発生部５３０が作用させる非接触力の作用範囲との間に位置している、（９）の搬送システム１。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
【0119】
（１１） ワーク保持部２００において、幅方向Ｄ３の両側にそれぞれ配置され、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石をそれぞれが有する第１側部磁石アレイ２２３及び第２側部磁石アレイ２３３を更に備え、第１側部力発生部５２０は、第１側部磁石アレイ２２３とともにリニアアクチュエータを構成するように、移動方向Ｄ２に配列された複数のコイル５１３を含む第１側部コイルアレイ５２２を有し、第２側部力発生部５３０は、第２側部磁石アレイ２３３とともにリニアアクチュエータを構成するように、移動方向Ｄ２に配列された複数のコイル５１３を含む第２側部コイルアレイ５３２を有し、制御部９００は、非接触力を制御するように、第１側部コイルアレイ５２２及び第２側部コイルアレイ５３２に供給する電力を制御する、（８）～（１０）のいずれかの搬送システム１。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能な複数のリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能な複数のリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
【0120】
（１２） 移動体３００は、ワーク保持部２００の上方に配置され、重量軽減部４００は、移動体３００に配置されて、ワーク保持部２００との間で引力を発生させ、搬送システム１は、第１側方対向部３２０とワーク保持部２００との間に第１隔壁１４０を備え、第１隔壁１４０は、第１側部磁石アレイ２２３と対向する第１窓部１４２と、第１窓部１４２を支持し、第１側部磁石アレイ２２３の下方に位置する第１支持壁１４７と、を有する、（１１）の搬送システム１。
第１隔壁１４０の強度と、非接触力の伝わり易さとの両立を図ることができる。また、ワーク保持部２００の落下を第１支持壁１４７により防ぐことができる。
第１隔壁１４０の強度と、非接触力の伝わり易さとの両立を図ることができる。また、ワーク保持部２００の落下を第１支持壁１４７により防ぐことができる。
【0121】
（１３） 搬送システム１は、第２側方対向部３３０とワーク保持部２００との間に第２隔壁１５０を備え、第２隔壁１５０は、第２側部磁石アレイ２３３と対向する第２窓部１５２と、第２窓部１５２を支持し、第２側部磁石アレイ２３３の下方に位置する第２支持壁１５７と、を有し、第１側部磁石アレイ２２３と第２側部磁石アレイ２３３とは、重力方向Ｄ１で相異なる位置に配置され、第１窓部１４２と第２窓部１５２とは、重力方向Ｄ１で同じ位置に配置される、（１２）の搬送システム１。
第１窓部１４２及び第２窓部１５２の高さを合わせることで、形状の非対称性に起因する第１隔壁１４０及び第２隔壁１５０の変形等を抑制することができる。
第１窓部１４２及び第２窓部１５２の高さを合わせることで、形状の非対称性に起因する第１隔壁１４０及び第２隔壁１５０の変形等を抑制することができる。
【0122】
（１４） ワーク保持部２００は、重力方向Ｄ１において移動体３００に対向する上部２１１と、上部２１１から下方に延びて第１側部磁石アレイ２２３を支持する第１側部２２１と、上部２１１から下方に延びて第２側部磁石アレイ２３３を支持する第２側部２３１と、を有し、上部２１１と、第１側部２２１と、第２側部２３１とが互いに分離可能である、（１２）又は（１３）の搬送システム１。
メンテナンス性を向上させることができる。
メンテナンス性を向上させることができる。
【0123】
（１５） ワーク保持部２００は、第１側部磁石アレイ２２３の下に設けられた第１ローラ２２４を有し、ワーク保持部２００が第１支持壁１４７により支持される際に、第１ローラ２２４は第１支持壁１４７に接し、ワーク保持部２００の移動に応じて転がる、（１２）～（１４）のいずれかの搬送システム１。
メンテナンス中において、ワーク保持部２００を更にスムーズに移動体３００に追従させることができる。
メンテナンス中において、ワーク保持部２００を更にスムーズに移動体３００に追従させることができる。
【0124】
（１６） ワーク保持部２００と移動体３００との組み合わせの重力方向Ｄ１における重心位置にて、移動体３００に駆動力を伝達し、移動体３００を移動させる駆動部６００を更に備える、（１）～（１５）のいずれかの搬送システム１。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を更に向上させることができる。
【0125】
（１７） 移動方向Ｄ２において相異なる位置に配置された第１ロボット４０Ａ及び第２ロボット４０Ｂを更に備え、移動体３００は、第１ロボット４０Ａとワーク保持部２００との間でワークの受け渡しを可能にする第１位置と、第２ロボット４０Ｂとワーク保持部２００との間でワークの受け渡しを可能にする第２位置との間を移動する、（１）～（１６）のいずれかの搬送システム１。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を向上させることができる。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を向上させることができる。
【0126】
（１８） ワーク保持部２００の重心位置は、重力方向Ｄ１及び移動方向Ｄ２に交差する幅方向Ｄ３において、重量軽減部４００が発生させる引力又は斥力の発生範囲内に位置している、（１）～（１７）のいずれかの搬送システム１。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を向上させることができる。
ワーク保持部２００の姿勢の安定性を向上させることができる。
【0127】
（１９） ワークを保持可能なワーク保持部２００と、ワーク保持部２００の上方に配置され、重力方向Ｄ１に交差する移動方向Ｄ２で移動可能な移動体３００と、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる力発生部５１０と、を備える搬送システム１。
ワーク保持部２００の上方に配置される移動体３００の移動に、非接触力によってワーク保持部２００の移動を追従させる構成によれば、非接触力が含む受動的な引力をワーク保持部２００の浮上に活かし、非接触力を発生させるための消費エネルギーを小さくすることができる。従って、消費電力の抑制と、省スペース化との両立に有効である。
ワーク保持部２００の上方に配置される移動体３００の移動に、非接触力によってワーク保持部２００の移動を追従させる構成によれば、非接触力が含む受動的な引力をワーク保持部２００の浮上に活かし、非接触力を発生させるための消費エネルギーを小さくすることができる。従って、消費電力の抑制と、省スペース化との両立に有効である。
【0128】
（２０） ワークを保持可能なワーク保持部２００と、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、重力方向Ｄ１に交差する移動方向Ｄ２で移動可能な移動体３００と、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、ワーク保持部２００を浮上させつつ、移動体３００の移動に追従させるように、ワーク保持部２００に非接触力を作用させる力発生部５１０と、移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置を検出するセンサ８００と、少なくとも相対位置に基づいて、ワーク保持部２００の絶対位置を制御するように、力発生部５１０の非接触力を制御する制御部９００と、を備える搬送システム１。
移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置を維持するための制御系を、ワーク保持部２００の絶対位置の制御にも利用することで、移動体３００による粗い位置決めと、力発生部５１０による精密な位置決めとを組み合わせ、ワーク保持部２００の絶対位置を高い効率で精度よく調節することができる。
移動体３００に対するワーク保持部２００の相対位置を維持するための制御系を、ワーク保持部２００の絶対位置の制御にも利用することで、移動体３００による粗い位置決めと、力発生部５１０による精密な位置決めとを組み合わせ、ワーク保持部２００の絶対位置を高い効率で精度よく調節することができる。
【0129】
（２１） ワークを保持可能なワーク保持部２００と、少なくとも重力方向Ｄ１でワーク保持部２００と対向し、重力方向Ｄ１に交差する移動方向Ｄ２で移動可能な移動体３００と、ワーク保持部２００に配置され、移動方向Ｄ２に配列された複数の永久磁石を含む磁石アレイ２１２と、重力方向Ｄ１でワーク保持部２００に対向するように移動体３００に配置され、磁石アレイ２１２と共にリニアアクチュエータを構成するように、移動方向Ｄ２に配列された複数のコイル５１３を含むコイルアレイ５１２と、ワーク保持部２００を浮上させつつ移動体３００の移動に追従させるように、コイルアレイ５１２に供給する電力を制御する制御部９００と、を備える搬送システム１。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能なリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
電力に応じて非接触力を容易に制御することができる。相対的な変位が微小に抑えられるワーク保持部２００と移動体３００との間の位置関係の調節に、移動方向Ｄ２への変位が可能なリニアアクチュエータを用いることで、移動方向Ｄ２における相対的な位置の微調整が可能となる。
【符号の説明】
【0130】
１…搬送システム、Ｄ２…移動方向、Ｄ１…重力方向、Ｄ３…幅方向、４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ…ロボット、１４０…第１隔壁、１４２…第１窓部、１４７…第１支持壁、１５０…第２隔壁、１５２…第２窓部、１５７…第２支持壁、２００…ワーク保持部、２１１…上部、２１２…磁石アレイ、２２１…第１側部、２２３…第１側部磁石アレイ、２２４…第１ローラ、２３１…第２側部、２３３…第２側部磁石アレイ、３００…移動体、３２０…第１側方対向部、３３０…第２側方対向部、４００…重量軽減部、５１０…力発生部、５１２…コイルアレイ、５１３…コイル、５２０…第１側部力発生部、５２２…第１側部コイルアレイ、５３０…第２側部力発生部、５３２…第２側部コイルアレイ、６００…駆動部、８００…センサ、９００…制御部。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】