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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-04-24
(45)【発行日】2024-05-07
(54)【発明の名称】剥離装置及び剥離方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20240425BHJP
B65H 41/00 20060101ALN20240425BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
B65H41/00 Z
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2023094438
(22)【出願日】2023-06-07
(62)【分割の表示】P 2019017524の分割
【原出願日】2019-02-01
(65)【公開番号】P2023111985
(43)【公開日】2023-08-10
【審査請求日】2023-07-07
(73)【特許権者】
【識別番号】591126471
【氏名又は名称】株式会社エム・シー・ケー
(74)【代理人】
【識別番号】100127384
【弁理士】
【氏名又は名称】坊野 康博
(72)【発明者】
【氏名】吉田 悠太
【審査官】渡井 高広
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－２１９０８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－２８５９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－１８６１５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－８７６９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２３２５０９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｂ６５Ｈ ４１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
シート状の貼付部材が貼付されたワークを設置するステージと、前記貼付部材に粘着される粘着部材の連続体を供給する粘着部材供給手段と、
前記粘着部材を前記ワークに貼付された前記貼付部材の一端に粘着させる粘着手段と、
前記ステージと前記ワークとを前記ワークの前記貼付部材が貼付された面に沿う方向に相対的に移動させ、前記貼付部材の他端が前記ワークに粘着した状態で前記ステージと前記ワークとの相対移動を停止させる相対移動手段と、
前記一端が前記粘着部材に粘着され、剥離された状態で前記粘着手段と前記ワークとに架け渡された前記貼付部材の非粘着面を押し込んで、前記粘着部材に当該貼付部材の粘着面を押圧することで、当該貼付部材の粘着面が、先行して剥離されて前記粘着部材に保持されている前記貼付部材に粘着するように処理する剥離部材処理手段と、
を備えることを特徴とする剥離装置。
【請求項2】
前記粘着手段は、前記粘着部材に粘着させた前記貼付部材の一端を、前記ワークの表面から設定された距離まで移動させ、前記相対移動手段は、前記ステージと前記ワークとを前記ワークの前記貼付部材が貼付された面に沿う方向に相対的に移動させることにより、前記貼付部材を前記設定された距離によって定まる引き剥がし角度で剥離させることを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
【請求項3】
前記粘着部材は、前記粘着手段の位置よりも下流側における粘着面を前記ワークに面する方向に傾斜させて配置されており、前記剥離部材処理手段は、前記ワーク側から一方向に前記貼付部材の非粘着面を押し込むことにより、前記粘着部材に前記貼付部材の粘着面を押圧することを特徴とする請求項１または２に記載の剥離装置。
【請求項4】
前記貼付部材は、前記粘着部材に粘着された前記一端から折り返され、当該貼付部材の粘着面によって、前記粘着部材の下流側に粘着して保持されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項5】
シート状の貼付部材が貼付されたワークをステージに設置する設置工程と、前記貼付部材に粘着される粘着部材の連続体を供給する粘着部材供給工程と、
粘着手段によって、前記粘着部材を前記ワークに貼付された前記貼付部材の一端に粘着させる粘着工程と、
前記ステージと前記ワークとを前記ワークの前記貼付部材が貼付された面に沿う方向に相対的に移動させ、前記貼付部材の他端が前記ワークに粘着した状態で前記ステージと前記ワークとの相対移動を停止させる相対移動工程と、
前記一端が前記粘着部材に粘着され、剥離された状態で前記粘着手段と前記ワークとに架け渡された前記貼付部材の非粘着面を押し込んで、前記粘着部材に当該貼付部材の粘着面を押圧することで、当該貼付部材の粘着面が、先行して剥離されて前記粘着部材に保持されている前記貼付部材に粘着するように処理する剥離部材処理工程と、
を含むことを特徴とする剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、基板等のワークに貼付された樹脂製のフィルム等を剥離する剥離装置が知られている。
このような剥離装置として、例えば、粘着テープにフィルムを粘着させ、ワークの搬送方向に対して、フィルムを端部から反転させることにより、ワークからフィルムを剥離する手法が用いられている。
なお、剥離装置に関する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。
このような剥離装置として、例えば、粘着テープにフィルムを粘着させ、ワークの搬送方向に対して、フィルムを端部から反転させることにより、ワークからフィルムを剥離する手法が用いられている。
なお、剥離装置に関する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１８－１５０１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、粘着テープにフィルムを粘着させてワークからフィルムを剥離する場合、ワークの貼付面に対してフィルムを剥離する方向によっては、ワークに不適切な力が作用する可能性がある。また、複数のワークから連続的にフィルムを剥離する場合等には、フィルムを粘着させる粘着テープの消費量が増大する可能性があり、剥離したフィルムも多量となることから、剥離後のフィルムの処理も問題となる。さらに、複数のワークから連続的にフィルムを剥離する手法によっては、装置が大型化・複雑化する可能性がある。
即ち、ワークからフィルムを剥離する従来の剥離装置の機能には改善の余地があった。
即ち、ワークからフィルムを剥離する従来の剥離装置の機能には改善の余地があった。
【0005】
本発明の課題は、ワークからフィルムを剥離する剥離装置の機能を改善することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するため、本発明の一実施形態に係る剥離装置は、
フィルムが貼付されたワークを設置するステージと、
前記フィルムに粘着される粘着部材の連続体を供給する粘着部材供給手段と、
前記粘着部材を前記ワークに貼付された前記フィルムの一端に粘着させる粘着手段と、
前記ステージを前記ワークの前記フィルムが貼付された面に沿う方向に移動させるステージ移動手段と、
前記一端が前記粘着部材に粘着され、剥離された状態の前記フィルムを、当該フィルムの粘着面が、先行して剥離されて前記粘着部材に保持されている前記フィルム、及び、前記粘着部材の少なくともいずれかに粘着するように処理する剥離フィルム処理手段と、
を備えることを特徴とする。
フィルムが貼付されたワークを設置するステージと、
前記フィルムに粘着される粘着部材の連続体を供給する粘着部材供給手段と、
前記粘着部材を前記ワークに貼付された前記フィルムの一端に粘着させる粘着手段と、
前記ステージを前記ワークの前記フィルムが貼付された面に沿う方向に移動させるステージ移動手段と、
前記一端が前記粘着部材に粘着され、剥離された状態の前記フィルムを、当該フィルムの粘着面が、先行して剥離されて前記粘着部材に保持されている前記フィルム、及び、前記粘着部材の少なくともいずれかに粘着するように処理する剥離フィルム処理手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、ワークからフィルムを剥離する剥離装置の機能を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明に係る剥離装置１全体の構成を示す模式図である。
【図2】供給ローラ６０の構成を示す模式図である。
【図3】巻き取りローラ７０の構成を示す模式図である。
【図4】制御部８０に形成される機能的構成を示すブロック図である。
【図5】剥離装置１の動作を示すフローチャートである。
【図6】ワーク設置工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図7】剥離準備工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図8】テープ粘着工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図9】フィルム剥離工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図10】押圧工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図11】ワーク取り外し工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
【図12】テープ２００に収容されたフィルム１１０の状態を示す模式図である。
【図13】剥離装置１の他の構成例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
［構成］
図１は、本発明に係る剥離装置１全体の構成を示す模式図である。
剥離装置１は、ワーク１００に貼付されたフィルム１１０を剥離する装置であり、粘着性を有するテープ２００（粘着部材の連続体）にフィルム１１０の一端を粘着させ、ワーク１００の往復動作によってフィルム１１０の剥離を行う。
また、剥離装置１は、剥離したフィルム１１０の粘着性を利用して、テープ２００によって剥離されたフィルム１１０を先行して剥離されたフィルム１１０に粘着させることで、巻き取られるテープ２００と一体に剥離後のフィルム１１０を収容する。
なお、以下の説明において、フィルム１１０と称する部材には、ワーク１００に貼付される種々のものが含まれ、例えば、フィルム、シール、シート、ウェブ等と称される貼付物が含まれる。
［構成］
図１は、本発明に係る剥離装置１全体の構成を示す模式図である。
剥離装置１は、ワーク１００に貼付されたフィルム１１０を剥離する装置であり、粘着性を有するテープ２００（粘着部材の連続体）にフィルム１１０の一端を粘着させ、ワーク１００の往復動作によってフィルム１１０の剥離を行う。
また、剥離装置１は、剥離したフィルム１１０の粘着性を利用して、テープ２００によって剥離されたフィルム１１０を先行して剥離されたフィルム１１０に粘着させることで、巻き取られるテープ２００と一体に剥離後のフィルム１１０を収容する。
なお、以下の説明において、フィルム１１０と称する部材には、ワーク１００に貼付される種々のものが含まれ、例えば、フィルム、シール、シート、ウェブ等と称される貼付物が含まれる。
【0010】
図１に示すように、剥離装置１は、ステージ１０と、ガイドレール２０と、移動基台３０と、ハンドリング部４０と、粘着処理部５０と、供給ローラ６０と、巻き取りローラ７０と、制御部８０と、を備えている。
【0011】
ステージ１０は、フィルム１１０が貼付されたワーク１００（電子回路が形成された基板等）を収容し、フィルム１１０の剥離時にワーク１００を保持する。ワーク１００を保持する場合、ワーク１００裏面からの吸着、ワーク１００側面からの支持あるいは嵌め込みによる支持等の手段を用いることができる。なお、本実施形態におけるワーク１００の形状は、円形あるいは方形等、種々の形状のものとすることができる。
【0012】
また、ステージ１０は、フィルム１１０を剥離する際の剥離力によりワーク１００の端部が浮き上げることを防止するために、固定用のツメ１１を備えている。ツメ１１は、電動のロック機構等を備えることにより、ワーク１００がステージ１０から取り出される際には、ワーク１００の固定を解除する。
また、ステージ１０は、移動基台３０の上面に設置され、移動基台３０と一体にガイドレール２０に沿って移動する。
また、ステージ１０は、移動基台３０の上面に設置され、移動基台３０と一体にガイドレール２０に沿って移動する。
【0013】
ガイドレール２０は、移動基台３０のベアリング等を備えた係合部を係合して支持し、ガイドレール２０に沿う方向に移動基台３０を案内する。
移動基台３０は、内蔵されたアクチュエータまたは外部に設置されたアクチュエータによって、ガイドレール２０に沿う方向に移動する。移動基台３０の移動は、制御部８０によって制御される。
移動基台３０は、内蔵されたアクチュエータまたは外部に設置されたアクチュエータによって、ガイドレール２０に沿う方向に移動する。移動基台３０の移動は、制御部８０によって制御される。
【0014】
また、移動基台３０は、押圧ローラ３１と、支持部３２と、昇降部３３と、を備えている。
押圧ローラ３１は、昇降部３３によって上下方向に移動され、上方に移動する動作によって、剥離後のフィルム１１０をテープ２００の下流側（フィルム１１０の一端に粘着した部分よりも巻き取りの下流側）に押圧する。このとき、押圧ローラ３１は、フィルム１１０の非粘着面（ワーク１００に粘着していない面）を押圧し、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に接触させる。これにより、剥離後のフィルム１１０を、その粘着面を利用して、テープ２００の下流側に収容することができる。
押圧ローラ３１は、昇降部３３によって上下方向に移動され、上方に移動する動作によって、剥離後のフィルム１１０をテープ２００の下流側（フィルム１１０の一端に粘着した部分よりも巻き取りの下流側）に押圧する。このとき、押圧ローラ３１は、フィルム１１０の非粘着面（ワーク１００に粘着していない面）を押圧し、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に接触させる。これにより、剥離後のフィルム１１０を、その粘着面を利用して、テープ２００の下流側に収容することができる。
【0015】
支持部３２は、押圧ローラ３１を回転自在に支持し、昇降部３３によって上下方向に移動される。
昇降部３３は、エアシリンダ等の伸縮機構を備え、押圧ローラ３１及び支持部３２を上下方向に移動する。昇降部３３の昇降動作は、制御部８０によって制御される。
ハンドリング部４０は、ワーク１００を吸着することにより、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をステージ１０に設置したり、フィルム１１０が剥離されたワーク１００をステージ１０から取り外したりする。
また、ハンドリング部４０には、ワーク１００にフィルム１１０が粘着しているか否かを検出するフィルム検出部４１が設置されている。
昇降部３３は、エアシリンダ等の伸縮機構を備え、押圧ローラ３１及び支持部３２を上下方向に移動する。昇降部３３の昇降動作は、制御部８０によって制御される。
ハンドリング部４０は、ワーク１００を吸着することにより、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をステージ１０に設置したり、フィルム１１０が剥離されたワーク１００をステージ１０から取り外したりする。
また、ハンドリング部４０には、ワーク１００にフィルム１１０が粘着しているか否かを検出するフィルム検出部４１が設置されている。
【0016】
フィルム検出部４１は、カラーセンサあるいは測長機等によって構成される。例えば、フィルム検出部４１をカラーセンサによって構成する場合、ワーク１００の色を予め記憶しておき、ワーク１００の表面における色の一致率によって、ワーク１００にフィルム１１０が貼付されているか否かを検出できる。また、フィルム検出部４１を測長機によって構成する場合、測長機としてレーザー距離計を用いることができ、レーザー測距による距離の差またはレーザーフォーカスによるフォーカス位置の差から、ワーク１００にフィルム１１０が貼付されているか否かを検出できる。さらに、フィルム検出部４１を測長機によって構成する場合、測長機として接触センサを用いることができ、ワーク１００の表面にプローブを接触させることにより、フィルム１１０の厚みの有無を検出し、ワーク１００にフィルム１１０が貼付されているか否かを検出できる。
フィルム検出部４１によって、フィルム１１０を剥離する対象としてステージ１０に設置されたワーク１００にフィルム１１０が貼付されていることを確認したり、フィルム１１０の剥離が終了したワーク１００にフィルム１１０が貼付されていないことを確認したりすることができる。
フィルム検出部４１によって、フィルム１１０を剥離する対象としてステージ１０に設置されたワーク１００にフィルム１１０が貼付されていることを確認したり、フィルム１１０の剥離が終了したワーク１００にフィルム１１０が貼付されていないことを確認したりすることができる。
【0017】
粘着処理部５０は、供給ローラ６０から供給されたテープ２００をワーク１００に貼付されたフィルム１１０の一端に粘着させる。
具体的には、粘着処理部５０は、圧着ローラ５１と、支持部５２と、昇降部５３と、を備えている。
圧着ローラ５１は、供給ローラ６０から供給され、巻き取りローラ７０に巻き取られるテープ２００が巻回される。なお、圧着ローラ５１のローラ面は、テープ２００における非粘着面に接触している。また、圧着ローラ５１は、昇降部５３によって上下方向に移動され、下端の位置においてフィルム１１０が貼付されたワーク１００の表面（即ち、フィルム１１０）にテープ２００の粘着面を接触させる。これにより、テープ２００がフィルム１１０の一領域に粘着する。
具体的には、粘着処理部５０は、圧着ローラ５１と、支持部５２と、昇降部５３と、を備えている。
圧着ローラ５１は、供給ローラ６０から供給され、巻き取りローラ７０に巻き取られるテープ２００が巻回される。なお、圧着ローラ５１のローラ面は、テープ２００における非粘着面に接触している。また、圧着ローラ５１は、昇降部５３によって上下方向に移動され、下端の位置においてフィルム１１０が貼付されたワーク１００の表面（即ち、フィルム１１０）にテープ２００の粘着面を接触させる。これにより、テープ２００がフィルム１１０の一領域に粘着する。
【0018】
支持部５２は、圧着ローラ５１を回転自在に支持し、昇降部５３によって上下方向に移動される。
昇降部５３は、エアシリンダ等の伸縮機構を備え、圧着ローラ５１及び支持部５２を上下方向に移動する。昇降部５３の昇降動作は、制御部８０によって制御される。
供給ローラ６０は、テープ２００の張力によって従動的に回転し、テープ２００を送出する。
昇降部５３は、エアシリンダ等の伸縮機構を備え、圧着ローラ５１及び支持部５２を上下方向に移動する。昇降部５３の昇降動作は、制御部８０によって制御される。
供給ローラ６０は、テープ２００の張力によって従動的に回転し、テープ２００を送出する。
【0019】
図２は、供給ローラ６０の構成を示す模式図である。
図２に示すように、供給ローラ６０は、回転軸に連結されたクラッチ６１を備えている。クラッチ６１は、一端が供給ローラ６０の回転軸に連結され、他端は固定されている。
クラッチ６１の締結力は、制御部８０によって制御され、テープ２００をフィードする場合には、テープ２００に設定された張力が発生するよう調整される。また、クラッチ６１は、テープ２００のフィードを行わない場合（テープ２００をフィルム１１０に粘着させる場合等）には、供給ローラ６０の回転に要するトルクを低減し、テープ２００の張力を緩和する。なお、クラッチ６１は、締結力を任意の値に調整可能なクラッチや、締結状態をＯＮ／ＯＦＦするクラッチ等によって構成することができる。
図２に示すように、供給ローラ６０は、回転軸に連結されたクラッチ６１を備えている。クラッチ６１は、一端が供給ローラ６０の回転軸に連結され、他端は固定されている。
クラッチ６１の締結力は、制御部８０によって制御され、テープ２００をフィードする場合には、テープ２００に設定された張力が発生するよう調整される。また、クラッチ６１は、テープ２００のフィードを行わない場合（テープ２００をフィルム１１０に粘着させる場合等）には、供給ローラ６０の回転に要するトルクを低減し、テープ２００の張力を緩和する。なお、クラッチ６１は、締結力を任意の値に調整可能なクラッチや、締結状態をＯＮ／ＯＦＦするクラッチ等によって構成することができる。
【0020】
巻き取りローラ７０は、アクチュエータによって回転軸を回転され、供給ローラ６０から送出されたテープ２００を剥離後のフィルム１１０と共に巻き取る。また、巻き取りローラ７０は、圧着ローラ５１よりもハンドリング部４０側（ワーク１００の設置作業が行われる位置側）にオフセットして設置されており、圧着ローラ５１の位置よりも下流側のテープ２００の粘着面がワーク１００に面する方向に傾斜した状態となっている。即ち、押圧ローラ３１が所定方向（例えば鉛直上方）に上昇すると、フィルム１１０の非粘着面側からフィルム１１０を押し上げ、フィルム１１０の粘着面がテープ２００に押圧される位置関係となっている。
これにより、簡単な動作で剥離後のフィルム１１０をテープ２００に保持させることができる。
これにより、簡単な動作で剥離後のフィルム１１０をテープ２００に保持させることができる。
【0021】
図３は、巻き取りローラ７０の構成を示す模式図である。
図３に示すように、巻き取りローラ７０は、回転軸を駆動するアクチュエータ７１と、アクチュエータ７１と巻き取りローラ７０の間に連結されたクラッチ７２と、を備えている。
アクチュエータ７１は、制御部８０によって制御され、設定された速度で出力軸を回転する。
図３に示すように、巻き取りローラ７０は、回転軸を駆動するアクチュエータ７１と、アクチュエータ７１と巻き取りローラ７０の間に連結されたクラッチ７２と、を備えている。
アクチュエータ７１は、制御部８０によって制御され、設定された速度で出力軸を回転する。
【0022】
クラッチ７２は、一端をアクチュエータ７１の出力軸に連結され、他端を巻き取りローラ７０の回転軸に連結されている。また、クラッチ７２は、制御部８０によって制御され、テープ２００をフィードする場合には、一定の張力でテープ２００を巻き取るためのトルクをアクチュエータ７１から巻き取りローラ７０に伝達する。
【0023】
図１に戻り、制御部８０は、ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）あるいはＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）等の制御機能を備える装置によって構成され、剥離装置１全体の動作を制御する。例えば、制御部８０は、移動基台３０をガイドレール２０に沿って移動させたり、昇降部３３及び昇降部５３の昇降動作を制御したり、供給ローラ６０及び巻き取りローラ７０の回転動作を制御したりする。
【0024】
図４は、制御部８０に形成される機能的構成を示すブロック図である。
制御部８０が剥離装置１の制御のためのプログラムを実行することにより、機能的構成として、移動制御部８１と、圧着ローラ昇降制御部８２と、押圧ローラ昇降制御部８３と、供給ローラ制御部８４と、巻き取りローラ制御部８５と、ハンドリング制御部８６と、が形成される。
移動制御部８１は、剥離装置１におけるフィルム１１０の剥離処理工程に応じて、移動基台３０を所定位置に移動させる。
例えば、移動制御部８１は、ワーク１００をステージ１０に設置する工程及びワーク１００をステージ１０から取り外す工程において、移動基台３０をガイドレール２０の一端側（図１における右端側）に位置するワーク設置位置Ｐ１に移動して停止させる。
制御部８０が剥離装置１の制御のためのプログラムを実行することにより、機能的構成として、移動制御部８１と、圧着ローラ昇降制御部８２と、押圧ローラ昇降制御部８３と、供給ローラ制御部８４と、巻き取りローラ制御部８５と、ハンドリング制御部８６と、が形成される。
移動制御部８１は、剥離装置１におけるフィルム１１０の剥離処理工程に応じて、移動基台３０を所定位置に移動させる。
例えば、移動制御部８１は、ワーク１００をステージ１０に設置する工程及びワーク１００をステージ１０から取り外す工程において、移動基台３０をガイドレール２０の一端側（図１における右端側）に位置するワーク設置位置Ｐ１に移動して停止させる。
【0025】
また、移動制御部８１は、ワーク１００に貼付されたフィルム１１０の一端にテープ２００を粘着させる工程において、移動基台３０をガイドレール２０の他端側（図１における左端側）に位置するテープ粘着位置Ｐ２に移動して停止させる。
また、移動制御部８１は、フィルム１１０をワーク１００から剥離する工程において、移動基台３０をテープ粘着位置Ｐ２からワーク設置位置Ｐ１の方向に、設定された速度（フィルム１１０の剥離に適する速度）で移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着したローラ押圧位置Ｐ３で停止させる。このとき、フィルム１１０をワーク１００の他端に粘着させておく量（剥離残し量）は、フィルム１１０がテープ２００（圧着ローラ５１）とワーク１００との間で架け渡された状態を保持するように選択される。ただし、フィルム１１０がテープ２００（圧着ローラ５１）とワーク１００との間で架け渡された状態としなくてもよく、押圧ローラ３１が剥離されたフィルム１１０をテープ２００に押圧できればよい。
また、移動制御部８１は、フィルム１１０をワーク１００から剥離する工程において、移動基台３０をテープ粘着位置Ｐ２からワーク設置位置Ｐ１の方向に、設定された速度（フィルム１１０の剥離に適する速度）で移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着したローラ押圧位置Ｐ３で停止させる。このとき、フィルム１１０をワーク１００の他端に粘着させておく量（剥離残し量）は、フィルム１１０がテープ２００（圧着ローラ５１）とワーク１００との間で架け渡された状態を保持するように選択される。ただし、フィルム１１０がテープ２００（圧着ローラ５１）とワーク１００との間で架け渡された状態としなくてもよく、押圧ローラ３１が剥離されたフィルム１１０をテープ２００に押圧できればよい。
【0026】
移動制御部８１は、移動基台３０をローラ押圧位置Ｐ３で停止させた後、フィルム１１０が押圧ローラ３１によってテープ２００の下流側に押圧される工程の完了を待って、ワーク設置位置Ｐ１に移動させる。このとき、フィルム１１０はワーク１００の他端に所定量粘着した状態（テープ２００とワーク１００との間で架け渡された状態）とされており、このような状態で押圧ローラ３１がフィルム１１０を上方に押し上げることで、フィルム１１０を非粘着面の側から容易に取り扱うことができる。
圧着ローラ昇降制御部８２は、移動制御部８１によって移動基台３０がテープ粘着位置Ｐ２に停止された場合に、昇降部５３によって圧着ローラ５１を下降させることにより、テープ２００をワーク１００の表面に貼付されているフィルム１１０に粘着させる。そして、圧着ローラ昇降制御部８２は、テープ２００にフィルム１１０が粘着すると、昇降部５３によって圧着ローラ５１を設定された高さまで上昇させる。
圧着ローラ昇降制御部８２は、移動制御部８１によって移動基台３０がテープ粘着位置Ｐ２に停止された場合に、昇降部５３によって圧着ローラ５１を下降させることにより、テープ２００をワーク１００の表面に貼付されているフィルム１１０に粘着させる。そして、圧着ローラ昇降制御部８２は、テープ２００にフィルム１１０が粘着すると、昇降部５３によって圧着ローラ５１を設定された高さまで上昇させる。
【0027】
押圧ローラ昇降制御部８３は、移動制御部８１によって移動基台３０がローラ押圧位置Ｐ３に停止された場合に、昇降部３３によって押圧ローラ３１を上昇させることにより、非粘着面側からフィルム１１０を押し込み（即ち、押し上げて）、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に押圧する。
供給ローラ制御部８４は、テープ２００をフィードする場合には、テープ２００に設定された張力が発生するようクラッチ６１の締結力を調整する。また、供給ローラ制御部８４は、テープ２００のフィードを行わない場合（テープ２００をフィルム１１０に粘着させる場合等）には、巻き取りローラ７０の回転に要するトルクが低減するようにクラッチ６１の締結力を発生させる。
供給ローラ制御部８４は、テープ２００をフィードする場合には、テープ２００に設定された張力が発生するようクラッチ６１の締結力を調整する。また、供給ローラ制御部８４は、テープ２００のフィードを行わない場合（テープ２００をフィルム１１０に粘着させる場合等）には、巻き取りローラ７０の回転に要するトルクが低減するようにクラッチ６１の締結力を発生させる。
【0028】
巻き取りローラ制御部８５は、設定された速度でアクチュエータ７１の出力軸を回転させる。また、巻き取りローラ制御部８５は、テープ２００をフィードする場合には、一定の張力でテープ２００を巻き取るためのトルクがアクチュエータ７１から巻き取りローラ７０に伝達されるようにクラッチ７２の締結力を発生させる。
ハンドリング制御部８６は、移動制御部８１によって移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止された場合に、ハンドリング部４０を制御し、フィルム１１０を剥離するワーク１００をステージ１０に設置させたり、フィルム１１０が剥離された後のワーク１００をステージ１０から取り外したりする。
ハンドリング制御部８６は、移動制御部８１によって移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止された場合に、ハンドリング部４０を制御し、フィルム１１０を剥離するワーク１００をステージ１０に設置させたり、フィルム１１０が剥離された後のワーク１００をステージ１０から取り外したりする。
【0029】
［動作］
次に、剥離装置１の動作を説明する。
図５は、剥離装置１の動作を示すフローチャートである。
また、図６～図１１は、各工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
剥離装置１がフィルム１１０の剥離動作を行う場合、ステップＳ１において、制御部８０は、移動基台３０をワーク設置位置Ｐ１に停止させ、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をステージ１０に設置する（ワーク設置工程）。
図６に示すように、ワーク設置工程では、移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止されると共に、ハンドリング部４０がフィルム１１０を剥離するワーク１００を吸着してステージ１０に設置する。
次に、剥離装置１の動作を説明する。
図５は、剥離装置１の動作を示すフローチャートである。
また、図６～図１１は、各工程における剥離装置１の状態を示す模式図である。
剥離装置１がフィルム１１０の剥離動作を行う場合、ステップＳ１において、制御部８０は、移動基台３０をワーク設置位置Ｐ１に停止させ、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をステージ１０に設置する（ワーク設置工程）。
図６に示すように、ワーク設置工程では、移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止されると共に、ハンドリング部４０がフィルム１１０を剥離するワーク１００を吸着してステージ１０に設置する。
【0030】
ステップＳ２において、制御部８０は、移動基台３０を移動させ、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をテープ粘着位置Ｐ２に停止させる（剥離準備工程）。
図７に示すように、剥離準備工程では、移動基台３０が移動し、フィルム１１０の一端（図７においては右端）が圧着ローラ５１の直下に位置するように停止される。
図７に示すように、剥離準備工程では、移動基台３０が移動し、フィルム１１０の一端（図７においては右端）が圧着ローラ５１の直下に位置するように停止される。
【0031】
ステップＳ３において、制御部８０は、昇降部５３によって圧着ローラ５１を下降させ、下端の位置においてフィルム１１０が貼付されたワーク１００の表面（即ち、フィルム１１０）に圧着ローラ５１を粘着させる（テープ粘着工程）。
図８に示すように、テープ粘着工程では、昇降部５３が圧着ローラ５１及び支持部５２を下降させ、テープ２００にフィルム１１０が粘着すると、圧着ローラ５１及び支持部５２の下降が停止される。
図８に示すように、テープ粘着工程では、昇降部５３が圧着ローラ５１及び支持部５２を下降させ、テープ２００にフィルム１１０が粘着すると、圧着ローラ５１及び支持部５２の下降が停止される。
【0032】
ステップＳ４において、制御部８０は、昇降部５３を設定された高さまで上昇させると共に、移動基台３０を設定された速度でワーク設置位置Ｐ１の方向に移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着したローラ押圧位置Ｐ３で停止させる（フィルム剥離工程）。
図９に示すように、フィルム剥離工程では、昇降部５３が圧着ローラ５１及び支持部５２を設定された高さｈまで上昇させる。この高さｈは、フィルム１１０の剥離においてワーク１００に加わる力の作用を考慮して設定される。即ち、高さｈを変化させることにより、引き剥がし角度を調整することができる。例えば、高さｈを低く設定した場合、１８０度ピールに近づき、フィルム１１０の剥離においてワーク１００の表面に加わる面に垂直な方向の力が弱くなる。引き剥がし角度は、ワークＷの厚みやフィルム１１０の粘着力に応じて調整することができる。
また、図９に示すように、フィルム剥離工程では、圧着ローラ５１が高さｈまで上昇された後、移動基台３０が設定された速度（フィルム１１０の剥離に適する速度）でワーク設置位置Ｐ１の方向に移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着した状態で停止される。
図９に示すように、フィルム剥離工程では、昇降部５３が圧着ローラ５１及び支持部５２を設定された高さｈまで上昇させる。この高さｈは、フィルム１１０の剥離においてワーク１００に加わる力の作用を考慮して設定される。即ち、高さｈを変化させることにより、引き剥がし角度を調整することができる。例えば、高さｈを低く設定した場合、１８０度ピールに近づき、フィルム１１０の剥離においてワーク１００の表面に加わる面に垂直な方向の力が弱くなる。引き剥がし角度は、ワークＷの厚みやフィルム１１０の粘着力に応じて調整することができる。
また、図９に示すように、フィルム剥離工程では、圧着ローラ５１が高さｈまで上昇された後、移動基台３０が設定された速度（フィルム１１０の剥離に適する速度）でワーク設置位置Ｐ１の方向に移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着した状態で停止される。
【0033】
ステップＳ５において、制御部８０は、昇降部３３によって押圧ローラ３１を上昇させ、フィルム１１０の非粘着面側からフィルム１１０を押圧する（押圧工程）。
図１０に示すように、押圧工程では、昇降部３３が押圧ローラ３１及び支持部３２を上昇させ、フィルム剥離工程によってテープ２００とワーク１００との間で架け渡された状態となっている剥離後のフィルム１１０の非粘着面を下方から押し込む（即ち、押し上げる）ことにより、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に押圧する。これにより、押圧工程では、剥離後のフィルム１１０がテープ２００の下流側（フィルム１１０の一端に粘着した部分より巻き取りの下流側）に粘着して保持される。この結果、剥離後のフィルム１１０を、その粘着面を利用して、テープ２００の下流側に収容することができる。
図１０に示すように、押圧工程では、昇降部３３が押圧ローラ３１及び支持部３２を上昇させ、フィルム剥離工程によってテープ２００とワーク１００との間で架け渡された状態となっている剥離後のフィルム１１０の非粘着面を下方から押し込む（即ち、押し上げる）ことにより、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に押圧する。これにより、押圧工程では、剥離後のフィルム１１０がテープ２００の下流側（フィルム１１０の一端に粘着した部分より巻き取りの下流側）に粘着して保持される。この結果、剥離後のフィルム１１０を、その粘着面を利用して、テープ２００の下流側に収容することができる。
【0034】
ステップＳ６において、制御部８０は、移動基台３０を移動させ、フィルム１１０が剥離された後のワーク１００をワーク設置位置Ｐ１に停止させて、ワーク１００をステージ１０から取り外す（ワーク取り外し工程）。
図１１に示すように、ワーク取り外し工程では、移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止されると共に、ハンドリング部４０がフィルム１１０を剥離された後のワーク１００を吸着してステージ１０から取り外す。
引き続き、他のワーク１００からフィルム１１０を剥離する場合、上述の工程が繰り返される。
図１１に示すように、ワーク取り外し工程では、移動基台３０がワーク設置位置Ｐ１に停止されると共に、ハンドリング部４０がフィルム１１０を剥離された後のワーク１００を吸着してステージ１０から取り外す。
引き続き、他のワーク１００からフィルム１１０を剥離する場合、上述の工程が繰り返される。
【0035】
この結果、フィルム１１０が、テープ２００に粘着された一端から折り返され、フィルム１１０の粘着面によって、テープ２００の下流側に粘着されて収容された状態となる。
図１２は、テープ２００に収容されたフィルム１１０の状態を示す模式図である。
図１２に示すように、剥離時にテープ２００に粘着されたフィルム１１０の一端は、テープ２００の粘着面を利用して粘着されている一方、一端から折り返されたフィルム１１０の部分は、フィルム１１０の粘着面を利用して、先行して剥離したフィルム１１０に粘着されている。
これにより、テープ２００の消費量を抑制しつつ、フィルム１１０を剥離して収容することが可能となる。
図１２は、テープ２００に収容されたフィルム１１０の状態を示す模式図である。
図１２に示すように、剥離時にテープ２００に粘着されたフィルム１１０の一端は、テープ２００の粘着面を利用して粘着されている一方、一端から折り返されたフィルム１１０の部分は、フィルム１１０の粘着面を利用して、先行して剥離したフィルム１１０に粘着されている。
これにより、テープ２００の消費量を抑制しつつ、フィルム１１０を剥離して収容することが可能となる。
【0036】
以上のように、剥離装置１は、ワーク設置位置Ｐ１において、フィルム１１０が貼付されたワーク１００をステージ１０に設置し、移動基台３０をテープ粘着位置Ｐ２に移動させた後、昇降部５３によって圧着ローラ５１を下降させることによりテープ２００にフィルム１１０の一端を粘着させる。そして、昇降部５３によって圧着ローラ５１を上昇させると共に、移動基台３０をワーク設置位置Ｐ１の方向に移動させ、フィルム１１０がワーク１００の他端に所定量粘着したローラ押圧位置Ｐ３で移動基台３０を停止させる。さらに、剥離装置１は、昇降部３３によって押圧ローラ３１を上昇させ、フィルム１１０の非粘着面を下方から押し上げることにより、フィルム１１０の粘着面をテープ２００に粘着させる。この後、剥離装置１は、移動基台３０をワーク設置位置Ｐ１に戻し、フィルム１１０が剥離されたワーク１００が取り外される。
【0037】
そのため、剥離装置１においては、テープ２００にフィルム１１０を粘着させた後に、圧着ローラ５１を上昇させる高さを変化することによって、フィルム１１０の剥離時にワーク１００の表面に作用する力を調整することが可能となる。
また、剥離後のフィルム１１０の粘着面を利用して、テープ２００に剥離された複数のフィルム１１０を粘着させることができるため、フィルム１１０の剥離に要するテープ２００の消費量を抑制することができる。
また、剥離後のフィルム１１０がテープ２００と一体に収容されるため、剥離後のフィルム１１０の取り扱いが容易となる。
さらに、剥離装置１は、移動基台３０を往復させる動作によってフィルム１１０の剥離及び回収が完了することから、装置を小型化できると共に、簡単な動作の中でフィルム１１０の剥離を行うことができる。
したがって、剥離装置１によれば、ワーク１００からフィルム１１０を剥離する従来の剥離装置の機能を改善することができる。
また、剥離後のフィルム１１０の粘着面を利用して、テープ２００に剥離された複数のフィルム１１０を粘着させることができるため、フィルム１１０の剥離に要するテープ２００の消費量を抑制することができる。
また、剥離後のフィルム１１０がテープ２００と一体に収容されるため、剥離後のフィルム１１０の取り扱いが容易となる。
さらに、剥離装置１は、移動基台３０を往復させる動作によってフィルム１１０の剥離及び回収が完了することから、装置を小型化できると共に、簡単な動作の中でフィルム１１０の剥離を行うことができる。
したがって、剥離装置１によれば、ワーク１００からフィルム１１０を剥離する従来の剥離装置の機能を改善することができる。
【0038】
［変形例１］
上述の実施形態において、ワークＷのフィルム１１０が貼付された面を上面として配置し、ワークＷの上方に配置されたテープ２００に剥離後のフィルム１１０を押圧する構成を例に挙げて説明したが、これに限られない。例えば、他の構成例として、ワークＷのフィルム１１０が貼付された面を下面として配置し、ワークＷの下方に配置されたテープ２００に剥離後のフィルム１１０を押圧する構成とすることができる。
図１３は、剥離装置１の他の構成例を示す模式図である。
図１３に示す構成例では、図１に示す剥離装置１の主要な構成部分が上下反転した状態となっている。
ただし、図１３に示す構成例において、押圧ローラ３１、支持部３２及び昇降部３３については、図１に示す構成と異なっている。具体的には、昇降部３３に代えて、支持部３２を回転させる回転部３３ａを備え、回転部３３ａが支持部３２を回転させ、支持部３２の先端に設置された押圧ローラ３１が剥離後のフィルム１１０の非粘着面を回転動作によって押圧するものとなっている。
なお、この場合、フィルム剥離工程において、フィルム１１０をワーク１００から全て剥離し、押圧ローラ３１によってフィルム１１０をテープ２００に押圧する。
このような構成例とした場合にも、ワーク１００からフィルム１１０を剥離する従来の剥離装置の機能を改善することができる。
なお、図１３に示す構成例において、図１の場合と同様の押圧ローラ３１、支持部３２及び昇降部３３の構成としてもよい。この場合、フィルム剥離工程において、テープ２００とワーク１００との間でフィルム１１０が架け渡された状態とし、この状態において剥離後のフィルム１１０の非粘着面を上方から押し込む（即ち、押し下げる）ことにより、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に押圧することができる。
上述の実施形態において、ワークＷのフィルム１１０が貼付された面を上面として配置し、ワークＷの上方に配置されたテープ２００に剥離後のフィルム１１０を押圧する構成を例に挙げて説明したが、これに限られない。例えば、他の構成例として、ワークＷのフィルム１１０が貼付された面を下面として配置し、ワークＷの下方に配置されたテープ２００に剥離後のフィルム１１０を押圧する構成とすることができる。
図１３は、剥離装置１の他の構成例を示す模式図である。
図１３に示す構成例では、図１に示す剥離装置１の主要な構成部分が上下反転した状態となっている。
ただし、図１３に示す構成例において、押圧ローラ３１、支持部３２及び昇降部３３については、図１に示す構成と異なっている。具体的には、昇降部３３に代えて、支持部３２を回転させる回転部３３ａを備え、回転部３３ａが支持部３２を回転させ、支持部３２の先端に設置された押圧ローラ３１が剥離後のフィルム１１０の非粘着面を回転動作によって押圧するものとなっている。
なお、この場合、フィルム剥離工程において、フィルム１１０をワーク１００から全て剥離し、押圧ローラ３１によってフィルム１１０をテープ２００に押圧する。
このような構成例とした場合にも、ワーク１００からフィルム１１０を剥離する従来の剥離装置の機能を改善することができる。
なお、図１３に示す構成例において、図１の場合と同様の押圧ローラ３１、支持部３２及び昇降部３３の構成としてもよい。この場合、フィルム剥離工程において、テープ２００とワーク１００との間でフィルム１１０が架け渡された状態とし、この状態において剥離後のフィルム１１０の非粘着面を上方から押し込む（即ち、押し下げる）ことにより、フィルム１１０の粘着面をテープ２００の下流側に押圧することができる。
【0039】
なお、上述の実施形態は、本発明の実施形態の一例であり、本発明の機能を実現する種々の実施形態が本発明の範囲に含まれる。
例えば、上述の実施形態において、ハンドリング部４０はワーク１００を吸着して設置及び取り外しを行うものとして説明したが、これに限られない。例えば、ハンドリング部４０をロボットハンド等で構成することにより、ワーク１００の設置及び取り外しをより柔軟に行う機能を備えることとしてもよい。この場合、ワーク１００の設置及び取り外しをより高度に自動化できると共に、フィルム１１０をワーク１００から剥離する工程の上流あるいは下流の工程とより適切に連携して処理を行うことが可能となる。
例えば、上述の実施形態において、ハンドリング部４０はワーク１００を吸着して設置及び取り外しを行うものとして説明したが、これに限られない。例えば、ハンドリング部４０をロボットハンド等で構成することにより、ワーク１００の設置及び取り外しをより柔軟に行う機能を備えることとしてもよい。この場合、ワーク１００の設置及び取り外しをより高度に自動化できると共に、フィルム１１０をワーク１００から剥離する工程の上流あるいは下流の工程とより適切に連携して処理を行うことが可能となる。
【0040】
また、上述の実施形態において、押圧ローラ３１が剥離後のフィルム１１０をテープ２００の下流側に押圧する動作としては、押圧ローラ３１が直上に移動することの他、斜め上方向に移動したり、曲線を描いて上方に移動したりすることとしてもよい。さらに、ローラを用いて押圧することの他、剥離後のフィルム１１０の一端を把持して折り返したり、エアーあるいはその他の手段によって剥離後のフィルム１１０をテープ２００の下流側に押圧したりしてもよい。
【0041】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限るものではない。また、本実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本実施形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【0042】
１ 剥離装置、１０ ステージ、１１ ツメ、２０ ガイドレール、３０ 移動基台、３１ 押圧ローラ、３２，５２ 支持部、３３，５３ 昇降部、３３ａ 回転部、４０ ハンドリング部、４１ フィルム検出部、５０ 粘着処理部、５１ 圧着ローラ、６０ 供給ローラ、６１，７２ クラッチ、７０ 巻き取りローラ、７１ アクチュエータ、８０ 制御部、８１ 移動制御部、８２ 圧着ローラ昇降制御部、８３ 押圧ローラ昇降制御部、８４ 供給ローラ制御部、８５ 巻き取りローラ制御部、８６ ハンドリング制御部、１００ ワーク、１１０ フィルム、２００ テープ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】