特許 7480681 真空ポンプおよび真空ポンプ用コントローラ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-30

(45)【発行日】2024-05-10

(54)【発明の名称】真空ポンプおよび真空ポンプ用コントローラ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20240501BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 H

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020190387

(22)【出願日】2020-11-16

(65)【公開番号】P2022079283

(43)【公開日】2022-05-26

【審査請求日】2023-03-30

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(72)【発明者】

【氏名】田中 晋悟

【審査官】中村 大輔

(56)【参考文献】

【文献】特開平０９－０６８２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０４－１２７８９５（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｄ １９／０４

Ｆ１６Ｃ ３２／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプであって、
前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、
前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、
入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、
前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させ、
前記閾値は、前記閾値を設定しなかった場合に前記インバータが動作を停止する電圧よりも大きな電圧に設定されている、
真空ポンプ。

【請求項2】

請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記制御部は、停電に伴う回生制御を行っている場合に、前記電力ラインの電圧値が前記閾値以下であると前記インバータの動作を停止させる、真空ポンプ。

【請求項3】

請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記閾値は、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの出力側に接続される前記負荷で定まる設定電圧値および設定電流値と、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの変換効率と、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータを構成する電子部品の許容入力電流値とに基づいて設定される、真空ポンプ。

【請求項4】

請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの出力側には、前記第１のＤＣ／ＤＣコンバータを制御する制御回路が接続されている、真空ポンプ。

【請求項5】

外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプ用コントローラであって、
前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、
前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、
入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、
前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させ、
前記閾値は、前記閾値を設定しなかった場合に前記インバータが動作を停止する電圧よりも大きな電圧に設定されている、
真空ポンプ用コントローラ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、モータ減速時に回生制御を行う真空ポンプおよび真空ポンプ用コントローラに関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプのコントローラにおいては、モータを駆動する強電系のインバータや弱電系の制御回路のように、動作電圧の異なる回路が含まれている。そのため、交流電源からのＡＣ電圧をＡＣ／ＤＣ変換部でＤＣ電圧に変換し、さらに、そのＤＣ電圧をＤＣ／ＤＣコンバータにより要求されるＤＣ電圧に変換している。

【0003】

特許文献１に記載の真空ポンプでは、モータ減速時にモータの回転エネルギーを電気的エネルギーに変換する回生制御を行い、回生ブレーキ動作を行わせる構成が開示されている。モータ駆動時はＤＣ／ＤＣコンバータからインバータへ電力が供給され、回生制御時はインバータからＤＣ／ＤＣコンバータ側へと回生電力が供給される。ＤＣ／ＤＣコンバータの出力ラインには、その出力ラインの電圧を制御用電圧に変換するためのＤＣ／ＤＣコンバータや、粗引きポンプのインバータの動作電圧に変換するためのＤＣ／ＤＣコンバータが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－２０４４４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一般に、ＤＣ／ＤＣコンバータには、保護動作機能を備えるものと、コストおよび省スペース化などの理由から保護動作機能を備えないものとがある。保護動作機能は必ずしも必要ではなく、例えば、出力の負荷が小さい場合や動作条件が限定できる等の場合には、保護動作機能を設けなくても通常使用には支障が無い。しかしながら、特許文献１のように回生制御動作するものにおいては、特定の条件において、例えば、停電等により外部からの電力供給が停止した場合に、インバータに電力を供給するＤＣ／ＤＣコンバータの出力電圧が低下して、そのＤＣ／ＤＣコンバータの出力ラインに接続されたＤＣ／ＤＣコンバータの入力電流が増加し、ＤＣ／ＤＣコンバータの内部部品の電流許容量を超えて不具合の発生するおそれがある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様による真空ポンプは、外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプであって、前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる。
本発明の第２の態様による真空ポンプ用コントローラは、外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプ用コントローラであって、前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、ＤＣ／ＤＣコンバータの不具合発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、真空ポンプ１の概略構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、負荷に接続されたＤＣ／ＤＣコンバータの入力と出力との関係を説明する図である。

【図3】図３は、停電が発生した場合に実行される停電動作手順の一例を示すフローチャートである。

【図4】図４は、停電後の回転速度ωの時間的な変化と、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLの時間的変化とを模式的に示した図である。

【図5】図５は、電圧ＶLの実測データの一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、真空ポンプ１の概略構成を示すブロック図である。真空ポンプ１は、真空排気を行うポンプ本体１Ａと、ポンプ本体１Ａを駆動制御するコントローラ１Ｂとを備えている。図１に示す真空ポンプ１は磁気浮上式のターボ分子ポンプであり、ポンプロータ１０が締結されている回転軸１１は、磁気軸受（ＭＢ）１２により磁気浮上支持される。回転軸１１は、モータ（Ｍ）１３によって回転駆動される。回転軸１１の回転速度ωは回転センサ１５により検出され、制御部２２に入力される。非通電時には、回転軸１１はメカニカルベアリング等の保護ベアリング１４によって支持される。図示は省略したが、ポンプ本体１Ａには、ポンプロータ１０に対してポンプステータが設けられている。

【0010】

コントローラ１Ｂには、商用電源２からの電力が供給される。商用電源２からの交流電圧は、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０により直流電圧に変換される。ＡＣ／ＤＣコンバータ２０の出力側の直流ラインには、インバータ２１が接続されている。直流ラインには回生電力逆流防止用のダイオード２６が設けられている。インバータ２１は、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０からの直流電圧を交流電圧に変換してモータ１３を駆動する。インバータ２１は、モータ１３の回転に必要な周波数の交流電圧を出力するように、制御部２２に設けられたモータ制御部２２１によって制御される。なお、モータ１３はセンサレスの永久磁石同期モータであって、モータロータには永久磁石が設けられている。

【0011】

ＡＣ／ＤＣコンバータ２０とインバータ２１との間の直流ラインＤＣＬには、コントローラＩＢの制御用電圧を生成するＤＣ／ＤＣコンバータ２３、および、磁気軸受駆動用の電圧を生成する電力を供給するＤＣ／ＤＣコンバータ２４が接続されている。ＤＣ／ＤＣコンバータ２３の出力側には制御部２２が接続されており、ＤＣ／ＤＣコンバータ２３は直流ラインの直流電圧を制御部２２の動作電圧に変換する。ＤＣ／ＤＣコンバータ２４の出力側には磁気軸受１２に電流を供給する励磁アンプ２５が接続されており、ＤＣ／ＤＣコンバータ２４は直流ラインの直流電圧を励磁アンプ２５の動作電圧に変換する。

【0012】

制御部２２は磁気軸受１２およびモータ１３の制御を行うデジタル演算器であり、例えば、中央演算装置（CPU）、読み出し専用メモリ（ROM）、ランダムアクセスメモリ（RAM）、及び入出力インタフェース（ I/O インタフェース）を備えたマイクロコンピュータやＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等で構成される。

【0013】

制御部２２に設けられたモータ制御部２２１は、インバータ２１に設けられている複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのＰＷＭ制御信号をインバータ２１へ出力する。また、回生動作時には、モータ制御部２２１はインバータ２１を回生制御し、ポンプ本体１Ａの回転エネルギーを電気的エネルギーに変換して回生電力を得る。回生電力は、制御部２２の駆動電力や磁気軸受１２の駆動電力として利用される。制御部２２に設けられた軸受制御部２２２には、磁気軸受１２に設けられた変位センサ（不図示）からの変位信号に基づいて、励磁アンプ２５から磁気軸受１２に供給される駆動電流を制御して、回転軸１１を所望の浮上位置に制御する。

【0014】

本実施の形態では、停電が発生すると、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０によって電力供給停止が検出され、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０から制御部２２へ停電情報Ｓが入力される。制御部２２は直流ラインＤＣＬの電圧ＶLをモニタし、ＡＣ／ＤＣコンバータから停電情報Ｓが入力された場合には、後述するように、電圧ＶLに基づいてインバータ２１に停止指示を出力して停電停止動作を実行する。

【0015】

ＡＣ／ＤＣコンバータ２０は、整流回路２０１、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２，２０３および制御回路２０４を備えている。整流回路２０１は、入力された交流を整流して直流に変換する。ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２は、整流回路２０１の出力電圧をインバータ２１の動作電圧に変換する。制御回路２０４は、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２の出力電圧が所望の電圧となるように、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２に設けられたスイッチング素子のオンオフを制御する。ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３は、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLを低電圧に変換して制御回路２０４に電源電力を供給する。

【0016】

図２に示すように、ＤＣ／ＤＣコンバータは、入力電圧Ｖinの直流電力を出力電圧Ｖoutの直流電力に変化するが、ＤＣ／ＤＣコンバータの変換効率をＣＲとすると、入力電圧Ｖinおよび入力電流Ｉinと出力電圧Ｖoutおよび出力電流Ｉoutとの間には次式（１）の関係が成立する。
Ｖin×Ｉin×ＣＲ＝Ｖout×Ｉout …（１）
入力電圧Ｖinおよび出力電圧Ｖoutは用途によって決まっていることが多く、ＤＣ／ＤＣコンバータに接続されている負荷の状態によって出力電流Ｉoutが決まる。そして、出力側に必要な電力Ｖout×Ｉoutに対応して、式（１）から入力電流Ｉinが決まる。

【0017】

保護動作機能を備えていないＤＣ／ＤＣコンバータの場合、以下のような条件Ａ，ＢにおいてＤＣ／ＤＣコンバータの入力電流Ｉinが増加する。
(条件Ａ) 負荷変動により出力電流Ｉoutが増加した場合
(条件Ｂ) 入力変動に起因して入力電圧Ｖinが下がった場合
式（１）からも明らかなように、ＤＣ／ＤＣコンバータは一定の出力電圧Ｖoutの出力(電力)を維持するために、入力電流Ｉinを増加させるように動作する。増加した入力電流Ｉinは、ＤＣ／ＤＣコンバータを構成する素子および回路の電流許容量を超えないことが望ましい。

【0018】

図１に示す真空ポンプにおいて、例えば、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の出力電圧Ｖ(203)out、出力電流Ｉ(203)outは、制御回路２０４の動作条件を満たすように出力電圧Ｖ(203)out＝固定、出力電流Ｉ(203)out＝固定とされる。通常は、メインのＤＣ／ＤＣコンバータ２０２からは一定の電圧Ｖconvが出力されるが、停電が発生してＤＣ／ＤＣコンバータ２０２の出力電圧Ｖ(202)outが低下した場合には、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３は上記の(条件Ｂ)の状況になる。この場合、電力「Ｖ(203)out×Ｉ(203)out」が一定となるように、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉ(203)inが増加することになる。停電の場合には、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２の出力電圧Ｖ(202)outは短時間で低下するので、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉ(203)inの増加は短時間だけ発生する。もちろん、停電に限らず、外部からコントローラ１Ｂへ電力を供給する電源系統が停止した場合には同様の状況となる。

【0019】

ところが、本実施の形態の真空ポンプでは、停電時に回生制御が行われるため、直流ラインＤＣＬの電圧ＶＬは短時間で低下せず、モータ１３の回転の低下に従って直流ラインＤＣＬの電圧ＶL（すなわち、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電圧Ｖ(203)out）が所定時間かけて低下することになる。そのため、入力電圧Ｖ(203)inの漸減に伴いＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉ(203)inが漸増する時間が、回生制御を行わない場合に比べて長くなる。

【0020】

図３は、停電が発生した場合に、制御部２２で実行される停電動作手順の一例を示すフローチャートである。図３のステップＳ１００では、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０から停電情報Ｓの入力があったか否かを判定する。停電情報Ｓの入力ある場合にはステップＳ１００からステップＳ１１０へ進み、停電情報Ｓの入力が無い場合にステップＳ１００からスステップＳ２００へと進む。ステップＳ１１０からステップＳ１６０までの処理は停電が無い場合の動作を示し、ステップＳ２００からステップＳ２４０までの処理は停電があった場合の動作を示す。

【0021】

先ず、停電が無かった場合の処理について説明する。停電が無い場合にはステップＳ１００からステップＳ１１０へ進んで駆動制御を継続する。ステップＳ１２０では、ポンプ停止指令が入力されたか否かを判定し、入力された場合（ｙｅｓ）にはステップＳ１３０へ進み、入力されない場合（ｎｏ）にはステップＳ１００へ戻る。ステップＳ１２０でポンプ停止指令が入力されたと判定されると、ステップＳ１３０へ進んで駆動制御から回生制御に切り替え、磁気浮上動作に回生電力を利用することで回生ブレーキを動作させる。なお、ブレーキ抵抗を設け、ブレーキ抵抗で回生電力を消費して回生ブレーキを動作させるようにしても良い。

【0022】

ステップＳ１４０では、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０から停電情報Ｓの入力があったか否かを判定し、入力あり（ｙｅｓ）と判定するとステップＳ２１０へ進み、入力無し（Ｎｏ）と判定するとステップＳ１５０へ進む。ステップＳ１５０では、ロータ回転が停止して回転速度ωがω＝０となったか否かを判定し、ω＝０（ｙｅｓ）と判定されるとステップＳ１６０へ進んで電源オフ動作を行う。通常の停止動作の場合には、商用電源２からの電力は停止していないので、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０２の出力電圧は所定のＶconvに維持され、モータ回転数が低下しても直流ラインＤＣＬの電圧が低下することはない。

【0023】

次に、ステップＳ１００で停電と判定されて、ステップＳ２００へ進んだ場合の停電処理について説明する。ステップＳ２００では、駆動制御から回生制御に切り替える。ステップＳ２００からステップＳ２１０へ進んだ場合、および、ステップＳ１４０で停電と判定されてステップＳ２１０へ進んだ場合には、ステップＳ２１０において回転速度ωが閾値ωth以下か否かを判定する。ステップＳ２１０でω＞ωth（ｎｏ）と判定されるとステップＳ１００へ戻り、ω≦ωth（ｙｅｓ）と判定されるとステップＳ２２０へ進んで磁気浮上動作を停止する。ステップＳ２３０では、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLが閾値Ｖth以下か否かを判定する。ステップＳ２３０でＶL≦Ｖthと判定されると、ステップＳ２４０へ進んでインバータ２１の動作を停止し、その後、ステップＳ１６０へ進んで電源オフ動作を行う。

【0024】

なお、電力停止が短時間であれば、一般的に、磁気浮上が停止される前に電力供給が復帰するので、停電処理動作中に電力供給が復帰した場合には、ステップＳ２１０からステップＳ１００へ戻る。その後、ステップＳ１００においてｙｅｓと判定され、ステップＳ１１０において回生制御から駆動制御に切り替えられる。

【0025】

図４は、停電時に回生運転を行う真空ポンプにおいて停電が発生した後の、回転速度ωの時間的な変化と、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLの時間的変化とを模式的に示した図である。図示上側のグラフは回転速度ωを示し、図示下側のグラフは電圧ＶLを示す。ｔ＝ｔ１において停電が発生して停電情報Ｓが制御部２２に入力されると（ステップＳ１００）、回生制御が開始される(ステップＳ１１０)。回生制御開始により、回転速度ωは定格回転速度ω0から減少を開始する。回生制御が開始されてからしばらくは十分な回生電力が得られるため、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLは、通電時の電圧Ｖ０と同じ値に維持されている。

【0026】

ｔ＝ｔ２において、回転速度ωが磁気浮上停止タイミングの閾値ωthまで低下すると（ステップＳ１２０）、軸受制御部２２２による磁気浮上制御が停止される（ステップＳ１３０）。磁気浮上停止により回転軸１１が保護ベアリング１４にタッチダウンすると、磁気浮上時に比べて回転速度ωの減速の度合い（直線の傾き）が大きくなる。回生電力は回転速度ωの低下に従って減少し、回転速度ωがｔ＞ｔ３においてω１を下回ると、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLがＶ０から低下し始める。さらに回転速度ωがω２まで低下すると（ｔ＝ｔ４）、電圧ＶLが閾値Ｖth以下となり（ステップＳ１４０）、停止指示が制御部２２のモータ制御部２２１からインバータ２１へ出力される（ステップＳ１５０）。インバータの動作が停止すると、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLの低下スピードが速くなり、電圧ＶLが急速にゼロに近づく。

【0027】

図５は、電圧ＶLの実測データの一例を示す図である。図５の実線で示すラインＬ０は、停止指示を出力する閾値Ｖthを設定しなかった場合の電圧ＶLの変化を示す。一方、破線で示すラインＬ１、一点鎖線で示すラインＬ２および二点鎖線で示すラインＬ３は、それぞれ閾値Ｖthを１００Ｖ、８０Ｖおよび６０Ｖに設定した場合の停止指示出力後の電圧ＶLの変化を示す。図５のｔ＝ｔ３も、図４に示した回転速度ωthで電圧ＶLが減少を開始するタイミング（ｔ＝ｔ３）である。ラインＬ０は、ｔ＜ｔ３では電圧ＶLは１２０Ｖ程度で一定であり、回転速度ωがω＜ωthとなるｔ＞ｔ３では回転速度ωの低下とともに電圧ＶLが徐々に減少し、ｔ＝ｔ１０において急激に低下する。

【0028】

一方、ラインＬ０の電圧ＶLが１００Ｖとなったときに停止指示を出力してインバータ２１の動作を停止すると、ラインＬ１のように電圧ＶLは急激に低下する。同様に、ＶL＝８０Ｖのタイミングでインバータ２１の動作を停止するとラインＬ２のように電圧ＶLが急激に低下し、ＶL＝６０Ｖのタイミングでインバータ２１の動作を停止するとラインＬ３のように電圧ＶLが急激に低下する。その結果、閾値Ｖthを設定しないで停止指示を出力しない場合（ラインＬ０）と比較すると、直流ラインＤＣＬの電圧ＶL（すなわちＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電圧Ｖ(203)in）が低くなってＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉ(203)inが大きい状態で動作する時間を、Ｖth＝１００Ｖ（ラインＬ１）の場合にはΔｔ１だけ短縮でき、Ｖth＝８０Ｖ（ラインＬ２）の場合にはΔｔ２、Ｖth＝６０Ｖ（ラインＬ３）の場合にはΔｔ３だけ短縮することができる。

【0029】

ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の許容入力電流値をＩ(203)in0とした場合、式（１）の入力電流ＩinとしてＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の許容入力電流Ｉ(203)in0を用いた場合の入力電圧Ｖ(203)inを閾値Ｖthとみなすと、閾値Ｖthは次式（２）で算出される。ＣＲは、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の変換効率であり、Ｖ(203)outおよびＩ(203)outはＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の出力電圧および出力電流である。
Ｖth＝Ｖ(203)out×Ｉ(203)out／（Ｉ(203)in0×ＣＲ） …（２）
一例として、検出される電圧ＶLが上式（２）のＶthに低下したならば、インバータ２１に動作停止指示を出力する。より安全を考慮して、式（２）のＶthより大きな値を閾値Ｖthに設定すれば、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉ(203)inが増大する期間をより短くすることができる。

【0030】

上述した実施の形態では、回生電力により磁気浮上動作を行う構成であったが、停電時に回生制御を行う構成であれば、回生電力を回生ブレーキや制御部２２の停電時バックアップ電源等に用いるような構成であっても、本発明を適用することができる。また、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３に限らず、本発明は直流ラインＤＣＬに接続されている他のＤＣ／ＤＣコンバータにも適用できる。

【0031】

上述した実施の形態では、停電等による電力供給停止時に、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLを監視し、電圧ＶLが閾値Ｖth以下の場合にはインバータ２１の動作（回生制御動作）を停止するようにしたが、以下のような動作を採用した場合でも、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉinが増大する期間を短くすることができる。第１の動作例としては、軸受制御部２２２による磁気浮上制御が停止（図４のｔ＝ｔ２のタイミング）されたならば、直ちにインバータ２１の動作を停止する。第２の動作例としては、停電検知から所定時間が経過したならば磁気浮上制御を停止し、次いで、インバータ２１の動作を停止する。所定時間としては、停電検知から図４のｔ＝ｔ３に達するまでの時間（＝ｔ３－ｔ１）よりも短ければ良いが、磁気浮上停止時の保護ベアリング１４へのダメージを考慮し、（ｔ２－ｔ１）程度か、それよりもやや短めに設定するのが好ましい。いずれの動作例の場合も、直流ラインＤＣＬの電圧監視をする必要なく、インバータ停止動作が行える。

【0032】

上述した例示的な実施の形態および実施例は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0033】

［１］一態様に係る真空ポンプは、外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプであって、前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる。

【0034】

例えば、図３のフローチャートに示すように、停電等により外部からの電力供給が停止して回生制御を行っているときに、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLが閾値Ｖthよりも大きい場合にはインバータ２１の回生制御動作を継続し、直流ラインＤＣＬの電圧ＶLが閾値Ｖth以下の場合にはインバータ２１の動作（回生制御動作）を停止する。その結果、図５のラインＬ０として示されるインバータの動作を停止しない場合に比べて、ラインＬ１～Ｌ３のように予め設定した閾値Ｖthとなった時にインバータ２１の動作を停止した場合は、例えば、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の入力電流Ｉinが徐々に増大する期間をより短くすることができる。その結果、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３が有する素子、回路を効果的に保護することができる。ＤＣ／ＤＣコンバータ２３，２４についても同様に、内部の素子、回路を効果的に保護することができる。

【0035】

［２］上記［１］に記載の真空ポンプにおいて、前記制御部は、停電に伴う回生制御を行っている場合に、前記電力ラインの電圧値が前記閾値以下であると前記インバータの動作を停止させる。例えば、図１の制御部２２は、ＡＣ／ＤＣコンバータ２０から停電情報Ｓが入力されている場合には、モニタしている直流ラインＤＣＬの電圧値ＶLと閾値Ｖthとの大小関係を比較し、ＶL≦Ｖthと判定されるとインバータ２１の動作（回生制御動作）を停止させる。

【0036】

［３］上記［１］または［２］に記載の真空ポンプにおいて、前記閾値は、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの出力側に接続される前記負荷で定まる設定電圧値および設定電流値と、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの変換効率と、前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータを構成する電子部品の許容入力電流値とに基づいて設定される。例えば、閾値Ｖthは、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０３の出力電圧Ｖout、出力電流Ｉout、変換効率ＣＲおよび許容入力電流Ｉin0を用いて、上述した式（２）のように設定される。

【0037】

［４］一態様に係る真空ポンプ用コントローラは、外部からの電力供給が停止した場合に、ポンプロータを回転駆動するモータを回生制御する真空ポンプ用コントローラであって、前記モータへ駆動電力を供給するインバータと、前記インバータへ直流電力を供給する第１のＤＣ／ＤＣコンバータと、入力側が前記直流電力を供給する電力ラインに接続され、出力側に負荷が接続される第２のＤＣ／ＤＣコンバータと、前記インバータを駆動制御および回生制御する制御部とを備え、前記制御部は、回生制御中に、前記直流電力を供給する電力ラインの電圧が定格電圧よりも低い所定の閾値よりも大きい場合には前記インバータの動作を許可し、前記電力ラインの電圧が閾値以下の場合には前記インバータの動作を停止させる。

【0038】

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述した実施の形態では、回生電力を磁気浮上に使用したが、ブレーキ抵抗で電力を消費させる回生ブレーキを備える構成や、回生電力を制御系のバックアップ電源として用いる構成であっても、本発明は同様に適用することができる。

【符号の説明】

【0039】

１…真空ポンプ、１Ａ…ポンプ本体、１Ｂ…コントローラ、２…商用電源、１０…ポンプロータ、１２…磁気軸受、１３…モータ、２０…ＡＣ／ＤＣコンバータ、２１…インバータ、２２…制御部、２３，２４，２０３…ＤＣ／ＤＣコンバータ、ＤＣＬ…直流ライン、Ｖth…閾値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】