特許 7481728 熱処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-01

(45)【発行日】2024-05-13

(54)【発明の名称】熱処理装置

(51)【国際特許分類】

   F27B 9/38 20060101AFI20240502BHJP

   H01M 4/04 20060101ALI20240502BHJP

   F27D 7/06 20060101ALI20240502BHJP

   H01G 13/00 20130101ALI20240502BHJP

   F27B 9/28 20060101ALI20240502BHJP

   H01M 4/139 20100101ALN20240502BHJP

【ＦＩ】

F27B9/38

H01M4/04 Z

F27D7/06 B

H01G13/00 381

F27B9/28

H01M4/139

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019212413

(22)【出願日】2019-11-25

(65)【公開番号】P2021085545

(43)【公開日】2021-06-03

【審査請求日】2022-11-08

(73)【特許権者】

【識別番号】594119298

【氏名又は名称】株式会社メイコー

(74)【代理人】

【識別番号】110004222

【氏名又は名称】弁理士法人創光国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100166006

【弁理士】

【氏名又は名称】泉 通博

(74)【代理人】

【識別番号】100188156

【弁理士】

【氏名又は名称】望月 義時

(74)【代理人】

【識別番号】100154070

【弁理士】

【氏名又は名称】久恒 京範

(74)【代理人】

【識別番号】100153280

【弁理士】

【氏名又は名称】寺川 賢祐

(72)【発明者】

【氏名】古屋 公彦

【審査官】村岡 一磨

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６２－１７７２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０９９６０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５３－０９３１７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１６０９４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１２－００７８１６５（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２７Ｂ ９／００－９／４０

Ｆ２７Ｄ ７／０６

Ｈ０１Ｇ １３／００

Ｈ０１Ｍ ４／０４

Ｈ０１Ｍ ４／１３９

Ｆ２６Ｂ １３／００

Ｂ６５Ｈ ２０／０２

Ｂ６５Ｈ １６／００

Ｂ６５Ｈ １８／１６

Ｂ６５Ｈ ２７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

室内が気密状態となっており、シートに熱処理が行われる熱処理室と、
前記熱処理室外に設けられ、ロール状の前記シートを巻き出す巻き出し軸と、
軸方向が前記巻き出し軸の軸方向と交差し、かつ前記熱処理室の側壁を貫通するように設けられ、前記巻き出し軸が巻き出した前記シートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記熱処理室内に導入する導入ローラと、
前記熱処理室外に設けられ、前記熱処理が行われた前記シートを巻き取る巻き取り軸と、
軸方向が前記巻き取り軸の軸方向と交差し、かつ前記熱処理室の側壁を貫通するように設けられ、前記熱処理が行われた前記シートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記熱処理室外へ導出する導出ローラと、
を備える、熱処理装置。

【請求項2】

前記導入ローラの軸方向の長さは、前記シートの幅の２倍以上の大きさであり、
前記導入ローラは、前記シートを螺旋状に複数回巻き付けながら搬送する、
請求項１に記載の熱処理装置。

【請求項3】

室内が気密状態となっており、シートに熱処理が行われる熱処理室と、
前記熱処理室外に設けられ、ロール状の前記シートを巻き出す巻き出し軸と、
軸方向が前記巻き出し軸の軸方向と交差し、かつ前記熱処理室の側壁を貫通するように設けられ、前記巻き出し軸が巻き出した前記シートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記熱処理室内に導入する導入ローラと、
前記熱処理室外に設けられ、前記熱処理が行われた前記シートを巻き取る巻き取り軸と、
を備え、
前記導入ローラの軸方向の一端部が、前記巻き出し軸と対向しており、
前記導入ローラの軸方向の中央部が、前記側壁を貫通しており、
前記熱処理室内に前記導入ローラの軸方向の他端部に対向するように設けられ、前記導入ローラが導入した前記シートを、前記熱処理を行う処理部へ案内する案内ローラを更に備える、
熱処理装置。

【請求項4】

前記熱処理室には、前記導入ローラの前記中央部の外周面と間に所定間隔の隙間が形成されるように前記外周面に対向する筒壁が設けられている、
請求項３に記載の熱処理装置。

【請求項5】

前記筒壁の軸方向の長さは、前記熱処理室の前記側壁の厚さよりも大きい、
請求項４に記載の熱処理装置。

【請求項6】

前記熱処理室の内部の圧力は、前記熱処理室の外部の圧力よりも大きい、
請求項１から５のいずれか１項に記載の熱処理装置。

【請求項7】

室内が気密状態となっており、シートに熱処理が行われる熱処理室と、
前記熱処理室外に設けられ、ロール状の前記シートを巻き出す巻き出し軸と、
前記熱処理室内と前記熱処理室外とを連通しており、前記巻き出し軸が巻き出した前記シートを前記熱処理室内に導入する導入部と、
を備え、
前記導入部は、
対向する凸壁面と凹壁面の間に形成され、前記シートを円弧状に通過させる連通口と、
前記連通口に不活性気体を噴射して、通過中の前記シートを前記凸壁面から離間させる噴射部と、
前記通過中の前記シートに前記凹壁面から離間させる方向へ張力を作用させる張力調整部と、
を有する、熱処理装置。

【請求項8】

前記熱処理室内は、不活性気体が充填されており、
前記噴射部は、前記凸壁面から前記シートに向かって前記不活性気体を噴射する、
請求項７に記載の熱処理装置。

【請求項9】

前記張力調整部は、前記導入部の入口側及び出口側にそれぞれ設けられたローラを有する、
請求項７又は請求項８に記載の熱処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シートに熱処理を行う熱処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ロール状のシートに熱処理を行う熱処理装置として、例えば、電極シートの乾燥等のための熱処理を行う熱処理装置が利用されている（下記の特許文献１を参照）。上記の電極シートへの熱処理は、気密状態の処理室内にて行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－１０７２３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、上記の熱処理装置においては、処理室内にシートを収容し、収容されたシートに熱処理を行い、熱処理後のシートを処理室から取り出す一連の作業を繰り返し行う必要がある。このため、シートの収容及び取り出しに伴う熱処理装置の停止時間が生じてしまい、生産性が低下してしまう。

【0005】

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、熱処理装置の停止時間を抑制して生産性を向上させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様においては、室内が気密状態となっており、シートに熱処理が行われる熱処理室と、前記熱処理室外に設けられ、ロール状の前記シートを巻き出す巻き出し軸と、軸方向が前記巻き出し軸の軸方向と交差し、かつ前記熱処理室の側壁を貫通するように設けられ、前記巻き出し軸が巻き出した前記シートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記熱処理室内に導入する導入ローラと、を備える、熱処理装置を提供する。

【0007】

また、前記導入ローラの軸方向の長さは、前記シートの幅の２倍以上の大きさであり、前記導入ローラは、前記シートを螺旋状に複数回巻き付けながら搬送することとしてもよい。

【0008】

また、前記導入ローラの軸方向の一端部が、前記巻き出し軸と対向しており、前記導入ローラの軸方向の中央部が、前記側壁を貫通しており、前記熱処理装置は、前記熱処理室内に前記導入ローラの軸方向の他端部に対向するように設けられ、前記導入ローラが導入した前記シートを、前記熱処理を行う処理部へ案内する案内ローラを更に備えることとしてもよい。

【0009】

また、前記熱処理室には、前記導入ローラの前記中央部の外周面と間に所定間隔の隙間が形成されるように前記外周面に対向する筒壁が設けられていることとしてもよい。

【0010】

また、前記筒壁の軸方向の長さは、前記熱処理室の前記側壁の厚さよりも大きいこととしてもよい。

【0011】

また、前記熱処理室の内部の圧力は、前記熱処理室の外部の圧力よりも大きいこととしてもよい。

【0012】

また、前記熱処理装置は、前記熱処理室外に設けられ、前記熱処理が行われたシートを巻き取る巻き取り軸と、軸方向が前記巻き取り軸の軸方向と交差し、かつ前記熱処理室の側壁を貫通するように設けられ、前記熱処理が行われたシートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記熱処理室外へ導出する導出ローラと、を更に備えることとしてもよい。

【0013】

また、ロール状のシートを巻き出す巻き出し軸と、軸方向が前記巻き出し軸の軸方向と交差し、かつ前記シートの搬送先室の側壁を貫通するように設けられ、前記巻き出し軸が巻き出したシートを巻き付けながら軸方向へ搬送して前記搬送先室内に導入する導入ローラと、を備える、シート導入機構を提供してもよい。

【0014】

本発明の第２の態様においては、室内が気密状態となっており、シートに熱処理が行われる熱処理室と、前記熱処理室外に設けられ、ロール状の前記シートを巻き出す巻き出し軸と、前記熱処理室内と前記熱処理室外とを連通しており、前記巻き出し軸が巻き出した前記シートを前記熱処理室内に導入する導入部と、を備え、前記導入部は、対向する凸壁面と凹壁面の間に形成され、前記シートを円弧状に通過させる連通口と、前記連通口に不活性気体を噴射して、通過中の前記シートを前記凸壁面から離間させる噴射部と、前記通過中の前記シートに前記凹壁面から離間させる方向へ張力を作用させる張力調整部と、を有する、熱処理装置を提供する。

【0015】

また、前記熱処理室内は、不活性気体が充填されており、前記噴射部は、前記凸壁面から前記シートに向かって前記不活性気体を噴射することとしてもよい。

【0016】

また、前記張力調整部は、前記導入部の入口側及び出口側にそれぞれ設けられたローラを有することとしてもよい。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、熱処理装置の停止時間を抑制して生産性を向上できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１の実施形態に係る熱処理装置１の構成を示す模式図である。

【図2】第１の実施形態に係る熱処理装置１の構成を示す模式図である。

【図3】熱処理装置１の熱処理室１０内の構成を説明するための模式図である。

【図4】導入ローラ３２及び周辺部の構成を説明するための模式図である。

【図5】導入ローラ３２と導入筒壁１７との関係を説明するための模式図である。

【図6】制御ユニット９０の構成を説明するための模式図である。

【図7】第２の実施形態に係る熱処理装置１００の構成を示す模式図である。

【図8】シート導入部１３０の構成を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

＜第１の実施形態＞
（熱処理装置の構成）
本発明の第１の実施形態に係る熱処理装置の構成について、図１～図３を参照しながら説明する。

【0020】

図１及び図２は、第１の実施形態に係る熱処理装置１の構成を示す模式図である。図３は、熱処理装置１の熱処理室１０内の構成を説明するための模式図である。図１には熱処理装置１のシート導入部３０側を見た図が示され、図２にはシート導出部４０側を見た図が示されている。なお、図１～図３には、シートＷの搬送方向が破線の矢印で示されている。

【0021】

熱処理装置１は、ロール状のシートＷに連続して熱処理を行う装置である。具体的には、熱処理装置１は、ロール状に巻かれた帯状のシートＷを熱処理室１０に導入し、熱処理後のシートＷを熱処理室１０外へ導出させる。このため、熱処理装置１は、停止することなく、シートＷへの熱処理を継続して行うことができるので、生産性が向上する。

【0022】

熱処理装置１が熱処理を行うシートＷは、一例として電極シートである。電極シートは、ここではリチウムイオン電池の電極（正極と負極）を製造する際に用いられる。正極は、金属箔に正極活性質を塗布した電極シートから製造され、負極は、金属箔に負極活性質を塗布した電極シートから製造される。これらの電極シートは、通常多孔質材料等から成り吸湿し易いため、電極への加工前に水分等を除去するために乾燥（加熱）が行われる。このため、熱処理装置１はロール状の電極シートに熱処理を行うために用いられる。なお、上記では、熱処理装置１は、熱処理として、電極シートに所謂アニール処理を行ってもよい。アニール処理を行うことで、電極シート内部の歪みが取り除かれる。

【0023】

熱処理装置１は、図１及び図２に示すように、熱処理室１０と、巻き出し軸２０と、シート導入部３０と、シート導出部４０と、巻き取り軸５０とを有する。巻き出し軸２０及び巻き取り軸５０は、熱処理室１０の外部に配置されている。本実施形態では、巻き出し軸２０及びシート導入部３０が、シート導入機構を成している。

【0024】

熱処理室１０は、シートＷに対して、例えば乾燥のための熱処理を行う。熱処理室１０の内部の環境は、熱処理室１０の外部の環境とは異なる。熱処理室１０の内部は、外部から閉塞された空間となっており、熱処理室１０の室内が、気密状態となっている。例えば、熱処理室１０内では、不活性気体であるＮ２（窒素）が支配的で、酸素濃度は低くなっている。また、熱処理室１０の内部の圧力は、熱処理室１０の外部の圧力（外部気圧）よりも大きい。本実施形態では、シートＷを熱処理室１０内にてセットする必要がないので、熱処理室１０の気密状態が維持されやすくなり、シートＷの熱処理が効率的に行われる。
なお、上記では、不活性気体であるＮ２が熱処理室１０内の環境において支配的であることとしたが、これに限定されない。例えば、熱処理室１０内の環境において、不活性気体としてＡｒ（アルゴン）またはＨｅ（ヘリウム）が支配的であってもよい。

【0025】

熱処理室１０は、図３に示すように、複数の案内ローラ１２と、熱処理部１４と、導入開口部１６と、導出開口部１８とを有する。
複数の案内ローラ１２は、長手方向に沿って所定間隔で配置されており、シート導入部３０から導入されたシートＷを熱処理部１４へ案内する（搬送する）。また、案内ローラ１２は、熱処理後のシートＷを、導出開口部１８へ案内する。

【0026】

熱処理部１４は、案内ローラ１２の案内経路上に設けられ、案内ローラ１２によって搬送中のシートＷに対して熱処理を行う。例えば、熱処理部１４は、シートＷに赤外線を照射させることで、シートＷを加熱させる。ただし、これに限定されず、例えば、熱処理部１４は、ヒートロールでシートＷを加熱したり、ハロゲンランプでシートＷを加熱したり、熱風によってシートＷを加熱したりしてもよい。

【0027】

導入開口部１６は、熱処理室１０内へシートＷを導入するための開口部である。導入開口部１６は、側壁１１ａを貫通している開口を有する。導入開口部１６は、熱処理室１０の長手方向の一端側に設けられている。導入開口部１６は、筒状に形成された導入筒壁１７を有する。

【0028】

導入筒壁１７は、図１に示すように、側壁１１ａに対して交差するように設けられている。導入筒壁１７の軸方向の長さは、側壁１１ａの厚さよりも大きい。ここでは、導入筒壁１７は、側壁１１ａの両面から突出するように形成されている。導入筒壁１７の軸方向の長さは、シートＷの幅以上であってもよい。

【0029】

導出開口部１８は、熱処理室１０外へシートＷを導出するための開口部である。導出開口部１８は、熱処理室１０の側壁１１ａとは反対側の側壁１１ｂを貫通している開口を有する。導出開口部１８は、熱処理室１０の長手方向の他端側に設けられている。導出開口部１８は、筒状に形成された導出筒壁１９を有する。

【0030】

導出筒壁１９は、図２に示すように、側壁１１ｂに対して交差するように設けられている。導出筒壁１９の軸方向の長さは、側壁１１ｂの厚さよりも大きい。ここでは、導出筒壁１９は、側壁１１ｂの両面から突出するように形成されている。導出筒壁１９の軸方向の長さは、シートＷの幅以上であってもよい。
なお、上記では、導出開口部１８が側壁１１ｂに設けられていることとしたが、これに限定されず、導出開口部１８は側壁１１ａに設けられていてもよい。

【0031】

巻き出し軸２０は、図１に示すように、ロール状のシートＷを巻き出す。巻き出し軸２０には、シートＷがロール状に巻かれており、巻き出し軸２０が回転することでシートＷがシート導入部３０へ送り出される。

【0032】

シート導入部３０は、熱処理室１０の導入開口部１６に設けられており、シートＷを搬送先室である熱処理室１０内へ導入する。シート導入部３０は、円柱状の導入ローラ３２を有する。導入ローラ３２の軸方向は、巻き出し軸２０の軸方向と交差している（すなわち、導入ローラ３２は、巻き出し軸２０に対して斜めに配置されている）。導入ローラ３２は、巻き出し軸２０が巻き出したシートＷを巻き付けながら軸方向へ搬送して、熱処理室１０内に導入する。

【0033】

図４は、導入ローラ３２及び周辺部の構成を説明するための模式図である。図５は、導入ローラ３２と導入筒壁１７との関係を説明するための模式図である。なお、図５では、説明の便宜上、シートＷが省略されている。
導入ローラ３２は、外周面３２ａにシートＷを巻きつけながら、軸方向に搬送する。この場合、シートＷが外周面３２ａに密接するので、導入されるシートＷが安定した姿勢に保持される。このため、シートＷが導入筒壁１７に接触して損傷することを防止できる。

【0034】

また、導入ローラ３２は、図５に示すように、熱処理室１０の側壁１１ａを貫通するように設けられている。具体的には、導入ローラ３２の軸方向の中央部３３が、導入筒壁１７を貫通している。導入ローラ３２の外周面３２ａは、導入筒壁１７の内周面１７ａに対向している。導入ローラ３２の外周面３２ａと導入筒壁１７の内周面１７ａには、所定間隔の隙間が形成されている。

【0035】

導入ローラ３２の軸方向の長さは、導入筒壁１７の軸方向の長さよりも大きい。そして、図５に示すように、導入ローラ３２の軸方向の一端部３４は、熱処理室１０の外部に露出している。具体的には、導入ローラ３２の一端部３４は、巻き出し軸２０に対向している。導入ローラ３２の軸方向の他端部３５は、熱処理室１０の内部に位置している。具体的には、導入ローラ３２の他端部３５は、案内ローラ１２に対向している。

【0036】

導入ローラ３２の軸方向の長さは、シートＷの幅の２倍以上の大きさである。導入ローラ３２は、図４に示すように、シートＷを螺旋状に複数回巻き付けながら軸方向に搬送する。本実施形態では、シートＷが、導入ローラ３２に重なって巻き付けられないよう調整されている。

【0037】

導入ローラ３２が、外周面３２ａに密接したシートＷを搬送するので、外周面３２ａと導入筒壁１７の内周面１７ａとの隙間は小さくなるように設定されている。これにより、熱処理室１０内に外部の空気が流入することを抑制でき、熱処理室１０の気密状態を維持しやすくなる。また、側壁１１ａの両面から突出する導入筒壁１７を設けることで、外部の空気が熱処理室１０内に流入することをより効果的に抑制できる。この結果、熱処理室１０内でのシートＷの熱処理が適切に行われる。

【0038】

また、導入ローラ３２が巻き出し軸２０に対して斜めに配置している場合には、導入ローラ３２が巻き出し軸２０と平行に配置している場合に比べて、シートＷが導入ローラ３２に巻き付けられる際に、負荷の変化等が発生する可能性がある。そこで、導入ローラ３２の手前にガイドを設けて、シートＷを導入ローラ３２に対して所定角度で進入させるように、上記の変化を防止しうる。また、導入ローラ３２の手前にローラの張力を調整する手段を設けてもよい。

【0039】

シート導出部４０は、熱処理室１０の導出開口部１８側に設けられており、熱処理室１０からシートＷを導出するシート導出機構である。シート導出部４０は、ここではシート導入部３０とほぼ同じ構成となっている。シート導出部４０は、導出ローラ４２を有する。

【0040】

導出ローラ４２は、熱処理室１０の側壁１１ｂを貫通するように設けられている（図３参照）。具体的には、導出ローラ４２は、導出筒壁１９を挿通している。導出ローラ４２は、案内ローラ１２に対して斜めに配置されている。すなわち、導出ローラ４２の軸方向は、案内ローラ１２の軸方向と交差している。そして、導出ローラ４２は、熱処理部１４で熱処理が行われたシートＷを外周面に巻き付けながら軸方向へ搬送して熱処理室１０外へ導出する。これにより、導出されるシートＷが安定した姿勢に保持されるので、シートＷが導出筒壁１９の内周面に接触して損傷することを防止できる。

【0041】

なお、導出ローラ４２及び周辺部の構成は、上述した導入ローラ３２及び周辺部の構成と同様である。このため、導出ローラ４２は、熱処理を停止することなく、シートＷを熱処理室１０から連続して導出させることができる。

【0042】

巻き取り軸５０は、導出ローラ４２が熱処理室１０から導出したシートＷを巻き取る。すなわち、巻き取り軸５０は、熱処理室１０で熱処理が行われたシートＷを巻き取る。巻き取り軸５０の軸方向は、導出ローラ４２の軸方向と交差しており、巻き出し軸２０の軸方向と平行であってもよい。

【0043】

ところで、熱処理装置１は、シートＷの巻き出し、熱処理、及び巻き取りを連続で行う。このため、熱処理装置１は、案内ローラ１２、熱処理部１４、巻き出し軸２０、巻き取り軸５０等の動作を制御する制御ユニットを有する。

【0044】

図６は、制御ユニット９０の構成を説明するための模式図である。制御ユニット９０は、熱処理装置１の全体の動作を制御する。制御ユニット９０は、図６に示すように、記憶部９２と、制御部９４とを有する。

【0045】

記憶部９２は、制御部９４が実行するためのプログラムを記憶する。また、記憶部９２は、シートＷの熱処理に必要な各種データを記憶する。

【0046】

制御部９４は、記憶部９２に記憶されたプログラムを実行することにより、シートＷの熱処理を制御する。制御部９４は、案内ローラ１２、巻き出し軸２０及び巻き取り軸５０を回転させる駆動部８０を制御する。例えば、制御部９４は、案内ローラ１２、巻き出し軸２０及び巻き取り軸５０の回転速度を制御する。また、制御部９４は、熱処理部１４によるシートＷの熱処理を制御する。例えば、制御部９４は、シートＷへの赤外線の照射を制御する。

【0047】

（第１の実施形態における効果）
上述した実施形態の熱処理装置１は、熱処理室１０外に設けられた巻き出し軸２０と、軸方向が巻き出し軸２０の軸方向と交差し、かつ熱処理室１０の側壁１１ａを貫通するように設けられた導入ローラ３２とを有する。導入ローラ３２は、巻き出し軸２０が巻き出したシートＷを巻き付けながら軸方向へ搬送して熱処理室１０内に導入する。

【0048】

これにより、導入ローラ３２は、熱処理室１０内でのシートＷの熱処理を中断することなく、巻き出し軸２０が巻き出したシートＷを熱処理室１０内に連続して導入できる。また、熱処理室１０の側壁１１ａを貫通する導入ローラ３２が、外周面にシートＷを巻き付けながら搬送する場合には、シートＷが通過する開口をスリット状に細くできるため、熱処理室１０内の気密状態を維持しやすくなる。この結果、熱処理装置１の停止時間を抑制して生産性を向上させることが可能となる。

【0049】

また、本実施形態では、巻き取り軸５０も熱処理室１０外に設けられており、導出ローラ４２が熱処理後のシートＷを熱処理室１０から巻き取り軸５０へ向かって導出させる。これにより、シートＷの巻き出し及び巻き取りが熱処理室１０外で行われるので、熱処理装置１が停止することなく、シートＷへの熱処理を連続して行うことができ、より生産性を向上できる。

【0050】

＜第２の実施形態＞
（熱処理装置の構成）
第２の実施形態に係る熱処理装置１００の構成について、図７及び図８を参照しながら説明する。

【0051】

図７は、第２の実施形態に係る熱処理装置１００の構成を示す模式図である。図８は、シート導入部１３０の構成を説明するための模式図である。なお、図７では、説明の便宜上、図８に示すローラ１３６ａ、１３８ａが省略されている。

【0052】

第２の実施形態では、シートの導入部及び導出部の構成が第１の実施形態と異なり、他の構成は第１の実施形態と同様である。熱処理装置１００は、図７に示すように、熱処理室１１０と、巻き出し軸１２０と、シート導入部１３０と、シート導出部１４０と、巻取り軸１５０とを有する。

【0053】

熱処理室１１０は、前述した熱処理室１０と同様な構成であり、シートＷに対して熱処理を行う。熱処理室１１０は、室内が気密状態となっており、シートＷに熱処理を行う。熱処理室１１０内には、不活性気体（例えばＮ２）が充填されている。また、熱処理室１０の内部の圧力は、熱処理室１０の外部の圧力よりも大きい。熱処理室１１０は、複数の案内ローラ１１２と、熱処理部１１４と、導入開口部１１６と、導出開口部１１８とを有する。これらの構成は、第１の実施形態と同様である。

【0054】

巻き出し軸１２０は、熱処理室１１０外に設けられ、ロール状のシートＷを巻き出す。巻き出し軸１２０は、熱処理室１１０の側壁１１１ａ（具体的には導入開口部１１６）に向けてシートＷを巻き出す。

【0055】

シート導入部１３０は、熱処理室１１０の内部と外部とを連通しており、巻き出し軸１２０が巻き出したシートＷを熱処理室１１０内に導入するシート導入機構である。シート導入部１３０は、熱処理室１１０の側壁１１１ａに設けられている。第１の実施形態のシート導入部３０は、シートＷを螺旋状に搬送することとしたが、第２の実施形態のシート導入部１３０は、巻き出し軸１２０が巻き出し方向に沿ってシートＷを搬送する。シート導入部１３０は、図８に示すように、連通口１３２と、噴射部１３４と、張力調整部１３６、１３８とを有する。

【0056】

連通口１３２は、対向する凸壁面１３３ａと凹壁面１３３ｂの間に形成されており、シートＷを円弧状に通過させる導入口である。シートＷは、凸壁面１３３ａ（凹壁面１３３ｂ）に沿って連通口１３２を通過する。すなわち、凸壁面１３３ａ及び凹壁面１３３ｂは、シートＷの搬送をガイドするガイド機能を有する。凸壁面１３３ａは下側に形成され、凹壁面１３３ｂは上側に形成されている。ただし、これに限定されず、凸壁面１３３ａが上側に形成され、凹壁面１３３ｂが下側に形成されてもよい。

【0057】

凸壁面１３３ａ及び凹壁面１３３ｂは、ここでは所定曲率の面となっている。また、凸壁面１３３ａと凹壁面１３３ｂの間隔は、所定幅（シートＷの厚さよりも大きい）になるように設定されている。ここで、所定幅は、熱処理室１１０内への外部の空気の流入を抑制して、熱処理室１１０を気密状態に維持しやすい大きさに設定されている。

【0058】

噴射部１３４は、シートＷが連通口１３２を通過中に、不活性気体を噴射する。噴射部１３４は、凸壁面１３３ａ側（具体的には、凸壁面１３３ａの下側）に設けられている。噴射部１３４は、凸壁面１３３ａ（具体的には、凸壁面１３３ａに形成された噴射口）から、連通口１３２に不活性気体を噴射する。噴射部１３４は、シートＷが連通口１３２を通過する間、不活性気体を噴射し続ける。このため、シートＷと凸壁面１３３ａの間に、不活性気体の膜が形成される。当該膜は、軸受けの機能を有する。これにより、連通口１３２を通過中のシートＷは、凸壁面１３３ａから離間し、シートＷが凸壁面１３３ａに接触して損傷することを抑制できる。

【0059】

噴射部１３４は、ここでは熱処理室１１０内に充填されている不活性気体であるＮ２を噴射する。これにより、噴射部１３４が噴射したＮ２によって、熱処理室１１０内がＮ２で充填された状態を維持しやすくなる。また、噴射部１３４が噴射した不活性気体によって熱処理室１１０内に悪影響を及ぼすことを抑制できる。

【0060】

張力調整部１３６、１３８は、連通口１３２を通過中のシートＷに、凹壁面１３３ｂから離間させる方向へ張力を作用させる機能を有する。張力調整部１３６は、シート導入部１３０の入口側に設けられたローラ１３６ａを有し、張力調整部１３８は、シート導入部１３０の出口側に設けられたローラ１３８ａを有する。ローラ１３６ａは、熱処理室１１０の外部に位置している（巻き出し軸１２０よりも側壁１１１ａ側に位置している）。ローラ１３８ａは、熱処理室１１０内部に位置している。なお、図８では、ローラ１３６ａ、１３８ａがそれぞれ一つのみ示されているが、張力を作用させる観点から複数設けられてもよい。

【0061】

張力調整部１３６、１３８は、連通口１３２内にてシートＷが円弧状になるような張力を作用させる。具体的には、張力調整部１３６、１３８は、シートＷに対して、凹壁面１３３ｂから凸壁面１３３ａへ向かう方向の張力を作用させる。これにより、通過中のシートＷが凹壁面１３３ｂから離間し、シートＷが凹壁面１３３ｂに接触して損傷することを抑制できる。特に、張力調整部１３６、１３８が噴射部１３４と協働して動作することで、連通口１３２を通過中のシートＷが、凸壁面１３３ａ及び凹壁面１３３ｂに接触することを効果的に抑制できる。

【0062】

なお、上記では、シート導入部１３０が熱処理室１１０の側壁１１１ａより内側に位置していることとしたが、これに限定されない。例えば、シート導入部１３０の一端部が熱処理室１１０のうち内側に位置し、シート導入部１３０の他端部が熱処理室１１０の外側に位置してもよい。

【0063】

シート導出部１４０は、図７に示すように、熱処理室１１０の壁１１１ｂに設けられており、熱処理室１１０からシートＷを導出するシート導出機構である。シート導出部１４０は、ここではシート導入部１３０とほぼ同じ構成となっている。すなわち、シート導出部１４０も、噴射部及び張力調整部を有する。これにより、導出されるシートＷが壁面に接触して損傷することを抑制できる。

【0064】

巻き取り軸１５０は、シート導出部１４０が熱処理室１１０から導出したシートＷを巻き取る。すなわち、巻き取り軸１５０は、熱処理室１１０で熱処理が行われたシートＷを巻き取る。

【0065】

第２の実施形態の熱処理装置１００においても、第１の実施形態の熱処理装置１と同様に、シートＷの巻き出し、熱処理、及び巻き取りが連続で行われる。すなわち、熱処理室１１０内でのシートＷの熱処理を中断することなく、シートＷの巻き出し及び巻き取りが連続して行われる。このため、熱処理装置１００の停止時間を抑制して生産性を向上させることが可能となる。

【0066】

（第２の実施形態における効果）
上述した実施形態のシート導入部１３０は、図８に示すように、連通口１３２を通過中のシートＷを凸壁面１３３ａから離間させるように不活性気体を噴射する噴射部１３４と、シートＷが凹壁面１３３ｂから離間させるように張力を作用させる張力調整部１３６、１３８とを有する。

【0067】

上記の構成によれば、シートＷは、噴射部１３４及び張力調整部１３６、１３８による作用を受けて凸壁面１３３ａ及び凹壁面１３３ｂに接触せず、凸壁面１３３ａ（凹壁面１３３ｂ）に沿って搬送される。また、凸壁面１３３ａと凹壁面１３３ｂの間の隙間は小さいため、熱処理室１１０内の気密状態を維持しやすくなる。この結果、シートＷを熱処理室１１０内に連続して導入することができるので、熱処理装置１００の生産性を向上させることが可能となる。

【0068】

なお、上述したシートＷは、リチウムイオン電池に用いられる電極シートであることとしたが、これに限定されない。例えば、シートＷは、コンデンサなどの電子部品に用いられる電極シートであってもよい。

【0069】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。

【符号の説明】

【0070】

１ 熱処理装置
１０ 熱処理室
１１ａ 側壁
１２ 案内ローラ
１４ 熱処理部
１７ 導入筒壁
２０ 巻き出し軸
３０ シート導入部
３２ 導入ローラ
４０ シート導出部
４２ 導出ローラ
５０ 巻き取り軸
１００ 熱処理装置
１１０ 熱処理室
１２０ 巻き出し軸
１３０ シート導入部
１３２ 連通口
１３４ 噴射部
１３６、１３８ 張力調整部
Ｗ シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】