特許 7480849 検査装置および検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-30

(45)【発行日】2024-05-10

(54)【発明の名称】検査装置および検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 31/00 20060101AFI20240501BHJP

   G01N 33/18 20060101ALI20240501BHJP

   G01N 27/06 20060101ALI20240501BHJP

【ＦＩ】

G01N31/00 D

G01N33/18 B

G01N27/06 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022543278

(86)(22)【出願日】2021-05-06

(86)【国際出願番号】 JP2021017325

(87)【国際公開番号】W WO2022038838

(87)【国際公開日】2022-02-24

【審査請求日】2023-02-16

(31)【優先権主張番号】P 2020139349

(32)【優先日】2020-08-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】矢幡 雅人

(72)【発明者】

【氏名】前田 一真

(72)【発明者】

【氏名】片岡 達哉

(72)【発明者】

【氏名】増田 裕一

(72)【発明者】

【氏名】並河 信寛

(72)【発明者】

【氏名】中森 明興

(72)【発明者】

【氏名】岩間 達也

【審査官】高田 亜希

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１６／１３２５２６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－２０２８９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２８４５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ３１／００ ー ３１／２２

Ｇ０１Ｎ ３３／００ ー ３３／４６

Ｇ０１Ｎ ２７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料水が格納された試料管を受け、前記試料水を採取するように構成されたサンプリング部と、
採取した前記試料水を処理する処理部と、
処理された前記試料水の導電性を測定する測定部と、
前記測定部に前記試料水を導入するための流入管と、
前記試料管内の前記試料水を前記測定部に送る駆動力を発生させる送液部と、
前記試料管内にガスを送って加圧するための給気部と、
前記送液部および前記給気部の動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記送液部および前記給気部の動作を制御して、前記試料管内を前記ガスで加圧した状態で前記流入管を通じて前記測定部に前記試料水を送る、検査装置。

【請求項2】

前記処理部は、前記試料水を酸化させるための酸化部を含み、
前記制御部は、前記送液部および前記給気部の動作を制御して、前記試料管内の圧力を大気圧より高い圧力に保つ、請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記給気部から前記測定部までの流路にかかる少なくとも一部の圧力を測定する圧力計をさらに備える、請求項１または請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記給気部は、前記試料水の導電性を変化させる物質を前記ガスから除去するフィルタを含む、請求項１～請求項３のうちいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

前記サンプリング部は、前記試料管内に挿入され、前記試料管内の前記試料水を採取するための吸引用ニードルを含み、
前記給気部は、前記試料管内に挿入され、前記試料管内に前記ガスを導入するためのガス用ニードルを含み、
前記ガス用ニードルの長さは、前記吸引用ニードルの長さよりも短い、請求項１～請求項４のうちいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項6】

前記吸引用ニードルと前記ガス用ニードルとを固定するための固定部をさらに備え、
前記サンプリング部は、前記吸引用ニードルに接続された吸引用軟質チューブをさらに含み、
前記給気部は、前記ガス用ニードルに接続されたガス用軟質チューブとをさらに含む、請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

試料水が格納された試料管内にガスを送って加圧するステップと、
前記試料管から前記試料水を採取するステップと、
採取された前記試料水を処理するステップと、
前記試料管内を前記ガスで加圧した状態で、処理された前記試料水の導電性を測定するための測定部に前記試料水を送るステップと、
前記測定部に送られた前記試料水の導電性を測定するステップとを含む、検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、試料水の導電性を測定する検査装置および検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

試料水の性質を示す指標として、試料水の導電性を測定することがある。試料水の導電性は、試料水中に溶解している電解質の割合を示す指標であって、たとえば、試料水中のＴＯＣ（Total Organic Carbon：全有機体炭素）量を測定するために利用される。具体的には、試料水中の有機物を酸化させて得られる分解産物によって試料水の導電性が変わるため、試料水の導電性を測定することで分解産物を検出でき、分解産物を検出することでＴＯＣ量を測定できる。

【0003】

特許第６５５６６９９号公報（特許文献１）には、ＵＶ光線で照射しようとするサンプル体積を収納するための測定チャンバと、測定チャンバとＵＶ光線源の間に位置して、測定チャンバの第１の側を密封して閉止するＵＶ透過性窓とを含む、液体の導電性を測定するための装置が開示されている。特許文献１には、測定チャンバ内に存在する液体と接触するように２つの測定電極がエッチングされていることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６５５６６９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

試料水の導電性を測定する場合に、測定電極上で気泡が発生してしまうことがある。測定電極上で気泡が発生すると、測定電極と試料水との接触面積が変化して測定する導電性が不安定になる。

【0006】

そのため、デガッサなどを用いて減圧し試料水中のガスを事前に抜くことで測定電極上に発生する気泡を抑制することが行われている。しかし、デガッサなどにより試料水からガスを抜くと、試料水の導電性自体が変化してしまうことがある。

【0007】

本開示は、電極上に気泡が発生することを防止して、試料水の導電性を安定して測定することを一の目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の検査装置は、試料水が格納された容器を受け、試料水を採取するように構成されたサンプリング部と、採取した試料水を処理する処理部と、処理された試料水の導電性を測定する測定部と、測定部に試料水を導入するための流入管と、試料管内の試料水を測定部に送る駆動力を発生させる送液部と、試料管内にガスを送って加圧するための給気部と、送液部および給気部の動作を制御する制御部とを含む。制御部は、送液部および給気部の動作を制御して、試料管内をガスで加圧した状態で流入管を通じて測定部に試料水を送る。

【0009】

本開示の検査方法は、試料水が格納された試料管内にガスを送って加圧するステップと、試料管から試料水を採取するステップと、採取された試料水を処理するステップと、試料管内をガスで加圧した状態で、処理された試料水の導電性を測定するための測定部に試料水を送るステップと、測定部に送られた試料水の導電性を測定するステップとを含む。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、試料管内をガスで加圧した状態で測定部に試料水を送るようにすることで、試料水に対するガスの溶解度を上げることができる。その結果、送液中のガスの発生を防止でき、試料水の導電性を安定して測定できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。

【図2】検査装置１に試料管８０を取り付ける方法を説明するための図である。

【図3】制御部７０が実行する検査処理の一例を示したフローチャートである。

【図4】変形例１に係る検査装置に試料管１２を取り付ける方法を説明するための図である。

【図5】変形例１に係る検査装置に試料管１２を取り付けた後の状態を説明するための図である。

【図6】変形例２に係る検査装置の構成を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

【0013】

＜検査装置１の全体構成＞
図１は、検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量（ＴＯＣの濃度）を測定するための装置である。検査装置１は、試料水に紫外線を照射することで試料水中の有機物を酸化させる、いわゆる湿式酸化式の検査装置である。

【0014】

図１を参照して、検査装置１は、給気部２０と、サンプリング部３０と、処理部４０と、測定部５０と、送液部６０と、制御部７０とを備える。

【0015】

給気部２０は、試料管８０内にガスを送って、試料管８０内を加圧する。給気部２０は、加圧ポンプ２２と、ガス用ニードル２４とを備える。加圧ポンプ２２は、ガスを試料管８０内に送る駆動力を発生させる。ガス用ニードル２４は、試料管８０内に挿入され、加圧ポンプ２２よって送られるガスを試料管８０内に導入する。加圧ポンプ２２とガス用ニードル２４とは、チューブＴ４を介して接続される。加圧ポンプ２２は、加圧ポンプ２２に接続されたチューブＴ５を介してガスを取り込む。ガスは、たとえば、大気であるものの、大気とは別の気体であってもよい。

【0016】

サンプリング部３０は、試料管８０に格納された試料水Ｓを採取するように構成されている。サンプリング部３０は、試料管８０内に挿入される吸引用ニードル３２を備える。吸引用ニードル３２は、試料管８０内の試料水Ｓを吸引するためのニードルであって、チューブＴ１を介して処理部４０に接続される。

【0017】

処理部４０は、採取した試料水を処理する。本実施の形態にかかる処理部４０は、試料水Ｓを酸化させるための酸化部４２を備える。酸化部４２は、ＵＶ光源であって、図示していないものの、試料水Ｓが内部空間を通過する内管と、内管の外周に間隔をあけて配置された外管とを備える。外管と内管との間の放電空間内には、放電ガスが封入されている。放電ガスを励起させることで発生する紫外線は、内管の内部空間に照射される。すなわち、酸化部４２は、二重筒型のエキシマランプである。酸化部４２の内部空間内を通る試料水Ｓに紫外線を照射することで、試料水Ｓ中の有機物が酸化される。

【0018】

なお、処理部４０は、採取した試料水を処理するものであればよく、たとえば、試料水に試薬を添加するための処理を行うものであってもよい。また、酸化部４２は、試料水に紫外線を照射することで試料水Ｓ中の有機物を酸化するものとしたが、たとえば、酸化剤等を用いて化学的に試料水Ｓを酸化してもよい。

【0019】

吸引用ニードル３２と酸化部４２の内管の上流側とは、チューブＴ１によって接続されている。また、酸化部４２の内管の下流側には、チューブＴ２が接続されている。なお、内管は、試料水Ｓが通る流路の一部ともいえる。

【0020】

測定部５０は、処理部４０によって処理された後の試料水Ｓの導電性を測定する導電率計であって、チューブＴ２と接続可能な流路を備える。測定部５０が備える流路の下流側にはチューブＴ３が接続されている。すなわち、チューブＴ２を通過した試料水Ｓが測定部５０内に流入し、測定部５０を通過した試料水Ｓは、チューブＴ３を通って排出される。たとえば、測定部５０は、試料水Ｓと接触するように測定部５０が備える流路上に配置された一対の電極を備え、二端子法で試料水Ｓの導電率を測定する。なお、測定部５０は、試料水の導電性を示す指標を測定するものであればよく、導電率を測定するものに限られない。たとえば、測定部５０は、抵抗率を測定するものであってもよい。また、測定部５０は、２つの電極を備えるものを例に挙げたが、４つの電極を備え、四探針法、四端子法など他の方法で試料水の導電率を測定するものであってもよい。

【0021】

送液部６０は、試料管８０内の試料水Ｓを測定部５０に送る駆動力を発生させる。たとえば、送液部６０は、ポンプであって、一例として、測定部５０の下流側のチューブＴ３に接続されている。送液部６０は、たとえば、測定部５０よりも上流側に配置されていてもよい。なお、給気部２０を試料管８０の上流に配置し、送液部６０を測定部５０の下流に配置することで、試料管８０から測定部５０の出口までの流路にかかる圧力を給気部２０および送液部６０の駆動によって制御できる。

【0022】

制御部７０は、検査装置１の全体を制御する。制御部７０は、図示していないものの、主たる構成要素として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、プログラムおよびデータを格納する記憶部と、通信Ｉ／Ｆ（Interface）とを有する。各構成要素はデータバスによって相互に接続されている。

【0023】

記憶部は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＨＤＤ（Hard Disk Drive）を含む。ＲＯＭは、ＣＰＵにて実行されるプログラムを格納する。ＲＡＭは、ＣＰＵにおけるプログラムの実行により生成されるデータ、および通信Ｉ／Ｆを経由して入力されたデータを一時的に格納する。ＲＡＭは、作業領域として利用される一時的なデータメモリとして機能できる。ＨＤＤは、不揮発性の記憶装置である。また、ＨＤＤに代えて、フラッシュメモリなどの半導体記憶装置を採用してもよい。

【0024】

また、ＲＯＭに格納されているプログラムは、記憶媒体に格納されて、プログラムプロダクトとして流通されてもよい。または、プログラムは、情報提供事業者によって、いわゆるインターネットなどによりダウンロード可能なプログラムプロダクトとして提供されてもよい。

【0025】

記憶媒体は、ＤＶＤ-ＲＯＭ（Digital Versatile Disk Read Only Memory）、ＣＤ－ＲＯＭ（compact disc read-only memory）、ＦＤ（Flexible Disk）、ハードディスクに限られず、磁気テープ、カセットテープ、光ディスク（ＭＯ（Magnetic Optical Disc）／ＭＤ（Mini Disc）／ＤＶＤ（Digital Versatile Disc））、光カード、マスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ（Electronically Programmable Read-Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory）、フラッシュＲＯＭなどの半導体メモリなどの固定的にプログラムを担持する媒体としてもよい。また、記録媒体は、プログラムなどをコンピュータが読取可能な非一時的な媒体である。

【0026】

制御部７０は、試料管８０内をガスで加圧した状態で測定部５０に試料水Ｓが送られるように、給気部２０および送液部６０の動作を制御する。このように、試料管８０内をガスで加圧した状態で測定部５０に試料水Ｓを送るようにすることで、試料水Ｓに対するガスの溶解度を上げることができる。その結果、送液中のガスの発生を防止でき、試料水Ｓの導電性を安定して測定できる。

【0027】

また、制御部７０は、処理部４０を制御して処理部４０に試料水Ｓを処理させ、測定部５０からの検出値を受信して試料水Ｓの導電性を測定する処理を行う。

【0028】

なお、制御部７０は、試料管８０内の圧力を大気圧よりも高い状態に維持するようにしてもよい。本実施の形態において、酸化部４２により試料水Ｓが酸化されて分解産物が生成されるため、測定部５０までの流路内でのガス濃度が上昇する。そこで、試料管８０内の圧力を大気圧よりも高い状態にして試料水Ｓに対するガスの溶解度を上げておくことで、流路内でのガス濃度が上昇したとしても、送液中にガスが発生することを防止できる。

【0029】

＜検査装置１に試料管８０を取り付ける方法＞
図２は、検査装置１に試料管８０を取り付ける方法を説明するための図である。なお、以下では、重力方向を下とし、その反対方向を上とする。図２を参照して、ガス用ニードル２４は、ガス用ニードル２４のガスの噴出口が上を向くように、検査装置１の筐体１０に固定されている。同様に、吸引用ニードル３２は、吸引用ニードル３２の吸引口が上を向くように、検査装置１の筐体１０に固定されている。また、筐体１０内には、図示していないものの、加圧ポンプ２２、処理部４０、測定部５０、送液部６０、制御部７０、およびこれらをつなぐチューブＴ１～チューブＴ５が配置されている。

【0030】

試料管８０は、本体８２と、キャップ８４とからなる。キャップ８４は、ゴム製である。そのため、キャップ８４にガス用ニードル２４および吸引用ニードル３２を貫通させることができる。

【0031】

たとえば、ユーザは、吸引用ニードル３２およびガス用ニードル２４がキャップ８４を貫通するように、試料管８０のキャップ８４を下に向けた状態で、試料管８０を上から下に向けて筐体１０に押し付けることで、試料管８０を検査装置１に取り付けることができる。

【0032】

このように、本実施の形態において、吸引用ニードル３２およびガス用ニードル２４を筐体１０に固定させることで、ユーザは、試料管８０を上から下に向けて筐体１０に押し付けることで、試料管８０を検査装置１に取り付けることができる。試料管８０を取り付けるためには、重力方向に試料管８０を動かす動作で済むため、試料管８０の取り付けが容易である。

【0033】

ガス用ニードル２４は、吸引用ニードル３２よりも長く、試料管８０を検査装置１に取り付けたときに、ガス用ニードル２４のガスの噴出口が試料水Ｓの液面よりも上に位置する長さである。一方、吸引用ニードル３２は、ガス用ニードル２４よりも短く、試料管８０を検査装置１に取り付けたときに、吸引用ニードル３２の試料水Ｓの吸引口が試料水Ｓ内に位置する長さである。

【0034】

ガス用ニードル２４の長さを、試料管８０を検査装置１に取り付けたときに、ガス用ニードル２４のガスの噴出口が試料水Ｓの液面よりも上に位置するような長さにすることで、試料管８０内で気泡が発生することを防止できる。試料管８０内での気泡の発生を防ぐことで、当該気泡が吸引用ニードル３２を通って、測定部５０に送られてしまうことを防止できる。また、試料管８０内での気泡の発生を防ぐことで、気体と試料水Ｓとの接触面積を下げることができ、コンタミの発生を抑えることができる。

【0035】

＜検査処理＞
図３は、制御部７０が実行する検査処理の一例を示したフローチャートである。検査処理は、たとえば、制御部７０のＣＰＵがプログラムを実行することで実現する処理である。

【0036】

Ｓ１００において、制御部７０は、検査の開始指示を受け付けたか否かを判定し、受け付けていない場合（Ｓ１００においてＮＯ）、検査処理を終了する。開始指示は、たとえば、ユーザが、試料管８０を筐体１０に取り付けて、図示していないスタートスイッチなどを操作することで受け付けられる。制御部７０は、開始指示を受け付けたと判定した場合（Ｓ１００においてＹＥＳ）、Ｓ１２０の処理を実行する。

【0037】

Ｓ１２０において、制御部７０は、試料管８０内にガスを送って加圧する。より具体的には、制御部７０は、制御部７０は、給気部２０に対してガスを試料管８０内に送るように指示して、加圧ポンプ２２を駆動させる。このとき、給気部２０によって試料管８０内に送られるガスの流量は、試料管８０から処理部４０に送り出される試料水Ｓの流量よりも多い。なお、Ｓ１２０において、制御部７０は、試料管８０から処理部４０に試料水Ｓを送らないようにするために、送液部６０を駆動させないようにしてもよい。

【0038】

Ｓ１４０において、制御部７０は、試料水Ｓを採取する。より具体的には、制御部７０は、吸引用ニードル３２の吸引口から試料水Ｓが吸引用ニードル３２内に吸引されるように送液部６０を駆動させる。このとき、吸引用ニードル３２内に吸引される試料水Ｓの流量は、給気部２０によって試料管８０内に送られるガスの流量と同程度になるように制御されることが好ましい。このように制御することで、Ｓ１２０で加えた圧力を維持することができる。

【0039】

Ｓ１６０において、制御部７０は、採取された試料水Ｓを処理する。より具体的には、制御部７０は、処理部４０に対して、試料水Ｓを酸化するための処理を実行するように指示する。本実施の形態においては、制御部７０は、処理部４０の酸化部４２に対して紫外線の照射を開始することを指示する。なお、Ｓ１６０の処理は、採取した試料水ＳがチューブＴ１と通過して酸化部４２に到達したタイミングで開始される。また、Ｓ１６０の処理を実行している間、制御部７０は、試料水Ｓが酸化部４２に留まるように、給気部２０（加圧ポンプ２２）の駆動と、送液部６０の駆動とを停止させることが好ましい。

【0040】

Ｓ１８０において、制御部７０は、試料管８０内をガスで加圧した状態で、試料水Ｓを測定部５０に送る。たとえば、制御部７０は、試料管８０内に送られるガスの流量と測定部５０に送られる試料水Ｓの流量とが、同じになるように給気部２０および送液部６０を制御することで、Ｓ１２０で加えた圧力を維持した状態で試料水Ｓを測定部５０に送ることができる。なお、試料水Ｓが流路内を流れることで圧力損失が生じる。そのため、測定部５０に到達した試料水Ｓにかかっている圧力は、試料管８０内の試料水Ｓにかかっている圧力よりも下がることになる。そこで、制御部７０は、試料管８０内に送られるガスの流量が測定部５０に送られる試料水Ｓの流量よりも多くなるよう給気部２０および送液部６０を制御してもよい。このように制御することで、試料水Ｓが流路内を流れることで生じる圧力損失分をガスによる加圧で補填することができ、流路内の圧力変動を抑えることができる。

【0041】

Ｓ２００において、制御部７０は、試料水Ｓの導電性を測定する。より具体的には、制御部７０は、測定部５０が検出した検出値を受信する。なお、Ｓ１８０の処理とＳ２００の処理とは、同時に実行されてもよい。

【0042】

＜変形例１＞
上記実施の形態において、吸引用ニードル３２およびガス用ニードル２４を筐体１０に固定させ、試料管８０を上から下に向けて筐体１０に押し付けることで、試料管８０を検査装置１に取り付けるものとした。なお、接続部の構成は、上記実施の形態にかかる構成に限られない。

【0043】

図４および図５を参照して、変形例１にかかる検査装置について説明する。図４は、変形例１に係る検査装置に試料管８０を取り付ける方法を説明するための図である。図５は、変形例１に係る検査装置に試料管８０を取り付けた後の状態を説明するための図である。

【0044】

図４を参照して、変形例１にかかる検査装置は、ガス用ニードル２４および吸引用ニードル３２に代えてガス用ニードル２４ａおよび吸引用ニードル３２ａを備える点で、上記実施の形態にかかる検査装置１と異なる。
ガス用ニードル２４ａおよび吸引用ニードル３２ａは、ガス用ニードル２４ａの方が吸引用ニードル３２ａよりも短い点で、上記実施の形態のガス用ニードル２４および吸引用ニードル３２と異なる。

【0045】

また、変形例１にかかる検査装置は、ガス用ニードル２４ａおよび吸引用ニードル３２ａを固定するための固定部９０と、ガス用ニードル２４ａに接続されたガス用軟質チューブ２５ａと、吸引用ニードル３２ａに接続された吸引用軟質チューブ３３ａとをさらに備える。

【0046】

吸引用軟質チューブ３３ａは、図示していないものの、筐体１０内に配置された処理部４０と接続されているチューブＴ１と接続されている。すなわち、吸引用ニードル３２ａは、吸引用軟質チューブ３３ａを介して処理部４０へ試料水Ｓを導入するチューブＴ１に接続されている。

【0047】

同様に、ガス用軟質チューブ２５ａは、図示していないものの、筐体１０内に配置されている加圧ポンプ２２と接続されているチューブＴ４と接続されている。すなわち、ガス用ニードル２４ａは、ガス用軟質チューブ２５ａを介して加圧ポンプ２２からの気体が通過するチューブＴ４に接続されている。

【0048】

さらに、変形例１にかかる検査装置は、吸引用ニードル３２ａおよびガス用ニードル２４ａの周囲に形成された筒９２をさらに備える。筒９２は、一端に固定部９０が設けられており、他端が開放されている。図４に示すように、試料管８０にガス用ニードル２４ａおよび吸引用ニードル３２ａを挿入して試料管８０を検査装置に接続する場合、キャップ８４を上向きにした状態で、筒９２を上から下に向けて動かすか、試料管８０を下から上に向けて動かすか、あるいは、筒９２と試料管８０との両方を動かすことで、吸引用ニードル３２ａおよびガス用ニードル２４ａをキャップ８４に貫通させて、試料管８０を検査装置に取り付ける。

【0049】

図５を参照して、変形例にかかる検査装置は、筐体１０に取り付けられたホルダ９４および台９６をさらに備える。ホルダ９４は、筒９２を固定する。台９６は、筒９２をホルダ９４に取り付けたときに、試料管８０を設置するための設置場所として機能する。

【0050】

ガス用ニードル２４ａは、吸引用ニードル３２ａよりも短く、試料管８０を検査装置に取り付けたときに、ガス用ニードル２４ａのガスの噴出口が試料水Ｓの液面よりも上に位置する長さである。一方、吸引用ニードル３２ａは、ガス用ニードル２４ａよりも長く、試料管８０を検査装置に取り付けたときに、吸引用ニードル３２ａの試料水Ｓの吸引口が試料水Ｓ内に位置する長さである。

【0051】

変形例１にかかる検査装置において、試料管８０は各ニードルの下から当該ニードルに取り付けられる。取り付けたときにガス用ニードル２４ａの噴出口が試料水Ｓの液面よりも上に位置するため、取り付け作業中にガス用ニードル２４ａの噴出口に試料水Ｓが接触することがない。そのため、別の試料水Ｓが格納された試料管８０に付けかえたときに、ガス用ニードル２４ａ側からコンタミが発生することを防止できる。

【0052】

また、吸引用ニードル３２ａおよびガス用ニードル２４ａは、チューブＴ１，Ｔ４と吸引用軟質チューブ３３ａおよびガス用軟質チューブ２５ａを介して接続されている。また、吸引用ニードル３２ａおよびガス用ニードル２４ａは、固定部９０に固定されている。そのため、吸引用ニードル３２ａおよびガス用ニードル２４ａを一緒に動かすことができ、試料管８０にニードルを容易に貫通させることができる。

【0053】

＜変形例２＞
上記実施の形態にかかる検査装置１は、大気中の物質を除去するためのフィルタをさらに備えていてもよい。また、上記実施の形態にかかる検査装置１は、加圧ポンプ２２から送液部６０までの流路上にかかる圧力を測定する圧力計をさらに備えていてもよい。

【0054】

図６は、変形例２に係る検査装置の構成を説明するための模式図である。図６において、上記実施の形態にかかる検査装置１と共通する構成については、記載を省略している。図６を参照して、変形例２に係る検査装置は、フィルタ２６および圧力計２８をさらに備える。

【0055】

フィルタ２６は、試料管８０内に送られるガスからから導電率の測定に影響を与える物質を除去する。たとえば、フィルタ２６は、大気中の二酸化炭素を除去する。フィルタ２６は、二酸化炭素に代えて、または二酸化炭素に加えて、揮発した有機炭素を除去してもよい。なお、フィルタ２６は、二酸化炭素および有機炭素を完全に除去できなくとも、少なくとも一部を除去できればよい。これにより、大気からのコンタミを防止でき、より精度の高い導電率測定を行うことができる。なお、フィルタ２６は、試料管８０よりも上流に配置されていればよく、たとえば、加圧ポンプ２２の上流に配置されていてもよい。

【0056】

圧力計２８は、加圧ポンプ２２（給気部）から測定部５０までの流路にかかる少なくとも一部の圧力を測定する。図６に示す例では、圧力計２８は、フィルタ２６と試料管８０との間に配置されており、加圧ポンプ２２と試料管８０との間の流路にかかる圧力を測定する。なお、圧力計２８は、加圧ポンプ２２（給気部）から測定部５０までの流路上のいずれに配置されていてもよい。

【0057】

たとえば、制御部７０は、圧力計２８の計測結果に応じて、加圧ポンプ２２および送液部６０を制御してもよい。また、圧力計２８が配置されることで、ユーザは、加圧ポンプ２２から測定部５０までの流路内での漏れをテストすることができる。たとえば、加圧ポンプ２２により流路上にかかる圧力を所定値にした後、加圧ポンプ２２および送液部６０を停止させた状態で、圧力の経時変化を圧力計２８で測る。圧力の経時変化に基づいて、流路内での漏れをテストできる。

【0058】

［態様］
上述した実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0059】

（第１項）一態様に係る検査装置は、試料水が格納された試料管を受け、試料水を採取するように構成されたサンプリング部と、採取した試料水を処理する処理部と、処理された試料水の導電性を測定する測定部と、測定部に試料水を導入するための流入管と、試料管内の試料水を測定部に送る駆動力を発生させる送液部と、試料管内にガスを送って加圧するための給気部と、送液部および給気部の動作を制御する制御部とを備える。制御部は、送液部および給気部の動作を制御して、試料管内をガスで加圧した状態で流入管を通じて測定部に試料水を送る。

【0060】

第１項に記載の検査装置によれば、試料管内をガスで加圧した状態で測定部に試料水を送るようにすることで、試料水に対するガスの溶解度を上げることができる。その結果、送液中のガスの発生を防止でき、試料水の導電性を安定して測定できる。

【0061】

（第２項）第１項に記載の検査装置において、処理部は、試料水を酸化させるための酸化部を含む。制御部は、送液部および給気部の動作を制御して、試料管内の圧力を大気圧より高い圧力に保つ。

【0062】

第２項に記載の検査装置によれば、酸化部により試料水が酸化されて分解産物が生成されるため、測定部までの流路内でのガス濃度が上昇するものの、圧力を上げて試料水に対するガスの溶解度を上げておくことで、送液中にガスが発生することを防止できる。

【0063】

（第３項）第１項または第２項に記載の検査装置は、給気部から測定部までの流路にかかる少なくとも一部の圧力を測定する圧力計をさらに備える。

【0064】

第３項に記載の検査装置によれば、圧力計を備えることで、流路内での漏れをテストしたり、あるいは、圧力計の測定結果を制御部に送るように構成して圧力計の計測結果に応じて、給気部および測定部を制御するようにしたりできる。

【0065】

（第４項）第１項～第３項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、給気部は、試料水の導電性を変化させる物質をガスから除去するフィルタを含む。

【0066】

第４項に記載の検査装置によれば、ガスからのコンタミを防止でき、より精度の高い導電率測定を行うことができる。

【0067】

（第５項）第１項～第４項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、サンプリング部は、試料管内に挿入され、試料管内の試料水を採取するための吸引用ニードルを含む。給気部は、試料管内に挿入され、試料管内にガスを導入するためのガス用ニードルとを含む。ガス用ニードルの長さは、吸引用ニードルの長さよりも短い。

【0068】

第５項に記載の検査装置によれば、試料管に対してニードルを重力方向に挿入すれば、ガス用ニードルを試料水に接触させることなく試料管と接続部とを接続でき、別の試料水が格納された試料管に取り付けかえたときに、ガス用ニードル側からコンタミが発生することを防止できる。

【0069】

（第６項）第５項に記載の検査装置は、吸引用ニードルとガス用ニードルとを固定するための固定部をさらに備える。サンプリング部は、吸引用ニードルに接続された吸引用軟質チューブをさらに含む。給気部は、ガス用ニードルに接続されたガス用軟質チューブとをさらに含む。

【0070】

第６項に記載の検査装置によれば、吸引用ニードルおよびガス用ニードルを一緒に動かすことができ、試料管にニードルを容易に挿入させることができる。

【0071】

（第７項）一態様に係る検査方法は、試料水が格納された試料管内にガスを送って加圧するステップと、試料管から試料水を採取するステップと、採取された試料水を処理するステップと、試料管内をガスで加圧した状態で、処理された試料水の導電性を測定するための測定部に試料水を送るステップと、測定部に送られた試料水の導電性を測定するステップとを含む。

【0072】

第７項に記載の検査方法によれば、試料管内をガスで加圧した状態で測定部に試料水を送るようにすることで、試料水に対するガスの溶解度を上げることができる。その結果、送液中のガスの発生を防止でき、試料水の導電性を安定して測定できる。

【0073】

今回開示された各実施の形態は、技術的に矛盾しない範囲で適宜組合わせて実施することも予定されている。そして、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0074】

１ 検査装置、１０ 筐体、２０ 給気部、２２ 加圧ポンプ、２４，２４ａ ガス用ニードル、２５ａ ガス用軟質チューブ、２６ フィルタ、２８ 圧力計、３０ サンプリング部、３２，３２ａ 吸引用ニードル、３３ａ 吸引用軟質チューブ、４０ 処理部、４２ 酸化部、５０ 測定部、６０ 送液部、７０ 制御部、８０ 試料管、８２ 本体、８４ キャップ、９０ 固定部、９２ 筒、９４ ホルダ、９６ 台、Ｓ 試料水。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】